JPH07272236A - 電気−機械変換装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 長期耐久性の優れた電気−機械変換装置を提
供する。 【構成】 中間電極７を挟み込むように、互いの面内の
伸縮方向を一致させるように貼り合わせられ、各々の両
面への駆動電圧により、伸縮方向に対し、互いに逆向き
に伸び又は縮む二枚の圧電板６、８と、前記貼り合わせ
られた二枚の圧電板６、８の前記伸縮方向の一端におい
て片持支持される基端部１０ｂから、他の一端である自
由端までの両表面に形成される表面電極５、９と、前記
基端部１０ｂが片持支持された状態で、前記貼り合わせ
られた二枚の圧電板６、８の両表面の鉛直方向に対し、
該貼り合わせられた二枚の圧電板を湾曲変位可能に、前
記貼り合わせられた二枚の圧電板６、８の両表面に形成
される各表面電極５、９の自由端と基端部１０ｂとを導
通させるフレキシブル導電板１ａ、１ｂとを備える。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、たとえばビデオディス
クプレーヤのピックアップ装置におけるトラッキング制
御機構等に用いて好適な電気−機械変換装置装置に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】電気−機械変換装置で圧電板を用いるも
のでは、バイモルフ板やモノモルフ板等が知られてい
る。このバイモルフ板等が用いられた、ビデオディスク
プレーヤのピックアップ装置におけるトラッキング制御
機構や、テープレコーダのバイモルフヘッド装置では、
再生用の電気信号検出素子（たとえば磁気ヘッドや光電
変換装置等）を前記バイモルフ板等の先端部に取付、該
バイモルフ板等の基端部を固定支持する構成がとられて
いる。

【０００３】このバイモルフ板等に、このバイモルフ板
等を湾曲変位させるための駆動電圧を供給することによ
り、該バイモルフ板等は所定方向に湾曲変位し、自由端
である先端部が変位するため、前記電気信号検出素子が
同方向に変位し、たとえば記録トラック上に正確に変位
させるような自動トラッキング動作を行い得る。

【０００４】たとえば図５は、ビデオディスクプレーヤ
の回転ドラム１１を取り出して示す概略平面図であり、
電気−機械変換装置であるバイモルフ板１０の先端部に
は、ビデオヘッド１２が取付られ、バイモルフ板１０の
基端部は導電ホルダ１４により回転ドラム１１上に支持
固定されている。このバイモルフ板１０のほぼ中央部に
はストレンゲージ１５が貼着されている。このストレイ
ンゲージ１５は、バイモルフ板１０の湾曲変位量に応じ
て電気的特性（たとえば抵抗値等）が変化するものであ
る。

【０００５】このバイモルフ板１０は、図６、図７に示
すように、二枚の圧電板６、８を用いた電気−機械変換
装置であり、この二枚の圧電板６、８は、中間電極７を
挟み込むようにして貼り合わせられ、その貼り合わされ
た両表面に表面電極５、９が形成されて構成される。

【０００６】このバイモルフ板１０の表面電極５、９の
固定端である基端部１０ｂは、導電ホルダ１４の上端固
定部１４ａと下端固定部１４ｂとにより挟持される。こ
の表面電極５、９を挟持する上端固定部１４ａと下端固
定端１４ｂとは、導電材料で形成され、表面電極５、９
とは導通される。この導電ホルダ１４は、下端固定部１
４ｂと回転ドラム１１との間に絶縁板を挟んで、回転ド
ラム１１上に支持固定される。また、バイモルフ板１０
の自由端には、ビデオヘッドホルダ１２ｈにより支持さ
れてビデオヘッド１２が設けられる。

