JPH0895477A - 回折格子を有するマルチドットパタ−ンの作製方法および作製装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】回転機構を一体化、簡略化、かつ小型化し、高
速にしかも安定してパタ―ンを作製する。 【構成】ビーム状のレ―ザ光を発生するレーザ光源と、
レーザ光源からのビーム状のレ―ザ光を複数に分岐する
光分岐手段と、回転ステージにより所望の角度で回転さ
れることによって、光分岐手段により分岐したレ―ザ光
の少なくとも一部を所望の位置に回転させる像回転要素
と、像回転要素により回転されたレ―ザ光を集光して干
渉縞を、Ｘ−Ｙステージに配設された感光材料上に生成
させる結像要素と、作製しようとするマルチドットパタ
ーンの元データに基づいて、回転ステージの回転動作、
およびＸ−Ｙステージの移動動作をそれぞれ制御する制
御手段とを備える。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、平面状の基板の表面に
微小な回折格子からなる回折格子要素のドットをマトリ
クス状に複数個配置し、このドットの集まりによって表
現されるパターン（マルチドットパターン）を、レ―ザ
光の干渉縞を用いて作製する方法および装置に係り、特
に回転機構を一体化、簡略化、かつ小型化し、高速にし
かも安定してパタ―ンを作製できるようにした回折格子
を有するマルチドットパタ―ンの作製方法および作製装
置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来から、平面状の基板の表面に、微小
な回折格子からなる回折格子要素のドットを複数個配置
することにより、回折格子パターンが形成されたディス
プレイが多く使用されてきている。この種の回折格子パ
ターンを有するディスプレイを作製する方法としては、
例えば“特開昭６０−１５６００４号公報”に開示され
ているような方法がある。この方法は、２光束干渉によ
る微小な干渉縞（以下、回折格子とする）を、そのピッ
チ、方向、および光強度を変化させて、感光性フィルム
に次々と露光するものである。

【０００３】一方、最近では、例えば電子ビーム露光装
置を用い、かつコンピュータ制御により、平面状の基板
が載置されたＸ−Ｙステージを移動させて、基板の表面
に回折格子からなる複数の微小な回折格子要素のドット
を配置することにより、ある絵柄の回折格子パターンが
形成されたディスプレイを作製する方法が、本発明者に
よって提案されてきている。その方法は、１９８８年１
１月２５日にファイルされた“米国特許出願シリアル番
号第２７６，４６９号”に開示されている。

【０００４】さらに、最近では、平面状の基板の表面に
微小な回折格子からなる回折格子要素のドットをマトリ
クス状に複数個配置し、このドットの集まりによって表
現されるパターン（マルチドットパターン）を有するデ
ィスプレイも提案されてきている。

【０００５】このような回折格子パターンを有するディ
スプレイは、平面状の基板に回折格子からなる回折格子
要素のドットを並べたものである。そして、この種のデ
ィスプレイは、光学的にレーザー光の干渉性を利用し
て、あるいは電子線等の微細加工能力を利用して、容易
に作製することができる。

【０００６】ところで、このような回折格子パターンを
有するディスプレイを作製する場合、ドット内の微小な
回折格子の方向をドット毎に変化させるためには、ミラ
―やレンズ等の光学要素を組み合わせた大きな光学ヘッ
ド毎回転させるか、あるいは電子線で回折格子を一本ず
つ描画する必要がある。その結果、機構が大型で複雑に
なり、回折格子パタ―ンの作製に時間がかかるばかりで
なく、不安定になり、収率の低下を招く結果になってい
る。

【０００７】また、ビーム状のレ―ザ光の干渉縞を用い
て回折格子を生成する方法では、２本のレ―ザ状のビ―
ム光による回折格子のみによって生成されるため、一つ
の回折格子要素のドットの中では、回折格子がピッチが
一定の直線で構成されている。このため、単純なビ―ム
状の回折光しか再生することができない、換言すると、
曲線状等の複雑な形状の回折格子からなるパタ―ンを作
製することができない。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】以上のように、従来の
回折格子を作製する方法においては、機構が大型で複雑
になり、回折格子パタ―ンの作製に時間がかかるばかり
でなく、不安定になり、また複雑な形状の回折格子から
なるパタ―ンを作製することができないという問題があ
った。

【０００９】本発明は、上記のような問題点を解消する
ために成されたもので、回転機構を一体化、簡略化、か
つ小型化し、高速にしかも安定してパタ―ンを作製する
ことが可能な回折格子を有するマルチドットパタ―ンの
作製方法および作製装置を提供することを第１の目的と
する。

【００１０】さらに、本発明は、より複雑な形状の回折
格子からなるパタ―ンを作製することが可能な回折格子
を有するマルチドットパタ―ンの作製方法および作製装
置を提供することを第２の目的とする。

【００１１】

【課題を解決するための手段】上記第１の目的を達成す
るために、平面状の基板の表面に微小な回折格子からな
る回折格子要素のドットをマトリクス状に複数個配置
し、当該ドットの集まりによって表現されるパターン
（マルチドットパターン）を、レ―ザ光の干渉縞を用い
て作製する方法において、まず、請求項１に係る発明で
は、マルチドットパタ―ンを露光する際に、像回転要素
を所望の角度で回転させることによりレ―ザ光を所望の
位置に回転させて、露光する微小な回折格子からなる回
折格子要素のドット内の回折格子の方向を任意に変化さ
せるようにしている。

【００１２】また、請求項２に係る発明では、マルチド
ットパタ―ンを露光する際に、光分岐手段によってビー
ム状のレ―ザ光を複数に分岐し、当該分岐したレ―ザ光
の少なくとも一部を像回転要素を用いて所望の位置に回
転させ、当該回転させられたレ―ザ光を結像要素により
集光して干渉縞を感光材料上に生成するようにしてい
る。

【００１３】さらに、請求項３に係る発明では、マルチ
ドットパタ―ンを露光する際に、光分岐手段によってビ
ーム状のレ―ザ光を複数に分岐し、当該分岐したレ―ザ
光の位置を所望の位置に変化させ、当該レ―ザ光の少な
くとも一部を像回転要素を用いて所望の位置に回転さ
せ、当該回転させられたレ―ザ光を結像要素により集光
してレ―ザ光位置に応じたピッチを持つ干渉縞を感光材
料上に生成するようにしている。

