JPH09120036A - 像発生装置 - Google Patents

像発生装置

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JPH09120036A
JPH09120036A JP20356695A JP20356695A JPH09120036A JP H09120036 A JPH09120036 A JP H09120036A JP 20356695 A JP20356695 A JP 20356695A JP 20356695 A JP20356695 A JP 20356695A JP H09120036 A JPH09120036 A JP H09120036A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 簡単かつ低コストな像発生装置を提供する。 【解決手段】 互いに隣接するように配置された個々の
像スポットを照明することによって各像組立てサイクル
において少なくとも1列の像スポットを組立て、像組立
てサイクルを周期的に繰返えすことにより光学投影手段
を介して像を発生させる光源を含み、像平面に特に人間
が視認できる像を発生させる装置であって像スポット列
38の像スポット34を照明する複数の半導体エミッタ
20から成る1列の光源16を設け、光学投影手段28
が各半導体エミッタ20からの光線32の各射出スポッ
ト30を像スポット34の少なくとも1つと連携させ、
光学投影手段28が光源列のすべての半導体エミッタ2
0の射出スポット30をこれと連携する像スポット上に
同時に結像させるよう構成する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は互いに隣接するよう
に配置された個々の像スポットを照明することによって
各像組立てサイクルにおいて少なくとも1列の像スポッ
トを組立て、像組立てサイクルを周期的に繰返えすこと
により光学投影手段を介して像を発生させる光源を含
み、像平面に特に人間が視認可能な像を発生させる装置
に係わる。
【0002】
【従来の技術】本発明の装置は例えば静止像だけでな
く、大判の、場合によっては多色のテレビ画像のような
動く像をも発生させる。このような装置は例えばドイツ
特許第23 41 705号から公知であり、この公知
装置の場合、ガスレーザーによって像を発生させ、ガス
レーザーからのレーザービームを光学投影手段上に移動
させることにより人間が全体像として視認でき、個別の
像ドットから成る像を発生させる。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】像を発生させるのにこ
のようなガスレーザーを利用するにはレーザービーム発
生装置に多大のコストが必要であり、レーザービームを
所定の態様で偏向させる光学投影手段に関しても多大の
コストが必要である。従って、本発明の目的はできる限
り簡単に、低コストで像を発生させることができるよう
に頭書の装置を改良することにある。
【0004】
【課題を解決するための手段】本発明ではこの目的を上
記装置において、像スポット列の像スポットを照明する
ため複数の半導体エミッタから成る1列の光源を設け、
光学投影手段が各半導体エミッタからの光線の各射出ス
ポットを像スポットの少なくとも1つと連携させ、光学
投影手段が光源列のすべての半導体エミッタの射出スポ
ットをこれと連携の像スポット上に同時に結像させるこ
とによって達成する。
【0005】本発明の利点は半導体エミッタが構成の簡
単な、操作し易い光源として作用する一方、光源列のす
べての半導体エミッタをこれと連携する像スポット上に
同時に結像させることにより、例えば少なくとも100
サイクル/秒の像組立てサイクルで光学投影手段に課せ
られる需要を軽減できるという点で光源列の特定個数半
導体エミッタが光学投影手段を単純化することにある。
【0006】本発明の装置は全体として人間が視認でき
るようにするため少なくともテレビ受像機に要求される
時間内に像を組立て、少なくともテレビ受像機に要求さ
れる繰返えし頻度で繰返えさねばならない場合に特に有
益である。そのためには、例えば光学投影手段が1つの
時点に像スポット列の1つのセクションに属する像スポ
ットを照明し、次の時点に他のセクションに属する像ス
ポットを照明するように半導体エミッタの個数を選択す
ればよい。
【0007】列の方向は水平でも垂直でもよい。純理論
的にはそれぞれが同じ波長の光を放出する複数の半導体
エミッタで像スポットを照明する方式も考えられる。し
かし、本発明の装置は特に同じ波長で発光する半導体エ
ミッタの場合、光学投影手段が像組立てサイクルにおい
て異なる射出スポットを像スポット列の異なる像スポッ
トとも連携させるように構成すれば特に経済的である。
【0008】像組立てサイクルごとに像スポットと射出
スポットとの連携態様を変えることも考えられる。しか
し、各像組立てサイクルにおいて同じ射出スポットが像
スポット列の同じ像スポットと連携すれば光学投影手段
の構成が特に簡単になる。半導体エミッタの個数を、各
半導体エミッタが各像スポットと連携するように選択す
ることもできるが、最小のスペースに配列される半導体
エミッタの個数を制限するためには、半導体エミッタの
個数が像スポット列の像スポット総数よりも少なく、光
学投影手段が像組立てサイクル中に連続する時点におい
て射出スポットを像スポット列のそれぞれ異なる像スポ
ットシリーズ上に結像させるように構成するのが有益で
ある。具体的には、複数の半導体エミッタが像組立てサ
イクルにおいて先ず像スポット列のうちの1つのセクシ
ョン、即ち、シリーズに属する像スポットを照明し、同
じ像組立てサイクルにおいてそれぞれの像スポットシリ
ーズを順次照明することによって像スポット列全体を照
明し、これが迅速に行われると、人間の目には像スポッ
ト列が連続的に照明されるように見える。
【0009】像スポットシリーズを形成する像スポット
の構成については、多様な可能性が考えられる。例えば
好ましい1実施例では光学投影手段が光源列の射出スポ
ットを、像組立てサイクル中の連続する時点のそれぞれ
において像スポット列の各像スポットシリーズ上に結像
させ、像スポットシリーズは隣接するワンセットの像ス
ポットから成る。即ち、順次隣接する像スポットが組合
わされてワンセットを形成し、像組立てサイクル中に数
セットを順次照明することによって像スポット列が全部
照明される。
【0010】原理的には、数セットの一部である1個の
像スポットからも可能であり、この場合には各像組立て
サイクルに各像スポットを多重照明することになる。た
だし、像スポット列の各像スポットをそれぞれワンセッ
トの像スポットで構成し、像スポット列のうちの1個の
像スポットがセットの照明と共に一度に行われるように
構成すれば特に簡単になる。
【0011】また、像スポットセットを必ずしも互いに
相関しない像スポット列の異なるセクションから成るよ
うに像スポットセットを構成することも原理的には可能
である。ただし、像スポットセットが時間順に配列され
るように像スポット列中に像スポットセットを配置する
ことは光学投影手段にとって特に有益である。
【0012】像スポット列を像スポットセットの形で照
明する代りに、光学投影手段が光源列の互いに隣接する
射出スポットを、像の隣接像スポット間の距離の特定倍
に相当する像スポットパターン間隔を有する像スポット
パターンとして構成された像スポットシリーズ上に結像
される。像スポットパターンの間隔は像の隣接像スポッ
ト間の距離の整数倍であることが好ましい。
【0013】光学投影手段による投影後、像スポット列
中の像スポットパターン間隔に対応する間隔に隣接半導
体エミッタからの光線を入射させるには、光源列の隣接
する射出スポット間の距離をパターン間隔上に結像させ
ることによって光学投影手段による投影に続いて像にお
ける像スポットパターン間隔を画定する光学スプレッダ
またはエクステンダ手段を装置に組込めば好都合であ
る。
【0014】この光学スプレッダ手段の実施態様は極め
て多様である。好ましい実施態様では、光学スプレッダ
手段が光源列の隣接射出スポット間の距離をパターン間
隔まで拡大する。このためには光学スプレッダ手段が射
出スポットから射出されるビーム束を互いにパターン間
隔を保つ平行ビーム束とする。
【0015】光学スプレッダ手段自体は極めて多様な素
子から選択した素子で構成することができる。好ましい
実施例では例えば光源列から来る個々の半導体エミッタ
の放射線が入射する複数のプリズム素子で光学スプレッ
ダ手段を構成し、これらのプリズム素子が互いにパター
ン間隔を保つビーム束を発生させる。プリズム素子では
なく、半導体エミッタからの光線の入射方向に固有のパ
ターン間隔を有し、従って光線をパターン間隔で反射す
る反射面を有する反射格子で光学スプレッダ手段を構成
することもできる。
【0016】光学スプレッダのさらに他の実施態様とし
て、射出スポットごとに設けた光ガイドが光学スプレッ
ダ手段を構成し、半導体エミッタの各射出スポットから
の光線が光ガイドの一端に入射し、光ガイドの他端が所
定のパターン間隔で配列された射出スポットを画定す
る。最も簡単な態様では基板上に配列した光導波路を光
ガイドして光学スプレッダ手段を構成することができ
る。
【0017】光学投影手段についてさらに詳細に説明す
る。例えば、光学投影手段が像組立てサイクルにおい
て、像スポット列の統計的に変化するインターバルの種
々の像スポットシリーズ上に射出スポットを結像させる
ように構成することも考えられるが、半導体エミッタの
できる限り低い出力で個々の像スポットを最適条件で照
明するためには、光学投影手段が光源列の射出スポット
を種々の像スポットシリーズ上に順次結像させることに
より、像スポット列を発生させ、個々の像スポットシリ
ーズの照明の間の無駄時間をできる限り短くすれば特に
好都合である。
【0018】構成上の観点から、この条件を最も簡単に
満たすには光源列を像スポットの連続するシリーズ上に
結像させるビーム偏向素子で光学投影手段を構成すれば
よい。ビーム偏向素子の実施態様は多様である。例えば
可動プリズムまたは可動レンズであってもよいが、ビー
ム偏向素子は可動反射素子であることが特に好ましい。
【0019】このためには光源列をそれぞれの像スポッ
トシリーズ上に結像する所定回転位置へ反射素子が移動
できるようにするのが構造的に簡単である。構成上の観
点からこれを達成する最も簡単な方式としては回転軸を
中心に回転するミラーによってビーム偏向素子を形成す
ればよい。このミラーは像組立てサイクル中に連続移動
できるように構成すればよい。
【0020】これに代わる態様としては、像組立てサイ
クル中にミラが個々の所定位置を通過する、即ち、ステ
ップモータ、圧電素子などの制御下に個々の所定回転位
置へ移動できるように構成することも可能である。以上
の説明では本発明の最も簡単な実施態様ということで種
々の像スポットシリーズから成る単一像スポット列から
像を組立てる場合についてのみ考察した。しかし、像組
立てサイクルにおいて光学投影手段が複数の隣接像スポ
ット列から像を、従って、例えばテレビ画像のような2
次元像を組立てるようにするのが特に有益である。
【0021】このためには光学投影手段が各像スポット
列中の1つの像スポットシリーズの像スポットを発生さ
せ、次いで各像スポット列中の次の像スポットシリーズ
