JPH09159705A - Apparatus for measuring electric characteristic - Google Patents

Apparatus for measuring electric characteristic

Info

Publication number
JPH09159705A
JPH09159705A JP7316754A JP31675495A JPH09159705A JP H09159705 A JPH09159705 A JP H09159705A JP 7316754 A JP7316754 A JP 7316754A JP 31675495 A JP31675495 A JP 31675495A JP H09159705 A JPH09159705 A JP H09159705A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
measuring
linear sample
sample
connecting member
clamp
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP7316754A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP3132718B2 (en
Inventor
Tamotsu Nishijima
保 西島
Yasuyori Kondo
康順 近藤
Toshihiro Fujino
年弘 藤野
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Yazaki Corp
Original Assignee
Yazaki Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Yazaki Corp filed Critical Yazaki Corp
Priority to JP07316754A priority Critical patent/JP3132718B2/en
Publication of JPH09159705A publication Critical patent/JPH09159705A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP3132718B2 publication Critical patent/JP3132718B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Measurement Of Resistance Or Impedance (AREA)
  • Testing Electric Properties And Detecting Electric Faults (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To continuously measure under extremely low temperatures by providing a plurality of clamping means for fixing and holding at two points, a transfer means, an electric characteristic-measuring means and a fixing/connecting means for mechanically and electrically fixing/connecting at two points. SOLUTION: As a first chain 3 and a second chain 3, drive, a linear sample 1 is fixed without being loosened by a clamping part consisting of a first clamping part 2 and a second clamping part 2'. When a driving part 14 drives to feed a driving force to a sprocket gear, the clamping parts 2 and 2' fixing the sample 1 are also driven along a locus indicated by a chain line. At a timing when the sample 1 is located between an upper terminal 8 and a lower terminal 6, a roller butts against a breadthwise part of a cam 11, and the sample 1 is held between the terminals 8 and 6 to be electrically connected to a measuring part 16. At the same time, the sample 1 is fixed mechanically by a moment generated by a self weight of a weight.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、線状材料の電気的
な特性を測定する電気的特性測定装置に係り、特に極低
温状態等の特殊環境下で金属材料の電気抵抗等の電気的
な特性を測定する電気的特性測定装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an electric characteristic measuring device for measuring electric characteristics of a linear material, and particularly to an electric characteristic such as electric resistance of a metal material under a special environment such as an extremely low temperature. The present invention relates to an electric characteristic measuring device for measuring characteristics.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来より金属材料の電気的特性の一つで
ある電気抵抗の測定に際しては、ホイートストーンブリ
ッジ、ダブルブリッジ等の4端子法が用いられている。
しかしながら、一般的な4端子法においては、 1) 測定現場において複数の測定対象試料の電気抵抗
を効率良く測定することができない。
2. Description of the Related Art Conventionally, a four-terminal method such as a Wheatstone bridge or a double bridge has been used for measuring electric resistance, which is one of electric characteristics of metal materials.
However, in the general four-terminal method, 1) it is not possible to efficiently measure the electrical resistance of a plurality of measurement target samples at the measurement site.

【0003】2) 液体窒素(N2 )中、あるいは液体
ヘリウム(He)中等の極低温雰囲気中における測定対
象試料の電気抵抗を測定する方法がない。等の課題があ
った。上記1)の課題を解決する方法としては、特開昭
60−220872号公報に開示されているように、標
準電気抵抗と測定対象の試料抵抗を直列に接続し、標準
電気抵抗及び試料抵抗に通電し、各抵抗の両端の電圧及
び温度を順次測定することにより複数の試料抵抗の電気
抵抗を自動的に測定する方法を挙げることができる。
2) There is no method for measuring the electric resistance of a sample to be measured in an extremely low temperature atmosphere such as in liquid nitrogen (N 2 ) or liquid helium (He). And other issues. As a method of solving the above problem 1), as disclosed in JP-A-60-220872, a standard electric resistance and a sample resistance to be measured are connected in series to obtain the standard electric resistance and the sample resistance. A method of automatically measuring the electric resistance of a plurality of sample resistances by energizing and sequentially measuring the voltage and temperature across each resistance can be mentioned.

【0004】また、上記2)の課題を解決する方法とし
ては、特開昭60−157041号公報に開示されてい
る、試料の純度を測定するに際し、ガスサイクルによる
小型極低温冷凍機を用い試料の温度を低下させつつ各温
度における試料の電気抵抗を測定し、測定した電気抵抗
値から残留電気抵抗を求める方法を応用することが考え
られる。
As a method for solving the above problem 2), when measuring the purity of a sample disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 60-157041, a sample is used by using a small cryogenic refrigerator by a gas cycle. It is conceivable to apply the method of measuring the electric resistance of the sample at each temperature while lowering the temperature, and obtaining the residual electric resistance from the measured electric resistance value.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】ところで、超伝導分野
における技術の進歩により極低温状態で超伝導現象を示
す物質が多種にわたって存在するようになってきた。ま
た、これらの超伝導物質の形状としては、実用上の観点
から線状のものが多くなってきており、互いに独立した
複数の線状試料の電気抵抗等の電気的特性を極低温状態
で効率良く連続的に測定可能な装置が望まれている。
By the way, due to the progress of technology in the field of superconductivity, there are many kinds of substances exhibiting the superconductivity phenomenon in a cryogenic state. In addition, as the shape of these superconducting substances, linear ones are becoming more popular from a practical point of view. There is a need for a device that can measure well and continuously.

【0006】しかし、上記特開昭60−220872号
公報記載の抵抗測定装置においては、その原理上、一つ
の連続した試料の部分的な電気抵抗を連続的に測定する
ことはできるが、互いに独立した複数の試料の電気抵抗
を同一の測定条件(温度等)の下で連続的に測定するこ
とはできないという問題点があった。
However, in the resistance measuring device described in Japanese Patent Laid-Open No. Sho 60-220872, the partial electric resistance of one continuous sample can be continuously measured by its principle, but they are independent of each other. There is a problem in that the electrical resistances of the plurality of samples cannot be continuously measured under the same measurement conditions (temperature, etc.).

【0007】また、上記特開昭60−157041号公
報記載の純度測定装置においては、当該装置が試料の材
質の同定に用いることを目的としており、その装置構成
上、実用的なある程度の長さを有する線状の試料の測定
には不向きであるとともに、複数の試料に対して効率良
く、電気抵抗等の電気的特性を測定することはできない
という問題点があった。
Further, in the purity measuring apparatus described in the above-mentioned Japanese Patent Laid-Open No. 60-157041, the purpose is to use the apparatus for identifying the material of the sample. There is a problem that it is not suitable for the measurement of a linear sample having the above-mentioned characteristics and that the electrical characteristics such as electric resistance cannot be measured efficiently for a plurality of samples.

【0008】そこで、本発明の目的は、極低温状態下や
任意の雰囲気下において互いに独立な複数の線状の試料
の電気抵抗等の電気的特性を連続的に測定することが可
能な電気的特性測定装置を提供することにある。
Therefore, an object of the present invention is to make it possible to continuously measure the electrical characteristics such as the electrical resistance of a plurality of linear samples which are independent of each other under a cryogenic condition or in an arbitrary atmosphere. It is to provide a characteristic measuring device.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、請求項1記載の発明は、線状試料を所定距離だけ離
間した二点で固定保持する複数のクランプ手段と、前記
クランプ手段を所定測定位置まで順次搬送する搬送手段
と、前記線状試料の電気的特性を測定する測定手段と、
前記所定測定位置に搬送された前記クランプ手段に保持
されている線状試料を少なくとも測定期間中、所定距離
だけ離間した二点で機械的に固定するとともに前記測定
手段に電気的に接続する固定接続手段と、を備えて構成
する。
In order to solve the above-mentioned problems, the invention according to claim 1 has a plurality of clamp means for fixing and holding a linear sample at two points separated by a predetermined distance, and the clamp means. Conveying means for sequentially conveying to the measurement position, and measuring means for measuring the electrical characteristics of the linear sample,
Fixed connection for mechanically fixing the linear sample held by the clamp means conveyed to the predetermined measurement position at two points separated by a predetermined distance at least during the measurement period and electrically connected to the measurement means. And means.

