JPH0917341A - 蛍光面検査装置 - Google Patents
蛍光面検査装置Info
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- JPH0917341A JPH0917341A JP7312220A JP31222095A JPH0917341A JP H0917341 A JPH0917341 A JP H0917341A JP 7312220 A JP7312220 A JP 7312220A JP 31222095 A JP31222095 A JP 31222095A JP H0917341 A JPH0917341 A JP H0917341A
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
- H01J9/46—Machines having sequentially arranged operating stations
- H01J9/48—Machines having sequentially arranged operating stations with automatic transfer of workpieces between operating stations
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
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- Manufacture Of Electron Tubes, Discharge Lamp Vessels, Lead-In Wires, And The Like (AREA)
- Testing, Inspecting, Measuring Of Stereoscopic Televisions And Televisions (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 蛍光面の検査が目視検査であり、作業者によ
る個人差が大きく自動化による均一な評価と検査処理能
力を向上する。 【解決手段】 内面に蛍光面を形成したパネル１を外面
側から照射する線光源３と、パネル１内面側に配置して
透過光を読み取るラインセンサ５０と、パネル１と線光
源およびラインセンサ５０との相対位置を線光源の長手
方向と垂直な方向に移動させる移動機構部６と、ライン
センサ５０で読み取られた線状パターンを基準パターン
を比較して良否判定する画像処理部７０とを具備した蛍
光面検査装置であって、ラインセンサ５０の画素並びが
ラインセンサ５０の中央を中心として蛍光面２のドット
並びに平行に回転調整可能に制御する角度制御機構部５
０ｂを備えた蛍光面検査装置を提供する。
る個人差が大きく自動化による均一な評価と検査処理能
力を向上する。 【解決手段】 内面に蛍光面を形成したパネル１を外面
側から照射する線光源３と、パネル１内面側に配置して
透過光を読み取るラインセンサ５０と、パネル１と線光
源およびラインセンサ５０との相対位置を線光源の長手
方向と垂直な方向に移動させる移動機構部６と、ライン
センサ５０で読み取られた線状パターンを基準パターン
を比較して良否判定する画像処理部７０とを具備した蛍
光面検査装置であって、ラインセンサ５０の画素並びが
ラインセンサ５０の中央を中心として蛍光面２のドット
並びに平行に回転調整可能に制御する角度制御機構部５
０ｂを備えた蛍光面検査装置を提供する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、陰極線管の蛍光面
検査装置に関し、特に蛍光面のドット並びとの相対角度
に対してラインセンサを追随回転させて検査精度を向上
させた蛍光面検査装置に関する。
検査装置に関し、特に蛍光面のドット並びとの相対角度
に対してラインセンサを追随回転させて検査精度を向上
させた蛍光面検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、シャドウマスク型カラー陰極線
管では、パネル内面に、その内側に配設されたシャドウ
マスクに対向して、吸光性物質層からなるブラックマト
リクス膜が形成され、このブラックマトリクス膜の開口
部に赤、緑、青の各色に発光する微小なドット状または
微細なストライプ状の蛍光体層が規則正しく配置された
蛍光面が形成されている。この蛍光面に異物付着や色む
らなどの不具合がなくきれいに形成されているかを検査
して、不良パネルが次工程へ流出しないようにしてい
る。
管では、パネル内面に、その内側に配設されたシャドウ
マスクに対向して、吸光性物質層からなるブラックマト
リクス膜が形成され、このブラックマトリクス膜の開口
部に赤、緑、青の各色に発光する微小なドット状または