を発生させるように構成するのが特に好都合である。こ
のためには光学投影手段が連続する像スポット列中の像
スポットシリーズを発生させるビーム偏向素子から成
り、このビーム偏向素子が具体的には可動反射素子また
は可動レンズまたは可動プリズムであることが好まし
い。
【0022】ビーム偏向素子は各像スポット列中の像ス
ポットシリーズを発生させる所定位置へ移動できること
が好ましい。特に好ましい実施態様としては、回転軸線
を中心に回転する多面体ミラー(ポリゴンミラー)によ
ってビーム偏向素子を形成する。多面体ミラーは光源列
からの光線を各反射面で反射し、この光線が所定角度範
囲に亘って回転することによって複数の隣接像スポット
列を横切り、次いで次の反射面に進むように構成するこ
とが好ましい。
【0023】本発明の特に好ましい実施例では、多面体
ミラーが回転軸線と平行な線に対して異なる角度でそれ
ぞれ傾斜したミラー面を有し、各ミラー面が像を構成す
るすべての像スポット列中の1つの像スポットシリーズ
を発生させ、次のミラー面に進んだのち、像を構成する
すべての像スポット列中の次の像スポットシリーズを発
生させる。
【0024】複数の像スポット列上に光源列を順次投影
する動作は本発明の多面体ミラーを一定回転速度で回転
させることによって特に容易に行うことができる。その
場合、多面体ミラーが多面体のそれぞれの面で光源列か
らの光線を反射し、所定の角度範囲内で回転することに
よってこの光線が多数の隣接する像スポット列を横切る
ようにし、次いで次の面で同様の反射を行うことが好ま
しい。
【0025】光学投影手段が光源列の半導体エミッタか
らの光線をほぼビーム偏向素子に集束させるようにすれ
ば像を発生させるのに特に有益である。光学投影手段を
介して光源列から複数の像スポット列を発生させる実施
態様においては像スポット列の像スポットを照明するの
に少なくとも10μsの時間を当てることが好ましい。
【0026】像スポット列の像スポットと連携するすべ
ての半導体エミッタを同時制御する場合、2つの制御時
点間の時間も少なくとも10μsである。1つの像スポ
ットセクションと連携する半導体エミッタだけを同時制
御するなら、この時間は同時照明される像スポット列中
の像スポット数を表わす小数を10μsに乗算した値に
等しい。例えば、像スポットの少なくとも1/10を同
時照明する場合には、2つの制御時点間のインターバル
は少なくとも1μsとなる。
【0027】この場合、複数の光源列を複数の像スポッ
ト列上に結像させるように光学投影手段を構成する。光
学投影手段の投影の質に関して以下に詳しく説明する。
例えば、好ましい実施例では、光学投影手段が像スポッ
ト列の長手方向に射出スポットを拡大することにより互
いに間隔の詰まった像スポットを発生させる。
【0028】この場合、像スポットが実質的に互いに境
を接することが好ましい。本発明の装置では、半導体エ
ミッタが2つの連続する制御時点間の時間に光線を放出
することが特に好ましい。その利点として、公知の装置
とは異なり単一時点で像スポットを短時間照明できるだ
けでなく、光学投影手段が複数の半導体エミッタを像ス
ポットと連携させるから、連携時間全体に亘って像スポ
ットを照明することができる。
【0029】制御の便宜上、制御時点は一定のタイムイ
ンターバルで連続することが特に好ましい。なお、好ま
しい実施例では調節自在な強さで像スポットを照明する
ため、半導体エミッタが調節自在な強さで発光できるよ
うにする。この実施例では半導体エミッタが2つの制御
時点間でほとんど変化しないように調節された強さで発
光するのが好都合であることが明らかになった。
【0030】そのためには、各半導体エミッタからの光
線の強さ(強度)を制御時点ごとに調節する、即ち、次
の制御時点において光線の強さ設定値を変更できるよう
にすることが好ましい。本発明の重要な利点として、2
つの連続する制御時点間の時間全部を半導体エミッタの
射出スポットと連携する像スポットの照明に利用するこ
とができるから、像スポットを照明して時間的に平均し
て人間が視認できる所要の明るさを得るのに像スポット
から像スポットへの飛越しのため極めて短い時間しか利
用できない公知の装置と比較して、時間平均して人間が
視認できる程度に像スポットを照明するのに必要な個々
の半導体エミッタの出力ははるかに低い。
【0031】これに代わる実施態様として、半導体エミ
ッタが制御時点間において明るさは最大であるが持続時
間は調節自在な光線を放出するかまたは全く放出しない
ように構成することもできる。このような半導体エミッ
タ制御方式は特に半導体エミッタの動作に適した簡単な
動作モードが可能になるという点で有益である。このよ
うな実施態様では人間が視認できる平均明るさを具体的
には発光持続時間を調節することによって調節すること
ができる。
【0032】発光持続時間を各制御時点において調節
し、平均して人間が視認できる明るさを常時変化自在に
調定することが好ましい。この実施例のもう1つの利点
として、最大限2つの制御時点間の時間全部を所要の平
均明るさを得るのに利用できるから、照明のためにかな
り長い時間を利用できる。半導体エミッタによる像スポ
ットの照明について以下にその詳細を説明する。最も簡
単な実施態様では例えば各像スポットを単一の半導体エ
ミッタによって照明する。ただし、モノクローム像しか
発生させることができない。
【0033】多色像を発生させるには各像スポットを、
3個の半導体エミッタからの光線を重ねることによって
白色光を発生させることができる波長の光線をそれぞれ
が放出する3個の半導体エミッタによって照明すること
が好ましい。例えば、青、緑及び赤のような3原色を任
意に混合することによって人間が視認できるカラー効果
を発生させる。即ち、本発明装置は多色の静止像だけで
なく、多色の動く像をも発生させることができる。
【0034】3個の半導体エミッタで1個の像スポット
を照明する場合の制御については、照明された像スポッ
トに必ず所要のカラーを視認できるようにするため1個
の像スポットを照明する3個の半導体エミッタを同時に
制御できることが好ましい。次に光源列の構成について
詳しく説明する。例えば、像スポットを1個の半導体エ
ミッタで照明できるか3個の半導体エミッタで照明でき
るかに関係なく、光源列が同じ波長の光線を放出する少
なくとも1列の半導体エミッタを有することが好まし
い。このような光源列は例えばいわゆる半導体エミッタ
“アレイ”によって極めて簡単に製造できるからであ
る。
【0035】多色像を発生させたければ、各像スポット
列の像スポットを照明する対応の光源列が互いに平行な
3列の半導体エミッタから成り、各列の半導体エミッタ
がほぼ同じ波長の光線を放出するように構成するのが有
益である。同じ波長の光線を放出する半導体エミッタを
このように組合わせる方式はいわゆる“アレイ”の形式
で製造できるという理由からも有益である。
【0036】半導体エミッタの制御方式について以下に
詳しく説明する。好ましい実施態様として、例えば少な
くとも像スポット列の像スポットのうちの1/10と連
携する各光源列のうちの半導体エミッタを同じ制御時点
において制御できれば好都合である。これによって半導
体エミッタを制御するための時間を著しく伸ばすことが
できる。
【0037】少なくとも各像スポット列の像スポットの
1/3と連携する各光源列中の半導体エミッタを同時に
制御できればもっと好都合である。各像スポット列のす
べての像スポットと連携する半導体エミッタを同時に制
御できればさらに好都合である。次に複数の半導体エミ
ッタの同時制御を実現する方法を詳しく説明する。好ま
しい実施態様として、例えば、複数の半導体エミッタを
同時制御するための中間メモリを設け、複数の半導体エ
ミッタを同時制御するための制御パラメータをこのメモ
リから並列読取りできるようにする。
【0038】制御パラメータを記憶するには、半導体エ
ミッタのための制御パラメータを中間メモリが制御時点
と制御時点との間に記録することが好ましい。その場
合、制御パラメータを中間メモリに直列書込みすること
が好ましい。制御パラメータは最も簡単な場合像発生装
置によって発生させる。像発生装置は制御パラメータを
直列に発生させ、これを中間メモリに直列書込みするよ
うに構成するのが好ましい。
【0039】半導体エミッタを2つの制御時点間におい
て所定の態様で制御できるようにするためには、制御手
段を各半導体エミッタと連携し、この制御手段が1つの
制御時点から次の制御時点まで制御パラメータを中間的
に記憶することが好ましい。1個の像スポットを照明す
るのに波長の異なる光線を放出する3個の半導体エミッ
タを利用する場合には、光学投影手段が波長の異なる光
線を放出するこれら3個の半導体エミッタからの光線を
組合わせることによって投影を簡単にするビーム束を形
成することが好ましい。
【0040】以上に述べた実施態様においては、光学投
影手段が波長の異なる光線を放出する3個の半導体エミ
ッタからの光線を1個の像スポット上に結像させること
が好ましい。それぞれが波長の異なる光線を放出すると
共に各像スポットのカラーを決定する3個の半導体エミ
ッタからの光線を、偏向素子に入射する前に組合わせて
ビーム束を形成し、このビーム束を偏向素子によって1
つの像スポットから次の像スポットへ移動させることが
好ましい。
【0041】ただし、これに代わる実施態様として、波
長の異なる光線を放出する3個の半導体エミッタからの
光線を別々に偏向素子に入射させたのち、光学投影手段
によって1個の像スポット上に結像させることも可能で
あり、この場合、光学投影手段は3個の半導体エミッタ
からの光線をこれらによって照明されるすべての像スポ
ット上に結像させるように構成しなければならない。
【0042】あるいは、光学投影手段が波長の異なる光
線を放出する3個の半導体エミッタからの光線を、互い
に重なり合わない位置を占める3個の部分像スポット上
に結像させるように構成することも可能である。このよ
うに構成すれば、波長の異なる光線を集束させて像スポ
ットを発生させるのに必要な手段が不要となるという点
でさらに簡略化を進み、部分像スポットは極めて小さく
人間の目には単色の単一像スポットとして見えるから充
分有効である。
【0043】この実施態様では、それぞれが異なる波長
の光線を放出し、1つの像のカラーを決定する3個の半
導体エミッタからの光線が偏向素子に別々に入射し、こ
の偏向素子が光線を別々に偏向させることが好ましい。
次に半導体エミッタの詳細を説明する。基本的には半導
体発光ダイオード、または超光発光ダイオードまたは電
界発光素子を半導体エミッタとして使用することができ
る。
【0044】経験に照らして、半導体エミッタが半導体
レーザーであることが特に好ましい。このようなエミッ
タとして特に好ましいのはいわゆるエッジエミッタであ
り、その理由は製造し易く、具体的にはいわゆる“アレ
イ”、即ち、基板上に配列された半導体エミッタ列の形
で製造できることにある。このエッジエミッタは後段と
して接続される倍周器(周波数マルチプライア)にも好
適である。
【0045】これに代わる実施態様として、半導体エミ
ッタをマトリックス状に簡単に配列でき、ファイバオプ
チック素子、例えば周波数ダブラーの結合を可能にする
いわゆる垂直エミッタとして実施するのも有益である。
特に所要波長の、例えば青色、緑色または赤色光線を発
生させるのに半導体エミッタを周波数ダブラーと併用す
るのが好ましいと考えられる場合には、本発明の半導体
