JPH09133663A - 超音波検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 周辺を超音波伝搬媒質で濡らすことなく、迅
速な検査を可能とした超音波検査装置を提供する。 【解決手段】 超音波伝搬媒質が溜められるとともに被
検体８を搬出入する上向きの開口が形成された水槽３
と、水槽３内に被検体８を保持するフック１０と、水槽
３内に設けられフック１０で保持された被検体８に向け
て超音波を送出するとともに被検体８からの反射波を受
信する超音波探触子５と、超音波探触子５を走査する磁
石プレート６およびスキャナ７とを備え、超音波探触子
５を磁石プレート６およびスキャナ７により水槽３の底
面側または側面側で移動させる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、超音波を用いて非
破壊検査を行なう超音波検査装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】図６は従来の超音波検査装置の一例を示
す。この装置は被検体１０１を収納する水槽１０２と、
被検体１０１に向けて超音波パルスを送出するととも
に、被検体１０１からの反射波を受信する集束型超音波
探触子１０３と、超音波探触子１０３をＸ、Ｙ、Ｚ方向
に駆動する３軸スキャナ１０４とを備える。水槽１０２
に浸けられた被検体１０１の検査面を探触子１０３が走
査すると、探触子１０３は受信信号を出力し、受信信号
は超音波探傷器１０５、コントローラ１０６およびデー
タ処理装置１０７を経てＣＲＴ１０８に送られ、ＣＲＴ
１０８には探傷画像が表示される。波形表示器１０９は
Ａスコープ探傷画像を表示するために用いられる。ま
た、３軸スキャナ１０４はコントローラ１０６により制
御される。このように被検体１０１を水槽１０２の水中
に浸した状態で探触子１０３をＸＹ平面上で走査するこ
とにより、Ｂスコープ表示およびＣスコープ表示などの
２次元の探傷像が得られる。

【０００３】図７は、集束型超音波探触子に代えてアレ
イ探触子１０３Ａを用いた従来の装置を示す。この装置
においても、水中の被検体１０１の検査面に沿ってアレ
イ探触子１０３Ａを走査することにより、２次元での被
検体１０１の非破壊検査が可能である。

【０００４】図８は、局部水浸式探傷に使用する従来装
置を示す。この装置は、被検体１１１を載置する支持台
１１０と、下向きに開口された容器１１２と、容器１１
２に収納され容器１１２の開口に向けて超音波を送出す
る探触子１１３と、探触子１１３をＸ、Ｙ、Ｚ方向に駆
動するスキャナ１１４とを備える。容器１１２に形成さ
れた注水口１１５を介して水を注入し続けることによ
り、容器１１２内は水で満たされる。このように、探触
子１１３と被検体１１１との間に水を満たし、超音波の
伝搬を可能とした状態でスキャナ１１４により探触子１
１３をＸＹ平面内で走査することで、被検体１１１の検
査が行なわれる。

【０００５】図９は、被検体の下面から局部水浸式探傷
を行なう際に適用される従来装置を示す。この装置は、
被検体１１７を支持する支持台１１６と、上向きに開口
された容器１１８と、容器１１８に収納され容器１１８
の開口に向けて超音波を送出する探触子１１９と、探触
子１１９をＸ、Ｙ、Ｚ方向に駆動するスキャナ１２０と
を備える。容器１１８に形成された注水口１２１から注
水し、容器１１８の内部を水で満たすことにより探触子
と被検体の間の超音波伝搬を可能とした状態で、被検体
１１７の下面に沿って探触子１１９をＸＹ平面内で走査
する。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】図６および図７に示す
従来装置では、被検体の水槽中への搬入および水槽から
の搬出に際し、探触子１０３、１０３Ａやスキャナ１０
４が作業の邪魔となり、被検体の搬入、搬出作業も含め
た検査時間が長くなるという問題がある。また、図８に
示す装置では、探触子１１３と被検体１１１の間に空気
泡が混入しやすい。さらに図９の装置では、容器１１８
から溢れ出した水が周辺機器を濡らしやすく、また、水
を保持したまま探触子１１９を走査することは困難であ
る。

