JPH09147056A - マーク外観検査方法とその装置 - Google Patents
マーク外観検査方法とその装置Info
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- JPH09147056A JPH09147056A JP7304654A JP30465495A JPH09147056A JP H09147056 A JPH09147056 A JP H09147056A JP 7304654 A JP7304654 A JP 7304654A JP 30465495 A JP30465495 A JP 30465495A JP H09147056 A JPH09147056 A JP H09147056A
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- mark
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 比較基準データが容易に、かつ速やかに自動
的に作成された上、マーク自体のサイズ状態とは無関係
に、マークを高精度に良否判別すること。 【解決手段】 先ず良品部品についてのマークが読取手
段2で検出された上、画像記憶・処理手段4で処理され
ることで、文字対応に作成された比較基準データが2種
類、辞書記憶手段5に登録されている状態で、検査対象
1についてのマークが手段2,4を介し良否判定手段6
で手段5からの、2種類の文字対応比較基準データ各々
と比較照合されることによって、文字単位にマークの良
否が高精度に判定されているものである。
的に作成された上、マーク自体のサイズ状態とは無関係
に、マークを高精度に良否判別すること。 【解決手段】 先ず良品部品についてのマークが読取手
段2で検出された上、画像記憶・処理手段4で処理され
ることで、文字対応に作成された比較基準データが2種
類、辞書記憶手段5に登録されている状態で、検査対象
1についてのマークが手段2,4を介し良否判定手段6
で手段5からの、2種類の文字対応比較基準データ各々
と比較照合されることによって、文字単位にマークの良
否が高精度に判定されているものである。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、部品表面に印字さ
れているマークとしての文字各々について、その印字品
質を良否判別するための良否判別マーク外観検査方法と
その装置に係り、特に欠けやかすれ、にじみ等の印字状
態を考慮の上、その印字品質が良否判別されるようにし
たマーク外観検査方法とその装置に関するものである。
れているマークとしての文字各々について、その印字品
質を良否判別するための良否判別マーク外観検査方法と
その装置に係り、特に欠けやかすれ、にじみ等の印字状
態を考慮の上、その印字品質が良否判別されるようにし
たマーク外観検査方法とその装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】各種部品、例えば電子部品の表面には、
その製品種別を示すマークがアルファベットや数字等の
集合からなるものとして印字されているが、このマーク
は製品として出荷される際に、ユーザによる製品種別の
誤認や特定不可が回避されるべく、製品種別毎にマーク
自体の誤りについては勿論のこと、マークを構成してい
る文字各々についてもその印字品質が外観検査される必
要があるものとなっている。
その製品種別を示すマークがアルファベットや数字等の
集合からなるものとして印字されているが、このマーク
は製品として出荷される際に、ユーザによる製品種別の
誤認や特定不可が回避されるべく、製品種別毎にマーク
自体の誤りについては勿論のこと、マークを構成してい
る文字各々についてもその印字品質が外観検査される必
要があるものとなっている。
【0003】ところで、この種の技術については、これ
までに、例えば特開平3−12784号公報に記載され
たものが知られているが、これによる場合、予め内蔵さ
れた辞書データを用い、検査対象画像より切り出された
マークに対しパターンマッチングが行われることによっ
て、マークの良否が判断されるものとなっている。ま
た、特開平4−10449号公報による場合には、検査
に先立って、複数個の良品部品について、マークの面積
上での平均値が求められた上、この平均値を中心とする
許容範囲内に、検査対象としてのマークのその面積が存
在するか否かによって、マークの良否が判定されるもの
となっている。
までに、例えば特開平3−12784号公報に記載され
たものが知られているが、これによる場合、予め内蔵さ
れた辞書データを用い、検査対象画像より切り出された
マークに対しパターンマッチングが行われることによっ
て、マークの良否が判断されるものとなっている。ま
た、特開平4−10449号公報による場合には、検査
に先立って、複数個の良品部品について、マークの面積
上での平均値が求められた上、この平均値を中心とする
許容範囲内に、検査対象としてのマークのその面積が存
在するか否かによって、マークの良否が判定されるもの
となっている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記特
開平3−12784号公報では、パターンマッチングに
用いる辞書データの作成方法には特に言及はされていな
いが、その辞書データを作成する上で、手動により最適
なデータが入力される必要があるとすれば、辞書データ
作成に多くの手間と時間が要されるものとなっている。
このような事情は上記特開平4−10449号公報でも
同様であり、複数個の良品部品からマークの面積上での
平均値が求められる上で、多くの時間が要されるものと
なっている。また、自動的に辞書データが作成されると
しても、一定の判定値を以て一致度が単に判定される場
合には、大きな(太い)マークに対しては判定が厳しく
なり、これとは逆に小さい(細い)に対しては判定が甘
くなるといった具合に、マーク自体の太さ(サイズ)状
態に応じて判定値が変更される必要があるものとなって
いる。本発明の目的は、比較基準としての辞書データが
容易に、かつ速やかに自動的に作成され得、しかもマー
ク自体のサイズ状態とは無関係に、マークを高精度に良
否判別し得るマーク外観検査方法とその装置を供するに
ある。
開平3−12784号公報では、パターンマッチングに
用いる辞書データの作成方法には特に言及はされていな
いが、その辞書データを作成する上で、手動により最適
なデータが入力される必要があるとすれば、辞書データ
作成に多くの手間と時間が要されるものとなっている。
このような事情は上記特開平4−10449号公報でも
同様であり、複数個の良品部品からマークの面積上での
平均値が求められる上で、多くの時間が要されるものと
なっている。また、自動的に辞書データが作成されると
しても、一定の判定値を以て一致度が単に判定される場