エミッタは半導体光源、具体的には半導体レーザーと、
半導体光源からの光線のための周波数ダブラーから成
る。
【0046】なお、周波数ダブラーは各光源からの光線
を少なくとも105 W/cm2 のパワー密度に圧縮した形
で誘導するかまたは圧縮する導波構造と該導波構造内に
設けた周波数ダブリング媒体から成るように構成するの
が好ましい。このような導波構造を設けることにより周
波数ダブリングに必要な高いパワー密度を充分な相互作
用長に亘って周波数ダブリング媒体中に簡単に維持する
ことができる。
【0047】周波数ダブラーは光源に対して多様な態様
に配置することができる。好ましい実施例としては各光
源と各周波数ダブラーの間に光線を導波構造内の集束さ
せる光学手段を介在させることにより、光源から発散す
る光線全体を導波構造内へ集中させれば好都合である。
これに代わる実施態様としては、各周波数ダブラーを各
光源の直ぐ後方に設ける。この場合、光源からの光線の
断面形状に導波構造を適合させれば光源からの光線はほ
とんどすべて後方の周波数ダブラーに入射する。
【0048】この実施態様は光源と周波数ダブラーの間
に光学集束手段を介在させたり、該手段を調整したりせ
ずにすむという点でも有益である。好ましい実施態様と
して、光源列を構成する光源を1列に配置し、光源列の
周波数ダブラーも光源の出力側に好ましくは光源間の間
隔と同じ間隔で1列に配置する。
【0049】光源のいくつかを共通の基板上に配置すれ
ば光源を特に簡単に低コストで製造することができる。
同様に、周波数ダブラーもそのいくつかを共通の基板上
に設けることによって低コストで製造することができ
る。具体的には、複数の光源と複数の周波数ダブラーを
共通の基板上にそれぞれ等間隔に配置することによって
両者を理想的な形で組合わせることができ、この場合、
周波数ダブラーを光源の直ぐ後方に配置するかまたは光
学集束手段を介在させて配置し、光源と周波数ダブラー
を常に共通光軸上に位置させることができる。
【0050】次に導波構造のタイプを構成に関して詳し
く説明する。好ましい実施例では各周波数ダブラーの導
波構造として単一モード導波路を採用する。個々の実施
例に関する以上の説明では導波構造そのものの詳細な構
成には触れなかった。好ましい実施例では導波構造を導
波コアを形成する周波数ダブリング媒体を囲み、屈折率
が導波コアよりも小さい壁材によって導波構造を形成す
る。このようにすれば、導波構造を所要の寸法で簡単に
製造することができる。
【0051】好ましくは、壁材が周波数ダブリング媒体
と同じ材料を素材とし、異なるドーピング処理によって
前記媒体よりも小さい屈折率を持つようにし、壁材と周
波数ダブリング媒体の界面において光導波が行われるよ
うにする。このような導波構造の製造様式は極めて多様
である。好ましい1実施例では周波数ダブリング媒体と
同じ材料のうち壁材を形成する部分をドーピング処理す
ることによって導波構造を形成する。この実施態様では
周波数ダブリング媒体の材料から始めて導波路の壁材を
形成すべき部分をドーピング処理することによって簡単
に導波路を形成することができる。
【0052】この種のドーピングは例えばドーピング材
を拡散させることによって行うことができる。このよう
なドーピング処理部分を形成する際に、好ましくは単結
晶基板に塗布された壁材層によって導波構造を形成すれ
ば特に有益である。同様に、周波数ダブリング媒体も基
板に塗布された層によって形成すれば簡単に製造でき
る。
【0053】好ましくは、基板も周波数ダブリング媒体
の材料から形成する。基板を使用することの利点とし
て、この基板は周波数ダブリング媒体の材料を素材とす
るから基板を整列させることによって周波数ダブリング
媒体の光軸の整列関係をあらかじめ設定することができ
る。周波数ダブリングに必要な位相整合を達成するに
は、光源から放出され、集束される光線と周波数ダブリ
ングされた光線とが導波構造の長手方向にほぼ位相整合
関係となるように周波数ダブリング媒体を構成し、その
光軸を導波路と整列させることが好ましい。
【0054】この位相整合を行うには、周波数ダブリン
グ媒体を所定温度に維持することにより、いったん温度
設定すれば最適の位相整合状態を維持できるようにする
ことが好ましい。これに代わる好ましい実施態様として
は、導波路の長手方向に準位相整合が得られるように周
波数ダブリング媒体を構成し、整列させる。
【0055】本発明のその他の特徴及び利点は添付図面
に沿って以下に述べる実施例の説明から明らかになるで
あろう。
【0056】
【発明の実施の形態】人間が視認できるように像が発生
する例えば投影図のような像平面14上に像12を発生
させるための図1及び2に参照番号10で示す本発明装
置の最も簡単な第1実施例は光源列16を構成するよう
に該光源列16の長手方向18に沿って配置され、それ
ぞれを個別の制御ライン24を介して共通制御手段22
によって個別に制御できる複数の半導体エミッタ20を
含む。
【0057】長手方向18は光学投影手段28の光軸2
6と交差し、各半導体エミッタ20からの光線32の射
出スポット30を半導体エミッタ20からの光線によっ
て照明される像平面14の像スポット34上に結像させ
る。なお、光学投影手段28は各半導体エミッタ20の
射出スポット30が特定の時点において像平面14内の
単一の像スポット34にだけ投影されるように構成され
ている。
【0058】最も簡単な場合、光学投影手段28は図1
及び2に略示するようにピボット駆動手段28bによっ
て枢軸28cを中心に回転自在な可傾ミラー28aと、
幾何学的投影のため各半導体エミッタ20からやや発散
状に放出される光線32で像スポット34を照明するレ
ンズ28dから成り、像スポット34は射出スポット3
0の倍数に相当する表面積を有する。
【0059】像の弯曲は適当な形状のレンズ28dまた
は固定枢軸28cを中心に回転させるのではなく枢軸を
も回転させるように適当な制御下にミラーを回転させる
ことによって修正される。最も簡単な場合、即ち、光源
列16が長手方向18に順次配列した個別の半導体エミ
ッタ20から成り、光学投影手段28が可傾ミラー28
aと簡単なレンズ28dから成る場合、全体で像スポッ
ト列38を形成するように順次隣接する個別の像スポッ
ト34が像平面14内に長手方向36に形成される。光
学投影手段28は像スポット列38の個々の像スポット
34が長手方向36にオーバーラップしないように構成
することが好ましい。特に好ましい投影平面の実施例で
は像スポット34がそれぞれの外周縁間に僅かの間隔A
を保つか、または互いに境を接して並ぶ。
【0060】半導体エミッタ20の個数は像スポット列
38を構成する像スポット34の総数よりも少ないか
ら、像スポット列38をそれぞれが順次隣接する像スポ
ット34から成るいくつかの像スポットセット38Sで
構成し、それぞれのセット38Sにおいて像スポットが
順次隣接し、セット38Sどうしも長手方向36に順次
隣接し、各セット38Sにおいて互いに隣接する像スポ
ット34と同様に、連続するセット38Sの互いに隣接
する像スポット34も互いに間隔Aを保つ。
【0061】従って、像スポット34のすべてのセット
38Sが像スポット列38の像スポット34の総数を構
成する。このため、可傾ミラー28aを異なる位置へ回
転させ、例えば、図1に実線で示す可傾ミラー28aの
位置では像スポット34のセット38S1を発生させ、
図1に鎖線で示す可傾ミラー28aの位置では次のセッ
ト38S2を発生させる。
【0062】このためにはピボット駆動手段28bによ
り枢動軸28cを中心に可傾ミラー28aを所要量だけ
回転することになるが、ピボット駆動手段28bはセッ
ト38S1に属する像スポットが照明されたのち、時間
Ta1に亘って鎖線位置まで迅速に回転し、時間Ta1
に等しい長さの時間Ta2に亘ってセット38S2に属
する像スポット34が照明されるように構成されてい
る。
【0063】図1には部材間の関係を簡略化して示した
に過ぎない。本発明では例えば像スポット列38が10
組の像スポットセット38Sから成り、従って、可傾ミ
ラー28aも10通りの異なる位置へ回転自在であり、
各像スポットセット38Sはすべてのセット38Sに共
通の長さの時間Taに亘って照明される。即ち、例えば
1250個の像スポット34から成る像スポット列38
を、125個の半導体エミッタ20を有する光源列が各
像組立てサイクルごとに10組の隣接する像スポットセ
ット38Sを順次照明することによって組立て、この像
組立てサイクルが周期的に繰返えされる。
【0064】像12を観察する人間の目に映る像スポッ
ト34の明るさを変化させるための制御手段22は、図
2に示すように、各半導体エミッタ20ごとに設けた電
流制御ブロック42に給電するすべての半導体エミッタ
20に共通の電源40を含む。この電流制御ブロックは
例えば電流制御素子としてのFETトランジスタ44
と、記憶素子としてそのゲートに接続するコンデンサ4
6から成る。各電流制御ブロック42のこのコンデンサ
46には制御スイッチ48を介して所定の電荷を充電す
ることができ、コンデンサ46の電荷がFETトランジ
スタ44を流れる電流を決定する。コンデンサ46に記
憶させるべき電荷は各電流制御ブロック42の各コンデ
ンサ46ごとに設けた中間メモリ50から制御スイッチ
48をトリガーすることによって読取られる。中間メモ
リ50はあらゆる制御パラメータを記憶していることが
好ましく、制御スイッチ48をトリガーすることにより
すべての制御パラメータがすべての電流制御ブロック4
2のコンデンサ46へ同時に書込まれる。
【0065】制御スイッチ48をトリガーするためのト
リガーブロック52を設ける。トリガーブロック52が
制御スイッチ48をトリガーする時点間において、像発
生装置54を介して個々の制御パラメータを中間メモリ
50へ直列に書込むことができるから、各トリガー時点
において中間メモリ50には光源列16のすべての半導
体エミッタ20のための実制御パラメータが記憶されて
いる。
【0066】ここで半導体エミッタ20について考察す
る。該エミッタから放出される光線32は図3に示すよ
うに対応の制御ブロック42のコンデンサ46を充電す
ることによって制御時点t1 において決定される。電荷
はコンデンサ46内に残留し、半導体エミッタからの光
線の強さは次の制御時点t2 まで一定に保たれる。もし
この時点でコンデンサ46の電荷を低下させた場合も、
これに対応する明るさは次の制御時点t3 まで維持され
る。制御時点t3 において明るさは最大となり、コンデ
ンサ46の電荷も最大となるが、制御時点t4 において
電荷は最小となり、半導体エミッタ20は制御時点t4
及びt5 間で全く発光しない。即ち、明るさは0とな
る。
【0067】各半導体エミッタ20にはそれぞれ独自の
制御ブロック42を併設したから、光源列16の個々の
半導体エミッタ20を個別に制御することにより像スポ
ット列38を構成する像スポット34にそれぞれ著しく
異なる明るさを与えることができる。トリガーブロック
52はライン56を介してピボット駆動手段28と接続
し、ピボット駆動手段28と同期化されているから、す
べての制御ブロック42と連携するすべてのコンデンサ
46に例えば制御時点t1 においてセット38S1に属
するすべての像スポット34を照明するのに必要な値が
充電され、時点t2 においてセット38S2に属する像
スポット34を照明するのに必要な値が充電される。こ
