JPH09129952A - 高周波放電励起ガスレーザーの放電回路 - Google Patents
高周波放電励起ガスレーザーの放電回路Info
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- JPH09129952A JPH09129952A JP28089595A JP28089595A JPH09129952A JP H09129952 A JPH09129952 A JP H09129952A JP 28089595 A JP28089595 A JP 28089595A JP 28089595 A JP28089595 A JP 28089595A JP H09129952 A JPH09129952 A JP H09129952A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 高周波放電励起ガスレーザーにおいて、放電
電力を効率的にレーザー管に供給可能な高い力率を有す
る放電回路の提供。 【解決手段】 高周波放電励起ガスレーザーの放電回路
において角周波数がωの高周波電源１と、レーザー管３
との間に直列にインダクタンス素子素子Ｌを設け、該放
電回路のインピーダンス（Ｚ）を、Ｚ＝Ｒ＋ｊ｛（ω＊
Ｌ）−（１／ω＊Ｃ）｝とするとき、前記インダクタン
ス素子素子の値（Ｌ）を前記インピーダンスのリアクタ
ンスがゼロになるように設定し、前記放電回路を直列共
振回路で構成したことを特徴とする高周波放電励起ガス
レーザーの放電回路。
電力を効率的にレーザー管に供給可能な高い力率を有す
る放電回路の提供。 【解決手段】 高周波放電励起ガスレーザーの放電回路
において角周波数がωの高周波電源１と、レーザー管３
との間に直列にインダクタンス素子素子Ｌを設け、該放
電回路のインピーダンス（Ｚ）を、Ｚ＝Ｒ＋ｊ｛（ω＊
Ｌ）−（１／ω＊Ｃ）｝とするとき、前記インダクタン
ス素子素子の値（Ｌ）を前記インピーダンスのリアクタ
ンスがゼロになるように設定し、前記放電回路を直列共
振回路で構成したことを特徴とする高周波放電励起ガス
レーザーの放電回路。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は高周波放電励起ガス
レーザーの放電回路に関する。
レーザーの放電回路に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の高周波放電励起ガスレーザーの放
電回路例を図４に示してある。この従来の高周波放電励
起ガスレーザーの放電回路は、レーザー発振媒体である
ガスを内部に流通させた誘電体（ガラス）からなるレー
ザー管の外側に高周波電源に接続された一対の電極を設
け、この電極に数千ボルトの高電圧をかけることにより
レーザー管内のレーザー発振媒体であるガスを励起させ
てレーザー発振を起こさせるものである。
電回路例を図４に示してある。この従来の高周波放電励
起ガスレーザーの放電回路は、レーザー発振媒体である
ガスを内部に流通させた誘電体（ガラス）からなるレー
ザー管の外側に高周波電源に接続された一対の電極を設
け、この電極に数千ボルトの高電圧をかけることにより
レーザー管内のレーザー発振媒体であるガスを励起させ
てレーザー発振を起こさせるものである。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上述の放電回路におい
て、誘電体（ガラス）からなるレーザー管はキャパシタ
ー（Ｃ）の特性を示し、放電により励起された発振媒体
（プラズマガス）は非線形の抵抗（Ｒ）特性を示す。す
なわち、発振媒体（プラズマガス）は、放電電力が小の
ときは抵抗が大きく、放電電力が大きくなるにつれて抵
抗が非線形に減少する特性を有している。
て、誘電体（ガラス）からなるレーザー管はキャパシタ
ー（Ｃ）の特性を示し、放電により励起された発振媒体
（プラズマガス）は非線形の抵抗（Ｒ）特性を示す。す
なわち、発振媒体（プラズマガス）は、放電電力が小の
ときは抵抗が大きく、放電電力が大きくなるにつれて抵
抗が非線形に減少する特性を有している。
【０００４】いま、この上記放電回路の電源の電圧
（ｖ）を、ｖ＝Ｖｍ＊Ｓｉｎ（ωｔ）とするとき、電流
（ｉ）は、前記放電回路に含まれるリアクタンス分によ
り、ｉ＝Ｉｍ＊Ｓｉｎ（ωｔ＋θ）となり、電流の位相
は電圧よりθだけ進むことになる。前記位相角度θは、
