JPH09145661A - 湿度測定装置 - Google Patents

湿度測定装置

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JPH09145661A
JPH09145661A JP33261995A JP33261995A JPH09145661A JP H09145661 A JPH09145661 A JP H09145661A JP 33261995 A JP33261995 A JP 33261995A JP 33261995 A JP33261995 A JP 33261995A JP H09145661 A JPH09145661 A JP H09145661A
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利房 鈴木
Shintaro Yamamoto
新太郎 山本
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Abstract

(57)【要約】 【課題】簡易な構成で、小形、安価、調整不要の湿度測
定装置を提供することである。 【解決手段】湿度により容量値が変化する湿度素子11
及びこの湿度素子11の容量値との積が一定の抵抗値を
持つ基準抵抗21の第1の直列回路と、所定の値の比較
容量12及び比較抵抗22の第2の直列回路と、この各
直列回路のいずれかを選択して切換接続するスイッチ手
段S1,S2と、このスイッチ手段が各直列回路等を選
択したとき所定の発振周波数出力を発生する発振回路3
と、この発振回路が各直列回路と接続したときの各周波
数の比に基いて湿度を演算する演算手段4とを備えるよ
うにした湿度測定装置である。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、容量変化による
湿度素子を用いた湿度測定装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来、例えば、容量変化による湿度素子
を用いた湿度測定装置は、湿度素子の容量値Cとこれに
接続する抵抗の抵抗値RとでCR発振回路を構成し、こ
の出力を積分平滑してアナログ的に、又は周波数をカウ
ントしてデジタル的に湿度測定値を得ていた。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】ところで、このような
静電容量式の湿度素子は、所定の湿度での測定容量値C
と湿度が0%(0%H2 O)での基準容量値C0との比
のバラツキは小さいが、基準容量値C0のバラツキは大
きい。ある基準容量値C0で調整した測定回路を、ただ
単に異なる基準容量値C0の湿度素子の測定に用いたの
では、必要な精度の測定ができない。
【0004】このため、所定の湿度での測定容量値Cの
値のみで湿度を測定しようとすると、基準容量値C0が
同じものを選別しなければならず、湿度素子の歩留りが
悪くなる。又、素子のバラツキを回路で補正しようとす
ると、回路の抵抗、容量等をトリマ等で調整しなければ
ならず、多くの機械的な調整が必要となり、信頼性の低
下を招き、調整上ケースを密閉構造にできない等の不都
合を生じていた。
【0005】この発明の目的は、以上の点に鑑み、簡易
な構成で、小形、安価、調整不要の湿度測定装置を提供
することである。
【0006】
【課題を解決するための手段】この発明は、湿度により
容量値が変化する湿度素子及びこの湿度素子の容量値と
の積が一定の抵抗値を持つ基準抵抗の第1の直列回路
と、所定の値の比較容量及び比較抵抗の第2の直列回路
と、この各直列回路のいずれかと切換接続するスイッチ
手段と、このスイッチ手段が各直列回路と接続したとき
所定の発振周波数出力を発生する発振回路と、この発振
回路が各直列回路と接続したときの各周波数の比に基い
て湿度を演算する演算手段とを備えるようにした湿度測
定装置である。
【0007】
【発明の実施の形態】図1は、この発明の一実施例を示
す構成説明図である。図において、11は、湿度により
容量値C1が変化するコンデンサとしての湿度素子で、
この湿度素子11と直列に接続する基準抵抗21抵抗値