【0010】請求項1記載の発明によれば、各クランプ
手段は、線状試料を所定距離だけ離間した二点で固定保
持する。搬送手段は、線状試料が固定保持された各クラ
ンプ手段を所定測定位置まで順次搬送する。
According to the first aspect of the invention, each of the clamp means fixes and holds the linear sample at two points separated by a predetermined distance. The transport means sequentially transports each of the clamp means on which the linear sample is fixedly held to a predetermined measurement position.

【0011】クランプ手段による固定保持動作及び搬送
手段による搬送動作と並行して、固定接続手段は、所定
位置に搬送されたクランプ手段に保持されている線状試
料を少なくとも測定手段による測定期間中、所定距離だ
け離間した二点で機械的に固定するとともに測定手段に
電気的に接続し、測定手段は当該線状試料の電気特性を
測定する。
In parallel with the fixing and holding operation by the clamp means and the conveying operation by the conveying means, the fixed connecting means, at least during the measurement period by the measuring means, of the linear sample held by the clamp means is conveyed to a predetermined position. It is mechanically fixed at two points separated by a predetermined distance and is electrically connected to the measuring means, and the measuring means measures the electrical characteristics of the linear sample.

【0012】請求項2記載の発明は、請求項1記載の発
明において、前記固定接続手段は、前記搬送手段が前記
クランプ手段を搬送中は、前記機械的な固定及び前記測
定手段に対する電気的接続を解除するように構成する。
請求項2記載の発明によれば、請求項1記載の発明の作
用に加えて、固定接続手段は、前記搬送手段が前記クラ
ンプ手段を搬送中は、機械的な固定及び測定手段に対す
る電気的接続を(一時的に)解除するので、搬送手段は
再び線状試料が固定保持された各クランプ手段を搬送す
ることが可能となる。
According to a second aspect of the present invention, in the first aspect of the invention, the fixed connection means is mechanically fixed and electrically connected to the measuring means while the conveying means conveys the clamp means. Is configured to be released.
According to the invention described in claim 2, in addition to the function of the invention described in claim 1, the fixed connection means is mechanically fixed and electrically connected to the measuring means while the conveying means conveys the clamping means. (Temporarily) is released, the transport means can again transport each clamp means on which the linear sample is fixedly held.

【0013】請求項3記載の発明は、請求項1または請
求項2記載の発明において、前記搬送手段は、前記クラ
ンプ手段が所定位置に固定され、環状に形成されたチェ
ーンと、前記チェーンを駆動することにより前記クラン
プ手段を搬送する駆動手段と、を備えて構成する。
According to a third aspect of the present invention, in the first or second aspect of the present invention, the conveying means drives the chain, and a chain formed in an annular shape in which the clamp means is fixed at a predetermined position. Drive means for transporting the clamp means by doing so.

【0014】請求項3記載の発明によれば、請求項1ま
たは請求項2記載の発明の作用に加えて、搬送手段の駆
動手段は、クランプ手段が所定位置に固定されたチェー
ンを駆動することによりクランプ手段を環状の軌道上で
搬送する。請求項4記載の発明は、請求項1乃至請求項
3のいずれかに記載の発明において、各前記固定接続手
段は、前記線状試料に当接することにより前記線状試料
を協働して挟持するとともに、少なくとも一方は線状試
料を前記測定手段に電気的に接続する端子として機能す
る第1接続部材及び第2接続部材と、前記第1接続部材
と前記第2接続部材が前記線状試料を保持している場合
に、前記第1接続部材と前記第2接続部材に対し、自重
により前記線状試料を機械的に固定するための荷重を印
加する錘部材と、カム部材を有し、前記搬送手段におけ
る前記クランプ手段の搬送状態に基づいて前記第1接続
部材と前記第2接続部材とを前記錘部材の荷重に抗して
離間する離間手段と、を有するように構成する。
According to the invention of claim 3, in addition to the operation of the invention of claim 1 or 2, the drive means of the conveying means drives the chain having the clamp means fixed at a predetermined position. The clamp means is conveyed on an annular orbit. According to a fourth aspect of the present invention, in the invention according to any one of the first to third aspects, each of the fixed connecting means abuts on the linear sample so that the linear sample cooperates to clamp the linear sample. In addition, at least one of the first connecting member and the second connecting member functions as a terminal for electrically connecting the linear sample to the measuring means, and the first connecting member and the second connecting member are the linear sample. Holding a weight member for applying a load for mechanically fixing the linear sample by its own weight to the first connecting member and the second connecting member, and a cam member, A separating means for separating the first connecting member and the second connecting member against the load of the weight member based on the conveying state of the clamping means in the conveying means.

【0015】請求項4記載の発明によれば、請求項1乃
至請求項3のいずれかに記載の発明の作用に加えて、各
固定接続手段を構成する第1接続部材及び第2接続部材
は、予め設定した所定距離離間して線状試料に当接する
ことにより線状試料を協働して挟持して、機械的に固定
し、測定手段に電気的に接続する。
According to the invention described in claim 4, in addition to the function of the invention described in any one of claims 1 to 3, the first connecting member and the second connecting member constituting each fixed connecting means are , The linear sample is clamped cooperatively by abutting the linear sample at a predetermined distance apart from each other, mechanically fixed, and electrically connected to the measuring means.

【0016】これと並行して、錘部材は、前記第1接続
部材と前記第2接続部材が前記線状試料を保持している
場合に、前記第1接続部材と前記第2接続部材に対し、
自重により前記線状試料を機械的に固定するための荷重
を印加する。一方、離間手段はカム部材により、搬送手
段におけるクランプ手段の搬送状態に基づいて第1接続
部材と第2接続部材とを錘部材の荷重に抗して離間す
る。
In parallel with this, the weight member is provided with respect to the first connecting member and the second connecting member when the first connecting member and the second connecting member hold the linear sample. ,
A load for mechanically fixing the linear sample is applied by its own weight. On the other hand, the separating means uses the cam member to separate the first connecting member and the second connecting member against the load of the weight member based on the conveying state of the clamp means in the conveying means.

【0017】請求項5記載の発明は、請求項1乃至請求
項4のいずれかに記載の発明において、少なくとも前記
測定手段による測定中は、当該測定対象である前記線状
試料及び前記固定接続手段を極低温下に保持し、あるい
は、任意の雰囲気中に保持するための測定槽を備えて構
成する。
According to a fifth aspect of the invention, in the invention according to any one of the first to fourth aspects, at least during the measurement by the measuring means, the linear sample and the fixed connecting means which are the measuring objects are to be measured. Is maintained at an extremely low temperature or in an arbitrary atmosphere.

【0018】請求項5記載の発明によれば、請求項1乃
至請求項4のいずれかに記載の発明の作用に加えて、測
定槽は、少なくとも前記測定手段による測定中は、当該
測定対象である前記線状試料及び前記固定接続手段を極
低温下に保持し、あるいは、任意の雰囲気中に保持す
る。
According to the invention described in claim 5, in addition to the function of the invention described in any one of claims 1 to 4, the measuring tank is a measuring object at least during the measurement by the measuring means. A certain linear sample and the fixed connecting means are held at an extremely low temperature or in an arbitrary atmosphere.

【0019】[0019]

【発明の実施の形態】次に図面を参照して本発明の好適
な実施形態を説明する。図1に電気的な特性としての電
気抵抗を自動的に測定する電気抵抗測定装置の正面断面
図を示す。
Preferred embodiments of the present invention will now be described with reference to the drawings. FIG. 1 shows a front sectional view of an electric resistance measuring apparatus for automatically measuring electric resistance as an electric characteristic.

【0020】電気抵抗測定装置は、大別すると、外部筐
体47及び測定試料を収納する測定槽7を有する本体3
0と、電気抵抗測定装置全体を制御する制御部13と、
測定試料を搬送するための駆動力を与える駆動手段とし
て機能する駆動部14と、測定試料の電気抵抗を測定す
る測定手段として機能する測定部16と、を備えて構成
されている。
The electrical resistance measuring device is roughly classified into a main body 3 having an outer casing 47 and a measuring tank 7 for accommodating a measurement sample.
0, and a control unit 13 that controls the entire electrical resistance measuring device,
A driving unit 14 that functions as a driving unit that applies a driving force for transporting the measurement sample, and a measuring unit 16 that functions as a measuring unit that measures the electrical resistance of the measurement sample are configured.

