JPH09147335A - 圧電アクチュエータ及びこれを利用した磁気ヘッド装置 - Google Patents
圧電アクチュエータ及びこれを利用した磁気ヘッド装置Info
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- JPH09147335A JPH09147335A JP7329562A JP32956295A JPH09147335A JP H09147335 A JPH09147335 A JP H09147335A JP 7329562 A JP7329562 A JP 7329562A JP 32956295 A JP32956295 A JP 32956295A JP H09147335 A JPH09147335 A JP H09147335A
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- elastic support
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 歪みゲージの接着工程において圧電バイモル
フにクラック不良が発生し、作業効率が低下していた。 【解決手段】 圧電バイモルフ１４の変位に追従する弾
性支持部材１５の表裏面に、圧電バイモルフ１４の変位
量を検出するための歪みゲージ２２，２３を配した磁気
ヘッド装置１１により解決する。
フにクラック不良が発生し、作業効率が低下していた。 【解決手段】 圧電バイモルフ１４の変位に追従する弾
性支持部材１５の表裏面に、圧電バイモルフ１４の変位
量を検出するための歪みゲージ２２，２３を配した磁気
ヘッド装置１１により解決する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、可変速再生ができ
るビデオテープレコーダ（ＶＴＲ）等の回転ドラムに設
けられた磁気ヘッド装置に係り、特に圧電アクチュエー
タを用いた磁気ヘッド装置の歪みゲージ取付け構造の改
良に関するものである。また、圧電アクチュエータそれ
自体の構造の改良に関するものである。
るビデオテープレコーダ（ＶＴＲ）等の回転ドラムに設
けられた磁気ヘッド装置に係り、特に圧電アクチュエー
タを用いた磁気ヘッド装置の歪みゲージ取付け構造の改
良に関するものである。また、圧電アクチュエータそれ
自体の構造の改良に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来より、ビデオテープレコーダ（ＶＴ
Ｒ）等の回転ドラムに設けられた磁気ヘッド装置とし
て、可変速再生時に記録トラックに磁気ヘッドが追従す
るように形成されたＤＴヘッド（ｄｙｎａｍｉｃ ｔｒ
ａｃｋｉｎｇ ｈｅａｄ）が採用されている。
Ｒ）等の回転ドラムに設けられた磁気ヘッド装置とし
て、可変速再生時に記録トラックに磁気ヘッドが追従す
るように形成されたＤＴヘッド（ｄｙｎａｍｉｃ ｔｒ
ａｃｋｉｎｇ ｈｅａｄ）が採用されている。
【０００３】図７及び図８は、ＤＴヘッド式磁気ヘッド
装置の一形態を示すものである。図において、この種の
磁気ヘッド装置１は、二つの支持部材によりヘッドベー
ス２を支持している。すなわち、固定板３の下面に保持
した圧電バイモルフ４と、固定板３の上面と基板５との
間に保持した弾性支持部材６とによってヘッドベース２
が支持されており、このヘッドベース２にはヘッドチッ
プ７が固定されている。なお、基板５、固定板３及び圧
電バイモルフ４は、取付けネジ８によって一体的に固定
されている。
装置の一形態を示すものである。図において、この種の
磁気ヘッド装置１は、二つの支持部材によりヘッドベー
ス２を支持している。すなわち、固定板３の下面に保持
した圧電バイモルフ４と、固定板３の上面と基板５との
間に保持した弾性支持部材６とによってヘッドベース２
が支持されており、このヘッドベース２にはヘッドチッ
プ７が固定されている。なお、基板５、固定板３及び圧
電バイモルフ４は、取付けネジ８によって一体的に固定
されている。
【０００４】固定板３の上面に位置する基板５は、ヘッ
ドチップ７や圧電バイモルフ４の電極層からの配線と、
フレキシブル配線基板との電気的接続をするための中継
用基板として機能するものである。
ドチップ７や圧電バイモルフ４の電極層からの配線と、
フレキシブル配線基板との電気的接続をするための中継
用基板として機能するものである。
【０００５】圧電バイモルフ４は、台形平板状を呈して
おり、二枚の圧電セラミクスの間に導電体からなる中間
電極を挟むようにして貼り合わせたものであり、その両
表面には、導電層からなる表面電極が形成されている。
この圧電バイモルフ４の固定端である基端部は固定板３
によって保持され、その自由端はヘッドベース２を保持
している。
おり、二枚の圧電セラミクスの間に導電体からなる中間
電極を挟むようにして貼り合わせたものであり、その両
表面には、導電層からなる表面電極が形成されている。
この圧電バイモルフ４の固定端である基端部は固定板３