R1は、湿度素子11が例えば湿度0%(0%H2 O)
の基準状態のときの静電容量値(基準容量)C0との積
C0・R1(R1は湿度に依存しない)が一定となるよ
うに選択、調整され、これらで第1の直列回路M1を構
成している。又、この直列回路M1と並列に、所定の容
量値C2を持つ比較容量(コンデンサ)12及び所定の
抵抗値R2を持つ比較抵抗22を有する第2の直列回路
M2が設けられている。又、この各直列回路M1,M2
の両側にスイッチ手段S1,S2が設けられ、例えば、
一方側がスイッチ手段S1を介し演算増幅器やインバー
タ等の発振回路3に接続し、他方側はスイッチ手段S2
を介し、直接アース、又は、抵抗23,24で電圧Vを
分圧した中点に接続している。
【0008】そして、このスイッチ手段S1,S2が各
直列回路M1,M2のいずれかを選択して切換接続した
とき各コンデンサと抵抗の値による所定の発振周波数f
1,f2の出力を発振回路3は発生し、この発振回路3
が各直列回路M1、M2と接続したときの各周波数f
1,f2の出力をμCPUのような演算手段4は入力
し、各周波数f1,f2の比に基いて湿度RHを演算す
る。
【0009】つまり、動作を説明すると、スイッチ手段
S1,S2が共に上側の測定用の直列回路M1を切換接
続したとき、Kを定数とし、発振回路3から得られる周
波数f1は次式となる。
【0010】 f1=1/(K・C1・R1) (1) 次に、スイッチ手段S1,S2が共に下側の比較用の直
列回路M2を切換選択したときに発振回路3から得られ
る周波数f2は次式となる。
【0011】 f2=1/(K・C2・R2) (2) (1),(2)式の比をとると次式となる。
【0012】 f1/f2=(C2・R2)/(C1・R1) (3) これより、 C1=[(C2・R2)/R1]・(f2/f1) (4) となり、湿度RHはC1/C0の関数なので、C1とC
0の比をとり次式を得る。
【0013】 C1/C0=[(C2・R2/C0・R1)]・(f2/f1) (5) ここで、あらかじめ湿度素子11の湿度0%H2 Oの容
量値C0に対応して基準抵抗21の抵抗値R1を選択し
て、両者をユニット化等して構成しているので、積C0
・R1の値は一定で既知であり、又、比較容量12の容
量値C2、比較抵抗2の抵抗値R2も既知であるから、
周波数f1とf2を上記のように測定で求め、(5)式
の演算を行うことにより、C1/C0が求まり、湿度R
Hが得られる。これらのスイッチ手段S1,S2の切
換、測定、演算等は演算手段4で実行される。又、積C
0・R1の値は一定で無く、C0,R1の各々が既知の
場合も、C2,R2が既知なので、(5)式からC1/
C0が求まり、湿度RHが得られる。
【0014】なお、湿度素子11の分極を防止するた
め、湿度素子11の片側はスイッチ手段S2を介し、抵
抗23,24で電圧Vを分圧した中点に接続し、この電
圧を中心として発振させ、湿度素子11等のコンデンサ
の分極を防止している。又、比較容量12、比較抵抗2
2には精度のよいものを用いると良い。
【0015】ところで、回路部品や配線等の浮遊容量誤
差分(ΔC1,ΔC2)や、スイッチ手段S1、S2の
オン抵抗等の抵抗誤差分(ΔR1,ΔR2)等が存在す
ると、(5)式は次式となる。 (C1+ΔC1)/C0 =(f2/f1) ・[(C2+ΔC2)・(R2+ΔR2)]/[C0・(R1+ΔR1)] (6) つまり、誤差分の未知数が4個で、この式からは誤差分
を見積もり、正しい測定をすることは困難である。この
ため、次のようにする。
【0016】スイッチ手段S1,S2を切換選択して、
上記第1、第2の各直列回路M1,M2のいずれかにつ
いての周波数f1,f2を測定する他に、スイッチ手段
S1は上側を選択し、スイッチ手段S2は下側を選択
し、基準抵抗21、比較容量12の第3の直列回路M3
を切換接続したときに発振回路3から得られる周波数f
3は次式となる。
【0017】 f3=1/(K・C2・R1) (7) そして、(1),(2),(7)式の周波数f1,f
2,f3について、演算手段4で、次のような比をと
る。
【0018】まず、(1),(7)式の周波数f1,f
3につき次式のような比をとる。
【0019】 f1/f3=(C2・R1)/(C1・R1) (8) これより次式が得られる。