れと同時に制御時点t2 においてピボット駆動手段28
bが図1に実線で示す位置から鎖線で示す位置へ可能な
限りの高速度で枢動する。
【0068】従って、像発生装置54に記憶されている
明るさ値に応じてセット38S1に属するすべての像ス
ポット34が照明される時間Taはt1 からt2 までの
時間に相当する。像スポット列38を構成するすべての
像スポットセット38Sが時間Taに亘って順次照明さ
れるまで上記手順を1像組立てサイクル中に繰返えす。
【0069】図4に示す本発明の制御手段の他の実施例
22′では制御手段22と同じ構成素子には制御手段2
2の構成素子と同じ参照番号を付してあり、ここではそ
の説明を省く。制御手段22と異なり、各制御ブロック
42′は制御トランジスタ44だけで構成され、そのゲ
ートはパルス整形回路60によって制御され、オン−オ
フ状態間で切換えられるだけである。パルス整形回路は
各制御時点において伝送される制御パラメータを記憶
し、この制御パラメータに従ってパルス幅変調の原理に
基づき制御トランジスタ44に対する可変長さの制御パ
ルスを整形し、半導体エミッタ20も図5に示すように
各制御時点間の可変時間長に亘ってスイッチオンまたは
スイッチオフされる。
【0070】制御時点t1 ,t2 ,t3 及びt4 間にお
ける一定明るさ値はそれぞれ長さの異なるパルス持続時
間Δt1 ,Δt2 ,Δt3 によって与えられ、半導体エ
ミッタはそれぞれのパルス持続時間Δt1 ,Δt2 ,Δ
3 に亘って最大明るさの光線32を放出する。これと
関連して、像スポット34を観察しながら人間の目は時
間平均の作用を行うから、それぞれ異なるパルス幅Δt
1 ,Δt2 及びΔt3が人間の目にあたかも制御時点t
1 ,t2 ,t3 及びt4 間の時間全体に亘って図3に示
すような明るさ値が存在するかのような印象を与えると
いう効果が利用される。
【0071】その他の点については制御手段22′は制
御手段22と全く同じ構成を有する。図6に示す本発明
の制御手段の第3実施例22″は所定の照明時間Taに
亘って各電流制御ブロックが各半導体エミッタ20の電
流を、調整回路56を介して、中間メモリ50に記憶さ
れている各セット38Sごとの名目値に設定し、前記調
整回路56がモニターフォトダイオード列58を構成し
ているモニターフォトダイオード60を介して各半導体
エミッタ20から放出される光線32の光量を測定し、
この測定値に従って各半導体エミッタ20を制御すると
いう点で上記実施例とは異なる。
【0072】半導体エミッタ20は図3に示すように可
変電流で制御することができ、その場合、調整回路56
が各半導体エミッタ20ごとの電流量を調整するか、ま
たは調整回路56が半導体エミッタ20に最大電流が供
給される時間Δtを調整し、中間メモリ50に名目値と
して定められている光量に達すると調整回路56が各半
導体エミッタ20への電流を遮断する。
【0073】図7に示す本発明装置の第2実施例では、
光学投影手段28が半導体エミッタからの光線32を広
げる光学スプレッダ手段70を含み、最も簡単な場合、
この光学スプレッダ手段70は図7に示すように屈折率
がn1 の基材72を有し、該基材72内にn1 よりも大
きい屈折率n2 を有する導波路74を導入した構成とな
る。
【0074】各射出スポット30から射出される各半導
体エミッタ20の光線32は各導波路74の第1端76
に集束され、第2端78へ誘導され、この第2端から再
び射出される。導波路74の第1端76は各半導体エミ
ッタ20の射出スポット30間の間隔に相当する間隔で
配置され、射出スポット30から射出された光線32は
導波路74の第1端76に入射し、光線32の射出スポ
ット80を有する第2端78へ誘導され、前記射出スポ
ット80は像スポットパターン間隔BRで順次配置され
ている。光学スプレッダ手段70から射出された光線は
可傾ミラー28aによって像平面14内の像スポット列
38上に再び結像させられ、可傾ミラー28aの1つの
位置において、連続する半導体エミッタ20は像スポッ
ト列38における像スポット34の間隔Aの倍数に相当
する間隔を保つ個々の像スポット34と連携する。その
結果、可傾ミラー28aの前記1つの位置において光源
列16によって照明される像スポット34が像スポット
パターン38Rを形成し、像スポットパターン38R1
を形成する個々の像スポット34R1の間には常に同数
の像スポット34が位置する。
【0075】像スポットパターン38R1は長手方向3
6に像スポット列38の全域にまたがる。可傾ミラー2
8aを僅かに傾けると、それまで像スポット34R1と
連携していた半導体エミッタ20が前記像スポット34
R1に隣接する像スポット34R2と連携し、すべての
半導体エミッタ20が像スポットパターン38R1の像
スポット34R1にそれぞれ隣接する像スポット34R
2と連携することで新しい像スポットパターン38R2
が形成され、この新しいパターン38R2は像スポット
列38における像スポットパターン38R1を構成する
像スポット34R1に続く像スポットである。
【0076】可傾ミラー28aをさらに傾けると、光源
列16の半導体エミッタ20が再び隣接の像スポット3
4と連携して像スポットパターン38R3…を形成し、
像スポット列38のすべての像スポット34が再び像ス
ポットパターン38Rの一部となるまで続く。像組立て
サイクルも同じ時間だけ持続し、このサイクルでは個々
の像スポットがそれぞれの像スポットパターンと櫛状に
連携し、像スポットパターンが順次隣接像スポットへ移
動するから、像スポット列38を構成するすべての像ス
ポット34を照明することができる。
【0077】像組立てサイクルは本発明装置の第1実施
例について述べたのと同じ態様で周期的に繰返えされる
が、第2実施例の場合、可傾ミラー28aの回転角度は
第1実施例の場合よりもかなり小さい。図8に詳細を示
す本発明の光学スプレッダ手段の実施例70′は複数の
プリズム素子82,84から成り、プリズム素子82は
例えば光軸26と同軸関係に配置され、光線32をその
まま変化させずに通過させるプリズム素子であるのに対
して、プリズム素子84a,84b,…はそれぞれが個
々の半導体エミッタ20からの光線32を光軸26を中
心に対称の像スポットパターン間隔BRを保つように偏
向させる。このため、プリズム素子84a,84b,…
は光線32を光軸26から所定角度だけ遠ざけ、光線方
向の長さに差を設けることで光線32を図7に示した本
発明装置の第2実施例に関連して述べたのと同じ像スポ
ットパターン間隔BRで配列させるように構成されてい
る。
【0078】図9に示す本発明の光学スプレッダ手段の
第2実施例70″では半導体エミッタ20からの光線3
2が光線32の入射方向94に像スポットパターン間隔
BRに相当する間隔で反射面92を有する反射格子90
によって反射させられる。前記反射面はまた入射方向9
4と直交する方向に、半導体エミッタ射出スポット30
の間隔に相当する間隔を保って順次配列されているか
ら、射出スポット30からの光線32は反射面92に直
接入射し、所要の像スポットパターン間隔BRを保つ光
線32として反射する。
【0079】図10に示す本発明装置の第3実施例で
は、光学投影手段128が第1実施例に関して述べた素
子、即ち、可傾ミラー28a及びピボット駆動手段28
bのほかに、駆動手段134によって長手方向18と平
行な軸線132を中心に回転駆動される多面体ミラー
(ポリゴンミラー)130をも含む。この多面体ミラー
130は軸線132を中心に等角度間隔に設けられた複
数の多角形面136を有し、それぞれの多角形面136
が順次反射面として作用する。
【0080】光源列16は第1実施例と全く同様に長手
方向18に順次配列され、制御手段22,22′または
22″によって制御される複数の半導体エミッタ20か
ら成る。射出スポット30から射出された光線32は先
ず第1光学集束手段138によって反射位置にある多角
形面136に集束され、反射位置を占める多角形面13
6で反射した光線32は可傾ミラー28aで反射し、さ
らに第2光学集束手段142によって集束され、像平面
14上に結像させられる。
【0081】反射位置における多角形面136は光線3
2を照射されている間軸線132を中心に回転している
から、像平面14に発生するのは単一の像スポット列3
8ではなく、長手方向36と直交する方向144に順次
配列された複数の像スポット列38′である。具体的に
は、反射位置にある多角形面136のミラー回転方向1
46に最前部に光線32が作用すると第1像スポット列
38a′が像平面14上に発生し、反射位置にある多角
形面136のミラー回転方向146に最後部に光線32
が作用すると最終像スポット列38b′が発生する。
【0082】回転する多面体ミラー130の作用で、各
像スポットセット38Sは可傾ミラー28aの位置が変
わらなければ、多角形面136の1つによってすべての
列38′、即ち、列38a′から列38b′までのすべ
ての列38′に結像させられる。反射位置における多角
形面136が多面体ミラー130の回転に伴なって次の
面へ移ると、可傾ミラー28aはすべての像スポット列
38′における次の像スポットセット38S、即ち、例
えば像スポットセット38S2を照明する範囲へ移動し
ており、この時点で反射位置にある多角形面136がこ
の像スポットセットをすべての像スポット列38′上に
投影するまでこの照明を継続する。次の多角形面136
に切換わると可傾ミラー28aも同様に再び移動し、次
の像スポットセット38S3が像スポット列38′上に
投影されることになる。
【0083】回転多面体ミラー130は接続ラインを介
してそれぞれの制御手段22,22′または22″によ
りトリガーブロック52と同期化され、可傾ミラー28
aの傾動が多面体ミラー130の回転運動と同期して、
次の多角形面136が反射位置に来ると可傾ミラー28
aが光源列16をそれぞれ後続の像スポットセット上に
結像させる。このため、多面体ミラーの駆動手段に回転
位置デコーダを設けると同時に可傾ミラー28aのピボ
ット駆動手段28bにも回転位置デコーダを設けること
により、それぞれの制御手段22,22′,22″を介
して簡単に同期化できるようにするのが好ましい(図1
1)。
【0084】可傾ミラー28aはピボット駆動手段28
bによって駆動されて1つの位置から他の位置へ迅速に
切換わり、この切換えは1つの多角形面から次の多角形
面への切換えに必要な時間とほぼ同じ時間で行われるか
ら無駄時間を極力少なくすることができる。可傾ミラー
28aが移動し、1つのセットから他のセットへ移行す
るタイムインターバルは例えば125個の半導体エミッ
タで毎秒100像組立てサイクル、各像スポット列の像
スポットが1250個なら最大限1μsであり、この最
大限1μsの間に多面体ミラー130は多角形面136
ですべての像スポット列38′上にそれぞれの像スポッ
トセットを結像させる。
【0085】回転多面体ミラー130を制御手段22と
同期させるため、図11に示すように半導体エミッタ1
48を別設する。この半導体エミッタは例えば反射位置
にある多角形面136と対向する多角形面136を光ビ
ーム150で照明し、反射光線152を検出器154に
入射させる。この検出器は検出域156または複数の検
出域156を有し、検出域156は反射光線152の断
面積にほぼ相当する広がりを有し、反射光線152がそ
