JPH09170994A - Gas sensor - Google Patents

Gas sensor

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JPH09170994A
JPH09170994A JP33290595A JP33290595A JPH09170994A JP H09170994 A JPH09170994 A JP H09170994A JP 33290595 A JP33290595 A JP 33290595A JP 33290595 A JP33290595 A JP 33290595A JP H09170994 A JPH09170994 A JP H09170994A
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JP
Japan
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gas sensor
metal
gas
pins
sensor according
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Application number
JP33290595A
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Japanese (ja)
Inventor
Koichi Tsuda
孝一 津田
Toshiaki Kato
利明 加藤
Noriyoshi Nagase
徳美 長瀬
Fumihiro Inoue
文宏 井上
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fuji Electric Co Ltd
Original Assignee
Fuji Electric Co Ltd
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a gas sensor showing a low zero output variation of a zero point in an equilibrium state and a transient state even when a high-speed hot wind runs. SOLUTION: In the gas sensor, a gas direction element D and a compensation element C of a contact combustion type are suspended between two adjacent pins of four metallic pins 2, 3 penetrating and fixed to an electrically insulating base 1. A gas permeable gap covers the elements over the base. A lateral bar part 23 of a high heat conductive material is interposed between the metallic pins penetrating the electrically insulating base on which the gas detection element and the compensation element are supported. Accordingly, thermal bonding of the elements is enhanced.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】この発明は、被検ガスの温度範囲
の広い給湯器などに取り付けられる可燃性ガスセンサに
関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a combustible gas sensor attached to a water heater or the like having a wide temperature range of test gas.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来のガスセンサの一例として、富士時
報第50巻第8号427頁〜431頁(1977)、富士時報
第54巻第8号554頁〜557頁(1981)に記載されて
いる警報器に用いられているような可燃性ガスセンサ
は、例えば、可燃性ガスに対して活性な触媒を担持した
酸化アルミニウム等の担体で白金コイルなどの金属コイ
ルを覆った構造のガス検出素子および可燃性ガスに対し
て不活性な補償素子からなっている。図11は従来の接触
燃焼式のガスセンサの透視斜視図である。絶縁性材料の
ベース1 に貫通固定されているピン2 、ピン3 の各2本
にそれぞれガス検知素子D と補償素子C とが張架されて
いる。2 つの素子間には熱遮蔽板4 が立てられている。
素子には通気性のあるキャップ5 が被せられている。全
体がガスセンサS である。
2. Description of the Related Art As an example of a conventional gas sensor, it is described in Fuji Jikki Vol. Combustible gas sensors such as those used in alarms are, for example, a gas detection element and a combustible gas detection device having a structure in which a metal coil such as a platinum coil is covered with a carrier such as aluminum oxide carrying a catalyst active against the combustible gas. It is composed of a compensating element which is inactive to the natural gas. FIG. 11 is a perspective view of a conventional catalytic combustion type gas sensor. A gas detecting element D and a compensating element C are stretched on each of two pins 2 and 3 which are fixed through the insulating material base 1. A heat shield 4 is erected between the two elements.
The element is covered with a breathable cap 5. The whole is gas sensor S.

【0003】ガス検知のためには、これら2 素子および
2 つの固定抵抗が各枝辺に組み込まれたブリッジ回路が
用いられている。図12は接触燃焼式のガスセンサのブリ
ッジ回路図である。2つの固定抵抗R1、R2の直列接続
と、ガス検出素子D と補償素子C の直列接続が並列接続
され、電源E による電圧のブリッジ回路への印加によっ
て2素子は通電、予熱されている。ガス検出素子D に可
燃性ガスが接触すると燃焼が起こり、白金コイルに温度
変化が生じて、可燃性ガス濃度に比例した電気抵抗変化
を生じる。補償素子C では可燃性ガスが接触しても燃焼
せず、このため温度変化が生じないので、この微小な電
気抵抗変化から、2つの固定抵抗の接続点およびガス検
出素子と補償素子の接合点との間に接続されている負荷
W に生じるブリッジ出力が可燃性ガスに比例して変化
し、可燃性ガス濃度を検出できる。
For gas detection, these two elements and
A bridge circuit is used in which two fixed resistors are incorporated in each branch. FIG. 12 is a bridge circuit diagram of a catalytic combustion type gas sensor. The series connection of two fixed resistors R1 and R2 and the series connection of the gas detection element D and the compensation element C are connected in parallel, and the two elements are energized and preheated by the application of the voltage from the power source E to the bridge circuit. When combustible gas comes into contact with the gas detection element D, combustion occurs, causing a temperature change in the platinum coil and an electric resistance change proportional to the combustible gas concentration. In the compensating element C, even if combustible gas comes into contact, it does not burn, and therefore temperature change does not occur. Therefore, from this minute change in electrical resistance, the connection point between the two fixed resistors and the junction point between the gas detection element and the compensation element. Load connected between
The bridge output generated in W changes in proportion to the combustible gas, and the combustible gas concentration can be detected.

【0004】可燃性ガスが接触していない時のブリッジ
出力をゼロ点出力と呼ぶ。可燃性ガスが接触していると
きのブリッジ出力にはゼロ点出力が加算されるので、ゼ
ロ点出力は小さい方がよい。
The bridge output when the combustible gas is not in contact is called the zero point output. Since the zero point output is added to the bridge output when the combustible gas is in contact, the zero point output should be small.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】実際に、ガス給湯器や
石油ファンヒータなどの燃焼機器の不完全燃焼を迅速に
検知するためには、これら機器の燃焼ガス中の不完全燃
焼成分(主に一酸化炭素ガス)が外気によって希釈され
る前の高濃度であるうちに可燃性ガスセンサに接触させ
ることが望ましく、可燃性ガスセンサは、燃焼室の排気
側または燃焼室に近い排気筒に取り付けられる。図13は
排気筒にガスセンサを取り付けた場合の断面図である。
ガスセンサS は、センサ取り付けボックス7 を介して、
排気筒6 に取り付けられている。このような場合、一般
的には、排気ガスG (以後、検知ガスと呼ぶ)の温度は
100 ℃以上の高温になり、しかも機種によってはファン
による強制排気のため毎秒数m の速度にもなる検知ガス
に晒されることにる。
Actually, in order to quickly detect the incomplete combustion of the combustion equipment such as the gas water heater and the oil fan heater, incomplete combustion components (mainly in the combustion gas of the equipment) are mainly detected. It is desirable to bring the combustible gas sensor into contact with the carbon monoxide gas) at a high concentration before being diluted with the outside air, and the combustible gas sensor is attached to the exhaust side of the combustion chamber or an exhaust stack close to the combustion chamber. FIG. 13 is a sectional view when a gas sensor is attached to the exhaust stack.
The gas sensor S is connected via the sensor mounting box 7
Attached to stack 6. In such a case, the temperature of the exhaust gas G (hereinafter referred to as the detection gas) is generally
It becomes a high temperature of 100 ℃ or more, and depending on the model, it will be exposed to the detection gas that is several meters per second due to forced exhaust by the fan.