【0021】本体30の測定槽7内には、第1クランプ
部2及び第2クランプ部2’で構成されるクランプ部が
複数固定され、駆動部14により駆動されて複数のクラ
ンプ部を搬送するとともに、電気抵抗の測定時には搬送
を中断してクランプ部を所定位置に保持すべく搬送手段
として機能する搬送ユニット40と、電気抵抗の測定時
には電気抵抗測定を行なうための測定端子6(図3参
照)を線状試料1に接触させて測定部16に電気的に接
続すると同時に、測定端子6を線状試料に対して機械的
に固定し、かつ、電気抵抗の非測定時には測定端子6に
対する機械的固定及び電気的接続を解除すべく二つの固
定接続手段として機能する測定端子ユニット45(図3
参照)と、が設けられている。
In the measuring tank 7 of the main body 30, a plurality of clamp parts composed of the first clamp part 2 and the second clamp part 2'is fixed, and driven by the drive part 14 to convey the plurality of clamp parts. At the same time, when the electric resistance is measured, the conveyance unit 40 functions as a conveying means to interrupt the conveyance and hold the clamp portion at a predetermined position, and the measuring terminal 6 for measuring the electric resistance when measuring the electric resistance (see FIG. 3). ) Is brought into contact with the linear sample 1 to be electrically connected to the measuring section 16, and at the same time, the measuring terminal 6 is mechanically fixed to the linear sample, and a machine for the measuring terminal 6 when the electric resistance is not measured. Measurement terminal unit 45 (FIG. 3) that functions as two fixed connection means to disconnect the fixed connection and the electrical connection.
), And are provided.

【0022】この場合において、クランプ部はクランプ
手段として機能し、搬送ユニット40は搬送手段として
機能し、一対の測定端子ユニット45のそれぞれは固定
接続手段として機能している。外部筐体47は、真空吸
引を行なうための吸引口24を有し、測定槽7を極低温
状態に保持するための断熱層として機能する真空槽26
と、液体窒素を送入するための送入口25を有し、測定
槽7を極低温状態に保持するためにその内部に液体窒素
を収納する液体窒素槽27と、測定槽7に液体窒素等の
冷媒を送入するための送入口18と、線状試料1の装
着、取り外しが可能なように開閉自在に外部筐体47の
上側に設けられ、真空槽26U及び液体窒素槽27Uの
2重構造となっている蓋体19と、を備えて構成されて
いる。
In this case, the clamp portion functions as a clamp means, the transport unit 40 functions as a transport means, and each of the pair of measurement terminal units 45 functions as a fixed connection means. The outer casing 47 has a suction port 24 for performing vacuum suction, and the vacuum chamber 26 functions as a heat insulating layer for keeping the measurement chamber 7 in a cryogenic state.
And a liquid nitrogen tank 27 having a feed port 25 for feeding liquid nitrogen therein and for storing the liquid nitrogen therein in order to keep the measuring tank 7 in an extremely low temperature state, and liquid nitrogen or the like in the measuring tank 7. Inlet 18 for feeding in the refrigerant and a linear sample 1 are provided on the upper side of the outer casing 47 so as to be opened and closed so that the linear sample 1 can be attached and detached. The double layer of the vacuum tank 26U and the liquid nitrogen tank 27U is provided. And a lid 19 having a structure.

【0023】次に搬送ユニット40の構成について図1
及び図2を参照して説明する。ここで、図2は搬送ユニ
ット40の側面拡大断面図(図1のA−A’矢視方向要
部拡大断面図)である。搬送ユニット40は、駆動部1
4によりチェーン20を介して駆動力が与えられること
により、後述の回転軸5Bを直接回転させるスプロケッ
トギア4と、第1軸受5A1 及び第2軸受5A2 に回転
自在に保持された回転軸5Aと、図示しない第1軸受及
び第2軸受に回転自在に保持された回転軸5Bと、回転
軸5Aに固定され、回転軸5Aの回転に伴って回転する
第1スプロケットギア21A、21A’と、回転軸5B
に固定され、回転軸5Bの回転に伴って回転する第2ス
プロケットギア21B(他方は図示せず。)と、複数の
第1クランプ部2が固定され、スプロケットギア21
A、21Bにより略楕円状の軌道を描いて駆動される第
1チェーン3と、複数の第2クランプ部2’が固定さ
れ、第1スプロケットギア21A’及び図示しない第2
スプロケットギアにより略楕円状の軌道を描いて駆動さ
れる第2チェーン3’と、を備えて構成されている。
Next, the structure of the transport unit 40 is shown in FIG.
This will be described with reference to FIG. Here, FIG. 2 is an enlarged side cross-sectional view of the transport unit 40 (an enlarged cross-sectional view of a main part in the direction of arrow AA ′ in FIG. 1). The transport unit 40 includes the drive unit 1.
4, a sprocket gear 4 that directly rotates a rotary shaft 5B, which will be described later, by being given a driving force via a chain 20, and a rotary shaft 5A rotatably held by the first bearing 5A1 and the second bearing 5A2, A rotating shaft 5B rotatably held by a first bearing and a second bearing (not shown), first sprocket gears 21A and 21A ′ fixed to the rotating shaft 5A and rotating with the rotation of the rotating shaft 5A, and a rotating shaft. 5B
The second sprocket gear 21B (the other is not shown) fixed to the sprocket gear 21 and fixed to the sprocket gear 21.
A first chain 3 driven by A and 21B in a substantially elliptical orbit and a plurality of second clamp portions 2 ′ are fixed, and a first sprocket gear 21A ′ and a second unshown second
And a second chain 3'which is driven by a sprocket gear in a substantially elliptical orbit.

【0024】次に図1乃至図3を参照して測定端子ユニ
ット45を説明する。ここで、図3は測定端子ユニット
近傍の拡大断面図(図1のB−B’矢視方向要部拡大断
面図)である。測定端子ユニット45は、第1軸受10
A及び第2軸受10Bに回転自在に保持された回転軸1
0と、回転軸10に固定されたカム11と、回転軸10
に固定され、駆動部14によりチェーン15を介して駆
動力が与えられることにより回転軸10及びカム11を
回転させるスプロケットギア17と、カム11にローラ
43Aを介して当接し、回動軸12を中心として回動す
る上側端子8を有する可動端子部50と、測定槽7に固
定され、測定部16にリード線等を介して接続され、上
側端子8と協働して線状試料1を挟み込むことにより線
状試料1を測定部16に電気的に接続する下側端子6
と、を備えて構成されている。
Next, the measuring terminal unit 45 will be described with reference to FIGS. Here, FIG. 3 is an enlarged cross-sectional view in the vicinity of the measurement terminal unit (enlarged cross-sectional view of the main part in the direction of arrow BB ′ of FIG. 1). The measurement terminal unit 45 includes the first bearing 10
Rotating shaft 1 rotatably held by A and the second bearing 10B
0, the cam 11 fixed to the rotary shaft 10, and the rotary shaft 10
And a sprocket gear 17 for rotating the rotating shaft 10 and the cam 11 by a driving force applied by the drive unit 14 via the chain 15 and the cam 11 via the roller 43A to contact the rotating shaft 12. A movable terminal portion 50 having an upper terminal 8 that rotates about a center is fixed to the measuring tank 7 and is connected to the measuring portion 16 via a lead wire or the like, and the linear sample 1 is sandwiched in cooperation with the upper terminal 8. The lower terminal 6 for electrically connecting the linear sample 1 to the measuring part 16
And is provided.

【0025】可動端子部50は、ローラ43Aを保持す
るための垂直アーム43及び水平アーム44を有し、水
平アーム44の下側に上側端子8が設けられたL字型支
持具9と、水平アームの一端に錘固定ネジ23により着
脱自在に取り付けられ、自重により発生するモーメント
により上側端子8及び下側端子6の間で線状試料1を挟
み込んで測定部16に電気的に接続する際に、線状試料
1を上側端子8及び下側端子6間で機械的に固定するた
めの錘22と、を備えて構成されている。
The movable terminal portion 50 has a vertical arm 43 for holding the roller 43A and a horizontal arm 44, and an L-shaped support 9 having an upper terminal 8 provided below the horizontal arm 44 and a horizontal arm 44. When the linear sample 1 is sandwiched between the upper terminal 8 and the lower terminal 6 by a moment generated by its own weight and detachably attached to one end of the arm by a weight fixing screw 23, the linear sample 1 is electrically connected to the measuring section 16. , And a weight 22 for mechanically fixing the linear sample 1 between the upper terminal 8 and the lower terminal 6.