【０００７】このバイモルフ板１０の中間電極７、及び
表面電極５、９に導電ホルダ１４の上端固定部１４ａと
下端固定部１４ｂとを介し接続されたバイモルフ駆動回
路１６と、前記ストレインゲージ１５に接続された湾曲
変位量検出回路部１７と、ビデオヘッド１２に接続され
た録画・再生信号増幅用のヘッドアンプ回路１８とがプ
リント基板１９上にマウントされており、このプリント
基板１９は回転ドラム１１上に取付られて固定されてい
る。ここで、バイモルフ駆動回路部１６及び変位量検出
回路部１７はビデオディスクプレーヤの固定回転部等に
電気的に接続されており、またヘッドアンプ回路部１８
は、回転トランス（ロータリトランス）を介して固定回
路部等に電気的に接続されている。

【０００８】また、ビデオテープ２０は、前記回転ドラ
ム１１の周囲に斜めに（らせん状に）巻き付けられて案
内されており、回転ドラム１１からわずかに突出するビ
デオヘッド１２がこのビデオテープ２０と接触しながら
移動することにより、ビデオ信号の記録再生が行われ
る。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】ところで、バイモルフ
板１０は、基端部１０ｂが片持支持され、表面電極５、
９及び中間電極７への駆動電圧の印加により湾曲変位さ
れ、自由端をバイモルフ板１０の表面の鉛直方向に変位
させてビデオヘッド１２を調動させる。このように、バ
イモルフ板１０の自由端を変位させるには、基端部１０
ｂを片持支持する必要がある。また、この固定端に駆動
電圧を印加することでバイモルフ板１０の湾曲変位を行
う。

【００１０】このため、バイモルフ板１０は、固定端で
ある基端部１０ｂにおいて、導電ホルダ１４の上端固定
部１４ａと下端固定部１４ｂとにより挟持され、かつこ
の導電ホルダ１４を介し表面電極５、９及び中間電極７
に駆動電圧が印加される。

【００１１】この導電ホルダ１４により挟持されて固定
され、かつ駆動電圧が印加される基端部１０ｂを有する
バイモルフ板１０は、ビデオディスクプレーヤのスチ
ル、スロー、リバース、倍速等のビデオ信号の記録再生
速度や、ビデオテープ２０の走行方向が異なる複数のモ
ードの切替操作の際、自由端に設けられたビデオヘッド
１２が、ビデオテープ２０のビデオトラックに追従する
ように、湾曲変位させられる。

【００１２】このように、バイモルフ板１０は、ビデオ
ディスクプレーヤのモードの切替操作の際、自由端に設
けられたビデオヘッド１２がビデオトラックからはずれ
ることなく、ビデオトラックを追従するように湾曲変位
させられる。このため、バイモルフ板１０の湾曲変位量
は大きくなる。

【００１３】バイモルフ板１０が湾曲変位量の大きい湾
曲駆動を繰り返し行った場合、圧電板６、８には、圧電
板６、８と表面電極５、９との表面粗さ、又は弾性率の
違い等により、内部応力を集中させ易くなる。また、表
面電極５、９の繰り返し湾曲により表面電極５、９に金
属疲労等を生じる。このため、図８に示すようにバイモ
ルフ板１０の表面電極５、９の中央部周辺において、基
端部１０ｂに平行する方向にひび割れ２１を生じさせる
など、長期耐久性を劣化させるという問題点があった。

【００１４】このひび割れ２１は、バイモルフ板１０の
表面電極５、９のうち、最も内部応力や金属疲労を生じ
易い部分から発生する。バイモルフ板１０は、このひび
割れ２１が発生し、表面電極５、９の基端部１０ｂ側と
自由端側とが分断されるまでの間は、ひび割れ２１を拡
大させながら湾曲変位される。そして、このひび割れ２
１が拡大して、表面電極５の基端部１０ｂ側と自由端側
とが分断された際は以下のようになる。