合には、大きな(太い)マークに対しては判定が厳しく
なり、これとは逆に小さい(細い)に対しては判定が甘
くなるといった具合に、マーク自体の太さ(サイズ)状
態に応じて判定値が変更される必要があるものとなって
いる。本発明の目的は、比較基準としての辞書データが
容易に、かつ速やかに自動的に作成され得、しかもマー
ク自体のサイズ状態とは無関係に、マークを高精度に良
否判別し得るマーク外観検査方法とその装置を供するに
ある。
【0005】
【課題を解決するための手段】上記目的は、良品部品の
表面に印字されている文字各々からは文字対応比較基準
データが2種類自動的に作成された上、検査対象として
の部品各々の表面に印字されている文字各々について印
字品質がそれら2種類の文字対応比較基準データにより
良否判別されることで達成され、また、装置構成として
は、その構成要素として、良品部品を含む、検査対象と
しての部品各々から、順次該部品の表面に印字されてい
る文字各々を部品対応マーク画像として検出する画像検
出手段と、該画像検出手段からの検出部品対応マーク画
像を一時的に記憶する画像記憶手段と、該画像記憶手段
に検出部品対応マーク画像が記憶される度に、該検出部
品対応マーク画像を処理することによって、検出良品部
品対応マーク画像からは文字対応比較基準データを2種
類自動的に作成する一方、検査対象としての検出部品対
応マーク画像に対しては、比較照合に先立っての前処理
を行う画像処理手段と、該画像処理手段で作成された、
2種類の文字対応比較基準データが、登録後に部分的な
データ修正可として登録される辞書記憶手段と、上記画
像処理手段からの、前処理された文字対応2値画像デー
タを、一致度合いが最大、あるいは一致の判定値を越え
るべく、比較照合位置が補正された状態として上記辞書
記憶手段からの、2種類の文字対応比較基準データ各々
との間で比較照合する良否判定手段と、文字対応比較基
準データおよび中間/最終処理画像を含む画像や、良否
判定結果を表示する表示手段と、該表示手段に登録文字
対応比較基準データが表示されている状態で、該登録文
字対応比較基準データを部分的にデータ修正する外部入
力手段と、上記各手段を一括制御する制御手段とを含む
べく、構成することで達成される。
表面に印字されている文字各々からは文字対応比較基準
データが2種類自動的に作成された上、検査対象として
の部品各々の表面に印字されている文字各々について印
字品質がそれら2種類の文字対応比較基準データにより
良否判別されることで達成され、また、装置構成として
は、その構成要素として、良品部品を含む、検査対象と
しての部品各々から、順次該部品の表面に印字されてい
る文字各々を部品対応マーク画像として検出する画像検
出手段と、該画像検出手段からの検出部品対応マーク画
像を一時的に記憶する画像記憶手段と、該画像記憶手段
に検出部品対応マーク画像が記憶される度に、該検出部
品対応マーク画像を処理することによって、検出良品部
品対応マーク画像からは文字対応比較基準データを2種
類自動的に作成する一方、検査対象としての検出部品対
応マーク画像に対しては、比較照合に先立っての前処理
を行う画像処理手段と、該画像処理手段で作成された、
2種類の文字対応比較基準データが、登録後に部分的な
データ修正可として登録される辞書記憶手段と、上記画
像処理手段からの、前処理された文字対応2値画像デー
タを、一致度合いが最大、あるいは一致の判定値を越え
るべく、比較照合位置が補正された状態として上記辞書
記憶手段からの、2種類の文字対応比較基準データ各々
との間で比較照合する良否判定手段と、文字対応比較基
準データおよび中間/最終処理画像を含む画像や、良否
判定結果を表示する表示手段と、該表示手段に登録文字
対応比較基準データが表示されている状態で、該登録文
字対応比較基準データを部分的にデータ修正する外部入
力手段と、上記各手段を一括制御する制御手段とを含む
べく、構成することで達成される。
【0006】
【発明の実施の形態】以下、本発明を図1から図9によ
り説明する。先ず本発明によるマーク外観検査装置につ
いて説明すれば、図1はその一例での概要構成を示した
ものである。これによりその構成とその動作の概要を説
明すれば、電子部品などの検査対象1が検査されるに先
立って、先ず良品部品について、そのマーク部分が照明
手段3により適切に照明された状態で、そのマークが読
取手段2によって良品部品対応マーク画像として検出さ
れた上、画像記憶・処理手段4に一時記憶されるものと
なっている。その良品部品対応マーク画像内には一般に
複数の文字画像データが含まれているが、画像記憶・処
理手段4で良品部品対応マーク画像が所定に処理される
ことで、それら文字対応に比較基準データが2種類作成
された上、制御手段9を介し辞書記憶手段5に登録され
ているものである。その後、検査対象1が順次検査され
るわけであるが、検査対象1がそのマーク部分が照明手
段3により適切に照明された状態で、そのマークが読取
手段2によって部品対応マーク画像として検出された
上、画像記憶・処理手段4に一時記憶される度に、その
部品対応マーク画像が適当に前処理された上、良否判定
手段6で辞書記憶手段5からの、2種類の文字対応比較
基準データ各々と比較照合されることによって、文字単
位にマークの良否が判定されているものである。その
際、辞書記憶手段5に登録されている文字対応比較基準
データや、画像記憶・処理手段4における中間/最終処
理画像を含む画像や、良否判定結果は表示手段7に随時
表示可とされているものであり、特に、辞書記憶手段5
に一旦登録された文字対応比較基準データについては、
その後、必要に応じ随時部分的にデータが修正可とされ
たものとなっている。制御手段9による制御下に、辞書
記憶手段5から表示手段7に文字対応比較基準データが
読出し表示されている状態で、外部入力手段8によりそ
の文字対応比較基準データが部分的にデータ修正された
上、再び辞書記憶手段5に登録される場合は、文字対応
比較基準データは一旦登録後でも、部分的に更新可とし
て辞書記憶手段5に登録され得るものである。
り説明する。先ず本発明によるマーク外観検査装置につ
いて説明すれば、図1はその一例での概要構成を示した
ものである。これによりその構成とその動作の概要を説
明すれば、電子部品などの検査対象1が検査されるに先
立って、先ず良品部品について、そのマーク部分が照明
手段3により適切に照明された状態で、そのマークが読
取手段2によって良品部品対応マーク画像として検出さ
れた上、画像記憶・処理手段4に一時記憶されるものと
なっている。その良品部品対応マーク画像内には一般に
複数の文字画像データが含まれているが、画像記憶・処
理手段4で良品部品対応マーク画像が所定に処理される
ことで、それら文字対応に比較基準データが2種類作成
された上、制御手段9を介し辞書記憶手段5に登録され
ているものである。その後、検査対象1が順次検査され
