JPH09149672A - 多相リニアモータ制御装置 - Google Patents
多相リニアモータ制御装置Info
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- JPH09149672A JPH09149672A JP32787295A JP32787295A JPH09149672A JP H09149672 A JPH09149672 A JP H09149672A JP 32787295 A JP32787295 A JP 32787295A JP 32787295 A JP32787295 A JP 32787295A JP H09149672 A JPH09149672 A JP H09149672A
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- linear motor
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- control
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 共振点の存在等のため補償器のゲインを十分
高くとれない場合においても、モータの推力変動等に起
因する制御偏差を十分抑圧できるような、多相リニアモ
ータの制御装置を提供する。 【解決手段】 可動子の位置に応じて通電すべきコイル
を選択的に切り替える多相リニアモータに対し、位置あ
るいは速度を負帰還するサーボループを構成した制御装
置において、該リニアモータの駆動方向各地点における
制御偏差の補正情報を保持した参照テーブルを具備し、
該リニアモータの制御時には、該参照テーブルを逐次参
照（２）して得られる値を制御偏差に加算しながら制御
する。
高くとれない場合においても、モータの推力変動等に起
因する制御偏差を十分抑圧できるような、多相リニアモ
ータの制御装置を提供する。 【解決手段】 可動子の位置に応じて通電すべきコイル
を選択的に切り替える多相リニアモータに対し、位置あ
るいは速度を負帰還するサーボループを構成した制御装
置において、該リニアモータの駆動方向各地点における
制御偏差の補正情報を保持した参照テーブルを具備し、
該リニアモータの制御時には、該参照テーブルを逐次参
照（２）して得られる値を制御偏差に加算しながら制御
する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、外相リニアモータ
の駆動装置に関するものであり、特に高精度な速度制御
あるいは位置制御が必要とされる分野において利用され
るものである。
の駆動装置に関するものであり、特に高精度な速度制御
あるいは位置制御が必要とされる分野において利用され
るものである。
【０００２】
【従来の技術】図５は複数のコイルを有する多相リニア
モータの構成の一例を示したものである。図５において
１２はリニアモータコイル（固定子）であり、便宜上Ｎ
ｏ．１〜Ｎｏ．４までの番号を付けてある。また１３は
可動磁石（可動子）であり、隣り合う、また向かい合う
磁石の極性が異なるように配置されている。
モータの構成の一例を示したものである。図５において
１２はリニアモータコイル（固定子）であり、便宜上Ｎ
ｏ．１〜Ｎｏ．４までの番号を付けてある。また１３は
可動磁石（可動子）であり、隣り合う、また向かい合う
磁石の極性が異なるように配置されている。
【０００３】可動子１３の位置はコイル内に配置された
ホール素子などで検出され、可動磁石１３の極性（Ｎ，
Ｓ極）を検出することによって所定のコイルへの通電が
行なわれる。この通電コイルの選択方法を図５に併せて
示す。ここで、印
ホール素子などで検出され、可動磁石１３の極性（Ｎ，
Ｓ極）を検出することによって所定のコイルへの通電が
行なわれる。この通電コイルの選択方法を図５に併せて
示す。ここで、印
【０００４】
【外１】 および
【０００５】
【外２】 はコイルに通電する電流の向きを示している。図５に示
したような構成の多相リニアモータを駆動する回路構成
については、特開平１−２９８４１０号公報に示されて
いる。
したような構成の多相リニアモータを駆動する回路構成
については、特開平１−２９８４１０号公報に示されて
いる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】図５に示したような多
相リニアモータでは、それぞれのコイル部分で発生する
推力は必ずしも同一ではない。またコイルとコイルとの
