JPH09119880A - 圧力センサ - Google Patents
圧力センサInfo
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- JPH09119880A JPH09119880A JP8202198A JP20219896A JPH09119880A JP H09119880 A JPH09119880 A JP H09119880A JP 8202198 A JP8202198 A JP 8202198A JP 20219896 A JP20219896 A JP 20219896A JP H09119880 A JPH09119880 A JP H09119880A
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/04—Means for compensating for effects of changes of temperature, i.e. other than electric compensation
-
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- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
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-
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- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
- G01L9/0041—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
- G01L9/0072—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in capacitance
- G01L9/0075—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in capacitance using a ceramic diaphragm, e.g. alumina, fused quartz, glass
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 温度に基づく小さな測定誤差しか有しておら
ず、特に小さな測定領域においても使用可能な圧力セン
サを提供する。 【解決手段】 センサ素子1と、縁部で保持されたセン
サダイヤフラム11とが設けられており、センサダイヤ
フラムの保持されていない部分が、測定したい圧力に基
づき変位可能であり、センサダイヤフラムの縁部をハウ
ジング2に固定するための固定手段3と、ハウジングを
閉鎖するダイヤフラム4とが設けられており、該ダイヤ
フラムに、測定したい圧力が供給され、温度に基づく測
定誤差を最小限に抑えるために適当な弾性モジュールを
有する固形物5が設けられており、該固形物が、ダイヤ
フラムと、センサダイヤフラムの変位可能な部分との間
に配置されており、該固形物が、ダイヤフラム4からセ
ンサダイヤフラム11へ圧力を伝達する。
ず、特に小さな測定領域においても使用可能な圧力セン
サを提供する。 【解決手段】 センサ素子1と、縁部で保持されたセン
サダイヤフラム11とが設けられており、センサダイヤ
フラムの保持されていない部分が、測定したい圧力に基
づき変位可能であり、センサダイヤフラムの縁部をハウ
ジング2に固定するための固定手段3と、ハウジングを
閉鎖するダイヤフラム4とが設けられており、該ダイヤ
フラムに、測定したい圧力が供給され、温度に基づく測
定誤差を最小限に抑えるために適当な弾性モジュールを
有する固形物5が設けられており、該固形物が、ダイヤ
フラムと、センサダイヤフラムの変位可能な部分との間
に配置されており、該固形物が、ダイヤフラム4からセ
ンサダイヤフラム11へ圧力を伝達する。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、圧力センサに関す
る。
る。
【0002】
【従来の技術】圧力センサは、多数の使用形態において
種々異なる要求を満たさなければならない。すなわち、
たとえば食品工業においては衛生上の理由から、しばし
ばフロント面に整合した圧力センサ、たとえばステンレ
ス鋼から成る圧力センサが必要とされる。他面におい
て、化学工業ではしばしば圧力センサの、媒体に接触す
る構成部分の化学的耐性に対して特別な要求が課せられ
る。磨耗性の媒体と共に使用される場合には、媒体に接
触する構成部分の機械的耐性に対して特別な要求が課せ
られる。さらに、圧力センサは多数の使用形態において
特に高い周囲温度もしくは特に低い周囲温度にさらされ
ている。
種々異なる要求を満たさなければならない。すなわち、
たとえば食品工業においては衛生上の理由から、しばし
ばフロント面に整合した圧力センサ、たとえばステンレ
ス鋼から成る圧力センサが必要とされる。他面におい
て、化学工業ではしばしば圧力センサの、媒体に接触す
る構成部分の化学的耐性に対して特別な要求が課せられ
る。磨耗性の媒体と共に使用される場合には、媒体に接
触する構成部分の機械的耐性に対して特別な要求が課せ
られる。さらに、圧力センサは多数の使用形態において
特に高い周囲温度もしくは特に低い周囲温度にさらされ
ている。
【0003】これらの要求を満たすためには、たとえば
1990年ミュンヘン(Muenchen)で発行され
た文献「ドゥルックミットラー(Druckmittl
er)」(H.Julien著)、第7頁および第8頁
に記載されているように、圧力センサがダイヤフラムシ
ールと相まって使用される。
1990年ミュンヘン(Muenchen)で発行され
た文献「ドゥルックミットラー(Druckmittl
er)」(H.Julien著)、第7頁および第8頁
に記載されているように、圧力センサがダイヤフラムシ
ールと相まって使用される。
【0004】上記文献に開示された圧力センサの構成で
は、 a)センサ素子が設けられており、 b)ハウジングが設けられており、 c)センサ素子をハウジングに固定するための固定手段