【００１５】バイモルフ１０は、バイモルフ板１０の表
面に対する鉛直方向の（＋）Ａ方向への湾曲変位の際、
ひび割れ２１を接続させるように湾曲変位される。この
ひび割れ２１の接続により、駆動電圧が表面電極５の自
由端まで導通され、基端部１０ｂから自由端側まで駆動
電圧が印加されて湾曲変位を可能とする。一方、（−）
Ａ方向の湾曲変位の際、ひび割れ２１において、表面電
極５の基端部１０ｂ側と自由端側とを分断させるよう
に、湾曲変位される。この分断により、自由端側への駆
動電圧の印加を不可能とし、表面電極５は、ひび割れ２
１を生じた部分から自由端までの湾曲変位が不可能とな
る。

【００１６】このように、バイモルフ板１０は、表面電
極５、９の基端部１０ｂに平行する方向にひび割れ２１
を生じた場合には、この表面電極５、９のひび割れ２１
を生じた部分から自由端までの駆動電圧の印加を不可能
とし、ひび割れ２１を生じた部分から自由端までの湾曲
変位が行えないという問題点があった。

【００１７】本発明はこのような問題に鑑み、長期耐久
性の優れた電気−機械変換装置を提供することを目的と
する。

【００１８】

【課題を解決するための手段】本発明に係る電気−機械
変換装置は、中間電極を挟み込むように、互いの面内の
伸縮方向を一致させるように貼り合わせられ、各々の両
面への駆動電圧の印加により、前記伸縮方向に対し、互
いに逆向きに伸び又は縮む二枚の圧電板を有する。この
貼り合わせられた二枚の圧電板の前記伸縮方向の一端に
おいて片持支持される基端部から、他の一端である自由
端までの両表面に表面電極が形成される。前記基端部が
片持支持された状態で、前記貼り合わせられた二枚の圧
電板の両表面の鉛直方向に対し、該貼り合わせられた二
枚の圧電板を湾曲変位可能に、前記貼り合わせられた二
枚の圧電板の両表面に形成される各表面電極の自由端と
基端部とを導通させる導電部材とを備える構成とした。

【００１９】また、導電部材は、前記貼り合わせられた
二枚の圧電板の両表面に形成される各表面電極の基端部
から自由端までの複数箇所において導通させる構成とし
た。

【００２０】また、導電部材は、前記貼り合わせられた
二枚の圧電板の両表面に形成させる各表面電極の自由端
から固定端まで連続して導通させる構成とした。

【００２１】

【作用】本発明における電気−機械変換装置において
は、貼り合わせられた二枚の圧電板の両表面に形成され
る各表面電極の基端部と自由端とを導電部材により導通
させる。このため、前記表面電極が内部応力、金属疲労
等によりひび割れを生じ、該表面電極の基端部側と自由
端側とが分断されても、基端部に印加される駆動電圧
は、前記導電部材を介して自由端側に印加される。

【００２２】また、導電部材は前記各表面電極の基端部
から自由端までの複数箇所において導通させるため、表
面電極上の複数箇所にひび割れが生じ、表面電極の基端
部と自由端との間で表面電極が複数に分断されても、基
端部に印加される駆動電圧は、前記導電部材を介して、
表面電極の基端部から自由端まで印加される。

【００２３】また、導電部材を前記各表面電極の基端部
から自由端まで連続して導通させるため、表面電極の基
端部と自由端との間の位置に関係無く、また複数箇所で
ひび割れにより表面電極が分断されても、基端部に印加
される駆動電圧は、前記導電部材を介して、表面電極の
基端部から自由端まで印加される。

【００２４】

【実施例】以下、本発明の具体的な実施例について図１
を参照して説明する。ここで、上述した従来例と同一部
材には、同一部材符号を付しその構成の説明を省略す
る。図１にビデオディスクプレーヤ用の磁気ヘッド装置
（バイモルフヘッド装置）に用いられるバイモルフ板１
０が示されている。このバイモルフ板１０は、中間電極
７を挟み込むようにしてエポキシ系接着剤等で貼り合わ
せられ二枚の圧電板６、８を用いた電気−機械変換装置
である。この貼り合わせられた圧電板６、８には、固定
端から自由端まで電極材料による表面電極５、９が形成
される。

