JPH09161673A - Ｘ線管ターゲットの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 基台２とターゲット部材３とをそれぞれ融点
に大きな温度差のある金属材料で形成する場合にも、そ
れら部材間を確実に接合して耐久性の向上を図る。 【解決手段】 熱伝導の良好な金属材料で基台２を形成
するとともに、電子の衝突により所望のＸ線が発生する
金属材料からなるターゲット部材３を、次の工程により
基台２の表面に接合する。すなわち、まず基台２とター
ゲット部材３との間の接合部に、これら基台２およびタ
ーゲット部材３よりも低い融点をもつインサート材を介
在させ、所定の加圧下で加熱することにより該接合部に
インサート材の液相を生じさせる（液相生成工程）。次
いで、インサート材の液相を所定の加圧下で等温凝固さ
せる（等温凝固工程）。その後、所定の加圧下で熱処理
を行い基台２、ターゲット部材３、およびインサート材
を相互に拡散させる（拡散熱処理工程）。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、電子銃から発射
された電子の衝突に応じてＸ線を発生するＸ線管ターゲ
ットの製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】周知のとおり、Ｘ線回折装置をはじめと
する各種Ｘ線利用装置のＸ線源に用いられるＸ線管は、
電子銃に対向してＸ線管ターゲット（対陰極）を配置
し、電子銃から発射された電子をＸ線管ターゲットの表
面に衝突させることにより、該Ｘ線管ターゲットの表面
からＸ線を発生させる構造となっている。電子の衝突に
応じてＸ線を発生する材料としては、例えば、モリブデ
ン，クロム，タングステン，金，銀等の金属材料があげ
られる。これらの金属材料でＸ線管ターゲットを形成し
た場合、製品コストが高価格となるばかりか、材料によ
っては熱伝導率が低く、電子が衝突した際に発生する熱
を効率的に冷却することができず、また耐腐食性が低く
冷却水を長時間にわたり接触させておくことができない
等の問題がある。

【０００３】そこで、従来のＸ線管ターゲットは、図６
に示すように、電子の衝突に応じてＸ線を放射する金属
材料によってターゲット材２０を形成し、このターゲッ
ト材２０を熱伝導率の良好な金属材料で形成した基台２
１の表面に接合した構造となっており、基台２１の裏面
側に配管２２，２３を介して冷却水を循環させることに
より、電子の衝突時に発生する熱を冷却するようにして
いた。この種の従来のＸ線管ターゲットは、基台２１の
所要部分にターゲット材２０をろう付け，真空蒸着，イ
オンプレーティング，スパッタリング，めっき等で接合
または形成する手段が採られていたが、いずれもターゲ
ット材２０が基台２１から剥離しやすい等の課題を有し
ていた。

【０００４】そこで、本出願人らは先に異種金属間で生
じる固相拡散を応用して基台２１の表面にターゲット材
２０を接合するターゲットの製作方法を提案した（特開
平２−２３４３２４号公報参照）。すなわち、銅を含む
熱伝導良好な金属で基台２１を形成するとともに、この
基台２１の表面にターゲット材２０を密着させる。そし
て、密着面に圧力を加えた状態で、基台２１，ターゲッ
ト材２０の双方が溶融しない所定の温度にこれらを加熱
し、長時間保持する。これにより基台２１およびターゲ
ット材２０の相互間で固相拡散を生じさせ、これら基台
２１とターゲット材２０とを接合するようにしていた。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】上述の固相拡散を応用
したターゲットの製作方法によれば、ろう付け，真空蒸
着，イオンプレーティング，スパッタリング，めっき等
により基台２１とターゲット材２０とを接合する方法に
比べて剥離がしにくい等、諸々の効果を期待することが
できる。しかしながら、固相拡散は、接合する各金属材
料の融点近くまで加熱し、その加熱状態を長時間保持し
た場合に効率的に行われる。したがって、接合する金属
相互の融点に大きな温度差があった場合、融点の高い一
方の金属が効率的に固相拡散する状態に至らず、その結
果、接合状態が弱くなるという問題があった。

【０００６】この発明はこのような事情に鑑みてなされ
たもので、基台とターゲット部材とをそれぞれ融点に大
きな温度差のある金属材料で形成する場合にも、それら
部材間を確実に接合して耐久性の向上を図ることを目的
とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
にこの発明は、熱伝導の良好な金属材料で基台を形成す
るとともに、電子の衝突により所望のＸ線が発生する金
属材料からなるターゲット部材を基台の表面に接合して
なるＸ線管ターゲットの製造方法であって、次の工程を
含むことを特徴としている。