【００１４】同様に、上記第１の目的を達成するため
に、平面状の基板の表面に微小な回折格子からなる回折
格子要素のドットをマトリクス状に複数個配置し、当該
ドットの集まりによって表現されるパターン（マルチド
ットパターン）を、レ―ザ光の干渉縞を用いて作製する
装置において、まず、請求項８に係る発明では、レ―ザ
光を発生するレーザ光源と、レーザ光源からのレ―ザ光
を複数に分岐する光分岐手段と、回転ステージにより所
望の角度で回転されることによって、光分岐手段により
分岐したレ―ザ光の少なくとも一部を所望の位置に回転
させる像回転要素と、像回転要素により回転されたレ―
ザ光を集光して干渉縞を、移動自在なステージに配設さ
れた感光材料上に生成させる結像要素と、作製しようと
するマルチドットパターンの元データに基づいて、回転
ステージの回転動作、およびステージの移動動作をそれ
ぞれ制御する制御手段とを備えて成る。

【００１５】また、請求項９に係る発明では、レ―ザ光
を発生するレーザ光源と、レーザ光源からのレ―ザ光を
複数に分岐する光分岐手段と、光分岐手段により分岐し
たレ―ザ光の位置を所望の位置に変化させる位置変化手
段と、回転ステージにより所望の角度で回転されること
によって、位置変化手段により位置変化したレ―ザ光の
少なくとも一部を所望の位置に回転させる像回転要素
と、像回転要素により回転されたレ―ザ光を集光してレ
―ザ光位置に応じたピッチを持つ干渉縞を、移動自在な
ステージに配設された感光材料上に生成させる結像要素
と、作製しようとするマルチドットパターンの元データ
に基づいて、位置変化手段の位置変化動作、回転ステー
ジの回転動作、およびステージの移動動作をそれぞれ制
御する制御手段とを備えて成る。

【００１６】一方、上記第２の目的を達成するために、
平面状の基板の表面に微小な回折格子からなる回折格子
要素のドットをマトリクス状に複数個配置し、当該ドッ
トの集まりによって表現されるパターン（マルチドット
パターン）を、レ―ザ光の干渉縞を用いて作製する方法
において、請求項４に係る発明では、マルチドットパタ
―ンを露光する際に、光学要素によってビーム状のレ―
ザ光を束状にし、当該束状にしたレ―ザ光を空間変調要
素によって変調し、当該変調したレ―ザ光の少なくとも
一部を像回転要素を用いて所望の位置に回転させ、当該
回転させられたレ―ザ光を結像要素により集光して干渉
縞を感光材料上に生成するようにしている。

【００１７】同様に、上記第２の目的を達成するため
に、平面状の基板の表面に微小な回折格子からなる回折
格子要素のドットをマトリクス状に複数個配置し、当該
ドットの集まりによって表現されるパターン（マルチド
ットパターン）を、レ―ザ光の干渉縞を用いて作製する
装置において、請求項１０に係る発明では、ビーム状の
レ―ザ光を発生するレーザ光源と、レーザ光源からのビ
ーム状のレ―ザ光を束状にする光学要素と、光学要素に
より束状にしたレ―ザ光を変調する空間変調要素と、回
転ステージにより所望の角度で回転されることによっ
て、空間変調要素により変調したレ―ザ光の少なくとも
一部を所望の位置に回転させる像回転要素と、像回転要
素により回転されたレ―ザ光を集光して干渉縞を、移動
自在なＸ−Ｙステージに配設された感光材料上に生成さ
せる結像要素と、作製しようとするマルチドットパター
ンの元データに基づいて、空間変調要素の変調動作、回
転ステージの回転動作、およびＸ−Ｙステージの移動動
作をそれぞれ制御する制御手段とを備えて成る。

【００１８】ここで、特に上記像回転要素としては、像
回転プリズム、ミラ―とプリズムとを組み合わせてなる
もの、あるいは複数個のミラ―を組み合わせてなるもの
のうちのいずれかを用いるようにしている。

【００１９】

【作用】従って、まず、請求項１ないし請求項３、請求
項８および請求項９に係る発明の回折格子を有するマル
チドットパタ―ンの作製方法および作製装置において
は、マルチドットパタ―ンを露光する際に、所望の角度
で回転されることによってレ―ザ光を所望の位置に回転
させる像回転要素を用いることにより、像回転要素を回
転させるだけで、ミラ―やレンズ等の光学要素部分を回
転させずに回折格子の方向を任意に変化させることが可
能となるため、回転機構を極めて安定かつ小型化するこ
とができ、高速でかつ振動に強く安定したマルチドット
パタ―ンを作製することができる。

【００２０】また、回転部と他の駆動部とを分離するこ
とが可能なため、回転部以外の駆動部を自由に配置する
ことができ、回折格子の空間周波数やドットの大きさ、
回折格子の形状等を自由に変化させることもできる。

【００２１】一方、請求項４および請求項１０に係る発
明の回折格子を有するマルチドットパタ―ンの作製方法
および作製装置においては、マルチドットパタ―ンを露
光する際に、所望の角度で回転されることによってレ―
ザ光を所望の位置に回転させる像回転要素を用い、さら
に当該像回転要素に入射させるレ―ザ光を空間変調要素
で変調して所望の形状に変形させることにより、空間変
調要素の解像度を高めることなく、回折格子要素のドッ
ト内の回折格子の方向を回転することが可能となるた
め、曲線状等のより複雑な形状の回折格子からなるパタ
―ンを作製することができ、安価で品質のよいシステム
を構築することができる。

【００２２】

【実施例】本発明は、平面状の基板の表面に微小な回折
格子からなる回折格子要素のドットをマトリクス状に複
数個配置し、当該ドットの集まりによって表現されるパ
ターン（マルチドットパターン）において、像回転プリ
ズム（ダブプリズム）等の像回転と、必要に応じて空間
変調要素を用いることによって、回転機構を一体化、簡
略化、小型化し、高速にかつ安定してパタ―ンの作製を
行なえるようにする回折格子を有するマルチドットパタ
―ンの作製方法および作製装置を要旨とするものであ
る。