間はある程度間隔を設けて配置するのが一般的である。
このコイル間ギャップのため可動子の場所によっても推
力が変動し、結局図６に示すような推力分布になるのが
通常である。従って、例えば可動子の一定速度制御を行
なう場合、こうした推力変動の影響により制御偏差を十
分低減することは不可能となる。
相リニアモータでは、それぞれのコイル部分で発生する
推力は必ずしも同一ではない。またコイルとコイルとの
間はある程度間隔を設けて配置するのが一般的である。
このコイル間ギャップのため可動子の場所によっても推
力が変動し、結局図６に示すような推力分布になるのが
通常である。従って、例えば可動子の一定速度制御を行
なう場合、こうした推力変動の影響により制御偏差を十
分低減することは不可能となる。
【０００７】また、可動子の速度を高くしていくと、図
６に示す推力変動の周波数も高くなるため、より推力変
動の影響が出やすくなる。このことは、モータを積分器
で近似した図７のブロック線図を使って説明できる。図
７は速度のフィードバックループを構成したモータの速
度制御系であり、簡単のためＰＩ（比例＋積分）補償器
を設けている。またＫt はトルク定数、Ｍは可動部の質
量を表している。
６に示す推力変動の周波数も高くなるため、より推力変
動の影響が出やすくなる。このことは、モータを積分器
で近似した図７のブロック線図を使って説明できる。図
７は速度のフィードバックループを構成したモータの速
度制御系であり、簡単のためＰＩ（比例＋積分）補償器
を設けている。またＫt はトルク定数、Ｍは可動部の質
量を表している。
【０００８】図７より、推力外乱Ｔから速度Ｖまでの伝
達関数（外乱抑圧特性）は数１式となり、低域では微分
特性を示す。
達関数（外乱抑圧特性）は数１式となり、低域では微分
特性を示す。
【０００９】
【数１】 従って、可動子の速度を上げるに従い推力外乱の影響が
出やすくなることになる。同様に、可動部（負荷）の質
量が小さいほど数１式のゲインが大きくなるから、結果
として外乱抑圧能力が劣化する。逆に言えば質量が大き
いほど推力変動に起因する外乱の影響を受けにくいわけ
であり、このことはいわゆる「はずみ車効果」として良
く知られている。
出やすくなることになる。同様に、可動部（負荷）の質
量が小さいほど数１式のゲインが大きくなるから、結果
として外乱抑圧能力が劣化する。逆に言えば質量が大き
いほど推力変動に起因する外乱の影響を受けにくいわけ
であり、このことはいわゆる「はずみ車効果」として良
く知られている。
【００１０】また数１式から読み取れるように、推力外
乱の抑圧能力を高めるためには、ＰＩ補償器のゲインを
大きくするなどして制御帯域を拡げれば良い。しかしこ
の場合、負荷の接続状態等により生ずる機械系の持つ共
振点を励起してしまう可能性があるため、必ずしも期待
する制御帯域が得られないことが多い。
乱の抑圧能力を高めるためには、ＰＩ補償器のゲインを
大きくするなどして制御帯域を拡げれば良い。しかしこ
の場合、負荷の接続状態等により生ずる機械系の持つ共
振点を励起してしまう可能性があるため、必ずしも期待
する制御帯域が得られないことが多い。
【００１１】本発明は上記問題点を解決するためになさ
れたものであり、共振点の存在等のため補償器のゲイン
を十分高くとれない場合においても、モータの推力変動
等に起因する制御偏差を十分抑圧できるような、多相リ
ニアモータの制御装置を提供するものである。
れたものであり、共振点の存在等のため補償器のゲイン
を十分高くとれない場合においても、モータの推力変動
等に起因する制御偏差を十分抑圧できるような、多相リ
ニアモータの制御装置を提供するものである。
【００１２】
【課題を解決するための手段および作用】本発明による
多相リニアモータの制御装置は、多相リニアモータの駆
動方向各地点における制御偏差の補正情報を保持した参
照テーブルを具備し、駆動時に該参照テーブルを逐次参
照して得た値を制御偏差に加算しながら制御することを
特徴とする。これにより、推力変動等に起因する制御偏
差部分をあらかじめ補償し、推力変動等に起因する制御
偏差の発生が十分抑圧された、制御が行われる。
多相リニアモータの制御装置は、多相リニアモータの駆
動方向各地点における制御偏差の補正情報を保持した参
照テーブルを具備し、駆動時に該参照テーブルを逐次参
照して得た値を制御偏差に加算しながら制御することを
特徴とする。これにより、推力変動等に起因する制御偏
差部分をあらかじめ補償し、推力変動等に起因する制御
偏差の発生が十分抑圧された、制御が行われる。