微細なストライプ状の蛍光体層が規則正しく配置された
蛍光面が形成されている。この蛍光面に異物付着や色む
らなどの不具合がなくきれいに形成されているかを検査
して、不良パネルが次工程へ流出しないようにしてい
る。
【０００３】この蛍光面に異物の付着やむらなどの不具
合がなく、きれいにできているかどうかを検査して、不
良パネルが次工程に流れないように、特開昭６０−１６
０５３９号公報や特開平１−１８３０３１号公報に開示
されているように、蛍光面に紫外線を照射して蛍光体を
励起発光させ、顕微鏡等を使用して、目視で蛍光面の検
査が実施されている。
合がなく、きれいにできているかどうかを検査して、不
良パネルが次工程に流れないように、特開昭６０−１６
０５３９号公報や特開平１−１８３０３１号公報に開示
されているように、蛍光面に紫外線を照射して蛍光体を
励起発光させ、顕微鏡等を使用して、目視で蛍光面の検
査が実施されている。
【０００４】一般には、図５に示すように、蛍光面の異
物付着やむらなどについては、透過光による目視でも視
認できるため、蛍光面検査では、紫外線を照射して目視
検査を実施している。パネル１に形成した蛍光面２の下
方に白色光源１４（または紫外線光源）を配置し、作業
者がパネル１の上面から透過光を目１５で見て、黒点や
輝点を確認して評価している。
物付着やむらなどについては、透過光による目視でも視
認できるため、蛍光面検査では、紫外線を照射して目視
検査を実施している。パネル１に形成した蛍光面２の下
方に白色光源１４（または紫外線光源）を配置し、作業
者がパネル１の上面から透過光を目１５で見て、黒点や
輝点を確認して評価している。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上述したような作業者
による視認評価では、評価に個人差がでる上に、蛍光面
全域にわたり完全に検査することができず、欠点を見逃
すという問題がある。また、完全な検査を目指すために
は時間を要し、自動検査化が望まれている。
による視認評価では、評価に個人差がでる上に、蛍光面
全域にわたり完全に検査することができず、欠点を見逃
すという問題がある。また、完全な検査を目指すために
は時間を要し、自動検査化が望まれている。
【０００６】そこで、本発明は上記問題点に鑑みて提案
されたもので、その目的とするところは、線光源とライ
ンセンサの間にパネルを通過させ、ラインセンサで取り
込んだ線状パターンを画像処理して、基準パターンと比
較することにより、自動的に良否を判定する蛍光面検査
装置を提供することにある。
されたもので、その目的とするところは、線光源とライ
ンセンサの間にパネルを通過させ、ラインセンサで取り
込んだ線状パターンを画像処理して、基準パターンと比
較することにより、自動的に良否を判定する蛍光面検査
装置を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は、内面に蛍光面
を形成したパネルを外面側から照射する線光源と、パネ
ル内面側に配置して透過光を読み取るラインセンサと、
パネルと線光源およびラインセンサとの相対位置を線光
源の長手方向と垂直な方向に移動させる移動機構部と、
ライセンサで読み取られた線状パターンを基準パターン
と比較して良否判定する画像処理部とを具備した蛍光面
検査装置を提供する。
を形成したパネルを外面側から照射する線光源と、パネ
ル内面側に配置して透過光を読み取るラインセンサと、
パネルと線光源およびラインセンサとの相対位置を線光
源の長手方向と垂直な方向に移動させる移動機構部と、
ライセンサで読み取られた線状パターンを基準パターン
と比較して良否判定する画像処理部とを具備した蛍光面
検査装置を提供する。
【０００８】また、線光源が白色光源からなり、線状パ
ターンが透過光パターンである蛍光面検査装置を提供す
る。
ターンが透過光パターンである蛍光面検査装置を提供す
る。
【０００９】また、線光源が紫外線光源からなり、線状
パターンが蛍光体の励起発光パターンである蛍光面検査
装置を提供する。
パターンが蛍光体の励起発光パターンである蛍光面検査
装置を提供する。
【００１０】また、画像処理部が画像データの平滑化処
理部を具備する蛍光面検査装置を提供する。
理部を具備する蛍光面検査装置を提供する。
【００１１】さらに、内面に蛍光面を形成したパネルを
外面側から照射する線光源と、パネル内面側に配置して
透過光を読み取るラインセンサと、パネルと線光源およ
びラインセンサとの相対位置を線光源の長手方向と垂直
な方向に移動させる移動機構部と、ラインセンサで読み
取られた線状パターンと基準パターンを比較して良否判
定する画像処理部とを具備した蛍光面検査装置であっ
て、ラインセンサの画素並びがラインセンサの中央を中
心として蛍光面のドット並びに平行に回転調整可能に制