【0006】本発明者らは、毎秒数m にも達する熱風が
ガスセンサに直接当たっても、センサの出力が変動しな
いように、特殊なガスセンサキャップを採用することに
より高速熱風対策を講じるようにするものも知られてい
る。さらに詳細な説明を行うと、接触燃焼式のガスセン
サの出力は、次のようにして定まる。
The inventors of the present invention take measures against high-speed hot air by adopting a special gas sensor cap so that the output of the sensor does not fluctuate even if hot air reaching several meters per second directly hits the gas sensor. Things are also known. In more detail, the output of the catalytic combustion type gas sensor is determined as follows.

【0007】直列に接続されたガス検知素子と補償素子
の金属コイルに通電することによりジュール発熱で与え
られる発熱量Qhと、それぞれの素子から金属コイルのリ
ード部を伝って金属ピンに熱伝導により放熱される熱量
Qcond 、各素子の表面から大気へ放熱される熱量Qconv
および素子の表面から熱放射により放熱される熱量Qrad
がバランスして、ガス検知素子と補償素子の金属コイル
の温度が定まる。もし、可燃性ガスが存在するときに
は、ガス検知素子ではガスの燃焼熱Qgasがジュール熱の
他に加わる。このようにして各素子の金属コイルの温度
により決まるコイル抵抗に従ってブリッジ出力が決定さ
れる。
The amount of heat Qh given by Joule heat generated by energizing the metal coils of the gas detecting element and the compensating element connected in series, and the heat conduction from each element to the metal pin through the lead portion of the metal coil. Amount of heat radiated
Qcond, the amount of heat radiated from the surface of each element to the atmosphere Qconv
And heat quantity Qrad radiated from the surface of the device by heat radiation
Are balanced to determine the temperatures of the metal coils of the gas detecting element and the compensating element. If flammable gas is present, the combustion heat Qgas of the gas is added to the Joule heat in the gas detection element. In this way, the bridge output is determined according to the coil resistance determined by the temperature of the metal coil of each element.

【0008】上記3 種の放熱のうち、例えば直径60μm
の白金コイルに直径1.5mm 程度の大きさの多孔質アルミ
ナ付着した素子を、ガス検知素子と補償素子を保持する
金属製ピン間隔を5mm としたピンに付けたときの放熱の
割合をシミュレーションにより求めることができる。シ
ミュレーションによると、上記素子温度が400 ℃以下で
は熱放射による放熱量Qradは放熱量全体の10% 以下で、
大部分の放熱は熱伝導による放熱量Qcond と大気への熱
伝達による放熱量Qconv により、その割合も、およそ
1:1である。
Among the above three types of heat radiation, for example, a diameter of 60 μm
Calculate the ratio of heat dissipation when a device with a 1.5 mm diameter porous alumina attached to a platinum coil is attached to a pin with a metal pin spacing of 5 mm that holds the gas detection device and the compensating device. be able to. According to the simulation, when the element temperature is 400 ° C or lower, the heat radiation amount Qrad due to heat radiation is 10% or less of the total heat radiation,
Most of the heat dissipation is about 1: 1 due to the heat dissipation Qcond due to heat conduction and the heat dissipation Qconv due to heat transfer to the atmosphere.

【0009】熱伝導による放熱量Qcond はコイル温度と
素子が張架されている金属製ピンの温度差に比例し、熱
伝達による放熱量Qconv は多孔質アルミナ表面温度と大
気温度の温度差に比例する。図11に示されるように、1
つのキャップにガス検知素子と補償素子を納めた構造で
は、たとえガス検知素子と補償素子の直近のキャップ温
度に違いがあってもキャップ内の空気は十分に対流する
ため各素子の温度は等しい。このためキャップに温度分
布があっても熱伝達による放熱に基づく影響は少ない。
一方、ガス検知素子と補償素子を保持しているピン間は
一般には電気絶縁性でかつ熱伝導率が小さいプラスチッ
クでベースを作るためにピン間に温度差が生じると、こ
れを反映して、両素子のコイル温度に差ができ、これに
よりゼロ点出力が変動する。
The heat dissipation Qcond due to heat conduction is proportional to the temperature difference between the coil temperature and the metal pin on which the element is stretched, and the heat dissipation Qconv due to heat transfer is proportional to the temperature difference between the porous alumina surface temperature and the atmospheric temperature. To do. 1 as shown in FIG.
In the structure in which the gas detecting element and the compensating element are housed in one cap, even if there is a difference in the cap temperature in the immediate vicinity of the gas detecting element and the compensating element, the air in the cap is sufficiently convected and the temperature of each element is equal. Therefore, even if there is a temperature distribution in the cap, there is little influence due to heat dissipation due to heat transfer.
On the other hand, between the pins holding the gas detecting element and the compensating element, a temperature difference occurs between the pins because the base is made of plastic that is generally electrically insulating and has low thermal conductivity. There is a difference in the coil temperatures of both elements, which causes the zero point output to fluctuate.

【0010】従来の顧客要求では、この程度のゼロ点出
力の変動は許容範囲とされていた。しかし、本質安全に
対する認識がより高まってきており、不完全燃焼を検知
するガスセンサに対する顧客要求も厳しくなってきた。
例えば、従来ゼロ点出力に対する要求が、COガスに換算
し0ppm±500ppmであったものが、0ppm±250ppmと2 倍も
の高精度が要求されるようになってきた。このような高
精度の要求に対しては、センサ取り付けボックスを介し
て伝わってくる熱によるガス検知素子と補償素子間の温
度差が無視できないという問題が生じてきた。
According to the conventional customer request, such a fluctuation of the zero point output is within the allowable range. However, awareness of intrinsic safety is increasing, and customer requirements for gas sensors that detect incomplete combustion have also become strict.
For example, the conventional requirement for zero-point output was 0 ppm ± 500 ppm when converted to CO gas, but now it is 0 ppm ± 250 ppm, which is twice as accurate as required. In order to meet such a demand for high accuracy, there has been a problem that the temperature difference between the gas detecting element and the compensating element due to the heat transmitted through the sensor mounting box cannot be ignored.