【0026】この場合において、可動端子部50の上側
端子8及び下側端子6は、一方が第1接続部材として機
能し、他方が第2接続部材として機能し、カム11はカ
ム部材として機能し、錘22は、錘部材として機能し、
垂直アーム43、水平アーム44、ローラ43A及びカ
ム11は、離間手段として機能している。
In this case, one of the upper terminal 8 and the lower terminal 6 of the movable terminal portion 50 functions as a first connecting member, the other functions as a second connecting member, and the cam 11 functions as a cam member. , The weight 22 functions as a weight member,
The vertical arm 43, the horizontal arm 44, the roller 43A, and the cam 11 function as a separating unit.

【0027】なお、測定端子ユニット45は、上述した
ように二つで一組となっており、図1において、二組が
設けられているのは、一方を電圧測定端子群として用
い、他方を電流測定端子群として用いているためであ
る。駆動部14は、図示せぬモータ及び後述するギアを
備えて構成されている。
As described above, the measuring terminal unit 45 is a set of two, and in FIG. 1, two sets are provided because one is used as a voltage measuring terminal group and the other is used. This is because it is used as a current measuring terminal group. The drive unit 14 includes a motor (not shown) and a gear (described later).

【0028】測定部16は、4端子法(例えば、ホイー
トストーンブリッジ、ダブルブリッジ)により電気抵抗
測定を行なうために必要とされる測定器、例えば、電流
供給用電源及び電圧測定装置あるいは電流供給用電源及
び電圧測定装置が一体化した抵抗測定装置並びに測定装
置の測定結果に基づいて各種演算を行なう演算用計算機
を備えて構成されている。 (1) 基本測定動作 次に図1乃至図3を参照して電気抵抗を測定する際の操
作及び電気抵抗測定装置の基本測定動作を説明する。
The measuring unit 16 is a measuring device required for performing electric resistance measurement by a four-terminal method (for example, Wheatstone bridge, double bridge), for example, a power supply for current supply and a voltage measuring device or current supply. It is configured to include a resistance measuring device in which a power supply and a voltage measuring device are integrated, and a calculation computer that performs various calculations based on the measurement results of the measuring device. (1) Basic Measurement Operation Next, the operation for measuring the electric resistance and the basic measurement operation of the electric resistance measuring device will be described with reference to FIGS. 1 to 3.

【0029】まず、電気抵抗測定装置の蓋体19を開
け、制御部13の図示しない駆動スイッチを入れること
により、駆動部14を動作させ、チェーン20を介して
駆動力をスプロケットギア4に与える。スプロケットギ
ア4が回転すると回転軸5Bは回転し、この回転軸5B
に取り付けられている第2スプロケットギア21B及び
第1スプロケットギア21A’と対となって第2チェー
ン3’を駆動する図示しない第2スプロケットギアが回
転する。
First, the lid 19 of the electric resistance measuring device is opened, and a drive switch (not shown) of the control unit 13 is turned on to operate the drive unit 14 and apply a drive force to the sprocket gear 4 via the chain 20. When the sprocket gear 4 rotates, the rotary shaft 5B rotates, and the rotary shaft 5B
The second sprocket gear 21B and the first sprocket gear 21A 'which are attached to the first sprocket gear 21A' and a second sprocket gear (not shown) that drives the second chain 3'are rotated.

【0030】回転する第2スプロケットギア21Bの駆
動力は、第1チェーン3を介して第1スプロケットギア
21Aに伝達される。また、回転軸5Bに取り付けられ
ている図示しない第2スプロケットギアの駆動力は第2
チェーン3’を介して第1スプロケットギア21A’に
伝達される。
The driving force of the rotating second sprocket gear 21B is transmitted to the first sprocket gear 21A via the first chain 3. Further, the driving force of the second sprocket gear (not shown) attached to the rotary shaft 5B is the second
It is transmitted to the first sprocket gear 21A 'via the chain 3'.

【0031】この結果、第1チェーン3及び第2チェー
ン3’は、略楕円状の軌道を描いて駆動されることとな
る。この第1チェーン3及び第2チェーン3’の駆動に
伴って、第1クランプ部2及び第2クランプ部2’で構
成されるクランプ部が略楕円状の軌道上を駆動されるの
で、オペレータは線状試料1の取付に適した位置まで駆
動し、当該位置で停止させることにより、線状試料1を
第1クランプ部2及び第2クランプ部2’の双方を用い
て弛るませることなく固定する。
As a result, the first chain 3 and the second chain 3'will be driven along a substantially elliptical orbit. Along with the driving of the first chain 3 and the second chain 3 ', the clamp part composed of the first clamp part 2 and the second clamp part 2'is driven on a substantially elliptical orbit. By driving to a position suitable for mounting the linear sample 1 and stopping at the position, the linear sample 1 is fixed without slack by using both the first clamp part 2 and the second clamp part 2 ′. To do.

【0032】なお、図2においては、第1クランプ部2
は、C点にのみ図示しているが、D点〜H点の5ヵ所に
も固定されているので、同様にして6ヵ所全てのクラン
プ部に線状試料を固定したら、蓋体19を閉じる。この
場合において、蓋体19をロックすることも可能である
が、冷媒として液体窒素を用いる場合等のように、測定
槽7内の気圧が大気圧以上になるような可能性がある場
合には、別途、逃がし弁を設ける必要がある。
In FIG. 2, the first clamp portion 2
Is shown only at point C, but since it is also fixed at 5 points from point D to point H, the lid 19 is closed after fixing the linear sample to all 6 clamp parts in the same manner. . In this case, it is possible to lock the lid body 19, but when there is a possibility that the atmospheric pressure in the measurement tank 7 becomes equal to or higher than the atmospheric pressure, such as when liquid nitrogen is used as the refrigerant. , It is necessary to install a relief valve separately.

【0033】次に再び、制御部13の図示しない駆動ス
イッチを入れることにより、駆動部14を動作させ、チ
ェーン20を介して駆動力をスプロケットギア4に与え
ることにより、前述の動作と同様に第1チェーン3及び
第2チェーン3’は、略楕円状の軌道を描いて駆動さ
れ、線状試料1が固定された第1クランプ部2及び第2
クランプ部2’も図3(a)、図3(b)に一点鎖線で
示す軌道に沿って駆動されることとなる。
Next, the drive switch (not shown) of the control unit 13 is turned on again to operate the drive unit 14, and the drive force is applied to the sprocket gear 4 via the chain 20. The first chain 3 and the second chain 3 ′ are driven along a substantially elliptical orbit, and the first clamp part 2 and the second chain 2 to which the linear sample 1 is fixed.
The clamp portion 2'is also driven along the trajectory indicated by the alternate long and short dash line in FIGS. 3 (a) and 3 (b).

【0034】上記スプロケットギア4の駆動と並行して
チェーン15を介して駆動力をスプロケットギア17に
与えることより、回転軸10及びカム11も回転するこ
とととなる。この場合において、線状試料1の搬送は、
上側端子8と下側端子6との間が開状態(機械的固定及
び電気的接続解除)の間に行なう必要があるが、駆動部
14の図示しないギアとして、例えば、ゼネバギア(Ge
neva gear,Maltese cross)を用いることにより、チェ
ーン15と、チェーン20の動きを上記動作に合わせて
制御することができる。
By applying a driving force to the sprocket gear 17 via the chain 15 in parallel with the driving of the sprocket gear 4, the rotary shaft 10 and the cam 11 also rotate. In this case, the linear sample 1 is transported by
It is necessary to perform it while the upper terminal 8 and the lower terminal 6 are in the open state (mechanical fixing and electrical disconnection), but as a gear (not shown) of the driving unit 14, for example, a Geneva gear (Ge
By using the neva gear, Maltese cross), the movements of the chain 15 and the chain 20 can be controlled in accordance with the above operation.

