JPH09141870A - インクジェットヘッド - Google Patents
インクジェットヘッドInfo
- Publication number
- JPH09141870A JPH09141870A JP30469095A JP30469095A JPH09141870A JP H09141870 A JPH09141870 A JP H09141870A JP 30469095 A JP30469095 A JP 30469095A JP 30469095 A JP30469095 A JP 30469095A JP H09141870 A JPH09141870 A JP H09141870A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- ink
- heating element
- flow path
- orifice
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】耐キャビテーション層が剥離しなくなり、その
下の保護層が破断しなくなる。 【解決手段】基板２上に蓄熱層３と抵抗体層４とを順次
形成し、個別電極５と共通電極６とを抵抗体層４上に対
向するように配し、保護層８と帯状の耐キャビテーショ
ン層１８とを順次配するとともに、耐キャビテーション
層１８の隣接する発熱素子１７間に切り込み１９を入れ
たサーマルヘッド１４と、流路部１３と、インク液滴を
吐出するオリフィス１１が設けられたプレート１２とを
具備したインクジェットヘッド１４。
下の保護層が破断しなくなる。 【解決手段】基板２上に蓄熱層３と抵抗体層４とを順次
形成し、個別電極５と共通電極６とを抵抗体層４上に対
向するように配し、保護層８と帯状の耐キャビテーショ
ン層１８とを順次配するとともに、耐キャビテーション
層１８の隣接する発熱素子１７間に切り込み１９を入れ
たサーマルヘッド１４と、流路部１３と、インク液滴を
吐出するオリフィス１１が設けられたプレート１２とを
具備したインクジェットヘッド１４。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はインクを加熱して発
泡させ、インク液滴としてオリフィスより吐出させるこ
とで記録をおこなうインクジェットヘッドに関するもの
である。
泡させ、インク液滴としてオリフィスより吐出させるこ
とで記録をおこなうインクジェットヘッドに関するもの
である。
【０００２】
【従来の技術】インクジェットヘッドには普通紙に記録
できる簡便性と高画質性とがあって、さらにカラー用と
してのシリアルタイプが主流となっている。しかし、１
枚のカラー画像を印画するための所要時間が長いという
問題点があるので、この問題点を解消するためにライン
タイプのインクジェットヘッドが望まれている。
できる簡便性と高画質性とがあって、さらにカラー用と
してのシリアルタイプが主流となっている。しかし、１
枚のカラー画像を印画するための所要時間が長いという
問題点があるので、この問題点を解消するためにライン
タイプのインクジェットヘッドが望まれている。
【０００３】すでに提案されたラインタイプのインクジ
ェットヘッドを図５と図６により説明する。図５はイン
クジェットヘッド１の要部構成を示す破断面斜視図であ
り、図６は図５中の切断面線Ｘ−Ｘによる断面図であ
る。
ェットヘッドを図５と図６により説明する。図５はイン
クジェットヘッド１の要部構成を示す破断面斜視図であ
り、図６は図５中の切断面線Ｘ−Ｘによる断面図であ
る。
【０００４】２はＳｉからなる厚み０．５〜１．０ｍｍ
の長尺状の基板、３は基板２上に設けた厚み１μｍ程度
のＳｉＯ2 からなる蓄熱層、４は蓄熱層３上に設けたＴ
ａ−Ａｌやポリシリコンなどからなる厚み１０００〜２
０００Å程度の抵抗体層であり、この抵抗体層４上には
Ａｌなどからなる厚み１μｍ程度の個別電極５と共通電
極６とを対向するように配設し、これによって個別電極
５と共通電極６との間に発熱領域７を形成し、かかる発
熱領域７を多数配列することによって発熱素子アレイと
なす。
の長尺状の基板、３は基板２上に設けた厚み１μｍ程度
のＳｉＯ2 からなる蓄熱層、４は蓄熱層３上に設けたＴ
ａ−Ａｌやポリシリコンなどからなる厚み１０００〜２
０００Å程度の抵抗体層であり、この抵抗体層４上には