【００１３】また本発明による多相リニアモータの制御
装置は、テーブル参照に先んじて行なわれる多相リニア
モータ駆動時に得られる系の状態量すなわち可動子の位
置および制御偏差の時系列に基づき参照テーブルを作成
することを特徴とする。
装置は、テーブル参照に先んじて行なわれる多相リニア
モータ駆動時に得られる系の状態量すなわち可動子の位
置および制御偏差の時系列に基づき参照テーブルを作成
することを特徴とする。
【００１４】また本発明による多相リニアモータの制御
装置においては、テーブル参照に先んじて行なわれる多
相リニアモータ駆動時に得られる系の状態量の時系列
を、線形位相ディジタルファルタで前処理した結果を基
に参照テーブル作成を行なうことを特徴とし、該フィル
タの遮断周波数は、サーボループ帯域より低く設定され
ることを特徴とする。これにより、外来ノイズ等に起因
する高周波成分を排除したテーブルが作成され、これに
基づく安定した制御が行われる。
装置においては、テーブル参照に先んじて行なわれる多
相リニアモータ駆動時に得られる系の状態量の時系列
を、線形位相ディジタルファルタで前処理した結果を基
に参照テーブル作成を行なうことを特徴とし、該フィル
タの遮断周波数は、サーボループ帯域より低く設定され
ることを特徴とする。これにより、外来ノイズ等に起因
する高周波成分を排除したテーブルが作成され、これに
基づく安定した制御が行われる。
【００１５】また本発明による多相リニアモータの制御
装置においては、上記方法にて作成した参照テーブルを
用いてさらにリニアモータの駆動を行なった結果より、
参照テーブルを補正する係数列を生成して参照テーブル
を逐次補正することを特徴とする。これにより、さらに
制御偏差の抑圧効果が高められる。
装置においては、上記方法にて作成した参照テーブルを
用いてさらにリニアモータの駆動を行なった結果より、
参照テーブルを補正する係数列を生成して参照テーブル
を逐次補正することを特徴とする。これにより、さらに
制御偏差の抑圧効果が高められる。
【００１６】
第１の実施例 図１は本発明の第１の実施例に係る多相リニアモータ制
御装置の構成を示す。図１において、１は参照テーブル
作成手段、２はテーブル参照手段、３は参照テーブル保
存手段であるメモリ、４は制御演算手段、５は目標位置
発生手段である。参照テーブル作成手段１、テーブル参
照手段２、制御演算手段４、および目標位置発生手段５
はＣＰＵあるいはＤＳＰなどのマイクロプロセッサ６で
実現されている。Ｄ／Ａコンバータ７はマイクロプロッ
サ６から指令値を受け、アナログ信号に変換して増幅器
８に与える。増幅器８においては電流制御ループが構成
されており、従って増幅器８は電流モード増幅器として
動作する。増幅器８により多相リニアモータ９が駆動さ
れ、その位置を位置検出器１０で検出する。多相リニア
モータ９は、従来技術の説明に用いた図５と同じ構成の
ものを用いている。本実施例では位置検出器１０として
レーザ干渉計を用いているが、リニアエンコーダなどそ
れに替るものであっても良い。
御装置の構成を示す。図１において、１は参照テーブル
作成手段、２はテーブル参照手段、３は参照テーブル保
存手段であるメモリ、４は制御演算手段、５は目標位置
発生手段である。参照テーブル作成手段１、テーブル参
照手段２、制御演算手段４、および目標位置発生手段５
はＣＰＵあるいはＤＳＰなどのマイクロプロセッサ６で
実現されている。Ｄ／Ａコンバータ７はマイクロプロッ
サ６から指令値を受け、アナログ信号に変換して増幅器
８に与える。増幅器８においては電流制御ループが構成
されており、従って増幅器８は電流モード増幅器として
動作する。増幅器８により多相リニアモータ９が駆動さ
れ、その位置を位置検出器１０で検出する。多相リニア
モータ９は、従来技術の説明に用いた図５と同じ構成の
ものを用いている。本実施例では位置検出器１０として
レーザ干渉計を用いているが、リニアエンコーダなどそ
れに替るものであっても良い。
【００１７】制御演算手段４では、位置検出器１０から
の位置情報を用いて例えばＰＩＤなどの制御補償演算を
行なった後、この結果をＤ／Ａコンバータ７に電流指令
値として与えており、従って位置制御を行なうフィード
バックループが構成されている。
の位置情報を用いて例えばＰＩＤなどの制御補償演算を
行なった後、この結果をＤ／Ａコンバータ７に電流指令
値として与えており、従って位置制御を行なうフィード
バックループが構成されている。
【００１８】次に、参照テーブル作成手段１の動作につ
いて図２のフローチャートを用いて説明する。