【0035】より具体的には、カム11の長径部が、図
3(a)に示すように、上側端子8が開放状態にある符
号I〜Jの区間内にある時のみ、第1クランプ部2及び
第2クランプ部2’を駆動するように構成する。この結
果、L字型支持具9の垂直アーム43がカム11の長径
側によりローラ43Aを介して押され、回動軸12を中
心として水平アーム44が回動して、上側端子8は、図
面上側に押し上げられることとなって、線状試料1は、
上側端子8及び下側端子6の間を自由に通過できる状態
となる。
More specifically, as shown in FIG. 3 (a), the first clamp portion is provided only when the long-diameter portion of the cam 11 is in the section I to J in which the upper terminal 8 is in the open state. 2 and the second clamp part 2 ′ are configured to be driven. As a result, the vertical arm 43 of the L-shaped support tool 9 is pushed by the long diameter side of the cam 11 via the roller 43A, and the horizontal arm 44 rotates about the rotation shaft 12, so that the upper terminal 8 is removed from the drawing. As it is pushed up, the linear sample 1
It becomes a state where it can freely pass between the upper terminal 8 and the lower terminal 6.

【0036】線状試料1が上側端子8及び下側端子6の
間を自由に通過できる状態において、第1クランプ部2
及び第2クランプ部2’を駆動し、図3(a)中、一点
鎖線で示す軌道に沿って、線状試料1は、図中上側から
図中左側に搬送されることとなる。
In a state where the linear sample 1 can freely pass between the upper terminal 8 and the lower terminal 6, the first clamp portion 2
3A, the linear sample 1 is conveyed from the upper side in the figure to the left side in the figure by driving the second clamp section 2 '.

【0037】そして線状試料1が上側端子8と下側端子
6との間に位置するタイミングになると、ローラ43A
はカム11の短径部に当接するようになり、線状試料1
は、上側端子8及び下側端子6に挟まれて測定部16に
電気的に接続されるとともに、錘22の自重により発生
するモーメントで機械的に固定されることとなる(図3
(b)参照)。
Then, at the timing when the linear sample 1 is positioned between the upper terminal 8 and the lower terminal 6, the roller 43A
Comes into contact with the short diameter part of the cam 11, and the linear sample 1
Is sandwiched between the upper terminal 8 and the lower terminal 6 and electrically connected to the measuring unit 16, and is mechanically fixed by the moment generated by the weight of the weight 22 (FIG. 3).
(B)).

【0038】このとき、測定部16は、対となる二つの
下側端子6間の電流あるいは電圧を測定し、電気抵抗を
算出することとなる。つづいてカム11が回転すること
により、再びL字型支持具9の垂直アーム43がカム1
1の長径側によりローラ43Aを介して押され、回動軸
12を中心として水平アーム44が回動して、上側端子
8は、図面上側に押し上げられることとなって、上側端
子8と下側端子6とは、開状態となる(図3(a)参
照)。
At this time, the measuring section 16 measures the current or voltage between the two lower terminals 6 forming a pair, and calculates the electric resistance. Then, as the cam 11 rotates, the vertical arm 43 of the L-shaped support 9 is again moved to the cam 1.
1 is pushed through the roller 43A by the long diameter side, the horizontal arm 44 is rotated around the rotation shaft 12, and the upper terminal 8 is pushed upward in the drawing. The terminal 6 is in an open state (see FIG. 3A).

【0039】上側端子8と下側端子6とが開状態となる
と、測定が終了した線状試料1は、上側端子8及び下側
端子6の間を自由に通過して、図3(a)中、一点鎖線
で示す軌道に沿って、図中左側に搬送されることとな
る。同様にして、可動端子部50の上側端子8は、制御
部13の図示しない駆動スイッチが押されることによ
り、一定の時間間隔、すなわち、線状試料1の設置間隔
に相当する時間間隔で開閉動作を繰り返すこととなる。
When the upper terminal 8 and the lower terminal 6 are opened, the linear sample 1 for which the measurement is completed freely passes between the upper terminal 8 and the lower terminal 6, and the linear sample 1 shown in FIG. It will be transported to the left side in the figure along the trajectory indicated by the one-dot chain line. Similarly, the upper terminal 8 of the movable terminal portion 50 is opened / closed at a constant time interval, that is, a time interval corresponding to the installation interval of the linear sample 1, by pressing a drive switch (not shown) of the control unit 13. Will be repeated.

【0040】この上側端子8の開閉動作と並行して、図
2に示す、C点に固定された第1クランプ部2は、順次
D点→E点→F点→G点→H点と移動してゆくこととな
り、6本の線状試料の測定を連続的に行なうことが可能
となっている。同様にして第1クランプ部2に対応する
第2クランプ部2’も同期して動作を行なうようになっ
ている。
In parallel with the opening / closing operation of the upper terminal 8, the first clamp portion 2 fixed to the point C shown in FIG. 2 is sequentially moved from point D → point E → point F → point G → point H. As a result, it is possible to continuously measure six linear samples. Similarly, the second clamp portion 2'corresponding to the first clamp portion 2 also operates in synchronization.

【0041】この場合において、線状試料の径等に応じ
て線状試料を機械的に固定する際の荷重を変化させる場
合には、錘固定用ネジ23をはずして、錘22を異なる
重さのものに交換すればよい。また、一対の電極となる
二つの上側端子8(あるいは下側端子6)の間の距離、
すなわち、端子間距離L(図1参照)は、一定(例え
ば、50cm以上)の距離があるものとし、この端子間
距離Lは、測定対象である線状試料の均一性及び装置全
体の経済性(距離を長くすると、装置が大型化するた
め)を考慮して最適なものに設定する必要がある。 (2) 極低温下における測定動作 以上の基本測定動作においては、大気中で、測定を行な
う場合について述べたが、以下においては、液体窒素、
液体ヘリウム等の冷媒を用い、極低温下で電気抵抗を測
定する場合の動作について基本測定動作と異なる点を主
として説明する。
In this case, when the load for mechanically fixing the linear sample is changed according to the diameter of the linear sample, the weight fixing screw 23 is removed and the weight 22 is set to a different weight. You can replace it with another one. In addition, the distance between the two upper terminals 8 (or the lower terminals 6) that form a pair of electrodes,
That is, the terminal-to-terminal distance L (see FIG. 1) is assumed to be constant (for example, 50 cm or more), and the terminal-to-terminal distance L is the uniformity of the linear sample to be measured and the economical efficiency of the entire apparatus. It is necessary to set the optimum one in consideration of (because the device becomes large when the distance is increased). (2) Measurement operation at cryogenic temperature In the above basic measurement operation, the case where the measurement is performed in the atmosphere has been described.
The operation when measuring the electrical resistance at a cryogenic temperature using a refrigerant such as liquid helium will be described mainly on the points different from the basic measurement operation.

【0042】基本測定動作時と同様に、6ヵ所全てのク
ランプ部に線状試料を固定したら、蓋体19を閉じる。
次に吸引口24に接続した図示しない真空ポンプにより
真空吸引を行ない、真空槽26を真空にする。
As in the case of the basic measurement operation, after fixing the linear sample to all the six clamp parts, the lid 19 is closed.
Next, vacuum suction is performed by a vacuum pump (not shown) connected to the suction port 24, and the vacuum chamber 26 is evacuated.

【0043】真空槽26が真空になったならば、送入口
25より液体窒素槽27に液体窒素を送入する。その
後、送入口18より測定対象に応じた冷媒(液体窒素、
液体ヘリウム等)を測定槽7に所定量送入する。
When the vacuum tank 26 becomes a vacuum, liquid nitrogen is fed into the liquid nitrogen tank 27 through the inlet 25. After that, the refrigerant (liquid nitrogen,
A predetermined amount of liquid helium or the like) is fed into the measuring tank 7.

【0044】つづいて、図示しない温度センサ等により
測定槽7内の温度が十分に安定したことを確認し、制御
部13の図示しない駆動スイッチを入れることにより、
駆動部14を動作させ、第1チェーン3及び第2チェー
ン3’を略楕円状の軌道を描いて駆動し、線状試料1が
固定された第1クランプ部2及び第2クランプ部2’も
図3(a)に一点鎖線で示す軌道に沿って測定槽7内の
冷媒中を駆動、搬送されるようにする。この時、線状試
料1は上側端子8及び下側端子6の間を自由に通過でき
る状態であるので、線状試料1を上側端子8と下側端子
6との間に位置させる。
Subsequently, it is confirmed that the temperature in the measuring tank 7 is sufficiently stabilized by a temperature sensor (not shown), and the drive switch (not shown) of the controller 13 is turned on.
The drive unit 14 is operated to drive the first chain 3 and the second chain 3'in a substantially elliptical orbit, and the first clamp unit 2 and the second clamp unit 2'to which the linear sample 1 is fixed are also The coolant in the measuring tank 7 is driven and conveyed along the trajectory shown by the one-dot chain line in FIG. At this time, since the linear sample 1 is in a state where it can freely pass between the upper terminal 8 and the lower terminal 6, the linear sample 1 is positioned between the upper terminal 8 and the lower terminal 6.