が設けられており、 d)ダイヤフラムシールが設けられており、 e)ダイヤフラムシールが、このダイヤフラムシールを
閉鎖するダイヤフラムを有しており、このダイヤフラム
に、測定したい圧力が供給されるようになっており、 f)ダイヤフラムシールが、ダイヤフラムに配置され
た、閉鎖された中空室を有しており、 g)ダイヤフラムシールが、前記中空室からセンサ素子
に通じた細い管路を有しており、 h)ダイヤフラムシールが、前記中空室と前記管路とを
完全に満たす液体を有しており、この液体が、ダイヤフ
ラムからセンサ素子へ圧力を伝達する。
は、 a)センサ素子が設けられており、 b)ハウジングが設けられており、 c)センサ素子をハウジングに固定するための固定手段
が設けられており、 d)ダイヤフラムシールが設けられており、 e)ダイヤフラムシールが、このダイヤフラムシールを
閉鎖するダイヤフラムを有しており、このダイヤフラム
に、測定したい圧力が供給されるようになっており、 f)ダイヤフラムシールが、ダイヤフラムに配置され
た、閉鎖された中空室を有しており、 g)ダイヤフラムシールが、前記中空室からセンサ素子
に通じた細い管路を有しており、 h)ダイヤフラムシールが、前記中空室と前記管路とを
完全に満たす液体を有しており、この液体が、ダイヤフ
ラムからセンサ素子へ圧力を伝達する。
【0005】液体は、たとえばできるだけ非圧縮性の適
当なオイルであり、このオイルは無気泡にダイヤフラム
シールに導入されなければならない。
当なオイルであり、このオイルは無気泡にダイヤフラム
シールに導入されなければならない。
【0006】ダイヤフラムシールを備えたこのような圧
力センサの欠点は、その製造、特に液体の充填に極めて
大きな手間がかかることにある。
力センサの欠点は、その製造、特に液体の充填に極めて
大きな手間がかかることにある。
【0007】別の欠点は、ダイヤフラムに作用する、測
定領域を上回るか、または下回る圧力によるダイヤフラ
ムの破壊を阻止するために、中空室において、ダイヤフ
ラムを支持するダイヤフラム床が必要となる点にある。
定領域を上回るか、または下回る圧力によるダイヤフラ
ムの破壊を阻止するために、中空室において、ダイヤフ
ラムを支持するダイヤフラム床が必要となる点にある。
【0008】さらに別の欠点は、ダイヤフラムにおける
欠陥、たとえば孔または亀裂により、液体が流出する危
険がある点に認められる。このことは、食品工業および
ラッカ工業における使用では、特に危険となる。
欠陥、たとえば孔または亀裂により、液体が流出する危
険がある点に認められる。このことは、食品工業および
ラッカ工業における使用では、特に危険となる。
【0009】さらに別の欠点は、液体の熱膨張に基づき
測定誤差が生じることに認められる。この測定誤差は小
さな測定領域、たとえば0Pa〜10kPaにおいて特
に大きくなる。このような不都合を回避するために通常
では、大きな直径のダイヤフラムを備えたダイヤフラム
シールが使用される。
測定誤差が生じることに認められる。この測定誤差は小
さな測定領域、たとえば0Pa〜10kPaにおいて特
に大きくなる。このような不都合を回避するために通常
では、大きな直径のダイヤフラムを備えたダイヤフラム
シールが使用される。
【0010】米国特許第4686764号明細書に記載
の圧力センサの構成では、 a)センサ素子が設けられており、 b)ハウジングが設けられており、 c)センサ素子をハウジングに固定するための固定手段
が設けられており、 d)ハウジングを閉鎖するダイヤフラムが設けられてお
り、このダイヤフラムに、測定したい圧力が供給される
ようになっており、 e)ゲル状の充填材料が設けられており、 f)この充填材料が、ダイヤフラムとハウジングとセン
サ素子とにより形成された中空室を満たしており、 g)充填材料が、ダイヤフラムからセンサ素子へ圧力を
伝達する。
の圧力センサの構成では、 a)センサ素子が設けられており、 b)ハウジングが設けられており、 c)センサ素子をハウジングに固定するための固定手段
が設けられており、 d)ハウジングを閉鎖するダイヤフラムが設けられてお
り、このダイヤフラムに、測定したい圧力が供給される
ようになっており、 e)ゲル状の充填材料が設けられており、 f)この充填材料が、ダイヤフラムとハウジングとセン
サ素子とにより形成された中空室を満たしており、 g)充填材料が、ダイヤフラムからセンサ素子へ圧力を
伝達する。
【0011】ダイヤフラムと充填材料とは、この場合、
単にセンサ素子を保護する役目しか持たない。
単にセンサ素子を保護する役目しか持たない。
【0012】このような圧力センサの欠点は、測定した
い圧力の作用するダイヤフラムの面に比べて、センサ素
子の有効面が小さく形成されている点にある。これによ
り、圧力センサ内部の、ゲル状の充填材料で充填された
容積は大きく形成される。このことは、充填材料におけ
る、ほぼ等方性の圧力分配を生ぜしめる。このような圧
力センサの、温度に基づく測定誤差は、最初に述べたダ
イヤフラムシールを備えた圧力センサの場合と全く同様
に、特に小さな測定領域において極めて大きくなる。
い圧力の作用するダイヤフラムの面に比べて、センサ素
子の有効面が小さく形成されている点にある。これによ
り、圧力センサ内部の、ゲル状の充填材料で充填された
容積は大きく形成される。このことは、充填材料におけ
る、ほぼ等方性の圧力分配を生ぜしめる。このような圧
力センサの、温度に基づく測定誤差は、最初に述べたダ
イヤフラムシールを備えた圧力センサの場合と全く同様
に、特に小さな測定領域において極めて大きくなる。
【0013】さらに別の欠点は、ダイヤフラムが、特に
点状の機械的負荷に対して保護されていない点にある。
ダイヤフラムが載設される充填材料は、単に面状の負荷
を吸収することしかできない。
点状の機械的負荷に対して保護されていない点にある。
ダイヤフラムが載設される充填材料は、単に面状の負荷
を吸収することしかできない。
【0014】
【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、温度
に基づく小さな測定誤差しか有しておらず、特に小さな
測定領域、たとえば0Pa〜10kPaにおいても使用
可能であり、しかも特に小さなダイヤフラム直径を有し
ているような圧力センサを提供することである。
に基づく小さな測定誤差しか有しておらず、特に小さな