によって保持され、その自由端はヘッドベース２を保持
している。
【０００６】また、弾性支持部材６は、炭素繊維系材料
等によって形成された長方形の板状部材である。この弾
性支持部材６の基端部は固定板３によって保持され、そ
の自由端はヘッドベース２を保持している。すなわち、
弾性支持部材６は、圧電バイモルフ４の動きに対して十
分な応答性を有している。
等によって形成された長方形の板状部材である。この弾
性支持部材６の基端部は固定板３によって保持され、そ
の自由端はヘッドベース２を保持している。すなわち、
弾性支持部材６は、圧電バイモルフ４の動きに対して十
分な応答性を有している。
【０００７】以上の構成において、圧電バイモルフ４に
駆動電圧を印加すると、圧電バイモルフ４の一方の圧電
セラミックスには伸び（または縮み）が生じ、他方の圧
電セラミックスには縮み（または伸び）が生じる。その
結果、圧電バイモルフ４は全体として湾曲することにな
り、この圧電バイモルフ４及び弾性支持部材６の自由端
に固定されたヘッドベース２及びヘッドチップ７が上方
または下方に変位される。
駆動電圧を印加すると、圧電バイモルフ４の一方の圧電
セラミックスには伸び（または縮み）が生じ、他方の圧
電セラミックスには縮み（または伸び）が生じる。その
結果、圧電バイモルフ４は全体として湾曲することにな
り、この圧電バイモルフ４及び弾性支持部材６の自由端
に固定されたヘッドベース２及びヘッドチップ７が上方
または下方に変位される。
【０００８】また、圧電バイモルフ４の両面には、その
変位量を検出するための歪みゲージ９，１０が貼り付け
られており、各ゲージ端子９ａ，１０ａは基板５上に引
き回されて電気的に接続されている。これら歪みゲージ
９，１０の抵抗値は、圧電バイモルフ４の伸び側が静止
時に対して増加し、その縮み側が静止時に対して減少す
る。したがって、両ゲージ９，１０の抵抗値の差を検出
することにより、圧電バイモルフ４の駆動量を観測する
ことができる。なお、歪みゲージ９，１０は圧電バイモ
ルフ４の両面に貼られているので、それ自体の温度変化
による抵抗変化を無視することができる。
変位量を検出するための歪みゲージ９，１０が貼り付け
られており、各ゲージ端子９ａ，１０ａは基板５上に引
き回されて電気的に接続されている。これら歪みゲージ
９，１０の抵抗値は、圧電バイモルフ４の伸び側が静止
時に対して増加し、その縮み側が静止時に対して減少す
る。したがって、両ゲージ９，１０の抵抗値の差を検出
することにより、圧電バイモルフ４の駆動量を観測する
ことができる。なお、歪みゲージ９，１０は圧電バイモ
ルフ４の両面に貼られているので、それ自体の温度変化
による抵抗変化を無視することができる。
【０００９】このような磁気ヘッド装置１では、圧電バ
イモルフ４の中間電極、及び表面電極に接続されたバイ
モルフ駆動回路と、上記歪みゲージ９，１０に接続され
た湾曲変位量検出回路部とが、ビデオテープレコーダの
固定回転部等に電気的に接続されている。また、上記ヘ
ッドチップ７に接続された録画・再生信号増幅用のヘッ
ドアンプ回路が、ロータリトランスを介して固定回路部
等に電気的に接続されている。
イモルフ４の中間電極、及び表面電極に接続されたバイ
モルフ駆動回路と、上記歪みゲージ９，１０に接続され
た湾曲変位量検出回路部とが、ビデオテープレコーダの
固定回転部等に電気的に接続されている。また、上記ヘ
ッドチップ７に接続された録画・再生信号増幅用のヘッ
ドアンプ回路が、ロータリトランスを介して固定回路部
等に電気的に接続されている。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】従来のＤＴヘッド式磁
気ヘッド装置にあっては、圧電バイモルフ４の両面に、
その変位量を検出するための歪みゲージ９，１０を貼り
付けている。これら歪みゲージ９，１０の接着は、接着
剤の塗布、歪みゲージの仮固定、マスキング、加熱加圧
硬化及びマスキング材の剥離というような工程によって
なされている。
気ヘッド装置にあっては、圧電バイモルフ４の両面に、
その変位量を検出するための歪みゲージ９，１０を貼り
付けている。これら歪みゲージ９，１０の接着は、接着
剤の塗布、歪みゲージの仮固定、マスキング、加熱加圧
硬化及びマスキング材の剥離というような工程によって
なされている。
【００１１】加圧硬化工程やマスキング材の剥離工程に
おいては、圧電バイモルフ４に負荷が掛かるため、圧電
バイモルフ４に微小なクラックが入る不良が発生するこ
とがある。その不良率は１０％程度であるが、このクラ
ック不良は接着工程ではほとんど確認されず、その後の
検査工程において検出される。これら歪みゲージ９，１
０を圧電バイモルフ４に接着した後に回収することは困
難であり、その損失額は少なくない。
おいては、圧電バイモルフ４に負荷が掛かるため、圧電
バイモルフ４に微小なクラックが入る不良が発生するこ
とがある。その不良率は１０％程度であるが、このクラ
ック不良は接着工程ではほとんど確認されず、その後の
検査工程において検出される。これら歪みゲージ９，１