るわけであるが、検査対象1がそのマーク部分が照明手
段3により適切に照明された状態で、そのマークが読取
手段2によって部品対応マーク画像として検出された
上、画像記憶・処理手段4に一時記憶される度に、その
部品対応マーク画像が適当に前処理された上、良否判定
手段6で辞書記憶手段5からの、2種類の文字対応比較
基準データ各々と比較照合されることによって、文字単
位にマークの良否が判定されているものである。その
際、辞書記憶手段5に登録されている文字対応比較基準
データや、画像記憶・処理手段4における中間/最終処
理画像を含む画像や、良否判定結果は表示手段7に随時
表示可とされているものであり、特に、辞書記憶手段5
に一旦登録された文字対応比較基準データについては、
その後、必要に応じ随時部分的にデータが修正可とされ
たものとなっている。制御手段9による制御下に、辞書
記憶手段5から表示手段7に文字対応比較基準データが
読出し表示されている状態で、外部入力手段8によりそ
の文字対応比較基準データが部分的にデータ修正された
上、再び辞書記憶手段5に登録される場合は、文字対応
比較基準データは一旦登録後でも、部分的に更新可とし
て辞書記憶手段5に登録され得るものである。
【0007】以上のように、画像記憶・処理手段4で
は、良品部品対応マーク画像から文字対応比較基準デー
タが2種類作成されているが、図2(a)はその作成処
理を含む一連の初期設定処理フローを、また、図2
(b),(c)はそれぞれそのより具体的な作成処理の
フローを示したものである。先ずは、一連の初期設定処
理フローから説明すれば、図2(a)に示すように、多
値入力画像(検出良品部品対応マーク画像)はパッケー
ジ内の、マークを含む広い範囲で適当に仮設定されたし
きい値により2値化された上、その2値画像よりマーク
を検出し、マーク全体の領域位置を大雑把に再設定した
後、その検出領域内部がノイズ除去のために平滑化等に
よりスムージング処理されるものとなっている。その
後、その処理画像は検出領域内部でマーク検出用として
適切な設定されたしきい値により再度2値化処理される
が、この場合でのしきい値の決定方法としては、検出領
域内でのヒストグラム(頻度分布)処理による方法や、
検出領域内走査により画素ピーク値を検出し、そのピー
ク値に一定定数k(0<k<1)を乗じる等の方法が考
えられるものとなっている。このようにして得られた2
値画像から、文字内マッチングデータ(第1種別の文字
対応比較基準データ)が、図2(b)に示す処理(後に
詳述)により文字対応に作成された上、辞書記憶手段5
に登録されているものである。このデータは文字の骨格
データとも言うべきものであり、このデータが検査され
るべき文字対応2値画像データと比較照合されることに
よって、印字文字が良品部品のそれよりも細い場合や、
その印字文字に存在しているかすれや欠けが検出可とさ
れているものである。その際、特に文字「C」と文字
「G」、文字「P」と文字「R」のように、部分的にし
か違いのない類似した文字の場合には、その登録前、あ
るいは登録後に随時その特徴的な部分に対して外部入力
手段8を用いて修正データを加えることによって、より
検出感度の向上が図れるものである。その後は、文字外
マッチングデータ(第2種別の文字対応比較基準デー
タ)が、図2(c)に示す処理(後に詳述)により文字
対応に作成された上、辞書記憶手段5に登録されている
が、このデータは文字内マッチングデータとは逆に、文
字の太りを検出するためのものであり、このデータが検
査されるべき文字対応2値画像データと比較照合される
ことによって、文字のにじみやダブリ、誤マークが検出
可とされているものである。このデータも文字内マッチ
ングデータと同様、データの修正が可能である。以上の
マッチングデータに加え、文字各々の特徴量として、文
字の面積カウントや周囲長、縦、横長さ等が基準データ
として登録された上、検査対象としての文字対応2値画
像データと比較されることによっては、より検査感度が
向上され得るものである。
は、良品部品対応マーク画像から文字対応比較基準デー
タが2種類作成されているが、図2(a)はその作成処
理を含む一連の初期設定処理フローを、また、図2
(b),(c)はそれぞれそのより具体的な作成処理の
フローを示したものである。先ずは、一連の初期設定処
理フローから説明すれば、図2(a)に示すように、多
値入力画像(検出良品部品対応マーク画像)はパッケー
ジ内の、マークを含む広い範囲で適当に仮設定されたし
きい値により2値化された上、その2値画像よりマーク
を検出し、マーク全体の領域位置を大雑把に再設定した
後、その検出領域内部がノイズ除去のために平滑化等に
よりスムージング処理されるものとなっている。その
後、その処理画像は検出領域内部でマーク検出用として
適切な設定されたしきい値により再度2値化処理される
が、この場合でのしきい値の決定方法としては、検出領
域内でのヒストグラム(頻度分布)処理による方法や、
検出領域内走査により画素ピーク値を検出し、そのピー
ク値に一定定数k(0<k<1)を乗じる等の方法が考
えられるものとなっている。このようにして得られた2
値画像から、文字内マッチングデータ(第1種別の文字
対応比較基準データ)が、図2(b)に示す処理(後に
詳述)により文字対応に作成された上、辞書記憶手段5
に登録されているものである。このデータは文字の骨格
データとも言うべきものであり、このデータが検査され
るべき文字対応2値画像データと比較照合されることに
よって、印字文字が良品部品のそれよりも細い場合や、
その印字文字に存在しているかすれや欠けが検出可とさ
れているものである。その際、特に文字「C」と文字
「G」、文字「P」と文字「R」のように、部分的にし
か違いのない類似した文字の場合には、その登録前、あ
るいは登録後に随時その特徴的な部分に対して外部入力
手段8を用いて修正データを加えることによって、より
検出感度の向上が図れるものである。その後は、文字外
マッチングデータ(第2種別の文字対応比較基準デー
タ)が、図2(c)に示す処理(後に詳述)により文字
対応に作成された上、辞書記憶手段5に登録されている
が、このデータは文字内マッチングデータとは逆に、文
字の太りを検出するためのものであり、このデータが検
査されるべき文字対応2値画像データと比較照合される
ことによって、文字のにじみやダブリ、誤マークが検出
可とされているものである。このデータも文字内マッチ
ングデータと同様、データの修正が可能である。以上の
マッチングデータに加え、文字各々の特徴量として、文
字の面積カウントや周囲長、縦、横長さ等が基準データ
として登録された上、検査対象としての文字対応2値画
像データと比較されることによっては、より検査感度が
向上され得るものである。
【0008】さて、ここで、文字「P」に例を採って、
図2(b)により文字内マッチングデータの作成方法
を、図3(a)〜(f)を参照しつつ、具体的に説明す
