JPH09170834A - ヘリウム冷凍システム - Google Patents
ヘリウム冷凍システムInfo
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- JPH09170834A JPH09170834A JP33218095A JP33218095A JPH09170834A JP H09170834 A JPH09170834 A JP H09170834A JP 33218095 A JP33218095 A JP 33218095A JP 33218095 A JP33218095 A JP 33218095A JP H09170834 A JPH09170834 A JP H09170834A
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- liquid helium
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Abstract
(57)【要約】
【課題】システム効率が高く、負荷変動に効率良く対応
できるるＨｅ冷凍システムを提供する。 【解決手段】冷却段階で生成した超臨界Ｈｅと、超臨界
Ｈｅ循環ポンプで昇圧させた超臨界Ｈｅとを合流させて
供給し、戻りの一部を液化用膨張タービンに導入する。 【効果】超臨界Ｈｅ循環ポンプの流量を減らせるととも
に、液化用膨張タービンで寒冷発生させるためシステム
効率が向上する。又、負荷の増減に対応し液化用膨張タ
ービンの寒冷発生量が増減するとともに、大幅に負荷が
減少した場合には超臨界Ｈｅ循環ポンプを停止した運転
も可能となり、負荷変動に効率良く対応できる。
できるるＨｅ冷凍システムを提供する。 【解決手段】冷却段階で生成した超臨界Ｈｅと、超臨界
Ｈｅ循環ポンプで昇圧させた超臨界Ｈｅとを合流させて
供給し、戻りの一部を液化用膨張タービンに導入する。 【効果】超臨界Ｈｅ循環ポンプの流量を減らせるととも
に、液化用膨張タービンで寒冷発生させるためシステム
効率が向上する。又、負荷の増減に対応し液化用膨張タ
ービンの寒冷発生量が増減するとともに、大幅に負荷が
減少した場合には超臨界Ｈｅ循環ポンプを停止した運転
も可能となり、負荷変動に効率良く対応できる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は超臨界ヘリウムで冷
却される被冷却体を有するヘリウム冷凍システムに関す
る。
却される被冷却体を有するヘリウム冷凍システムに関す
る。
【０００２】
【従来の技術】ヘリウム冷凍システムの代表的な被冷却
体として超電導マグネット（以下、ＳＣＭ）があり、冷
却方式としては液体ヘリウム（以下、ＬＨｅ）による浸
漬冷却，超臨界ヘリウム（以下、ＳＨｅ）による強制冷
却などがあるが、ＳＣＭが大形化した場合には機構的に
高い剛性がとれる等によりＳＨｅ冷却が必須とされてい
る。 ＳＨｅ冷却は、ＬＨｅ冷却に比較し単位流量当り
の冷却能力が非常に小さいため大流量を供給する必要が
あり、極低温で作動するＳＨｅ循環ポンプを含むＳＨｅ
循環装置を設ける方式が知られている。この場合、ＳＨ
ｅ循環ポンプの動力は最終的にヘリウム冷凍システムの
冷凍負荷となる。
体として超電導マグネット（以下、ＳＣＭ）があり、冷
却方式としては液体ヘリウム（以下、ＬＨｅ）による浸
漬冷却，超臨界ヘリウム（以下、ＳＨｅ）による強制冷
却などがあるが、ＳＣＭが大形化した場合には機構的に
高い剛性がとれる等によりＳＨｅ冷却が必須とされてい
る。 ＳＨｅ冷却は、ＬＨｅ冷却に比較し単位流量当り
の冷却能力が非常に小さいため大流量を供給する必要が