御する角度制御機構部を備えた蛍光面検査装置を提供す
る。
外面側から照射する線光源と、パネル内面側に配置して
透過光を読み取るラインセンサと、パネルと線光源およ
びラインセンサとの相対位置を線光源の長手方向と垂直
な方向に移動させる移動機構部と、ラインセンサで読み
取られた線状パターンと基準パターンを比較して良否判
定する画像処理部とを具備した蛍光面検査装置であっ
て、ラインセンサの画素並びがラインセンサの中央を中
心として蛍光面のドット並びに平行に回転調整可能に制
御する角度制御機構部を備えた蛍光面検査装置を提供す
る。
【００１２】また、角度制御機構部が、線状パターンの
モアレ縞成分を検出して、蛍光面のドット並びとライン
センサの画素並びとの相対角度が最小となる位置に停止
させる蛍光面検査装置を提供する。
モアレ縞成分を検出して、蛍光面のドット並びとライン
センサの画素並びとの相対角度が最小となる位置に停止
させる蛍光面検査装置を提供する。
【００１３】さらに、パネルの線光源側に前記蛍光面よ
り反射される反射光による線状パターンを読み取る補助
ラインセンサを付加配置した蛍光面検査装置を提供す
る。
り反射される反射光による線状パターンを読み取る補助
ラインセンサを付加配置した蛍光面検査装置を提供す
る。
【００１４】
【発明の実施の形態】近年、特にコンピュータ用カラー
ディスプレイは、通信・画像処理など高性能化、多機能
化が進み、高精細度タイプへと移行しつつある。このよ
うな市場要求品質に応えるべく検査の精度および能率向
上を図る必要がある。本発明による蛍光面検査装置の実
施の形態について、図面を参照しながら説明する。図１
〜図３は、本発明による蛍光面検査装置の構成を示す概
念図である。なお、従来例と同一部分には同一参照符号
を付し説明を省略する。
ディスプレイは、通信・画像処理など高性能化、多機能
化が進み、高精細度タイプへと移行しつつある。このよ
うな市場要求品質に応えるべく検査の精度および能率向
上を図る必要がある。本発明による蛍光面検査装置の実
施の形態について、図面を参照しながら説明する。図１
〜図３は、本発明による蛍光面検査装置の構成を示す概
念図である。なお、従来例と同一部分には同一参照符号
を付し説明を省略する。
【００１５】図１は、本発明の実施の形態１の蛍光面検
査装置である。図１に示すように、陰極線管のパネル１
内面に形成した蛍光面２に白色光の線状光線を照射する
線光源３と、その照射面と反対の面の線状パターンを読
み取るラインセンサ５と、パネル１と、線光源３および
ラインセンサ５との相対位置を線光源の長手方向と垂直
な方向に移動させる移動機構部６と線状パターンと基準
パターンとを比較して良否を判定する画像処理部７とか
ら構成されている。そして、画像処理部７にはラインセ
ンサ５で読み取った画像データの平滑化処理部８が具備
されている。
査装置である。図１に示すように、陰極線管のパネル１
内面に形成した蛍光面２に白色光の線状光線を照射する
線光源３と、その照射面と反対の面の線状パターンを読
み取るラインセンサ５と、パネル１と、線光源３および
ラインセンサ５との相対位置を線光源の長手方向と垂直
な方向に移動させる移動機構部６と線状パターンと基準
パターンとを比較して良否を判定する画像処理部７とか
ら構成されている。そして、画像処理部７にはラインセ
ンサ５で読み取った画像データの平滑化処理部８が具備
されている。
【００１６】この蛍光面検査装置による検査は、次のよ
うに実施される。すなわち、パネル１に形成された蛍光
面２の周辺端部に線光源３の白色光を射し、その透過光
をラインセンサ５の受光部５ａで線状パターンとして読
み取り、その線状パターンデータを画像処理部７に入力
する。そして、この線状パターンデータは平滑化処理部
８でノイズをカットし、あらかじめパネル曲率で補正さ
れてメモリに入力されている基準パターンデータと比較
され、そのデータ間の差が規格内であれば良品と判定す
る。
うに実施される。すなわち、パネル１に形成された蛍光
面２の周辺端部に線光源３の白色光を射し、その透過光
をラインセンサ５の受光部５ａで線状パターンとして読
み取り、その線状パターンデータを画像処理部７に入力
する。そして、この線状パターンデータは平滑化処理部
８でノイズをカットし、あらかじめパネル曲率で補正さ
れてメモリに入力されている基準パターンデータと比較
され、そのデータ間の差が規格内であれば良品と判定す
る。
【００１７】そして、パネル１を順次移動させ上述した
動作を繰り返し実施して、蛍光面２全域にわたり検査し
て蛍光面２の良否を判定する。このように、蛍光面２全
域を自動的に検査できるため、欠点の見逃しは発生せ
ず、自動的に良否判定が実施されるため作業者の視認時
間を要しない。また、線光源３に紫外線を発光する水銀
灯を使用することができる。この実施例によれば、紫外