【０００８】 基台とターゲット部材との間の接合部
に、これら基台およびターゲット部材よりも低い融点を
もつインサート材を介在させ、所定の加圧下で加熱する
ことにより該接合部にインサート材の液相を生じさせる
液相生成工程 インサート材の液相を所定の加圧下で等温凝固させ
る等温凝固工程 等温凝固工程の後、さらに所定の加圧下で熱処理を
行い基台，ターゲット部材，およびインサート材料を相
互に拡散させる拡散熱処理工程

【０００９】すなわち、この発明は金属間の液相拡散を
応用したものであり、これにより接合する金属相互の融
点に大きな温度差があっても、液相状態のインサート材
の介在によって拡散が効率的に行われ、強固な接合状態
を形成することができる。

【００１０】しかも、インサート材の液相を等温凝固さ
せるので、その後、接合温度に再加熱しても接合部分が
溶融することがない。したがって、電子の衝突により高
温状態となっても、ターゲット部材が基台から離脱する
おそれがない。ここで、「等温凝固」とは、一定の温度
に保持する間に拡散により金属材料の組成が変化し、そ
の融点が上昇することによって凝固する現象をいう。

【００１１】また、拡散熱処理により接合部分の材質が
均質化するので、基台とターゲット部材との間の密着力
が大きく、一層確実な接合状態を形成することができ
る。

【００１２】この発明は、液相生成工程，等温凝固工
程，拡散熱処理工程をそれぞれ次のような具体的な構成
とすることもできる。すなわち、液相生成工程では、基
台およびターゲット部材よりも低い融点をもつインサー
ト材を介して、基台の表面にターゲット部材を装着する
とともに、該インサート材を介してターゲット部材を装
着した基台の周囲に加圧による変形を防止するための枠
材を装着して加圧ブロックを形成し、この加圧ブロック
を周囲から所定の圧力に加圧するとともに、インサート
材が溶融する所定の温度に加熱し、さらにインサート材
の液相状態を所定時間保持する。

【００１３】このように枠材を装着することにより加圧
ブロックとした状態で加圧することにより、基台および
ターゲット部材の変形が防止でき、形状寸法の高精度化
を図ることができるとともに、大きな圧力を加圧ブロッ
クに作用させることができ、液相拡散の進行を促進させ
ることができる。

【００１４】そして、等温凝固工程では、該液相生成工
程の後、加圧ブロックを所定の圧力および温度下に所定
時間おいてインサート材の液相を等温凝固させ、拡散熱
処理工程では、等温凝固工程の後、さらに等温凝固工程
よりも充分に長い所定の時間、加圧ブロックを所定の圧
力および温度下において基台，ターゲット部材，および
インサート材を相互に拡散させる。

【００１５】また、インサート材を介してターゲット部
材を装着した複数個の基台の周囲に枠材を装着すること
により加圧ブロックを形成してもよい。このようにすれ
ば、複数個のＸ線管ターゲットを同時に製造することが
でき、生産性の向上、ひいては生産コストの低減を図る
ことができる。

【００１６】さらにこの発明は、熱伝導の良好な金属材
料で円周表面を有する基台を形成するとともに、電子の
衝突により所望のＸ線が発生する金属材料からなる環状
のターゲット部材を前記基台の円周表面に接合してなる
Ｘ線管ターゲットを、次のような方法で製造する方法と
することもできる。

【００１７】すなわち、基台の円周表面を大径部と小径
部とを有する段付形状に形成し、基台およびターゲット
部材よりも低い融点をもつインサート材を介して基台の
円周表面小径部にターゲット部材を嵌合する。そして、
基台の円周表面小径部に基台とほぼ同一の金属材料から
なる環状部材を嵌合することにより、基台の円周表面大
径部と環状部材とでターゲット部材を挟み込んだ状態と
する。

【００１８】これらターゲット部材および環状部材を嵌
合した基台の周囲に加圧による変形を防止するための枠
材を装着して加圧ブロックを形成し、この加圧ブロック
を周囲から所定の圧力に加圧するとともに、インサート
材が溶融する所定の温度に加熱し、さらにインサート材
の液相状態を所定時間保持する（液相生成工程）。該液
相生成工程の後、加圧ブロックを所定の圧力および温度
下に所定時間放置し、インサート材の液相を等温凝固さ
せる（等温凝固工程）。該等温凝固工程の後、さらに等
温凝固工程よりも充分に長い所定の時間、加圧ブロック
を所定の圧力および温度下におく（拡散熱処理工程）。