θ＝ＡｒｃＴａｎ｛１／（ωＣＲ）｝、また、この回路
の実効電力（Ｐ）は、Ｐ＝Ｖ＊Ｉ＊Ｃｏｓ（θ）で示さ
れる。
（ｖ）を、ｖ＝Ｖｍ＊Ｓｉｎ（ωｔ）とするとき、電流
（ｉ）は、前記放電回路に含まれるリアクタンス分によ
り、ｉ＝Ｉｍ＊Ｓｉｎ（ωｔ＋θ）となり、電流の位相
は電圧よりθだけ進むことになる。前記位相角度θは、
θ＝ＡｒｃＴａｎ｛１／（ωＣＲ）｝、また、この回路
の実効電力（Ｐ）は、Ｐ＝Ｖ＊Ｉ＊Ｃｏｓ（θ）で示さ
れる。
【０００５】なお、前記電圧（ｖ）の式と電流（ｉ）の
式との中のＶｍ及びＩｍは最大電圧値及び最大電流値を
表す。
式との中のＶｍ及びＩｍは最大電圧値及び最大電流値を
表す。
【０００６】従って、従来の放電回路において放電させ
た場合、回路のリアクタンスにより電流の位相が進み、
力率｛Ｃｏｓ（θ）｝が低下して有効な電力をレーザー
管に供給することができない。換言すれば、有効な電力
をレーザー管に供給するためには、低下した力率を補う
ための余分な電圧及び電流を出せる大きな電源が必要と
なるという問題がある。
た場合、回路のリアクタンスにより電流の位相が進み、
力率｛Ｃｏｓ（θ）｝が低下して有効な電力をレーザー
管に供給することができない。換言すれば、有効な電力
をレーザー管に供給するためには、低下した力率を補う
ための余分な電圧及び電流を出せる大きな電源が必要と
なるという問題がある。
【０００７】上記問題点を解消するために、電源側と負
荷側とのインピーダンスの整合をとり、電力をレーザー
管に有効に供給することも行われてはいるが、放電回路
が有するリアクタンス成分により電圧と電流との位相が
変化して最高の力率を維持することができないという問
題がある。
荷側とのインピーダンスの整合をとり、電力をレーザー
管に有効に供給することも行われてはいるが、放電回路
が有するリアクタンス成分により電圧と電流との位相が
変化して最高の力率を維持することができないという問
題がある。
【０００８】本発明は上述の問題点に鑑みてなされたも
のであり、本発明の課題は高周波放電励起ガスレーザー
において、放電電力を効率的にレーザー管に供給可能な
高い力率を有する放電回路を提供することである。
のであり、本発明の課題は高周波放電励起ガスレーザー
において、放電電力を効率的にレーザー管に供給可能な
高い力率を有する放電回路を提供することである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】請求項１に記載の高周波
放電励起ガスレーザーの放電回路は、高周波放電励起ガ
スレーザーの放電回路において、角周波数ωの高周波電
源とレーザー管との間に直列にインダクタンス素子を設
け、該放電回路のインピーダンス（Ｚ）をＺ＝Ｒ＋ｊ
｛（ω＊Ｌ）−（１／ω＊Ｃ）｝とするとき、前記イン
ダクタンス素子の値（Ｌ）を前記インピーダンスのリア
クタンスがゼロになるように設定し、前記放電回路を直
列共振回路で構成したことを特徴とするものである。
放電励起ガスレーザーの放電回路は、高周波放電励起ガ
スレーザーの放電回路において、角周波数ωの高周波電
源とレーザー管との間に直列にインダクタンス素子を設
け、該放電回路のインピーダンス（Ｚ）をＺ＝Ｒ＋ｊ
｛（ω＊Ｌ）−（１／ω＊Ｃ）｝とするとき、前記イン
ダクタンス素子の値（Ｌ）を前記インピーダンスのリア
クタンスがゼロになるように設定し、前記放電回路を直
列共振回路で構成したことを特徴とするものである。
【００１０】従って、前記インピーダンス（Ｚ）は、ほ
ぼ純抵抗Ｒとなり電圧と電流の位相差がほぼゼロとなり
レーザー管に高い力率で効率よく電力を注入することが
できる。
ぼ純抵抗Ｒとなり電圧と電流の位相差がほぼゼロとなり
レーザー管に高い力率で効率よく電力を注入することが
できる。
【００１１】請求項２に記載の高周波放電励起ガスレー
ザーの放電回路は、請求項１に記載の高周波放電励起ガ
スレーザーの放電回路において、前記高周波電源と前記
放電回路の負荷との間に整合回路を設けたことを特徴と
するものである。
ザーの放電回路は、請求項１に記載の高周波放電励起ガ
スレーザーの放電回路において、前記高周波電源と前記
放電回路の負荷との間に整合回路を設けたことを特徴と
するものである。
【００１２】従って、高周波電源側と負荷側とのインピ
ーダンスはインピーダンス整合回路の可変容量形のキャ
パシターを適宜に調整することにより整合をとることが
できる。