れぞれの検出域156に入射すると多面体ミラー130
の正確な回転位置が測定される。
【0086】第1検出域156は例えば反射光線152
が反射位置にある多角形面136に入射すると、この多
角形面136が光源列16の半導体エミッタ20の射出
スポット30をそれぞれの像スポット列38Sにおける
第1像スポット列38a′上に結像させるように位置決
めされている。また、第2検出域156は反射光線15
2が反射位置にある多角形面136に入射するとこの多
角形面136が光源列16の半導体エミッタ20の射出
スポット30を第2像スポット列38′上に結像させる
ように位置決めされており、残りの検出域も同様に位置
されている。
【0087】反射光線152が検出域156の1つに入
射すると検出器154内に信号が発生し、これが例えば
トリガーブロック52に伝送され、各電流制御ブロック
42ごとの制御パラメータを制御時点tにおいて変更で
きるように適当な遅延を伴なって制御スイッチ48をト
リガーさせる。従って、異なる明るさ分布で各像スポッ
ト列38′上に像スポット34を投影し、像平面14上
に2次元像を組立てることができ、この像は長手方向3
6及び横断方向144に広がり、像スポット列38′の
個々の像スポット34から成る。これにより制御時点t
は多面体ミラー130の回転と同期し、好ましくは2つ
の多角形面136間に位置するエッジ160に光線32
が入射する時点と一致する。
【0088】光線32がエッジ160に直接入射する時
点ですべての半導体エミッタを時間ΔtK に亘って一時
的にスイッチオフし、従って、エッジ160に続く多角
形面136が再び反射位置に来て光線32を反射し、半
導体エミッタ20の射出スポット30が第1像スポット
列38a′に来るまで光線32を放出しないようにすれ
は特に好都合である。このような制御方式を制御手段2
2の場合に関して図12に示した。この場合、それぞれ
の制御時点tにおいてコンデンサ46を放電させ、次い
で中間メモリ50に記憶されている適正な制御パラメー
タで再充電するように制御スイッチ48を構成する。
【0089】図13に示す制御手段22′の場合、好ま
しくは一定のタイムインターバルで続く連続制御時点t
間の時間よりもΔtK だけ最大パルス幅Δtを短くする
だけでそれぞれの制御時点tの寸前に半導体エミッタ2
0をスイッチオフすることができる。図10に示す実施
例の場合、駆動手段134はほぼ一定の回転速度で多面
体ミラー130を連続回転させる。
【0090】これに代わる実施態様として、個々の回転
位置へ制御下に移動させることができる、従って、多面
体ミラー130を連続的に回転させるのではなく、反射
位置にある多角形面136が光線32に対して順次異な
る回転位置を占めるように多面体ミラー130をそれぞ
れの回転位置へ回転させるステップモータを駆動手段1
34として設け、個々の回転位置が各像スポット列3
8′への光源列射出スポット30の反射と対応させるこ
とも可能である。即ち、所定の時間に亘って像スポット
列38′が照明されたのち、反射位置にある多角形面1
36が次の回転位置へ“ジャンプ”する。この場合、多
面体ミラー130の回転が迅速であるためエッジ160
を飛越すことも可能である。
【0091】検出器154による多面体ミラー130の
回転位置検出を省くには、ステップモータの制御でトリ
ガーブロック52をも制御すればよい。図14に示す本
発明装置の第4実施例は第2実施例に基づく実施例であ
り、光学投影手段128は第3実施例の場合と同様に構
成され、光学スプレッダ手段70によって像スポットパ
ターン間隔BRにまで広げられた光線32は第2実施例
の場合と同様に可傾ミラー28aに入射し、各像スポッ
ト列38′における各像スポットパターン38Rから成
る像スポット34を照明する。
【0092】この実施例では、第3実施例の場合と同様
に回転多面体ミラー130によって同一の像スポットパ
ターン38Rがすべての像スポット列38′に発生し、
さらに次の像スポットパターン38Rに進み、これもす
べての像スポット列38′、即ち、像スポット列38
a′から像スポット列38b′までに発生する。この実
施例では、可傾ミラー28aが静止したままで同一の像
スポットパターン38Rがすべての像スポット列38′
に発生したのちに次の傾斜位置へジャンプして次の像ス
ポットパターン38Rをすべての像スポット列38′に
発生させるようにしてもよいが、可傾ミラー28aを連
続的にかつゆっくりと回転させ、同一像スポットパター
ン38Rがすべての像スポット列38′に発生したら、
次の像スポットパターンが既に第1像スポット列38
a′に発生し始めているように傾斜を大きくすることも
可能である。ただし、この場合には連続する像スポット
列38′中の対応像スポット34は長手方向36と直交
する直線上には位置せず、長手方向36に対して90°
よりも大きい角度を形成する直線上に位置する。ただ
し、個々の像スポット列38′中の対応像スポット34
の位置が斜め方向であっても対応像スポット列を表わす
直線と長手方向36との間の角度偏差は軽微であるから
支障とはならない。
【0093】すべての像スポット列38′に各像スポッ
トパターン38Rを投影するのに必要な時間は最大限1
μsであり、この時間が経過すると次の像スポットパタ
ーン38Rに切換わる。図10の第3実施例をさらに発
展させた図15に示す第5実施例では、多面体ミラー1
30′が軸線132′と平行な多角形面136′ではな
く、図16に示すように、最後の多角形面136l′が
第1の多角形面136e′と再びつながるという意味で
すべてが第1の多角形面136e′につながっている
が、軸線132と平行な線133に対するそれぞれの多
角形面の中心線の傾斜角が順次一定角度値だけ変化する
ように構成された多角形面136′を有し、軸線132
に対してそれぞれ異なる傾斜を有するこれらの多角形面
136′が可傾ミラー28aの機能をも兼ねる。
【0094】従って、第1多角形面136e′は光源列
16が第1像スポット列38a′の像スポットセット3
8Sを照明しようとする時に反射位置を占める。第1多
角形面136e′が反射位置を占めると、第1像スポッ
トセット38Sの像スポット34がすべての像スポット
列38′に発生する。次いで、第1像スポットセット3
8S1に続く第2像スポットセット38S2を照明する
ように軸線132に対して傾斜している次の多角形面1
36′に切換わり、すべての像スポット列38′に第2
像スポットセット38S2が発生する。
【0095】同様に、さらに次の多角形面136′に切
換わり、この多角形面は第2像スポットセット38S2
に続く第3像スポットセット38S3を照明するように
傾斜している。第6実施例は第4実施例をさらに発展さ
せた実施例であるが、光学投影手段128′は図17に
示すような多面体ミラーを有する。
【0096】ただし、第5実施例とは異なり、多角形面
136′から多角形面136′へと変化する、軸線13
2に対する多角形面136′の角度は第5実施例の場合
よりも小さい。即ち、第1像スポットパターン38R1
から第2像スポットパターン38R2へ切換わる時、各
像スポット列における既に発生した像スポット34から
隣接の像スポット34へジャンプするのに必要なふれが
起こるだけでよいからである。これに対して第5実施例
では各像スポットセット38Sにおける像スポット数に
像スポット間の間隔Aを乗じた値に相当する距離だけ第
2像スポットセット38S2を第1像スポットセット3
8S1に対してずらさねばならない。なお、第6実施例
ではこの位置ずれが像スポット間隔Aだけでよい。
【0097】上記2つの実施例では各光源列16ごとに
個々の半導体エミッタ20を長手方向18に順次配列し
てあるから、各光源列16は1列の半導体エミッタ20
によって形成される。多色像を発生させるため、図18
に略示する第7実施例では各光源列216が互いに平行
な3列218,220及び222の半導体エミッタ20
から成り、列218は赤色光を放出する半導体エミッタ
20Rから成り、列220は緑色光を放出する半導体エ
ミッタ20Gから成り、列222は青色光を放出する半
導体エミッタ20Bから成る。
【0098】光学投影手段228は常に1個の半導体エ
ミッタ20R、1個の半導体エミッタ20G及び1個の
半導体エミッタ20Bが1個の像スポット234を照明
し、最も簡単な場合には半導体エミッタ20R,20G
及び20Bのそれぞれによって発生させられる部分像ス
ポット236B,236G及び236Rが完全にオーバ
ーラップしないか、または部分的にだけオーバーラップ
するように構成されている。最も簡単な場合には第1光
学集束手段138によって光線32を多面体ミラー13
0へ集束するという中間過程を、このような光学投影手
段228を用いることで省略することができる。
【0099】その他の構成に関しては光学投影手段22
8は第5または第6実施例の光学投影手段128と全く
同じであり、重複を避けてその説明を省く。半導体エミ
ッタ20R,20G及び20Bの列218,220及び
222も第1実施例に関して述べたのと同様の態様で制
御することができるが、列218,220及び222の
それぞれと連携する中間メモリ50と、各半導体エミッ
タ20と連携する電流制御ブロック42が必要であり、
すべての列218,220及び222の半導体エミッタ
20R,20G及び20Bに関する制御パラメータが制
御時点tにおいて中間メモリから同時読取りされるよう
に制御が行われる。
【0100】多色像を発生させるため、カラー混光によ
り人間が視認できるすべてのカラーを、特に白色をも像
スポット234に発生させることができるように半導体
エミッタ20R,20G及び20Bの波長と可能な最大
限の明るさを選択する。このため、これらの像スポット
234を照明する各半導体エミッタ20R,20G及び
20Bごとに、かつ各像スポット234ごとに3つの制
御パラメータを像発生装置54によって発生させる。
【0101】図19に示す第8実施例においても、それ
ぞれが半導体エミッタ20R,20G及び20Bから成
る3列218,220及び222を設ける。その制御方
式は第3実施例の場合と同様である。第3実施例と異な
る点として、光学投影手段328が光源列216と多面
体ミラー130の間に設けた2組のミラー330及び3
32を含み、この2組のミラーが半導体エミッタ20R
からの光線32Rと、半導体エミッタ20Gからの光線
32Gと半導体エミッタ20Bからの光線32Bを組合
わせる。
【0102】第1組のミラー330は光線32Rの光路
に配置したダイクロイックミラー333とこのダイクロ
イックミラーにむかって光線32Gを反射させるミラー
336から成る。第2組のミラー332は光線32Rの
光路に設けたダイクロイックミラー338とこのダイク
ロイックミラー338にむかって光線32Bを反射させ
るミラー340から成る。
【0103】即ち、2つのダイクロイックミラー333
及び338の作用によって光線32R,32G及び32
Bが組合わされて光線32Vを形成し、光線32Vは第
5または第6実施例と同様に構成された多面体ミラー1
30に入射し、さらに第2実施例に関連して述べたのと
同じ態様で像平面14にむかって反射する。この光学投
影手段328の利点は半導体エミッタ20R,20G及
び20Bの射出スポット30の投影によって発生する部
分像スポット336を各像スポット334においてほぼ
完全に重ねることができることにある。
