JPH09159850A - 光学フィルタ及びそれを用いた光学部品 - Google Patents
光学フィルタ及びそれを用いた光学部品Info
- Publication number
- JPH09159850A JPH09159850A JP31552995A JP31552995A JPH09159850A JP H09159850 A JPH09159850 A JP H09159850A JP 31552995 A JP31552995 A JP 31552995A JP 31552995 A JP31552995 A JP 31552995A JP H09159850 A JPH09159850 A JP H09159850A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- glass
- film
- polyimide
- filter
- multilayer film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Optical Integrated Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 取扱いが容易な光学フィルタ及びそれを用い
た光学部品を提供する。 【解決手段】 ガラス薄膜を積層してなるガラス多層膜
２の表面にプラスチック被膜３をコーティングした。
た光学部品を提供する。 【解決手段】 ガラス薄膜を積層してなるガラス多層膜
２の表面にプラスチック被膜３をコーティングした。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ガラス多層膜から
なる光学フィルタに係り、特に、取扱いが容易な光学フ
ィルタ及びそれを用いた光学部品に関するものである。
なる光学フィルタに係り、特に、取扱いが容易な光学フ
ィルタ及びそれを用いた光学部品に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】ガラス多層膜フィルタは、ＳｉＯ2 ガラ
ス膜、ＴｉＯ2 ガラス膜等の屈折率の異なる少なくとも
２種以上のガラス膜を複数層に積層したもので、特定波
長の光を遮断したり、或いは反射したりする機能を有す
る。図３に示されるように、ガラス多層膜フィルタは、
基板１となるガラス板やプラスチックフィルムの上にイ
オンビーム蒸着法等によりＳｉＯ2 ガラスやＴｉＯ2 ガ
ラスの薄膜を蒸着積層してガラス多層膜２を形成したも
のが一般に使用されている。
ス膜、ＴｉＯ2 ガラス膜等の屈折率の異なる少なくとも
２種以上のガラス膜を複数層に積層したもので、特定波
長の光を遮断したり、或いは反射したりする機能を有す
る。図３に示されるように、ガラス多層膜フィルタは、
基板１となるガラス板やプラスチックフィルムの上にイ
オンビーム蒸着法等によりＳｉＯ2 ガラスやＴｉＯ2 ガ
ラスの薄膜を蒸着積層してガラス多層膜２を形成したも
のが一般に使用されている。
【０００３】ガラス多層膜フィルタの使用例は、図４に
示されるように、平板ガラス導波路４１のコア部に機械
加工によりスリット４２を溝加工し、このスリット４２
にガラス多層膜フィルタ４４を挿入し、接着剤で固定す
る。このように光の通路であるコア部にガラス多層膜フ
ィルタ４４を挿入することによって、特定波長の光を遮
断したり、或いは反射したりする光学的機能を平板ガラ
ス導波路４１のような光学部品に付与することができ
る。
示されるように、平板ガラス導波路４１のコア部に機械
加工によりスリット４２を溝加工し、このスリット４２
にガラス多層膜フィルタ４４を挿入し、接着剤で固定す
る。このように光の通路であるコア部にガラス多層膜フ
ィルタ４４を挿入することによって、特定波長の光を遮
断したり、或いは反射したりする光学的機能を平板ガラ
ス導波路４１のような光学部品に付与することができ
る。
【０００４】上述の如く平板ガラス導波路４１のコア部
にガラス多層膜フィルタ４４を挿入した光学部品にあっ
ては、ガラス多層膜フィルタ４４の厚さが厚いとこれを
通過する光の損失が大きくなってしまう。そこで、この
ような用途のガラス多層膜フィルタ４４には、膜厚が１
０〜２０μｍ程度の極めて薄いものが用いられる。
にガラス多層膜フィルタ４４を挿入した光学部品にあっ
ては、ガラス多層膜フィルタ４４の厚さが厚いとこれを
通過する光の損失が大きくなってしまう。そこで、この
ような用途のガラス多層膜フィルタ４４には、膜厚が１
０〜２０μｍ程度の極めて薄いものが用いられる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】イオンビーム蒸着法等
の蒸着技術により形成されたガラス蒸着膜は大きな内部
歪みを有している。従って、このガラス蒸着膜の表面に
傷が入ると、内部歪みによって傷が拡大し、ガラス多層
膜フィルタ全体に波及するおそれがある。
の蒸着技術により形成されたガラス蒸着膜は大きな内部
歪みを有している。従って、このガラス蒸着膜の表面に
傷が入ると、内部歪みによって傷が拡大し、ガラス多層