【0045】線状試料1が上側端子8と下側端子6との
間に位置するタイミングにおいて、スプロケットギア1
7の回転によりローラ43Aはカム11の短径部に当接
するようになり、図3(b)に示すように、線状試料1
は、上側端子8及び下側端子6に挟まれて測定部16に
電気的に接続されるとともに、錘22の自重により発生
するモーメントで機械的に固定されることとなる。
At the timing when the linear sample 1 is positioned between the upper terminal 8 and the lower terminal 6, the sprocket gear 1
By the rotation of 7, the roller 43A comes into contact with the short diameter portion of the cam 11, and as shown in FIG.
Is sandwiched between the upper terminal 8 and the lower terminal 6 and electrically connected to the measuring unit 16, and is mechanically fixed by the moment generated by the weight of the weight 22.

【0046】このとき線状試料1は、冷媒中を搬送され
たことにより冷媒と熱平衡状態となっており、測定部1
6は、対となる二つの下側端子6間の電流あるいは電圧
を測定し、線状試料1の極低温下における電気抵抗を算
出することとなる。つづいてカム11が回転することに
より、再びL字型支持具9の垂直アーム43がカム11
の長径側によりローラ43Aを介して押され、回動軸1
2を中心として水平アーム44が回動して、上側端子8
は、図面上側に押し上げられることとなって、上側端子
8と下側端子6とは、開状態となる(図3(a)参
照)。
At this time, the linear sample 1 is in thermal equilibrium with the refrigerant due to being conveyed through the refrigerant, and the measuring unit 1
6 measures the current or voltage between two lower terminals 6 forming a pair, and calculates the electrical resistance of the linear sample 1 at an extremely low temperature. Then, as the cam 11 rotates, the vertical arm 43 of the L-shaped support 9 is again moved.
Is pushed by the long diameter side of the roller 43A via the roller 43A,
The horizontal arm 44 rotates about 2 to move the upper terminal 8
Is pushed upward in the drawing, and the upper terminal 8 and the lower terminal 6 are in an open state (see FIG. 3A).

【0047】上側端子8と下側端子6とが開状態となる
と、測定が終了した線状試料1は、上側端子8及び下側
端子6の間を自由に通過して、図中、一点鎖線で示す軌
道に沿って、図中左側に搬送されることとなる。例え
ば、G点にあった線状試料1の測定が終了すると、G点
にあった線状試料1は、H点に搬送され、同時に、H点
にあった線状試料はC点に、C点にあった線状試料はD
点に、D点にあった線状試料はE点に、E点にあった線
状試料はF点に、F点にあった線状試料はG点に搬送さ
れ、搬送が終了すると、再び測定部16は測定を行なう
こととなる。
When the upper terminal 8 and the lower terminal 6 are in the open state, the linear sample 1 for which the measurement is completed freely passes between the upper terminal 8 and the lower terminal 6, and is indicated by a chain line in the figure. It will be transported to the left side in the figure along the trajectory shown by. For example, when the measurement of the linear sample 1 at the G point is completed, the linear sample 1 at the G point is transported to the H point, and at the same time, the linear sample at the H point is moved to the C point and C The linear sample at the point is D
Point, the linear sample at point D is transported to point E, the linear sample at point E is transported to point F, the linear sample at point F is transported to point G. The measuring unit 16 will perform the measurement.

【0048】以下、同様にして、搬送→測定→搬送→測
定→……というふうに動作を繰り返し、全て(6本)の
線状試料について測定を連続的に行なうこととなる。以
上の説明において、各部への駆動力の伝達機構として、
チェーン3、3’、15、20及びスプロケットギア1
7、21A、21A’、21Bを用いたのは、極低温環
境を含む広範囲の温度範囲で測定対象である線状試料を
測定位置(上側端子8及び下側端子6間)に正確に搬送
し、保持する必要があり、例えば、ベルト等の摩擦力を
利用した伝達機構は安定性に欠けるため用いることがで
きず、通常のギア機構のように厳しいクリアランスが要
求される伝達機構は、広範囲の温度範囲の全てに対応さ
せることはできないからである。
In the same manner, the operations are repeated in the same manner as transport → measurement → transport → measurement → ..., and the measurement is continuously performed on all (six) linear samples. In the above description, as a drive force transmission mechanism to each part,
Chains 3, 3 ', 15, 20 and sprocket gear 1
7, 21A, 21A ', and 21B are used to accurately convey a linear sample to be measured to a measurement position (between the upper terminal 8 and the lower terminal 6) in a wide temperature range including a cryogenic environment. , A transmission mechanism that uses frictional force such as a belt cannot be used because it lacks stability, and a transmission mechanism that requires a strict clearance like a normal gear mechanism has a wide range. This is because it cannot be applied to all temperature ranges.

【0049】また、上側端子8を駆動させる機構とし
て、カム機構を用いているのは、機構が簡単であるた
め、極低温から常温までの広範囲の温度範囲で確実に動
作することができるためである。上記実施形態において
は、冷媒を用いた極低温環境下における測定についての
み説明したが、測定槽7内に油や他の非導電性の溶液を
満たしたり、ヒータ等の加熱装置を設けて加熱条件下で
測定をすることも可能である。
A cam mechanism is used as a mechanism for driving the upper terminal 8 because the mechanism is simple and can reliably operate in a wide temperature range from extremely low temperature to room temperature. is there. In the above embodiment, only the measurement in a cryogenic environment using a refrigerant has been described. However, the measurement tank 7 may be filled with oil or another non-conductive solution, or a heating device such as a heater may be provided for heating conditions. It is also possible to measure below.

【0050】以上の説明のように上記実施形態によれ
ば、クランプ部(第1クランプ部2、第2クランプ部
2’)は、図2に示す略楕円軌道上を移動することとな
り、蓋体19を開状態にすることにより、容易に測定対
象の線状試料を装着することができる。
As described above, according to the above embodiment, the clamp parts (first clamp part 2 and second clamp part 2 ') move on the substantially elliptical orbit shown in FIG. By opening 19 the linear sample to be measured can be easily mounted.

【0051】また、クランプ部の個数を増加することに
より、電気抵抗測定装置全体の容積を変更することなく
多くの試料を装着できるように構成することも可能であ
る。さらに、測定槽7内を全て冷媒、あるいは、油で満
たすことなく、測定ユニット45近傍のみが冷媒、ある
いは、油中等に浸漬するようにすることにより、測定自
体は所望の雰囲気下で行ない、線状試料の着脱は雰囲気
外で行なうように構成することも可能である。
Further, by increasing the number of clamp parts, it is possible to mount a large number of samples without changing the volume of the entire electric resistance measuring device. Further, by not immersing the whole of the measuring tank 7 with the refrigerant or the oil, but immersing only the vicinity of the measuring unit 45 in the refrigerant, the oil, or the like, the measurement itself is performed under a desired atmosphere, It is also possible to attach / detach the sample in the atmosphere.

【0052】また、上記実施形態の説明は、電気抵抗を
測定する場合のものであったが、測定部16の測定系及
び測定端子ユニット45を対応するものに変更し、さら
に保持すべき温度範囲を変更することが可能な温度制御
装置等の必要な構成を設けることにより、導電率を測定
する導電率測定装置や電気抵抗に基づいて材料の純度を
測定する純度測定装置等の他の電気的特性測定装置とし
て構成することが可能である。
In the above description of the embodiment, the case of measuring the electric resistance is described. However, the measuring system of the measuring section 16 and the measuring terminal unit 45 are changed to corresponding ones, and the temperature range to be held is further changed. By providing a necessary configuration such as a temperature control device capable of changing the temperature, other electrical devices such as a conductivity measuring device for measuring the conductivity and a purity measuring device for measuring the purity of the material based on the electric resistance. It can be configured as a characteristic measuring device.