れば以下のようである。即ち、図3(a)に示す2値画
像(画像1)では、文字「P」は黒画素領域部分として
示されており、これに対しては縮小処理が行われるが、
その結果を図3(b)に画像2として示す。ここにいう
黒画素部分についての縮小処理とは、注目画素がX方
向、Y方向に1画素単位に更新される度に、その注目画
素近傍の4画素(上下方向および左右方向での隣接4画
素)、あるいは8画素(上下方向および左右方向での隣
接4画素の他、斜方向での4画素)を参照画素として、
これら参照画素の何れか1画素が白画素である場合に、
その注目画素を白画素に置換する処理として定義され
る。図3(b)は参照画素を8画素として、3回に亘っ
て縮小処理が行われた場合での処理結果である。図3
(b)に示すように、線幅の太い部分では、黒画素が一
部残されているが、線幅の細い部分では、黒画素が全て
消滅されていることが判る。次に、図3(a)に示す2
値画像(画像1)に対しては簡易細線化処理が行われる
が、その結果を図3(c)に画像3として示す。ここに
いう簡易細線化処理とは、X方向、Y方向走査を行い、
黒画素が連続する場合での画素長(ランレングス)を計
測し、画素長が5画素以上である場合のみ、その中心画
素だけを黒画素として残す処理として定義される。その
後、以上のようにして得られた画像2、画像3は、これ
ら画像2、画像3間で論理和演算されるが、その結果を
図3(d)に画像4として示す。これについては、特に
説明は要しない。この画像4だけでも文字内マッチング
データとして用い得るが、マッチングを行った際に線幅
の太い部分と細い部分に欠けが存在する場合に不一致の
値が大きく異なってしまう。そこで、画像4は更に縮小
処理されることによって、図3(e)に示す画像5を得
た上、これら画像5、画像4間で排他的論理和演算が行
われることによって、図3(f)に示す画像6がその結
果として得られるものとなっている。これが文字内マッ
チングデータとして得られているものであり、印字文字
の太さに影響されることなく、マッチングデータが作成
され得るものである。
図2(b)により文字内マッチングデータの作成方法
を、図3(a)〜(f)を参照しつつ、具体的に説明す
れば以下のようである。即ち、図3(a)に示す2値画
像(画像1)では、文字「P」は黒画素領域部分として
示されており、これに対しては縮小処理が行われるが、
その結果を図3(b)に画像2として示す。ここにいう
黒画素部分についての縮小処理とは、注目画素がX方
向、Y方向に1画素単位に更新される度に、その注目画
素近傍の4画素(上下方向および左右方向での隣接4画
素)、あるいは8画素(上下方向および左右方向での隣
接4画素の他、斜方向での4画素)を参照画素として、
これら参照画素の何れか1画素が白画素である場合に、
その注目画素を白画素に置換する処理として定義され
る。図3(b)は参照画素を8画素として、3回に亘っ
て縮小処理が行われた場合での処理結果である。図3
(b)に示すように、線幅の太い部分では、黒画素が一
部残されているが、線幅の細い部分では、黒画素が全て
消滅されていることが判る。次に、図3(a)に示す2
値画像(画像1)に対しては簡易細線化処理が行われる
が、その結果を図3(c)に画像3として示す。ここに
いう簡易細線化処理とは、X方向、Y方向走査を行い、
黒画素が連続する場合での画素長(ランレングス)を計
測し、画素長が5画素以上である場合のみ、その中心画
素だけを黒画素として残す処理として定義される。その
後、以上のようにして得られた画像2、画像3は、これ
ら画像2、画像3間で論理和演算されるが、その結果を
図3(d)に画像4として示す。これについては、特に
説明は要しない。この画像4だけでも文字内マッチング
データとして用い得るが、マッチングを行った際に線幅
の太い部分と細い部分に欠けが存在する場合に不一致の
値が大きく異なってしまう。そこで、画像4は更に縮小
処理されることによって、図3(e)に示す画像5を得
た上、これら画像5、画像4間で排他的論理和演算が行
われることによって、図3(f)に示す画像6がその結
果として得られるものとなっている。これが文字内マッ
チングデータとして得られているものであり、印字文字
の太さに影響されることなく、マッチングデータが作成
され得るものである。
【0009】因みに、図3(a)〜(d)に亘る処理に
よって得られる文字内マッチングデータと、図3(a)
〜(f)に亘る処理によって得られる文字内マッチング
データとの相違を、実際に欠けが存在する印字文字に対
して適用した場合について説明すれば、その結果は図4
に示すようである。即ち、図4(a)に良品部品上にお
ける印字文字「L」についての2値画像データを、ま
た、図4(b)に印字文字「L」に欠けが存在する場合
での2値画像データを示す。図4(b)に示すように、
印字文字「L」の左側上部と右側下部にほぼ同程度の長
さの欠けが存在していることが判る。さて、図4(a)
に示す2値画像データからも、既述の図3(a)〜
(d)に亘る処理によって文字内マッチングデータ(辞
書データA)が図4(c)に示す如く得られる一方で
は、図3(a)〜(f)に亘る処理によっても文字内マ
ッチングデータ(辞書データB)が図4(d)に示す如
く得られるが、これら辞書データA,B各々を図4
(b)に示す2値画像データに適用した場合でのマッチ
ング結果をそれぞれ図4(e)、図4(f)として示
す。辞書データAによる場合、図4(e)に示すよう
に、文字の太い部分での欠け(左側上部)による不一致
画素数は24画素として、また、文字の細い部分での欠
け(右側下部)による不一致画素数は12画素として検
出されており、ほぼ2倍の違いがあることが判る。一
方、それに対し、辞書データによる場合には、図4
(f)に示すように、欠け(左側上部)による不一致画
素数は11画素として、また、欠け(右側下部)による
不一致画素数は9画素として検出されており、ほぼ同等
の結果が得られていることが判る。以上の結果からも判
るように、図3(a)〜(f)に亘る処理による場合に
は、印字文字の線太さに影響されること少なくして、文
字内マッチングデータが作成され得るものである。
よって得られる文字内マッチングデータと、図3(a)
〜(f)に亘る処理によって得られる文字内マッチング
データとの相違を、実際に欠けが存在する印字文字に対
して適用した場合について説明すれば、その結果は図4
に示すようである。即ち、図4(a)に良品部品上にお
ける印字文字「L」についての2値画像データを、ま
た、図4(b)に印字文字「L」に欠けが存在する場合
での2値画像データを示す。図4(b)に示すように、
印字文字「L」の左側上部と右側下部にほぼ同程度の長
さの欠けが存在していることが判る。さて、図4(a)
に示す2値画像データからも、既述の図3(a)〜
(d)に亘る処理によって文字内マッチングデータ(辞
書データA)が図4(c)に示す如く得られる一方で
は、図3(a)〜(f)に亘る処理によっても文字内マ