【００１９】以上の工程によりターゲット部材，インサ
ート材，および基台の間で液相拡散が進行し、ターゲッ
ト部材と基台とを強固に接合することができる。しか
も、固相拡散によって環状部材と基台との間も接合さ
れ、その結果、基台の円周表面大径部と環状部材とでタ
ーゲット部材の抜けを確実に防止する構造を形成するこ
とができる。ここで、環状部材は基台とほぼ同一の金属
材料で形成してあるので融点も基台とほぼ同一である。
したがって、環状部材と基台との間は、固相拡散によっ
ても充分強固な接合状態を形成することができる。ま
た、ターゲット部材の内周面のみならず側面についても
基台および環状部材に接触するため、冷却効率を一層向
上させることもできる。

【００２０】この製造方法の場合にも、ターゲット部材
と環状部材を嵌合した複数個の基台の周囲に枠材を装着
することにより前記加圧ブロックを形成してもよい。こ
のようにすれば、複数個のＸ線管ターゲットを同時に製
造することができ、生産性の向上、ひいては生産コスト
の低減を図ることができる。なお、基台と環状部材との
間に、これら基台および環状部材よりも低い融点をもつ
インサート材を介在させてもよい。このようにすれば、
基台，インサート部材，および環状部材の間でも液相拡
散が進み、基台と環状部材とをより強固に接合すること
ができる。

【００２１】

【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態につ
いて図面を参照して詳細に説明する。図１はこの発明の
実施形態に係る製造方法によって製作されるＸ線管ター
ゲットの縦断面図である。このＸ線管ターゲット１は、
ローターターゲットと称する回転式のターゲット（対陰
極）であり、有底円筒状をした基台２の円周表面に環状
のターゲット部材３を接合した構造となっている。基台
２は、熱伝導の良好な金属材料、例えば銅合金で形成し
てあり、図示しない回転駆動装置に装着されて高速回転
する。また、ターゲット部材３は、電子の衝突により所
望のＸ線が発生する金属材料、例えばモリブデン，クロ
ム，タングステン，金，銀で形成してある。

【００２２】ここで、基台２は、円周表面が段部２ｃを
境として大径部２ａと小径部２ｂとに分かれており、小
径部２ｂにターゲット部材３が嵌合状態で接合されてい
る。さらに、基台２の小径部２ｂには環状部材４が嵌合
状態で接合されており、ターゲット部材３はこの環状部
材４と基台２の大径部２ａとに挟み込まれた状態となっ
ている。したがって、高速回転で駆動してもターゲット
部材３が基台２から抜けるようなおそれがなく、高い耐
久性能を有する。環状部材４は、基台２とほぼ同一の金
属材料で形成してあり、後述するこの実施形態の製造方
法で基台２に固相拡散接合した状態にあっては、基台２
と融合してほぼ一体のものとなる。

【００２３】また、挟み込まれた状態のターゲット部材
３は、内周面が基台２に接触していることは勿論、側面
も基台２の段部２ｃおよび環状部材４の側面と接触して
いるので、熱伝導性が良好となり、ターゲット部材３の
冷却効率が高い。すなわち、図示しない電子銃から発射
した電子をターゲット部材３に衝突させることにより、
ターゲット部材３の表面からＸ線が発生するが、その
際、ターゲット部材３は電子の衝突に伴い高熱を発生す
る。この熱を冷却するため、稼働中は配管５ａ，５ｂを
介して基台２の裏面側に冷却水を循環させており、基台
２を介してターゲット部材３と冷却水との間で熱交換を
行っている。したがって、この熱交換を媒介する基台２
に、ターゲット部材３をより広い面積で接触させること
により、冷却効率を向上させることができる。

【００２４】次に、上述したＸ線管ターゲットの製造方
法について、図３乃至図５を主に参照して詳細に説明す
る。あらかじめ上述したような熱伝導の良好な金属材料
で基台２を形成するとともに、電子の衝突により所望の
Ｘ線を発生する金属材料によってターゲット部材３を形
成する。また、基台２とほぼ同一の金属材料によって環
状部材４を形成しておく。ここで、基台２の円周表面
は、大径部２ａと小径部２ｂとを有する段付形状に形成
し、ターゲット部材３および環状部材４は、基台２の小
径部２ｂに嵌合する寸法に形成しておく。