【００２５】このバイモルフ板１０の固定端である基端
部１０ｂは、導電ホルダ１４の上端固定部１４ａと下端
固定部１４ｂとにより挟持される。この上端固定部１４
ａと下端固定端１４ｂとは、それぞれ表面電極５、９に
導通されるように導電材料で形成される。この導電材料
で形成された上端固定部１４ａと下端固定部１４ｂと
は、フレキシブル導電板１ａ、１ｂを介して表面電極
５、９の自由端に導通される。また、この導電ホルダ１
４の下端固定部１４ｂと回転ドラム１１との間には、絶
縁板を挟み、回転ドラム１１上に導電ホルダ１４が絶縁
されて支持固定される。

【００２６】前記フレキシブル導電板１ａ、１ｂは、バ
イモルフ板１０の湾曲変位に影響を与えない程度に軽
く、柔軟性に富み、かつ表面電極５、９の自由端側に、
接触抵抗を低く抑えられながら接続される。

【００２７】前記表面電極５、９の電極材料は、圧電板
６、８と熱膨張係数が一致又は近く、導電性及び耐酸化
性が良好で、半田付けが容易なものが好ましく、例えば
Ｎｉ、Ａｇ、Ｐｂ、Ｍｏ、Ｓｎ等、又はこれらの合金材
料が一般に用いられている。前記表面電極５、９は、圧
電板６、８の両表面上に、前記電極材料による導電ペー
ストを塗布して乾燥させたり、導電金属粉末入りガラス
フリットを塗布して焼き付けたり、あるいは金属溶射、
真空蒸着、スパッタリング、無電解メッキ等を行うこと
により、導電金属層による電極として被着形成される。

【００２８】前記圧電板６、８は、互いの面内の伸縮方
向を一致させて、中間電極７を挟み込むように貼り合わ
せられ、各々の両面への駆動電圧の印加により、前記伸
縮方向に対し、互いに逆向きに伸び又は縮むように形成
される。

【００２９】この圧電板６、８の伸縮方向は、圧電板
６、８の表面電極５、９に印加される駆動電圧による電
界の電界方向に対する、圧電板６、８を形成する材料の
分極方向に依存する。このような圧電板６、８の材料と
しては、たとえばチタン酸バリウムＢａＴｉＯ₃、ジル
コンチタン酸鉛Ｐｂ（Ｚｒ−Ｔｉ）Ｏ₃（商品名ＰＺ
Ｔ）等が知られている。この材料による圧電セラミック
板や、ポリフッ化ビニルデン（ＰＶＤＦ）等の高分子圧
電素子の板、フイルムシート、その他の圧電板を圧電板
６、８として用いることができる。

【００３０】前記中間電極７は、軽く、膨張係数の小さ
い材料が適し、例えば、チタン合金、ステンレス等の金
属板が用いられる。

【００３１】以上のように構成されたバイモルフ板１０
の自由端側の先端部に、ビデオ信号を記録再生するビデ
オヘッド１２が取付られ、また基端部１０ｂは導電ホル
ダ１４の上端固定部１４ａと下端固定部１４ｂとにより
挟持され、この下端固定部１４ｂにより回転ドラム１１
上に片持状態で支持固定される。さらに、バイモルフ板
１０のほぼ中央部に位置し、フレキシブル導電板１ａと
重ならないように、ストレインゲージ１５が貼着固定さ
れる。

【００３２】また、バイモルフ板１０の表面電極５、９
及び中間電極７は、駆動電圧を印加するバイモルフ駆動
回路１６に接続され、この駆動電圧によりバイモルフ板
１０の湾曲変位が可能となる。ここで、バイモルフ板１
０とバイモルフ駆動回路１６との接続は、中間電極７に
おいてバイモルフ板１０の基端部１０ｂからリード線を
介し接続される。また、表面電極５、９においては、導
電材料で形成され、各表面電極５、９に導通して挟持す
る導電ホルダ１４の上端固定部１４ａと下端固定部１４
ｂとからリード線を介して接続される。また、この上端
固定部１４ａと下端固定部１４ｂとからは、各表面電極
５、９の自由端にフレキシブル導電板１ａ、１ｂが導通
接続される。