０を圧電バイモルフ４に接着した後に回収することは困
難であり、その損失額は少なくない。
【００１２】また、接着作業の際には、割れやすい圧電
バイモルフ４の取扱いを慎重に行う必要があり、作業効
率を低下させる要因につながっている。
バイモルフ４の取扱いを慎重に行う必要があり、作業効
率を低下させる要因につながっている。
【００１３】本発明は、上記課題に鑑み、圧電バイモル
フのオートトラッキング動作を保持したままで、圧電バ
イモルフに発生する微小クラックを低減することがで
き、かつ作業効率を向上させることができる磁気ヘッド
装置及び圧電アクチュエータを提供することを目的とす
る。
フのオートトラッキング動作を保持したままで、圧電バ
イモルフに発生する微小クラックを低減することがで
き、かつ作業効率を向上させることができる磁気ヘッド
装置及び圧電アクチュエータを提供することを目的とす
る。
【００１４】
【課題を解決するための手段】上記目的は、本発明によ
れば、駆動電圧により変位する圧電バイモルフと弾性支
持部材とを平行に位置させ、これらの基端部を固定部に
支持すると共にこれらの自由端にヘッドベースを支持し
て、圧電バイモルフの変位に追従させて弾性支持部材を
変位させることにより、上記ヘッドベースに保持したヘ
ッドチップをトラッキングさせる磁気ヘッド装置におい
て、上記弾性支持部材に、上記圧電バイモルフの変位量
を検出するための歪みゲージを配したことを特徴とする
磁気ヘッド装置により、達成される。
れば、駆動電圧により変位する圧電バイモルフと弾性支
持部材とを平行に位置させ、これらの基端部を固定部に
支持すると共にこれらの自由端にヘッドベースを支持し
て、圧電バイモルフの変位に追従させて弾性支持部材を
変位させることにより、上記ヘッドベースに保持したヘ
ッドチップをトラッキングさせる磁気ヘッド装置におい
て、上記弾性支持部材に、上記圧電バイモルフの変位量
を検出するための歪みゲージを配したことを特徴とする
磁気ヘッド装置により、達成される。
【００１５】また、本発明によれば、駆動電圧により変
位する圧電バイモルフと弾性支持部材とを平行に位置さ
せ、これらの基端部を固定部に支持すると共に、この圧
電バイモルフの変位に追従させて弾性支持部材を変位さ
せる圧電アクチュエータにおいて、上記弾性支持部材
に、上記圧電バイモルフの変位量を検出するための歪み
ゲージを配したことを特徴とする圧電アクチュエータに
より、達成される。
位する圧電バイモルフと弾性支持部材とを平行に位置さ
せ、これらの基端部を固定部に支持すると共に、この圧
電バイモルフの変位に追従させて弾性支持部材を変位さ
せる圧電アクチュエータにおいて、上記弾性支持部材
に、上記圧電バイモルフの変位量を検出するための歪み
ゲージを配したことを特徴とする圧電アクチュエータに
より、達成される。
【００１６】本発明によれば、圧電バイモルフの変位量
を検出するための歪みゲージを、圧電バイモルフではな
く、圧電バイモルフの変位に追従する弾性支持部材に配
したので、歪みゲージの接着工程において圧電バイモル
フに微小クラックが生じることはない。したがって、圧
電バイモルフのオートトラッキング動作を保持したまま
で、圧電バイモルフに発生する微小クラックを低減する
ことができる。
を検出するための歪みゲージを、圧電バイモルフではな
く、圧電バイモルフの変位に追従する弾性支持部材に配
したので、歪みゲージの接着工程において圧電バイモル
フに微小クラックが生じることはない。したがって、圧
電バイモルフのオートトラッキング動作を保持したまま
で、圧電バイモルフに発生する微小クラックを低減する
ことができる。
【００１７】
【発明の実施の形態】以下、本発明の好適な実施の形態
を添付図面に基づいて詳細に説明する。尚、以下に述べ
る実施の形態は、本発明の好適な形態であるから、技術
的に好ましい種々の限定が付されているが、本発明の範
囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記
載がない限り、これらの態様に限られるものではない。
を添付図面に基づいて詳細に説明する。尚、以下に述べ
る実施の形態は、本発明の好適な形態であるから、技術
的に好ましい種々の限定が付されているが、本発明の範
囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記
載がない限り、これらの態様に限られるものではない。
【００１８】本発明に係る実施の形態は、例えば、ＤＴ
ヘッド、すなわちオートトラッキング型の磁気ヘッド装
置及び圧電アクチュエータに関するものであり、この磁
気ヘッド装置等はテープ状の記録媒体に斜め方向に記録
された信号を読み出す際に、再生スピード（テープスピ
ード）の変化に対して生じる記録信号の列（トラック）
の方向と磁気ヘッド走行方向のずれを、磁気ヘッドを振
らせることによって吸収する構造を有している。
ヘッド、すなわちオートトラッキング型の磁気ヘッド装
置及び圧電アクチュエータに関するものであり、この磁