【0104】以上に述べた本発明のいずれの実施例にお
いても、半導体エミッタは図20に示すようないわゆる
エッジエミッタとして構成された半導体レーザーから成
ることが好ましい。この種のエッジエミッタはレーザー
活性層802を介在させた複数の半導体層800から成
る。レーザー光線806は射出スポット804の領域に
おいてこのレーザー活性層から射出される。
【0105】この種のエッジエミッタは給電線808及
び810を介して電源によって操作され、電流は層80
0及び802に対してほぼ垂直に流れる。このようなエ
ッジエミッタの例は定期刊行物"Laser Focus World", J
uly 1993, Vol.29, No.7, PP.83-92に詳細に記述されて
いる。このエッジエミッタの利点は簡単に製造でき、い
わゆるアレイの形で基板上に近接配列できることにあ
る。
【0106】エッジエミッタを設ける代りに光源として
図21に示すようにいわゆる垂直エミッタの形で半導体
レーザーを設けてもよく、その場合、垂直エミッタを構
成する複数の半導体層900の間にレーザー活性層90
2を介在させると共に、レーザー活性層902の両側に
ブラッグ反射鏡として作用する層904をも設ける。こ
の種の垂直エミッタにおいては発生するレーザー光線は
エッジエミッタの場合のように活性層802と平行に伝
播せず、活性層902に対して直角に伝播して基板91
0を通過し、好ましくは基板平面に対して垂直に射出さ
れる。
【0107】垂直エミッタの利点は発生するレーザー光
線906がほぼ円形の断面を有するから、その他の光学
素子、例えばファイバオプチック素子と簡単に結合させ
ることができることにある。この種の垂直エミッタにつ
いては例えば定期刊行物 "Optics Letters", Vol.18, N
o.22, P.1937以下、または定期刊行物 "Spektrum der W
issenschaft", January 1992, P.76以下、に記述されて
おり、詳細についてはこれらの文献を参照されたい。
【0108】下記のレーザー材料は可視領域における種
々のカラーの光線を発生させるのに利用するのが好まし
い材料である。 610−690nm 赤にはAlx Gay In1-x-y
on GaAs 450−550nm 青、緑にはZn1-x Mgx 1-y
y on GaAs UV−赤には Alx Gay In1-x-y N これらのほかに、公知のレーザー材料を使用し、発生す
る光波長を2倍にすることも可能である。この種の材料
として、例えば、 青には Alx Ga1-x As on GaAs(780
−880nm) 青、緑には Inx Ga1-x As on GaAs(8
80−1100nm) 赤には In1-x Gax Asy 1-y on InP(1
100−1600nm) を挙げることができる。
【0109】光源列820からの部分の形で図22及び
23に示す光源からの光線波長を2倍にする半導体エミ
ッタ20′の実施例は共通の基板824上に配列された
エッジエミッタ825のアレイ822から成り、各エミ
ッタは前記基板824上に設けられた特殊なレーザー活
性層によって形成され、各レーザー活性層802は基板
824を被覆する連続層830の帯状部828から成
る。
【0110】光源として作用する半導体レーザー826
のそれぞれに周波数ダブラー832が連携し、各ダブラ
ー832は導波路836として周波数ダブリング媒体を
内蔵する導波構造834を含む。導波構造834は各半
導体レーザー826からの光線を、周波数ダブリング媒
体中で有効な周波数ダブリングが行われるのに必要な少
なくとも105 W/cm2、好ましくは少なくとも166
W/cm2 のパワー密度が達成されるような狭い断面で誘
導する。
【0111】図22及び23に示す実施例ではすべての
周波数ダブラー832を共通の基板838上にアレイ8
40を形成するように配列してある。導波構造834は
導波路834の上下壁を画定する基層842及び被覆層
844と、互いに間隔を保って導波路834の側壁を画
定する中間層850の帯状部846,848と、前記側
壁間に封入されて導波コアとして作用する周波数ダブリ
ング媒体を形成する前記中間層850の帯状部852と
から成る。
【0112】基層842、被覆層844及び中間層85
0の帯状部846,848は帯状部852の屈折率より
も小さい屈折率を有し、光線の全反射、即ち、導波構造
への光線誘導は帯状部852、層842,844及び帯
状部846,848の間の境界で起こる。半導体エミッ
タ20′は周波数ダブラー832のアレイ840の直ぐ
後方に半導体レーザー826のアレイ822が位置し、
レーザー活性層828からの光線が直接導波路834へ
進入するように構成するのが好ましい。
【0113】周波数ダブリング媒体836中で有効な周
波数ダブリングが行われるためには、基本波、即ち、対
応の半導体レーザー826からの光線と、ダブリングさ
れた光線とが周波数ダブリング媒体中を通過する間同相
関係を維持しなければならない。そのためには0°また
は90°の角度で近似位相整合を利用するのが最適であ
る。
【0114】これはごく限られた波長においてだけ可能
である。それぞれの材料を温度変化によって対応の波長
に整合させるのが好ましく、例えば、基板838を温度
調整装置860に載置して周波ダブラー832のアレイ
840全体を近似位相整合に最適の温度に設定し、この
温度に維持する。近似位相整合についてはW.Koechnerの
著作 "Solid State Laser Engineering"に詳細に記述さ
れているから、この文献を参照されたい。
【0115】温度調整装置860には所定の温度をセッ
トし、再調整によってこの温度を維持する制御手段を設
けることが好ましい。周波数ダブリング媒体836にお
ける結晶の方向は基板838の光軸が導波路834の長
手方向854に対して所要の方向に整列するように基板
838を整列させることによってあらかじめ設定すれば
よい。同じ素材から、必要なら異なるドーピング処理を
施しながらこの基板838上に層842,844及び8
55を成長させれば、これらの層の光軸が基板838と
同様に整列するから、周波数ダブリング媒体836中の
光軸位置もあらかじめ設定することができる。
【0116】図24に示す周波数ダブラー832のアレ
イ840の変更実施例は近似位相整合を利用せず、周波
数ダブリング媒体836の非線形係数が互いに逆符号を
有する領域870及び872を周波数媒体836′中で
相前後させることによって位相整合を達成する。導波路
834の長手方向854に沿った領域870及び872
の長さLはコヒーレンス長に相当するように調整する。
【0117】このような近似位相整合を採用すれば、周
波数ダブリングの過程での位相整合は正確な位相整合で
なくても周波数ダブリングされた光線を充分明るくする
ことができる。近似位相整合については定期刊行物 "Op
tics Letters", Vol.17, No.11, PP.795-797、定期刊行
物 "Applied Physics Letters", 56 (2), PP.108-110、
または"IEEE Journal of Quantum Electronics", Vol.2
8, No.11, PP.2631-2654に詳細に記述されている。
【0118】その他の構成についてはアレイ840′は
アレイ840と同じであるからその説明を省き、同じ素
子には同じ参照番号を付した。近似位相整合の場合、緑
色及び赤色波長には周波数ダブリング媒体としてニオブ
酸リチウムから成る結晶を使用するのが好ましく、青色
波長にはニオブ酸カリウムから成る結晶を使用するのが
好ましい。
【0119】導波構造834を製造する際に、導波コア
を囲む材料として屈折率を低下させるマグネシウムその
他の元素でドーピング処理したニオブ酸リチウムまたは
ニオブ酸カリウムを使用する。組合わされて光源列92
0を形成する本発明の半導体エミッタの図25に示す第
2実施例20′では、垂直配列エミッタとして構成され
た半導体レーザー926のアレイ922を使用する。こ
れらの半導体レーザーからの光線928は集束素子93
0によって周波数ダブラー932へ集束されるが、周波
数ダブラー932は共通の基板上にアレイ930を形成
するように配列されており、その構成はアレイ840と
同じであるから、ここではその説明を省く。光学集束手
段930は光学レンズ手段としてではなく勾配屈折率レ
ンズとして構成され、ブロックとして各半導体レーザー
926と対応の周波数ダブラー932の間に挿入され、
勾配屈折率によって光線928を導波路934に集束す
る。
【0120】周波数ダブラー932の端面に光学スプレ
ッダ手段970を設けることが好ましく、これらの光学
スプレッダ手段も勾配屈折率レンズであり、ほぼ平行な
ビーム束972を発生させる。組合わされて光源列10
20を形成する本発明の半導体エミッタの第3実施例で
は、エッジエミッタとして構成した個別半導体レーザー
1026のアレイ1022を共通の基板1024上に配
列し、前記共通基板1024上に個別のレーザー活性層
を形成する。これらの層のそれぞれは基板1024を被
覆する連続層に配置された帯状のレーザー活性層100
2から成る。
【0121】基板1024を冷却素子1050上に載置
し、温度調整装置1054を介して冷却素子1050を
一定温度に調整する温度センサ1052と熱的に接続
し、最終的には半導体エミッタ1026の基板1024
も一定温度となるようにする。同様に、周波数ダブラー
1032にも冷却素子1056を設け、この冷却素子1
056によって基層1042を冷却する。また、この基
層1042に温度センサ1058を接続し、温度調整装
置1054を介して温度センサ1058が基層1042
を一定温度に設定して最終的には導波路内の周波数ダブ
リング媒体1036をも一定温度に維持できるようにす
る。
【0122】エッジエミッタ1026の射出スポット1
060を好ましくはレンズ系1062を介して導波構造
の入射スポット1064に投影し、導波構造の射出スポ
ット1066をレンズ系1068によって再び整形し
て、各半導体エミッタ1020から射出される平行光線
32を形成する。光線はハウジング1072の窓107
0を通過するが、このハウジング1072はアレイ10
22だけではなく導波構造1034、冷却素子105
0,1056、温度センサ1052,1058及びレン
ズ系1062,1066を内蔵ししている。
【0123】前記窓1070の前方にビームスプリッタ
1074を設け、窓1070を通過する光線の一部を、
これもハウジング1072内に配置されて各エッジエミ
ッタ1026と連携するモニターフォトダイオードから
成るモニターフォトダイオード列1076にむかって反
射させる。モニターフォトダイオードはすべて図6の制
御手段第3実施例に関連して詳しく説明した制御手段2
2′と接続している。
【0124】なお、図27に示すようにレンズ系106
2及び1068を基板上に配列されて光線を整形するマ
イクロレンズ系で構成すれは特に有益である。図27に
は周波数ダブラー1032の導波構造をも拡大して示し
た。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明装置の第1実施例を略示する側面図であ
る。
【図2】光学投影手段を誇張的に拡大し、制御手段を簡
略化して図1の第1実施例を略しする側面図である。
【図3】異なる制御時点後における半導体エミッタから