【００３３】ここで、バイモルフ板１０の自由端に設け
られたビデオヘッド１２の調動は、以下の動作により行
なわれる。初めに、湾曲変位量検出回路部１７に接続さ
れたストレインゲージ１５の検出結果より、録画・再生
信号増幅用のヘッドアンプ回路１８等に接続されたビデ
オヘッド１２の変位量を検出する。次に、このビデオヘ
ッド１２の変位量をモニタしながら、表面電極５、９及
び中間電極７に接続されたバイモルフ駆動回路１６から
出力される駆動電圧を制御する。この駆動電圧の制御に
よりバイモルフ板１０の湾曲変位量が制御され、バイモ
ルフ板１０の表面の鉛直方向に、ビデオヘッド１２が調
動される。

【００３４】このようにして、バイモルフ板１０は、基
端部１０ｂを挟持する導電ホルダ１４の上端固定部１４
ａと下端固定部１４ｂ及び中間電極７へ印加される駆動
電圧の制御により、圧電板６、８が湾曲変位される変位
量が制御され、自由端に設けられたビデオヘッド１２を
調動させる。

【００３５】本実施例に係るバイモルフ板１０の駆動電
圧が供給される導電ホルダ１４は、バイモルフ板１０の
基端部１０ｂと面接触させて導通させるだけでなく、フ
レキシブル導電板１ａ、１ｂを介し表面電極５、９の自
由端側と導通されている。このため、表面電極５、９の
基端部１０ｂ側と自由端側とを分断させるひび割れ２１
が生じた際にも、フレキシブル導電板１ａ、１ｂを介し
て自由端側に駆動電圧を印加され、バイモルフ板１０の
基端部から自由端まで湾曲変位を行わせることが可能で
ある。

【００３６】次に、本発明の第２の実施例について、図
２を参照して説明する。この第２の実施例において、第
１の実施例と同一部材は、その構成の説明を省略する。
本実施例のバイモルフ板１０は、中間電極７を挟み込む
ように貼り合わせられた二枚の圧電板６、８を用いた電
気−機械変換装置である。前記貼り合わせられた二枚の
圧電板６、８の両表面には、基端部１０ｂから自由端ま
で電極材料による表面電極５、９が形成され、基端部１
０ｂから前記自由端までの複数箇所において導通させる
導電部材を設けるものである。

【００３７】図２に示すバイモルフ板１０は、表面電極
５、９の基端部１０ｂと導電ホルダ１４の上端固定部１
４ａ、下端固定部１４ｂとが導通され、この表面電極
５、９の基端部１０ｂから自由端まで、導電材料ワイヤ
による導電ワイヤ２ａ、２ｂが複数箇所にて接続され
る。

【００３８】前記導電ワイヤ２ａ、２ｂは、バイモルフ
板１０の湾曲変位に影響を与えない程度に軽く、柔軟性
に富み、Ａｌ、Ａｕ等の材料、又はカーボン材料によ
り、表面電極５、９の基端部１０ｂから自由端までの複
数点でワイヤボンデング、又はカーボンファイバの接着
によって導通接続するように形成される。

【００３９】このため、表面電極５、９上の複数箇所に
ひび割れを生じても、貼り合わせられた二枚の圧電板
６、８上に形成された表面電極５、９に導電ワイヤ２
ａ、２ｂを介して、駆動電圧が印加可能である。このた
め、貼り合わせられた二枚の圧電板６、８を基端部１０
ｂから自由端まで湾曲変位させることが可能である。