気ヘッド装置等はテープ状の記録媒体に斜め方向に記録
された信号を読み出す際に、再生スピード（テープスピ
ード）の変化に対して生じる記録信号の列（トラック）
の方向と磁気ヘッド走行方向のずれを、磁気ヘッドを振
らせることによって吸収する構造を有している。
【００１９】図１及び図２は、本発明の実施の形態に係
る磁気ヘッド装置の第１の実施の形態を示すものであ
る。図において、磁気ヘッド装置１１のヘッドチップ１
２は、側面がコ字状を呈するヘッドベース１３の先端部
下面に固定されている。このヘッドベース１３は、圧電
バイモルフ１４と弾性支持部材１５との二つの支持部材
によって支持されている。すなわち、導電体によって形
成された固定板１６の下面に当接させて保持した圧電バ
イモルフ１４と、固定板１６の上面と基板１７との間に
挟持した弾性支持部材１５とによって上記ヘッドベース
１３が支持されている。
る磁気ヘッド装置の第１の実施の形態を示すものであ
る。図において、磁気ヘッド装置１１のヘッドチップ１
２は、側面がコ字状を呈するヘッドベース１３の先端部
下面に固定されている。このヘッドベース１３は、圧電
バイモルフ１４と弾性支持部材１５との二つの支持部材
によって支持されている。すなわち、導電体によって形
成された固定板１６の下面に当接させて保持した圧電バ
イモルフ１４と、固定板１６の上面と基板１７との間に
挟持した弾性支持部材１５とによって上記ヘッドベース
１３が支持されている。
【００２０】基板１７は、上記ヘッドチップ１２や圧電
バイモルフ１４の電極層からの配線と、フレキシブル配
線基板との電気的接続をするための中継用基板として機
能するものであり、その先端側にはネジ孔１８が穿設さ
れている。また、固定板１６及び圧電バイモルフ１４の
基端部にもネジ孔１９，２０が穿設されている。すなわ
ち、基板１７、固定板１６及び圧電バイモルフ１４は、
これらネジ孔１８，１９及び溝２０に取付けネジ２１を
係合することにより、一体的に固定されている。
バイモルフ１４の電極層からの配線と、フレキシブル配
線基板との電気的接続をするための中継用基板として機
能するものであり、その先端側にはネジ孔１８が穿設さ
れている。また、固定板１６及び圧電バイモルフ１４の
基端部にもネジ孔１９，２０が穿設されている。すなわ
ち、基板１７、固定板１６及び圧電バイモルフ１４は、
これらネジ孔１８，１９及び溝２０に取付けネジ２１を
係合することにより、一体的に固定されている。
【００２１】圧電バイモルフ１４は、ジルコン酸チタン
酸鉛等のセラミックス粉末を焼結してなる二枚の圧電セ
ラミクスの間に、金属やカーボン等の導電体からなる中
間電極を挟むようにして、エポキシ系接着剤等で貼り合
わせたものであり、その両表面には、ニッケル、銀又は
金等によって表面電極が形成されている。この圧電バイ
モルフ１４は台形平板状を呈しており、その下辺側であ
る基端部は固定板１６によって保持され、その上辺側で
ある自由端はヘッドベース１３を保持している。
酸鉛等のセラミックス粉末を焼結してなる二枚の圧電セ
ラミクスの間に、金属やカーボン等の導電体からなる中
間電極を挟むようにして、エポキシ系接着剤等で貼り合
わせたものであり、その両表面には、ニッケル、銀又は
金等によって表面電極が形成されている。この圧電バイ
モルフ１４は台形平板状を呈しており、その下辺側であ
る基端部は固定板１６によって保持され、その上辺側で
ある自由端はヘッドベース１３を保持している。
【００２２】また、弾性支持部材１５は長方形の板状部
材であり、樹脂材中に炭素繊維を５０％以上含有させた
炭素繊維系材料によって形成されている。この弾性支持
部材１５の基端部は固定板１６によって保持され、その
自由端はヘッドベース１３を保持している。すなわち、
圧電バイモルフ１４及び弾性支持部材１５の基端部が固
定板１６を挟持して保持され、これらの自由端がヘッド
ベース１３を挟持して保持しているので、弾性支持部材
１５は圧電バイモルフ１４の動きに対して十分な応答性
を有している。なお、本実施の形態にあっては、弾性支
持部材１５を炭素繊維系材料によって形成したが、これ
に限るものではなく、弾性及び強度を有していれば、他
の材料により形成しても良い。すなわち、弾性支持部材
１５は、機能的には圧電バイモルフ１４の可動範囲内で
弾性変形し、負荷の除去とともに可逆的に初期の形状に
戻る材料で、かつ小型化（特に薄型化）が可能な材料が
望ましく、炭素繊維系材料の他に、一般の合金系バネ材
料、針状フィーラ含有のエンプラ材料等を使用すること
が可能である。
材であり、樹脂材中に炭素繊維を５０％以上含有させた
炭素繊維系材料によって形成されている。この弾性支持
部材１５の基端部は固定板１６によって保持され、その
自由端はヘッドベース１３を保持している。すなわち、
圧電バイモルフ１４及び弾性支持部材１５の基端部が固
定板１６を挟持して保持され、これらの自由端がヘッド
ベース１３を挟持して保持しているので、弾性支持部材
１５は圧電バイモルフ１４の動きに対して十分な応答性
を有している。なお、本実施の形態にあっては、弾性支