の光線強さの経移を示す簡略図である。
【図4】本発明装置の第1実施例における制御手段の第
2実施例を示す簡略図である。
【図5】制御手段第2実施例における半導体エミッタか
らの光線強さの経移を示す簡略図である。
【図6】半導体エミッタの特定実施態様における制御手
段の第3実施例を示す簡略図である。
【図7】光学スプレッダ手段の第1実施例を含む本発明
装置の第2実施例を示す図1と同様の側面図である。
【図8】図7に示した本発明装置の第2実施例のための
光学スプレッダ手段の第2実施例を詳細に示す拡大図で
ある。
【図9】図7に示した第2実施例のための光学スプレッ
ダ手段の第3実施例を詳細に示す図であり、(A)は全
体図であり、(B)は拡大図である。
【図10】第3実施例を一部斜視図で示す簡略図であ
る。
【図11】本発明の制御手段の第1実施例を第3実施例
と共に示す簡略図である。
【図12】光線強さの経移を示す簡略図である。
【図13】本発明装置の第3実施例と本発明の制御手段
を併用した場合の光線強さの経移を示す図5と同様の簡
略図である。
【図14】本発明装置の第4実施例を示す図10と同様
の簡略図である。
【図15】本発明装置の第5実施例を示す簡略図であ
る。
【図16】本発明装置の第5実施例における多面体ミラ
ーの拡大図である。
【図17】本発明装置の第6実施例を示す簡略図であ
る。
【図18】本発明装置の第7実施例を示す簡略図であ
る。
【図19】本発明装置の第8実施例を示す簡略図であ
る。
【図20】エッジエミッタとして構成された半導体エミ
ッタの簡略図である。
【図21】垂直エミッタとして構成された半導体エミッ
タの簡略図である。
【図22】光源及びこれに続く周波数ダブラーから成る
半導体エミッタ列の第1実施例を示す平面図である。
【図23】図22に示した光源列及び周波数ダブラーの
分解斜視図である。
【図24】図22に示した周波数ダブラー列の他の実施
態様を示す斜視図である。
【図25】光源及び周波数ダブラーと両者の間に介在さ
せた光学手段から成る半導体エミッタ列の第2実施例を
示す説明図である。
【図26】ハウジング内に封入され、対応の制御手段を
有する本発明の半導体エミッタの第3実施例を略示する
側面図である。
【図27】図26に示した光学結像手段の他の実施態様
を詳細に示す拡大図である。
【符号の説明】
16…光源 20…半導体エミッタ 28…光学投影手段 30…射出スポット 32…光線 34…像スポット 38…像スポット列
フロントページの続き (72)発明者 ウベ ブローフ ドイツ連邦共和国,70565 シュトゥット ガルト,ヘッケルシュトラーセ 19

Claims (66)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 互いに隣接するように配置された個々の
    像スポットを照明することによって各像組立てサイクル
    において少なくとも1列の像スポットを組立て、像組立
    てサイクルを周期的に繰返えすことにより光学投影手段
    を介して像を発生させる光源を含み、像平面に特に人間
    が視認可能な像を発生させる装置において、像スポット
    列(38)の像スポット(34)を照明するため複数の
    半導体エミッタ(20)から成る1列の光源(16)を
    設け、光学投影手段(28,128,228,328)
    が各半導体エミッタからの光線(32)の各射出スポッ
    ト(30)を像スポット(34)の少なくとも1つと連
    携させ、光学投影手段(28,128,228,32
    8)が光源列のすべての半導体エミッタ(20)の射出
    スポット(30)をこれと連携する像スポット上に同時
    に結像させることを特徴とする像発生装置。
  2. 【請求項2】 光学投影手段(28,128,228,
    328)が像組立てサイクル中に異なる射出スポット
    (30)を像スポット列の異なる像スポット(34)と
    も連携させることを特徴とする請求項1に記載の装置。
  3. 【請求項3】 光学投影手段(28,128,228,
    328)が各像組立てサイクル中に同じ射出スポット
    (30)を像スポット列(38)の同じ像スポット(3
    4)と連携させることを特徴とする請求項1または2に
    記載の装置。
  4. 【請求項4】 半導体エミッタ(20)の数が像スポッ
    ト列(38)の像スポット(34)の総数よりも少な
    く、光学投影手段(28,128,228,328)が
    像組立てサイクル中の連続時点において像スポット列
    (38)に属する種々の像スポットシリーズ(38S,
    38R)上に射出スポットを結像させることを特徴とす
    る請求項1から請求項3までのいずれか1項に記載の装
    置。
  5. 【請求項5】 光学投影手段(28,128,228,
    328)が像組立てサイクル中の連続時点のそれぞれに
    おいて像スポット列(38)のそれぞれの像スポットシ
    リーズ(38S)に光源列(16)の射出スポット(3
    0)を結像させ、像スポットシリーズが1セット(38
    S)の隣接像スポットから成ることを特徴とする請求項
    4に記載の装置。
  6. 【請求項6】 各像組立てサイクルが終了した時点で像
    スポットの全セット(38S)が像スポット列(38)
    に含まれるすべての像スポットから成り、像スポット列
    (38)の各像スポット(34)がそれぞれ1セット
    (38S)の像スポットによって構成されることを特徴
    とする請求項5に記載の装置。
  7. 【請求項7】 光学投影手段(28,128,228,
    328)が像スポット列(38)中の像スポット(3
    4)のセット(38S)を、像スポットセット(38
    S)が時間順に相前後するように配列させることを特徴
    とする請求項5または6に記載の装置。
  8. 【請求項8】 光学投影手段(28,128,228,
    328)が各サイクルごとに光源列(16)の互いに隣
    接する射出スポット(30)を、像スポット列(38)
    の隣接像スポット(34)間の距離(A)の特定倍に相
    当する像スポットパターン間隔(BR)を有する像スポ
    ットパターン(38R)として構成された一連の像スポ
    ット上に結像させることを特徴とする請求項1から請求
    項4までのいずれか1項に記載の装置。
  9. 【請求項9】 像スポットパターン間隔(BR)が像ス
    ポット列(38)の隣接像スポット(34)間の距離
    (A)の整数倍であることを特徴とする請求項8に記載
    の装置。
  10. 【請求項10】 光源列(16)の隣接射出スポット
    (30)間の距離をパターン間隔(R)上に結像させる
    ことにより、光学投影手段(28,128,228,3
    28)が投影する像における像スポットパターン間隔
    (BR)を得る光学スプレッダ手段(70)を含むこと
    を特徴とする請求項8または9に記載の装置。
  11. 【請求項11】 光学スプレッダ手段(70)が光源列
    の隣接射出スポット間の距離をパターン間隔(R)まで
    拡大することを特徴とする請求項10に記載の装置。
  12. 【請求項12】 光学スプレッダ手段(70)が射出ス
    ポット(30)からの光線(32)を、互いにパターン
    間隔(R)で伸びる平行ビーム束として形成することを
    特徴とする請求項10または11に記載の装置。
  13. 【請求項13】 光学スプレッダ手段(70)が複数の
    プリズム素子(82,84)から成り、プリズム素子
    (82,84)が光学スプレッダ手段(70)から射出
    されるパターン間隔(R)を有するビーム束(32)を
    発生させることを特徴とする請求項10から請求項12
    までのいずれか1項に記載の装置。
  14. 【請求項14】 光学スプレッダ手段(70)が半導体
    エミッタ(20)からの光線(32)の入射方向(9
    4)に固有パターン間隔(R)を有する反射面(92)
    を具えた反射格子(90)から成ることを特徴とする請
    求項10から請求項12までのいずれか1項に記載の装
    置。
  15. 【請求項15】 光学スプレッダ手段(70)が各射出
    スポット(30)に対応させて設けた光ガイド(74)
    から成り、半導体エミッタ(20)の各射出スポット
    (30)からの光線が光ガイド(74)にその一端から
    入射し、光ガイド(74)がその他端(78)によって
    所定パターン間隔(R)で配列された光ガイド射出スポ
    ット(80)を画定することを特徴とする請求項14に
    記載の装置。
  16. 【請求項16】 光学スプレッダ手段(70)を構成す
    る光ガイドとして基板(72)上に光導波路(74)を
    配列したことを特徴とする請求項15に記載の装置。
  17. 【請求項17】 像スポット列(38)を発生させるた
    め、光学投影手段(28,128,228,328)が
    光源列(16)からの光線(32)を別々の像スポット
    シリーズ(38S,38R)上に順次結像させることを
    特徴とする請求項1から請求項16までのいずれか1項
    に記載の装置。
  18. 【請求項18】 光学投影手段(28,128,22
    8,328)が光源列(16)からの光線(32)を連
    続する像スポットシリーズ(38S,38R)上に結像
    させるビーム偏向素子(28a)から成ることを特徴と
    する請求項17に記載の装置。
  19. 【請求項19】 ビーム偏向素子が可動反射素子(28
    a)であることを特徴とする請求項18に記載の装置。
  20. 【請求項20】 反射素子(28a)が光源列(16)
    からの光線(32)を像スポットシリーズ(38S,3
    8R)のそれぞれに結像させる所定の角度に移動自在で
    あることを特徴とする請求項19に記載の装置。
  21. 【請求項21】 ビーム偏向素子を軸線(28c)を中
    心に回転自在なミラー(28a)によって形成したこと
    を特徴とする請求項20に記載の装置。
  22. 【請求項22】 ミラー(28a)が像組立てサイクル
    中連続的に移動することを特徴とする請求項21に記載
    の装置。
  23. 【請求項23】 像組立てサイクル中、ミラー(28
    a)が個々の所定位置を通過することを特徴とする請求
    項21に記載の装置。
  24. 【請求項24】 光学投影手段(28,128,22
    8,328)が像組立てサイクルにおいて複数の隣接す
    る像スポット列(38′)から像を組立てることを特徴
    とする請求項1から請求項23までのいずれか1項に記
    載の装置。
  25. 【請求項25】 光学投影手段(28,128,22
    8,328)が各像スポット列(38′)における1つ
    の像スポットシリーズ(38S,38R)を構成する像
    スポット(34)を発生させ、次いで各像スポット列
    (38′)における次の像スポットシリーズ(38S,
    38R)を発生させることを特徴とする請求項24に記
    載の装置。