Ａｌなどからなる厚み１μｍ程度の個別電極５と共通電
極６とを対向するように配設し、これによって個別電極
５と共通電極６との間に発熱領域７を形成し、かかる発
熱領域７を多数配列することによって発熱素子アレイと
なす。
【０００５】また、ＳｉＮなどからなる保護層８を厚み
１〜２μｍ程度で被覆し、この保護層８の上にはＴａな
どからなる耐キャビテーション層９を厚み０．５〜２μ
ｍ程度で形成し、そして、発熱領域７の周辺にシリコー
ンやエポキシなどの樹脂からなる流路用の壁１０を設け
て、さらにインクドロップレットを排出するための排出
口であるオリフィス１１が個々の発熱領域７毎に配列さ
れたＮｉやポリイミド樹脂などからなるオリフィスプレ
ート１２（以下、プレート１２とする）を配設し、これ
ら壁１０とプレート１２などで囲まれた空間領域に水溶
性インクを各々の発熱領域７へ導入する、いわゆるイン
ク流路を構成する流路部１３となす。
１〜２μｍ程度で被覆し、この保護層８の上にはＴａな
どからなる耐キャビテーション層９を厚み０．５〜２μ
ｍ程度で形成し、そして、発熱領域７の周辺にシリコー
ンやエポキシなどの樹脂からなる流路用の壁１０を設け
て、さらにインクドロップレットを排出するための排出
口であるオリフィス１１が個々の発熱領域７毎に配列さ
れたＮｉやポリイミド樹脂などからなるオリフィスプレ
ート１２（以下、プレート１２とする）を配設し、これ
ら壁１０とプレート１２などで囲まれた空間領域に水溶
性インクを各々の発熱領域７へ導入する、いわゆるイン
ク流路を構成する流路部１３となす。
【０００６】かくして上記ラインタイプのインクジェッ
トヘッド１によれば、オリフィス１１が５０μｍの径
で、３００ＤＰＩの間隔で２０００〜３０００素子にな
るように配列され、この配列でもって副走査方向に各オ
リフィス１１が適宜インク液滴を放出し、このような１
次元的な印画とともに、インクジェットヘッド１が主走
査方向に移動することで、２次元的に印画がおこなわれ
る。
トヘッド１によれば、オリフィス１１が５０μｍの径
で、３００ＤＰＩの間隔で２０００〜３０００素子にな
るように配列され、この配列でもって副走査方向に各オ
リフィス１１が適宜インク液滴を放出し、このような１
次元的な印画とともに、インクジェットヘッド１が主走
査方向に移動することで、２次元的に印画がおこなわれ
る。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記構
成のインクジェットヘッド１においては、従来の感熱記
録タイプのサーマルヘッドと比べて、保護層８の上に耐
キャビテーション層９を配しているので、その層９の耐
キャビテーション性を高めるために、一定以上の圧縮応
力が内在されるように成膜形成している（特開平６−２
９７７１３号参照）。
成のインクジェットヘッド１においては、従来の感熱記
録タイプのサーマルヘッドと比べて、保護層８の上に耐
キャビテーション層９を配しているので、その層９の耐
キャビテーション性を高めるために、一定以上の圧縮応
力が内在されるように成膜形成している（特開平６−２
９７７１３号参照）。
【０００８】そのため、基板２の長さが２００ｍｍを越
えるような長尺状のインクジェットヘッド１を作製した
場合には、図７に示すように耐キャビテーション層９に
起因して、過大な応力Ｆでもって基板２が湾曲し、さら
に基板２の端において最も応力が集中するために、この
端付近の耐キャビテーション層９が剥離したり、あるい
は保護層８が破断していた。
えるような長尺状のインクジェットヘッド１を作製した
場合には、図７に示すように耐キャビテーション層９に
起因して、過大な応力Ｆでもって基板２が湾曲し、さら
に基板２の端において最も応力が集中するために、この
端付近の耐キャビテーション層９が剥離したり、あるい
は保護層８が破断していた。
【０００９】したがって本発明の目的は耐キャビテーシ
ョン層の剥離や保護層の破断が生じない高品質かつ高信
頼性のインクジェットヘッドを提供することにある。
ョン層の剥離や保護層の破断が生じない高品質かつ高信
頼性のインクジェットヘッドを提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明のインクジェット
ヘッドは、基板上に蓄熱層と抵抗体層とを順次形成し、
この抵抗体層上に個別電極と共通電極とを対向配置して