【0011】さらに、実際には給湯器に点火すると急激
に排気ガス温度が上昇し、これに伴ってガスセンサ取り
付け部の温度も急激に上昇する。このときガスセンサ取
り付け部に平衡状態とは異なる微妙な温度分布ができ、
これにより実際の一酸化炭素ガス濃度より大きなみかけ
の過渡出力がでることも問題点の一つであった。この発
明は上述の問題に鑑みてなされ、その目的は高速熱風が
流れている状態でもガス検知素子と補償素子を張架して
いる金属製ピン間の温度差を小さくすることにより、平
衡状態は勿論、過渡状態のゼロ点出力変動を低減させた
ガスセンサを提供することにある。
Further, in actuality, when the water heater is ignited, the temperature of the exhaust gas rapidly rises, and along with this, the temperature of the gas sensor mounting portion also sharply rises. At this time, a delicate temperature distribution different from the equilibrium state is created in the gas sensor mounting part,
As a result, an apparent transient output larger than the actual concentration of carbon monoxide gas is also a problem. The present invention has been made in view of the above problems, and an object thereof is to reduce the temperature difference between the metal pin that stretches the gas detection element and the compensating element even when high-speed hot air is flowing, thereby achieving an equilibrium state. Of course, another object of the present invention is to provide a gas sensor with reduced zero-point output fluctuation in a transient state.

【0012】[0012]

【課題を解決するための手段】上述の目的を達成するた
めに、接触燃焼式のガス検出素子と補償素子とが、電気
絶縁性のベースに貫通固定されている4本の金属製ピン
の隣接する各2本にそれぞれ張架され、通気性キャップ
がこれら素子を覆ってベースに被せられているガスセン
サにおいて、ガス検知素子と補償素子を保持している電
気絶縁性のベースを貫通固定している金属製ピンは熱的
に結合されていることとする。
In order to achieve the above object, the contact combustion type gas detecting element and the compensating element are adjacent to each other by four metal pins which are fixed through the electrically insulating base. In a gas sensor which is stretched on each of the two, and a breathable cap covers these elements and covers the base, the electrically insulating base holding the gas detection element and the compensation element is fixed through. The metal pins shall be thermally bonded.

【0013】ガス検知素子と補償素子を保持している各
々2本の金属製ピンの内、少なくとも電気的に共通とな
る金属製ピン同志を金属棒で接続することにより、熱的
に結合されていると良い。上記のガスセンサにおいて、
電気的に共通となる金属製ピンどうしを金属棒で接続す
る際に、接続する金属棒と金属製ピンを逆U 字形、ある
いは逆J 字形とすることにより熱的に結合されていると
良い。
Of the two metal pins each holding the gas detecting element and the compensating element, at least electrically common metal pins are connected by a metal rod so that they are thermally coupled. Good to be In the above gas sensor,
When connecting metal pins that are electrically common to each other with a metal rod, it is preferable that the metal rod and the metal pin to be connected have an inverted U-shape or an inverted J-shape to be thermally coupled.

【0014】あるいは、電気的に共通となる金属製ピン
同志を金属棒で接続する際に、接続する金属棒と金属製
ピンをU 字形とすることにより熱的に結合されていると
良い。あるいは、電気的に共通となる金属製ピンどうし
を金属棒で接続する際に、接続する金属棒と金属製ピン
をH 字形とすることにより熱的に結合されていると良
い。
Alternatively, when connecting electrically common metal pins to each other with a metal rod, it is preferable that the metal rod and the metal pin to be connected are U-shaped to be thermally coupled. Alternatively, when metal pins that are electrically common to each other are connected with a metal rod, it is preferable that the metal rod and the metal pin to be connected have an H-shape to be thermally coupled.

【0015】また、ガス検知素子と補償素子を保持して
いる金属製ピンが電気絶縁性膜を表面に有する金属板で
熱的に結合されると良い。また、ガス検知素子と補償素
子を張架している金属製ピンが2本の逆U 字形ピンから
成り、かつ2本の逆U 字形ピンの一部が切断されること
により電気絶縁性を有し、かつこの切断された部分が空
気より熱伝導率が大きく、また電気絶縁性を有する材料
で埋められていると良い。
Further, it is preferable that the metal pin holding the gas detecting element and the compensating element be thermally coupled by a metal plate having an electrically insulating film on the surface. In addition, the metal pin that stretches the gas sensing element and the compensating element consists of two inverted U-shaped pins, and the two inverted U-shaped pins are partially cut to provide electrical insulation. In addition, it is preferable that the cut portion is filled with a material having a thermal conductivity higher than that of air and having electric insulation.

【0016】また、ガス検知素子と補償素子を保持して
いる金属製ピンの形状が、ガス検知素子と補償素子が張
架されている部分の金属製ピン間距離よりも、金属製ピ
ンがベースを貫通固定している部分の距離が短くなって
いることにより金属製ピンが熱的に結合されていると良
い。また、ガス検知素子と補償素子を保持している金属
製ピンを固定している電気絶縁性ベースが熱伝導の大き
い材料で構成されていることより金属製ピンが熱的に結
合されていると良い。
Further, the shape of the metal pin holding the gas detecting element and the compensating element is based on the metal pin rather than the distance between the metal pins in the portion where the gas detecting element and the compensating element are stretched. It is preferable that the metal pin is thermally coupled by shortening the distance of the portion through which is fixed. In addition, since the electrically insulating base fixing the metal pin holding the gas detecting element and the compensating element is made of a material having high heat conduction, the metal pin is thermally coupled. good.

【0017】上記ガスセンサにおいて、ガス検知素子と
補償素子を保持している金属製ピンを固定している電気
絶縁性ベースが窒化アルミニウムを主成分とするセラミ
ックスであると良い。また、ガス検知素子と補償素子を
保持している金属製ピンを固定している電気絶縁性ベー
スに金属板を埋め込むことにより金属製ピンが熱的に結
合されていると良い。
In the above gas sensor, the electrically insulating base fixing the metal pin holding the gas detecting element and the compensating element is preferably a ceramic containing aluminum nitride as a main component. Further, it is preferable that the metal pins are thermally coupled by embedding a metal plate in the electrically insulating base fixing the metal pins holding the gas detecting element and the compensating element.