  26. 【請求項26】 光学投影手段が連続する像スポット列
    (38)中の像スポットシリーズ(38S,38R)を
    発生させるビーム偏向素子(130)から成ることを特
    徴とする請求項24または25に記載の装置。
  27. 【請求項27】 ビーム偏向素子が可動反射素子(13
    0)であることを特徴とする請求項26に記載の装置。
  28. 【請求項28】 反射素子(130)が各像スポット列
    (38′)における像スポットシリーズ(38S,38
    R)を発生させる所定の角度に移動自在であることを特
    徴とする請求項27に記載の装置。
  29. 【請求項29】 ビーム偏向素子を回転軸(132)を
    中心に回転するポリゴンミラー(130)によって形成
    したことを特徴とする請求項18から請求項28までの
    いずれか1項に記載の装置。
  30. 【請求項30】 ポリゴンミラー(130)が多面体の
    それぞれの面(136)で光源列(16)からの光線を
    反射し、所定の角度範囲内で回転することによってこの
    光線が多数の隣接する像スポット列を横切るようにし、
    次いで次の多面体面で同様の反射を行うことを特徴とす
    る請求項29に記載の装置。
  31. 【請求項31】 ポリゴンミラー(130′)が回転軸
    (132)と平行な線(133)に対してそれぞれ異な
    る角度で傾斜させたミラー面(136′)を有し、各ミ
    ラー面(136′)が像を構成するすべての像スポット
    列(38R)における像スポットシリーズ(38S,3
    8R)を発生させることを特徴とする請求項29または
    30に記載の装置。
  32. 【請求項32】 光学投影手段(28)が光源列(1
    6)の半導体エミッタ(20)からの光線をほぼビーム
    偏向素子(130)上に集束させることを特徴とする請
    求項18から請求項31までのいずれか1項に記載の装
    置。
  33. 【請求項33】 光学投影手段(28,128,22
    8,328)が互いに間隔の詰まった像スポット(3
    4)を発生させることを特徴とする請求項1から請求項
    32までのいずれか1項に記載の装置。
  34. 【請求項34】 像スポット(34)が互いにほぼ境を
    接していることを特徴とする請求項33に記載の装置。
  35. 【請求項35】 光学投影手段(228,328)が異
    なる波長で放出する3個の半導体エミッタ(20R,2
    0G,20B)からの光線(32R,32G,32B)
    を組合わせてビーム束(32V)を形成することを特徴
    とする請求項1から請求項34までのいずれか1項に記
    載の装置。
  36. 【請求項36】 半導体エミッタ(20)が2つの連続
    する制御時点(t1,t2 …)間の時間に光線(32)
    を放出することを特徴とする請求項1から請求項35ま
    でのいずれか1項に記載の装置。
  37. 【請求項37】 制御時点(t1 ,t2 ,…)が一定の
    タイムインターバルで連続することを特徴とする請求項
    36に記載の装置。
  38. 【請求項38】 半導体エミッタ(20)が調節自在な
    明るさの光線を放出することを特徴とする請求項32ま
    たは33に記載の装置。
  39. 【請求項39】 半導体エミッタ(20)が2つの制御
    時点(t1 ,t2 …)間に、調定されたほぼ一定の強度
    の光線(32)を放出することを特徴とする請求項38
    に記載の装置。
  40. 【請求項40】 各半導体エミッタ(20)の光線(3
    2)の強度が各制御時点(t1 ,t2 ,…)において調
    節されることを特徴とする請求項38または39に記載
    の装置。
  41. 【請求項41】 半導体エミッタ(20)が制御時点
    (t1 ,t2 ,…)間に最大強度を有し、調節自在な持
    続時間(Δt1 ,Δt2 ,…)を有する光線を放出する
    かまたは放出しないことを特徴とする請求項36または
    37に記載の装置。
  42. 【請求項42】 観察者によって知覚される平均強度が
    光線(32)の放出持続時間を調整することによって調
    節されることを特徴とする請求項41に記載の装置。
  43. 【請求項43】 各制御時点(t1 ,t2 ,…)におい
    て、光線(32)の放出持続時間(Δt1 ,Δt2
    …)が調節されることを特徴とする請求項41または4
    2に記載の装置。
  44. 【請求項44】 各像スポット(34)が単一の半導体
    エミッタ(20)によって照明されることを特徴とする
    請求項1から請求項43までのいずれか1項に記載の装
    置。
  45. 【請求項45】 各像スポット(34)が3個の半導体
    エミッタ(20R,20G,20B)によって照明さ
    れ、前記エミッタのそれぞれが3個の半導体エミッタ
    (20R,20G,20B)からの光線を重ねることに
    よって白光を発生させる波長で光線(32R,32G,
    32B)を放出することを特徴とする請求項1から請求
    項43までのいずれか1項に記載の装置。
  46. 【請求項46】 1つの像スポット(34)を照明する
    3個の半導体エミッタ(20R,20G,20B)が同
    時に制御されることを特徴とする請求項45に記載の装
    置。
  47. 【請求項47】 光源列(16)が同じ波長の光線を放
    出する少なくとも1列の半導体エミッタ(20)を有す
    ることを特徴とする請求項1から請求項46までのいず
    れか1項に記載の装置。
  48. 【請求項48】 各像スポット列(38)の像スポット
    (34)を照明するため、対応する光源列(16)が互
    いに平行に伸びる3列(218,220,222)の半
    導体エミッタ(20R,20G,20B)を含み、各列
    の半導体エミッタ(20R,20G,20B)がほぼ同
    じ波長の光線を放出することを特徴とする請求項47に
    記載の装置。
  49. 【請求項49】 複数個の半導体エミッタ(20)を同
    時制御するため中間メモリ(50)を設け、複数個の半
    導体エミッタ(20)を同時制御するための制御パラメ
    ータを前記メモリから並列読取りすることを特徴とする
    請求項1から請求項48までのいずれか1項に記載の装
    置。
  50. 【請求項50】 半導体エミッタ(820,920)の
    それぞれが半導体光源(826,926)と半導体光源
    から放出される、光線の周波数ダブラー(832,93
    2)かる成ることを特徴とする請求項1から請求項49
    までのいずれか1項に記載の装置。
  51. 【請求項51】 周波数ダブラー(832,932)が
    各光源(826,926)からの光線を少なくとも10
    5 W/cm2 のパワー密度に圧縮して導波する導波構造
    (834,934)と導波構造(834,934)内に
    設けた周波数ダブリング媒体(836,936)から成
    ることを特徴とする請求項50に記載の装置。
  52. 【請求項52】 周波数ダブラー(832)が光源(8
    26)の直ぐ後方に位置することを特徴とする請求項5
    0または51に記載の装置。
  53. 【請求項53】 光線を導波構造(934)内へ集束さ
    せる光学手段(930)を各光源(926)と各周波数
    ダブラー(932)の間に配置したことを特徴とする請
    求項50または51に記載の装置。
  54. 【請求項54】 光源列(16)の光源(826,92
    6)を1列に配置し、光源列(16)の周波数ダブラー
    (832,932)を光源(826,926)の出力側
    にこれも1列に配置したことを特徴とする請求項50か
    ら請求項53までのいずれか1項に記載の装置。
  55. 【請求項55】 光源(826)のいくつかを共通基板
    (834)上に設けたことを特徴とする請求項50から
    請求項54までのいずれか1項に記載の装置。
  56. 【請求項56】 周波数ダブラー(832,932)の
    いくつかを共通基板(838)上に設けたことを特徴と
    する請求項50から請求項55までのいずれか1項に記
    載の装置。
  57. 【請求項57】 各周波数ダブラー(832,932)
    の各導波構造(834,934)が“単一モード”導波
    路であることを特徴とする請求項50から請求項56ま
    でのいずれか1項に記載の装置。
  58. 【請求項58】 導波路コアを形成する周波数ダブリン
    グ媒体(836,936)を囲み導波路コアよりも低い
    屈折率を有する壁材によって各導波構造(834,93
    4)を、形成したことを特徴とする請求項50から請求
    項57までのいずれか1項に記載の装置。
  59. 【請求項59】 前記壁材が、周波数ダブリング媒体
    (836,936)と同じ材料を素材とし、異なるドー
    ピング処理によってダブリング媒体よりも屈折率を低く
    してあることを特徴とする請求項58に記載の装置。
  60. 【請求項60】 導波構造(834,934)を、周波
    数ダブリング媒体と同一の材料で壁材を形成する領域を
    ドーピング処理して形成したことを特徴とする請求項5
    8または59に記載の装置。
  61. 【請求項61】 導波構造(834,934)を、基板
    (838,938)に加えられ、前記壁材から成る層
    (842,844,850)によって形成したことを特
    徴とする請求項50から請求項59までのいずれか1項
    に記載の装置。
  62. 【請求項62】 周波数ダブリング媒体(836,93
    6)を、基板(838,938)に加えられた層(85
    0)によって形成したことを特徴とする請求項50から
    請求項61までのいずれか1項に記載の装置。
  63. 【請求項63】 周波数ダブリング媒体(836,93
    6)の結晶軸の整列関係を基板(838,938)の整
    列関係によってあらかじめ決定することを特徴とする請
    求項62に記載の装置。
  64. 【請求項64】 導波構造(834,934)の長手方
    向(854,954)に光線と増倍光線とがほぼ位相整
    合するように周波数ダブリング媒体(836,936)
    を構成し、その光軸を導波チャンネルに整列させたこと
    を特徴とする請求項51から請求項63までのいずれか
    1項に記載の装置。
  65. 【請求項65】 周波数ダブリング媒体(836,93
    6)が所定の温度となるよう適合されることを特徴とす
    る請求項64に記載の装置。
  66. 【請求項66】 導波構造(834)の長手方向(85
    4)に準位相整合が成立するように周波数ダブリング媒
    体(836′)を構成し、整列させることを特徴とする
    請求項51から請求項63までのいずれか1項又は請求
    項65に記載の装置。
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