【０００７】本発明の目的は、周辺を超音波伝搬媒質で
濡らすことなく、迅速な検査を可能とした超音波検査装
置を提供することにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】実施の形態を示す図１〜
図４に対応づけて説明すると、請求項１に記載の発明
は、超音波伝搬媒質を介して被検体８へ超音波を送出
し、被検体８中での反射波を捉えて被検体８の検査を行
なう超音波検査装置に適用される。そして、超音波伝搬
媒質が溜められるとともに被検体８を搬出入する上向き
の開口が形成された媒質槽３と、媒質槽３内に被検体８
を保持する保持手段１０と、媒質槽３内に設けられ保持
手段１０で保持された被検体８に向けて超音波を送出す
るとともに被検体８からの反射波を受信する超音波探触
子５と、超音波探触子５を走査する走査手段６、７とを
備え、超音波探触子５を走査手段６、７により媒質槽３
の底面側または側面側に移動可能に設けるものである。
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の超音波検査
装置において、超音波探触子５を媒質槽３に搬入された
被検体８の下方で水平方向に走査するものである。請求
項３に記載の発明は、請求項１または２に記載の超音波
検査装置において、走査手段として、媒質槽３の外側に
設けられ超音波探触子５を磁気的作用力により走査する
磁場を発生する磁場発生装置６、７を用いるものであ
る。請求項４に記載の発明は、請求項３に記載の超音波
検査装置において、磁場発生装置を磁石６と磁石６を移
動する移動装置７とから構成するものである。請求項５
に記載の発明は、開口１９Ａが形成された容器１９に超
音波伝搬媒質２５を注入し、容器１９内部に取付けられ
開口方向に向けて超音波を送出する超音波探触子２０を
被検体８に即して走査することにより被検体８の検査を
する超音波検査装置に適用される。そして、容器１９を
支持するとともに開口１９Ａから溢れ出る超音波伝搬媒
質２５を受け取る媒質受け１８と、超音波探触子２０を
容器１９とともに走査する走査手段２１、２２とを備
え、超音波探触子２０は走査手段２１、２２により媒質
受け１８の底面側または側面側に移動可能に設けること
により上述の目的が達成される。請求項６に記載の発明
は、請求項５に記載の超音波検査装置において、媒質受
け１８に捉えられた超音波伝搬媒質２５を容器１９に注
入する循環装置２８を設けるものである。請求項７に記
載の発明は、請求項５または６に記載の超音波検査装置
において、走査手段として、超音波探触子２０を磁気的
作用力により走査する磁場を発生する磁場発生装置２
１、２２を用いるものである。請求項８に記載の発明
は、請求項７に記載の超音波検査装置において、磁場発
生装置を磁石２１と磁石２１を移動する移動装置２２と
から構成するものである。

【０００９】請求項１に記載の発明では、媒質槽３の外
側に設けられた走査手段６、７により超音波探触子５が
走査され、媒質槽３の開口を介して被検体８が搬入、搬
出される。請求項２に記載の発明では、探触子５が被検
体８の下方で水平方向に走査される。請求項３に記載の
発明では、媒質槽３の外側に設けられた磁場発生装置
６、７が超音波探触子５を磁気的作用力により走査する
磁場を発生する。請求項４に記載の発明では、移動装置
７が磁石６を移動し、超音波探触子５を磁気的作用力に
より走査する。請求項５に記載の発明では、媒質受け１
８が容器１９を支持するとともに開口１９Ａから溢れ出
る超音波伝搬媒質２５を受け取る。また、走査手段２
１、２２が超音波探触子２０を容器１９とともに走査す
る。請求項６に記載の発明では、循環装置２８が媒質受
け１８に捉えられた超音波伝搬媒質２５を容器１９に注
入する。請求項７に記載の発明では、磁場発生装置２
１、２２が、超音波探触子２０を磁気的作用力により走
査する磁場を発生する。請求項８に記載の発明では、移
動装置２２が磁石２１を移動し、超音波探触子２０を磁
気的作用力により走査する。