膜フィルタ全体に波及するおそれがある。
【０００６】また、通常、ガラス多層膜フィルタの取扱
いには真空ピンセットを用いる。光学部品を製造する際
には、真空ピンセットによりガラス多層膜をフィルタ吸
着保持し所定位置に搬送する。しかし、ガラス蒸着膜面
は吸着しないようにし、基板面を吸着する必要があり、
このように面を選んで吸着保持するのには手間がかか
る。そして、スリットに挿入する際にはガラス多層膜フ
ィルタが固形物に接触しないよう極めて慎重に取り扱う
必要があり、ガラス多層膜フィルタを挿入固定するには
多くの時間を要する。
いには真空ピンセットを用いる。光学部品を製造する際
には、真空ピンセットによりガラス多層膜をフィルタ吸
着保持し所定位置に搬送する。しかし、ガラス蒸着膜面
は吸着しないようにし、基板面を吸着する必要があり、
このように面を選んで吸着保持するのには手間がかか
る。そして、スリットに挿入する際にはガラス多層膜フ
ィルタが固形物に接触しないよう極めて慎重に取り扱う
必要があり、ガラス多層膜フィルタを挿入固定するには
多くの時間を要する。
【０００７】また、上記のようにしてガラス多層膜フィ
ルタ４４をスリット４２に挿入した光学部品に温度試
験、例えば−４０℃〜８５℃の温度サイクル試験を実施
した場合、取扱い中の傷に起因してガラス多層膜フィル
タが破損することもある。
ルタ４４をスリット４２に挿入した光学部品に温度試
験、例えば−４０℃〜８５℃の温度サイクル試験を実施
した場合、取扱い中の傷に起因してガラス多層膜フィル
タが破損することもある。
【０００８】そこで、本発明の目的は、上記課題を解決
し、取扱いが容易な光学フィルタ及びそれを用いた光学
部品を提供することにある。
し、取扱いが容易な光学フィルタ及びそれを用いた光学
部品を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明は、ガラス薄膜を積層してなるガラス多層膜の
表面にプラスチック被膜をコーティングしたものであ
る。
に本発明は、ガラス薄膜を積層してなるガラス多層膜の
表面にプラスチック被膜をコーティングしたものであ
る。
【００１０】光学部品は、ガラス薄膜を積層してなるガ
ラス多層膜の表面にプラスチック被膜をコーティングし
た光学フィルタを、光ファイバあるいは平板ガラス導波
路等によって形成される光路の途中に挿入したものであ
る。
ラス多層膜の表面にプラスチック被膜をコーティングし
た光学フィルタを、光ファイバあるいは平板ガラス導波
路等によって形成される光路の途中に挿入したものであ
る。
【００１１】プラスチック被膜により、ガラス多層膜の
表面が加傷から保護される。これによって、従来、非常
に取扱いに慎重を要したガラス多層膜フィルタの取扱い
が容易になる。
表面が加傷から保護される。これによって、従来、非常
に取扱いに慎重を要したガラス多層膜フィルタの取扱い
が容易になる。
【００１２】
【発明の実施の形態】図１に示されるように、本発明の
ガラス多層膜フィルタは、最下層となる基板ポリイミド
１、その上に形成されＳｉＯ2 ガラス膜とＴｉＯ2 ガラ
ス膜とからなるガラス多層膜２、最上層となる表面ポリ
イミド被膜３から構成されている。ガラス多層膜２は、
ＳｉＯ2 ガラス膜、ＴｉＯ2 ガラス膜に限らず、屈折率
の異なる少なくとも２種以上のガラス膜を複数層に積層
したものである。表面ポリイミド被膜３は本発明による
プラスチック被膜である。なお、以下の製造方法の場
合、基板ポリイミド１と表面ポリイミド被膜３とは同材
質となる。
ガラス多層膜フィルタは、最下層となる基板ポリイミド
１、その上に形成されＳｉＯ2 ガラス膜とＴｉＯ2 ガラ
ス膜とからなるガラス多層膜２、最上層となる表面ポリ
イミド被膜３から構成されている。ガラス多層膜２は、
ＳｉＯ2 ガラス膜、ＴｉＯ2 ガラス膜に限らず、屈折率
の異なる少なくとも２種以上のガラス膜を複数層に積層
したものである。表面ポリイミド被膜３は本発明による
プラスチック被膜である。なお、以下の製造方法の場
合、基板ポリイミド１と表面ポリイミド被膜３とは同材
質となる。
【００１３】このガラス多層膜フィルタの製造方法を説
明する。
明する。
【００１４】まず、３インチ径のＳｉ基板上に、ポリイ
ミドを溶剤に溶解させてなる溶液をスピンコートし、し
かる後にこれを加熱硬化させ、基板ポリイミド１となる
厚さ５μｍのポリイミド被膜を形成する。次に、このポ
リイミド被膜の上に、イオンビーム蒸着法によりＳｉＯ
2 ガラス膜とＴｉＯ2 ガラス膜とを蒸着積層する。それ
ぞれの層の膜厚はいずれも０．５μｍとし、これらの層
を交互に２０層積層してガラス多層膜２を形成する。蒸
着完了後、前述同様のポリイミド溶液をスピンコートに
よりガラス多層膜２の上に塗布し、これを加熱硬化させ
て厚さ５μｍの表面ポリイミド被膜３を形成する。この
後、Ｓｉ基板をフッ化アンモン溶液で溶解し、フィルム
状の薄膜フィルタを製作する。最後にこれを２ｍｍ×２
ｍｍに裁断して図１のガラス多層膜フィルタを得る。
ミドを溶剤に溶解させてなる溶液をスピンコートし、し
かる後にこれを加熱硬化させ、基板ポリイミド１となる