【0020】 C1=C2・(f3/f1) (9) 次に、(2),(7)式の周波数f2,f3につき次式
のような比をとる。
【0021】 f2/f3=(C2・R1)/(C2・R2) (10) これより次式が得られる。
【0022】 R1=R2・(f2/f3) (11) (9),(11)において、C2,R2は既知であり、
周波数f1,f2,f3は測定で求まるので、C1,R
1は求めることができる。湿度RHはC1/C0の関数
なので、C1とC0の比をとりR1を用いて次式を得
る。
【0023】 C1/C0=(C1・R1)/(C0・R1) (12) ここで、あらかじめ湿度素子11の例えば湿度0%H2
Oの基準状態の容量値C0に対応して基準抵抗21の抵
抗値R1を選択して、両者をユニット化等して構成して
いるので、積C0・R1の値は一定で既知であり、又、
(9),(11)式からC1,R1は求まるので、(1
2)式からC1/C0が求まり、湿度RHが得られる。
これらの、測定、演算は演算手段4で実行される。又、
積C0・R1の値は一定で無く、C0のみが既知の場合
も、同様に(9),(11)式からC1,R1は求まる
ので、(12)式からC1/C0が求まり、湿度RHが
得られる。
【0024】なお、湿度素子11の分極を防止するた
め、湿度素子11の片側はスイッチ手段S2を介し、抵
抗23,24で電圧Vを分圧した中点に接続し、この電
圧を中心として発振させ、湿度素子11等のコンデンサ
の分極を防止し、又、比較容量12、比較抵抗22には
精度のよいものを用いると良いことも、同様である。
【0025】ところで、回路部品や配線等の浮遊容量誤
差分(ΔC1,ΔC2)や、スイッチ手段S1、S2の
オン抵抗等の抵抗誤差分(ΔR1,ΔR2)を含める
と、(9)、(11)式は次式となる。
【0026】 C1=(C2+ΔC2)・(f3/f1)−ΔC1 (13) R1=(R2+ΔR2)・(f2/f3)−ΔR1 (14) (13)式において、C1=y,(f3/f1)=x,
C2+ΔC2=a1,ΔC1=b1とすると、 y=a1・x−b1 (15) となる。あらかじめ、既知の容量値の複数個のコンデン
サを本回路で測定し、図2で示すように、xとyとの関
係をプロットし、1次式で近似する。これより、a1,
b1が求まり、ΔC1、ΔC2が次式で求まる。
【0027】 ΔC1=b1 (16) ΔC2=a1−C2 (17) したがって、(13)式において、浮遊容量を補正した
湿度素子の容量値C1を求めることができる。
【0028】又、(14)式において、R1=y,(f
2/f3)=x,R2+ΔR2=a2,ΔR1=b2と
すると、 y=a2・x−b2 (18) となる。あらかじめ、既知の抵抗値の複数個の抵抗を本
回路で測定し、同様にして、xとyとの関係をプロット
し、1次式で近似する。これより、a2,b2が求ま
り、ΔR1、ΔR2が次式で求まる。
【0029】 ΔR1=b2 (19) ΔR2=a2−R2 (20) したがって、(14)式において、抵抗誤差分を補正し
た湿度素子の容量値R1を求めることができる。
【0030】以上のことから、(13)、(14)式に
より、C1,R1は誤差分は補正により正しく求まり、
(12)式によりC1/C0が正しく得られ、湿度RH
が得られる。なお、ΔC1、ΔC2、ΔR1、ΔR2
は、演算手段4の図示しないメモリのROMテーブル等
に書き込み利用すれば良い。
【0031】
【発明の効果】以上述べたように、この発明は、湿度に
より容量値が変化する湿度素子及びこの湿度素子の容量
値との積が一定の抵抗値を持つ基準抵抗の第1の直列回
路と、所定の値の比較容量及び比較抵抗の第2の直列回
路と、この各直列回路のいずれかを選択して切換接続す
るスイッチ手段と、このスイッチ手段が各直列回路を選
択したとき等の所定の発振周波数出力を発生する発振回
路と、この発振回路が各直列回路と接続したときの各周
波数の比に基いて湿度を演算する演算手段とを備えるよ
うにした湿度測定装置である。このように、湿度により
容量値が変化する湿度素子及びこの湿度素子の容量値と
の積が一定の抵抗値を持つ基準抵抗の容量と抵抗の組等
の直列回路を切換えて周波数を測定しているので、容量