【００１０】なお、本発明の構成を説明する上記課題を
解決するための手段と作用の項では、本発明を分かり易
くするために実施例の図を用いたが、これにより本発明
が実施例に限定されるものではない。

【００１１】

【発明の実施の形態】

−第１の実施の形態の超音波検査装置− 図１は、本発明による超音波検査装置の第１の実施の形
態を示す。第１の実施の形態の超音波検査装置は、床１
に固定された水槽支持部材２と、水槽支持部材２に支持
され上向きに開口した水槽３と、水槽３の底板３ａ上に
滑走可能に設けられた強磁性体金属製の金属板４と、金
属板４に取付けられ上向きに超音波を送出するとともに
反射波を受信する超音波探触子５と、水槽３の底板３ａ
を介して金属板４と対向して設けられた磁石プレート６
と、床１に取付けられ磁石プレート６をＸＹ平面内で駆
動するスキャナ７とを備える。スキャナ７はコントロー
ラ１１により制御される。一方、被検体８はロープ９を
介してフック１０により吊り下げられ、駆動装置１２に
よりフック１０を駆動することで被検体８が移動され
る。フック１０の位置はコントローラ１１により制御さ
れる。

【００１２】探触子５で受信された反射波は電気信号に
変換され、電気信号は超音波探傷器１３、コントローラ
１１およびデータ処理装置１４を経て、ＣＲＴ１５に探
傷画像として表示される。超音波探傷器１３に接続され
た波形表示器１６はＣＲＴ１５の探傷画像をＡスコープ
表示するためのものである。

【００１３】以上のように構成された第１の実施の形態
の装置を使用して、被検体８の検査をする場合の手順に
ついて説明する。まず、被検体８をフック１０により搬
送して、予め所定量の水が入れられた水槽３中に被検体
８を降ろし、被検体８の下面を水中に沈める。次に、フ
ック１０の上下位置を微調整して探触子５の焦点と被検
体８の検査部位の深さとを一致させた後、スキャナ７を
作動させて磁石プレート６をＸＹ平面内で走査する。こ
のとき、磁石プレート６と金属板４との間の吸引力によ
り金属板４は磁石プレート６に追従して移動するので、
金属板４に取付けられた探触子５がＸＹ平面内で走査さ
れることとなる。探触子５と被検体８の間は水により満
たされているので、探触子５から送出された超音波は水
中を伝播して被検体８に入射する。被検体中の所定部位
で反射された反射波は、再び水中を伝播して探触子５で
受信される。反射波の受信により生じた探触子５の信号
は、上述のように探傷像に変換されてＣＲＴ１５に表示
される。被検体８の探傷終了後、フック１０を上昇させ
ることにより被検体８が水槽３から搬出される。

【００１４】第１の実施の形態の装置では、水槽３の上
方から被検体８の水槽３への搬入、搬出がなされ、搬入
された被検体８の下方に設けられた探触子５およびスキ
ャナ７により探傷走査が行なわれるので、被検体８の搬
入、搬出時に探触子５を移動させたり取り外したりする
必要がなく、超音波検査を短時間で行なうことができ
る。また、探触子５を走査する磁石プレート６およびス
キャナ７は水槽３の下方に設けられているので、被検体
８の搬出入を妨害しない。さらに、この装置では探触子
５と被検体の下面との間隙を水で満たせば検査が可能で
あり、必ずしも被検体全体を水中に浸ける必要がないの
で、サイズや機構的な理由から全体を水中に沈めること
ができない被検体の検査にも適用できる。

【００１５】第１の実施の形態では、スキャナ７および
磁石プレート６を用いているが、スキャナ７および磁石
プレート６に代えて、探触子５を移動させるための磁場
を発生させる装置を使用してもよい。例えば、複数の電
磁石を水槽３の底面に沿って並べ、各電磁石の電流を制
御することにより所望の磁場を発生させるようにしても
よい。また金属板４に代えて磁石を用い、水槽３の下側
に設けた磁場発生装置により磁場を制御して磁石に所定
の作用力を与えるようにしてもよい。その他、リニアモ
ータで利用される周知の技術などが適用可能である。さ
らに、磁気的な作用力により探触子を移動させる代り
に、機械的な機構により探触子を移動させてもよい。例
えば、水槽内の底部にボールねじを設け、探触子にはボ
ールねじと螺合する雌ねじを形成すれば、ボールねじの
回転により探触子を移動することができる。