持部材１５を炭素繊維系材料によって形成したが、これ
に限るものではなく、弾性及び強度を有していれば、他
の材料により形成しても良い。すなわち、弾性支持部材
１５は、機能的には圧電バイモルフ１４の可動範囲内で
弾性変形し、負荷の除去とともに可逆的に初期の形状に
戻る材料で、かつ小型化（特に薄型化）が可能な材料が
望ましく、炭素繊維系材料の他に、一般の合金系バネ材
料、針状フィーラ含有のエンプラ材料等を使用すること
が可能である。
【００２３】圧電バイモルフ１４に駆動電圧を印加する
と、図３（ａ）に示す直状の静止状態から、図３（ｂ）
に示すように、圧電バイモルフ１４の一方の圧電セラミ
ックスに伸び（または縮み）が生じ、他方の圧電セラミ
ックスに縮み（または伸び）が生じて、圧電バイモルフ
１４が全体として湾曲変位する。
と、図３（ａ）に示す直状の静止状態から、図３（ｂ）
に示すように、圧電バイモルフ１４の一方の圧電セラミ
ックスに伸び（または縮み）が生じ、他方の圧電セラミ
ックスに縮み（または伸び）が生じて、圧電バイモルフ
１４が全体として湾曲変位する。
【００２４】ここで、通常圧電バイモルフ１４の変位は
印加電圧に対して比例しないため、圧電バイモルフの表
裏面に歪みゲージを直に貼り付けて、その変位量を検出
し、その検出値に基づいて印加電圧を制御する方式をと
っている。しかし、本実施の形態では、従来圧電バイモ
ルフの表裏面に貼り付けていた歪みゲージ２２，２３を
図１に示すように、上記弾性支持部材１５の表裏面に貼
り付けている。すなわち、弾性支持部材１５の表裏面に
は、その変位量を検出するための歪みゲージ２２，２３
が貼り付けられており、各ゲージ端子２２ａ，２３ａは
その上方に位置する基板１７上に外側から内側へ引き回
されて、基板１７のランド上に半田等により接続されて
いる。
印加電圧に対して比例しないため、圧電バイモルフの表
裏面に歪みゲージを直に貼り付けて、その変位量を検出
し、その検出値に基づいて印加電圧を制御する方式をと
っている。しかし、本実施の形態では、従来圧電バイモ
ルフの表裏面に貼り付けていた歪みゲージ２２，２３を
図１に示すように、上記弾性支持部材１５の表裏面に貼
り付けている。すなわち、弾性支持部材１５の表裏面に
は、その変位量を検出するための歪みゲージ２２，２３
が貼り付けられており、各ゲージ端子２２ａ，２３ａは
その上方に位置する基板１７上に外側から内側へ引き回
されて、基板１７のランド上に半田等により接続されて
いる。
【００２５】ところで、上述のように圧電バイモルフ１
４が湾曲変位すると、弾性支持部材１５は、ヘッドベー
ス１３を介して圧電バイモルフ１４に接続されているの
で、圧電バイモルフ１４の動きに追従して湾曲すること
になる。その結果、ヘッドチップ１２は、２つの支持部
材（圧電バイモルフ１４及び弾性支持部材１５）が図３
（ｃ）に示す静止状態から、図３（ｄ）に示す駆動状態
へと移行することにより、トラッキング動作することに
なる。このように本発明は、一つの圧電バイモルフ１４
を湾曲変位させるだけで、その動きに追従して弾性支持
部材１５が同じ変位をする平行バネ構造を採用して、ヘ
ッドチップ１２をトラッキング操作している。
４が湾曲変位すると、弾性支持部材１５は、ヘッドベー
ス１３を介して圧電バイモルフ１４に接続されているの
で、圧電バイモルフ１４の動きに追従して湾曲すること
になる。その結果、ヘッドチップ１２は、２つの支持部
材（圧電バイモルフ１４及び弾性支持部材１５）が図３
（ｃ）に示す静止状態から、図３（ｄ）に示す駆動状態
へと移行することにより、トラッキング動作することに
なる。このように本発明は、一つの圧電バイモルフ１４
を湾曲変位させるだけで、その動きに追従して弾性支持
部材１５が同じ変位をする平行バネ構造を採用して、ヘ
ッドチップ１２をトラッキング操作している。
【００２６】弾性支持部材１５の表裏面に貼り付けた歪
みゲージ２２，２３の抵抗値は、弾性支持部材１５の伸
び側が静止時に対して増加し、その縮み側が静止時に対
して減少する。したがって、弾性支持部材１５の表裏面
に貼り付けた歪みゲージ２２，２３の抵抗値の差を検出
することにより、圧電バイモルフ４の表裏面に歪みゲー
ジを貼り付けたと同様に、圧電バイモルフ４の変位量を
観測することができるものである。
みゲージ２２，２３の抵抗値は、弾性支持部材１５の伸
び側が静止時に対して増加し、その縮み側が静止時に対
して減少する。したがって、弾性支持部材１５の表裏面
に貼り付けた歪みゲージ２２，２３の抵抗値の差を検出
することにより、圧電バイモルフ４の表裏面に歪みゲー
ジを貼り付けたと同様に、圧電バイモルフ４の変位量を
観測することができるものである。
【００２７】これら歪みゲージ２２，２３の接着は、以
下の工程で行う。まず、弾性支持部材１５表裏面、また
は歪みゲージ２２，２３の接着面に接着剤（図示せず）
を塗布する。そして、この接着剤上に歪みゲージ２２，
２３を仮固定（０．３５ＭＰａ×８秒）する。次に、仮
固定した歪みゲージ２２，２３をマスキングテープ（図
