JPH09162122A - Iii−v族化合物半導体ウェハおよびその製造方法 - Google Patents
Iii−v族化合物半導体ウェハおよびその製造方法Info
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- JPH09162122A JPH09162122A JP7344914A JP34491495A JPH09162122A JP H09162122 A JPH09162122 A JP H09162122A JP 7344914 A JP7344914 A JP 7344914A JP 34491495 A JP34491495 A JP 34491495A JP H09162122 A JPH09162122 A JP H09162122A
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- plane
- substrate
- epitaxial layer
- compound semiconductor
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 エピタキシャル層の表面に生じる欠陥が大幅
に低減された、厚膜のエピタキシャルウェハおよびその
製造方法を提供する。 【解決手段】 面方位が(111)A面から微傾斜させ
た面を有するGaAsおよびInPからなる群から選ば
れるIII−V族化合物半導体からなる基板と、当該基
板の当該面上に成長されたGaNを含むエピタキシャル
層とを備える。
に低減された、厚膜のエピタキシャルウェハおよびその
製造方法を提供する。 【解決手段】 面方位が(111)A面から微傾斜させ
た面を有するGaAsおよびInPからなる群から選ば
れるIII−V族化合物半導体からなる基板と、当該基
板の当該面上に成長されたGaNを含むエピタキシャル
層とを備える。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明はIII−V族化合
物半導体ウェハおよびその製造方法に関するものであ
り、特に、基板上に気相エピタキシャル成長法によりエ
ピタキシャル層を成長させてなるIII−V族化合物半
導体ウェハおよびその製造方法に関するものである。
物半導体ウェハおよびその製造方法に関するものであ
り、特に、基板上に気相エピタキシャル成長法によりエ
ピタキシャル層を成長させてなるIII−V族化合物半
導体ウェハおよびその製造方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来、GaAsまたはInP等からなる
III−V族化合物半導体ウェハは、光通信用に使用さ
れるフォトダイオードまたは整流素子としてのショット
キバリアダイオード等の製造に利用されている。
III−V族化合物半導体ウェハは、光通信用に使用さ
れるフォトダイオードまたは整流素子としてのショット
キバリアダイオード等の製造に利用されている。
【0003】フォトダイオードとしては、たとえば、
(100)面を有するInP基板を用い、この(10
0)面上にクロライド気相合成法によりエピタキシャル
層を形成した、InPフォトダイオードが実用化されて
いる。
(100)面を有するInP基板を用い、この(10
0)面上にクロライド気相合成法によりエピタキシャル
層を形成した、InPフォトダイオードが実用化されて
いる。
【0004】また、ショットキバリアダイオードとして
は、たとえば(100)面を有するGaAs基板を用
い、この(100)面上にクロライド気相合成法により
エピタキシャル層を形成した、GaAsショットキバリ
アダイオードが開発されている。このショットキバリア
ダイオードは、従来のSi素子と比較して優れた性質を
有しているため、その実用化が開始されている。
は、たとえば(100)面を有するGaAs基板を用
い、この(100)面上にクロライド気相合成法により
エピタキシャル層を形成した、GaAsショットキバリ
アダイオードが開発されている。このショットキバリア
ダイオードは、従来のSi素子と比較して優れた性質を
有しているため、その実用化が開始されている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このシ
ョットキバリアダイオードは、エピタキシャル層の厚み
が10〜100μmと非常に厚いため、(100)面上
にエピタキシャル層を成長させる場合には、エピタキシ
ャル成長速度が遅く、成長に時間がかかるという問題点
があった。その結果、(100)面基板上には、厚みの
厚い(特に膜厚50μm以上)エピタキシャル層を成長
させるのが困難であった。
ョットキバリアダイオードは、エピタキシャル層の厚み
が10〜100μmと非常に厚いため、(100)面上
にエピタキシャル層を成長させる場合には、エピタキシ