あり、極低温で作動するＳＨｅ循環ポンプを含むＳＨｅ
循環装置を設ける方式が知られている。この場合、ＳＨ
ｅ循環ポンプの動力は最終的にヘリウム冷凍システムの
冷凍負荷となる。
【０００３】一般的にヘリウム（以下、Ｈｅ）冷凍機は
冷凍出力の数百倍の動力を必要とするため、システム効
率の向上は最も重要な検討課題の１つである。又、ＳＣ
Ｍ等の被冷却体は運転モードによる負荷変動があり、こ
の負荷変動に効率良く対応するヘリウム冷凍システムが
必要である。
冷凍出力の数百倍の動力を必要とするため、システム効
率の向上は最も重要な検討課題の１つである。又、ＳＣ
Ｍ等の被冷却体は運転モードによる負荷変動があり、こ
の負荷変動に効率良く対応するヘリウム冷凍システムが
必要である。
【０００４】この種の従来技術として、例えば、特開平
５-223373などがある。
５-223373などがある。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上記従来技術は、ＳＨ
ｅ循環ポンプのみでＳＨｅを被冷却体に供給しているた
め、ＳＨｅ循環ポンプが大容量となりＳＨｅ循環ポンプ
の動力で生じる冷凍負荷が大きく、Ｈｅ冷凍システムの
効率が低下するという問題があった。さらに、被冷却体
の負荷変動により生じるＳＨｅ循環ラインの圧力変動等
を有効に吸収する手段を有さず、又、ＳＨｅ系の負荷が
大幅に低下した場合でもＳＨｅ循環ポンプを運転せざる
を得ないため、負荷変動に効率良く対応できないという
問題があった。
ｅ循環ポンプのみでＳＨｅを被冷却体に供給しているた
め、ＳＨｅ循環ポンプが大容量となりＳＨｅ循環ポンプ
の動力で生じる冷凍負荷が大きく、Ｈｅ冷凍システムの
効率が低下するという問題があった。さらに、被冷却体
の負荷変動により生じるＳＨｅ循環ラインの圧力変動等
を有効に吸収する手段を有さず、又、ＳＨｅ系の負荷が
大幅に低下した場合でもＳＨｅ循環ポンプを運転せざる
を得ないため、負荷変動に効率良く対応できないという
問題があった。
【０００６】本発明の目的は、システム効率が高く、負
荷変動にも効率良く対応できるＨｅ冷凍システムを提供
することにある。
荷変動にも効率良く対応できるＨｅ冷凍システムを提供
することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、冷却段階で生成したＳＨｅをＳＨｅ循環ポンプの
吐出側に合流させるラインを設け、被冷却体からのＳＨ
ｅ戻りラインに分岐ラインを設け、この分岐ラインを液
化用膨張タービンに導入するように構成した。
めに、冷却段階で生成したＳＨｅをＳＨｅ循環ポンプの
吐出側に合流させるラインを設け、被冷却体からのＳＨ
ｅ戻りラインに分岐ラインを設け、この分岐ラインを液
化用膨張タービンに導入するように構成した。
【０００８】冷却段階で生成したＳＨｅは、ＳＨｅ循環
ポンプで昇圧されたＳＨｅと合流して被冷却体に供給さ
れ、被冷却体から戻ったＳＨｅの冷却段階で生成したＳ
Ｈｅ流量に相当する分は分岐ラインで液化用膨張タービ
ンで寒冷を発生して液化に至る。これにより、ＳＨｅ循
環ポンプで昇圧しなければならないＳＨｅ流量を低減で
きるとともに、分岐ラインから抜き出すＳＨｅを液化用
膨張タービンで寒冷発生せしめ液化率を高めることがで
きるため、システム効率が向上する。
ポンプで昇圧されたＳＨｅと合流して被冷却体に供給さ
れ、被冷却体から戻ったＳＨｅの冷却段階で生成したＳ
Ｈｅ流量に相当する分は分岐ラインで液化用膨張タービ
ンで寒冷を発生して液化に至る。これにより、ＳＨｅ循
環ポンプで昇圧しなければならないＳＨｅ流量を低減で
きるとともに、分岐ラインから抜き出すＳＨｅを液化用
膨張タービンで寒冷発生せしめ液化率を高めることがで