【００２３】以下、本発明の実施例について図面を参照
して詳細に説明する。

【００２４】（第１の実施例）図１は、本発明の第１の
実施例による回折格子を有するマルチドットパタ―ンの
作製装置の構成例を示す概要図である。

【００２５】すなわち、本実施例の回折格子を有するマ
ルチドットパタ―ンの作製装置は、図１に示すように、
ビーム状のレ―ザ光を発生するレーザ光源１と、このレ
ーザ光源１からのビーム状のレ―ザ光を透過／遮断する
シャッター２と、このシャッター２からのビーム状のレ
―ザ光を複数（本例では２つ）に分岐する光分岐手段で
あるビ―ムスプリッタ―３と、図示矢印方向に移動自在
な移動ステージ４に配設され、移動によってビ―ムスプ
リッタ―３により分岐した一方のレ―ザ光を反射させて
その位置を所望の位置に変化させる位置変化手段である
ミラー５と、このミラー５により反射されたレ―ザ光を
反射させるミラー６と、ビ―ムスプリッタ―３により分
岐した他方のレ―ザ光を反射させるミラー７と、図示矢
印方向に回転自在な回転ステージ８に配設され、所望の
角度で回転されることによって、ミラー６およびミラー
７によりそれぞれ反射されたレ―ザ光の全部を所望の位
置に回転させる像回転要素である像回転プリズム（ダブ
プリズム）９と、この像回転プリズム９により回転され
たレ―ザ光を集光してレ―ザ光位置に応じたピッチを持
つ干渉縞を、図示矢印方向に移動自在なＸ−Ｙステージ
１０に配設された感光材料１１上に生成させる結像要素
であるレンズ１２と、作製しようとするマルチドットパ
ターンの元データに基づいて、シャッター２の透過／遮
断動作、移動ステージ４の移動動作、回転ステージ８の
回転動作、およびＸ−Ｙステージ１０の移動動作をそれ
ぞれ制御するコンピュータ等からなる制御装置１３とか
ら構成している。

【００２６】なお、図２は、図１における回折格子を有
するマルチドットパタ―ンの作製装置の要部を拡大して
示す概念図である。

【００２７】次に、以上のように構成した本実施例の回
折格子を有するマルチドットパタ―ンの作製装置による
回折格子を有するマルチドットパタ―ンの作製方法につ
いて説明する。

【００２８】図１および図２において、レーザ光源１か
らのビーム状のレ―ザ光は、シャッター２を通してビ―
ムスプリッタ―３に入射され、このビ―ムスプリッタ―
３によって２本のビーム状のレ―ザ光に分岐される。そ
して、この分岐した一方のレ―ザ光は、ミラー５、ミラ
ー６で順次反射されて、像回転プリズム９に入射され
る。また、この分岐した他方のレ―ザ光は、ミラー７で
反射されて、像回転プリズム９に入射される。この場
合、像回転プリズム９に入射するレ―ザ光は、像回転プ
リズム９の長さが長いため、できるだけ平行に近いこと
が望ましい。

【００２９】一方、像回転プリズム９に入射したレ―ザ
光の全部は、像回転プリズム９が所望の角度で回転する
ことによって、所望の位置に回転させる。すなわち、像
回転プリズム９は、回転ステージ８で回転させることに
よって、その回転角の２倍の角度の回転角で像を回転す
ることができる。そして、この像回転プリズム９により
回転された２本のビーム状のレ―ザ光は、レンズ１２に
よって感光材料１１上の一点に集められ、干渉縞を生じ
る。この干渉縞を、Ｘ−Ｙステージ１０に配設した感光
材料１１に記録することによって、微小な回折格子から
なる一つの回折格子要素のドットを記録することができ
る。

【００３０】そして、作製しようとするマルチドットパ
ターンの元データに基づいて、シャッター２の透過／遮
断動作、移動ステージ４の移動動作、回転ステージ８の
回転動作、およびＸ−Ｙステージ１０の移動動作を制御
装置１３によりそれぞれ制御することによって、シャッ
ター２による露光量、一方のレ―ザ光の像回転プリズム
９への入射位置、全部のレ―ザ光の回転位置、およびＸ
−Ｙステージ１０の移動位置をそれぞれ制御して、感光
材料１１を移動させながら次々に回折格子要素の露光を
行なうことにより、多数の回折格子要素のドットからな
るマルチドットによる干渉縞のパタ―ンを生成すること
が可能となる。

【００３１】以上により、感光材料１１上の所望の位置
に、所望の角度と所望の空間周波数を持つ回折格子を、
より簡単に形成することができる。

【００３２】すなわち、マルチドットパタ―ンを露光す
る際、像回転プリズム９に入射するビーム状のレ―ザ光
は、移動ステージ４の移動によって光線の位置を変える
ことが可能であり、このようにして光線の間隔を変化さ
せることによって、形成される回折格子の空間周波数を
任意に設定することができる。

【００３３】また、像回転プリズム９に入射するビーム
状のレ―ザ光は、像回転プリズム９の回転によって回転
位置を変えることが可能であり、このようにして像回転
プリズム９を所望の角度で回転させることにより、形成
される回折格子の方向を任意に設定することができる。

【００３４】なお、図１および図２では、ビ―ムスプリ
ッタ―３を一つ用いて、ビ―ム状のレーザ光を２本用い
たが、複数のビ―ムスプリッタ―を用いて２本以上のビ
―ム状のレーザ光を像回転プリズム９に入射するように
してもよい。

【００３５】上述したように、本実施例の回折格子を有
するマルチドットパタ―ンの作製方法および作製装置に
おいては、マルチドットパタ―ンを露光する際、像回転
プリズム９を所望の角度で回転させることにより、露光
する微小な回折格子からなる回折格子要素のドット内の
回折格子の方向を任意に設定することができる。

【００３６】この場合、本実施例では、像回転プリズム
９を用いて光束を回転させているため、回転のために移
動する部分は、像回転プリズム９のみでよく、装置の機
構を簡単にし、振動に強く安定した露光を行なうことが
可能になる。また。入射光の光束は、平行光に近ければ
どのような形状のものでもよいため、入射するビ―ム状
のレーザ光の位置を変化させることが容易であり、さら
に露光する干渉縞の形状を、複数のビ―ムや、面積を持
ったパタ―ンを入射することが可能である。

【００３７】一方、ミラ―５を移動することによって、
像回転プリズム９に入射するビ―ム状のレーザ光の位置
を変化させることにより、感光材料１１に入射するビ―
ム状のレーザ光同士の角度が変化する。このことは、記
録される干渉縞のピッチを変化させることに相当する。
このように、干渉縞を回転以外の変化をもたらすために
は、新たな光の変調を行なうための装置が必要である。