ャル成長速度が遅く、成長に時間がかかるという問題点
があった。その結果、(100)面基板上には、厚みの
厚い(特に膜厚50μm以上)エピタキシャル層を成長
させるのが困難であった。
【0006】そこで、発明者らは、成長速度を上げるた
めに、(100)面基板の代わりに、(111)A面基
板を利用する検討を行なった。
めに、(100)面基板の代わりに、(111)A面基
板を利用する検討を行なった。
【0007】その結果、(111)A面基板上へエピタ
キシャル層を成長させた場合には、(100)面を利用
した場合と比較して、速い成長速度が得られるため、厚
膜のエピタキシャル層の成長が可能となった。しかしな
がら、成長されたエピタキシャル層の表面には、ピット
と呼ばれる欠陥が多数発生し、そのままではデバイスと
して使用できないという問題が生じた。
キシャル層を成長させた場合には、(100)面を利用
した場合と比較して、速い成長速度が得られるため、厚
膜のエピタキシャル層の成長が可能となった。しかしな
がら、成長されたエピタキシャル層の表面には、ピット
と呼ばれる欠陥が多数発生し、そのままではデバイスと
して使用できないという問題が生じた。
【0008】なお、(111)A面上へのエピタキシャ
ル層の成長に関しては、たとえば、Journal o
f Crystal Growth 17(1972)
pp.189−206に開示されている。この文献によ
れば、GaAs基板の((111)A面上に成長された
エピタキシャル層の表面モホロジーは、極めて不均一で
あることが記載されている(204頁脚注参照)。
ル層の成長に関しては、たとえば、Journal o
f Crystal Growth 17(1972)
pp.189−206に開示されている。この文献によ
れば、GaAs基板の((111)A面上に成長された
エピタキシャル層の表面モホロジーは、極めて不均一で
あることが記載されている(204頁脚注参照)。
【0009】この発明の目的は、上述の問題点を解決
し、エピタキシャル層の表面に生じる欠陥が大幅に低減
された、厚膜のエピタキシャルウェハおよびその製造方
法を提供することにある。
し、エピタキシャル層の表面に生じる欠陥が大幅に低減
された、厚膜のエピタキシャルウェハおよびその製造方
法を提供することにある。
【0010】
【課題を解決するための手段】この発明によるIII−
V族化合物半導体ウェハは、面方位が(111)A面か
ら微傾斜させた面を有するGaAsおよびInPからな
る群から選ばれるIII−V族化合物半導体からなる基
板と、当該基板の当該面上に成長されたエピタキシャル
層とを備えている。なお、この発明において、GaAs
基板上には、たとえば、GaAs、GaN、AlGaA
s、InGaN、ZnSe、InGaAsまたはAlG
aInP等からなるエピタキシャル層が成長される。
V族化合物半導体ウェハは、面方位が(111)A面か
ら微傾斜させた面を有するGaAsおよびInPからな
る群から選ばれるIII−V族化合物半導体からなる基
板と、当該基板の当該面上に成長されたエピタキシャル
層とを備えている。なお、この発明において、GaAs
基板上には、たとえば、GaAs、GaN、AlGaA
s、InGaN、ZnSe、InGaAsまたはAlG
aInP等からなるエピタキシャル層が成長される。
【0011】また、InP基板上には、たとえば、In
P、InGaAs、InAsまたはInAsP等からな
るエピタキシャル層が成長される。
P、InGaAs、InAsまたはInAsP等からな
るエピタキシャル層が成長される。
【0012】この発明によれば、このように、面方位が
(111)A面から微傾斜させた面を有するGaAsま
たはInPからなるIII−V族化合物半導体基板を用
いることにより、従来のように(100)面を利用した
場合と比較して、厚膜のエピタキシャルウェハが得られ
るとともに、(111)A面を利用した場合のように、
エピタキシャル層の表面にピットと呼ばれる欠陥が現れ
ることがなく、表面モホロジーが良好で表面が非常に平
坦なエピタキシャルウェハが得られる。
(111)A面から微傾斜させた面を有するGaAsま
たはInPからなるIII−V族化合物半導体基板を用
いることにより、従来のように(100)面を利用した
場合と比較して、厚膜のエピタキシャルウェハが得られ
るとともに、(111)A面を利用した場合のように、
エピタキシャル層の表面にピットと呼ばれる欠陥が現れ
ることがなく、表面モホロジーが良好で表面が非常に平
坦なエピタキシャルウェハが得られる。
【0013】好ましくは、面方位が(111)A面から
微傾斜させた面は、(111)A面から1°〜5°の範
囲でオフさせた面であるとよい。
微傾斜させた面は、(111)A面から1°〜5°の範
囲でオフさせた面であるとよい。
【0014】オフアングルが1°未満ではピット発生の