線により励起発光する蛍光面２の発光線状パターンを観
察することができるため、電子ビームによる発光と同様
な動作状態での蛍光面２の検査が可能になる。しかも、
観察が作業者の視認でなく、ラインセンサ５により自動
的に実施される。
動作を繰り返し実施して、蛍光面２全域にわたり検査し
て蛍光面２の良否を判定する。このように、蛍光面２全
域を自動的に検査できるため、欠点の見逃しは発生せ
ず、自動的に良否判定が実施されるため作業者の視認時
間を要しない。また、線光源３に紫外線を発光する水銀
灯を使用することができる。この実施例によれば、紫外
線により励起発光する蛍光面２の発光線状パターンを観
察することができるため、電子ビームによる発光と同様
な動作状態での蛍光面２の検査が可能になる。しかも、
観察が作業者の視認でなく、ラインセンサ５により自動
的に実施される。
【００１８】上述したような実施の形態１による蛍光面
検査装置では、パネル１が線光源３とラインセンサ５の
間を移動機構部６によって線光源３の長手方向と垂直な
方向に移動する構造になっている。この場合、蛍光面２
のドット並びとラインセンサ５の画素並びが、必ずしも
平行ではないことから、ラインセンサ５の画素並びと蛍
光面２のドット並びに対する相対角度が微小角度θを有
することになる。この微小角度θが存在すると、図４に
示すようなモアレ縞成分が数本発生する。このモアレ縞
成分の本数によって透過光量レベルが変動することにな
り、蛍光面２の本来の欠陥と判別が困難となる場合があ
り、蛍光面検査装置が誤判定することが生じる。
検査装置では、パネル１が線光源３とラインセンサ５の
間を移動機構部６によって線光源３の長手方向と垂直な
方向に移動する構造になっている。この場合、蛍光面２
のドット並びとラインセンサ５の画素並びが、必ずしも
平行ではないことから、ラインセンサ５の画素並びと蛍
光面２のドット並びに対する相対角度が微小角度θを有
することになる。この微小角度θが存在すると、図４に
示すようなモアレ縞成分が数本発生する。このモアレ縞
成分の本数によって透過光量レベルが変動することにな
り、蛍光面２の本来の欠陥と判別が困難となる場合があ
り、蛍光面検査装置が誤判定することが生じる。
【００１９】そこで、ラインセンサ５の画素並びと蛍光
面２のドット並びに対する相対角度を最小に制御する手
段を有し、このモアレ縞成分の発生を抑制して、蛍光面
２の微小欠陥を検出する蛍光面検査装置について図２〜
図３を参照しながら説明する。図２は、本発明の実施の
形態２の蛍光面検査装置である。本発明による蛍光面検
査装置の動作を説明する。図２に示すように、蛍光面２
を形成したパネル１の上面より線光源３、例えば白色光
（または紫外線光）を照射し、その透過光をラインセン
サ５０で線状パターンとして読み取り、その線状パター
ンデータを画像処理部７０に入力する。
面２のドット並びに対する相対角度を最小に制御する手
段を有し、このモアレ縞成分の発生を抑制して、蛍光面
２の微小欠陥を検出する蛍光面検査装置について図２〜
図３を参照しながら説明する。図２は、本発明の実施の
形態２の蛍光面検査装置である。本発明による蛍光面検
査装置の動作を説明する。図２に示すように、蛍光面２
を形成したパネル１の上面より線光源３、例えば白色光
（または紫外線光）を照射し、その透過光をラインセン
サ５０で線状パターンとして読み取り、その線状パター
ンデータを画像処理部７０に入力する。
【００２０】本発明の主眼の一つであるラインセンサ５
０の画素並びと蛍光面２のドット並びに対する相対角度
を最小に設定するために、ラインセンサ５０の角度制御
機構５０ｂが制御部９０の信号により作動する。まず、
蛍光面２を形成したパネル１の上面より線光源３を照射
し、その透過光をラインセンサ５０で線状パターンを読
み取りながら、パレット４上のパネル１を移動機構部６
によって水平移動させる。読み込んだ線状パターンデー
タを画像処理部７０で処理する。
０の画素並びと蛍光面２のドット並びに対する相対角度
を最小に設定するために、ラインセンサ５０の角度制御
機構５０ｂが制御部９０の信号により作動する。まず、
蛍光面２を形成したパネル１の上面より線光源３を照射
し、その透過光をラインセンサ５０で線状パターンを読
み取りながら、パレット４上のパネル１を移動機構部６
によって水平移動させる。読み込んだ線状パターンデー
タを画像処理部７０で処理する。
【００２１】すなわち、多数のＣＣＤ等を用いたライン
センサ５０で撮像した画像からモアレ縞成分本数を計数
し、ラインセンサ５０の画素並びと蛍光面２のドット並
びに対する相対角度が最小になるように、制御部９０か
ら制御信号が角度制御機構部５０ａ、例えばパルスモー
タに送られる。このようにして、ラインセンサ５０の画
素並びと蛍光面２のドット並びに対する相対角度が最小
になるように、角度制御機構部５０ｂが作動してライン