【００３８】すなわち、従来の方法では、回転部分と他
の駆動部とを切り離すことができなかったため、他の駆
動部ごと回転させたり、回転部を複数用意して切り替え
る方法を用いる必要があったのに対して、本実施例で
は、上記のように回転に関係のない部分の稼働部を回転
系と切り離すことが可能であるため、装置が安定して振
動が少なくなり、明るい質の良い回折格子パタ―ンを得
ることが可能となる。

【００３９】また、回転系を切り替える場合、用意でき
る回転系の数には現実的に限りがあり、例えば前記のよ
うな干渉縞のピッチを変化させる場合、作製可能な干渉
縞のピッチの数が少ない。この点、本実施例では、ミラ
―５の位置を細かく制御することによって、連続的に干
渉縞のピッチを変化させることが可能となる。

【００４０】以上により、像回転プリズム９を回転させ
るだけで、ミラ―やレンズ等の光学要素部分を回転させ
ずに、回折格子の方向を任意に変化させることができる
ため、回転機構を極めて安定かつ小型化することが可能
となり、さらに高速でかつ振動に強く安定したマルチド
ットパタ―ンを作製することが可能となる。

【００４１】また、回転部と他の駆動部とを分離するこ
とができるため、回転部以外の駆動部を自由に配置する
ことができ、回折格子の空間周波数やドットの大きさ、
回折格子の形状等を自由に変化させることも可能とな
る。

【００４２】（第２の実施例）上記第１の実施例では、
像回転要素として、像回転プリズム９を用いて回転を行
なうようにしたが、これに限らず、ミラ―とプリズムと
の組み合わせによる像回転要素を用いて回転を行なうよ
うにしてもよい。

【００４３】図３は、本発明の第２の実施例による回折
格子を有するマルチドットパタ―ンの作製装置の要部構
成例を示す概要図であり、図１および図２と同一要素に
は同一符号を付してその説明を省略し、ここでは異なる
部分についてのみ述べる。

【００４４】すなわち、本実施例の回折格子を有するマ
ルチドットパタ―ンの作製装置は、図３に示すように、
図１および図２における像回転プリズム９に代えて、ミ
ラ―１４とプリズム１５とを図示のように組み合わせて
なる像回転要素を備えた構成としている。

【００４５】本実施例の回折格子を有するマルチドット
パタ―ンの作製装置においても、上記第１の実施例の場
合と同様にして、回折格子を有するマルチドットパタ―
ンを作製することができる。

【００４６】そして、本実施例の回折格子を有するマル
チドットパタ―ンの作製方法および作製装置において
は、上記第１の実施例の場合と同様の効果が得られるの
は勿論のこと、それに加えて、ミラ―１４とプリズム１
５とを組み合わせてなる像回転要素を用いているので、
全反射面にミラー１４を使用しているため、ゴミ汚れに
対して強い。そのため、悪い環境下での撮影が可能にな
るという効果も得ることが可能である。

【００４７】（第３の実施例）上記第１の実施例では、
像回転要素として、像回転プリズム９を用いて回転を行
なうようにしたが、これに限らず、複数個のミラ―の組
み合わせによる像回転要素を用いて回転を行なうように
してもよい。

【００４８】図４は、本発明の第３の実施例による回折
格子を有するマルチドットパタ―ンの作製装置の要部構
成例を示す概要図であり、図１および図２と同一要素に
は同一符号を付してその説明を省略し、ここでは異なる
部分についてのみ述べる。

【００４９】すなわち、本実施例の回折格子を有するマ
ルチドットパタ―ンの作製装置は、図４に示すように、
図１および図２における像回転プリズム９に代えて、複
数個（本例では３個）のミラ―１６、ミラ―１７、ミラ
―１８を図示のように組み合わせてなる像回転要素を備
えた構成としている。

【００５０】本実施例の回折格子を有するマルチドット
パタ―ンの作製装置においても、上記第１の実施例の場
合と同様にして、回折格子を有するマルチドットパタ―
ンを作製することができる。

【００５１】そして、本実施例の回折格子を有するマル
チドットパタ―ンの作製方法および作製装置において
は、上記第１の実施例の場合と同様の効果が得られるの
は勿論のこと、それに加えて、３個のミラ―１６、ミラ
―１７、ミラ―１８を組み合わせてなる像回転要素を用
いているので、ミラ―１６、ミラ―１７、ミラ―１８の
みを使用しているため、レーザ光の波長変動の影響を受
け難い。また、プリズムを使用した場合と比較して、極
めて安価に装置を作製することができるという効果も得
ることが可能である。

【００５２】（第４の実施例）上記第１の実施例では、
全てのレーザ光を像回転プリズム９に入射させるように
したが、レーザ光の一部を像回転プリズム９に入射させ
ないようにしてもよい。

【００５３】図５は、本発明の第４の実施例による回折
格子を有するマルチドットパタ―ンの作製装置の要部構
成例を示す概要図であり、図１および図２と同一要素に
は同一符号を付してその説明を省略し、ここでは異なる
部分についてのみ述べる。

【００５４】すなわち、本実施例の回折格子を有するマ
ルチドットパタ―ンの作製装置は、図５に示すように、
図１および図２におけるビ―ムスプリッタ―３により分
岐した他方のレ―ザ光をミラー７で反射させ、その反射
したレーザ光を像回転プリズム９を介さずに直接レンズ
１２に入射させる構成としている。

【００５５】本実施例の回折格子を有するマルチドット
パタ―ンの作製装置においても、上記第１の実施例の場
合と同様にして、回折格子を有するマルチドットパタ―
ンを作製することができる。

【００５６】そして、本実施例の回折格子を有するマル
チドットパタ―ンの作製方法および作製装置において
は、上記第１の実施例の場合と同様の効果が得られるの
は勿論のこと、それに加えて、レーザ光の一部を像回転
プリズム９に入射させないようにしているので、固定し
たビームの方向をパターンの再生時の照明光の方向とみ
なすことができるため、作製時の可変ビームの方向と再
生光の方向が一致する。そのため、可変ビームの位置の
計算が極めて簡単になる。これにより、計算時間を高速
化でき、また作製装置を安価にすることができるという
効果も得ることが可能である。

【００５７】（第５の実施例）図６は、本発明の第５の
実施例による回折格子を有するマルチドットパタ―ンの
作製装置の構成例を示す全体斜視図であり、図１と同一
要素には同一符号を付して示している。