ッチングデータ(辞書データB)が図4(d)に示す如
く得られるが、これら辞書データA,B各々を図4
(b)に示す2値画像データに適用した場合でのマッチ
ング結果をそれぞれ図4(e)、図4(f)として示
す。辞書データAによる場合、図4(e)に示すよう
に、文字の太い部分での欠け(左側上部)による不一致
画素数は24画素として、また、文字の細い部分での欠
け(右側下部)による不一致画素数は12画素として検
出されており、ほぼ2倍の違いがあることが判る。一
方、それに対し、辞書データによる場合には、図4
(f)に示すように、欠け(左側上部)による不一致画
素数は11画素として、また、欠け(右側下部)による
不一致画素数は9画素として検出されており、ほぼ同等
の結果が得られていることが判る。以上の結果からも判
るように、図3(a)〜(f)に亘る処理による場合に
は、印字文字の線太さに影響されること少なくして、文
字内マッチングデータが作成され得るものである。
【0010】引き続き文字「P」に例を採って、図2
(c)により文字外マッチングデータの作成方法を、図
5(a)〜(d)を参照しつつ、具体的に説明すれば以
下のようである。即ち、図5(a)に示す2値画像(画
像1)では、文字「P」は黒画素領域部分として示され
ており、これに対しては拡大処理が行われるが、その結
果を図5(b)に画像7として示す。ここにいう黒画素
部分についての拡大処理とは、注目画素がX方向、Y方
向に1画素単位に更新される度に、その注目画素近傍の
4画素(上下方向および左右方向での隣接4画素)、あ
るいは8画素(上下方向および左右方向での隣接4画素
の他、斜方向での4画素)を参照画素として、これら参
照画素の何れか1画素が黒画素である場合に、その注目
画素を黒画素に置換する処理として定義される。図5
(b)は参照画素を8画素として、3回に亘って拡大処
理が行われた場合での処理結果である。その後、画像7
は参照画素を8画素として、2回に亘って更に拡大処理
されるが、その結果を図5(c)に画像8として示す。
結局、画像7、画像8間で排他的論理和演算が行われる
ことによって、図5(d)に示す画像9が文字外マッチ
ングデータとして得られているものである。
(c)により文字外マッチングデータの作成方法を、図
5(a)〜(d)を参照しつつ、具体的に説明すれば以
下のようである。即ち、図5(a)に示す2値画像(画
像1)では、文字「P」は黒画素領域部分として示され
ており、これに対しては拡大処理が行われるが、その結
果を図5(b)に画像7として示す。ここにいう黒画素
部分についての拡大処理とは、注目画素がX方向、Y方
向に1画素単位に更新される度に、その注目画素近傍の
4画素(上下方向および左右方向での隣接4画素)、あ
るいは8画素(上下方向および左右方向での隣接4画素
の他、斜方向での4画素)を参照画素として、これら参
照画素の何れか1画素が黒画素である場合に、その注目
画素を黒画素に置換する処理として定義される。図5
(b)は参照画素を8画素として、3回に亘って拡大処
理が行われた場合での処理結果である。その後、画像7
は参照画素を8画素として、2回に亘って更に拡大処理
されるが、その結果を図5(c)に画像8として示す。
結局、画像7、画像8間で排他的論理和演算が行われる
ことによって、図5(d)に示す画像9が文字外マッチ
ングデータとして得られているものである。
【0011】因みに、図6,図7にそれぞれ文字内マッ
チングデータ、文字外マッチングデータによるマッチン
グ例を示す。図6(a)に示す文字内マッチングデータ
と図6(b)に示すマッチング対象とのマッチング結果
が図6(c)に、また、図7(a)に示す文字外マッチ
ングデータと図7(b)に示すマッチング対象とのマッ
チング結果が図7(c)にそれぞれ示されているもので
ある。このうち、図6(c)に関しては、文字色となる
べきデータが14画素分背景色となっており、したがっ
て、不一致画素数は14画素として検出されるものとな
っている。また、図7(c)に関しては、背景色となる
べきデータが10画素分文字色となっており、したがっ
て、不一致画素数は10画素として検出されるものとな
っている。
チングデータ、文字外マッチングデータによるマッチン
グ例を示す。図6(a)に示す文字内マッチングデータ
と図6(b)に示すマッチング対象とのマッチング結果
が図6(c)に、また、図7(a)に示す文字外マッチ
ングデータと図7(b)に示すマッチング対象とのマッ
チング結果が図7(c)にそれぞれ示されているもので
ある。このうち、図6(c)に関しては、文字色となる
べきデータが14画素分背景色となっており、したがっ
て、不一致画素数は14画素として検出されるものとな
っている。また、図7(c)に関しては、背景色となる
べきデータが10画素分文字色となっており、したがっ
て、不一致画素数は10画素として検出されるものとな
っている。
【0012】ところで、文字内/文字外マッチングデー
タに対する部分的データ修正について補足説明すれば、
図8(a),(b)は印字文字「P」から自動的に作成
されたマッチングデータに対して、特に類似文字「R」
に関する識別感度を向上させるべく、「P」と「R」の
不一致点相当のデータを追加した例を示したものであ
る。この修正によって、本来「P」であるべき位置に
「R」が誤印字された場合に、修正部分でのマッチング
の不一致度が増加し、誤マークとの判定が容易となる。
データを追加するには、表示手段7上に図8(a)に示
すマッチングデータが表示されている状態で、データ追
加点に該当するメッシュを外部入力手段8から指示すれ
ばよく、データ削除についても同様となっている。
タに対する部分的データ修正について補足説明すれば、
図8(a),(b)は印字文字「P」から自動的に作成
されたマッチングデータに対して、特に類似文字「R」
に関する識別感度を向上させるべく、「P」と「R」の
不一致点相当のデータを追加した例を示したものであ
る。この修正によって、本来「P」であるべき位置に
「R」が誤印字された場合に、修正部分でのマッチング
の不一致度が増加し、誤マークとの判定が容易となる。
データを追加するには、表示手段7上に図8(a)に示
すマッチングデータが表示されている状態で、データ追
加点に該当するメッシュを外部入力手段8から指示すれ
ばよく、データ削除についても同様となっている。
【0013】最後に、本発明によるマーク外観検査方法
に係る処理概要フローを図9(a)に示す。これによる
場合、良品部品の場合と同様、検査対象1からは部品対
応マーク画像が検出された上、文字位置が検出される
が、その際に、もしも、何等文字位置が検出されない場
合は、マークなし不良として判定されるものとなってい
る。また、文字位置が検出された場合には、マーク全体
の位置座標が計測されることによって、マークのずれや
傾きの不良判定が行われるものとなっている。その後、
初期設定処理の場合と同様にして、スムージング処理、