【００４０】次に、本発明の第３の実施例について、図
３、図４を参照して説明する。この第３の実施例におい
て、第２の実施例と同一部材は、その構成の説明を省略
する。本実施例のバイモルフ板１０は、中間電極７を挟
み込むように貼り合わせられた二枚の圧電板６、８を用
いた電気−機械変換装置である。前記貼り合わせられた
二枚の圧電板６、８の両表面には、基端部１０ｂから自
由端まで電極材料による表面電極５、９が形成され、基
端部１０ｂから前記自由端まで連続して導通させる導電
部材を設けるものである。

【００４１】図３に示すバイモルフ板１０は、表面電極
５、９の基端部１０ｂと導電ホルダ１４の上端固定部１
４ａ、下端固定部１４ｂとが導通され、この表面電極
５、９の基端部１０ｂから自由端まで連続して、導電材
料板による導電板３ａ、３ｂが接着させられる。

【００４２】前記導電板３ａ、３ｂは、バイモルフ板１
０の湾曲変位に影響を与えない程度に軽く、柔軟性に富
み、Ｃｕ、Ａｌ、Ａｇ等の金属材料による金属箔によ
り、表面電極５、９の基端部１０ｂから自由端まで導通
するように接続される。

【００４３】このため、表面電極５、９上のどこに、ま
た表面電極５、９上の複数箇所にひび割れを生じても、
貼り合わせられた二枚の圧電板６、８上に形成された表
面電極５、９に導電板３ａ、３ｂを介して、駆動電圧を
印加可能である。このため、貼り合わせられた二枚の圧
電板６、８を基端部１０ｂから自由端まで湾曲変位させ
ることが可能である。

【００４４】図４に示すバイモルフ板１０は、表面電極
５、９の基端部１０ｂと導電ホルダ１４の上端固定部１
４ａ、下端固定部１４ｂとが導通され、この表面電極
５、９の基端部１０ｂから自由端まで連続して、導電材
料層による導電層４ａ、４ｂが形成させられる。

【００４５】前記導電層４ａ、４ｂは、バイモルフ板１
０の湾曲変位に影響を与えない程度に軽く、柔軟性に富
み、電極材料による導電ペーストを塗布して乾燥させた
り、導電金属粉末入りガラスフリットを塗布して焼き付
けたり、あるいは金属溶射、真空蒸着、スパッタリン
グ、無電解メッキ等を行うことにより、表面電極５、９
の基端部１０ｂから自由端まで導通するように形成され
る。

【００４６】このため、表面電極５、９上のどこに、ま
た表面電極５、９上の複数箇所にひび割れを生じても、
貼り合わせられた二枚の圧電板６、８上に形成された表
面電極５、９に導電層４ａ、４ｂを介して、駆動電圧を
印加可能である。このため、貼り合わせられた二枚の圧
電板６、８を基端部１０ｂから自由端まで湾曲変位させ
ることが可能である。

【００４７】

【発明の効果】以上、詳細に説明したように、本発明の
電気−機械変換装置によれば、表面電極にひび割れが生
じ、表面電極の基端部と自由端が分断されても、基端部
に印加される駆動電圧は、前記導電部材を介して基端部
から自由端まで印加される。このため、表面電極にひび
割れを生じても、貼り合わせられた二枚の圧電板を基端
部から自由端まで湾曲変位させることが可能である。

【００４８】また、導電部材を前記各表面電極の基端部
から自由端までの複数箇所において導通させるため、表
面電極上に複数のひび割れが生じ、表面電極の基端部と
自由端との間で表面電極が複数に分断されても、基端部
に印加される駆動電圧は、前記導電部材を介して、表面
電極の基端部から自由端まで印加される。このため、表
面電極上の複数箇所にひび割れを生じても、貼り合わせ
られた二枚の圧電板を基端部から自由端まで湾曲変位さ
せることが可能である。