発熱素子となすとともに、その発熱素子を複数個配列し
て発熱素子アレイを構成し、この発熱素子アレイ上に電
気的絶縁材料からなる保護層と帯状の耐キャビテーショ
ン層とを順次配し、かつ上記耐キャビテーション層の隣
接する発熱素子間に切り込みを入れたサーマルヘッド
と、このサーマルヘッド上に配してオリフィスが設けら
れたオリフィスプレートと、これらサーマルヘッドとオ
リフィスプレートとでインク流路をなす流路部とを具備
し、さらに流路部に導入されたインクのうち発熱素子付
近のインクが加熱されて発泡することにより、オリフィ
スよりインク液滴を吐出するようにしたことを特徴とす
る。
ヘッドは、基板上に蓄熱層と抵抗体層とを順次形成し、
この抵抗体層上に個別電極と共通電極とを対向配置して
発熱素子となすとともに、その発熱素子を複数個配列し
て発熱素子アレイを構成し、この発熱素子アレイ上に電
気的絶縁材料からなる保護層と帯状の耐キャビテーショ
ン層とを順次配し、かつ上記耐キャビテーション層の隣
接する発熱素子間に切り込みを入れたサーマルヘッド
と、このサーマルヘッド上に配してオリフィスが設けら
れたオリフィスプレートと、これらサーマルヘッドとオ
リフィスプレートとでインク流路をなす流路部とを具備
し、さらに流路部に導入されたインクのうち発熱素子付
近のインクが加熱されて発泡することにより、オリフィ
スよりインク液滴を吐出するようにしたことを特徴とす
る。
【００１１】
【発明の実施の形態】本発明のインクジェットヘッドを
図１〜図３により説明する。図１は実施形態のインクジ
ェットヘッド１４の要部構成を示す破断面斜視図、図２
はインクジェットヘッド１４のうちサーマルヘッド１５
の要部上面図、図３は他の実施形態のインクジェットヘ
ッド１６の要部構成を示す破断面斜視図である。なお、
図５と図６に示すインクジェットヘッド１と同一箇所に
は同一符号を付す。
図１〜図３により説明する。図１は実施形態のインクジ
ェットヘッド１４の要部構成を示す破断面斜視図、図２
はインクジェットヘッド１４のうちサーマルヘッド１５
の要部上面図、図３は他の実施形態のインクジェットヘ
ッド１６の要部構成を示す破断面斜視図である。なお、
図５と図６に示すインクジェットヘッド１と同一箇所に
は同一符号を付す。
【００１２】図１と図２に示すインクジェットヘッド１
４によれば、主としてサーマルヘッド１５と、サーマル
ヘッド１５上に配したインク流路を構成する流路部１３
と、前記オリフィスプレートとしてのインク液滴を吐出
するオリフィス１１が設けられたプレート１２とから構
成されている。
４によれば、主としてサーマルヘッド１５と、サーマル
ヘッド１５上に配したインク流路を構成する流路部１３
と、前記オリフィスプレートとしてのインク液滴を吐出
するオリフィス１１が設けられたプレート１２とから構
成されている。
【００１３】上記サーマルヘッド１５においては、Ｓｉ
からなる厚み０．５〜１．０ｍｍの長尺状の基板２上に
厚み１μｍ程度のＳｉＯ2 からなる蓄熱層３、Ｔａ−Ａ
ｌやポリシリコンなどからなる厚み１０００〜２０００
Å程度の抵抗体層４とを順次積層し、抵抗体層４上には
Ａｌなどからなる厚み１μｍ程度の個別電極５と共通電
極６とを対向するように配設し、これによって個別電極
５と共通電極６との間に発熱領域７を形成して発熱素子
１７となし、このような発熱素子１７を多数配列するこ
とによって３００ＤＰＩの間隔で２０００〜３０００素
子になる発熱素子アレイを構成する。さらにかかる発熱
素子アレイ上に厚み１〜２μｍ程度のＳｉＮなどの電気
的絶縁材料からなる保護層８と、厚み０．５〜２μｍ程
度のＴａなどからなる帯状の耐キャビテーション層１８
を形成している。
からなる厚み０．５〜１．０ｍｍの長尺状の基板２上に
厚み１μｍ程度のＳｉＯ2 からなる蓄熱層３、Ｔａ−Ａ
ｌやポリシリコンなどからなる厚み１０００〜２０００
Å程度の抵抗体層４とを順次積層し、抵抗体層４上には
Ａｌなどからなる厚み１μｍ程度の個別電極５と共通電
極６とを対向するように配設し、これによって個別電極
５と共通電極６との間に発熱領域７を形成して発熱素子
１７となし、このような発熱素子１７を多数配列するこ
とによって３００ＤＰＩの間隔で２０００〜３０００素
子になる発熱素子アレイを構成する。さらにかかる発熱
素子アレイ上に厚み１〜２μｍ程度のＳｉＮなどの電気
的絶縁材料からなる保護層８と、厚み０．５〜２μｍ程