【００２５】そして、基台２の小径部２ｂに基端側から
まずターゲット部材３を嵌め込み、次いで環状部材４を
嵌め込む（図３参照）。このとき、基台２とターゲット
部材３との間には、インサート材６を介在させる。イン
サート材６としては、基台２およびターゲット部材３よ
りも低い融点をもつ各種金属材料を用いることができる
が、好ましくは基台２およびターゲット部材３と類似し
た組成の金属材料に融点降下元素を加えたものや、接合
部で直接基台２およびターゲット部材３と反応して液相
を生じる金属材料を用いる。この種のインサート材６と
して、例えば、金，銀，チタン合金，錫などを適用する
ことができる。

【００２６】このインサート材６は、ペースト状のもの
を基台２とインサート材６との間に塗布したり、また薄
板状のものを基台２とターゲット部材３との間に挟み込
むようにして介在させる他、あらかじめ基台２またはタ
ーゲット部材３の接合面にめっきあるいは蒸着しておい
てもよい。

【００２７】この実施形態では、複数のＸ線管ターゲッ
トを同時に製造し、生産性の向上ひいては生産コストの
低減を図っている。すなわち、図４に示すように、ター
ゲット部材３（インサート材６が介在）および環状部材
４を装着してある基台２の内部側に、鉄鋼材等からなる
中子７を装着するとともに、これを鉄鋼材等からなる有
底円筒状の外枠８の内部に複数個積層した状態で収納す
る。このとき、外枠８に収納した各基台２の間には、同
じく鉄鋼材等からなる仕切枠９を介在させておき、外枠
８の一端開口部には閉塞枠１０を装着しておく。

【００２８】これら中子７，外枠８，仕切枠９，および
閉塞枠１０は、加圧による基台２等の変形を防止するた
めの枠材であり、複数個の基台２（ターゲット部材３，
環状部材４が装着してある）の周囲をこれらの枠材で囲
むことにより、当該複数個の基台２を含む加圧ブロック
１１を形成する。閉塞枠１０には、図４に示すように真
空びき用の吸引口１０ａが設けてあり、この吸引口１０
ａを図示しない真空ポンプに連通させ、外枠８の内部を
真空びきする。これにより外枠８の内部に存在していた
空気を放出し、後述する工程で加圧ブロック１１に作用
させる圧力が、インサート材６を介してターゲット部材
３が装着してある基台２に対して均一に伝わるようにす
る。

【００２９】充分な真空びきを行った後、吸引口１０ａ
を閉塞して真空ポンプから切り離し、この加圧ブロック
１１を加圧装置の加圧室内に挿入配置する。加圧装置と
しては、内部に加熱手段を有するホットプレス装置を用
いる。一般にＨＩＰ(熱間均等加圧装置)と称されている
ホットプレス装置を利用すれば、加圧ブロック１１の周
囲から液相拡散に必要な圧力を作用させることができる
とともに、以下の各工程をその加圧室１２内で連続的に
処理できるため、迅速に作業を進めることが可能とな
る。

【００３０】図５は上記ＨＩＰの構成を模式的に示した
図である。加圧室１２内には、加熱手段としてのヒータ
１３が設置してあり、コンピュータ制御によって加圧室
１２内を所望の一定温度に保持することができる。加圧
室１２内の不純ガスは、排気管１４を介して吸引除去す
ることができ、一方、Ｎ₂ガス等の不活性ガスをガス供
給管１５を介して加圧室１２内に充填することができる
ようになっている。

【００３１】加圧ブロック１１を加圧室１２内に挿入配
置した状態で、まず、インサート材６を液相に変えるた
めの液相生成工程を実施する。この工程では、加圧ブロ
ック１１を周囲から均等に加圧するとともに、所定の温
度に加熱する。このときの温度は、基台２およびターゲ
ット部材３の融点より低いが、インサート材６が溶融し
て液相を形成する適宜の温度に設定する。圧力は、加熱
による基台２等の膨張および基台２，ターゲット部材３
の材質等を考慮して、基台２等に変更および破損が生じ
ない適宜の圧力に設定する。すなわち、圧力が小さ過ぎ
ると加熱による基台２の膨張により薄肉のターゲット部
材３に割れを生じるおそれがある。一方、圧力が大き過
ぎると該圧力によって基台２等に変形が生じるおそれが
ある。