センサ５０が微小角度で回転して位置決めされる。な
お、この微小角度は、カラー陰極線管のサイズによって
も異なるが、基準０°に対して±０．５°程度である。
センサ５０で撮像した画像からモアレ縞成分本数を計数
し、ラインセンサ５０の画素並びと蛍光面２のドット並
びに対する相対角度が最小になるように、制御部９０か
ら制御信号が角度制御機構部５０ａ、例えばパルスモー
タに送られる。このようにして、ラインセンサ５０の画
素並びと蛍光面２のドット並びに対する相対角度が最小
になるように、角度制御機構部５０ｂが作動してライン
センサ５０が微小角度で回転して位置決めされる。な
お、この微小角度は、カラー陰極線管のサイズによって
も異なるが、基準０°に対して±０．５°程度である。
【００２２】上述したように位置決めされたラインセン
サ５０の状態で、再びパレット４上のパネル１を移動機
構部６によって順次水平移動させる。ラインセンサ５０
は透過光を線状パターンとして読み取り、その線状パタ
ーンデータを画像処理部７０で処理する。そして、この
線状パターンデータは平滑処理部８０でノイズ成分がカ
ットされ、予めパネル曲率で補正されてメモリに入力さ
れている基準パターンデータとを比較して、そのデータ
間の差が規格内であれば良品と判定する。このように、
パネル１を移動機構部６によって順次移動させることか
ら蛍光面２全域にわたって蛍光面２の良否を判定でき
る。すなわち、蛍光面２全域を自動的に検査できること
から、モアレ縞成分による誤判定がなくなり、検査精度
が向上する。
サ５０の状態で、再びパレット４上のパネル１を移動機
構部６によって順次水平移動させる。ラインセンサ５０
は透過光を線状パターンとして読み取り、その線状パタ
ーンデータを画像処理部７０で処理する。そして、この
線状パターンデータは平滑処理部８０でノイズ成分がカ
ットされ、予めパネル曲率で補正されてメモリに入力さ
れている基準パターンデータとを比較して、そのデータ
間の差が規格内であれば良品と判定する。このように、
パネル１を移動機構部６によって順次移動させることか
ら蛍光面２全域にわたって蛍光面２の良否を判定でき
る。すなわち、蛍光面２全域を自動的に検査できること
から、モアレ縞成分による誤判定がなくなり、検査精度
が向上する。
【００２３】さらに、図３は、本発明の実施の形態３の
蛍光面検査装置である。本発明による蛍光面検査装置の
動作を説明する。図３に示すように、基本構成および動
作は実施の形態２と同じであるため詳細説明については
省略する。実施の形態３の主眼は、実施の形態２の検査
精度をさらに向上させることを目標としている。すなわ
ち、図２に示した実施の形態２の構成に、さらに補助ラ
インセンサ６０と、この補助ラインセンサ６０を微小角
度で制御する角度制御機構５０ｂを追加配置したことで
ある。
蛍光面検査装置である。本発明による蛍光面検査装置の
動作を説明する。図３に示すように、基本構成および動
作は実施の形態２と同じであるため詳細説明については
省略する。実施の形態３の主眼は、実施の形態２の検査
精度をさらに向上させることを目標としている。すなわ
ち、図２に示した実施の形態２の構成に、さらに補助ラ
インセンサ６０と、この補助ラインセンサ６０を微小角
度で制御する角度制御機構５０ｂを追加配置したことで
ある。
【００２４】前述した実施の形態２と同様に、ラインセ
ンサ５０の画素並びと蛍光面２のドット並びに対する相
対角度を最小に設定するために、ラインセンサ５０の角
度制御機構５０ｂが制御部９０ａの信号により作動し、
この相対角度が最小になるように、ラインセンサ５０ｂ
が微小角度で回転して位置決めされる。この時の相対角
度が、角度制御機構６０ｂに伝達され、蛍光面２より反
射される反射光による線状パターンを読み取る補助ライ
ンセンサ６０を位置決めすることになる。
ンサ５０の画素並びと蛍光面２のドット並びに対する相
対角度を最小に設定するために、ラインセンサ５０の角
度制御機構５０ｂが制御部９０ａの信号により作動し、
この相対角度が最小になるように、ラインセンサ５０ｂ
が微小角度で回転して位置決めされる。この時の相対角
度が、角度制御機構６０ｂに伝達され、蛍光面２より反
射される反射光による線状パターンを読み取る補助ライ
ンセンサ６０を位置決めすることになる。
【００２５】このようにして、ラインセンサ５０および
補助ラインセンサ６０の画素並びと蛍光面２のドット並
びに対する最小の相対角度が決定されると、再びパレッ
ト４上のパネル１を移動機構部６によって順次水平移動
させる。ラインセンサ５０は透過光を線状パターンとし
て読み取り、補助ラインセンサ６０は反射光を線状パタ
ーンとして読み取って、それぞれの線状パターンデータ
を画像処理部７０ａで処理する。そして、これらの線状
パターンデータは平滑化処理部８０ａでノイズ成分がカ