度のＴａなどからなる帯状の耐キャビテーション層１８
を形成している。
【００１４】この耐キャビテーション層１８について
は、従来のインクジェットヘッド１を示す図６におい
て、耐キャビテーション層９に代えて耐キャビテーショ
ン層１８を設けた構造となっている。したがって、図６
に示す如く、サーマルヘッド１５上に設けたプレート１
２と流路部１３は次のような構造になっている。すなわ
ち、発熱領域７の周辺にシリコーンやエポキシなどの樹
脂からなる流路用の壁１０を設けて、さらに５０μｍ径
のオリフィス１１が個々の発熱領域７毎に配列されたＮ
ｉやポリイミド樹脂などからなるプレート１２を配設
し、これら壁１０とプレート１２とでもって流路部１３
を構成する。
は、従来のインクジェットヘッド１を示す図６におい
て、耐キャビテーション層９に代えて耐キャビテーショ
ン層１８を設けた構造となっている。したがって、図６
に示す如く、サーマルヘッド１５上に設けたプレート１
２と流路部１３は次のような構造になっている。すなわ
ち、発熱領域７の周辺にシリコーンやエポキシなどの樹
脂からなる流路用の壁１０を設けて、さらに５０μｍ径
のオリフィス１１が個々の発熱領域７毎に配列されたＮ
ｉやポリイミド樹脂などからなるプレート１２を配設
し、これら壁１０とプレート１２とでもって流路部１３
を構成する。
【００１５】さらにまた、本発明の特徴である耐キャビ
テーション層１８については、図２に示すように隣接す
る発熱素子１７間の部位でもって切り込み１９を入れて
いる。たとえば、発熱領域７の幅Ｗ１が６０μｍである
場合には、耐キャビテーション層１８の切り込み１９部
分の幅Ｗ２が１５μｍとなるようにする。
テーション層１８については、図２に示すように隣接す
る発熱素子１７間の部位でもって切り込み１９を入れて
いる。たとえば、発熱領域７の幅Ｗ１が６０μｍである
場合には、耐キャビテーション層１８の切り込み１９部
分の幅Ｗ２が１５μｍとなるようにする。
【００１６】そして、流路部１３に導入されたインクに
おいて、ある発熱素子１７に電力印加されると、その発
熱素子１７付近のインクは熱エネルギーを受けて発泡
し、その発熱素子１７に対応するオリフィス１１を通し
てインク液滴が吐出する。
おいて、ある発熱素子１７に電力印加されると、その発
熱素子１７付近のインクは熱エネルギーを受けて発泡
し、その発熱素子１７に対応するオリフィス１１を通し
てインク液滴が吐出する。
【００１７】かくして上記構成のインクジェットヘッド
１４によれば、一定以上の圧縮応力のある耐キャビテー
ション層１８を設けても、その圧縮応力が切り込み１９
でもって分散されるので、基板２には湾曲が生じなくな
り、これによって基板２の端付近の耐キャビテーション
層１８が剥離しなくなり、また、保護層８が破断しなく
なる。
１４によれば、一定以上の圧縮応力のある耐キャビテー
ション層１８を設けても、その圧縮応力が切り込み１９
でもって分散されるので、基板２には湾曲が生じなくな
り、これによって基板２の端付近の耐キャビテーション
層１８が剥離しなくなり、また、保護層８が破断しなく
なる。
【００１８】本発明の他の実施形態であるインクジェッ
トヘッド１６を図３の破断面斜視図でもって説明する。
なお、図１および図２に示すインクジェットヘッド１４
と同一箇所には同一符号を付す。
トヘッド１６を図３の破断面斜視図でもって説明する。
なお、図１および図２に示すインクジェットヘッド１４
と同一箇所には同一符号を付す。
【００１９】前述したインクジェットヘッド１４におい
ては、帯状の耐キャビテーション層１８に両側より切り
込み１９を入れているが、本例のインクジェットヘッド
１６によれば、帯状の耐キャビテーション層２０の長手
一方側および長手他方側に切り込み２１を順次交互に入
れている。
ては、帯状の耐キャビテーション層１８に両側より切り
込み１９を入れているが、本例のインクジェットヘッド
１６によれば、帯状の耐キャビテーション層２０の長手
一方側および長手他方側に切り込み２１を順次交互に入
れている。
【００２０】上記構成のインクジェットヘッド１６にお
いても、同様に圧縮応力が切り込み２１でもって分散さ
れるので、基板２の端付近の耐キャビテーション層２０
が剥離しなくなり、また、保護層８が破断しなくなる。
いても、同様に圧縮応力が切り込み２１でもって分散さ