【００５８】すなわち、本実施例の回折格子を有するマ
ルチドットパタ―ンの作製装置は、図６に示すように、
ビーム状のレ―ザ光を発生するレーザ光源１と、このレ
ーザ光源１からのビーム状のレ―ザ光を透過／遮断する
シャッター２と、このシャッター２からのビーム状のレ
―ザ光を拡大して束状にする光学要素であるレンズ２
１、およびレンズ２２と、このレンズ２２により束状に
したレ―ザ光を変調する空間変調要素である液晶パネル
２３と、図示矢印方向に回転自在な回転ステージ８に配
設され、所望の角度で回転されることによって、液晶パ
ネル２３により変調したレ―ザ光の全部を所望の位置に
回転させる像回転要素である像回転プリズム（ダブプリ
ズム）９と、この像回転プリズム９により回転されたレ
―ザ光を集光してレ―ザ光位置に応じたピッチを持つ干
渉縞を、図示矢印方向に移動自在なＸ−Ｙステージ１０
に配設された感光材料１１上に生成させる結像要素であ
るレンズ１２と、作製しようとするマルチドットパター
ンの元データに基づいて、シャッター２の透過／遮断動
作、液晶パネル２３の変調動作、回転ステージ８の回転
動作、およびＸ−Ｙステージ１０の移動動作をそれぞれ
制御するコンピュータ等からなる制御装置１３とから構
成している。

【００５９】なお、図７は、図６における回折格子を有
するマルチドットパタ―ンの作製装置の要部を拡大して
示す概念図である。

【００６０】次に、以上のように構成した本実施例の回
折格子を有するマルチドットパタ―ンの作製装置による
回折格子を有するマルチドットパタ―ンの作製方法につ
いて説明する。

【００６１】図６および図７において、レーザ光源１か
らのビーム状のレ―ザ光は、シャッター２を通してレン
ズ２１に入射されて拡大され、さらにレンズ２２に入射
されて束状のレ―ザ光にされる。そして、この束状のレ
―ザ光は、液晶パネル２３に入射される。この液晶パネ
ル２３は、入射した光の波面を所望の形状に変形させ、
変調したレ―ザ光は全部、像回転プリズム９に入射され
る。この場合、像回転プリズム９に入射するレ―ザ光
は、像回転プリズム９の長さが長いため、できるだけ平
行に近いことが望ましい。

【００６２】一方、像回転プリズム９に入射したレ―ザ
光の全部は、像回転プリズム９が所望の角度で回転する
ことによって、所望の位置に回転させる。すなわち、像
回転プリズム９は、回転ステージ８で回転させることに
よって、その回転角の２倍の角度の回転角で像を回転す
ることができる。そして、この像回転プリズム９により
回転されたレ―ザ光は、レンズ１２によって感光材料１
１上の一点に集められ、干渉縞を生じる。この干渉縞
を、Ｘ−Ｙステージ１０に配設した感光材料１１に記録
することによって、微小な回折格子からなる一つの回折
格子要素のドットを記録することができる。この場合、
集められるレーザ光は、様々な方向成分を持った光であ
るため、感光材料１１上には複雑な干渉縞が記録され
る。

【００６３】そして、作製しようとするマルチドットパ
ターンの元データに基づいて、シャッター２の透過／遮
断動作、液晶パネル２３の変調動作、回転ステージ８の
回転動作、およびＸ−Ｙステージ１０の移動動作を制御
装置１３によりそれぞれ制御することによって、シャッ
ター２による露光量、レ―ザ光の像回転プリズム９への
入射波面、全部のレ―ザ光の回転位置、およびＸ−Ｙス
テージ１０の移動位置をそれぞれ制御して、感光材料１
１を移動させながら次々に回折格子要素の露光を行なう
ことにより、多数の回折格子要素のドットからなるマル
チドットによる干渉縞のパタ―ンを生成することが可能
となる。

【００６４】以上により、感光材料１１上の所望の位置
に、所望の角度と所望の形状（曲線状等のより複雑な形
状）を持つ回折格子を、より簡単に形成することができ
る。

【００６５】すなわち、像回転プリズム９に入射するレ
―ザ光は、像回転プリズム９の回転によって回転位置を
変えることが可能であり、このようにして像回転プリズ
ム９を所望の角度で回転させることにより、形成される
回折格子の方向（角度）を任意に設定することができ
る。

【００６６】また、像回転プリズム９に入射するレ―ザ
光は、液晶パネル２３によって入射波面の形状を変える
ことが可能であり、このようにして液晶パネル２３を所
望の形状に変化させることによって、形成される回折格
子の形状を任意に設定することができる。

【００６７】上述したように、本実施例の回折格子を有
するマルチドットパタ―ンの作製方法および作製装置に
おいては、マルチドットパタ―ンを露光する際、像回転
プリズム９を所望の角度で回転させることにより、露光
する微小な回折格子からなる回折格子要素のドット内の
回折格子の方向を任意に設定することができる。

【００６８】この場合、本実施例では、像回転プリズム
９を用いて光束を回転させているため、回転のために移
動する部分は、像回転プリズム９のみでよく、装置の機
構を簡単にし、振動に強く安定した露光を行なうことが
可能になる。また。入射光の光束は、平行光に近ければ
どのような形状のものでもよいため、入射するレーザ光
の位置を変化させることが容易であり、液晶パネル２３
によって任意に入射パターンを変化させることが可能で
ある。

【００６９】一方、干渉縞を回転以外の変化をもたらす
ためには、新たな光の変調を行なうための装置が必要で
ある。

【００７０】すなわち、従来の方法では、回転部分と他
の駆動部とを切り離すことができなかったため、他の光
変調部ごと回転させたり、回転部を複数用意して切り替
える方法を用いる必要があったのに対して、本実施例で
は、上記のように回転に関係のない部分の稼働部を回転
系と切り離すことが可能であるため、装置が安定して振
動が少なくなり、明るい質の良い回折格子パタ―ンを得
ることが可能となる。

【００７１】また、回転系を切り替える場合、用意でき
る回転系の数には現実的に限りがあり、例えば前記のよ
うな干渉縞のピッチを変化させる場合、作製可能な干渉
縞のピッチの数が少ない。この点、本実施例では、液晶
パネル２３を細かく制御することによって、容易に干渉
縞の形状を変化させることが可能となる。

【００７２】さらに、像回転プリズム９等の像回転要素
を用いずに、液晶パネル２３等の空間変調要素を用いて
入射パタ―ンの回転を行なう場合、回転操作をデジタル
的に行なう場合、空間変調要素として高解像度のものが
要求されるが、一般に空間変調要素は、高解像度になる
ほど高価で、またコントラスト等の他の画質が低下する
傾向がある。