【００３２】この液相生成工程は、インサート材６を液
相に変化させるまでに要する適宜の時間だけ継続し、イ
ンサート材６が液相を形成したら引き続き次工程である
等温凝固工程に移行する。等温凝固工程では、加圧室１
２内の温度および圧力を液相生成工程におけるそれとほ
ぼ同一または類似する値に設定したまま、適宜の時間保
持する。この等温凝固工程によって、インサート材６，
基台２，およびターゲット部材３との間の液相拡散を進
行させる。この等温凝固工程での液相拡散により、基台
２とターゲット部材３の接合部における組成が変化する
とともに、インサート材６の融点が上昇して凝固する。
その結果、基台２とターゲット部材３とが強固に接合さ
れ、しかも接合温度まで再加熱しても接合部が溶融しな
い状態を形成することができる。

【００３３】等温凝固工程において、固相，液相界面が
移動している間もインサート材６，基台２，およびター
ゲット部材３を構成する元素は相互に拡散しているが、
これら各構成要素の成分が均質化する時間に比べ、等温
凝固は比較的短時間で終了する。そこで、加圧室１２内
での加熱および加圧状態を保持したままの状態を継続
し、基台２とターゲット部材３の接合部における組成の
均質化を図る（拡散熱処理工程）。この拡散熱処理工程
によって、インサート材６が等温凝固した後、インサー
ト材６，基台２，およびターゲット部材３の間で拡散が
進行し、基台２とターゲット部材３とが一層強固に接合
される。この拡散熱処理工程は、等温凝固工程に比べ充
分に長い時間をかけて実施する。

【００３４】上述のように液相生成工程，等温凝固工
程，拡散熱処理工程を実施していく過程で、ほぼ同一の
金属材料からなる基台２と環状部材４との間に固相拡散
が進行し、これら基台２と環状部材４との間も強固な接
合状態が形成される。

【００３５】また、加圧ブロック１１を構成する中子
７，外枠８，仕切枠９，および閉塞枠１０も基台２等と
固相拡散によって接合してしまい、加圧ブロック１１が
一個の塊となる。そこで、この塊となった加圧ブロック
１１を機械加工等によって切断または研削することによ
り、基台２の表面にターゲット部材３が接合してなるＸ
線管ターゲットを切り出して、一連の製造工程が終了す
る。

【００３６】なお、この発明は上述した実施形態に限定
されるものではない。例えば、上記の実施形態は、いわ
ゆるロータターゲットを対象にしてその製造方法を詳述
したが、この発明はロータターゲット以外のＸ線管ター
ゲット、例えば、固定ターゲットと称するＸ線管ターゲ
ット（対陰極）の製造にも適用できることは勿論であ
る。

【００３７】また、上記の実施形態において、基台２と
環状部材４との間にも、これら基台２および環状部材４
よりも低い融点をもつインサート材を介在させることが
きる。このようにすれば、基台２，インサート材，およ
び環状部材４の間でも液相拡散が進み、基台２と環状部
材４とをより強固に接合することができる。さらに、イ
ンサート材６はターゲット部材３の内周面のみならず、
同部材３の側面と基台２の段部２ｃおよび環状部材４の
側面との間にも介在させることができる。このようにす
れば、液相拡散接合による接合面積が広がり、より強固
な接合状態をすることが形成できる

【００３８】

【発明の効果】以上説明したようにこの発明のＸ線管タ
ーゲットの製造方法によれば、基台とターゲット部材と
をそれぞれ融点に大きな温度差のある金属材料で形成す
る場合にも、インサート材の液相拡散によりそれら部材
間を確実に接合して耐久性の向上を図ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の実施形態に係る製造方法によって製
作されるＸ線管ターゲットの縦断面図である。

【図２】図１に示したＸ線管ターゲットにおけるターゲ
ット部材の接合部を拡大して示す断面図である。

【図３】この発明の実施形態において、基台にインサー
ト材を介してターゲット部材を装着した状態を示す断面
図である。

【図４】図３に示したターゲット部材付きの基台を複数
個積層するとともに、その周囲および中間部に枠材を装
着して加圧ブロックを形成した状態を示す断面図であ
る。

【図５】図４に示した加圧ブロックを加圧装置の加圧室
内に挿入配置した状態を示す断面図である。

【図６】従来一般のＸ線管ターゲットを説明するための
断面図である。

【符号の説明】

１：Ｘ線管ターゲット ２：基台 ２ａ：大径部 ２ｂ：小径部 ２ｃ：段部 ３：ターゲット部材 ４：環状部材 ６：インサート材 １１：加圧ブロック １２：加圧室 １３：ヒータ