【００１６】−第２の実施の形態の超音波検査装置− 図２は、本発明による超音波検査装置の第２の実施の形
態を示す。第２の実施の形態の装置は、床１に固定され
たトレイ支持部材１７と、トレイ支持部材１７に支持さ
れたトレイ１８と、トレイ１８の底板１８ａ上に設けら
れ強磁性体材料で作製されたプローブケース１９と、プ
ローブケース１９の内部に取付けられた探触子２０と、
トレイ１８の底板１８ａを介してプローブケース１９と
対向して設けられた磁石プレート２１と、トレイ１８の
下方で床１に固定され、磁石プレート２１をＸＹ平面内
で駆動するスキャナ２２とを備える。被検体８はロープ
９を介してフック１０により吊り下げられ、フック１０
の移動に伴って被検体８が移動する。スキャナ２２およ
びフック１０は第１の実施の形態の装置と同様に制御さ
れる。また、探触子２０で受信された反射波は、第１の
実施の形態の装置と同様に電気信号に変換され、探傷像
として表示される。

【００１７】図２（ｂ）に示すように、プローブケース
１９は上方に開口１９Ａが形成され、探触子２０はこの
開口に向けて取付けられている。プローブケース１９の
側面には注水口２３が形成され、注水口２３に接続され
たパイプ２４を介してプローブケース内に水２５が注入
される。注入された水２５はプローブケース１９の内部
を満たし、開口１９Ａから溢れる。プローブケース１９
から溢れた水はトレイ１８で受け取られた後、トレイ１
８に形成された排水口２７を介して排水され、循環装置
２８により再びパイプ２４を介してプローブケース１９
に注水される。

【００１８】以上のように構成された第２の実施の形態
の装置を使用して被検体８の検査をする場合の手順につ
いて説明する。まず、被検体８をフック１０により搬送
して、被検体８の下面を探触子２０に接近させる。次
に、フック１０の上下位置を微調整することにより探触
子２０の焦点を被検体８の検査部位の深さに一致させ、
この状態で、スキャナ２２を作動させて磁石プレート２
１をＸＹ平面内で走査する。磁石プレート２１を走査す
ると、磁石プレート２１との間の吸引力によりプローブ
ケース１９は磁石プレート２１に追従して移動するの
で、プローブケース１９に取付けられた探触子２０がＸ
Ｙ平面内で走査されることとなる。プローブケース１９
に注入された水２５は探触子２０と被検体８の間隙を満
たすので、探触子２０から送出された超音波は水中を伝
播して被検体８に入射する。被検体中の所定部位で反射
された反射波は、再び水中を伝播して探触子５で受信さ
れ、探傷像として表示される。外部被検体８の探傷終了
後、フック１０を上昇させることにより被検体８が搬出
される。

【００１９】第２の実施の形態の装置では、トレイ１８
の上方から被検体８の搬入、搬出が行なわれ、被検体８
の下方に設けられた探触子２０をトレイ１８の下方に設
けた磁石プレート２１およびスキャナ２２により走査す
るので、被検体８の搬入、搬出時に探触子２０、磁石プ
レート２１およびスキャナ２２が邪魔とならず検査が短
時間で済む。さらに、この装置では被検体の下面（検査
面）にプローブケース１９を接近させれば検査が可能で
あり、被検体を水に浸ける必要がないため、サイズや機
構的な理由から水中に浸けることができない被検体の検
査にも適用できる。第２の実施の形態の装置では、プロ
ーブケース１９と被検体８との間から溢れた水２５はト
レイ１８で受け取られた後、排出口２７を通って排出さ
れるので、トレイ１８から水が溢れ出ることはない。ま
た、トレイ１８の水は循環装置２８により再びプローブ
ケース１９に供給されるので水の使用量が小量に抑えら
れる。