ーダンスはインピーダンス整合回路の可変容量形のキャ
パシターを適宜に調整することにより整合をとることが
できる。
【００１３】請求項３に記載の高周波放電励起ガスレー
ザーの放電回路は、請求項２に記載の高周波放電励起ガ
スレーザーの放電回路において、前記高周波電源と前記
整合回路とをトランス結合したことを特徴とするもので
ある。
ザーの放電回路は、請求項２に記載の高周波放電励起ガ
スレーザーの放電回路において、前記高周波電源と前記
整合回路とをトランス結合したことを特徴とするもので
ある。
【００１４】従って、トランスの一次側と二次側とが電
流回路的には結合されていないので、二次側で漏電など
の事故があっても一次側に影響がでないと共に、電源の
内部抵抗と負荷抵抗の回路定数が決まっている場合で
も、トランスＴの一時側と二次側の巻線比を適宜に設定
することにより容易に整合をとることができる。
流回路的には結合されていないので、二次側で漏電など
の事故があっても一次側に影響がでないと共に、電源の
内部抵抗と負荷抵抗の回路定数が決まっている場合で
も、トランスＴの一時側と二次側の巻線比を適宜に設定
することにより容易に整合をとることができる。
【００１５】
【発明の実施の形態】以下に本発明の実施の形態につい
て図面により説明する。図１は第一の実施の形態であ
り、誘電体（ガラス）からなるレーザー管３の内部に、
例えば炭酸ガスレーザーの場合、レーザー発振媒体ガス
５として炭酸ガスと窒素ガス及びヘリウムガスの混合ガ
スを流通させてあり、このレーザー管の外部に一対の電
極７を設け、これにインダクタンス素子Ｌを介して適宜
な高周波電源１を接続してある。例えば、この高周波電
源１として、商用電源を整流して直流に変換し、これを
高周波インバーターによって高周波の電圧に変換する様
にしたものを使用することができる。
て図面により説明する。図１は第一の実施の形態であ
り、誘電体（ガラス）からなるレーザー管３の内部に、
例えば炭酸ガスレーザーの場合、レーザー発振媒体ガス
５として炭酸ガスと窒素ガス及びヘリウムガスの混合ガ
スを流通させてあり、このレーザー管の外部に一対の電
極７を設け、これにインダクタンス素子Ｌを介して適宜
な高周波電源１を接続してある。例えば、この高周波電
源１として、商用電源を整流して直流に変換し、これを
高周波インバーターによって高周波の電圧に変換する様
にしたものを使用することができる。
【００１６】上記の回路において、レーザー発振媒体ガ
ス５の抵抗をＲ、一対の電極７の間のキャパシタンスを
Ｃ、前記高周波電源１とレーザー管３との間に挿入され
たインダクタンス素子Ｌの値をＬ、高周波電源１の角周
波数をωとするとき、この放電回路のインピーダンス
（Ｚ）は、Ｚ＝Ｒ＋ｊ｛（ω＊Ｌ）−（１／ω＊Ｃ）｝
で表される。そして前記インダクタンス素子Ｌの値は、
次の共振条件、ω＊Ｌ＝１／（ω＊Ｃ）を満足する値に
設定してある。なお、この第一の実施の形態では高周波
電源１と負荷側とのインピーダンスの整合が不要な場合
を前提にしている。
ス５の抵抗をＲ、一対の電極７の間のキャパシタンスを
Ｃ、前記高周波電源１とレーザー管３との間に挿入され
たインダクタンス素子Ｌの値をＬ、高周波電源１の角周
波数をωとするとき、この放電回路のインピーダンス
（Ｚ）は、Ｚ＝Ｒ＋ｊ｛（ω＊Ｌ）−（１／ω＊Ｃ）｝
で表される。そして前記インダクタンス素子Ｌの値は、
次の共振条件、ω＊Ｌ＝１／（ω＊Ｃ）を満足する値に
設定してある。なお、この第一の実施の形態では高周波
電源１と負荷側とのインピーダンスの整合が不要な場合
を前提にしている。
【００１７】上記構成により、前記インピーダンス
（Ｚ）は、ほぼ純抵抗Ｒとなり電圧と電流の位相差がほ
ぼゼロとなりレーザー管に効率よく電力を注入すること
ができる。そして、このレーザー管内のレーザー発振媒
体ガス５に高周波放電による放電を行い、レーザー発振
媒体を励起させてレーザー発振をさせ図示しない光共振
器で増幅され、レーザー光は紙面に直交する方向に出力
されるようになっている。
（Ｚ）は、ほぼ純抵抗Ｒとなり電圧と電流の位相差がほ
ぼゼロとなりレーザー管に効率よく電力を注入すること
ができる。そして、このレーザー管内のレーザー発振媒
体ガス５に高周波放電による放電を行い、レーザー発振
媒体を励起させてレーザー発振をさせ図示しない光共振
器で増幅され、レーザー光は紙面に直交する方向に出力
されるようになっている。