示せず）で覆った後、治具等にセットして歪みゲージ２
２，２３を加圧（０．４ＭＰａ）した上で、恒温槽で所
定時間加熱（摂氏８０度で２時間）し接着剤を硬化させ
て、歪みゲージ２２，２３の貼り付けを完了する。マス
キングテープを用いるのは、接着剤の加熱加圧硬化時
に、歪みゲージ２２，２３の接着面から接着剤が加圧に
よりはみ出してくるからである。そして、歪みゲージ２
２，２３の接着固定の完了後に、マスキングテープを剥
離する。
下の工程で行う。まず、弾性支持部材１５表裏面、また
は歪みゲージ２２，２３の接着面に接着剤（図示せず）
を塗布する。そして、この接着剤上に歪みゲージ２２，
２３を仮固定（０．３５ＭＰａ×８秒）する。次に、仮
固定した歪みゲージ２２，２３をマスキングテープ（図
示せず）で覆った後、治具等にセットして歪みゲージ２
２，２３を加圧（０．４ＭＰａ）した上で、恒温槽で所
定時間加熱（摂氏８０度で２時間）し接着剤を硬化させ
て、歪みゲージ２２，２３の貼り付けを完了する。マス
キングテープを用いるのは、接着剤の加熱加圧硬化時
に、歪みゲージ２２，２３の接着面から接着剤が加圧に
よりはみ出してくるからである。そして、歪みゲージ２
２，２３の接着固定の完了後に、マスキングテープを剥
離する。
【００２８】図６は、本発明の実施の形態のように弾性
支持部材１５に歪みゲージ２２，２３を接着する場合の
圧電バイモルフ１４に発生するクラック不良を調べ、そ
の結果を従来の圧電バイモルフに歪みゲージを接着する
場合と比較したものである。
支持部材１５に歪みゲージ２２，２３を接着する場合の
圧電バイモルフ１４に発生するクラック不良を調べ、そ
の結果を従来の圧電バイモルフに歪みゲージを接着する
場合と比較したものである。
【００２９】図６に示すように、従来のように圧電バイ
モルフに直に歪みゲージを貼り付ける場合（，）の
不良率が１０％代であったのに対し、本発明によれば、
不良率は１％代にまでなり、圧電バイモルフ１４のクラ
ック不良を極めて低減することができる。すなわち、歪
みゲージの接着工程において圧電バイモルフ１４に微小
クラックが生じることはなく、磁気ヘッド装置１１のオ
ートトラッキング動作を保持したままで、圧電バイモル
フ１４に発生する微小クラックを低減することができる
ものである。
モルフに直に歪みゲージを貼り付ける場合（，）の
不良率が１０％代であったのに対し、本発明によれば、
不良率は１％代にまでなり、圧電バイモルフ１４のクラ
ック不良を極めて低減することができる。すなわち、歪
みゲージの接着工程において圧電バイモルフ１４に微小
クラックが生じることはなく、磁気ヘッド装置１１のオ
ートトラッキング動作を保持したままで、圧電バイモル
フ１４に発生する微小クラックを低減することができる
ものである。
【００３０】このような磁気ヘッド装置１１では、圧電
バイモルフ１４の中間電極、及び表面電極に接続された
バイモルフ駆動回路と、上記歪みゲージ２２，２３に接
続された湾曲変位量検出回路部とが、ビデオテープレコ
ーダの固定回転部等に電気的に接続されている。また、
上記ヘッドチップ１２に接続された録画・再生信号増幅
用のヘッドアンプ回路が、ロータリトランスを介して固
定回路部等に電気的に接続されている。
バイモルフ１４の中間電極、及び表面電極に接続された
バイモルフ駆動回路と、上記歪みゲージ２２，２３に接
続された湾曲変位量検出回路部とが、ビデオテープレコ
ーダの固定回転部等に電気的に接続されている。また、
上記ヘッドチップ１２に接続された録画・再生信号増幅
用のヘッドアンプ回路が、ロータリトランスを介して固
定回路部等に電気的に接続されている。
【００３１】第１の実施の形態では、弾性支持部材１５
の表裏面に配する歪みゲージ２２，２３の各ゲージ端子
２２ａ，２３ａを、その上方に位置する基板１７上に、
上方へ向けて外側から内側へ引き回して接続している。
したがって、歪みゲージ２２，２３の取付け位置を変更
したにもかかわらず、各ゲージ端子２２ａ，２３ａの接
続構造を従来と変更していないので、既設の実装装置を
そのまま採用することができるものである。
の表裏面に配する歪みゲージ２２，２３の各ゲージ端子
２２ａ，２３ａを、その上方に位置する基板１７上に、
上方へ向けて外側から内側へ引き回して接続している。
したがって、歪みゲージ２２，２３の取付け位置を変更
したにもかかわらず、各ゲージ端子２２ａ，２３ａの接
続構造を従来と変更していないので、既設の実装装置を
そのまま採用することができるものである。
【００３２】これに対し、図４に示す第２の実施の形態
の磁気ヘッド装置３１は、弾性支持部材１５の表裏面に
配する歪みゲージ３２，３３の各ゲージ端子３２ａ，３
３ａを、弾性支持部材１５の基端部側からその上に位置
する基板１７上に重合するように延出し、そのランド上
に表面実装している。すなわち、歪みゲージ３２，３３
はＬ字状に形成されており、弾性支持部材１５の基端部
の上下面から幅方向外方に歪みゲージ３２，３３の各ゲ
ージ端子３２ａ，３３ａが延出され、基板１７のランド
上に表面実装されている。