【0018】また、前記の手段のうちから、少なくとも
二つの方法を組み合わせて金属製ピンが熱的に結合され
ていても良い。この発明によれば、ガス検知素子と補償
素子を張架し、電気絶縁性のベースを貫通固定されてい
る金属製ピンに、ピン自体あるいは他の金属製の棒を介
してのの相互接触または相互近接、あるいは高熱伝導性
のベースの介在による、熱的結合の強化によって、ピン
間の熱伝導が向上する。その結果、各金属製ピン間の温
度差が緩和されるため、可燃性ガスがない状態のセンサ
出力、すなわちゼロ点出力の精度が従来に比べ格段に改
善できる。また、同様の理由により、過渡状態のゼロ点
出力変動も大幅に減少することが期待できる。
The metal pins may be thermally coupled by combining at least two methods out of the above means. According to the present invention, the gas sensing element and the compensating element are stretched, and the metal pin fixed through the electrically insulating base is in mutual contact with the pin itself or through another metal rod or The enhanced thermal coupling due to the close proximity of each other or the interposition of a high thermal conductivity base improves the heat transfer between the pins. As a result, the temperature difference between the metal pins is alleviated, so that the accuracy of the sensor output in the absence of combustible gas, that is, the zero point output, can be significantly improved compared to the conventional case. Further, for the same reason, it can be expected that the zero-point output fluctuation in the transient state is significantly reduced.

【0019】[0019]

【発明の実施の形態】以下実施例に従って本発明の内容
を説明する。以下の実施例の図では、図を見やすくする
ために、ガス検知素子と補償素子の熱干渉を防止するた
めに設けられている熱遮蔽板と通気性キャップは省略し
ている。 実施例1 この実施例では、ガス検知素子と補償素子を保持してい
る金属ピンのうち電気的に共通なピン同志を金属棒で接
続することによって、熱的結合を強めた。させるため
に、逆U 字構造としたものである。この結合によりガス
検知素子と補償素子間の温度差を緩和しようというもの
である。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION The contents of the present invention will be described below with reference to Examples. In the drawings of the following embodiments, a heat shield plate and a breathable cap provided to prevent thermal interference between the gas detection element and the compensation element are omitted for clarity. Example 1 In this example, among the metal pins holding the gas detecting element and the compensating element, electrically common pins were connected by a metal rod to enhance thermal coupling. In order to make it possible, it has an inverted U-shaped structure. This coupling is intended to reduce the temperature difference between the gas detection element and the compensation element.

【0020】図1 は本発明に係る実施例のガスセンサの
斜視図であり、(a) は逆U 字構造の金属ピンの場合、
(b) は逆J 字構造の金属ピンの場合、(c) はU 字構造の
金属ピンの場合、(d) はH 字構造の金属ピンの場合であ
る。ピンは直径1mm のステンレス(SUS) 棒とし、U およ
びJ 字型は横棒部23は 棒を曲げて作製し、H 字型の横
棒部23は短いSUS 棒を各ピンに溶接して作製した。各字
型をSUS 板から打ち抜いて作製しても良い。他の部材は
従来のガスセンサと同じとした。ピンの材質としては他
に洋白、マンガニンなどを用いることができる。
FIG. 1 is a perspective view of a gas sensor according to an embodiment of the present invention. (A) shows a metal pin having an inverted U-shaped structure,
(b) is the case of the inverted J-shaped metal pin, (c) is the case of the U-shaped metal pin, and (d) is the case of the H-shaped metal pin. The pins are stainless steel (SUS) rods with a diameter of 1 mm.The U-shaped and J-shaped horizontal bars 23 are made by bending the rods, and the H-shaped horizontal bars 23 are made by welding a short SUS rod to each pin. did. Each shape may be punched out from a SUS plate. The other members were the same as those of the conventional gas sensor. As the material of the pins, other materials such as nickel silver and manganin can be used.

【0021】作製したガスセンサの熱的結合の結果であ
るゼロ点出力を次のようにして調べた。図2 はピン間に
温度差を生じさせるための治具に取り付けられたガスセ
ンサの断面模式図である。この治具は、ガスセンサS の
キャップよりやや大きい直径の穴を開けたSUS 板8 に、
ガスセンサのキャップを接触しないように差し込み、同
じ穴を開けたベースの厚さの段を付けたSUS 金具9 でベ
ースを押さえ2つのネジN1およびN2により止めできるよ
うになっている。SUS 板8 に温度差を付けて、2 つのネ
ジに温度差(ΔTs)が付くようにし、その温度差のとき
のゼロ点変動を調べた。
The zero point output, which is the result of thermal coupling of the produced gas sensor, was examined as follows. Fig. 2 is a schematic sectional view of a gas sensor attached to a jig for producing a temperature difference between pins. This jig is a SUS plate 8 with a hole slightly larger than the gas sensor S cap.
The cap of the gas sensor is inserted without touching it, and the base is held by the SUS metal fitting 9 having the same hole and the step of the thickness of the base, and it can be stopped with two screws N1 and N2. A temperature difference was applied to the SUS plate 8 so that there was a temperature difference (ΔTs) between the two screws, and the zero point fluctuation at that temperature difference was investigated.

【0022】図3 は本発明に係る実施例のネジの温度差
(ΔTs)に対するゼロ点出力のグラフである。直線a は
逆U 字型のピンの場合、直線b は逆J 字型のピンの場
合、直線c は U字型のピンの場合、直線d はJ 字型のピ
ンの場合であり、直線e は従来ガスセンサの場合であ
る。従来ガスセンサでは両ネジ取り付け位置に10℃の温
度差があると、1mV のゼロ点出力が生じた。これはCOガ
ス濃度に換算すると、500ppmに相当するものである。し
かし、本発明に係るガスセンサでは、10℃の温度差によ
るゼロ点変動は、逆U 字型および逆J 字型のピンの場
合、0.5mV と従来ガスセンサに比べ半減していることが
分かる。また、H 字型の場合は、最もゼロ点出力は小さ
く、熱的結合部が素子から遠くベースの外にあるU 字型
のピンの場合でも従来ガスセンサに比べかなり小さかっ
た。
FIG. 3 is a graph of the zero point output with respect to the temperature difference (ΔTs) of the screw according to the embodiment of the present invention. Straight line a is for an inverted U-shaped pin, straight line b is for an inverted J-shaped pin, straight line c is for a U-shaped pin, straight line d is for a J-shaped pin, and straight line e is Is the case of a conventional gas sensor. In the conventional gas sensor, if there was a temperature difference of 10 ° C between the screw mounting positions, a zero point output of 1 mV occurred. This is equivalent to 500 ppm when converted to CO gas concentration. However, in the gas sensor according to the present invention, the zero-point fluctuation due to the temperature difference of 10 ° C. is 0.5 mV for the inverted U-shaped and inverted J-shaped pins, which is half that of the conventional gas sensor. In addition, the H-shaped type has the smallest zero-point output, and the U-shaped pin whose thermal coupling part is far from the element and outside the base is considerably smaller than the conventional gas sensor.