きるため、システム効率が向上する。
【０００９】負荷変動によって生じるＳＨｅ循環ライン
の圧力変動は、分岐ラインから抜き出すＳＨｅ流量の調
整で容易に吸収できるとともに、負荷増大に生じる圧力
上昇と温度上昇は、液化用膨張タービンでの寒冷発生量
を大きくする方向に作用するため、負荷変動に効率良く
対応できる。
の圧力変動は、分岐ラインから抜き出すＳＨｅ流量の調
整で容易に吸収できるとともに、負荷増大に生じる圧力
上昇と温度上昇は、液化用膨張タービンでの寒冷発生量
を大きくする方向に作用するため、負荷変動に効率良く
対応できる。
【００１０】さらに、ＳＨｅ系の負荷が大幅に低下する
運転モード時には、ＳＨｅ循環ポンプを停止し冷却段階
で生成したＳＨｅのみで被冷却体を冷却することができ
るため、大幅な負荷変動にも効率良く対応できる。
運転モード時には、ＳＨｅ循環ポンプを停止し冷却段階
で生成したＳＨｅのみで被冷却体を冷却することができ
るため、大幅な負荷変動にも効率良く対応できる。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施例を図１に
より説明する。Ｈｅ冷凍システムは予冷段階Ｉ，冷却段
階II，ＳＨｅ循環装置III及び被冷却体IVを含む。
より説明する。Ｈｅ冷凍システムは予冷段階Ｉ，冷却段
階II，ＳＨｅ循環装置III及び被冷却体IVを含む。
【００１２】予冷段階Ｉは、圧縮機によってガスを圧縮
し、熱交換器でその圧縮ガスを冷却するように既知の方
法で構成され、圧縮ガスは熱交換及び仕事の遂行によっ
て、予冷温度の高圧ヘリウムガス流を生成する。冷却段
階IIは予冷段階Ｉから供給された予冷温度の高圧ヘリウ
ムガス流を冷却し、臨界圧力以上で液化ガス温度近くの
ＳＨｅを生成する役割をし、複数の熱交換器１，２と膨
張タービン３を含む。ＳＨｅ循環装置IIは、極低温でＳ
Ｈｅを循環供給する役割を有し、ＳＨｅ循環ポンプ11，
ＳＨｅ熱交換器12，13，14及びＬＨｅ容器15，16を含
む。
し、熱交換器でその圧縮ガスを冷却するように既知の方
法で構成され、圧縮ガスは熱交換及び仕事の遂行によっ
て、予冷温度の高圧ヘリウムガス流を生成する。冷却段
階IIは予冷段階Ｉから供給された予冷温度の高圧ヘリウ
ムガス流を冷却し、臨界圧力以上で液化ガス温度近くの
ＳＨｅを生成する役割をし、複数の熱交換器１，２と膨
張タービン３を含む。ＳＨｅ循環装置IIは、極低温でＳ
Ｈｅを循環供給する役割を有し、ＳＨｅ循環ポンプ11，
ＳＨｅ熱交換器12，13，14及びＬＨｅ容器15，16を含
む。
【００１３】予冷段階Ｉで予冷温度に冷却された高圧ヘ
リウムガス流は、第１の熱交換器１で低圧ヘリウムガス
流と熱交換・冷却されて、膨張タービン入口弁４を通り
膨張タービン３で臨界圧力以上の中間圧力まで膨張し、
且つこのプロセスで冷却される。膨張タービン３を出た
中間圧力のヘリウムガス流は、第２の熱交換器２で極低
温の低圧ヘリウムガス流と熱交換・冷却されて、ＳＨｅ
となる。冷却段階IIで生成したＳＨｅは、第１のＬＨｅ
容器15のＬＨｅと第１のＳＨｅ熱交換器12で熱交換・冷
却されてＳＨｅ循環ポンプ11で昇圧されたＳＨｅと合流
し、合流したＳＨｅは第２のＳＨｅ熱交換器13で第２の
ＬＨｅ容器16のＬＨｅと熱交換・冷却されて、ＳＨｅ供
給ライン18を通り被冷却体IVに供給される。被冷却体IV
を冷却したＳＨｅは、ＳＨｅ戻りライン19を通りＳＨｅ
循環装置IIIに戻り、一部は分岐ラン20に分流し、残り
は第３のＳＨｅ熱交換器14で第２のＬＨｅ容器16のＬＨ
ｅと熱交換・冷却されてＳＨｅ循環ポンプ11に戻る。分
岐ライン20に分流したＳＨｅは、液化用膨張タービン入