の磁気ヘッド装置３１は、弾性支持部材１５の表裏面に
配する歪みゲージ３２，３３の各ゲージ端子３２ａ，３
３ａを、弾性支持部材１５の基端部側からその上に位置
する基板１７上に重合するように延出し、そのランド上
に表面実装している。すなわち、歪みゲージ３２，３３
はＬ字状に形成されており、弾性支持部材１５の基端部
の上下面から幅方向外方に歪みゲージ３２，３３の各ゲ
ージ端子３２ａ，３３ａが延出され、基板１７のランド
上に表面実装されている。
【００３３】第２の実施の形態は、第１の実施の形態と
基本的には同様の作用効果を奏するが、特に歪みゲージ
３２，３３の端子３２ａ，３３の実装が容易であるの
で、作業効率を向上させることができるものである。
基本的には同様の作用効果を奏するが、特に歪みゲージ
３２，３３の端子３２ａ，３３の実装が容易であるの
で、作業効率を向上させることができるものである。
【００３４】また、図５は、第３の実施の形態の磁気ヘ
ッド装置を示すものである。図５において、第３の実施
の形態の磁気ヘッド装置４１は、弾性支持部材１５の表
裏面に配する歪みゲージ４２，４３を櫛歯状に端子側で
一体成形している。そして、一体化した歪みゲージ４
２，４３の各ゲージ端子４２ａ，４３ａを弾性支持部材
１５の基端部上に位置する基板１７のランド上に表面実
装している。さらに、一体化した歪みゲージ４２，４３
の裏面部分４３を下方へ折り曲げるようにして、弾性支
持部材１５の裏面に配している。
ッド装置を示すものである。図５において、第３の実施
の形態の磁気ヘッド装置４１は、弾性支持部材１５の表
裏面に配する歪みゲージ４２，４３を櫛歯状に端子側で
一体成形している。そして、一体化した歪みゲージ４
２，４３の各ゲージ端子４２ａ，４３ａを弾性支持部材
１５の基端部上に位置する基板１７のランド上に表面実
装している。さらに、一体化した歪みゲージ４２，４３
の裏面部分４３を下方へ折り曲げるようにして、弾性支
持部材１５の裏面に配している。
【００３５】第３の実施の形態は、第１及び第３実施形
態と基本的には同様の作用効果を奏するが、特に歪みゲ
ージ４２，４３を一体化させることにより部品点数を減
少させており、かつ基板１７の接続ランド位置が一箇所
になり実装が容易であるので、作業効率を極めて向上さ
せることができ、さらにコストの低減化も達成すること
ができるものである。
態と基本的には同様の作用効果を奏するが、特に歪みゲ
ージ４２，４３を一体化させることにより部品点数を減
少させており、かつ基板１７の接続ランド位置が一箇所
になり実装が容易であるので、作業効率を極めて向上さ
せることができ、さらにコストの低減化も達成すること
ができるものである。
【００３６】以上述べたように、本発明の実施の形態に
係る磁気ヘッド装置２１，３１，４１によれば、従来の
オートトラッキング動作機能を保持したままで、圧電バ
イモルフ１４に発生する微小クラックを低減することが
でき、不良率を十数％から１％代まで改善することがで
きる。また、歪みゲージ４２，４３自体の構造や各ゲー
ジ端子４２ａ，４３ａの接続構造を工夫することによ
り、作業効率を向上させることができる。
係る磁気ヘッド装置２１，３１，４１によれば、従来の
オートトラッキング動作機能を保持したままで、圧電バ
イモルフ１４に発生する微小クラックを低減することが
でき、不良率を十数％から１％代まで改善することがで
きる。また、歪みゲージ４２，４３自体の構造や各ゲー
ジ端子４２ａ，４３ａの接続構造を工夫することによ
り、作業効率を向上させることができる。
【００３７】
【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、圧
電バイモルフのオートトラッキング動作を保持したまま
で、圧電バイモルフに発生する微小クラックを低減する
ことができ、かつ作業効率を向上させることができる磁
気ヘッド装置及び圧電アクチュエータを提供することが
できる。
電バイモルフのオートトラッキング動作を保持したまま
で、圧電バイモルフに発生する微小クラックを低減する
ことができ、かつ作業効率を向上させることができる磁
気ヘッド装置及び圧電アクチュエータを提供することが
できる。
【図１】第１実施形態の磁気ヘッド装置の概略を示す分
解斜視図である。
解斜視図である。
【図２】第１実施形態の磁気ヘッド装置の概略を示す斜
視図である。
視図である。
【図３】第１実施形態の磁気ヘッド装置の動作を説明す
るための図であり、（ａ）は圧電バイモルフの静止状態
を示す概略図、（ｂ）は圧電バイモルフの駆動状態を示
す概略図、（ｃ）は圧電バイモルフ及び弾性支持部材の
静止状態を示す概略図、（ｄ）は弾性支持部材の追従状
態を示す概略図である。
るための図であり、（ａ）は圧電バイモルフの静止状態
を示す概略図、（ｂ）は圧電バイモルフの駆動状態を示
す概略図、（ｃ）は圧電バイモルフ及び弾性支持部材の
静止状態を示す概略図、（ｄ）は弾性支持部材の追従状
態を示す概略図である。
【図４】第２実施形態の磁気ヘッド装置の概略を示す斜
視図である。