2値化処理が行われた上、得られた2値画像に対して
は、先ず文字各々について文字内マッチング処理(後に
詳述)が行われるものとなっている。予め設定された判
定値(JV)と不一致度(UM)との比較から、一定範
囲内での不一致度が判定値より大きい場合には、文字欠
け、かすれ、誤マーク、逆マーク等、何等かの不良とし
て判定されているものである。既述の図6(a)〜
(c)に示すマッチング例からすれば、不一致度(U
M)は14として検出されており、何等かの不良として
判定されるのに十分な値となっている。引き続き、文字
各々について文字外マッチング処理(後に詳述)が行わ
れるが、文字内マッチング処理の場合と同様に、不一致
度(UM)が判定値(JV)より大きい場合には、ダブ
リ、にじみ、誤マーク等、何等かの不良として判定され
るものとなっている。既述の図7(a)〜(c)に示す
マッチング例からすれば、不一致度(UM)は10とし
て検出されており、何等かの不良として判定されるのに
十分な値となっている。その後は、更に、特徴量の計測
が行われた上、計測値が標準値を中心とする許容範囲内
になければ、これまた、何等か不良として判定されるも
のとなっている。以上の検査方法により、高精度にマー
ク不良が検出可とされているものである。
に係る処理概要フローを図9(a)に示す。これによる
場合、良品部品の場合と同様、検査対象1からは部品対
応マーク画像が検出された上、文字位置が検出される
が、その際に、もしも、何等文字位置が検出されない場
合は、マークなし不良として判定されるものとなってい
る。また、文字位置が検出された場合には、マーク全体
の位置座標が計測されることによって、マークのずれや
傾きの不良判定が行われるものとなっている。その後、
初期設定処理の場合と同様にして、スムージング処理、
2値化処理が行われた上、得られた2値画像に対して
は、先ず文字各々について文字内マッチング処理(後に
詳述)が行われるものとなっている。予め設定された判
定値(JV)と不一致度(UM)との比較から、一定範
囲内での不一致度が判定値より大きい場合には、文字欠
け、かすれ、誤マーク、逆マーク等、何等かの不良とし
て判定されているものである。既述の図6(a)〜
(c)に示すマッチング例からすれば、不一致度(U
M)は14として検出されており、何等かの不良として
判定されるのに十分な値となっている。引き続き、文字
各々について文字外マッチング処理(後に詳述)が行わ
れるが、文字内マッチング処理の場合と同様に、不一致
度(UM)が判定値(JV)より大きい場合には、ダブ
リ、にじみ、誤マーク等、何等かの不良として判定され
るものとなっている。既述の図7(a)〜(c)に示す
マッチング例からすれば、不一致度(UM)は10とし
て検出されており、何等かの不良として判定されるのに
十分な値となっている。その後は、更に、特徴量の計測
が行われた上、計測値が標準値を中心とする許容範囲内
になければ、これまた、何等か不良として判定されるも
のとなっている。以上の検査方法により、高精度にマー
ク不良が検出可とされているものである。
【0014】さて、文字内/文字外マッチング処理であ
るが、これの詳細な処理フローは図9(b)に示すよう
である。指定位置でのマッチングにより不一致度(U
M)が算出された上、判定値(JV)と比較されている
が、不一致の度合いが、ある判定値以下になるか、ある
いは最小値となるべく、比較照合位置が最大N回に亘っ
て補正された状態として比較照合されているものであ
る。
るが、これの詳細な処理フローは図9(b)に示すよう
である。指定位置でのマッチングにより不一致度(U
M)が算出された上、判定値(JV)と比較されている
が、不一致の度合いが、ある判定値以下になるか、ある
いは最小値となるべく、比較照合位置が最大N回に亘っ
て補正された状態として比較照合されているものであ
る。
【0015】以上、本発明を具体的に説明したが、本発
明は上記実施例に限定されるものではなく、その要旨を
逸脱しない範囲で種々変更可能であり、また、その利用
分野は限定されるものではなく、例えば電子部品以外で
も、製缶時の刻印文字検査等における外観検査にも広く
適用可となっている。
明は上記実施例に限定されるものではなく、その要旨を
逸脱しない範囲で種々変更可能であり、また、その利用
分野は限定されるものではなく、例えば電子部品以外で
も、製缶時の刻印文字検査等における外観検査にも広く
適用可となっている。
【0016】
【発明の効果】以上、説明したように、請求項1〜4に
よれば、比較基準としての辞書データが容易に、かつ速
やかに自動的に作成され得、しかもマーク自体のサイズ
状態とは無関係に、マークを高精度に良否判別し得るマ
ーク外観検査方法とその装置が得られたものとなってい
る。
よれば、比較基準としての辞書データが容易に、かつ速
やかに自動的に作成され得、しかもマーク自体のサイズ
状態とは無関係に、マークを高精度に良否判別し得るマ
ーク外観検査方法とその装置が得られたものとなってい
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】図1は、本発明によるマーク外観検査装置の一
例での概要構成を示す図
例での概要構成を示す図
【図2】図2(a)は、2種類の文字対応比較基準デー
タ作成処理を含む一連の初期設定処理フローを、図2
(b),(c)は、それぞれより具体的な文字対応比較
基準データ作成処理のフローを示す図
タ作成処理を含む一連の初期設定処理フローを、図2
(b),(c)は、それぞれより具体的な文字対応比較
基準データ作成処理のフローを示す図
【図3】図3(a)〜(f)は、第1種別の文字対応比
較基準データ作成処理フローを具体的な画像データに例
を採って説明するための図
較基準データ作成処理フローを具体的な画像データに例
を採って説明するための図
【図4】図4(a)〜(f)は、図3(a)〜(d)に
亘る処理によって得られる文字内マッチングデータと、
図3(a)〜(f)に亘る処理によって得られる文字内
マッチングデータとの相違を説明するための図
亘る処理によって得られる文字内マッチングデータと、
図3(a)〜(f)に亘る処理によって得られる文字内
マッチングデータとの相違を説明するための図
【図5】図5(a)〜(d)は、第2種別の文字対応比
較基準データ作成処理フローを具体的な画像データに例
を採って説明するための図
較基準データ作成処理フローを具体的な画像データに例
を採って説明するための図
【図6】図6(a)〜(c)は、文字内マッチングデー
タによるマッチング例を示す図
タによるマッチング例を示す図
【図7】図7(a)〜(c)は、文字外マッチングデー
タによるマッチング例を示す図
タによるマッチング例を示す図
【図8】図8(a),(b)は、文字内/文字外マッチ
ングデータに対する部分的データ修正について補足説明
するための図
ングデータに対する部分的データ修正について補足説明