【００２０】−第３の実施の形態の超音波検査装置− 以下、図３を用いて本発明による超音波検査装置の第３
の実施の形態について説明する。なお、第１の実施の形
態の装置と同一の要素には同一の符号を付してその説明
を省略する。第３の実施の形態の超音波検査装置は、水
槽３の底面に取付けられたレベル可変型被検体支持具３
０を備え、被検体支持具３０の高さをねじ機構により調
節することで被検体８の設置位置を上下方向に可変する
ことができる。水槽３の底板３ａ上には、下部に永久磁
石３１ａを内蔵したアレイ探触子３１が滑走可能に設け
られ、アレイ探触子３１の上面には上向きに超音波を送
出するとともに反射波を受信する複数の素子３１ｂが配
列されている。水槽３には被検体８の下面よりも高い位
置まで水が入れられており、アレイ探触子３１の上面と
被検体８の下面との間は水で満たされている。水槽３の
底板３ａの下面側にはアレイ探触子３１と対向して電磁
石３２が設けられ、床１に取付けられたスキャナ３３に
よりＸＹ平面内で駆動される。電磁石３２のコイルに供
給される電流およびスキャナー３３はコントローラ３４
により制御される。探触子３１で受信された反射波は電
気信号に変換され、超音波探傷器１３、コントローラ３
４およびデータ処理装置１４を経て、ＣＲＴ１５に探傷
画像として表示される。

【００２１】以上のように構成された第３の実施の形態
の装置を使用して被検体８の検査をする場合の手順につ
いて説明する。まず、予め所定量の水が入れられた水槽
３内部の被検体支持具３０上に被検体を載置する。次
に、被検体支持具３０を調節して探触子３１の焦点と被
検体８の検査部位の深さとを一致させる。この状態で、
電磁石３２のコイルに電流を流しながらスキャナ３３を
作動させ、電磁石３２をＸＹ平面内で走査する。このと
き、電磁石３２と永久磁石３１ａとの間の吸引力により
アレイ探触子３１は電磁石３２に追従して移動するの
で、アレイ探触子３１がＸＹ平面内で走査されこととな
る。アレイ探触子３１と被検体８の間は水により満たさ
れているので、アレイ探触子３１から送出された超音波
は水中を伝播して被検体８に入射する。被検体中の所定
部位で反射された反射波は、再び水中を伝播してアレイ
探触子３１で受信される。

【００２２】第３の実施の形態の装置では、水槽３の上
方から被検体８の水槽３への搬入、搬出がなされ、搬入
された被検体８の下方に設けられたアレイ探触子３１お
よびスキャナ３３により探傷走査が行なわれるので、被
検体８の搬入、搬出時にアレイ探触子３１を移動させた
り取り外したりする必要がなく、超音波検査を短時間で
行なうことができる。また、アレイ探触子３１と被検体
の下面との間隙を水で満たすことにより検査が可能であ
り、被検体全体を水に浸ける必要がないので、水中に沈
めることができない被検体の検査にも適用できる。さら
に、被検体を被検体支持具３０により確実に固定でき、
しかも位置決めの微調整が可能なので被検体の内部を精
密に検査することができる。

【００２３】−第４の実施の形態の超音波検査装置− 図４は、本発明による超音波検査装置の第４の実施の形
態を示す。第４の実施の形態の装置は、床１に固定され
た水槽支持部材３５と、水槽支持部材３５に支持され上
向きに開口した水槽３６と、水槽３６の底板３６ａ上に
滑走可能に設けられ強磁性体金属のケースに収められた
探触子３７と、水槽３６の底板３６ａを介して探触子３
７と対向して設けられた磁石プレート３８と、床１に取
付けられ磁石プレート３８をＸＹ平面内で駆動するスキ
ャナ３９とを備える。被検体（例えば半導体ウエハ）４
０は吸引盤４１の吸引力により吸引盤４１に把持され、
吸引盤４１はＺ軸スキャナ４２により上下方向に移動さ
れる。