視図である。
【図５】第３実施形態の磁気ヘッド装置の概略を示す斜
視図である。
視図である。
【図６】本発明の実施の形態に係るクラック不良を従来
と比較した図。
と比較した図。
【図７】従来の磁気ヘッド装置の概略を示す分解斜視図
である。
である。
【図８】従来の磁気ヘッド装置の概略を示す斜視図であ
る。
る。
１１ 磁気ヘッド装置 １２ ヘッドチップ １３ ヘッドベース １４ 圧電バイモルフ １５ 弾性支持部材 １６ 固定板 １７ 基板 １８，１９，２０ ネジ孔 ２１ 取付けネジ ２２，２３ 歪みゲージ ２２ａ，２３ａ ゲージ端子 ３１ 磁気ヘッド装置 ３２，３３ 歪みゲージ ３２ａ，３３ａ ゲージ端子 ４１ 磁気ヘッド装置 ４２，４３ 歪みゲージ ４２ａ，４３ａ ゲージ端子
Claims (5)
- 【請求項１】 駆動電圧により変位する圧電バイモルフ
と弾性支持部材とを平行に位置させ、これらの基端部を
固定部に支持すると共にこれらの自由端にヘッドベース
を支持して、圧電バイモルフの変位に追従させて弾性支
持部材を変位させることにより、上記ヘッドベースに保
持したヘッドチップをトラッキングさせる磁気ヘッド装
置において、 上記弾性支持部材に、上記圧電バイモルフの変位量を検
出するための歪みゲージを配したことを特徴とする磁気
ヘッド装置。 - 【請求項２】 上記弾性支持部材の基端部上に基板が位
置され、上記歪みゲージの各ゲージ端子が引き回され
て、上記基板上に接続されていることを特徴とする請求
項１に記載の磁気ヘッド装置。 - 【請求項３】 上記弾性支持部材の基端部上に基板が位
置され、上記歪みゲージの各ゲージ端子が、この弾性支
持部材の基端部側から上記基板上に重合するように延出
され、そのランド上に表面実装されていることを特徴と
する請求項１に記載の磁気ヘッド装置。 - 【請求項４】 上記弾性支持部材の表裏面に配する歪み
ゲージが端子側で一体化され、各ゲージ端子が弾性支持
部材の基端部上に位置する基板上に接続されると共に、
この歪みゲージの裏面部分が折り曲げられて弾性支持部
材の裏面に配されることを特徴とする請求項１に記載の
磁気ヘッド装置。 - 【請求項５】 駆動電圧により変位する圧電バイモルフ
と弾性支持部材とを平行に位置させ、これらの基端部を
固定部に支持すると共に、この圧電バイモルフの変位に
追従させて弾性支持部材を変位させる圧電アクチュエー
タにおいて、 上記弾性支持部材に、上記圧電バイモルフの変位量を検
出するための歪みゲージを配したことを特徴とする圧電
アクチュエータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7329562A JPH09147335A (ja) | 1995-11-24 | 1995-11-24 | 圧電アクチュエータ及びこれを利用した磁気ヘッド装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7329562A JPH09147335A (ja) | 1995-11-24 | 1995-11-24 | 圧電アクチュエータ及びこれを利用した磁気ヘッド装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09147335A true JPH09147335A (ja) | 1997-06-06 |
Family
ID=18222750
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7329562A Pending JPH09147335A (ja) | 1995-11-24 | 1995-11-24 | 圧電アクチュエータ及びこれを利用した磁気ヘッド装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09147335A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100585645B1 (ko) * | 1999-12-01 | 2006-06-07 | 엘지전자 주식회사 | 디스크 드라이브용 액츄에이터 |
| CN100341049C (zh) * | 2000-10-31 | 2007-10-03 | Tdk株式会社 | 精确定位致动器的制造方法 |
-
1995
- 1995-11-24 JP JP7329562A patent/JPH09147335A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100585645B1 (ko) * | 1999-12-01 | 2006-06-07 | 엘지전자 주식회사 | 디스크 드라이브용 액츄에이터 |
| CN100341049C (zh) * | 2000-10-31 | 2007-10-03 | Tdk株式会社 | 精确定位致动器的制造方法 |
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