【００７３】この点、本実施例では、回転を像回転プリ
ズム９等の光学的な回転要素を用いて行なうことによ
り、空間変調要素である液晶パネル２３の解像度を高め
ることなく、回折格子からなる回折格子要素のドット内
の回折格子の方向を回転することができるため、極めて
安価で品質の良いシステムを構築することが可能とな
る。

【００７４】以上により、像回転プリズム９を回転させ
るだけで、ミラ―やレンズ等の光学要素部分を回転させ
ずに、回折格子の方向を任意に変化させることができる
ため、回転機構を極めて安定かつ小型化することが可能
となり、さらに高速でかつ振動に強く安定したマルチド
ットパタ―ンを作製することが可能となる。

【００７５】また、回転部と他の駆動部とを分離するこ
とができるため、回転部以外の駆動部を自由に配置する
ことができ、回折格子のドットの大きさ、回折格子の方
向を自由に変化させることも可能となる。

【００７６】さらに、液晶パネル２３を用いて入射パタ
―ンを任意に変化させることができるため、回折格子の
形状を自由に変化させることも可能となる。

【００７７】（第６の実施例）上記第５の実施例では、
像回転要素として、像回転プリズム９を用いて回転を行
なうようにしたが、これに限らず、ミラ―とプリズムと
の組み合わせによる像回転要素を用いて回転を行なうよ
うにしてもよい。

【００７８】図８は、本発明の第６の実施例による回折
格子を有するマルチドットパタ―ンの作製装置の要部構
成例を示す概要図であり、図６および図７と同一要素に
は同一符号を付してその説明を省略し、ここでは異なる
部分についてのみ述べる。

【００７９】すなわち、本実施例の回折格子を有するマ
ルチドットパタ―ンの作製装置は、図８に示すように、
図６および図７における像回転プリズム９に代えて、ミ
ラ―２４とプリズム２５とを図示のように組み合わせて
なる像回転要素を備えた構成としている。

【００８０】本実施例の回折格子を有するマルチドット
パタ―ンの作製装置においても、上記第５の実施例の場
合と同様にして、回折格子を有するマルチドットパタ―
ンを作製することができる。

【００８１】そして、本実施例の回折格子を有するマル
チドットパタ―ンの作製方法および作製装置において
は、上記第５の実施例の場合と同様の効果が得られるの
は勿論のこと、それに加えて、ミラ―２４とプリズム２
５とを組み合わせてなる像回転要素を用いているので、
全反射面にミラー２４を使用しているため、ゴミ汚れに
対して強い。そのため、悪い環境下での撮影が可能にな
るという効果も得ることが可能である。

【００８２】（第７の実施例）上記第５の実施例では、
像回転要素として、像回転プリズム９を用いて回転を行
なうようにしたが、これに限らず、複数個のミラ―の組
み合わせによる像回転要素を用いて回転を行なうように
してもよい。

【００８３】図９は、本発明の第７の実施例による回折
格子を有するマルチドットパタ―ンの作製装置の要部構
成例を示す概要図であり、図６および図７と同一要素に
は同一符号を付してその説明を省略し、ここでは異なる
部分についてのみ述べる。

【００８４】すなわち、本実施例の回折格子を有するマ
ルチドットパタ―ンの作製装置は、図９に示すように、
図６および図７における像回転プリズム９に代えて、複
数個（本例では３個）のミラ―２６、ミラ―２７、ミラ
―２８を図示のように組み合わせてなる像回転要素を備
えた構成としている。

【００８５】本実施例の回折格子を有するマルチドット
パタ―ンの作製装置においても、上記第５の実施例の場
合と同様にして、回折格子を有するマルチドットパタ―
ンを作製することができる。

【００８６】そして、本実施例の回折格子を有するマル
チドットパタ―ンの作製方法および作製装置において
は、上記第５の実施例の場合と同様の効果が得られるの
は勿論のこと、それに加えて、３個のミラ―２６、ミラ
―２７、ミラ―２８を組み合わせてなる像回転要素を用
いているので、ミラ―２６、ミラ―２７、ミラ―２８の
みを使用しているため、レーザ光の波長変動の影響を受
け難い。また、プリズムを使用した場合と比較して、極
めて安価に装置を作製することができるという効果も得
ることが可能である。

【００８７】（第８の実施例）上記第５の実施例では、
液晶パネル２３および像回転プリズム９に全てのレーザ
光を入射させるようにしたが、レーザ光の一部を液晶パ
ネル２３および像回転プリズム９に入射させないように
することにより、液晶パネル２３および像回転プリズム
９を通過しないレーザ光との干渉縞を記録するようにし
てもよい。

【００８８】図１０は、本発明の第８の実施例による回
折格子を有するマルチドットパタ―ンの作製装置の要部
構成例を示す概要図であり、図６および図７と同一要素
には同一符号を付してその説明を省略し、ここでは異な
る部分についてのみ述べる。

【００８９】すなわち、本実施例の回折格子を有するマ
ルチドットパタ―ンの作製装置は、図１０に示すよう
に、図６および図７における他のレーザ光源からのレ―
ザ光を、液晶パネル２３および像回転プリズム９を介さ
ずに直接レンズ１２に入射させる構成としている。

【００９０】本実施例の回折格子を有するマルチドット
パタ―ンの作製装置においても、上記第５の実施例の場
合と同様にして、回折格子を有するマルチドットパタ―
ンを作製することができる。この場合、液晶パネル２３
や像回転プリズム９によって変調しないレーザ光は、ど
の露光においても変化しないため、参照光として用いる
ことができる。

【００９１】そして、本実施例の回折格子を有するマル
チドットパタ―ンの作製方法および作製装置において
は、上記第５の実施例の場合と同様の効果が得られるの
は勿論のこと、それに加えて、レーザ光の一部を像回転
プリズム９に入射させないようにしているので、固定し
たビームの方向をパターンの再生時の照明光の方向とみ
なすことができるため、作製時の可変ビームの方向と再
生光の方向が一致する。そのため、可変ビームの位置の
計算が極めて簡単になる。これにより、計算時間を高速
化でき、また作製装置を安価にすることができるという
効果も得ることが可能である。

【００９２】尚、本発明は上記各実施例に限定されるも
のではなく、次のようにしても同様に実施できるもので
ある。

【００９３】（ａ）上記各実施例において、感光材料１
１に、フォトレジスト等のように、光の強度に応じて表
面の凹凸が生じるようなものを用いた場合には、露光さ
れた回折格子によるマルチドットパタ―ンからスタンパ
―を作製し、樹脂表面に凹凸を複写することにより大量
生産をすることが可能となる。