口弁31を通り液化用膨張タービン32で液化圧力まで膨張
し且つこのプロセスでＬＨｅを生成する。液化用膨張タ
ービン32を出たＨｅは、ＬＨｅ貯槽40に導入されて気液
分離され、極低温ＧＨｅは冷却段階IIに戻る。第２のＬ
Ｈｅ容器16で必要なＬＨｅは第１のＬＨｅ容器15から供
給され、第２のＬＨｅ容器16の極低温ＧＨｅは第２のＬ
Ｈｅ容器の圧力を下げ、温度を下げるために設けた低温
圧縮機21で大気圧力近辺まで昇圧されて、第１のＬＨｅ
容器15の極低温ＧＨｅと合流して冷却段階IIに戻る。第
１のＬＨｅ容器15で必要なＬＨｅは、ＬＨｅ貯槽40から
ＬＨｅライン41を通り供給される。
リウムガス流は、第１の熱交換器１で低圧ヘリウムガス
流と熱交換・冷却されて、膨張タービン入口弁４を通り
膨張タービン３で臨界圧力以上の中間圧力まで膨張し、
且つこのプロセスで冷却される。膨張タービン３を出た
中間圧力のヘリウムガス流は、第２の熱交換器２で極低
温の低圧ヘリウムガス流と熱交換・冷却されて、ＳＨｅ
となる。冷却段階IIで生成したＳＨｅは、第１のＬＨｅ
容器15のＬＨｅと第１のＳＨｅ熱交換器12で熱交換・冷
却されてＳＨｅ循環ポンプ11で昇圧されたＳＨｅと合流
し、合流したＳＨｅは第２のＳＨｅ熱交換器13で第２の
ＬＨｅ容器16のＬＨｅと熱交換・冷却されて、ＳＨｅ供
給ライン18を通り被冷却体IVに供給される。被冷却体IV
を冷却したＳＨｅは、ＳＨｅ戻りライン19を通りＳＨｅ
循環装置IIIに戻り、一部は分岐ラン20に分流し、残り
は第３のＳＨｅ熱交換器14で第２のＬＨｅ容器16のＬＨ
ｅと熱交換・冷却されてＳＨｅ循環ポンプ11に戻る。分
岐ライン20に分流したＳＨｅは、液化用膨張タービン入
口弁31を通り液化用膨張タービン32で液化圧力まで膨張
し且つこのプロセスでＬＨｅを生成する。液化用膨張タ
ービン32を出たＨｅは、ＬＨｅ貯槽40に導入されて気液
分離され、極低温ＧＨｅは冷却段階IIに戻る。第２のＬ
Ｈｅ容器16で必要なＬＨｅは第１のＬＨｅ容器15から供
給され、第２のＬＨｅ容器16の極低温ＧＨｅは第２のＬ
Ｈｅ容器の圧力を下げ、温度を下げるために設けた低温
圧縮機21で大気圧力近辺まで昇圧されて、第１のＬＨｅ
容器15の極低温ＧＨｅと合流して冷却段階IIに戻る。第
１のＬＨｅ容器15で必要なＬＨｅは、ＬＨｅ貯槽40から
ＬＨｅライン41を通り供給される。
【００１４】膨張タービンバイパスライン５は膨張ター
ビン３の故障時等に使用するバイパス流路を形成し、同
様に液化用膨張タービンバイパスライン33は、液化用膨
張タービン32のバイパス流路を形成している。同様に低
温圧縮機バイパスライン22は低温圧縮機21の故障時、又
は第２のＬＨｅ容器16で発生する極低温ＧＨｅが異常増
大した時等に使用される。第１のＳＨｅバイパスライン
23は、ＳＨｅ循環ポンプ11の単独試験時等で使用するた
めに設けられ、第２のＳＨｅバイパスライン34は、ＬＨ
ｅ貯槽40への単独液化時等に使用するために設けられて
いる。
ビン３の故障時等に使用するバイパス流路を形成し、同
様に液化用膨張タービンバイパスライン33は、液化用膨
張タービン32のバイパス流路を形成している。同様に低
温圧縮機バイパスライン22は低温圧縮機21の故障時、又
は第２のＬＨｅ容器16で発生する極低温ＧＨｅが異常増
大した時等に使用される。第１のＳＨｅバイパスライン
23は、ＳＨｅ循環ポンプ11の単独試験時等で使用するた
めに設けられ、第２のＳＨｅバイパスライン34は、ＬＨ
ｅ貯槽40への単独液化時等に使用するために設けられて
いる。
【００１５】以上、詳細に説明したように、本実施例に
よれば冷却段階で生成したＳＨｅとＳＨｅ循環ポンプで