ットされ、予めパネル曲率で補正されてメモリに入力さ
れている基準パターンデータとを比較して、そのデータ
間の差が規格内であれば良品と判定する。
補助ラインセンサ６０の画素並びと蛍光面２のドット並
びに対する最小の相対角度が決定されると、再びパレッ
ト４上のパネル１を移動機構部６によって順次水平移動
させる。ラインセンサ５０は透過光を線状パターンとし
て読み取り、補助ラインセンサ６０は反射光を線状パタ
ーンとして読み取って、それぞれの線状パターンデータ
を画像処理部７０ａで処理する。そして、これらの線状
パターンデータは平滑化処理部８０ａでノイズ成分がカ
ットされ、予めパネル曲率で補正されてメモリに入力さ
れている基準パターンデータとを比較して、そのデータ
間の差が規格内であれば良品と判定する。
【００２６】このように、パネル１を移動機構部６によ
って順次移動させることから蛍光面２全域にわたって蛍
光面２の良否を判定できる。しかも、この良否の判定
が、ラインセンサ５０による透過光と補助ラインセンサ
６０による反射光との両面による蛍光面２の良否を判定
が可能となる。なお、補助ラインセンサ６０による反射
光線状パターンとして読み取ることによって、特に蛍光
面２の微小黒欠点を検出力が向上する。従って、検査精
度がさらに向上した蛍光面検査装置が提供できる。
って順次移動させることから蛍光面２全域にわたって蛍
光面２の良否を判定できる。しかも、この良否の判定
が、ラインセンサ５０による透過光と補助ラインセンサ
６０による反射光との両面による蛍光面２の良否を判定
が可能となる。なお、補助ラインセンサ６０による反射
光線状パターンとして読み取ることによって、特に蛍光
面２の微小黒欠点を検出力が向上する。従って、検査精
度がさらに向上した蛍光面検査装置が提供できる。
【００２７】
【発明の効果】上述したように、本発明の蛍光面検査装
置によれば、蛍光面全域を自動的に検査でき、しかも自
動的に良否判定ができる。特に、ラインセンサの画素並
びと蛍光面のドット並びに対する相対角度が最小になる
ように制御され、ラインセンサは微小角度で回転して位
置決めされる。このように、この最小の相対角度で、ラ
インセンサは透過光を線状パターンとして読み取ること
が可能となり、この線状パターンデータを画像処理部に
入力して、予めパネル曲率で補正されてメモリに入力さ
れている基準パターンデータとを比較して良否を判定す
ることになる。従って、透過光量レベルの変動による発
生したモアレ縞成分がなくなり、誤判定するがなくなり
検出力が向上する。さらに、補助ラインセンサを増設し
て反射光を線状パターンとして読み取ることによって、
特に蛍光面に発生する微小黒欠点の検出力が向上し、検
査精度を大幅に向上させた蛍光面検査装置を提供でき
る。
置によれば、蛍光面全域を自動的に検査でき、しかも自
動的に良否判定ができる。特に、ラインセンサの画素並
びと蛍光面のドット並びに対する相対角度が最小になる
ように制御され、ラインセンサは微小角度で回転して位
置決めされる。このように、この最小の相対角度で、ラ
インセンサは透過光を線状パターンとして読み取ること
が可能となり、この線状パターンデータを画像処理部に
入力して、予めパネル曲率で補正されてメモリに入力さ
れている基準パターンデータとを比較して良否を判定す
ることになる。従って、透過光量レベルの変動による発
生したモアレ縞成分がなくなり、誤判定するがなくなり
検出力が向上する。さらに、補助ラインセンサを増設し
て反射光を線状パターンとして読み取ることによって、
特に蛍光面に発生する微小黒欠点の検出力が向上し、検
査精度を大幅に向上させた蛍光面検査装置を提供でき
る。
【図１】 本発明による実施の形態１の蛍光面検査装置
の構成を示す概念図
の構成を示す概念図
【図２】 本発明による実施の形態２の蛍光面検査装置
の構成を示す概念図
の構成を示す概念図
【図３】 本発明による実施の形態３の蛍光面検査装置
の構成を示す概念図
の構成を示す概念図
【図４】 蛍光面検査装置におけるモアレ縞成分を示す
説明図
説明図
【図５】 従来の蛍光面検査装置の構成を示す概念図
１ パネル ２ 蛍光面 ３ 線光源 ４ パレット ５，５０ ラインセンサ ５ａ，５０ａ 受光部 ６ 水平移動機構部 ７，７０，７０ａ 画像処理部 ８，８０，８０ａ 平滑化処理部 ５０ｂ，６０ｂ 角度制御機構部 ６０ 補助ラインセンサ ９０、９０ａ 制御部
Claims (7)
- 【請求項１】内面に蛍光面を形成したパネルを外面側か
ら照射する線光源と、パネル内面側に配置して透過光を
読み取るラインセンサと、前記パネルと前記線光源およ
び前記ラインセンサとの相対位置を線光源の長手方向と
垂直な方向に移動させる移動機構部と、前記ライセンサ
ーで読み取られた線状パターンを基準パターンと比較し
て良否判定する画像処理部とを具備した蛍光面検査装