いて図２のフローチャートを用いて説明する。
【００１９】まず、目標位置発生手段５が発生する目標
値に従って、多相リニアモータ可動子を第１の位置まで
一定速度で移動させる（ステップＳ１）。次に可動子
を、実際に多相リニアモータを駆動するのと同一の目標
値パターンを与えて、第２の位置まで駆動する（ステッ
プＳ２、Ｓ３）。この時、マイクロプロセッサ６は可動
子の位置Ｐn と、目標位置と可動子の位置との差即ち制
御偏差Ｅn を、１ｍｓｅｃ．毎の一定周期でメモリ３に
保存していく（ステップＳ２）。第２の位置への移動が
完了した時点でこのメモリへの保存動作を終了する。
値に従って、多相リニアモータ可動子を第１の位置まで
一定速度で移動させる（ステップＳ１）。次に可動子
を、実際に多相リニアモータを駆動するのと同一の目標
値パターンを与えて、第２の位置まで駆動する（ステッ
プＳ２、Ｓ３）。この時、マイクロプロセッサ６は可動
子の位置Ｐn と、目標位置と可動子の位置との差即ち制
御偏差Ｅn を、１ｍｓｅｃ．毎の一定周期でメモリ３に
保存していく（ステップＳ２）。第２の位置への移動が
完了した時点でこのメモリへの保存動作を終了する。
【００２０】メモリ３に保存された位置および制御偏差
には、外来ノイズなどに代表される高周波成分が含まれ
るのが一般的である。こうした高周波成分をテーブルに
含むことは、制御系に無意味な動作を強いることになり
好ましくない。場合によっては、制御系が不安定化する
こともあり得る。本実施例では、高域遮断型の線形位相
フィルタを用いて高周波成分を除去する（ステップＳ４
〜Ｓ６）。ここでフィルタの遮断周波数は、制御演算手
段４に含まれる制御補償器のパラメータから推定可能な
制御帯域より低く設定する。本実施例では数２式で表現
される５０次のＦＩＲフィルタを用い、その遮断周波数
を２０Ｈｚに設定している。
には、外来ノイズなどに代表される高周波成分が含まれ
るのが一般的である。こうした高周波成分をテーブルに
含むことは、制御系に無意味な動作を強いることになり
好ましくない。場合によっては、制御系が不安定化する
こともあり得る。本実施例では、高域遮断型の線形位相
フィルタを用いて高周波成分を除去する（ステップＳ４
〜Ｓ６）。ここでフィルタの遮断周波数は、制御演算手
段４に含まれる制御補償器のパラメータから推定可能な
制御帯域より低く設定する。本実施例では数２式で表現
される５０次のＦＩＲフィルタを用い、その遮断周波数
を２０Ｈｚに設定している。
【００２１】
【数２】 ここでｙはフィルタの出力、ｘはフィルタの入力時系
列、ｆはフイルタの係数、ｎは時刻をそれぞれ表してい
る。このようにして、メモリ３に保存された位置Ｐn お
よび制御偏差Ｅn に対して、フィルタ処理を施した位置
時系列ＰＦn と制御偏差時系列ＥＦn がそれぞれ得られ
る。
列、ｆはフイルタの係数、ｎは時刻をそれぞれ表してい
る。このようにして、メモリ３に保存された位置Ｐn お
よび制御偏差Ｅn に対して、フィルタ処理を施した位置
時系列ＰＦn と制御偏差時系列ＥＦn がそれぞれ得られ
る。
【００２２】次に、多相リニアモータ可動子の位置と制
御偏差との関係をテーブルとして作成する。フィルタ処
理の施された位置時系列ＰＦn を順番に１つずつチェッ
クし、それが１単位増加するごとにフィルタ処理の施さ
れた制御偏差時系列ＥＦn の値を抜き出して参照テーブ
ル値とする（ステップＳ７〜Ｓ９）。ここで言う１単位
δとは、参照テーブルの細かさ（ピッチ）を表すもので
あり、本実施例では０．１ｍｍとしているが、メモリ容
量の許容する範囲で十分小さくとれば良い。
御偏差との関係をテーブルとして作成する。フィルタ処
理の施された位置時系列ＰＦn を順番に１つずつチェッ
クし、それが１単位増加するごとにフィルタ処理の施さ
れた制御偏差時系列ＥＦn の値を抜き出して参照テーブ
ル値とする（ステップＳ７〜Ｓ９）。ここで言う１単位
δとは、参照テーブルの細かさ（ピッチ）を表すもので
あり、本実施例では０．１ｍｍとしているが、メモリ容
量の許容する範囲で十分小さくとれば良い。
【００２３】ここまでの処理で得られた参照テーブルＫ
m はメモリ３に保存され、テーブル参照手段２により逐
次参照される。次に、テーブル参照手段２について説明
する。実際に多相リニアモータを駆動して速度制御や位
置決めなどの動作を行なうのに際し、位置検出器１０よ
り得られる位置情報ｐを基に数３式で表されるルールに
従ってテーブルを参照して、その場所での補正値ｋを得
る。
m はメモリ３に保存され、テーブル参照手段２により逐