可能性が大きくなり、一方、オフアングルが5°より大
きくなると、エピタキシャル層の成長速度が遅くなると
いう問題が生じるからである。
可能性が大きくなり、一方、オフアングルが5°より大
きくなると、エピタキシャル層の成長速度が遅くなると
いう問題が生じるからである。
【0015】さらに好ましくは、面方位が(111)A
面から微傾斜させた面は、(111)A面から1°〜2
°の範囲でオフさせた面であるとよい。
面から微傾斜させた面は、(111)A面から1°〜2
°の範囲でオフさせた面であるとよい。
【0016】オフアングルが2°以下であれば、特に表
面平滑性に優れたエピタキシャルウェハを得ることがで
きるからである。
面平滑性に優れたエピタキシャルウェハを得ることがで
きるからである。
【0017】また、この発明によるIII−V族化合物
半導体ウェハの製造方法は、GaAsおよびInPから
なる群から選ばれるIII−V族化合物半導体からなる
基板に、面方位が(111)A面から微傾斜させた面を
形成するステップと、当該面が形成された基板の当該面
上に、気相エピタキシャル成長法により、エピタキシャ
ル層を成長させるステップとを備えている。なお、この
発明において、GaAs基板上には、たとえば、GaA
s、GaN、AlGaAs、InGaN、ZnSe、I
nGaAsまたはAlGaInP等からなるエピタキシ
ャル層が成長される。
半導体ウェハの製造方法は、GaAsおよびInPから
なる群から選ばれるIII−V族化合物半導体からなる
基板に、面方位が(111)A面から微傾斜させた面を
形成するステップと、当該面が形成された基板の当該面
上に、気相エピタキシャル成長法により、エピタキシャ
ル層を成長させるステップとを備えている。なお、この
発明において、GaAs基板上には、たとえば、GaA
s、GaN、AlGaAs、InGaN、ZnSe、I
nGaAsまたはAlGaInP等からなるエピタキシ
ャル層が成長される。
【0018】また、InP基板上には、たとえば、In
P、InGaAs、InAsまたはInAsP等からな
るエピタキシャル層が成長される。
P、InGaAs、InAsまたはInAsP等からな
るエピタキシャル層が成長される。
【0019】基板に面方位が(111)A面から微傾斜
させた面を形成するステップは、たとえば、鏡面加工に
より行なうことができる。
させた面を形成するステップは、たとえば、鏡面加工に
より行なうことができる。
【0020】この発明において、気相エピタキシャル成
長法としては、たとえば、クロライドVPE法、ハイド
ライドVPE法または有機金属気相エピタキシャル法等
が考えられる。
長法としては、たとえば、クロライドVPE法、ハイド
ライドVPE法または有機金属気相エピタキシャル法等
が考えられる。
【0021】好ましくは、面方位が(111)A面から
微傾斜させた面は、(111)A面から1°〜5°の範
囲でオフさせた面であるとよい。
微傾斜させた面は、(111)A面から1°〜5°の範
囲でオフさせた面であるとよい。
【0022】また、さらに好ましくは、面方位が(11
1)A面から微傾斜させた面は、(111)A面から1
°〜2°の範囲でオフさせた面であるとよい。
1)A面から微傾斜させた面は、(111)A面から1
°〜2°の範囲でオフさせた面であるとよい。
【0023】
【実施例】まず、GaAsの(111)A面基板を鏡面
加工することにより、(111)A面から<100>方
向に0.8°、1°および2°傾斜させた基板を作製し
た。
加工することにより、(111)A面から<100>方
向に0.8°、1°および2°傾斜させた基板を作製し
た。
【0024】次に、作製した(111)A面0.8°オ
フ基板、(111)A面1°オフ基板および(111)
A面2°オフ基板と、傾斜させない(111)A面基板
のそれぞれの表面上に、クロライドVPE法により、G
aAsエピタキシャル層を60μmの厚みに成長させ
た。なお、エピタキシャル層の成長は、Gaソース温度
を870℃とし、基板温度を730℃として行なった。
また、水素流量は、4l/分に設定した。このときのエ
ピタキシャル膜成長速度は、40μm/時間であった。
フ基板、(111)A面1°オフ基板および(111)
A面2°オフ基板と、傾斜させない(111)A面基板
のそれぞれの表面上に、クロライドVPE法により、G
aAsエピタキシャル層を60μmの厚みに成長させ
た。なお、エピタキシャル層の成長は、Gaソース温度
を870℃とし、基板温度を730℃として行なった。
また、水素流量は、4l/分に設定した。このときのエ
ピタキシャル膜成長速度は、40μm/時間であった。
【0025】このようにして、4種のGaAs基板上に
成長させたGaAsエピタキシャル層の表面を、光学顕
微鏡によって観察した。その結果を、図1〜図4に示
す。
成長させたGaAsエピタキシャル層の表面を、光学顕