【0023】熱的結合するための横棒の位置はベース上
部でも、ベース内部でもよいが、より効果が大きいのは
ベース上部で接続したときであった。以上から、H 字型
と、逆U 字型または逆J 字型との組み合わせはさらにゼ
ロ点出力を下げることが推定できる。 実施例2 この実施例では、ガス検知素子と補償素子を張架してい
る金属ピンの頭部に電気絶縁膜を施した金属板を固着さ
せることにより、熱的結合を強めた。ピンは互いに絶縁
されているので、この構造は同電位でないピン間に適用
できる。図4 は本発明に係る他の実施例のガスセンサの
斜視図であり、(a)は円板の場合、(b)は円環の場
合、(c)は十字型の場合であり、(d)はこれらの断
面図である。
The position of the horizontal bar for thermal coupling may be at the upper part of the base or inside the base, but the more effective effect was at the time of connection at the upper part of the base. From the above, it can be estimated that the combination of the H-shape and the inverted U-shape or the inverted J-shape further lowers the zero-point output. Example 2 In this example, thermal coupling was strengthened by fixing a metal plate provided with an electric insulating film to the head of the metal pin that stretches the gas detection element and the compensation element. Since the pins are isolated from each other, this structure can be applied between pins that are not equipotential. FIG. 4 is a perspective view of a gas sensor according to another embodiment of the present invention. (A) is a disk, (b) is a ring, (c) is a cross shape, and (d) is ) Is a cross-sectional view of these.

【0024】金属板23a は厚さ1 mmのSUS 板とした。円
環と十字型は素子付近のガスの流通の改良を図ったもの
である。電気絶縁膜23i は熱結合の観点からは薄ければ
薄い程良く、本実施例では市販の水ガラスを水道水で薄
めた溶液を塗布し、約5 μm厚さの膜を付けた。水ガラ
スから作った電気絶縁膜23i を施した金属板に再度水ガ
ラスを塗布し、これにより金属ピンに接着した。電気絶
縁膜23i はスパッタまたはCVDによる酸化ケイ素膜で
もよい。
The metal plate 23a was a 1 mm thick SUS plate. The ring shape and the cross shape aim to improve the flow of gas around the element. From the viewpoint of thermal coupling, the thinner the electric insulating film 23i, the better. In this embodiment, a commercially available water glass diluted with tap water was applied to form a film having a thickness of about 5 μm. Water glass was applied again to the metal plate provided with the electrically insulating film 23i made of water glass, and thereby adhered to the metal pin. The electric insulating film 23i may be a silicon oxide film formed by sputtering or CVD.

【0025】このような構造のガスセンサでも、実施例
1と同様なゼロ点出力の変動の少ないことが確認でき
た。 実施例3 図5 は本発明に係る別の実施例のガスセンサの斜視図で
ある。この実施例では、ガス検知素子と補償素子を張架
している金属ピン2 とピン3の上部を曲げ横棒とし、そ
の先端を空気より熱伝導が大きく、かつ電気絶縁性を有
する材料で接着し、全体として逆U 字型のピンとして、
熱的結合を強めた。この横棒と接着部の符号を23b とす
る。2 つのピンの間の非接触を確保するために電気絶縁
性薄膜を挟んでもよい。ピンは互いに絶縁されているの
で、この構造は同電位でないピン間に適用できる。
It was confirmed that even with the gas sensor having such a structure, there is little fluctuation in the zero-point output as in the first embodiment. Third Embodiment FIG. 5 is a perspective view of a gas sensor according to another embodiment of the present invention. In this embodiment, the upper portions of the metal pins 2 and 3 on which the gas sensing element and the compensating element are stretched are bent horizontal rods, and the tips thereof are bonded with a material that has greater thermal conductivity than air and has electrical insulation. Then, as a general inverted U-shaped pin,
Strengthened the thermal bond. The number of this horizontal bar and the bonded portion is 23b. An electrically insulating film may be sandwiched to ensure a non-contact between the two pins. Since the pins are isolated from each other, this structure can be applied between pins that are not equipotential.

【0026】ピンの先端部を曲げ横棒とし、その先端を
120 ℃の熱処理で十分な特性を示す無機接着剤、あるい
は高濃度の水ガラスで埋め接着した。2 つのピン先端の
間隔は狭いほど、熱的結合は強く、ゼロ点出力の変動を
抑える効果は大きく、3mm 以内の間隔では従来構造との
差が認められた。 実施例4 図6 は本発明に係る別の実施例のガスセンサの斜視図で
ある。
The tip of the pin is a bent horizontal bar, and the tip is
It was filled and bonded with an inorganic adhesive exhibiting sufficient properties by heat treatment at 120 ° C or high-concentration water glass. The narrower the distance between the two pin tips, the stronger the thermal coupling, and the greater the effect of suppressing the fluctuation of the zero-point output. A difference with the conventional structure was confirmed at an interval of 3 mm or less. Embodiment 4 FIG. 6 is a perspective view of a gas sensor of another embodiment according to the present invention.

【0027】この実施例では、ガス検知素子と補償素子
を張架している金属ピン2 またはピン3 のベースを貫通
している部分23c のピン間隔がガス検知素子と補償素子
を保持している部分のピン間隔よりも狭くすることによ
り、熱的結合を強めた。した構造を示したものである。
本発明の効果はピンが貫通している部分の距離に対し
て、ガス検知素子と補償素子を保持している部分の金属
ピンの半分以下のときに顕著であった。 実施例5 この実施例では、ピンの形態を変化させる代わりに、ベ
ースの材料をより熱伝導率が大きく、かつ電気絶縁性を
有する材料に代えて、ピン間の熱的結合を強めた。
In this embodiment, the pin spacing of the portion 23c penetrating the base of the metal pin 2 or the pin 3 which stretches the gas detecting element and the compensating element holds the gas detecting element and the compensating element. The thermal coupling was strengthened by making the pin spacing narrower than that of the part. The structure shown in FIG.
The effect of the present invention was remarkable when the distance was less than half of the metal pin in the portion holding the gas detecting element and the compensating element with respect to the distance in the portion penetrating the pin. Example 5 In this example, instead of changing the morphology of the pins, the base material was replaced by a material with higher thermal conductivity and electrical insulation to enhance the thermal coupling between the pins.