【００９４】また、この凹凸表面に、全反射層もしくは
部分反射層を設けることにより、反射による回折光を利
用することも可能となる。

【００９５】さらに、これらの樹脂の裏に接着層を設け
ることにより、ステッカ―として利用することも可能で
あり、また樹脂を箔状とすることにより、他の基板上に
箔押することも可能となる。

【００９６】（ｂ）上記各実施例では、本発明をマルチ
ドットパタ―ンを有するディスプレイに適用する場合に
ついて説明したが、これに限らず、マルチドットアレイ
を用いた光情報記録媒体等の他の分野についても、本発
明を同様に適用することが可能である。

【００９７】

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、マ
ルチドットパタ―ンを露光する際に、光分岐手段によっ
てビーム状のレ―ザ光を複数に分岐し、この分岐したレ
―ザ光の少なくとも一部を像回転要素を用いて所望の位
置に回転させ、この回転させられたレ―ザ光を結像要素
により集光して干渉縞を感光材料上に生成するか、ある
いは光分岐手段によってレ―ザ光を複数に分岐し、この
分岐したレ―ザ光の位置を所望の位置に変化させ、この
レ―ザ光の少なくとも一部を像回転要素を用いて所望の
位置に回転させ、この回転させられたレ―ザ光を結像要
素により集光してレ―ザ光位置に応じたピッチを持つ干
渉縞を感光材料上に生成するようにしたので、回転機構
を一体化、簡略化、かつ小型化し、高速にしかも安定し
てパタ―ンを作製することが可能な回折格子を有するマ
ルチドットパタ―ンの作製方法および作製装置が提供で
きる。

【００９８】さらに、本発明によれば、マルチドットパ
タ―ンを露光する際に、光学要素によってビーム状のレ
―ザ光を束状にし、この束状にしたレ―ザ光を空間変調
要素によって変調し、この変調したレ―ザ光の少なくと
も一部を像回転要素を用いて所望の位置に回転させ、こ
の回転させられたレ―ザ光を結像要素により集光して干
渉縞を感光材料上に生成するようにしたので、より複雑
な形状の回折格子からなるパタ―ンを作製することが可
能な回折格子を有するマルチドットパタ―ンの作製方法
および作製装置が提供できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による回折格子を有するマルチドットパ
タ―ンの作製装置の第１の実施例を示す概要図。

【図２】同第１の実施例における回折格子を有するマル
チドットパタ―ンの作製装置の要部を拡大して示す概念
図。

【図３】本発明による回折格子を有するマルチドットパ
タ―ンの作製装置の第２の実施例を示す概要図。

【図４】本発明による回折格子を有するマルチドットパ
タ―ンの作製装置の第３の実施例を示す概要図。

【図５】本発明による回折格子を有するマルチドットパ
タ―ンの作製装置の第４の実施例を示す概要図。

【図６】本発明による回折格子を有するマルチドットパ
タ―ンの作製装置の第５の実施例を示す概要図。

【図７】同第５の実施例における回折格子を有するマル
チドットパタ―ンの作製装置の要部を拡大して示す概念
図。

【図８】本発明による回折格子を有するマルチドットパ
タ―ンの作製装置の第６の実施例を示す概要図。

【図９】本発明による回折格子を有するマルチドットパ
タ―ンの作製装置の第７の実施例を示す概要図。

【図１０】本発明による回折格子を有するマルチドット
パタ―ンの作製装置の第８の実施例を示す概要図。

【符号の説明】

１…レーザ光源、２…シャッター、３…ビ―ムスプリッ
タ―、４…移動ステージ、５…ミラー、６…ミラー、７
…ミラー、８…回転ステージ、９…像回転プリズム（ダ
ブプリズム）、１０…Ｘ−Ｙステージ、１１…感光材
料、１２…レンズ、１３…制御装置、１４…ミラ―、１
５…プリズム、１６…ミラ―、１７…ミラ―、１８…ミ
ラ―、２１…レンズ、２２…レンズ、２３…液晶パネ
ル、２４…ミラ―、２５…プリズム、２６…ミラ―、２
７…ミラ―、２８…ミラ―。