厚さ５μｍのポリイミド被膜を形成する。次に、このポ
リイミド被膜の上に、イオンビーム蒸着法によりＳｉＯ
2 ガラス膜とＴｉＯ2 ガラス膜とを蒸着積層する。それ
ぞれの層の膜厚はいずれも０．５μｍとし、これらの層
を交互に２０層積層してガラス多層膜２を形成する。蒸
着完了後、前述同様のポリイミド溶液をスピンコートに
よりガラス多層膜２の上に塗布し、これを加熱硬化させ
て厚さ５μｍの表面ポリイミド被膜３を形成する。この
後、Ｓｉ基板をフッ化アンモン溶液で溶解し、フィルム
状の薄膜フィルタを製作する。最後にこれを２ｍｍ×２
ｍｍに裁断して図１のガラス多層膜フィルタを得る。
【００１５】次に、本発明のガラス多層膜フィルタを用
いた光学部品について説明する。
いた光学部品について説明する。
【００１６】図２に示されるように、光路となるコア部
２３が形成されてなる平板ガラス導波路２１に機械研削
加工で幅３０μｍ、深さ２００μｍの溝状のスリット２
２をコア部２３に直交させて形成する。このスリット２
２に本発明のガラス多層膜フィルタ２４を挿入し、接着
剤で固定する。
２３が形成されてなる平板ガラス導波路２１に機械研削
加工で幅３０μｍ、深さ２００μｍの溝状のスリット２
２をコア部２３に直交させて形成する。このスリット２
２に本発明のガラス多層膜フィルタ２４を挿入し、接着
剤で固定する。
【００１７】ガラス多層膜フィルタ２４は波長１．４μ
ｍ以上の光を遮断する特性を有している。この光学部品
の平板ガラス導波路２１の両端に光ファイバを接続する
ことにより、導波路型の光学フィルタ素子として使用す
ることができる。
ｍ以上の光を遮断する特性を有している。この光学部品
の平板ガラス導波路２１の両端に光ファイバを接続する
ことにより、導波路型の光学フィルタ素子として使用す
ることができる。
【００１８】平板ガラス導波路２１のスリット２２にガ
ラス多層膜フィルタ２４を挿入するに際し、金属製の真
空ピンセットでガラス多層膜フィルタ２４を吸着保持
し、スリット２２に挿入する。このとき基板ポリイミド
１及び表面ポリイミド被膜３によってガラス多層膜２の
ガラス蒸着膜面が保護されているので、取扱い中に傷が
生じることがない。また、両面どちらでも吸着保持する
ことができるので、時間が短縮できる。
ラス多層膜フィルタ２４を挿入するに際し、金属製の真
空ピンセットでガラス多層膜フィルタ２４を吸着保持
し、スリット２２に挿入する。このとき基板ポリイミド
１及び表面ポリイミド被膜３によってガラス多層膜２の
ガラス蒸着膜面が保護されているので、取扱い中に傷が
生じることがない。また、両面どちらでも吸着保持する
ことができるので、時間が短縮できる。
【００１９】このようにして製作した導波路型光学フィ
ルタ素子を１０個用い、温度−４０℃〜８５℃の温度サ
イクル試験を１０００サイクル実施したところフィルタ
が破損したものは１個もなかった。
ルタ素子を１０個用い、温度−４０℃〜８５℃の温度サ
イクル試験を１０００サイクル実施したところフィルタ
が破損したものは１個もなかった。
【００２０】
【発明の効果】本発明は次の如き優れた効果を発揮す
る。
る。
【００２１】（１）ガラス多層膜フィルタの取扱いが極
めて容易になり、フィルタ光学部品への取り付け作業時
間を短縮することができる。
めて容易になり、フィルタ光学部品への取り付け作業時
間を短縮することができる。
【００２２】（２）フィルタ表面のガラス膜に傷が入ら
なくなるので、温度サイクル等の熱的変化に対しても破
損することがなくなる。従って、光学部品の信頼性が大
幅に向上する。
なくなるので、温度サイクル等の熱的変化に対しても破
損することがなくなる。従って、光学部品の信頼性が大
幅に向上する。
【図１】本発明のガラス多層膜フィルタの斜視図であ
る。
る。
【図２】本発明のガラス多層膜フィルタを用いた光学部
品の斜視図である。
品の斜視図である。
【図３】従来のガラス多層膜フィルタの斜視図である。
【図４】従来のガラス多層膜フィルタを用いた光学部品
の斜視図である。
の斜視図である。
１ 基板ポリイミド ２ ガラス多層膜 ３ プラスチック被膜
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 上塚 尚登 茨城県日立市日高町５丁目１番１号 日立 電線株式会社オプトロシステム研究所内
Claims (2)
- 【請求項１】 ガラス薄膜を積層してなるガラス多層膜
の表面にプラスチック被膜をコーティングしたことを特
徴とする光学フィルタ。 - 【請求項２】 ガラス薄膜を積層してなるガラス多層膜
の表面にプラスチック被膜をコーティングした光学フィ
ルタを、光路途中に挿入したことを特徴とする光学部
品。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31552995A JPH09159850A (ja) | 1995-12-04 | 1995-12-04 | 光学フィルタ及びそれを用いた光学部品 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31552995A JPH09159850A (ja) | 1995-12-04 | 1995-12-04 | 光学フィルタ及びそれを用いた光学部品 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09159850A true JPH09159850A (ja) | 1997-06-20 |