【0028】窒化アルミニウムでベースを作製し、従来
と同じサイズ、構造のガスセンサを作製した。実施例1
と同じ方法で、ゼロ点出力点の変動を調べたところ、本
実施例ではゼロ点変動が0.4mV に低減した。 実施例6 図7 は本発明に係る別の実施例のガスセンサの断面図で
あり、(a) は金属板がベース下部にある場合、(b) は金
属板がベース上部にある場合、(c) はこれらの平面図で
ある。
A base was made of aluminum nitride, and a gas sensor having the same size and structure as the conventional one was made. Example 1
When the variation of the zero-point output point was examined by the same method as that of Example 1, the zero-point variation was reduced to 0.4 mV in this example. Embodiment 6 FIG. 7 is a cross-sectional view of a gas sensor of another embodiment according to the present invention. (A) is a case where the metal plate is below the base, (b) is a case where the metal plate is above the base, and (c) is ) Is a plan view of these.

【0029】ピンの形態を変化させる代わりに、金属板
23d とピンとが近接するが接触しないように、ベースの
ピンの間に金属板23d を埋め込むことにより、ガス検知
素子と補償素子を張架している金属ピン間の熱結合を強
めた。金属板23d は厚さ2 mmのSUS 板とした。その他は
従来と同じ構造とした。作製したガスセンサを実施例1
と同じ方法で、ゼロ点出力点の変動を調べたところ、本
実施例ではゼロ点変動が0.7 mVに低減した。
Instead of changing the form of the pin, a metal plate
By embedding a metal plate 23d between the pins of the base so that the pins 23d and the pins are not in contact with each other, thermal coupling between the gas detection element and the metal pin that stretches the compensating element is strengthened. The metal plate 23d was a 2 mm thick SUS plate. Others have the same structure as the conventional one. The manufactured gas sensor was used in Example 1.
When the variation of the zero-point output point was examined by the same method as in Example 1, the zero-point variation was reduced to 0.7 mV in this example.

【0030】図 8は金属ベースのガスセンサの断面図で
ある。上記の金属板を大きくした極限は、ベース1m自体
が金属板であり、そこに開けられた穴にピンが貫通し、
ベース金属に接触しないようにピンは元のベース材料(
高耐熱性樹脂) または低融点ガラスにより固定された構
造となる。固定部の符号は1cである。このようなガスセ
ンサのゼロ点出力点の変動が小さいことは容易に推定で
きる。 実施例7 この実施例では、上記の実施例のうちの2 つを複合させ
て、ガス検知素子と補償素子を張架している金属ピン間
の熱結合を一層強めた。
FIG. 8 is a sectional view of a metal-based gas sensor. The limit of enlarging the above metal plate is that the base 1m itself is a metal plate, and the pin penetrates the hole opened there,
Make sure the pins are in the original base material (
The structure is fixed by high heat resistant resin) or low melting point glass. The code of the fixed part is 1c. It can be easily estimated that such a fluctuation of the zero output point of the gas sensor is small. Example 7 In this example, two of the above examples were combined to further enhance the thermal coupling between the metal pins that span the gas sensing element and the compensating element.

【0031】図9 は本発明に係る別の実施例のガスセン
サの斜視図である。実施例1 における逆U 字形ピンの場
合と、実施例3 における逆U 字形ピンの先端部の非接触
接着の場合の複合ガスセンサを作製した。横棒部23が同
電位とされるピンを接続し、横棒と接着部23b が電位の
異なるピンを接続し、それぞれ熱的結合を強めている。
FIG. 9 is a perspective view of a gas sensor of another embodiment according to the present invention. A composite gas sensor was manufactured for the case of the inverted U-shaped pin in Example 1 and for the case of non-contact adhesion of the tip of the inverted U-shaped pin in Example 3. The horizontal bar portion 23 connects pins having the same electric potential, and the horizontal bar and the adhesive portion 23b connect pins having different electric potentials, respectively, to enhance thermal coupling.

【0032】作製したガスセンサを実施例1と同じ方法
で、ゼロ点出力点の変動を調べたところ、本実施例では
ゼロ点変動が0.2 mVに低減した。この値はCOガス濃度換
算で±100ppm の低濃度に相当する。この複合ガスセン
サを実際の給湯器の排気筒に装着し、給湯器を点火して
からガスセンサが平衡状態になるまでの過渡応答出力を
調べた。
When the variation of the zero point output point of the produced gas sensor was examined by the same method as in Example 1, the zero point variation was reduced to 0.2 mV in this example. This value corresponds to a low concentration of ± 100 ppm in terms of CO gas concentration conversion. This composite gas sensor was attached to the exhaust pipe of an actual water heater, and the transient response output from ignition of the water heater to the equilibrium state of the gas sensor was examined.

【0033】図10はこの実施例の複合型ガスセンサを給
湯器における過渡応答出力のグラフである。図には比較
のため、従来のガスセンサの過渡応答出力も付記してあ
る。横軸は給湯器の点火後の時間であり、縦軸はゼロ点
出力から換算した一酸化炭素ガス濃度である。カーブf
は本発明のガスセンサ、カーブg は従来のガスセンサの
カーブである。
FIG. 10 is a graph of transient response output in the water heater of the combined gas sensor of this embodiment. For comparison, the graph also shows the transient response output of the conventional gas sensor. The horizontal axis is the time after ignition of the water heater, and the vertical axis is the carbon monoxide gas concentration converted from the zero point output. Curve f
Is a gas sensor of the present invention, and curve g is a curve of a conventional gas sensor.