測定領域、たとえば0Pa〜10kPaにおいても使用
可能であり、しかも特に小さなダイヤフラム直径を有し
ているような圧力センサを提供することである。
【0015】
【課題を解決するための手段】この課題を解決するため
に本発明の構成では、 a)センサ素子が設けられており、 b)縁部で保持されたセンサダイヤフラムが設けられて
おり、 c)該センサダイヤフラムの保持されていない部分が、
測定したい圧力に基づき変位可能であり、 d)ハウジングが設けられており、 e)センサダイヤフラムの縁部をハウジングに固定する
ための固定手段が設けられており、 f)ハウジングを閉鎖するダイヤフラムが設けられてお
り、該ダイヤフラムに、測定したい圧力が供給されるよ
うになっており、 g)温度に基づく測定誤差を最小限に抑えるために適当
な弾性モジュールを有する固形物が設けられており、 h)該固形物が、ダイヤフラムと、センサダイヤフラム
の変位可能な部分との間に配置されており、 i)該固形物が、ダイヤフラムからセンサダイヤフラム
へ圧力を伝達するようにした。
に本発明の構成では、 a)センサ素子が設けられており、 b)縁部で保持されたセンサダイヤフラムが設けられて
おり、 c)該センサダイヤフラムの保持されていない部分が、
測定したい圧力に基づき変位可能であり、 d)ハウジングが設けられており、 e)センサダイヤフラムの縁部をハウジングに固定する
ための固定手段が設けられており、 f)ハウジングを閉鎖するダイヤフラムが設けられてお
り、該ダイヤフラムに、測定したい圧力が供給されるよ
うになっており、 g)温度に基づく測定誤差を最小限に抑えるために適当
な弾性モジュールを有する固形物が設けられており、 h)該固形物が、ダイヤフラムと、センサダイヤフラム
の変位可能な部分との間に配置されており、 i)該固形物が、ダイヤフラムからセンサダイヤフラム
へ圧力を伝達するようにした。
【0016】
【発明の効果】本発明によれば、温度に基づく小さな測
定誤差しか有しておらず、特に小さな測定領域において
も使用可能な圧力センサが得られる。
定誤差しか有しておらず、特に小さな測定領域において
も使用可能な圧力センサが得られる。
【0017】本発明の有利な構成では、センサダイヤフ
ラムの変位可能な部分の面と、圧力が供給されるべきダ
イヤフラムの有効面とが、ほぼ同じ大きさを有してい
る。
ラムの変位可能な部分の面と、圧力が供給されるべきダ
イヤフラムの有効面とが、ほぼ同じ大きさを有してい
る。
【0018】本発明の別の有利な構成では、ダイヤフラ
ムに圧力が加えられると、前記固形物に、非等方性の応
力分配が生ぜしめられる。
ムに圧力が加えられると、前記固形物に、非等方性の応
力分配が生ぜしめられる。
【0019】本発明のさらに別の有利な構成では、セン
サ素子が、セラミックスから成るセンサダイヤフラム
と、セラミックスから成る基体とを有しており、該基体
によってセンサダイヤフラムの縁部が保持されている。
サ素子が、セラミックスから成るセンサダイヤフラム
と、セラミックスから成る基体とを有しており、該基体
によってセンサダイヤフラムの縁部が保持されている。
【0020】本発明のさらに別の有利な構成では、ハウ
ジングが軸方向の中心の孔を有しており、ハウジング
の、ダイヤフラムに面した端部に、半径方向でハウジン
グの内部に突入した肩部が一体成形されており、該肩部
にダイヤフラムが圧力密に結合されている。
ジングが軸方向の中心の孔を有しており、ハウジング
の、ダイヤフラムに面した端部に、半径方向でハウジン
グの内部に突入した肩部が一体成形されており、該肩部
にダイヤフラムが圧力密に結合されている。
【0021】本発明のさらに別の有利な構成では、ダイ
ヤフラムと、前記肩部と、センサ素子とにより形成され
た中空室が、前記固形物によって完全に満たされてい
る。
ヤフラムと、前記肩部と、センサ素子とにより形成され
た中空室が、前記固形物によって完全に満たされてい
る。
【0022】本発明のさらに別の有利な構成では、前記
固形物が、ダイヤフラムの剛性に合わせて調整された弾
性モジュールを有している。この場合、前記固形物が、
付加架橋性のシリコーンのようなエラストマーであると
有利である。
固形物が、ダイヤフラムの剛性に合わせて調整された弾
性モジュールを有している。この場合、前記固形物が、
付加架橋性のシリコーンのようなエラストマーであると
有利である。
【0023】本発明のさらに別の有利な構成では、ダイ
ヤフラムがセンサ素子から間隔を置いて配置されてお
り、圧力センサの温度に基づく測定誤差が最小となるよ
うに前記間隔が設定されている。
ヤフラムがセンサ素子から間隔を置いて配置されてお
り、圧力センサの温度に基づく測定誤差が最小となるよ
うに前記間隔が設定されている。
【0024】本発明のさらに別の有利な構成では、ダイ
ヤフラムがハウジングに、特に溶接により圧力密にかつ
ガス密に結合されている。
ヤフラムがハウジングに、特に溶接により圧力密にかつ
ガス密に結合されている。
【0025】
【発明の実施の形態】以下に、本発明の実施の形態を図
面につき詳しく説明する。
面につき詳しく説明する。
【0026】図1に示した実施例による圧力センサは、
4つの基本構成部分、つまりセンサ素子1と、ハウジン
グ2と、センサ素子1を位置固定するための固定手段3
と、ハウジング2を閉鎖するダイヤフラム4とから成っ
ている。
4つの基本構成部分、つまりセンサ素子1と、ハウジン
グ2と、センサ素子1を位置固定するための固定手段3
と、ハウジング2を閉鎖するダイヤフラム4とから成っ
ている。
【0027】ハウジング2は回転対称的に形成されてい
て、中心の軸方向の孔21を有している。ハウジング2
の一方の端部には、肩部22が一体成形されており、こ
の肩部22は半径方向でハウジング内部に突入して延び
ている。ハウジング2は、たとえばステンレス鋼から成
っている。
て、中心の軸方向の孔21を有している。ハウジング2
の一方の端部には、肩部22が一体成形されており、こ
の肩部22は半径方向でハウジング内部に突入して延び
ている。ハウジング2は、たとえばステンレス鋼から成
っている。
【0028】肩部22はその内縁部の外側に段部221
を有している。この段部221には、ダイヤフラム4が
圧力密にかつ有利にはガス密に、たとえば溶接により結
合されている。したがって、ダイヤフラム4は孔21の
一方の端部を閉鎖している。ダイヤフラム4の、ハウジ