次参照される。次に、テーブル参照手段２について説明
する。実際に多相リニアモータを駆動して速度制御や位
置決めなどの動作を行なうのに際し、位置検出器１０よ
り得られる位置情報ｐを基に数３式で表されるルールに
従ってテーブルを参照して、その場所での補正値ｋを得
る。
【００２４】
【数３】 すなわち、位置検出手段１０より得られる位置情報ｐを
テーブルのピッチδの整数倍に変換し、これをメモリ内
参照テーブル先頭からのオフセット（インデックスＬ）
として用いることで、現在位置に対する補正値ｋが得ら
れることになる。
テーブルのピッチδの整数倍に変換し、これをメモリ内
参照テーブル先頭からのオフセット（インデックスＬ）
として用いることで、現在位置に対する補正値ｋが得ら
れることになる。
【００２５】得られた補正値ｋは、制御演算手段４にて
制御偏差を計算した結果に加算する形で用いられ、その
後ＰＩＤなどの補償計算を行なった結果が操作量すなわ
ち制御入力としてＤ／Ａ変換器７に入力されて多相リニ
アモータを駆動する。
制御偏差を計算した結果に加算する形で用いられ、その
後ＰＩＤなどの補償計算を行なった結果が操作量すなわ
ち制御入力としてＤ／Ａ変換器７に入力されて多相リニ
アモータを駆動する。
【００２６】ここで本発明の効果を示すために、図１に
示す系において一定速度駆動をした場合の定常状態の位
置偏差、従来技術の場合との比較を図３に示す。本発明
によって位置偏差が抑圧されていることが確認できる。
示す系において一定速度駆動をした場合の定常状態の位
置偏差、従来技術の場合との比較を図３に示す。本発明
によって位置偏差が抑圧されていることが確認できる。
【００２７】なお、本実施例では位置制御を行う場合に
ついて説明したが、速度制御を行なう場合でも全く同じ
手段で実現できることは明らかであるので、この場合の
詳細な説明は省略する。 第２の実施例 第１の実施例で示したように、参照テーブルは図２のフ
ローチャートに従って作成されるが、この手続きを繰り
返すことでさらに位置偏差抑圧能力を高めることができ
る。この手順を図４のフローチャートに示す。
ついて説明したが、速度制御を行なう場合でも全く同じ
手段で実現できることは明らかであるので、この場合の
詳細な説明は省略する。 第２の実施例 第１の実施例で示したように、参照テーブルは図２のフ
ローチャートに従って作成されるが、この手続きを繰り
返すことでさらに位置偏差抑圧能力を高めることができ
る。この手順を図４のフローチャートに示す。
【００２８】図４に従って説明すると、まず、図２のフ
ローチャートに従って第１の参照テーブルＫm を作成す
る（ステップＳ４１）。そして、第１実施例で説明した
ように、第１の参照テーブルＫm から得られた値を制御
偏差に加算して駆動する。この時、同時に図２のフロー
チャートに従って第２の参照テーブルＫ'mを作成し（ス
テップＳ４２）、第１の参照テーブルＫm に要素ごとに
加算することで新しい参照テーブルとする（ステップＳ
４４〜Ｓ４６）。これを繰り返すことにより（ステップ
Ｓ４３）、Ｎ回目に作成したテーブルに反映しきれなか
った情報を、Ｎ＋１回目に作成したテーブルに反映させ
ることができ、位置偏差抑圧能力をいっそう高めること
ができる。
ローチャートに従って第１の参照テーブルＫm を作成す
る（ステップＳ４１）。そして、第１実施例で説明した
ように、第１の参照テーブルＫm から得られた値を制御
偏差に加算して駆動する。この時、同時に図２のフロー
チャートに従って第２の参照テーブルＫ'mを作成し（ス
テップＳ４２）、第１の参照テーブルＫm に要素ごとに
加算することで新しい参照テーブルとする（ステップＳ
４４〜Ｓ４６）。これを繰り返すことにより（ステップ
Ｓ４３）、Ｎ回目に作成したテーブルに反映しきれなか
った情報を、Ｎ＋１回目に作成したテーブルに反映させ
ることができ、位置偏差抑圧能力をいっそう高めること
ができる。
【００２９】本実施例による位置偏差抑圧の効果を示す
ため、テーブルの補正を３回行なった場合の位置偏差波
形を図３にあわせて示す。テーブルの補正を行なわない
場合に比べ、位置偏差がさらに２分の１に抑圧されてい
ることが確認できる。 第３の実施例 第１および第２の実施例では、参照テーブル保存手段３
としてメモリを用いたが、例えば磁気ディスクなどの媒
体に記憶しておくことも可能である。この場合、１度参
照テーブルを作成してしまえば、機械系の特性が変化し
ない限り再度参照テーブル作成を繰り返す必要はなくな
るため、機器立ち上げ時に参照テーブルを記憶してある
媒体から１度だけ読み込んでおけば良い。また、一定の