昇圧したＳＨｅとを合流させて被冷却体に供給するため
ＳＨｅ循環ポンプで昇圧しなければならないＳＨｅ流量
を低減できるとともに、被冷却体から戻ったＳＨｅの一
部を分岐ラインで液化用膨張タービンに導入し、液化用
膨張タービンで寒冷発生せしめ液化率を高めることがで
きるため、システム効率が向上するという効果がある。
さらに、被冷却体の負荷増減に対応し液化用膨張タービ
ンの寒冷発生量が増減するとともに、大幅に負荷が減少
した時にはＳＨｅ循環ポンプを停止し冷却段階で生成し
たＳＨｅで被冷却体を冷却することができるため、広範
囲の負荷変動に効率良く対応できるという効果がある。
よれば冷却段階で生成したＳＨｅとＳＨｅ循環ポンプで
昇圧したＳＨｅとを合流させて被冷却体に供給するため
ＳＨｅ循環ポンプで昇圧しなければならないＳＨｅ流量
を低減できるとともに、被冷却体から戻ったＳＨｅの一
部を分岐ラインで液化用膨張タービンに導入し、液化用
膨張タービンで寒冷発生せしめ液化率を高めることがで
きるため、システム効率が向上するという効果がある。
さらに、被冷却体の負荷増減に対応し液化用膨張タービ
ンの寒冷発生量が増減するとともに、大幅に負荷が減少
した時にはＳＨｅ循環ポンプを停止し冷却段階で生成し
たＳＨｅで被冷却体を冷却することができるため、広範
囲の負荷変動に効率良く対応できるという効果がある。
【００１６】さらに又、ＳＨｅ循環ポンプ故障時にも冷
却段階で生成したＳＨｅを被冷却体に供給できるため、
システムの信頼性が向上するという効果がある。
却段階で生成したＳＨｅを被冷却体に供給できるため、
システムの信頼性が向上するという効果がある。
【００１７】冷却段階の膨張タービン及び／又は液化用
膨張タービンを可変ノズル式とすることにより、さらに
効率良く負荷変動に対応できるＨｅ冷凍システムとする
ことができる。
膨張タービンを可変ノズル式とすることにより、さらに
効率良く負荷変動に対応できるＨｅ冷凍システムとする
ことができる。
【００１８】又、液化用膨張タービン出口を第１のＬＨ
ｅ容器に接続し、ＬＨｅ貯槽と第１のＬＨｅ容器とを接
続したＬＨｅラインを設け、ＬＨｅラインの流れ方向を
切り替られるようにすることもできる。この切り替え
は、例えばＬＨｅ貯槽と第１のＬＨｅ容器との極低温Ｇ
Ｈｅ出口に各々、弁を設けることにより可能となる。
ｅ容器に接続し、ＬＨｅ貯槽と第１のＬＨｅ容器とを接
続したＬＨｅラインを設け、ＬＨｅラインの流れ方向を
切り替られるようにすることもできる。この切り替え
は、例えばＬＨｅ貯槽と第１のＬＨｅ容器との極低温Ｇ
Ｈｅ出口に各々、弁を設けることにより可能となる。
【００１９】さらに又、液化用膨張タービン出口を第１
のＬＨｅ容器に接続し、ＬＨｅ貯槽を無くしたＨｅ冷凍
システムを構成することもできる。
のＬＨｅ容器に接続し、ＬＨｅ貯槽を無くしたＨｅ冷凍
システムを構成することもできる。
【００２０】さらに又、冷却段階の膨張タービン等の回
転機器を複数台で構成し、システムの信頼性を改善する
ことも可能であり、又、ＬＨｅ容器を第２のＬＨｅ容器
のみとし、低温圧縮機を無くするＨｅ冷凍システムも可
能であり、これらは本発明を制限するものではない。
転機器を複数台で構成し、システムの信頼性を改善する
ことも可能であり、又、ＬＨｅ容器を第２のＬＨｅ容器
のみとし、低温圧縮機を無くするＨｅ冷凍システムも可
能であり、これらは本発明を制限するものではない。
【００２１】
【発明の効果】冷却段階で生成した超臨界ヘリウムと超
臨界ヘリウム循環ポンプで昇圧した超臨界ヘリウムとを
合流させて被冷却体に供給するため超臨界ヘリウム循環
ポンプの流量を低減できるとともに、被冷却体から戻っ
た超臨界ヘリウムの一部を分岐ラインで液化用膨張ター