ング2とは反対の側の面は、測定したい圧力が作用する
面を形成している。ダイヤフラム材料は使用に応じて、
たとえばステンレス鋼、ハステロイ、モネルまたはチタ
ンである。同じく、たとえばハラール(Halar)ま
たはポリテトラフルオロエチレンで被覆されたダイヤフ
ラムを使用することも普通である。
を有している。この段部221には、ダイヤフラム4が
圧力密にかつ有利にはガス密に、たとえば溶接により結
合されている。したがって、ダイヤフラム4は孔21の
一方の端部を閉鎖している。ダイヤフラム4の、ハウジ
ング2とは反対の側の面は、測定したい圧力が作用する
面を形成している。ダイヤフラム材料は使用に応じて、
たとえばステンレス鋼、ハステロイ、モネルまたはチタ
ンである。同じく、たとえばハラール(Halar)ま
たはポリテトラフルオロエチレンで被覆されたダイヤフ
ラムを使用することも普通である。
【0029】センサ素子1は、たとえば汎用の円筒状の
容量型圧力測定セル、たとえばセラミックス、特にAl
2O3、有利には純度96%のAl2O3から成る圧力
測定セルである。この圧力測定セルはセンサダイヤフラ
ム11と基体12とから成っている。センサダイヤフラ
ム11と基体12とはその各縁部で結合材料、たとえば
活性硬ろうによって、互いに規定の間隔で保持されて、
かつ互いに気密に結合されている。センサダイヤフラム
11は縁側の接合個所の内側で圧力に関連して変位可能
である。センサダイヤフラム11と基体12との、電極
材料で被覆された内面は、少なくとも1つの測定コンデ
ンサを形成している。この測定コンデンサの容量はセン
サダイヤフラム11の撓みに関連していて、ひいてはセ
ンサダイヤフラム11に作用する圧力の尺度となる。
容量型圧力測定セル、たとえばセラミックス、特にAl
2O3、有利には純度96%のAl2O3から成る圧力
測定セルである。この圧力測定セルはセンサダイヤフラ
ム11と基体12とから成っている。センサダイヤフラ
ム11と基体12とはその各縁部で結合材料、たとえば
活性硬ろうによって、互いに規定の間隔で保持されて、
かつ互いに気密に結合されている。センサダイヤフラム
11は縁側の接合個所の内側で圧力に関連して変位可能
である。センサダイヤフラム11と基体12との、電極
材料で被覆された内面は、少なくとも1つの測定コンデ
ンサを形成している。この測定コンデンサの容量はセン
サダイヤフラム11の撓みに関連していて、ひいてはセ
ンサダイヤフラム11に作用する圧力の尺度となる。
【0030】しかし本発明によれば、別形式のセンサ素
子、たとえば抵抗線歪みゲージまたはピエゾ抵抗型の素
子により作動する圧力センサも使用可能である。このよ
うな圧力センサは、作用する圧力に関連した電気量を有
している。
子、たとえば抵抗線歪みゲージまたはピエゾ抵抗型の素
子により作動する圧力センサも使用可能である。このよ
うな圧力センサは、作用する圧力に関連した電気量を有
している。
【0031】センサ素子1は測定媒体とは反対の側に電
子回路13を有している。この電子回路13は電気量、
つまり上記容量型のセンサ素子1の場合には容量変化
を、圧力に関連した電気信号に変換し、この電気信号を
電気的な接続導線14を介して引き続き処理および/ま
たは表示のために利用できるようにする。
子回路13を有している。この電子回路13は電気量、
つまり上記容量型のセンサ素子1の場合には容量変化
を、圧力に関連した電気信号に変換し、この電気信号を
電気的な接続導線14を介して引き続き処理および/ま
たは表示のために利用できるようにする。
【0032】センサ素子1はハウジング2内に、感圧性
のセンサダイヤフラム11の外縁部が肩部22の内側の
面に支持されるように配置されている。
のセンサダイヤフラム11の外縁部が肩部22の内側の
面に支持されるように配置されている。
【0033】肩部22は、有利にはこの肩部22が単に
センサダイヤフラム11と基体12との間の接合個所の
範囲だけをカバーする程度にまでハウジング内部に突入
している。したがって、センサダイヤフラム11の、圧
力に関連して変位可能な面積は、測定したい圧力の作用
するダイヤフラム4の面積とほぼ同じである。
センサダイヤフラム11と基体12との間の接合個所の
範囲だけをカバーする程度にまでハウジング内部に突入
している。したがって、センサダイヤフラム11の、圧
力に関連して変位可能な面積は、測定したい圧力の作用
するダイヤフラム4の面積とほぼ同じである。
【0034】基体12の、センサダイヤフラム11とは
反対の側には、センサ素子1を孔21にセンタリングす
るアングルリング31が配置されている。このアングル
リング31は、基体12を部分的に取り囲む管体311
と、半径方向でアングルリング内部に突入する肩部31
2とから成っている。この肩部312は基体12の、セ
ンサダイヤフラム11とは反対の側の円形面の外縁部に
接触している。アングルリング31は、たとえばゴムか
ら成っている。
反対の側には、センサ素子1を孔21にセンタリングす
るアングルリング31が配置されている。このアングル
リング31は、基体12を部分的に取り囲む管体311
と、半径方向でアングルリング内部に突入する肩部31
2とから成っている。この肩部312は基体12の、セ
ンサダイヤフラム11とは反対の側の円形面の外縁部に
接触している。アングルリング31は、たとえばゴムか
ら成っている。
【0035】センサ素子1はハウジング2にねじ山付リ
ング3によって固定されている。このねじ山付リング3
は、アングルリング31の肩部312に向かって、ハウ
ジング2に配置された雌ねじ山23にねじ込まれてい
る。
ング3によって固定されている。このねじ山付リング3
は、アングルリング31の肩部312に向かって、ハウ
ジング2に配置された雌ねじ山23にねじ込まれてい
る。
【0036】図1に示したように、アングルリング31
およびねじ山付リング3の材料の選択に応じて、アング
ルリング31とねじ山付リング3との間にスライドシー
ト6、たとえば環板状のポリイミドシートを嵌め込むこ
とが推奨される。
およびねじ山付リング3の材料の選択に応じて、アング
ルリング31とねじ山付リング3との間にスライドシー
ト6、たとえば環板状のポリイミドシートを嵌め込むこ
とが推奨される。
【0037】本発明にとって固定形式はあまり重要でな
く、当業者にとって公知の別の任意の固定形式を使用す