長期間にわたって多相リニアモータを駆動した後には参
照テーブルを自動的に再作成するようにしておくこと
で、機械系の経年変化を補正することも可能となる。
ため、テーブルの補正を３回行なった場合の位置偏差波
形を図３にあわせて示す。テーブルの補正を行なわない
場合に比べ、位置偏差がさらに２分の１に抑圧されてい
ることが確認できる。 第３の実施例 第１および第２の実施例では、参照テーブル保存手段３
としてメモリを用いたが、例えば磁気ディスクなどの媒
体に記憶しておくことも可能である。この場合、１度参
照テーブルを作成してしまえば、機械系の特性が変化し
ない限り再度参照テーブル作成を繰り返す必要はなくな
るため、機器立ち上げ時に参照テーブルを記憶してある
媒体から１度だけ読み込んでおけば良い。また、一定の
長期間にわたって多相リニアモータを駆動した後には参
照テーブルを自動的に再作成するようにしておくこと
で、機械系の経年変化を補正することも可能となる。
【００３０】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、多
相リニアモータを用いた系において、多相リニアモータ
の推力変動を十分に除去する、多相リニアモータの駆動
装置を提供することができる。
相リニアモータを用いた系において、多相リニアモータ
の推力変動を十分に除去する、多相リニアモータの駆動
装置を提供することができる。
【図１】 本発明の第１の実施例に係る多相リニアモー
タ制御装置の構成を示す図である。
タ制御装置の構成を示す図である。
【図２】 図１の装置の動作を示すフローチャートであ
る。
る。
【図３】 本発明の効果を説明する図である。
【図４】 本発明の第２の実施例に係る装置の動作を示
すフローチャートである。
すフローチャートである。
【図５】 多相リニアモータを示す図である。
【図６】 多相リニアモータにおける推力変動を示す図
である。
である。
【図７】 従来技術を説明する図である。
１：参照テーブル作成手段、２：テーブル参照手段、
３：メモリ、４：制御演算手段、５：目標位置発生手
段、６：マイクロプロセッサ、７：Ｄ／Ａコンバータ、
８：増幅器、９：多相リニアモータ、１０：位置検出
器。
３：メモリ、４：制御演算手段、５：目標位置発生手
段、６：マイクロプロセッサ、７：Ｄ／Ａコンバータ、
８：増幅器、９：多相リニアモータ、１０：位置検出
器。
Claims (5)
- 【請求項１】 可動子の位置に応じて通電すべきコイル
を選択的に切り替える多相リニアモータに対し、位置あ
るいは速度を負帰還するサーボループを構成した制御装
置において、該リニアモータの駆動方向各地点における
制御偏差の補正情報を保持した参照テーブルを具備し、
該リニアモータの制御時には、該参照テーブルを逐次参
照して得られる値を制御偏差に加算しながら制御するこ
とを特徴とする、多相リニアモータ制御装置。 - 【請求項２】 前記参照テーブルを、テーブル参照に先
んじて行われる前記リニアモータの駆動時に得られるそ
の可動子の位置および制御偏差の時系列データに基づき
作成する参照テーブル作成手段を有することを特徴とす
る請求項１記載の、多相リニアモータ制御装置。 - 【請求項３】 前記参照テーブル作成手段は、前記参照
テーブルを、前記時系列データを高域遮断型の線形位相
フィルタで前処理した結果に基づいて作成するものであ
り、該フィルタの遮断周波数は、前記サーボループによ
る制御帯域より低く設定されることを特徴とする請求項
２記載の多相リニアモータ駆動装置。 - 【請求項４】 可動子の位置に応じて通電すべきコイル
を選択的に切り替える多相リニアモータに対し、位置あ
るいは速度を負帰還するサーボループを構成した制御装
置において、該リニアモータの駆動方向各地点における
制御偏差の補正情報を保持した第１の参照テーブルと、
この第１の参照テーブルを逐次参照して得られる値を前
記制御偏差に加算しながら請求項２または３の参照テー
ブル作成手段で作成した第２の参照テーブルと、この第
２の参照テーブルを用いて第１の参照テーブルを補正す
る手段とを具備し、該リニアモータの制御時には、この
補正された第１の参照テーブルを逐次参照して得られる
値を前記制御偏差に加算しながら制御することを特徴と
する多相リニアモータ駆動装置。 - 【請求項５】 前記第１の参照テーブルの補正を複数回
数繰り返し行うことを特徴とする請求項４記載の多相リ