置。 - 【請求項２】前記線光源が白色光源からなり、前記線状
パターンが透過光パターンであることを特徴とする請求
項１記載の蛍光面検査装置。 - 【請求項３】前記線光源が紫外線光源からなり、前記線
状パターンが蛍光体の励起発光パターンであることを特
徴とする請求項１記載の蛍光面検査装置。 - 【請求項４】前記画像処理部が画像データの平滑化処理
部を具備することを特徴とする請求項１記載の蛍光面検
査装置。 - 【請求項５】内面に蛍光面を形成したパネルを外面側か
ら照射する線光源と、パネル内面側に配置して透過光を
読み取るラインセンサと、前記パネルと前記線光源およ
び前記のラインセンサとの相対位置を線光源の長手方向
と垂直な方向に移動させる移動機構部と、前記ラインセ
ンサで読み取られた線状パターンを基準パターンと比較
して良否判定する画像処理部とを具備した蛍光面検査装
置であって、前記ラインセンサの画素並びがラインセン
サの中央を中心として蛍光面のドット並びに平行に回転
調整可能に制御する角度制御機構部を備えたことを特徴
とする蛍光面検査装置。 - 【請求項６】前記角度制御機構部が、前記線状パターン
のモアレ縞成分を検出して、前記蛍光面のドット並びと
前記ラインセンサの画素並びとの相対角度が最小となる
位置に停止させることを特徴とする請求項５記載の蛍光
面検査装置。 - 【請求項７】前記パネルの線光源側に前記蛍光面より反
射される反射光による線状パターンを読み取る補助ライ
ンセンサを付加配置したことを特徴とする請求項５〜６
記載の蛍光面検査装置。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7312220A JP3003562B2 (ja) | 1995-04-25 | 1995-11-30 | 蛍光面検査装置 |
| US08/637,285 US5767961A (en) | 1995-04-25 | 1996-04-24 | Apparatus and method for inspecting fluorescent screen |
| KR1019960012570A KR100242904B1 (ko) | 1995-04-25 | 1996-04-24 | 형광면을 검사하기 위한 장치 및 방법 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7-99299 | 1995-04-25 | ||
| JP9929995 | 1995-04-25 | ||
| JP7312220A JP3003562B2 (ja) | 1995-04-25 | 1995-11-30 | 蛍光面検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0917341A true JPH0917341A (ja) | 1997-01-17 |
| JP3003562B2 JP3003562B2 (ja) | 2000-01-31 |
Family
ID=26440443
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7312220A Expired - Lifetime JP3003562B2 (ja) | 1995-04-25 | 1995-11-30 | 蛍光面検査装置 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5767961A (ja) |
| JP (1) | JP3003562B2 (ja) |
| KR (1) | KR100242904B1 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001250108A (ja) * | 2000-03-06 | 2001-09-14 | Toray Ind Inc | プラズマディスプレイパネル背面板の検査装置および製造方法 |
| JP2002042659A (ja) * | 2000-07-24 | 2002-02-08 | Toray Ind Inc | カラーディスプレイ用部材の検査装置および検査方法ならびに製造装置。 |
| KR100748108B1 (ko) * | 2005-02-23 | 2007-08-09 | 참앤씨(주) | 음극선관용 패널의 검사장치 및 그 방법 |
Families Citing this family (5)
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| US6011620A (en) * | 1998-04-06 | 2000-01-04 | Northrop Grumman Corporation | Method and apparatus for the automatic inspection of optically transmissive planar objects |