値と抵抗値の積が一定であれば、どんな大きさの容量値
の湿度素子であっても、調整レスで、必要な精度の正確
な湿度の測定ができる。又、更に基準抵抗及び比較抵抗
の第3の直列回路を選択して周波数を測定して、湿度素
子の容量値、基準抵抗の抵抗値を求め、湿度を演算する
ようにしても良く、そして、湿度素子の容量値の誤差
分、及び基準抵抗の抵抗値の誤差分をあらかじめ求め補
正して湿度を演算することにより、回路部品や配線等の
浮遊容量誤差分や、スイッチ手段のオン抵抗等の抵抗誤
差分の影響は除去でき、いっそう調整が不要の高精度の
互換型の湿度測定ができる。又、必要に応じ基準抵抗値
等のみが既知であっても、湿度測定は可能である。この
ように簡易な構成で、小形、安価、調整不要の湿度測定
が可能となり、多くの機械的な調整は必要無く、信頼性
が向上し、調整不要なので、必要に応じ容易にケースを
密閉構造にでき、様々な用途に使用できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の一実施例を示す構成説明図である。
【図2】この発明の一実施例を示す動作説明図である。
【符号の説明】
11 湿度素子 21 基準抵抗 12 比較容量 22 比較抵抗 S1,S2 スイッチ手段 3 発振回路 4 演算手段
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 横山 浩二郎 東京都板橋区熊野町32番8号 株式会社チ ノー内

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】湿度により容量値が変化する湿度素子及び
    この湿度素子の容量値との積が一定の抵抗値を持つ基準
    抵抗の第1の直列回路と、所定の値の比較容量及び比較
    抵抗の第2の直列回路と、この各直列回路のいずれかと
    切換接続するスイッチ手段と、このスイッチ手段が各直
    列回路と接続したとき所定の発振周波数出力を発生する
    発振回路と、この発振回路が各直列回路と接続したとき
    の各周波数の比に基いて湿度を演算する演算手段とを備
    えたことを特徴とする湿度測定装置。
  2. 【請求項2】湿度により容量値が変化する湿度素子及び
    この湿度素子の容量値との積が一定の抵抗値を持つ基準
    抵抗の第1の直列回路と、所定の値の比較容量及び比較
    抵抗の第2の直列回路と、この第1、第2の各直列回路
    のいずれか又は基準抵抗及び比較容量の第3の直列回路
    と切換接続するスイッチ手段と、このスイッチ手段が第
    1、第2、第3の各直列回路と接続したとき所定の発振
    周波数出力を発生する発振回路と、この発振回路が第
    1、第2、第3の各直列回路と接続したときの第1、第
    2、第3の各周波数の比に基いて湿度素子の容量値及び
    基準抵抗の抵抗値を求め湿度を演算する演算手段とを備
    えたことを特徴とする湿度測定装置。
  3. 【請求項3】湿度素子の容量値の誤差分、及び基準抵抗
    の抵抗値の誤差分をあらかじめ求めて補正された湿度素
    子の容量値及び基準抵抗の抵抗値を用いて湿度を演算す
    る演算手段を備えたことを特徴とする請求項2記載の湿
    度測定装置。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2010237028A (ja) * 2009-03-31 2010-10-21 Yamatake Corp 湿度計測装置
CN104267071A (zh) * 2014-09-03 2015-01-07 华南理工大学 一种反应快捷的湿度测量电路

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010237028A (ja) * 2009-03-31 2010-10-21 Yamatake Corp 湿度計測装置
CN104267071A (zh) * 2014-09-03 2015-01-07 华南理工大学 一种反应快捷的湿度测量电路

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