ることもできる。
く、当業者にとって公知の別の任意の固定形式を使用す
ることもできる。
【0038】ダイヤフラム4とセンサ素子1との間に
は、ギャップが存在している。このギャップは、温度に
基づく測定誤差を最小限に抑えるために適した弾性モジ
ュールを有する固形物5によって完全に埋められてい
る。固形物5により、ダイヤフラム4に作用する圧力は
センサ素子1に伝達される。
は、ギャップが存在している。このギャップは、温度に
基づく測定誤差を最小限に抑えるために適した弾性モジ
ュールを有する固形物5によって完全に埋められてい
る。固形物5により、ダイヤフラム4に作用する圧力は
センサ素子1に伝達される。
【0039】ダイヤフラム4の剛性に合わせて調整され
た弾性モジュールを有する固形物5が使用されると有利
である。固形物5の弾性モジュールが大き過ぎると、作
用圧が与えられても、ダイヤフラム4とセンサダイヤフ
ラム11との極めて小さな変位しか行われない。これに
よって、圧力センサの測定領域はかなり制限されてしま
う。固形物5の弾性モジュールが小さ過ぎると、固形物
5は液体充填されたダイヤフラムシールのように挙動
し、このことは特に温度に関連した測定誤差の点で不都
合を招いてしまう。
た弾性モジュールを有する固形物5が使用されると有利
である。固形物5の弾性モジュールが大き過ぎると、作
用圧が与えられても、ダイヤフラム4とセンサダイヤフ
ラム11との極めて小さな変位しか行われない。これに
よって、圧力センサの測定領域はかなり制限されてしま
う。固形物5の弾性モジュールが小さ過ぎると、固形物
5は液体充填されたダイヤフラムシールのように挙動
し、このことは特に温度に関連した測定誤差の点で不都
合を招いてしまう。
【0040】適当な固形物5は、たとえば付加架橋性の
流し込みコンパウンド、たとえばシリコーンエラストマ
ーである。このような流し込みコンパウンドは、充填後
のその硬化時に分解生成物が遊離されないという利点を
もたらす。
流し込みコンパウンド、たとえばシリコーンエラストマ
ーである。このような流し込みコンパウンドは、充填後
のその硬化時に分解生成物が遊離されないという利点を
もたらす。
【0041】圧力センサの製造時では、まずダイヤフラ
ム4が圧力密にかつ有利にはガス密にハウジング2に結
合されなければならない。この場合、たとえばダイヤフ
ラム4の外縁部が肩部221に溶接される。ハウジング
2とダイヤフラム4とはポット体を形成し、このポット
体には固形物5が導入されなければならない。このこと
は、たとえば付加架橋性の流し込みコンパウンドをポッ
ト体に装入することにより行われる。引き続きセンサ素
子1が、まだ液状の流し込みコンパウンドに直接に挿入
され、次いでアングルリング31とスライドシート6と
ねじ山付リング3とによってハウジング2に固定され得
る。過剰流し込みコンパウンドはセンサ素子1とハウジ
ング2との間に存在するギャップ7に圧入される。セン
サダイヤフラム11とハウジング2の肩部22との間に
は、数μmの厚さを有する極めて薄い流し込み層が残
る。引き続き、流し込みコンパウンドが凝固する。
ム4が圧力密にかつ有利にはガス密にハウジング2に結
合されなければならない。この場合、たとえばダイヤフ
ラム4の外縁部が肩部221に溶接される。ハウジング
2とダイヤフラム4とはポット体を形成し、このポット
体には固形物5が導入されなければならない。このこと
は、たとえば付加架橋性の流し込みコンパウンドをポッ
ト体に装入することにより行われる。引き続きセンサ素
子1が、まだ液状の流し込みコンパウンドに直接に挿入
され、次いでアングルリング31とスライドシート6と
ねじ山付リング3とによってハウジング2に固定され得
る。過剰流し込みコンパウンドはセンサ素子1とハウジ
ング2との間に存在するギャップ7に圧入される。セン
サダイヤフラム11とハウジング2の肩部22との間に
は、数μmの厚さを有する極めて薄い流し込み層が残
る。引き続き、流し込みコンパウンドが凝固する。
【0042】固形物5およびダイヤフラム4のための材
料選択に関連して、このダイヤフラムは適当な付着助剤
によって前処理されなければならない。これによって、
ダイヤフラム4と固形物5との間には良好な機械的カッ
プリングが形成される。このような良好な機械的カップ
リングは、以下に詳しく説明する、温度に関連した測定
誤差に対する本発明による圧力センサの特別な特性を得
るための前提条件となる。
料選択に関連して、このダイヤフラムは適当な付着助剤
によって前処理されなければならない。これによって、
ダイヤフラム4と固形物5との間には良好な機械的カッ
プリングが形成される。このような良好な機械的カップ
リングは、以下に詳しく説明する、温度に関連した測定
誤差に対する本発明による圧力センサの特別な特性を得
るための前提条件となる。
【0043】図2には、ダイヤフラム4とセンサ素子1
との間の間隔Xの関数として、ゼロ信号の平均温度係数
TK1を表す、有限要素計算の結果が示されている。
との間の間隔Xの関数として、ゼロ信号の平均温度係数
TK1を表す、有限要素計算の結果が示されている。
【0044】「ゼロ信号の平均温度係数」とは、ドイツ
連邦共和国工業規格DIN16086「Elektri
sche Druckmessgeraete」に基づ
き、公称温度範囲におけるゼロ信号の、10Kに関する
最大変化を意味する。この場合、ゼロ信号は測定範囲開
始時の圧力測定センサの出力信号であり、公称温度範囲
は、圧力センサがその規格の値を維持する温度範囲であ
る。
連邦共和国工業規格DIN16086「Elektri
sche Druckmessgeraete」に基づ
き、公称温度範囲におけるゼロ信号の、10Kに関する
最大変化を意味する。この場合、ゼロ信号は測定範囲開
始時の圧力測定センサの出力信号であり、公称温度範囲
は、圧力センサがその規格の値を維持する温度範囲であ
る。
【0045】さらに図3には、ダイヤフラム4とセンサ
素子1との間の間隔Xの関数として出力スパンの平均温
度係数TK2を表す、有限要素計算からの結果が示され
ている。
素子1との間の間隔Xの関数として出力スパンの平均温
度係数TK2を表す、有限要素計算からの結果が示され
ている。
【0046】「出力スパンの平均温度係数」とは、やは
りドイツ連邦共和国工業規格DIN16086に基づ