するための図
【図9】図9(a),(b)は、本発明によるマーク外
観検査方法に係る処理フローを示す図
観検査方法に係る処理フローを示す図
1…検査対象、2…読取手段、4…画像記憶・処理手
段、5…辞書記憶手段、6…良否判定手段、7…表示手
段、8…外部入力手段、9…制御手段
段、5…辞書記憶手段、6…良否判定手段、7…表示手
段、8…外部入力手段、9…制御手段
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 横内 哲司 東京都小平市上水本町五丁目20番1号 株 式会社日立製作所半導体事業部内
Claims (4)
- 【請求項1】 検査対象としての部品各々の表面に印字
されているマークとしての文字各々についての印字品質
の良否判別に先立って、良品部品の表面に印字されてい
る文字各々からは文字対応比較基準データが2種類自動
的に作成された上、検査対象としての部品各々の表面に
印字されている文字各々について印字品質が2種類の文
字対応比較基準データにより良否判別されるようにした
マーク外観検査方法であって、検査対象としての部品各
々の表面に印字されている文字各々についての印字品質
の良否判別に先立って、良品部品からは、該良品部品の
表面に印字されている文字対応に文字対応2値画像デー
タG1が良品部品対応マーク画像として検出された上、
該文字対応2値画像データG1からは、該文字対応2値
画像データG1がそれぞれ縮小処理、細線化処理される
ことによって、先ず縮小化画像データG2、細線化画像
データG3が作成された上、該縮小化画像データG2と
細線化画像データG3との論理和画像データG4から
は、該論理和画像データG4が縮小処理されることによ
って、縮小化画像データG5が作成された後、該縮小化
画像データG5と論理和画像データG4が排他的論理和
されることによって、排他的論理和結果としての画像デ
ータG6が第1種別の文字対応比較基準データとして作
成・登録される一方、文字対応2値画像データG1から
は、該文字対応2値画像データG1が拡大処理されるこ
とによって、先ず拡大化画像データG7が一旦作成され
た上、該拡大化画像データG7に対する更なる拡大処理
によって拡大化画像データG8が作成された後、該拡大
化画像データG8と拡大化画像データG7が排他的論理
和されることによって、排他的論理和結果としての画像
データG9が第2種別の文字対応比較基準データとして
作成・登録されるようにしたマーク外観検査方法。 - 【請求項2】 検査対象としての部品各々の表面に印字
されているマークとしての文字各々についての印字品質
の良否判別に先立って、良品部品の表面に印字されてい
る文字各々からは文字対応比較基準データが2種類自動
的に作成された上、検査対象としての部品各々の表面に
印字されている文字各々について印字品質が2種類の文
字対応比較基準データにより良否判別されるようにした
マーク外観検査方法であって、部品種別が更新される度
に、検査対象としての部品各々の表面に印字されている
マークとしての文字各々についての印字品質の良否判別
に先立って、良品部品からは、該良品部品の表面に印字
されている文字対応に文字対応2値画像データG1が良
品部品対応マーク画像として検出された上、該文字対応
2値画像データG1からは、該文字対応2値画像データ
G1がそれぞれ縮小処理、細線化処理されることによっ
て、先ず縮小化画像データG2、細線化画像データG3
が作成された上、該縮小化画像データG2と細線化画像
データG3との論理和画像データG4からは、該論理和
画像データG4が縮小処理されることによって、縮小化
画像データG5が作成された後、該縮小化画像データG
5と論理和画像データG4が排他的論理和されることに
よって、排他的論理和結果としての画像データG6が第
1種別の文字対応比較基準データとして、かつ登録後に
部分的なデータ修正可として作成・登録される一方、文
字対応2値画像データG1からは、該文字対応2値画像
データG1が拡大処理されることによって、先ず拡大化
画像データG7が一旦作成された上、該拡大化画像デー
タG7に対する更なる拡大処理によって拡大化画像デー
タG8が作成された後、該拡大化画像データG8と拡大
化画像データG7が排他的論理和されることによって、
排他的論理和結果としての画像データG9が第2種別の
文字対応比較基準データとして、かつ登録後に部分的な
データ修正可として作成・登録された後、検査対象とし
ての部品が順次更新される度に、該部品からは、該部品
の表面に印字されている文字対応に文字対応2値画像デ
ータが部品対応マーク画像として検出された上、該文字
対応2値画像データが第1,第2種別の文字対応比較基
準データとの比較照合により良否判別されるようにした
マーク外観検査方法。 - 【請求項3】 検査対象としての部品各々の表面に印字
されているマークとしての文字各々についての印字品質
の良否判別に先立って、良品部品の表面に印字されてい
る文字各々からは文字対応比較基準データが2種類自動
的に作成された上、検査対象としての部品各々の表面に
印字されている文字各々について印字品質が2種類の文
字対応比較基準データにより良否判別されるようにした
マーク外観検査方法であって、部品種別が更新される度
に、検査対象としての部品各々の表面に印字されている
マークとしての文字各々についての印字品質の良否判別
に先立って、良品部品からは、該良品部品の表面に印字
されている文字対応に文字対応2値画像データG1が良
品部品対応マーク画像として検出された上、該文字対応
2値画像データG1からは、該文字対応2値画像データ
G1がそれぞれ縮小処理、細線化処理されることによっ
て、先ず縮小化画像データG2、細線化画像データG3
が作成された上、該縮小化画像データG2と細線化画像
データG3との論理和画像データG4からは、該論理和
画像データG4が縮小処理されることによって、縮小化
画像データG5が作成された後、該縮小化画像データG
5と論理和画像データG4が排他的論理和されることに
よって、排他的論理和結果としての画像データG6が第
1種別の文字対応比較基準データとして作成・登録され
る一方、文字対応2値画像データG1からは、該文字対
応2値画像データG1が拡大処理されることによって、
先ず拡大化画像データG7が一旦作成された上、該拡大
化画像データG7に対する更なる拡大処理によって拡大
化画像データG8が作成された後、該拡大化画像データ
G8と拡大化画像データG7が排他的論理和されること
によって、排他的論理和結果としての画像データG9が
第2種別の文字対応比較基準データとして作成・登録さ
れた後、検査対象としての部品が順次更新される度に、
該部品からは、該部品の表面に印字されている文字対応
に文字対応2値画像データが部品対応マーク画像として
検出された上、一致度合いが最大、あるいは一致の判定
値を越えるべく、比較照合位置が補正された状態として