【0034】この図から、従来のガスセンサのカーブは
ゼロ点出力の変動によるみかけ上の高い一酸化炭素ガス
濃度を示すが、本発明のガスセンサはみかけ上の濃度の
加算されていないことが判る。このように、過渡応答に
対しても本発明の効果が認められる。他の組み合わせの
複合タイプにおいても、一層ゼロ点変動を低減できるこ
とは容易に推定できる。
From this figure, it is understood that the curve of the conventional gas sensor shows an apparently high carbon monoxide gas concentration due to the fluctuation of the zero-point output, but the gas sensor of the present invention does not add the apparent concentration. As described above, the effect of the present invention can be recognized also for the transient response. It can be easily estimated that the zero-point variation can be further reduced even in the case of other combination types.

【0035】[0035]

【発明の効果】この発明によれば、ガス検知素子と補償
素子を張架し、電気絶縁性のベースを貫通固定されてい
る金属製ピンに、ピン自体あるいは他の金属製の棒を介
してのの相互接触または相互近接、あるいは高熱伝導性
のベースの介在による、熱的結合の強化によって、ピン
間の熱伝導が向上する。その結果、各金属製ピン間の温
度差が緩和されるため、可燃性ガスがない状態のセンサ
出力、すなわちゼロ点出力の精度が従来に比べ格段に改
善できる。また、同様の理由により、過渡状態のゼロ点
出力変動も大幅に減少することができる。
According to the present invention, the gas detecting element and the compensating element are stretched, and the metal pin is fixed through the electrically insulating base through the pin itself or another rod made of metal. The enhanced thermal coupling, either by mutual contact or close proximity to each other, or by interposition of a base of high thermal conductivity, improves heat transfer between the pins. As a result, the temperature difference between the metal pins is alleviated, so that the accuracy of the sensor output in the absence of combustible gas, that is, the zero point output, can be significantly improved compared to the conventional case. Further, for the same reason, the zero point output fluctuation in the transient state can be significantly reduced.

【0036】したがって、本発明のガスセンサは温度変
化の急激な、ガス給湯器などに適用できる。また、この
発明では、特殊な構造等が不必要なため従来のガスセン
サに較べコストは殆ど上昇しない。
Therefore, the gas sensor of the present invention can be applied to a gas water heater or the like where the temperature changes rapidly. Further, in the present invention, since a special structure or the like is unnecessary, the cost hardly rises as compared with the conventional gas sensor.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明に係る実施例のガスセンサの斜視図、
(a) は逆U 字構造の金属ピンの場合、(b) は逆J 字構造
の金属ピンの場合、(c) はU 字構造の金属ピンの場合、
(d) はH 字構造の金属ピンの場合
FIG. 1 is a perspective view of a gas sensor according to an embodiment of the present invention,
(a) is an inverted U-shaped metal pin, (b) is an inverted J-shaped metal pin, (c) is a U-shaped metal pin,
(d) is for H-shaped metal pin

【図2】ピン間に温度差を生じさせるための治具に取り
付けられたガスセンサの断面模式図
FIG. 2 is a schematic sectional view of a gas sensor attached to a jig for producing a temperature difference between pins.

【図3】本発明に係る実施例のネジに温度差(ΔTs)に
対するゼロ点出力のグラフ
FIG. 3 is a graph of a zero point output with respect to a temperature difference (ΔTs) of a screw according to an embodiment of the present invention.

【図4】本発明に係る他の実施例のガスセンサの斜視
図、(a)は円板の場合、(b)は円環の場合、(c)
は十字型の場合、(d)はこれらの断面図
FIG. 4 is a perspective view of a gas sensor according to another embodiment of the present invention, where (a) is a disc, (b) is a ring, and (c).
Is a cross shape, (d) is a cross-sectional view of these

【図5】本発明に係る別の実施例のガスセンサの斜視図FIG. 5 is a perspective view of a gas sensor according to another embodiment of the present invention.

【図6】本発明に係る別の実施例のガスセンサの斜視図FIG. 6 is a perspective view of a gas sensor according to another embodiment of the present invention.

【図7】本発明に係る別の実施例のガスセンサの断面
図、(a) は金属板がベース下部にる場合、(b) は金属板
がベース上部にある場合、(c) はこれらの平面図
FIG. 7 is a cross-sectional view of a gas sensor of another embodiment according to the present invention, (a) shows a case where the metal plate is at the bottom of the base, (b) shows a case where the metal plate is at the top of the base, and (c) shows these. Plan view

【図8】金属ベースのガスセンサの断面図FIG. 8 is a sectional view of a metal-based gas sensor.

【図9】本発明に係る別の実施例のガスセンサの斜視図FIG. 9 is a perspective view of a gas sensor according to another embodiment of the present invention.

【図10】複合型ガスセンサを給湯器における過渡応答
出力のグラフ
FIG. 10 is a graph of transient response output in a water heater with a composite gas sensor.

【図11】従来の接触燃焼式可燃性ガスセンサの透視斜
視図
FIG. 11 is a perspective view of a conventional contact combustion type combustible gas sensor.

【図12】接触燃焼式のガスセンサのブリッジ回路図FIG. 12 is a bridge circuit diagram of a catalytic combustion type gas sensor.

【図13】排気筒にガスセンサを取り付けた場合の断面
FIG. 13 is a sectional view when a gas sensor is attached to an exhaust stack.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

D ガス検知素子 C 補償素子 1 ベース 2 ピン 2a ピン 3 ピン 3a ピン 23 横棒 23a 金属板 23b 横棒と接着部 23c 横棒と接着部 23d 金属板 4 熱遮蔽板 5 キャップ R1 抵抗 R2 抵抗 E 電源 W 負荷 6 排気筒 7 ガスセンサ取り付け部 8 SUS 板 9 押さえ治具 N1 ネジ N2 ネジ D Gas detector C Compensator 1 Base 2 Pin 2a Pin 3 Pin 3a Pin 23 Horizontal bar 23a Metal plate 23b Horizontal bar and adhesive 23c Horizontal bar and adhesive 23d Metal plate 4 Thermal shield 5 Cap R1 Resistance R2 Resistance E Power supply W load 6 Exhaust stack 7 Gas sensor mounting part 8 SUS plate 9 Holding jig N1 screw N2 screw

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 井上 文宏 神奈川県川崎市川崎区田辺新田1番1号 富士電機株式会社内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Fumihiro Inoue 1-1 Tanabe Nitta, Kawasaki-ku, Kawasaki-shi, Kanagawa Fuji Electric Co., Ltd.