【００４９】また、導電部材を前記各表面電極の基端部
から自由端まで連続して導電させるため、表面電極の基
端部と自由端との間の位置に関係無く、また複数箇所で
ひび割れにより表面電極が分断されても、基端部に印加
される駆動電圧は、前記導電部材を介して、表面電極の
基端部から自由端まで印加される。このため、表面電極
上のどこに、また表面電極上の複数箇所にひび割れを生
じても、貼り合わせられた二枚の圧電板を基端部から自
由端まで湾曲変位させることが可能である。

【００５０】従って、各表面電極の基端部から自由端ま
で導通させる導電部材を設けることにより、表面電極に
ひび割れを生じても、貼り合わせられた二枚の圧電板を
問題無く湾曲変位させることが可能である。このため、
使用中の長期耐久性を向上させることが可能である。ま
た、表面電極にひび割れを生じても製造工程において、
不良品扱いとする必要がなく、製造工程の歩留を向上さ
せることが可能である。よって、長期耐久性に優れ、か
つ製造歩留の良い電気−機械変換装置の提供を可能とす
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施例に係る電気−機械変換装
置の構成を示す概略構成図である。

【図２】本発明の第２の実施例に係る電気−機械変換装
置の構成を示す概略構成図である。

【図３】本発明の第３の実施例に係る電気−機械変換装
置の構成を示す概略構成図である。

【図４】同上他の電気−機械変換装置の構成を示す概略
構成図である。

【図５】従来の電気−機械変換装置を用いたビデオディ
スクプレーヤに用いられる回転ドラムの構成を示す概略
平面図である。

【図６】従来の電気−機械変換装置の構成を示す概略構
成図である。

【図７】従来の電気−機械変換装置を用いたビデオディ
スクプレーヤに用いられる回転ドラム用の磁気ヘッド装
置の構成を示す概略断面図である。

【図８】従来の電気−機械変換装置の表面電極にひび割
れを生じた際の従来の電気−機械変換装置の構成を示す
概略構成図である。

【符号の説明】

１ａ、１ｂ フレキシブル導電板 ２ａ、２ｂ 導電ワイヤ ３ａ、３ｂ 導電板 ４ａ、４ｂ 導電層 ５、９ 表面電極 ６、８ 圧電板 ７ 中間電極 １０ 電気−機械変換装置 １１ｂ 電気−機械変換装置の基端部

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 中間電極を挟み込むように、互いの面内
   の伸縮方向を一致させるように貼り合わせられ、各々の
   両面への駆動電圧の印加により、前記伸縮方向に対し、
   互いに逆向きに伸び又は縮む二枚の圧電板と、 前記貼り合わせられた二枚の圧電板の前記伸縮方向の一
   端において片持支持される基端部から、他の一端である
   自由端までの両表面に形成される表面電極と、 前記基端部が片持支持された状態で、前記貼り合わせら
   れた二枚の圧電板の両表面の鉛直方向に対し、該貼り合
   わせられた二枚の圧電板を湾曲変位可能に、前記貼り合
   わせられた二枚の圧電板の両表面に形成される各表面電
   極の自由端と基端部とを導通させる導電部材とを備え、 前記表面電極の基端部及び中間電極への駆動電圧の印加
   により、前記伸縮方向に対し、各圧電板を互いに逆向き
   に伸び又は縮ませることにより、前記貼り合わせられた
   二枚の圧電板を湾曲変位させることを特徴とする電気−
   機械変換装置。
2. 【請求項２】 導電部材は、前記貼り合わせられた二枚
   の圧電板の両表面に形成される各表面電極の基端部から
   自由端までの複数箇所において導通させることを特徴と
   する請求項１記載の電気−機械変換装置。
3. 【請求項３】 導電部材は、前記貼り合わせられた二枚
   の圧電板の両表面に形成される各表面電極の自由端から
   固定端まで連続して導通させることを特徴とする請求項
   １記載の電気−機械変換装置。