き、公称温度範囲における出力スパンの、10Kに関す
る最大変化を意味する。この場合、出力スパンは出力信
号の最終値と初期値との間の差であり、公称温度範囲は
上記公称温度範囲と同様に規定されている。
りドイツ連邦共和国工業規格DIN16086に基づ
き、公称温度範囲における出力スパンの、10Kに関す
る最大変化を意味する。この場合、出力スパンは出力信
号の最終値と初期値との間の差であり、公称温度範囲は
上記公称温度範囲と同様に規定されている。
【0047】計算の結果は、特定の誤差範囲内で、適当
な圧力センサを形成し、かつ対応する値を測定すること
によっても得ることができる。しかしこれに比べて有限
要素計算法は、はるかに迅速にかつ廉価に得ることがで
きるので、幾つかの少数の結果(ここでは説明しない)
だけが、形成された圧力センサによって実証されている
に過ぎない。
な圧力センサを形成し、かつ対応する値を測定すること
によっても得ることができる。しかしこれに比べて有限
要素計算法は、はるかに迅速にかつ廉価に得ることがで
きるので、幾つかの少数の結果(ここでは説明しない)
だけが、形成された圧力センサによって実証されている
に過ぎない。
【0048】両温度係数TK1,TK2は「%」で表さ
れており、この場合、それぞれ20℃の温度で求められ
た、ゼロ信号の値もしくは出力スパンの値が、基準値、
つまり100%として設定されている。
れており、この場合、それぞれ20℃の温度で求められ
た、ゼロ信号の値もしくは出力スパンの値が、基準値、
つまり100%として設定されている。
【0049】ダイヤフラム4の材料は一般に使用に応じ
て決定されるので、ダイヤフラム4の厚さだけが可変で
ある。厚さにより、ダイヤフラム4の剛性が調節され
る。
て決定されるので、ダイヤフラム4の厚さだけが可変で
ある。厚さにより、ダイヤフラム4の剛性が調節され
る。
【0050】有限要素計算は次のデータを基礎にしてい
る: ―ダイヤフラム4の直径はそれぞれ30mmである、 ―ダイヤフラム4はそれぞれステンレス鋼から成ってい
る、 ―公称温度範囲はそれぞれ−40〜+120℃である、 ―各圧力センサの測定域は0Pa〜10kPa(0バー
ル〜0.1バール)である。
る: ―ダイヤフラム4の直径はそれぞれ30mmである、 ―ダイヤフラム4はそれぞれステンレス鋼から成ってい
る、 ―公称温度範囲はそれぞれ−40〜+120℃である、 ―各圧力センサの測定域は0Pa〜10kPa(0バー
ル〜0.1バール)である。
【0051】前記データは実施例に関するものであるに
過ぎない。このような圧力センサを、適当な固形物、特
にシリコーンエラストマーと共に、200℃以上までの
温度で使用することも十分に可能である。さらに、本発
明の対象は、0Pa〜10kPaの上記測定域とは異な
る測定域においても使用可能である。
過ぎない。このような圧力センサを、適当な固形物、特
にシリコーンエラストマーと共に、200℃以上までの
温度で使用することも十分に可能である。さらに、本発
明の対象は、0Pa〜10kPaの上記測定域とは異な
る測定域においても使用可能である。
【0052】より大きな測定域においては、温度による
測定誤差が小さくなる。より小さな測定域では、温度係
数を実験により測定するために必要となる手間がかなり
大きくなる。0Pa〜10kPaの上記測定域では、た
とえば0.1%の測定誤差が10Paの圧力差に相当し
ている。測定誤差を測定するためには、ダイヤフラム4
に加えたい試験圧が十分な精度で、この場合たとえば正
確に1Paに調整されなければならない。
測定誤差が小さくなる。より小さな測定域では、温度係
数を実験により測定するために必要となる手間がかなり
大きくなる。0Pa〜10kPaの上記測定域では、た
とえば0.1%の測定誤差が10Paの圧力差に相当し
ている。測定誤差を測定するためには、ダイヤフラム4
に加えたい試験圧が十分な精度で、この場合たとえば正
確に1Paに調整されなければならない。
【0053】図2および図3に「a」で示した曲線に関
しては; ―ダイヤフラム4が0.2mmの厚さを有しており、 ―固形物5は2N/mm2の弾性モジュールを有してい
る。
しては; ―ダイヤフラム4が0.2mmの厚さを有しており、 ―固形物5は2N/mm2の弾性モジュールを有してい
る。
【0054】図2および図3に「b」で示した曲線に関
しては; ―ダイヤフラム4が0.05mmの厚さを有しており、 ―固形物5が0.05N/mm2の弾性モジュールを有
している。
しては; ―ダイヤフラム4が0.05mmの厚さを有しており、 ―固形物5が0.05N/mm2の弾性モジュールを有
している。
【0055】図2および図3に「c」で示した曲線に関
しては; ―ダイヤフラム4が0.05mmの厚さを有しており、 ―固形物5が2N/mm2の弾性モジュールを有してい
る。
しては; ―ダイヤフラム4が0.05mmの厚さを有しており、 ―固形物5が2N/mm2の弾性モジュールを有してい
る。
【0056】したがって、図2および図3に示した曲線
aでは、高い剛性を有するダイヤフラム4と、大きな弾
性モジュールを有する固形物とが基礎となっている。ゼ
ロ信号の温度係数TK1および出力スパンの温度係数T
K2は急峻な上昇を有しており、小さな間隔Xでは、両
温度係数が負の値を有している。
aでは、高い剛性を有するダイヤフラム4と、大きな弾
性モジュールを有する固形物とが基礎となっている。ゼ
ロ信号の温度係数TK1および出力スパンの温度係数T
K2は急峻な上昇を有しており、小さな間隔Xでは、両
温度係数が負の値を有している。
【0057】図2および図3の曲線bでは、小さな剛性
を有するダイヤフラム4と、小さな弾性モジュールを有
する固形物とが基礎となっている。曲線bは曲線aに比
べてフラットな上昇を有している。両温度係数は小さな
間隔Xでは負の値をとっている。両曲線bのゼロ通過は
曲線aに比べて、より小さな間隔Xの方向にずらされて
いる。
を有するダイヤフラム4と、小さな弾性モジュールを有
する固形物とが基礎となっている。曲線bは曲線aに比
べてフラットな上昇を有している。両温度係数は小さな
間隔Xでは負の値をとっている。両曲線bのゼロ通過は
曲線aに比べて、より小さな間隔Xの方向にずらされて
いる。
【0058】間隔Xの関数としての両温度係数のゼロ通
過を、より大きな間隔の方向にずらしたい場合には、よ