該文字対応2値画像データが第1,第2種別の文字対応
比較基準データとの比較照合により良否判別されるよう
にしたマーク外観検査方法。 - 【請求項4】 検査対象としての部品各々の表面に印字
されているマークとしての文字各々についての印字品質
の良否判別に先立って、良品部品の表面に印字されてい
る文字各々からは文字対応比較基準データが2種類自動
的に作成された上、検査対象としての部品各々の表面に
印字されている文字各々について印字品質が2種類の文
字対応比較基準データにより良否判別されるようにした
マーク外観検査装置であって、良品部品を含む、検査対
象としての部品各々から、順次該部品の表面に印字され
ている文字各々を部品対応マーク画像として検出する画
像検出手段と、該画像検出手段からの検出部品対応マー
ク画像を一時的に記憶する画像記憶手段と、該画像記憶
手段に検出部品対応マーク画像が記憶される度に、該検
出部品対応マーク画像を処理することによって、検出良
品部品対応マーク画像からは文字対応比較基準データを
2種類自動的に作成する一方、検査対象としての検出部
品対応マーク画像に対しては、比較照合に先立っての前
処理を行う画像処理手段と、該画像処理手段で作成され
た、2種類の文字対応比較基準データが、登録後に部分
的なデータ修正可として登録される辞書記憶手段と、上
記画像処理手段からの、前処理された文字対応2値画像
データを、一致度合いが最大、あるいは一致の判定値を
越えるべく、比較照合位置が補正された状態として上記
辞書記憶手段からの、2種類の文字対応比較基準データ
各々との間で比較照合する良否判定手段と、文字対応比
較基準データおよび中間/最終処理画像を含む画像や、
良否判定結果を表示する表示手段と、該表示手段に登録
文字対応比較基準データが表示されている状態で、該登
録文字対応比較基準データを部分的にデータ修正する外
部入力手段と、上記各手段を一括制御する制御手段とを
含み、画像処理手段では、検出良品部品対応マーク画像
に含まれている文字各々についての文字対応2値画像デ
ータG1からは、該文字対応2値画像データG1がそれ
ぞれ縮小処理、細線化処理されることによって、先ず縮
小化画像データG2、細線化画像データG3が作成され
た上、該縮小化画像データG2と細線化画像データG3
との論理和画像データG4からは、該論理和画像データ
G4が縮小処理されることによって、縮小化画像データ
G5が作成された後、該縮小化画像データG5と論理和
画像データG4が排他的論理和されることによって、排
他的論理和結果としての画像データG6が第1種別の文
字対応比較基準データとして作成される一方、文字対応
2値画像データG1からは、該文字対応2値画像データ
G1が拡大処理されることによって、先ず拡大化画像デ
ータG7が一旦作成された上、該拡大化画像データG7
に対する更なる拡大処理によって拡大化画像データG8
が作成された後、該拡大化画像データG8と拡大化画像
データG7が排他的論理和されることによって、排他的
論理和結果としての画像データG9が第2種別の文字対
応比較基準データとして作成されている構成のマーク外
観検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7304654A JPH09147056A (ja) | 1995-11-22 | 1995-11-22 | マーク外観検査方法とその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7304654A JPH09147056A (ja) | 1995-11-22 | 1995-11-22 | マーク外観検査方法とその装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH09147056A true JPH09147056A (ja) | 1997-06-06 |
Family
ID=17935633
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP7304654A Pending JPH09147056A (ja) | 1995-11-22 | 1995-11-22 | マーク外観検査方法とその装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH09147056A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009043184A (ja) * | 2007-08-10 | 2009-02-26 | Omron Corp | 画像処理方法および画像処理装置 |
WO2020137222A1 (ja) * | 2018-12-28 | 2020-07-02 | オムロン株式会社 | 欠陥検査装置、欠陥検査方法、及びそのプログラム |
CN111612774A (zh) * | 2020-05-22 | 2020-09-01 | 珠海格力智能装备有限公司 | 缺陷区域的确定方法、确定装置、存储介质与处理器 |
CN112489002A (zh) * | 2020-11-24 | 2021-03-12 | 广东省电子技术研究所 | 一种缺陷检测方法、装置、设备及存储介质 |
-
1995
- 1995-11-22 JP JP7304654A patent/JPH09147056A/ja active Pending
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009043184A (ja) * | 2007-08-10 | 2009-02-26 | Omron Corp | 画像処理方法および画像処理装置 |
WO2020137222A1 (ja) * | 2018-12-28 | 2020-07-02 | オムロン株式会社 | 欠陥検査装置、欠陥検査方法、及びそのプログラム |
JP2020106467A (ja) * | 2018-12-28 | 2020-07-09 | オムロン株式会社 | 欠陥検査装置、欠陥検査方法、及びそのプログラム |
US11830174B2 (en) | 2018-12-28 | 2023-11-28 | Omron Corporation | Defect inspecting device, defect inspecting method, and storage medium |
CN111612774A (zh) * | 2020-05-22 | 2020-09-01 | 珠海格力智能装备有限公司 | 缺陷区域的确定方法、确定装置、存储介质与处理器 |
CN111612774B (zh) * | 2020-05-22 | 2024-05-03 | 珠海格力智能装备有限公司 | 缺陷区域的确定方法、确定装置、存储介质与处理器 |
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