【００１８】図２は第二の実施の形態であり、前記第一
の実施の形態において、高周波電源１と負荷側のインピ
ーダンスの整合をとった場合を示したものである。なお
前記図１と同一の構成要素には同一の符号を付してあ
る。
の実施の形態において、高周波電源１と負荷側のインピ
ーダンスの整合をとった場合を示したものである。なお
前記図１と同一の構成要素には同一の符号を付してあ
る。
【００１９】この第二の実施の形態においては、前記高
周波電源１と負荷とのインピーダンスの整合をとるた
め、インダクタンス素子Ｌｍと可変容量形のキャパシタ
ーＣｍを直列に設けてなるインピーダンス整合回路９を
設けてある。そして、このインピーダンス整合回路９の
出力端に前記インダクタンス素子Ｌを介してレーザー管
３が設けられている。
周波電源１と負荷とのインピーダンスの整合をとるた
め、インダクタンス素子Ｌｍと可変容量形のキャパシタ
ーＣｍを直列に設けてなるインピーダンス整合回路９を
設けてある。そして、このインピーダンス整合回路９の
出力端に前記インダクタンス素子Ｌを介してレーザー管
３が設けられている。
【００２０】上記構成により、高周波電源１側と負荷側
とのインピーダンスはインピーダンス整合回路９の可変
容量形のキャパシターＣｍを適宜に調整することにより
整合をとることができる。また、前記第一の実施の形態
の場合と同様にインダクタンス素子Ｌの値を共振条件、
ω＊Ｌ＝１／（ω＊Ｃ）を満足する値に設定することに
より、レーザー管部のインピーダンス（Ｚ）をほぼ純抵
抗分にのみすることができるので電圧と電流の位相差が
ほぼゼロとなりレーザー管３に効率よく電力を注入する
ことができる。
とのインピーダンスはインピーダンス整合回路９の可変
容量形のキャパシターＣｍを適宜に調整することにより
整合をとることができる。また、前記第一の実施の形態
の場合と同様にインダクタンス素子Ｌの値を共振条件、
ω＊Ｌ＝１／（ω＊Ｃ）を満足する値に設定することに
より、レーザー管部のインピーダンス（Ｚ）をほぼ純抵
抗分にのみすることができるので電圧と電流の位相差が
ほぼゼロとなりレーザー管３に効率よく電力を注入する
ことができる。
【００２１】図３は第三の実施の形態であり、前記第二
の実施の形態において一次側の高周波電源１をトランス
Ｔからなる結合回路１１を介して二次側に結合したもの
であり、前記第一および第二の実施の形態と同様な作用
効果が得られる外に、第三の実施の形態の様な構成とす
ることにより、トランスの一次側と二次側とが電流回路
的には結合されていないので、二次側で漏電などの事故
があっても一次側に影響がでない利点があると共に、電
源の内部抵抗と負荷抵抗の回路定数が決まっている場合
でも、トランスＴの一時側と二次側の巻線比を適宜に設
定することにより容易に整合をとることができる利点が
ある。
の実施の形態において一次側の高周波電源１をトランス
Ｔからなる結合回路１１を介して二次側に結合したもの
であり、前記第一および第二の実施の形態と同様な作用
効果が得られる外に、第三の実施の形態の様な構成とす
ることにより、トランスの一次側と二次側とが電流回路
的には結合されていないので、二次側で漏電などの事故
があっても一次側に影響がでない利点があると共に、電
源の内部抵抗と負荷抵抗の回路定数が決まっている場合
でも、トランスＴの一時側と二次側の巻線比を適宜に設
定することにより容易に整合をとることができる利点が
ある。
【００２２】なお、上記実施の形態では軸流形のレーザ
ー発振器について示してあるが、直交形のレーザー発振
器においても適用することができる。
ー発振器について示してあるが、直交形のレーザー発振
器においても適用することができる。
【００２３】
【発明の効果】請求項１または請求項２に記載の発明に
よれば、前記インピーダンス（Ｚ）は、ほぼ純抵抗Ｒと
なり電圧と電流の位相差がほぼゼロとなりレーザー管に
高い力率で効率よく電力を注入することができるので、
従来より小型の容量の高周波電源を使用することが可能
となりコストの低減をはかることができる。
よれば、前記インピーダンス（Ｚ）は、ほぼ純抵抗Ｒと
なり電圧と電流の位相差がほぼゼロとなりレーザー管に
高い力率で効率よく電力を注入することができるので、
従来より小型の容量の高周波電源を使用することが可能
となりコストの低減をはかることができる。
【００２４】請求項３に記載の発明によれば、請求項１
または請求項２に記載の発明の効果のに加え、トランス