ビンに導入し液化用膨張タービンで寒冷発生せしめ液化
率を高めることができるため、システム効率の良いヘリ
ウム冷凍システムとなるという効果がある。さらに、被
冷却体の負荷増減に対応し液化用膨張タービンの寒冷発
生量が増減するとともに、大幅に負荷が減少した時には
超臨界ヘリウム循環ポンプを停止し、冷却段階で生成し
た超臨界ヘリウムで被冷却体を冷却することができるた
め、負荷変動に効率良く対応できるヘリウム冷凍システ
ムを実現できる効果がある。
臨界ヘリウム循環ポンプで昇圧した超臨界ヘリウムとを
合流させて被冷却体に供給するため超臨界ヘリウム循環
ポンプの流量を低減できるとともに、被冷却体から戻っ
た超臨界ヘリウムの一部を分岐ラインで液化用膨張ター
ビンに導入し液化用膨張タービンで寒冷発生せしめ液化
率を高めることができるため、システム効率の良いヘリ
ウム冷凍システムとなるという効果がある。さらに、被
冷却体の負荷増減に対応し液化用膨張タービンの寒冷発
生量が増減するとともに、大幅に負荷が減少した時には
超臨界ヘリウム循環ポンプを停止し、冷却段階で生成し
た超臨界ヘリウムで被冷却体を冷却することができるた
め、負荷変動に効率良く対応できるヘリウム冷凍システ
ムを実現できる効果がある。
【図１】本発明の一実施例を示す系統図である。
Ｉ…予冷段階、II…冷却段階、III…超臨界ヘリウム循
環装置、IV…被冷却体、３…膨張タービン、11…超臨界
ヘリウム循環ポンプ、15…第１の液体ヘリウム容器、16
…第２の液体ヘリウム容器、20…分岐ライン、21…低温
圧縮機、32…液化用膨張タービン。
環装置、IV…被冷却体、３…膨張タービン、11…超臨界
ヘリウム循環ポンプ、15…第１の液体ヘリウム容器、16
…第２の液体ヘリウム容器、20…分岐ライン、21…低温
圧縮機、32…液化用膨張タービン。
Claims (6)
- 【請求項１】予冷温度で高圧ヘリウムガス流を作る予冷
段階と、その高圧ヘリウムガス流を冷却し臨界圧力以上
で液化ガス温度近くの超臨界ヘリウムを生成するため複
数の熱交換器と膨張タービンを含む冷却段階と、超臨界
ヘリウム循環ポンプと超臨界ヘリウム熱交換器と液体ヘ
リウム容器とを含む超臨界ヘリウム循環装置と、上記超
臨界ヘリウム循環装置から供給される超臨界ヘリウムで
冷却される被冷却体を有するヘリウム冷凍システムにお
いて、上記冷却段階で生成した超臨界ヘリウムを上記超
臨界ヘリウム循環ポンプの吐出側に合流させるラインを
設け、上記被冷却体からの超臨界ヘリウム戻りラインに
分岐ラインを設け、上記分岐ラインを液化用膨張タービ
ンに導入するように構成したことを特徴とするヘリウム
冷凍システム。 - 【請求項２】冷却段階の膨張タービンと液化用膨張ター
ビンとに各々、バイパスラインを設けたことを特徴とす
る請求項１記載のヘリウム冷凍システム。 - 【請求項３】冷却段階の膨張タービン及び／又は液化用
膨張タービンを可変ノズル式としたことを特徴とする請
求項１又は２記載のヘリウム冷凍システム。 - 【請求項４】液体ヘリウム貯槽を設け、液化用膨張ター
ビンの出口を液体ヘリウム貯槽に接続し、液体ヘリウム
貯槽で気液分離した液体ヘリウムを超臨界ヘリウム循環
装置の液体ヘリウム容器に供給するように構成したこと
を特徴とする請求項１乃至３のいずれか記載のヘリウム
冷凍システム。 - 【請求項５】液体ヘリウム貯槽を設け、液化用膨張ター
ビンの出口を超臨界ヘリウム循環装置の液体ヘリウム容
器に接続し、上記液体ヘリウム貯槽と上記液体ヘリウム
容器とを接続した液体ヘリウムラインを設け、上記液体
ヘリウムラインの流れ方向を切り替えられるように構成
したことを特徴とする請求項１乃至３のいずれか記載の