り小さな剛性を有するダイヤフラム4と、より大きな弾
性モジュールを有する固形物とが使用されなければなら
ない。このことは、図2および図3の曲線cに示されて
いる。
過を、より大きな間隔の方向にずらしたい場合には、よ
り小さな剛性を有するダイヤフラム4と、より大きな弾
性モジュールを有する固形物とが使用されなければなら
ない。このことは、図2および図3の曲線cに示されて
いる。
【0059】曲線cはやはり極めてフラットに延びてい
るが、しかし曲線bに比べてゼロ信号の温度係数TK1
および出力スパンの温度係数TK2のための値が減少す
る方向でずらされている。
るが、しかし曲線bに比べてゼロ信号の温度係数TK1
および出力スパンの温度係数TK2のための値が減少す
る方向でずらされている。
【0060】固形物5の使用により生ぜしめられる特徴
的な特性は、負の温度係数TK1,TK2が生じること
である。
的な特性は、負の温度係数TK1,TK2が生じること
である。
【0061】このことは液体充填されたダイヤフラムシ
ールでは行われない。つまり通常、ダイヤフラムシール
において使用される液体は、上記温度範囲では正の熱膨
張係数を有している。液体の膨張はダイヤフラムシール
の内部で付加的な圧力を生ぜしめる。これによって、全
ての方向で同様に作用する力が生じる。
ールでは行われない。つまり通常、ダイヤフラムシール
において使用される液体は、上記温度範囲では正の熱膨
張係数を有している。液体の膨張はダイヤフラムシール
の内部で付加的な圧力を生ぜしめる。これによって、全
ての方向で同様に作用する力が生じる。
【0062】固形物で充填されたダイヤフラムシール
は、このような液体充填されたダイヤフラムシールとは
大きく異なる。固形物5とダイヤフラム4との間の機械
的カップリングは、ハウジング2内へのセンサ素子1
の、上で説明した組込み形式において、ダイヤフラムシ
ール内部に、方向に関連した応力を生ぜしめる。このよ
うな応力はゼロ信号および出発スパンの温度係数に対す
る、固形物の、同じく存在する熱膨張の効果を阻止す
る。小さな間隔Xでは、方向に関連した応力の効果が優
勢となる。すなわち、温度係数は負の値をとる。大きな
間隔Xでは、熱膨張の効果が優勢となる。すなわち、温
度係数は正の値をとる。
は、このような液体充填されたダイヤフラムシールとは
大きく異なる。固形物5とダイヤフラム4との間の機械
的カップリングは、ハウジング2内へのセンサ素子1
の、上で説明した組込み形式において、ダイヤフラムシ
ール内部に、方向に関連した応力を生ぜしめる。このよ
うな応力はゼロ信号および出発スパンの温度係数に対す
る、固形物の、同じく存在する熱膨張の効果を阻止す
る。小さな間隔Xでは、方向に関連した応力の効果が優
勢となる。すなわち、温度係数は負の値をとる。大きな
間隔Xでは、熱膨張の効果が優勢となる。すなわち、温
度係数は正の値をとる。
【0063】ダイヤフラム4の厚さおよび固形物5の弾
性モジュールの適当な設定により、ゼロ信号の温度係数
TK1および出力スパンの温度係数TK2が間隔Xの関
数としてゼロ通過を有することを確実にすることができ
る。
性モジュールの適当な設定により、ゼロ信号の温度係数
TK1および出力スパンの温度係数TK2が間隔Xの関
数としてゼロ通過を有することを確実にすることができ
る。
【0064】図2および図3から判るように、ゼロ信号
の温度係数TK1がゼロに等しくなる間隔Xの値と、出
力スパンの温度係数TK2がゼロに等しくなる間隔Xの
値とは、ほぼ等しくなり、対応する両曲線は類似の経過
を示している。
の温度係数TK1がゼロに等しくなる間隔Xの値と、出
力スパンの温度係数TK2がゼロに等しくなる間隔Xの
値とは、ほぼ等しくなり、対応する両曲線は類似の経過
を示している。
【0065】したがって本発明による圧力センサの製造
時において、ダイヤフラム4とセンサ素子1との間の間
隔Xは、圧力センサの、温度に基づく測定誤差が最小と
なるように、つまりゼロ信号の温度係数TK1と出力ス
パンの温度係数TK2とがゼロに等しくなるように設定
されなければならない。
時において、ダイヤフラム4とセンサ素子1との間の間
隔Xは、圧力センサの、温度に基づく測定誤差が最小と
なるように、つまりゼロ信号の温度係数TK1と出力ス
パンの温度係数TK2とがゼロに等しくなるように設定
されなければならない。
【0066】間隔Xのこのような設定に基づき、製造時
にはかなりの節約が得られる。なぜならば、通常では極
めて手間のかかる較正が極端に単純化されるからであ
る。それというのは、圧力センサが温度に基づく測定誤
差をほとんど有しないからである。したがって、唯一つ
の温度で圧力センサの特性線を規定するだけで十分とな
る。
にはかなりの節約が得られる。なぜならば、通常では極
めて手間のかかる較正が極端に単純化されるからであ
る。それというのは、圧力センサが温度に基づく測定誤
差をほとんど有しないからである。したがって、唯一つ
の温度で圧力センサの特性線を規定するだけで十分とな
る。
【0067】さらに、上記両温度係数が間隔Xの関数と
して図2および図3の曲線b,cのようなフラットな経
過を有するように材料およびジオメトリが設定される
と、圧力センサの構成部分のための製造誤差を比較的大
きく設定することができる。
して図2および図3の曲線b,cのようなフラットな経
過を有するように材料およびジオメトリが設定される
と、圧力センサの構成部分のための製造誤差を比較的大
きく設定することができる。
【0068】慣用の液体充填されたダイヤフラムシール
の、温度に基づく測定誤差が小さな測定領域、たとえば
特に0〜50Paの測定領域において、大きなダイヤフ
ラム直径を有するダイヤフラムシールの使用を必要とし
ているのに対して、本発明による圧力センサでは、慣用
のダイヤフラムシールに比べてはるかに小さな直径を有
するダイヤフラム4を使用することができる。比較の目
的で、液体充填されたダイヤフラムシールを有する慣用
の圧力センサの典型的な値を挙げる。測定誤差は30m
mのダイヤフラム直径を有するこのような圧力センサに
おいて、付加的な測定誤差補正なしに10K当たり1k
Paのオーダにある。0Pa〜10KPaの測定領域に
おいて、このことは10K当たり10%の測定誤差に相
当する。つまり、このような圧力センサは使用不可能で
ある。
の、温度に基づく測定誤差が小さな測定領域、たとえば