れるので、基板２の端付近の耐キャビテーション層２０
が剥離しなくなり、また、保護層８が破断しなくなる。
【００２１】
【実施例】Ｗ２が１５μｍである切り込み１９を設けた
以外は同じ構成とした本発明のインクジェットヘッド１
４および従来技術のインクジェットヘッド１について
（双方の耐キャビテーション層は厚みが１．５μｍであ
る）、基板の端付近における耐キャビテーション層の剥
離発生不良率を、基板長さに対して測定したところ、図
４に示すような結果が得られた。なお、この不良発生率
は、１００個のインクジェットヘッドを同じ条件で作製
した場合に、１か所でも剥離などが発生したものを不良
と認定して、その割合をあらわす。
以外は同じ構成とした本発明のインクジェットヘッド１
４および従来技術のインクジェットヘッド１について
（双方の耐キャビテーション層は厚みが１．５μｍであ
る）、基板の端付近における耐キャビテーション層の剥
離発生不良率を、基板長さに対して測定したところ、図
４に示すような結果が得られた。なお、この不良発生率
は、１００個のインクジェットヘッドを同じ条件で作製
した場合に、１か所でも剥離などが発生したものを不良
と認定して、その割合をあらわす。
【００２２】図４の結果から明らかなとおり、本発明の
インクジェットヘッド１４によれば、基板長さが２８０
ｍｍになって、ようやく不良が発生するのであるが、こ
れに対する従来技術のインクジェットヘッド１において
は、基板長さが１００ｍｍになって不良が発生した。し
たがって、本発明は従来と比べて約２．８倍の耐性があ
ることがわかる。そして、本発明のインクジェットヘッ
ド１４を印画幅がＢ４サイズに使用することができる。
インクジェットヘッド１４によれば、基板長さが２８０
ｍｍになって、ようやく不良が発生するのであるが、こ
れに対する従来技術のインクジェットヘッド１において
は、基板長さが１００ｍｍになって不良が発生した。し
たがって、本発明は従来と比べて約２．８倍の耐性があ
ることがわかる。そして、本発明のインクジェットヘッ
ド１４を印画幅がＢ４サイズに使用することができる。
【００２３】また、本発明のインクジェットヘッド１４
においては、切り込み１９を入れた耐キャビテーション
層１８に局所的に静電気が発生しても、その静電気は直
ちに分散され、静電破壊が生じなくなっていた。
においては、切り込み１９を入れた耐キャビテーション
層１８に局所的に静電気が発生しても、その静電気は直
ちに分散され、静電破壊が生じなくなっていた。
【００２４】なお、本発明は上記実施例および実施形態
に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない
範囲内で種々の変更や改良などを何ら差し支えない。た
とえば、上記実施例によれば、基板長さが２８０ｍｍ未
満で使用できるものであったが、耐キャビテーション層
１７や保護層８の幅や厚み、さらに切り込み１９、２１
の形状や寸法を適当に変えることで各種サイズの基板に
適用できる。
に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない
範囲内で種々の変更や改良などを何ら差し支えない。た
とえば、上記実施例によれば、基板長さが２８０ｍｍ未
満で使用できるものであったが、耐キャビテーション層
１７や保護層８の幅や厚み、さらに切り込み１９、２１
の形状や寸法を適当に変えることで各種サイズの基板に
適用できる。
【００２５】
【発明の効果】かくして本発明のインクジェットヘッド
によれば、耐キャビテーション層に切り込みを設けてい
るので、その層に圧縮応力があっても、それが切り込み
により分散されて、基板には湾曲が生じなくなり、これ
によって基板の端付近の耐キャビテーション層が剥離し
なくなり、また、その下の保護層が破断しなくなり、そ
の結果、高品質かつ高信頼性のインクジェットヘッドが
提供できる。
によれば、耐キャビテーション層に切り込みを設けてい
るので、その層に圧縮応力があっても、それが切り込み
により分散されて、基板には湾曲が生じなくなり、これ
によって基板の端付近の耐キャビテーション層が剥離し
なくなり、また、その下の保護層が破断しなくなり、そ
の結果、高品質かつ高信頼性のインクジェットヘッドが
提供できる。
【図１】本発明のインクジェットヘッドの要部構成を示
す破断面斜視図である。