ニアモータ駆動装置。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32787295A JP3387715B2 (ja) | 1995-11-24 | 1995-11-24 | 多相リニアモータ制御装置 |
| EP96306378A EP0762255B1 (en) | 1995-09-04 | 1996-09-03 | Drive control apparatus |
| DE69601763T DE69601763T2 (de) | 1995-09-04 | 1996-09-03 | Einrichtung zur Antriebsregelung |
| KR1019960037952A KR100226599B1 (ko) | 1995-09-04 | 1996-09-03 | 구동제어장치 및 방법 |
| US08/697,950 US5757149A (en) | 1995-09-04 | 1996-09-04 | Drive control apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32787295A JP3387715B2 (ja) | 1995-11-24 | 1995-11-24 | 多相リニアモータ制御装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09149672A true JPH09149672A (ja) | 1997-06-06 |
| JP3387715B2 JP3387715B2 (ja) | 2003-03-17 |
Family
ID=18203927
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32787295A Expired - Fee Related JP3387715B2 (ja) | 1995-09-04 | 1995-11-24 | 多相リニアモータ制御装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3387715B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20030020781A (ko) * | 2001-09-04 | 2003-03-10 | 주식회사 져스텍 | 리니어 모터의 통합 ｐｉｄ 위치 제어기 및 이를 이용한이득 설정방법 |
| US6891599B2 (en) | 2001-11-28 | 2005-05-10 | Canon Kabushiki Kaisha | Stage apparatus and exposure apparatus |
| JP2012028784A (ja) * | 2010-07-26 | 2012-02-09 | Asml Netherlands Bv | 位置制御システム、リソグラフィ装置、及び可動オブジェクトの位置制御方法 |
-
1995
- 1995-11-24 JP JP32787295A patent/JP3387715B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20030020781A (ko) * | 2001-09-04 | 2003-03-10 | 주식회사 져스텍 | 리니어 모터의 통합 ｐｉｄ 위치 제어기 및 이를 이용한이득 설정방법 |
| US6891599B2 (en) | 2001-11-28 | 2005-05-10 | Canon Kabushiki Kaisha | Stage apparatus and exposure apparatus |
| JP2012028784A (ja) * | 2010-07-26 | 2012-02-09 | Asml Netherlands Bv | 位置制御システム、リソグラフィ装置、及び可動オブジェクトの位置制御方法 |
| US8825182B2 (en) | 2010-07-26 | 2014-09-02 | Asml Netherlands B.V. | Position control system, lithographic apparatus, and method to control a position of a movable object |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3387715B2 (ja) | 2003-03-17 |
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