【００２４】以上のように構成された第４の実施の形態
の装置を使用して被検体４０の検査をする場合の手順に
ついて説明する。まず、被検体４０を吸引盤４１で吸引
して予め所定量の水が入れられた水槽中に被検体４０を
降ろし、Ｚ軸スキャナ４２を作動させて被検体４０の上
下位置を調整することにより探触子３７の焦点と被検体
４０の検査部位の深さとを一致させる。この状態で、ス
キャナ３９を作動させて磁石プレート３８をＸＹ平面内
で走査する。探触子３７は磁石プレート３８に吸引され
て移動し、探触子３７がＸＹ平面内で走査されることと
なる。探触子３７と被検体４０の間は水により満たされ
ているので、探触子３７から送出された超音波は水中を
伝播して被検体４０に入射する。被検体中の所定部位で
反射された反射波は、再び水中を伝播して探触子３７で
受信される。受信信号は第１〜第３の実施の形態の装置
と同様、探傷像に変換されて表示される。

【００２５】第４の実施の形態の装置では、被検体４０
が水槽３６の上方から搬入、搬出され、探触子３７やス
キャナ３９が検査される被検体４０の下方に取付けられ
ているので、探触子３７やスキャナ３９が被検体４０の
搬入、搬出を妨害せず検査が短時間でなされる。

【００２６】−第５の実施の形態の超音波検査装置− 図５は、本発明による超音波検査装置の第５の実施の形
態を示す。第５の実施の形態の超音波検査装置は、第１
の実施の形態の超音波探触子を水槽の側面に移動したも
のである。図５に示すように水槽３ＡおよびＸＹスキャ
ナ７Ａが床１Ａに固定され、水槽３Ａ内に被検体８Ａが
入れられる。超音波探触子５Ａには金属板４Ａが取付け
られ、水槽３Ａの側板を挟んで金属板４Ａと対向して設
けられた磁石プレート６ＡがＸＹスキャナ７Ａにより駆
動されるように構成されている。フック１０Ａの位置調
整により超音波探触子５Ａの焦点を被検体８Ａの探傷部
位に合わせた状態で磁石プレート６Ａを駆動すると、金
属板４Ａは磁石プレート６Ａに吸引されて水槽３Ａの側
板上を移動するので、超音波探触子５Ａが被検体８Ａの
側面に沿って走査される。

【００２７】第５の実施の形態の装置では、超音波探触
子５Ａを水槽３Ａの側板に沿って移動可能に設けること
により、被検体８Ａを側面から検査可能としている。こ
のように超音波探触子５Ａを水槽３Ａの側面側に設けた
場合も、水槽の底面側に設けた場合（第１の実施の形
態）と同様、探触子５Ａおよびスキャナ７Ａが被検体の
搬入、搬出を妨害しないので、被検体の検査を短時間で
行なうことができる。

【００２８】

【発明の効果】請求項１および２に記載の発明によれ
ば、超音波探触子および超音波探触子を走査する走査手
段が媒質槽の底面側または側面側に設けられているの
で、媒質槽の開口を介して被検体の搬入、搬出をする際
に、超音波探触子および走査手段が作業を妨害しない。
また、被検体の全体を超音波伝搬媒質中に浸ける必要が
ないため、検査対象が拡大する。請求項３に記載の発明
によれば、走査手段として媒質槽の外側に設けられた磁
場発生装置を用いるので、媒質槽内の超音波探触子を容
易に走査することができる。請求項４に記載の発明によ
れば、磁場発生装置を磁石と磁石を移動する移動装置と
から構成するので、媒質槽内の超音波探触子を容易に走
査することができる。請求項５に記載の発明によれば、
媒質受けが容器の開口から溢れ出る超音波伝搬媒質を受
け取るので、周辺を媒質で濡らすことなく検査ができ
る。請求項６に記載の発明によれば、媒質受けに捉えら
れた超音波伝搬媒質を容器に注入する循環装置を備える
ので、媒質の使用量がわずかの量で済み、また媒質受け
から媒質をこぼすおそれがなくなる。請求項７に記載の
発明によれば、走査手段として磁場発生装置を用いるの
で、媒質受け上の探触子を容易に走査することができ
る。請求項８に記載の発明によれば、磁場発生装置を磁
石と磁石を移動する移動装置とから構成したので、媒質
受け上の探触子を容易に走査することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による超音波検査装置の第１の実施の形
態を示す図。