| TW417133B (en) * | 1998-11-25 | 2001-01-01 | Koninkl Philips Electronics Nv | Method of manufacturing a cathode ray tube, in which a display screen is inspected |
| SG103276A1 (en) * | 2001-01-03 | 2004-04-29 | Inst Materials Research & Eng | Vibratory in-plane tunnelling gyroscope |
| CN106407057B (zh) * | 2016-09-23 | 2021-09-17 | 江西欧迈斯微电子有限公司 | 检测方法及检测装置 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3835332A (en) * | 1973-06-04 | 1974-09-10 | Eastman Kodak Co | Inspection apparatus for detecting defects in a web |
| US4076426A (en) * | 1976-06-29 | 1978-02-28 | Rca Corporation | Method for inspecting cathode-ray-tube window for objectionable cord |
| JPS60160539A (ja) * | 1984-01-31 | 1985-08-22 | Nec Kansai Ltd | 陰極線管の検査方法 |
| JPH01183031A (ja) * | 1988-01-11 | 1989-07-20 | Toshiba Corp | 蛍光面の検査装置 |
| DE4031633A1 (de) * | 1990-10-05 | 1992-04-16 | Sick Optik Elektronik Erwin | Optische inspektionsvorrichtung |
| JP3118316B2 (ja) * | 1991-06-19 | 2000-12-18 | 三星コーニング株式会社 | 陰極線管用フェイスプレートの表面検査装置 |
| FR2681429B1 (fr) * | 1991-09-13 | 1995-05-24 | Thomson Csf | Procede et dispositif d'inspection du verre. |
| JP3298250B2 (ja) * | 1993-07-30 | 2002-07-02 | ソニー株式会社 | 自動検査方法及び自動検査装置 |
-
1995
- 1995-11-30 JP JP7312220A patent/JP3003562B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1996
- 1996-04-24 KR KR1019960012570A patent/KR100242904B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1996-04-24 US US08/637,285 patent/US5767961A/en not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JP2001250108A (ja) * | 2000-03-06 | 2001-09-14 | Toray Ind Inc | プラズマディスプレイパネル背面板の検査装置および製造方法 |
| JP4531186B2 (ja) * | 2000-03-06 | 2010-08-25 | パナソニック株式会社 | プラズマディスプレイパネル背面板の検査装置および製造方法 |
| JP2002042659A (ja) * | 2000-07-24 | 2002-02-08 | Toray Ind Inc | カラーディスプレイ用部材の検査装置および検査方法ならびに製造装置。 |
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR960039059A (ko) | 1996-11-21 |
| KR100242904B1 (ko) | 2000-02-01 |
| US5767961A (en) | 1998-06-16 |
| JP3003562B2 (ja) | 2000-01-31 |
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