Family
ID=18066443
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31552995A Pending JPH09159850A (ja) | 1995-12-04 | 1995-12-04 | 光学フィルタ及びそれを用いた光学部品 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09159850A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005026796A1 (ja) * | 2003-09-12 | 2005-03-24 | Nippon Telegraph And Telephone Corporation | 波長合分波器 |
-
1995
- 1995-12-04 JP JP31552995A patent/JPH09159850A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005026796A1 (ja) * | 2003-09-12 | 2005-03-24 | Nippon Telegraph And Telephone Corporation | 波長合分波器 |
| KR100748896B1 (ko) * | 2003-09-12 | 2007-08-13 | 니폰덴신뎅와 가부시키가이샤 | 파장 합분파기 |
| CN100353194C (zh) * | 2003-09-12 | 2007-12-05 | 日本电信电话株式会社 | 波长合波分波器 |
| US7313297B2 (en) | 2003-09-12 | 2007-12-25 | Nippon Telegraph And Telephone Corporation | Wavelength multi/demultiplexer |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN101027798A (zh) | 受保护的聚合物膜 | |
| CH654686A5 (fr) | Procede de fabrication d'un dispositif a volets miniatures et application d'un tel procede pour l'obtention d'un dispositif de modulation de lumiere. | |
| KR20040104694A (ko) | 광분리기 및 직접 결합을 이용한 제조하는 방법 | |
| JPH0282201A (ja) | 合成樹脂製光学部品の多層膜裏面反射鏡 | |
| US4842398A (en) | Ultralight-weight mirror and method of manufacturing it | |
| JP2002252082A (ja) | 表示装置及び表示装置の製造方法 | |
| JPH09159850A (ja) | 光学フィルタ及びそれを用いた光学部品 | |
| GB2232498A (en) | Optical interference filters | |
| JPS61184743A (ja) | 光記録媒体 | |
| JPH0442737B2 (ja) | ||
| JPH11337733A (ja) | 複屈折板及びその作製方法 | |
| JP2009251167A (ja) | 誘電体多層膜 | |
| JPH1152128A (ja) | 誘電体多層膜光フィルタおよびその製造方法 | |
| JP2002365590A (ja) | 光学素子、光学素子の製造方法、および、光アイソレータ | |
| JP3606630B2 (ja) | 光学多層膜フィルタ | |
| JPH1164629A (ja) | 光素子およびその製造方法 | |
| JP2881498B2 (ja) | 多層薄膜光学素子 | |
| JP2000206326A (ja) | 多層膜光学素子 | |
| JP3353948B2 (ja) | ビームスプリッター | |
| JP4628054B2 (ja) | 光アイソレータ | |
| JPH10232312A (ja) | 光分岐フィルタ | |
| JPS63304202A (ja) | 合成樹脂製ハ−フ・ミラ− | |
| US8391659B2 (en) | Method of coating and handling multiple optical components simultaneously | |
| JPS62280702A (ja) | 光学要素 | |
| JPH0332761B2 (ja) |