特に0〜50Paの測定領域において、大きなダイヤフ
ラム直径を有するダイヤフラムシールの使用を必要とし
ているのに対して、本発明による圧力センサでは、慣用
のダイヤフラムシールに比べてはるかに小さな直径を有
するダイヤフラム4を使用することができる。比較の目
的で、液体充填されたダイヤフラムシールを有する慣用
の圧力センサの典型的な値を挙げる。測定誤差は30m
mのダイヤフラム直径を有するこのような圧力センサに
おいて、付加的な測定誤差補正なしに10K当たり1k
Paのオーダにある。0Pa〜10KPaの測定領域に
おいて、このことは10K当たり10%の測定誤差に相
当する。つまり、このような圧力センサは使用不可能で
ある。
【0069】本発明による圧力センサの小さな寸法に基
づき、スペースが制限されている場所でも、小さな測定
領域のために圧力センサを使用することが可能となる。
づき、スペースが制限されている場所でも、小さな測定
領域のために圧力センサを使用することが可能となる。
【0070】本発明による圧力センサは極めて簡単に掃
除され得る。なぜならば、ダイヤフラム4がフロント面
と整合するように組み込まれているからである。このこ
とは特に食品工業において有利である。
除され得る。なぜならば、ダイヤフラム4がフロント面
と整合するように組み込まれているからである。このこ
とは特に食品工業において有利である。
【0071】本発明による測定センサの測定精度は前置
されたダイヤフラム4と固形物5とによって損なわれな
いので、これまで液体充填されたダイヤフラムシールに
より生ぜしめられる比較的大きな測定誤差に基づき使用
が不可能とされていた、あらゆる場所において、圧力セ
ンサを使用することが可能となる。
されたダイヤフラム4と固形物5とによって損なわれな
いので、これまで液体充填されたダイヤフラムシールに
より生ぜしめられる比較的大きな測定誤差に基づき使用
が不可能とされていた、あらゆる場所において、圧力セ
ンサを使用することが可能となる。
【図1】本発明による圧力センサの縦断面図である。
【図2】ダイヤフラムとセンサ素子との間の間隔Xの関
数としてゼロ信号の温度係数TK1を3つの異なる圧力
センサに関して示す線図である。
数としてゼロ信号の温度係数TK1を3つの異なる圧力
センサに関して示す線図である。
【図3】ダイヤフラムとセンサ素子との間の間隔Xの関
数として出発スパンの温度係数TK2を3つの異なる圧
力センサに関して示す線図である。
数として出発スパンの温度係数TK2を3つの異なる圧
力センサに関して示す線図である。
1 センサ素子、 2 ハウジング、 3 固定手段
(ねじ山付リング)、4 ダイヤフラム、 5 固形
物、 6 スライドシート、 7 ギャップ、11 セ
ンサダイヤフラム、 12 基体、 13 電子回路、
14 接続線材、 21 孔、 22 肩部、 23
雌ねじ山、 31 アングルリング、221 段部、
311 管体、 312 肩部、 a,b,c 曲
線、 X間隔
(ねじ山付リング)、4 ダイヤフラム、 5 固形
物、 6 スライドシート、 7 ギャップ、11 セ
ンサダイヤフラム、 12 基体、 13 電子回路、
14 接続線材、 21 孔、 22 肩部、 23
雌ねじ山、 31 アングルリング、221 段部、
311 管体、 312 肩部、 a,b,c 曲
線、 X間隔
Claims (10)
- 【請求項1】 圧力センサにおいて、 a)センサ素子(1)が設けられており、 b)縁部で保持されたセンサダイヤフラム(11)が設
けられており、 c)該センサダイヤフラム(11)の保持されていない
部分が、測定したい圧力に基づき変位可能であり、 d)ハウジング(2)が設けられており、 e)センサダイヤフラム(11)の縁部をハウジング
(2)に固定するための固定手段(3)が設けられてお
り、 f)ハウジング(2)を閉鎖するダイヤフラム(4)が
設けられており、該ダイヤフラム(4)に、測定したい
圧力が供給されるようになっており、 g)温度に基づく測定誤差を最小限に抑えるために適当
な弾性モジュールを有する固形物(5)が設けられてお
り、 h)該固形物(5)が、ダイヤフラム(4)と、センサ
ダイヤフラム(11)の変位可能な部分との間に配置さ
れており、 i)該固形物(5)が、ダイヤフラム(4)からセンサ
ダイヤフラム(11)へ圧力を伝達することを特徴とす
る圧力センサ。 - 【請求項2】 センサダイヤフラム(11)の変位可能
な部分の面と、圧力が供給されるべきダイヤフラム
(4)の有効面とが、ほぼ同じ大きさを有している、請
求項1記載の圧力センサ。 - 【請求項3】 ダイヤフラム(4)に圧力が加えられる
と、前記固形物(5)に、非等方性の応力分配が生ぜし
められる、請求項1記載の圧力センサ。 - 【請求項4】 センサ素子(1)が、セラミックスから
成るセンサダイヤフラム(11)と、セラミックスから
成る基体(12)とを有しており、該基体(12)によ
ってセンサダイヤフラム(11)の縁部が保持されてい
る、請求項1記載の圧力センサ。 - 【請求項5】 ハウジング(2)が軸方向の中心の孔
(21)を有しており、ハウジング(2)の、ダイヤフ
ラム(4)に面した端部に、半径方向でハウジング
(2)の内部に突入した肩部(22)が一体成形されて
おり、該肩部(22)にダイヤフラム(4)が圧力密に
結合されている、請求項1記載の圧力センサ。 - 【請求項6】 ダイヤフラム(4)と、前記肩部(2
2)と、センサ素子(1)とにより形成された中空室
が、前記固形物(5)によって完全に満たされている、
請求項5記載の圧力センサ。 - 【請求項7】 前記固形物(5)が、ダイヤフラム
(4)の剛性に合わせて調整された弾性モジュールを有
している、請求項1記載の圧力センサ。 - 【請求項8】 前記固形物(5)が、付加架橋性のシリ
コーンのようなエラストマーである、請求項5記載の圧
力センサ。 - 【請求項9】 ダイヤフラム(4)がセンサ素子(1)
から間隔(X)を置いて配置されており、圧力センサ
の、温度に基づく測定誤差が最小となるように前記間隔
(X)が設定されている、請求項4記載の圧力センサ。 - 【請求項10】 ダイヤフラム(4)がハウジング
(2)に圧力密にかつガス密に結合されている、請求項
1記載の圧力センサ。
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