Claims (12)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】接触燃焼式のガス検出素子と補償素子と
が、電気絶縁性のベースに貫通固定されている4本の金
属製ピンの隣接する各2本にそれぞれ張架され、通気性
キャップがこれら素子を覆ってベースに被せられている
ガスセンサにおいて、ガス検知素子と補償素子を保持し
ている電気絶縁性のベースを貫通固定している金属製ピ
ンが熱的に結合されていることを特徴とするガスセン
サ。
1. A contact combustion type gas detecting element and a compensating element are respectively stretched on two adjacent two of four metal pins which are fixedly penetrated through an electrically insulating base to form a breathable cap. In the gas sensor that covers these elements and covers the base, it is confirmed that the metal pin that is fixed through the electrically insulating base holding the gas detection element and the compensation element is thermally coupled. Characteristic gas sensor.
【請求項2】請求項1に記載のガスセンサにおいて、ガ
ス検知素子と補償素子を保持している各々2本の金属製
ピンの内、少なくとも電気的に共通となる金属製ピン同
志を金属棒で接続することにより、熱的に結合されたこ
とを特徴とするガスセンサ。
2. The gas sensor according to claim 1, wherein among the two metal pins each holding the gas detecting element and the compensating element, at least electrically common metal pins are metal rods. A gas sensor characterized by being thermally coupled by being connected.
【請求項3】請求項2に記載のガスセンサにおいて、電
気的に共通となる金属製ピンどうしを金属棒で接続する
際に、接続する金属棒と金属製ピンが逆U 字形, あるい
は逆J 字形で、熱的に結合されたことを特徴とするガス
センサ。
3. The gas sensor according to claim 2, wherein when metal pins that are electrically common to each other are connected by a metal rod, the metal rod and the metal pin to be connected have an inverted U shape or an inverted J shape. The gas sensor is characterized by being thermally coupled.
【請求項4】請求項2に記載のガスセンサにおいて、電
気的に共通となる金属製ピンどうしを金属棒で接続する
際に、接続する金属棒と金属製ピンがU 字形で熱的に結
合されたことを特徴とするガスセンサ。
4. The gas sensor according to claim 2, wherein when the metal pins that are electrically common to each other are connected by a metal rod, the metal rod and the metal pin to be connected are thermally coupled in a U shape. A gas sensor characterized in that
【請求項5】請求項2に記載のガスセンサにおいて、電
気的に共通となる金属製ピンどうしを金属棒で接続する
際に、接続する金属棒と金属製ピンがH 字形で熱的に結
合されたことを特徴とするガスセンサ。
5. The gas sensor according to claim 2, wherein when the metal pins that are electrically common to each other are connected by the metal rod, the connecting metal rod and the metal pin are thermally coupled in an H shape. A gas sensor characterized in that
【請求項6】請求項1に記載のガスセンサにおいて、ガ
ス検知素子と補償素子を保持している金属製ピンが電気
絶縁性膜を表面に有する金属板で熱的に結合されたこと
を特徴とするガスセンサ。
6. The gas sensor according to claim 1, wherein the metal pin holding the gas detecting element and the compensating element are thermally coupled by a metal plate having an electrically insulating film on the surface thereof. Gas sensor to do.
【請求項7】請求項1に記載のガスセンサにおいて、ガ
ス検知素子と補償素子を保持している金属製ピンが2本
の逆U 字形ピンから成り、かつ2本の逆U 字形ピンの一
部が切断されることにより電気絶縁性を有し、かつこの
切断された部分が空気より熱伝導率が大きく、また電気
絶縁性を有する材料で埋められていることを特徴とする
ガスセンサ。
7. The gas sensor according to claim 1, wherein the metal pin holding the gas detecting element and the compensating element comprises two inverted U-shaped pins, and a part of the two inverted U-shaped pins. A gas sensor having electrical insulation by being cut, and the cut portion being filled with a material having higher thermal conductivity than air and having electric insulation.
【請求項8】請求項1に記載のガスセンサにおいて、ガ
ス検知素子と補償素子を保持している金属製ピンの形状
が、ガス検知素子と補償素子が保持されている部分の金
属製ピン間距離よりも、金属製ピンがベースを貫通固定
している部分の距離が短くなっていることにより金属製
ピンが熱的に結合されていることを特徴とするガスセン
サ。
8. The gas sensor according to claim 1, wherein the shape of the metal pin holding the gas detecting element and the compensating element is a distance between the metal pins holding the gas detecting element and the compensating element. The gas sensor is characterized in that the metal pins are thermally coupled to each other by shortening the distance of the portion where the metal pins are fixed through the base.
【請求項9】請求項1に記載のガスセンサにおいて、ガ
ス検知素子と補償素子を保持している金属製ピンを固定
している電気絶縁性ベースが熱伝導の大きい材料で構成
されていることより金属製ピンが熱的に結合されている
ことを特徴とするガスセンサ。
9. The gas sensor according to claim 1, wherein the electrically insulating base fixing the metal pin holding the gas detecting element and the compensating element is made of a material having high heat conductivity. A gas sensor characterized in that metal pins are thermally coupled.
【請求項10】請求項8に記載のガスセンサにおいて、
ガス検知素子と補償素子を保持している金属製ピンを固
定している電気絶縁性ベースが窒化アルミニウムを主成
分とするセラミックスであることを特徴とするガスセン
サ。
10. The gas sensor according to claim 8, wherein
A gas sensor characterized in that an electrically insulating base fixing a metal pin holding a gas detecting element and a compensating element is a ceramic containing aluminum nitride as a main component.
【請求項11】請求項8に記載のガスセンサにおいて、
ガス検知素子と補償素子を保持している金属製ピンを固
定している電気絶縁性ベースに金属板を埋め込むことに
より金属製ピンが熱的に結合されていることを特徴とす
るガスセンサ。
11. The gas sensor according to claim 8, wherein
A gas sensor characterized in that the metal pins are thermally coupled by embedding a metal plate in an electrically insulating base fixing the metal pins holding the gas detecting element and the compensating element.
【請求項12】請求項1に記載のガスセンサにおいて、
請求項2から11のなかから、少なくとも二つの方法を
組み合わせたことを特徴とするガスセンサ。
12. The gas sensor according to claim 1, wherein
A gas sensor according to any one of claims 2 to 11, characterized by combining at least two methods.
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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1351054A2 (en) * 2002-04-04 2003-10-08 Honda Giken Kogyo Kabushiki Kaisha Installation structure for gas sensor
CN110568214A (en) * 2019-09-16 2019-12-13 国网河北省电力有限公司电力科学研究院 Unmanned automatic collection device for wind speed of boiler cold state dynamic field

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