微鏡によって観察した。その結果を、図1〜図4に示
す。
【0026】図1〜図4は、それぞれ(111)A面基
板、(111)A面0.8°オフ基板、(111)A面
1°オフ基板および(111)A面2°オフ基板上に成
長されたGaAsエピタキシャル層の表面の状態を示す
光学顕微鏡写真である。
板、(111)A面0.8°オフ基板、(111)A面
1°オフ基板および(111)A面2°オフ基板上に成
長されたGaAsエピタキシャル層の表面の状態を示す
光学顕微鏡写真である。
【0027】図1〜図4を参照して、オフアングルを大
きくするに従って、表面の欠陥が減少していることが観
察できる。
きくするに従って、表面の欠陥が減少していることが観
察できる。
【0028】すなわち、図1に示す(111)A面基板
および図2に示す(111)A面0.8°オフ基板にお
いては、GaAsエピタキシャル層の表面には、多数の
ピット観察される。これに対して、図3に示す(11
1)A面1°オフ基板および図4に示す(111)A面
2°オフ基板においては、GaAsエピタキシャル層の
表面には、ピットがほとんど存在していない。
および図2に示す(111)A面0.8°オフ基板にお
いては、GaAsエピタキシャル層の表面には、多数の
ピット観察される。これに対して、図3に示す(11
1)A面1°オフ基板および図4に示す(111)A面
2°オフ基板においては、GaAsエピタキシャル層の
表面には、ピットがほとんど存在していない。
【0029】特に、図3に示す(111)A面1°オフ
基板においては、成長されたGaAsエピタキシャル層
の表面は、極めて平滑であることがわかる。
基板においては、成長されたGaAsエピタキシャル層
の表面は、極めて平滑であることがわかる。
【0030】なお、上述の実施例では、GaAs基板上
にクロライドVPE法によりエピタキシャル層を成長さ
せる場合を例にとって説明したが、この発明は、クロラ
イドVPE法のみならず、ハイドライドVPE法、有機
金属気相エピタキシャル法等の他の気相エピタキシャル
成長法にも適用できる。また、基板材料としては、Ga
As基板のみならず、InP基板など他のIII−V族
化合物半導体基板にも適用できる。
にクロライドVPE法によりエピタキシャル層を成長さ
せる場合を例にとって説明したが、この発明は、クロラ
イドVPE法のみならず、ハイドライドVPE法、有機
金属気相エピタキシャル法等の他の気相エピタキシャル
成長法にも適用できる。また、基板材料としては、Ga
As基板のみならず、InP基板など他のIII−V族
化合物半導体基板にも適用できる。
【0031】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
面方位が(111)A面から微傾斜させた面を有するG
aAsまたはInP等の化合物半導体単結晶基板のその
表面上に、気相エピタキシャル成長法によりエピタキシ
ャル層を成長させることにより、良質のエピタキシャル
成長膜を得ることができる。さらに、本発明によれば、
成長速度が速いため、厚膜のエピタキシャル層を成長さ
せることが可能となる。
面方位が(111)A面から微傾斜させた面を有するG
aAsまたはInP等の化合物半導体単結晶基板のその
表面上に、気相エピタキシャル成長法によりエピタキシ
ャル層を成長させることにより、良質のエピタキシャル
成長膜を得ることができる。さらに、本発明によれば、
成長速度が速いため、厚膜のエピタキシャル層を成長さ
せることが可能となる。
【0032】その結果、エピタキシャル層の表面に生ず
る欠陥が大幅に低減された、厚膜のエピタキシャルウェ
ハが得られる。
る欠陥が大幅に低減された、厚膜のエピタキシャルウェ
ハが得られる。
【図1】GaAs(111)A面基板上に成長されたG
aAsエピタキシャル層の表面の状態を示す顕微鏡写真
である。
aAsエピタキシャル層の表面の状態を示す顕微鏡写真
である。
【図2】GaAs(111)A面0.8°オフ基板上に
成長されたGaAsエピタキシャル層の表面の状態を示
す顕微鏡写真である。
成長されたGaAsエピタキシャル層の表面の状態を示
す顕微鏡写真である。
【図3】GaAs(111)A面1°オフ基板上に成長
されたGaAsエピタキシャル層の表面の状態を示す顕
微鏡写真である。
されたGaAsエピタキシャル層の表面の状態を示す顕
微鏡写真である。
【図4】GaAs(111)A面2°オフ基板上に成長
されたGaAsエピタキシャル層の表面の状態を示す顕
微鏡写真である。
されたGaAsエピタキシャル層の表面の状態を示す顕
微鏡写真である。
Claims (7)
- 【請求項1】 面方位が(111)A面から微傾斜させ
た面を有するGaAsおよびInPからなる群から選ば
れるIII−V族化合物半導体からなる基板と、 前記基板の前記面上に成長されたエピタキシャル層とを