す破断面斜視図である。
【図２】本発明のインクジェットヘッドのうちサーマル
ヘッドの要部上面図である。
ヘッドの要部上面図である。
【図３】本発明の他のインクジェットヘッドの要部構成
を示す破断面斜視図である。
を示す破断面斜視図である。
【図４】実施例における剥離などの不良が発生する比率
をあらわす線図である。
をあらわす線図である。
【図５】従来のインクジェットヘッドの要部構成を示す
破断面斜視図である。
破断面斜視図である。
【図６】図５中の切断面線Ｘ−Ｘによる断面図である。
【図７】従来のインクジェットヘッドにおける耐キャビ
テーション層や基板などの湾曲状態を示す断面図であ
る。
テーション層や基板などの湾曲状態を示す断面図であ
る。
１、１４、１６ インクジェットヘッド ２ 基板 ３ 蓄熱層 ４ 抵抗体層 ５ 個別電極 ６ 共通電極 ７ 発熱領域 ８ 保護層 ９、１８、２０ 耐キャビテーション層 １０ 壁 １１ オリフィス １２ プレート １３ 流路部 １５ サーマルヘッド １７ 発熱素子 １９、２１ 切り込み
Claims (1)
- 【請求項１】基板上に蓄熱層と抵抗体層とを順次形成
し、この抵抗体層上に個別電極と共通電極とを対向配置
して発熱素子となすとともに、該発熱素子を複数個配列
して発熱素子アレイを構成し、この発熱素子アレイ上に
電気的絶縁材料からなる保護層と帯状の耐キャビテーシ
ョン層とを順次配し、かつ上記耐キャビテーション層の
隣接する発熱素子間に切り込みを入れたサーマルヘッド
と、該サーマルヘッド上に配してオリフィスが設けられ
たオリフィスプレートと、これらサーマルヘッドとオリ
フィスプレートとでインク流路をなす流路部とを具備す
るとともに、該流路部に導入されたインクのうち上記発
熱素子付近のインクが加熱されて発泡することにより、
オリフィスよりインク液滴を吐出するようにしたインク
ジェットヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30469095A JP3638356B2 (ja) | 1995-11-22 | 1995-11-22 | インクジェットヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30469095A JP3638356B2 (ja) | 1995-11-22 | 1995-11-22 | インクジェットヘッド |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09141870A true JPH09141870A (ja) | 1997-06-03 |
| JP3638356B2 JP3638356B2 (ja) | 2005-04-13 |
Family
ID=17936056
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30469095A Expired - Fee Related JP3638356B2 (ja) | 1995-11-22 | 1995-11-22 | インクジェットヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3638356B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9385263B2 (en) | 2008-12-12 | 2016-07-05 | Schott Solar Ag | Method for producing a dopant profile |
-
1995
- 1995-11-22 JP JP30469095A patent/JP3638356B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9385263B2 (en) | 2008-12-12 | 2016-07-05 | Schott Solar Ag | Method for producing a dopant profile |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3638356B2 (ja) | 2005-04-13 |
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