Claims (13)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 平面状の基板の表面に微小な回折格子か
   らなる回折格子要素のドットをマトリクス状に複数個配
   置し、当該ドットの集まりによって表現されるパターン
   （マルチドットパターン）を、レ―ザ光の干渉縞を用い
   て作製する方法において、 前記マルチドットパタ―ンを露光する際に、像回転要素
   を所望の角度で回転させることによりレ―ザ光を所望の
   位置に回転させて、露光する微小な回折格子からなる回
   折格子要素のドット内の回折格子の方向を任意に変化さ
   せるようにしたことを特徴とする回折格子を有するマル
   チドットパタ―ンの作製方法。
2. 【請求項２】 平面状の基板の表面に微小な回折格子か
   らなる回折格子要素のドットをマトリクス状に複数個配
   置し、当該ドットの集まりによって表現されるパターン
   （マルチドットパターン）を、レ―ザ光の干渉縞を用い
   て作製する方法において、 前記マルチドットパタ―ンを露光する際に、光分岐手段
   によってビーム状のレ―ザ光を複数に分岐し、当該分岐
   したレ―ザ光の少なくとも一部を像回転要素を用いて所
   望の位置に回転させ、当該回転させられたレ―ザ光を結
   像要素により集光して干渉縞を感光材料上に生成するよ
   うにしたことを特徴とする回折格子を有するマルチドッ
   トパタ―ンの作製方法。
3. 【請求項３】 平面状の基板の表面に微小な回折格子か
   らなる回折格子要素のドットをマトリクス状に複数個配
   置し、当該ドットの集まりによって表現されるパターン
   （マルチドットパターン）を、レ―ザ光の干渉縞を用い
   て作製する方法において、 前記マルチドットパタ―ンを露光する際に、光分岐手段
   によってビーム状のレ―ザ光を複数に分岐し、当該分岐
   したレ―ザ光の位置を所望の位置に変化させ、当該レ―
   ザ光の少なくとも一部を像回転要素を用いて所望の位置
   に回転させ、当該回転させられたレ―ザ光を結像要素に
   より集光してレ―ザ光位置に応じたピッチを持つ干渉縞
   を感光材料上に生成するようにしたことを特徴とする回
   折格子を有するマルチドットパタ―ンの作製方法。
4. 【請求項４】 平面状の基板の表面に微小な回折格子か
   らなる回折格子要素のドットをマトリクス状に複数個配
   置し、当該ドットの集まりによって表現されるパターン
   （マルチドットパターン）を、レ―ザ光の干渉縞を用い
   て作製する方法において、 前記マルチドットパタ―ンを露光する際に、光学要素に
   よってビーム状のレ―ザ光を束状にし、当該束状にした
   レ―ザ光を空間変調要素によって変調し、当該変調した
   レ―ザ光の少なくとも一部を像回転要素を用いて所望の
   位置に回転させ、当該回転させられたレ―ザ光を結像要
   素により集光して干渉縞を感光材料上に生成するように
   したことを特徴とする回折格子を有するマルチドットパ
   タ―ンの作製方法。
5. 【請求項５】 前記請求項１ないし請求項４のいずれか
   １項に記載の回折格子を有するマルチドットパタ―ンの
   作製方法において、 前記像回転要素としては、像回転プリズムを用いるよう
   にしたことを特徴とする回折格子を有するマルチドット
   パタ―ンの作製方法。
6. 【請求項６】 前記請求項１ないし請求項４のいずれか
   １項に記載の回折格子を有するマルチドットパタ―ンの
   作製方法において、 前記像回転要素としては、ミラ―とプリズムとを組み合
   わせてなるものを用いるようにしたことを特徴とする回
   折格子を有するマルチドットパタ―ンの作製方法。
7. 【請求項７】 前記請求項１ないし請求項４のいずれか
   １項に記載の回折格子を有するマルチドットパタ―ンの
   作製方法において、 前記像回転要素としては、複数個のミラ―を組み合わせ
   てなるものを用いるようにしたことを特徴とする回折格
   子を有するマルチドットパタ―ンの作製方法。
8. 【請求項８】 平面状の基板の表面に微小な回折格子か
   らなる回折格子要素のドットをマトリクス状に複数個配
   置し、当該ドットの集まりによって表現されるパターン
   （マルチドットパターン）を、レ―ザ光の干渉縞を用い
   て作製する装置において、 レ―ザ光を発生するレーザ光源と、 前記レーザ光源からのレ―ザ光を複数に分岐する光分岐
   手段と、 回転ステージにより所望の角度で回転されることによっ
   て、前記光分岐手段により分岐したレ―ザ光の少なくと
   も一部を所望の位置に回転させる像回転要素と、 前記像回転要素により回転されたレ―ザ光を集光して干
   渉縞を、移動自在なステージに配設された感光材料上に
   生成させる結像要素と、 作製しようとするマルチドットパターンの元データに基
   づいて、前記回転ステージの回転動作、および前記ステ
   ージの移動動作をそれぞれ制御する制御手段と、 を備えて成ることを特徴とする回折格子を有するマルチ
   ドットパタ―ンの作製装置。
9. 【請求項９】 平面状の基板の表面に微小な回折格子か
   らなる回折格子要素のドットをマトリクス状に複数個配
   置し、当該ドットの集まりによって表現されるパターン
   （マルチドットパターン）を、レ―ザ光の干渉縞を用い
   て作製する装置において、 レ―ザ光を発生するレーザ光源と、 前記レーザ光源からのレ―ザ光を複数に分岐する光分岐
   手段と、 前記光分岐手段により分岐したレ―ザ光の位置を所望の
   位置に変化させる位置変化手段と、 回転ステージにより所望の角度で回転されることによっ
   て、前記位置変化手段により位置変化したレ―ザ光の少
   なくとも一部を所望の位置に回転させる像回転要素と、 前記像回転要素により回転されたレ―ザ光を集光してレ
   ―ザ光位置に応じたピッチを持つ干渉縞を、移動自在な
   ステージに配設された感光材料上に生成させる結像要素
   と、 作製しようとするマルチドットパターンの元データに基
   づいて、前記位置変化手段の位置変化動作、前記回転ス
   テージの回転動作、および前記ステージの移動動作をそ
   れぞれ制御する制御手段と、 を備えて成ることを特徴とする回折格子を有するマルチ
   ドットパタ―ンの作製装置。
10. 【請求項１０】 平面状の基板の表面に微小な回折格子
    からなる回折格子要素のドットをマトリクス状に複数個
    配置し、当該ドットの集まりによって表現されるパター
    ン（マルチドットパターン）を、レ―ザ光の干渉縞を用
    いて作製する装置において、 ビーム状のレ―ザ光を発生するレーザ光源と、 前記レーザ光源からのビーム状のレ―ザ光を束状にする
    光学要素と、 前記光学要素により束状にしたレ―ザ光を変調する空間
    変調要素と、 回転ステージにより所望の角度で回転されることによっ
    て、前記空間変調要素により変調したレ―ザ光の少なく
    とも一部を所望の位置に回転させる像回転要素と、 前記像回転要素により回転されたレ―ザ光を集光して干
    渉縞を、移動自在なＸ−Ｙステージに配設された感光材
    料上に生成させる結像要素と、 作製しようとするマルチドットパターンの元データに基
    づいて、前記空間変調要素の変調動作、前記回転ステー
    ジの回転動作、および前記Ｘ−Ｙステージの移動動作を
    それぞれ制御する制御手段と、 を備えて成ることを特徴とする回折格子を有するマルチ
    ドットパタ―ンの作製装置。
11. 【請求項１１】 前記請求項８ないし請求項１０のいず
    れか１項に記載の回折格子を有するマルチドットパタ―
    ンの作製装置において、 前記像回転要素としては、像回転プリズムを用いるよう
    にしたことを特徴とする回折格子を有するマルチドット
    パタ―ンの作製装置。
12. 【請求項１２】 前記請求項８ないし請求項１０のいず
    れか１項に記載の回折格子を有するマルチドットパタ―
    ンの作製装置において、 前記像回転要素としては、ミラ―とプリズムとを組み合
    わせてなるものを用いるようにしたことを特徴とする回
    折格子を有するマルチドットパタ―ンの作製方法。
13. 【請求項１３】 前記請求項８ないし請求項１０のいず
    れか１項に記載の回折格子を有するマルチドットパタ―
    ンの作製装置において、 前記像回転要素としては、複数個のミラ―を組み合わせ
    てなるものを用いるようにしたことを特徴とする回折格
    子を有するマルチドットパタ―ンの作製装置。