備える、III−V族化合物半導体ウェハ。 - 【請求項2】 前記面方位が(111)A面から微傾斜
させた面は、(111)A面から1°〜5°の範囲でオ
フさせた面である、請求項1記載のIII−V族化合物
半導体ウェハ。 - 【請求項3】 前記面方位が(111)A面から微傾斜
させた面は、(111)A面から1°〜2°の範囲でオ
フさせた面である、請求項2記載のIII−V族化合物
半導体ウェハ。 - 【請求項4】 GaAsおよびInPからなる群から選
ばれるIII−V族化合物半導体からなる基板に、面方
位が(111)A面から微傾斜させた面を形成するステ
ップと、 前記面が形成された基板の前記面上に、気相エピタキシ
ャル成長法により、エピタキシャル層を成長させるステ
ップとを備える、III−V族化合物半導体ウェハの製
造方法。 - 【請求項5】 前記基板に面方位が(111)A面から
微傾斜させた面を形成するステップは、鏡面加工により
行なわれることを特徴とする、請求項5記載のIII−
V族化合物半導体ウェハの製造方法。 - 【請求項6】 前記面方位が(111)A面から微傾斜
させた面は、(111)A面から1°〜5°の範囲でオ
フさせた面である、請求項4または請求項5記載のII
I−V族化合物半導体ウェハの製造方法。 - 【請求項7】 前記面方位が(111)A面から微傾斜
させた面は、(111)A面から1°〜2°の範囲でオ
フさせた面である、請求項6記載のIII−V族化合物
半導体ウェハの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP07344914A JP3109567B2 (ja) | 1995-12-05 | 1995-12-05 | Iii−v族化合物半導体ウェハの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP07344914A JP3109567B2 (ja) | 1995-12-05 | 1995-12-05 | Iii−v族化合物半導体ウェハの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH09162122A true JPH09162122A (ja) | 1997-06-20 |
JP3109567B2 JP3109567B2 (ja) | 2000-11-20 |
Family
ID=18372980
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP07344914A Expired - Fee Related JP3109567B2 (ja) | 1995-12-05 | 1995-12-05 | Iii−v族化合物半導体ウェハの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3109567B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010161349A (ja) * | 2008-12-08 | 2010-07-22 | Sumitomo Chemical Co Ltd | 半導体装置、半導体装置の製造方法、半導体基板、および半導体基板の製造方法 |
JP2011014900A (ja) * | 2009-06-29 | 2011-01-20 | Imec | Iii−v族加工基板の製造方法およびそのiii−v族加工基板 |
KR101323001B1 (ko) * | 2012-02-29 | 2013-10-29 | 주식회사 엘지실트론 | 이미지 센서 및 이의 제조 방법 |
-
1995
- 1995-12-05 JP JP07344914A patent/JP3109567B2/ja not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010161349A (ja) * | 2008-12-08 | 2010-07-22 | Sumitomo Chemical Co Ltd | 半導体装置、半導体装置の製造方法、半導体基板、および半導体基板の製造方法 |
JP2011014900A (ja) * | 2009-06-29 | 2011-01-20 | Imec | Iii−v族加工基板の製造方法およびそのiii−v族加工基板 |
KR101323001B1 (ko) * | 2012-02-29 | 2013-10-29 | 주식회사 엘지실트론 | 이미지 센서 및 이의 제조 방법 |
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP3109567B2 (ja) | 2000-11-20 |
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