ヘリウム冷凍システム。 - 【請求項６】超臨界ヘリウム循環装置に低温圧縮機を設
け、液体ヘリウム容器を比較的温度の高い第１の液体ヘ
リウム容器と比較的温度の低い第２の液体ヘリウム容器
とに分け、上記第１の液体ヘリウム容器から上記第２の
液体ヘリウム容器に液体ヘリウムを供給し、上記第２の
液体ヘリウム容器の極低温ガスヘリウムを上記低温圧縮
機に導入し、冷却段階で生成した超臨界ヘリウムを上記
第１の液体ヘリウム容器の液体ヘリウムと熱交換冷却さ
せた後、超臨界ヘリウム循環ポンプの吐出側に合流させ
たことを特徴とする請求項１乃至５のいずれか記載のヘ
リウム冷凍システム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33218095A JPH09170834A (ja) | 1995-12-20 | 1995-12-20 | ヘリウム冷凍システム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33218095A JPH09170834A (ja) | 1995-12-20 | 1995-12-20 | ヘリウム冷凍システム |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09170834A true JPH09170834A (ja) | 1997-06-30 |
Family
ID=18252068
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33218095A Pending JPH09170834A (ja) | 1995-12-20 | 1995-12-20 | ヘリウム冷凍システム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09170834A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2775518A1 (fr) * | 1998-03-02 | 1999-09-03 | Air Liquide | Procede et installation de production frigorifique a partir d'un cycle thermique d'un fluide a bas point d'ebullition |
| WO2009024705A3 (fr) * | 2007-08-03 | 2009-05-14 | Air Liquide | Procédé de réfrigération d'un fluide, par exemple d'hélium, destiné à alimenter un consommateur de fluide, ainsi qu'à une installation correspondante |
| CN102425876A (zh) * | 2011-11-30 | 2012-04-25 | 上海至纯洁净系统科技股份有限公司 | 一种氦气循环冷却系统 |
| JP2013522577A (ja) * | 2010-03-23 | 2013-06-13 | レール・リキード−ソシエテ・アノニム・プール・レテュード・エ・レクスプロワタシオン・デ・プロセデ・ジョルジュ・クロード | パルス負荷を備えた冷却方法及び装置 |
-
1995
- 1995-12-20 JP JP33218095A patent/JPH09170834A/ja active Pending
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