【0053】さらに、駆動部14の駆動力を伝達する伝
達系統(チェーン15、20、スプロケットギア4、1
7等)の配置は、一例であり、それらの目的の範囲内で
他の配置とすることは、単なる設計上の変形であり、本
発明の範囲内に属するものであることはいうまでもな
い。
Further, a transmission system (chains 15, 20, sprocket gears 4, 1) for transmitting the driving force of the drive unit 14
It is needless to say that the arrangement of (7 etc.) is an example, and that other arrangement within the scope of those objects is merely a design modification and belongs to the scope of the present invention. .

【0054】[0054]

【発明の効果】請求項1記載の発明によれば、各クラン
プ手段は、線状試料を所定距離だけ離間した二点で固定
保持し、搬送手段は、線状試料が固定保持された各クラ
ンプ手段を所定測定位置まで順次搬送し、各固定接続手
段は、所定位置に搬送されたクランプ手段に保持されて
いる線状試料を少なくとも測定手段による測定期間中、
所定距離だけ離間した二点で機械的に固定するとともに
測定手段に電気的に接続し、測定手段は当該線状試料の
電気特性を測定するので、互いに独立した複数の線状試
料の電気的特性を連続的に測定することができる。従っ
て、電気抵抗等の電気的特性の測定時間を大幅に減少す
ることができ、測定コストを低減することができる。ま
た、連続的に測定が可能であるので、離れた位置で測定
操作を行なうことができ、安全に測定を行なうことがで
きる。
According to the first aspect of the present invention, each clamp means fixes and holds the linear sample at two points separated by a predetermined distance, and the transport means each clamp holds the linear sample. The means are sequentially transported to a predetermined measurement position, and each fixed connection means is configured such that at least the linear sample held by the clamp means transported to the predetermined position is measured by the measurement means,
The mechanical characteristics are fixed mechanically at two points separated by a predetermined distance and electrically connected to the measuring means, and the measuring means measures the electrical characteristics of the linear sample. Can be measured continuously. Therefore, the measurement time of the electrical characteristics such as the electric resistance can be significantly reduced, and the measurement cost can be reduced. Moreover, since continuous measurement is possible, the measurement operation can be performed at a distant position, and the measurement can be performed safely.

【0055】請求項2記載の発明によれば、請求項1記
載の発明の作用に加えて、固定接続手段は、前記搬送手
段が前記クランプ手段を搬送中は、機械的な固定及び測
定手段に対する電気的接続を一次的に解除するので、測
定時以外の場合には、容易に線状試料の搬送を行なうこ
とができ、連続的な測定を容易、かつ、自動的に行なう
ことが可能となる。
According to the second aspect of the present invention, in addition to the function of the first aspect of the invention, the fixed connecting means is provided for the mechanical fixing and measuring means while the conveying means conveys the clamping means. Since the electrical connection is temporarily released, the linear sample can be easily transported except during measurement, and continuous measurement can be performed easily and automatically. .

【0056】請求項3記載の発明によれば、請求項1ま
たは請求項2記載の発明の作用に加えて、搬送手段の駆
動手段は、クランプ手段が所定位置に固定されたチェー
ンを駆動することによりクランプ手段を環状の軌道上で
搬送するので、極低温から常温に至る広範な温度範囲下
で確実にクランプ手段を搬送することができる。また、
線状試料を環状の軌道上を搬送するため、複数の線状試
料を効率よく収納することができ、電気的特性測定装置
全体をコンパクトにすることができる。
According to the invention of claim 3, in addition to the operation of the invention of claim 1 or 2, the drive means of the conveying means drives the chain having the clamp means fixed at a predetermined position. Since the clamp means is transported on the annular orbit, the clamp means can be reliably transported in a wide temperature range from extremely low temperature to room temperature. Also,
Since the linear sample is transported on the circular orbit, a plurality of linear samples can be efficiently stored, and the entire electrical characteristic measuring device can be made compact.

【0057】請求項4記載の発明によれば、請求項1乃
至請求項3のいずれかに記載の発明の作用に加えて、固
定接続手段を構成する第1接続部材及び第2接続部材
は、予め設定した所定距離離間して線状試料に当接する
ことにより線状試料を協働して挟持して、機械的に固定
するとともに測定手段に電気的に接続し、錘部材は、前
記第1接続部材と前記第2接続部材が前記線状試料を保
持している場合に、前記第1接続部材と前記第2接続部
材に対し、自重により前記線状試料を機械的に固定する
ための荷重を印加し、離間手段はカム部材により、搬送
手段におけるクランプ手段の搬送状態に基づいて第1接
続部材と第2接続部材とを錘部材の荷重に抗して離間す
るので、測定時には確実に線状試料を固定することがで
きるとともに、搬送時には容易に線状試料を搬送するこ
とができ、測定の確実性の確保と測定時間の短縮を容易
に両立することができる。
According to the invention described in claim 4, in addition to the function of the invention described in any one of claims 1 to 3, the first connecting member and the second connecting member constituting the fixed connecting means are: The linear sample is clamped cooperatively by abutting the linear sample at a predetermined distance apart from each other so as to be mechanically fixed and electrically connected to the measuring means, and the weight member is the first member. A load for mechanically fixing the linear sample by its own weight to the first connecting member and the second connecting member when the connecting member and the second connecting member hold the linear sample. And the separating means separates the first connecting member and the second connecting member against the load of the weight member based on the conveyance state of the clamp means in the conveying means by the cam member, so that the line is surely applied during measurement. Sample can be fixed and transported Can easily carry the linear samples, the reduction of securing the measurement time certainty of measurement can be easily compatible in.

【0058】請求項5記載の発明によれば、請求項1乃
至請求項4のいずれかに記載の発明の作用に加えて、測
定槽は、少なくとも測定手段による測定中は、当該測定
対象である線状試料及び固定接続手段を極低温下に保持
し、あるいは、任意の雰囲気中に保持するので、複数の
線状試料を極低温状態や任意の雰囲気中に保持しながら
連続的に測定を行なえ、同一の測定条件下で複数の線状
試料の測定結果を得て比較することができる。従って、
例えば、超伝導物質の極低温状態における電気抵抗の測
定、特に、超伝導物質の形状が実用的な線状形状を有す
る場合の電気抵抗の測定に大きく貢献することができ
る。また、測定槽に冷媒等を封入した極低温等の危険を
伴う測定においても、離れた位置で操作することがで
き、安全に測定を行なうことができる。
According to the invention of claim 5, in addition to the effect of the invention of any one of claims 1 to 4, the measuring tank is the object to be measured at least during the measurement by the measuring means. Since the linear sample and the fixed connection means are kept at a cryogenic temperature or in an arbitrary atmosphere, it is possible to carry out continuous measurement while holding a plurality of linear samples in a cryogenic state or in an arbitrary atmosphere. It is possible to obtain and compare the measurement results of a plurality of linear samples under the same measurement conditions. Therefore,
For example, it can greatly contribute to the measurement of the electric resistance of the superconducting substance in an extremely low temperature state, particularly the measurement of the electric resistance when the superconducting substance has a practical linear shape. In addition, even in a measurement involving a danger such as an extremely low temperature in which a measurement tank is filled with a refrigerant or the like, the measurement can be performed at a remote position, and the measurement can be performed safely.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】実施形態の電気抵抗測定装置の正面断面図であ
る。
FIG. 1 is a front sectional view of an electric resistance measuring device according to an embodiment.

【図2】図1のA−A’矢視方向要部拡大断面図であ
る。
FIG. 2 is an enlarged cross-sectional view of a main part of FIG.