【図２】本発明による超音波検査装置の第２の実施の形
態を示す図であり、（ａ）は第２の実施の形態の装置を
示す図、（ｂ）は（ａ）の容器の部分を示す拡大図。

【図３】本発明による超音波検査装置の第３の実施の形
態を示す図。

【図４】本発明による超音波検査装置の第４の実施の形
態を示す図。

【図５】本発明による超音波検査装置の第５の実施の形
態を示す図。

【図６】従来の全没水浸式探傷装置を示す図。

【図７】アレイ探触子を使用した従来の全没水浸式探傷
装置を示す図。

【図８】従来の局部水浸式探傷装置を用いて被検体の上
面から探傷する場合の状態を示す図。

【図９】従来の局部水浸式探傷装置を用いて被検体の下
面から探傷する場合の状態を示す図。

【符号の説明】

３ 水槽 ５ 超音波探触子 ６ 磁石プレート ７ スキャナ ８ 被検体 １０ フック １８ トレー １９ 容器 １９Ａ 開口 ２０ 超音波探触子 ２１ 磁石プレート ２２ スキャナ ２５ 水 ２８ 循環装置

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 超音波伝搬媒質を介して被検体へ超音波
   を送出し、前記被検体中での反射波を捉えて前記被検体
   の検査を行なう超音波検査装置において、 前記超音波伝搬媒質が溜められるとともに前記被検体を
   搬出入する上向きの開口が形成された媒質槽と、 前記媒質槽内に前記被検体を保持する保持手段と、 前記媒質槽内に設けられ前記保持手段で保持された前記
   被検体に向けて超音波を送出するとともに前記被検体か
   らの反射波を受信する超音波探触子と、 前記超音波探触子を走査する走査手段とを備え、 前記超音波探触子は前記走査手段により前記媒質槽の底
   面側または側面側で移動可能に設けられていることを特
   徴とする超音波検査装置。
2. 【請求項２】 前記超音波探触子は前記媒質槽に搬入さ
   れた前記被検体の下方で水平方向に走査されることを特
   徴とする請求項１に記載の超音波検査装置。
3. 【請求項３】 前記走査手段として、前記媒質槽の外側
   に設けられ前記超音波探触子を磁気的作用力により走査
   する磁場を発生する磁場発生装置を用いることを特徴と
   する請求項１または２に記載の超音波検査装置。
4. 【請求項４】 前記磁場発生装置は磁石と前記磁石を移
   動する移動装置とからなることを特徴とする請求項３に
   記載の超音波検査装置。
5. 【請求項５】 開口が形成された容器に超音波伝搬媒質
   を注入し、前記容器内部に取付けられ前記開口方向に向
   けて超音波を送出する超音波探触子を被検体に即して走
   査することにより前記被検体の検査をする超音波検査装
   置において、 前記容器を支持するとともに前記開口から溢れ出る超音
   波伝搬媒質を受け取る媒質受けと、 前記超音波探触子を前記容器とともに走査する走査手段
   とを備え、 前記超音波探触子は前記走査手段により前記媒質受けの
   底面側または側面側で移動可能に設けられていることを
   特徴とする超音波検査装置。
6. 【請求項６】 前記媒質受けに捉えられた超音波伝搬媒
   質を前記容器に注入する循環装置を備えることを特徴と
   する請求項５に記載の超音波検査装置。
7. 【請求項７】 前記走査手段として、前記超音波探触子
   を磁気的作用力により走査する磁場を発生する磁場発生
   装置を用いることを特徴とする請求項５または６に記載
   の超音波検査装置。
8. 【請求項８】 前記磁場発生装置は磁石と前記磁石を移
   動する移動装置とからなることを特徴とする請求項７に
   記載の超音波検査装置。