の一次側と二次側とが電流回路的には結合されていない
ので、二次側で漏電などの事故があっても一次側に影響
がでないと共に、電源の内部抵抗と負荷抵抗の回路定数
が決まっている場合でも、トランスＴの一時側と二次側
の巻線比を適宜に設定することにより容易に整合をとる
ことができるので、回路設計の自由度が増加すると共に
回路の安全性が向上する。
または請求項２に記載の発明の効果のに加え、トランス
の一次側と二次側とが電流回路的には結合されていない
ので、二次側で漏電などの事故があっても一次側に影響
がでないと共に、電源の内部抵抗と負荷抵抗の回路定数
が決まっている場合でも、トランスＴの一時側と二次側
の巻線比を適宜に設定することにより容易に整合をとる
ことができるので、回路設計の自由度が増加すると共に
回路の安全性が向上する。
【図１】本発明のガスレーザーの放電回路の第一の実施
の形態を示す図。
の形態を示す図。
【図２】本発明のガスレーザーの放電回路の第二の実施
の形態を示す図。
の形態を示す図。
【図３】本発明のガスレーザーの放電回路の第三の実施
の形態を示す図。
の形態を示す図。
【図４】従来の高周波放電励起ガスレーザーの放電回路
の例。
の例。
１ 高周波電源 ３ レーザー管 ５ レーザー発振媒体ガス ７ 電極 ９ インピーダンス整合回路 １１ 結合回路 Ｃｍ キャパシター Ｌ インダクタンス素子 Ｌｍ インダクタンス素子 Ｔ トランス
Claims (3)
- 【請求項１】 高周波放電励起ガスレーザーの放電回路
において、角周波数ωの高周波電源と、レーザー管との
間に直列にインダクタンス素子を設け、該放電回路のイ
ンピーダンス（Ｚ）をＺ＝Ｒ＋ｊ｛（ω＊Ｌ）−（１／
ω＊Ｃ）｝とするとき、前記インダクタンス素子の値
（Ｌ）を前記インピーダンスのリアクタンスがゼロにな
るように設定し、前記放電回路を直列共振回路で構成し
たことを特徴とする高周波放電励起ガスレーザーの放電
回路。 - 【請求項２】 前記高周波電源と前記放電回路の負荷と
の間にインダクタンス素子と可変容量キャパシターとか
らなる整合回路を設けたことを特徴とする請求項１に記
載の高周波放電励起ガスレーザーの放電回路。 - 【請求項３】 前記高周波電源と前記整合回路とをトラ
ンス結合したことを特徴とする請求項２に記載の高周波
放電励起ガスレーザーの放電回路。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28089595A JPH09129952A (ja) | 1995-10-27 | 1995-10-27 | 高周波放電励起ガスレーザーの放電回路 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28089595A JPH09129952A (ja) | 1995-10-27 | 1995-10-27 | 高周波放電励起ガスレーザーの放電回路 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09129952A true JPH09129952A (ja) | 1997-05-16 |
Family
ID=17631445
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28089595A Pending JPH09129952A (ja) | 1995-10-27 | 1995-10-27 | 高周波放電励起ガスレーザーの放電回路 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09129952A (ja) |
-
1995
- 1995-10-27 JP JP28089595A patent/JPH09129952A/ja active Pending
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20050427 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20050712 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Effective date: 20060404 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 |