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 熱伝導の良好な金属材料で基台を形成す
   るとともに、電子の衝突により所望のＸ線が発生する金
   属材料からなるターゲット部材を前記基台の表面に接合
   してなるＸ線管ターゲットの製造方法であって、 前記基台とターゲット部材との間の接合部に、これら基
   台およびターゲット部材よりも低い融点をもつインサー
   ト材を介在させ、所定の加圧下で加熱することにより該
   接合部にインサート材の液相を生じさせる液相生成工程
   と、 前記インサート材の液相を所定の加圧下で等温凝固させ
   る等温凝固工程と、 前記等温凝固工程の後、さらに所定の加圧下で熱処理を
   行ない前記基台、ターゲット部材、およびインサート材
   を相互に拡散させる拡散熱処理工程とを含むことを特徴
   とするＸ線管ターゲットの製造方法。
2. 【請求項２】 熱伝導の良好な金属材料で基台を形成す
   るとともに、電子の衝突により所望のＸ線が発生する金
   属材料からなるターゲット部材を前記基台の表面に接合
   してなるＸ線管ターゲットの製造方法であって、 前記基台およびターゲット部材よりも低い融点をもつイ
   ンサート材を介して、前記基台の表面に前記ターゲット
   部材を装着するとともに、該インサート材を介してター
   ゲット部材を装着した基台の周囲に、加圧による変形を
   防止するための枠材を装着して加圧ブロックを形成し、
   この加圧ブロックを周囲から所定の圧力に加圧するとと
   もに、前記インサート材が溶融する所定の温度に加熱
   し、さらにインサート材の液相状態を所定時間保持する
   液相生成工程と、 該液相生成工程の後、前記加圧ブロックを所定の圧力お
   よび温度下に所定時間放置し、前記インサート材の液相
   を等温凝固させる等温凝固工程と、 該等温凝固工程の後、さらに前記等温凝固工程よりも充
   分に長い所定の時間、前記加圧ブロックを所定の圧力お
   よび温度下におく拡散熱処理工程とを含むことを特徴と
   するＸ線管ターゲットの製造方法。
3. 【請求項３】 請求項２記載のＸ線管ターゲットの製造
   方法において、前記ターゲット部材を装着した複数個の
   基台の周囲に前記枠材を装着することにより前記加圧ブ
   ロックを形成したことを特徴とするＸ線管ターゲットの
   製造方法。
4. 【請求項４】 熱伝導の良好な金属材料で円周表面を有
   する基台を形成するとともに、電子の衝突により所望の
   Ｘ線が発生する金属材料からなる環状のターゲット部材
   を前記基台の円周表面に接合してなるＸ線管ターゲット
   の製造方法であって、 前記基台の円周表面を大径部と小径部とを有する段付形
   状に形成し、前記基台およびターゲット部材よりも低い
   融点をもつインサート材を介して前記基台の円周表面小
   径部に前記ターゲット部材を嵌合するとともに、該基台
   の円周表面小径部に前記基台とほぼ同一の金属材料から
   なる環状部材を嵌合することにより、前記基台の円周表
   面大径部と前記環状部材とで前記ターゲット部材を挟み
   込んだ状態とし、 これらターゲット部材および環状部材を嵌合した基台の
   周囲に加圧による変形を防止するための枠材を装着して
   加圧ブロックを形成し、この加圧ブロックを周囲から所
   定の圧力に加圧するとともに、前記インサート材が溶融
   する所定の温度に加熱し、さらにインサート材の液相状
   態を所定時間保持する液相生成工程と、 該液相生成工程の後、前記加圧ブロックを所定の圧力お
   よび温度下に所定時間放置し、前記インサート材の液相
   を等温凝固させる等温凝固工程と、 該等温凝固工程の後、さらに前記等温凝固工程よりも充
   分に長い所定の時間、前記加圧ブロックを所定の圧力お
   よび温度下におく拡散熱処理工程とを含むことを特徴と
   するＸ線管ターゲットの製造方法。
5. 【請求項５】 請求項４記載のＸ線管ターゲットの製造
   方法において、ターゲット部材および環状部材を嵌合し
   た前記複数個の基台の周囲に前記枠材を装着することに
   より前記加圧ブロックを形成したことを特徴とするＸ線
   管ターゲットの製造方法。
6. 【請求項６】 請求項４または５記載のＸ線管ターゲッ
   トの製造方法において、前記基台と環状部材との間に、
   これら基台および環状部材よりも低い融点をもつインサ
   ート材を介在させることを特徴とするＸ線管ターゲット
   の製造方法。