【図3】図1のB−B’矢視方向要部拡大断面図であ
る。
FIG. 3 is an enlarged cross-sectional view of a main part of FIG. 1 taken along the line BB ′.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 線状試料 2 第1クランプ部 2’ 第2クランプ部 3 第1チェーン 3’ 第2チェーン 4 スプロケットギア 5A 回転軸 5B 回転軸 5A1 第1軸受 5A2 第2軸受 6 下側端子 7 測定槽 8 上側端子 9 L字型支持具 10A 第1軸受 10B 第2軸受 10 回転軸 11 カム 12 回動軸 13 制御部 14 駆動部 15 チェーン 16 測定部 17 スプロケットギア 18 送入口 19 蓋体 20 チェーン 21A 第1スプロケットギア 21A’ 第1スプロケットギア 21B 第2スプロケットギア 22 錘 23 錘固定ネジ 24 吸引口 25 送入口 26 真空槽 26U 真空槽 27 液体窒素槽 27U 液体窒素槽 30 本体 40 搬送ユニット 43 垂直アーム 43A ローラ 44 水平アーム 45 測定端子ユニット 47 外部筐体 50 可動端子部 L 端子間距離 1 linear sample 2 first clamp part 2'second clamp part 3 first chain 3'second chain 4 sprocket gear 5A rotating shaft 5B rotating shaft 5A1 first bearing 5A2 second bearing 6 lower terminal 7 measuring tank 8 upper Terminal 9 L-shaped support 10A 1st bearing 10B 2nd bearing 10 Rotating shaft 11 Cam 12 Rotating shaft 13 Control part 14 Drive part 15 Chain 16 Measuring part 17 Sprocket gear 18 Inlet port 19 Lid body 20 Chain 21A 1st sprocket Gear 21A 'First sprocket gear 21B Second sprocket gear 22 Weight 23 Weight fixing screw 24 Suction port 25 Inlet 26 Vacuum tank 26U Vacuum tank 27 Liquid nitrogen tank 27U Liquid nitrogen tank 30 Main body 40 Transfer unit 43 Vertical arm 43A Roller 44 Horizontal Arm 45 Measuring terminal unit 47 External housing 50 Movable end Part L distance between the terminals

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 線状試料を所定距離だけ離間した二点で
固定保持する複数のクランプ手段と、 前記クランプ手段を所定測定位置まで順次搬送する搬送
手段と、 前記線状試料の電気的特性を測定する測定手段と、 前記所定測定位置に搬送された前記クランプ手段に保持
されている線状試料を少なくとも測定期間中、所定距離
だけ離間した二点で機械的に固定するとともに前記測定
手段に電気的に接続する二つの固定接続手段と、 を備えたことを特徴とする電気的特性測定装置。
1. A plurality of clamp means for fixing and holding a linear sample at two points separated by a predetermined distance, a conveying means for sequentially conveying the clamp means to a predetermined measurement position, and an electric characteristic of the linear sample. The measuring means for measuring and the linear sample held by the clamp means conveyed to the predetermined measuring position are mechanically fixed at two points separated by a predetermined distance at least during the measurement period and electrically connected to the measuring means. An electrical characteristic measuring device, comprising: two fixed connecting means for electrically connecting to each other;
【請求項2】 請求項1記載の電気的特性測定装置にお
いて、 前記固定接続手段は、前記搬送手段が前記クランプ手段
を搬送中は、前記機械的な固定及び前記測定手段に対す
る電気的接続を解除することを特徴とする電気的特性測
定装置。
2. The electrical characteristic measuring device according to claim 1, wherein the fixed connection means releases the mechanical fixing and the electrical connection to the measuring means while the conveying means conveys the clamp means. An electrical characteristic measuring device characterized by:
【請求項3】 請求項1または請求項2記載の電気的特
性測定装置において、 前記搬送手段は、前記クランプ手段が所定位置に固定さ
れ、環状に形成されたチェーンと、 前記チェーンを駆動することにより前記クランプ手段を
搬送する駆動手段と、 を備えたことを特徴とする電気的特性測定装置。
3. The electrical characteristic measuring device according to claim 1, wherein the conveying unit drives the chain, and a chain formed in an annular shape in which the clamp unit is fixed at a predetermined position. Drive means for conveying the clamp means by means of:
【請求項4】 請求項1乃至請求項3のいずれかに記載
の電気的特性測定装置において、 各前記固定接続手段は、前記線状試料に当接することに
より前記線状試料を協働して挟持するとともに、少なく
とも一方は線状試料を前記測定手段に電気的に接続する
端子として機能する第1接続部材及び第2接続部材と、
前記第1接続部材と前記第2接続部材が前記線状試料を
保持している場合に、前記第1接続部材と前記第2接続
部材に対し、自重により前記線状試料を機械的に固定す
るための荷重を印加する錘部材と、カム部材を有し、前
記搬送手段における前記クランプ手段の搬送状態に基づ
いて前記第1接続部材と前記第2接続部材とを前記錘部
材の荷重に抗して離間する離間手段と、を有する、 ことを特徴とする電気的特性測定装置。
4. The electrical characteristic measuring device according to claim 1, wherein each of the fixed connection means abuts on the linear sample to cooperate with the linear sample. A first connecting member and a second connecting member which are sandwiched and at least one of which functions as a terminal for electrically connecting a linear sample to the measuring means;
When the first connecting member and the second connecting member hold the linear sample, the linear sample is mechanically fixed to the first connecting member and the second connecting member by its own weight. Has a weight member for applying a load to prevent the weight of the weight member from being applied to the first connecting member and the second connecting member based on the carrying state of the clamping means in the carrying means. An electrical characteristic measuring device comprising:
【請求項5】 請求項1乃至請求項4のいずれかに記載
の電気的特性測定装置において、 少なくとも前記測定手段による測定中は、当該測定対象
である前記線状試料及び前記固定接続手段を極低温下に
保持し、あるいは、任意の雰囲気中に保持するための測
定槽を備えたことを特徴とする電気的特性測定装置。
5. The electric characteristic measuring device according to claim 1, wherein at least during measurement by the measuring means, the linear sample to be measured and the fixed connecting means are poled. An electrical characteristic measuring device comprising a measuring tank for holding at a low temperature or in an arbitrary atmosphere.
JP07316754A 1995-12-05 1995-12-05 Electrical property measurement device Expired - Fee Related JP3132718B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP07316754A JP3132718B2 (en) 1995-12-05 1995-12-05 Electrical property measurement device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP07316754A JP3132718B2 (en) 1995-12-05 1995-12-05 Electrical property measurement device

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH09159705A true JPH09159705A (en) 1997-06-20
JP3132718B2 JP3132718B2 (en) 2001-02-05

Family

ID=18080554

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP07316754A Expired - Fee Related JP3132718B2 (en) 1995-12-05 1995-12-05 Electrical property measurement device

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3132718B2 (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101305970B1 (en) * 2011-11-07 2013-09-12 한국기계연구원 Evaluation method of dispersion degree for carbon nano materials dispersed in polymer matrix
CN103777078A (en) * 2012-10-19 2014-05-07 远东电缆有限公司 Cable conductor DC-resistance testing device and testing method

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101305970B1 (en) * 2011-11-07 2013-09-12 한국기계연구원 Evaluation method of dispersion degree for carbon nano materials dispersed in polymer matrix
CN103777078A (en) * 2012-10-19 2014-05-07 远东电缆有限公司 Cable conductor DC-resistance testing device and testing method

Also Published As

Publication number Publication date
JP3132718B2 (en) 2001-02-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5433785A (en) Thermal treatment apparatus, semiconductor device fabrication apparatus, load-lock chamber
JP3563108B2 (en) Device transport mechanism for IC test handler
US4778331A (en) Carrier system for silicon wafer
JPH08274142A (en) In-line film forming device
CA2164971A1 (en) Spiral magnetic linear translating mechanism
KR20200078361A (en) Method of removing liquid from seal of a substrate holder
US4526670A (en) Automatically loadable multifaceted electrode with load lock mechanism
EP0211292A2 (en) Molecular beam epitaxy apparatus
US4624738A (en) Continuous gas plasma etching apparatus and method
JP2002198353A (en) Plasma pcocessing system
JPH09159705A (en) Apparatus for measuring electric characteristic
KR100937504B1 (en) Measurement apparatus of hall effect
KR20040038833A (en) Apparatus for electrolyte injection
US4822756A (en) Reaction furnace and method of operating the same
KR970077337A (en) Substrate handling method after sputtering and sputtering device
US5179622A (en) Series evaporator for vacuum vapor-deposition apparatus
JP3099065B2 (en) Vacuum deposition equipment
JP2004272242A (en) Automatic liquid crystal panel grasping apparatus and method for the same
KR100392811B1 (en) Multiple vacuum depositor of double chamber type
JP2001160554A (en) Heat treatment apparatus and method thereof
JPH0890243A (en) Production device for hermetically closed sensor
JP4781337B2 (en) Deposition equipment
JP4191694B2 (en) Vacuum processing equipment
JP2002270600A (en) Plasma cvd apparatus, plasma cvd method and thin film solar cell
EP0325178B1 (en) Apparatus for heating a sample within a vacuum chamber

Legal Events

Date Code Title Description
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20001010

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees