JPH0894645A - Analytical apparatus - Google Patents

Analytical apparatus

Info

Publication number
JPH0894645A
JPH0894645A JP6234802A JP23480294A JPH0894645A JP H0894645 A JPH0894645 A JP H0894645A JP 6234802 A JP6234802 A JP 6234802A JP 23480294 A JP23480294 A JP 23480294A JP H0894645 A JPH0894645 A JP H0894645A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
image data
color
display
data
color table
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP6234802A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP3293717B2 (en
Inventor
Yasuo Miwa
泰生 三輪
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shimadzu Corp
Original Assignee
Shimadzu Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Family has litigation
First worldwide family litigation filed litigation Critical https://patents.darts-ip.com/?family=16976624&utm_source=google_patent&utm_medium=platform_link&utm_campaign=public_patent_search&patent=JPH0894645(A) "Global patent litigation dataset” by Darts-ip is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 International License.
Application filed by Shimadzu Corp filed Critical Shimadzu Corp
Priority to JP23480294A priority Critical patent/JP3293717B2/en
Publication of JPH0894645A publication Critical patent/JPH0894645A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP3293717B2 publication Critical patent/JP3293717B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Image Processing (AREA)
  • Image Generation (AREA)
  • Controls And Circuits For Display Device (AREA)

Abstract

PURPOSE: To provide an analytical apparatus which can easily perform an operation to adjust the display state of apparatus image data. CONSTITUTION: An analytical apparatus is provided with means 20, 24 by which the brightness distribution of image data obtained from the side of an analytical means is found, with means 4, 12 by which the allocation of a color table with reference to the brightness distribution is designated, with means 20, 21 by which the image data is converted into image data for display according to the allocation of the color table, with a means 22 by which the converted image data for display is stored and with means 10, 11, 12 by which the brightness distribution, the color table and the image data for display are displayed.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、走査型プローブ顕微鏡
等の分析装置に関し、特に測定した画像データをカラー
表示する画像データ表示装置を備えた分析装置に関す
る。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an analyzer such as a scanning probe microscope, and more particularly to an analyzer equipped with an image data display device for displaying measured image data in color.

【0002】[0002]

【従来の技術】例えば、走査型プローブ顕微鏡等の分析
装置においては、物質表面の原子配列や、物質表面の表
面形状の測定結果を画像データとして取得し、該画像デ
ータを表示装置に表示している。この走査型プローブ顕
微鏡として、例えば、プローブと試料表面との間に流れ
るトンネル電流を用いる走査型トンネル顕微鏡(ST
M)や、プローブと試料表面間に働く原子間力を測定す
る原子間力顕微鏡(AFM)が知られている。例えば、
走査型トンネル顕微鏡は、探針を試料表面に近づけて探
針または試料の何れかを3次元方向に移動可能とし、探
針と試料表面との間に流れるトンネル電流が一定となる
ように試料表面と探針先端部との間をサブナノメータオ
ーダーで制御することにより原子レベルの分解能で得ら
れる3次元形状の情報によって、物質表面の原子配列の
観察や、物質表面の表面形状の観察等を行うものであ
り、原子間力顕微鏡は、例えば探針及び探針を支持する
カンチレバー等と、レバーの曲がりを検出する変位測定
系からなり、探針と試料との間の原子間力(引力または
斥力)を検出してこれが一定になるように制御すること
によって、試料表面の凹凸像等を観察するものであり、
生物,有機分子,絶縁物等の非導電物質の観察を行うこ
とができる顕微鏡である。このような走査型プローブ顕
微鏡等の分析装置が備える画像表示装置においては、一
般に、分析装置から得られる画像データは必ずしもコン
トラストが良好ではない。そのため、測定されたままの
未処理の測定画像データに対してカラーテーブルを割り
当てて色付けを行っても、明瞭なカラーの画像表示が行
われるとは限らない。また、良好なコントラストが得ら
れている場合であっても、分析の必要性から輝度の表示
範囲を限定して表示を行いたいという要請が生じる場合
がある。そのため、従来、その画像データの輝度分布を
表すヒストグラムを基にして、測定画像データに対して
ヒストグラムの平坦化やヒストグラムの部分拡張等を行
うデータ加工を行って測定画像データを再構成し、その
再構成した測定画像データに対してカラーテーブルを割
り当てて色付けを行ってカラー表示し、その画像表示を
確認し、再び測定画像データのデータ加工を行うという
操作を、所望の表示状態となるまで繰り返して行ってい
る。
2. Description of the Related Art For example, in an analyzer such as a scanning probe microscope, the measurement results of the atomic arrangement of the material surface and the surface shape of the material surface are acquired as image data and the image data is displayed on a display device. There is. As this scanning probe microscope, for example, a scanning tunnel microscope (ST that uses a tunnel current flowing between the probe and the sample surface) is used.
M) and an atomic force microscope (AFM) for measuring the atomic force acting between the probe and the sample surface are known. For example,
The scanning tunneling microscope allows the probe or the sample to move in a three-dimensional direction by bringing the probe close to the sample surface, so that the tunnel current flowing between the probe and the sample surface becomes constant. By observing the distance between the probe and the tip of the probe on the order of sub-nanometers, the atomic arrangement of the material surface and the surface shape of the material surface can be observed based on the three-dimensional shape information obtained at the atomic level resolution. Atomic force microscope is composed of, for example, a probe and a cantilever that supports the probe, and a displacement measurement system that detects the bending of the lever, and the atomic force (attractive force or repulsive force) between the probe and the sample is used. ) Is detected and controlled so as to be constant, the uneven image of the sample surface is observed.
It is a microscope that can observe non-conductive materials such as living things, organic molecules, and insulators. In the image display device provided in the analyzer such as the scanning probe microscope, the image data obtained from the analyzer generally does not always have good contrast. Therefore, even if a color table is assigned to unprocessed measurement image data that has been measured and coloring is performed, a clear color image display is not always performed. Further, even if good contrast is obtained, there may be a case where it is desired to perform display by limiting the display range of luminance due to the necessity of analysis. Therefore, conventionally, based on the histogram representing the luminance distribution of the image data, the measurement image data is reconstructed by performing data processing such as flattening the histogram or partially expanding the histogram for the measurement image data, Repeat the operation of assigning a color table to the reconstructed measurement image data, coloring it, displaying it in color, checking the image display, and processing the measurement image data again until the desired display state is reached. I am going.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
分析装置では、カラー表示のための測定データのデータ
処理が円滑に行えないという問題がある。従来の測定画
像データのカラー表示においては、前記したように分析
装置から得られた測定画像データのデータ加工による再
構成と、該加工画像データの表示確認とういう操作を繰
り返す必要があるため、カラー表示のための測定データ
のデータ処理に時間を要し、操作が煩雑となっている。
これは、従来の分析装置において行われるデータ加工は
ヒストグラム自体を所望の特性とするデータ処理であ
り、このデータ処理によって結果的に再構成される測定
画像データを用いてカラー表示を行うものであるため、
カラー表示におけるカラーテーブルの割り当てと、測定
画像データのデータ加工とが必ずしも対応しているもの
となっていないためである。例えば、走査型トンネル顕
微鏡では、試料と探針との間に流れるトンネル電流を用
いて得られる物質表面の原子配列や表面形状についての
三次元データを、カラー表示によって画像表示する場合
がある。例えば、表面の高さ情報をカラー表示によって
画像表示する場合、この高さ方向の頻度を表すヒストグ
ラム自体が所望の特性となるよう行うヒストグラムのデ
ータ加工と、カラー表示を行うためのカラーテーブルの
割当てとの間には充分な対応がとられておらず、ヒスト
グラムのデータ加工を行ったとしても,必ずしも適切な
カラー表示が行われるとは限らなかった。そこで、本発
明は前記した従来の分析装置の問題点を解決し、測定画
像データの表示状態の調整のための操作を容易に行うこ
とができる分析装置を提供することを目的とし、また、
トンネル電流を用いて得られる画像データのカラー表示
のための調整を容易に行うことができる走査トンネル顕
微鏡を提供することを目的とする。
However, the conventional analyzer has a problem that the data processing of the measurement data for color display cannot be smoothly performed. In the conventional color display of measurement image data, since it is necessary to repeat the operations of reconstructing the measurement image data obtained from the analyzer by data processing as described above and confirming the display of the processed image data, It takes time to process the measured data for display, which makes the operation complicated.
This is data processing performed in a conventional analyzer is data processing that makes a histogram itself a desired characteristic, and color display is performed using measurement image data that is reconstructed as a result of this data processing. For,
This is because the allocation of the color table in the color display and the data processing of the measurement image data do not always correspond to each other. For example, in a scanning tunneling microscope, there are cases where three-dimensional data about the atomic arrangement and surface shape of a material surface obtained by using a tunnel current flowing between a sample and a probe is displayed as a color image. For example, when displaying the height information of the surface by color display, the histogram data processing is performed so that the histogram itself representing the frequency in the height direction has desired characteristics, and the allocation of the color table for color display is performed. No sufficient correspondence has been made between and, and even if the histogram data was processed, it was not always possible to perform appropriate color display. Therefore, the present invention aims to solve the problems of the above-described conventional analyzer, and to provide an analyzer capable of easily performing an operation for adjusting the display state of the measurement image data, and
An object of the present invention is to provide a scanning tunneling microscope capable of easily performing adjustment for color display of image data obtained by using a tunnel current.

【0004】[0004]

【課題を解決するための手段】本発明は、分析装置にお
いて、分析手段側から得られる画像データの輝度分布を
求める手段と、輝度分布に対するカラーテーブルの割り
当てを指定する手段と、カラーテーブルの割り当てに従
って画像データを表示用画像データに変換する手段と、
変換した表示用画像データを記憶する手段と、輝度分
布、カラーテーブル、及び表示用画像データを表示する
手段とを備えることによって、測定画像データの表示状
態の調整のための操作を容易に行うことができる。
According to the present invention, in an analyzing apparatus, a means for obtaining a luminance distribution of image data obtained from the analyzing means side, a means for designating a color table assignment to the luminance distribution, and a color table assignment. A means for converting the image data into image data for display according to
By providing a unit for storing the converted display image data, a unit for displaying the luminance distribution, the color table, and the display image data, the operation for adjusting the display state of the measurement image data can be easily performed. You can

【0005】本発明における分析装置は、分析手段から
得られる測定データを画像として表示する表示手段を備
えた装置であり、さらに、その表示手段は測定画像デー
タのカラー表示を行うことができるものである。本発明
における画像データの輝度分布は、測定した画像データ
の輝度の強度に対する頻度分布を表すものである。ま
た、本発明におけるカラーテーブルは、画像データをカ
ラー表示する際の色分布を表す表であり、割り当て指定
手段はこの色分布を輝度分布中の輝度範囲に対する割り
当てを指定し、設定する手段である。本発明における表
示用画像データは、測定画像データをカラーテーブルの
割り当て区分に対応するように変換することにより得ら
れ、この表示用画像データに対してカラーテーブルの各
色を対応させることによって、カラー表示を行うことが
できるものである。
The analysis device according to the present invention is a device provided with a display means for displaying the measurement data obtained from the analysis means as an image, and the display means is capable of displaying the measurement image data in color. is there. The brightness distribution of the image data in the present invention represents a frequency distribution with respect to the brightness intensity of the measured image data. Further, the color table in the present invention is a table showing a color distribution when the image data is displayed in color, and the allocation designating means is a means for designating and setting the allocation of this color distribution to the brightness range in the brightness distribution. . The display image data in the present invention is obtained by converting the measurement image data so as to correspond to the allocation division of the color table, and by making each color of the color table correspond to this display image data, color display is performed. Is what you can do.

【0006】本発明の第1の実施態様は、走査型トンネ
ル顕微鏡において、探針を通して得られるトンネル電流
を用いて得られる表面状態に関連する画像データの輝度
分布を求める手段と、輝度分布に対するカラーテーブル
の割り当てを指定する手段と、カラーテーブルの割り当
てに従って表面状態に関連する画像データを表示用画像
データに変換する手段と、変換した表示用画像データを
記憶する手段と、輝度分布、カラーテーブル、及び表示
用画像データを表示する手段とを備えることによって、
トンネル電流を用いて得られる画像データのカラー表示
のための容易な調整を可能とする。本発明の第2の実施
態様は、画像データは画素単位の輝度強度であり、該輝
度強度を複数個の輝度区間に分割して区分し、各輝度区
間に分布する画素の個数を求めることによって画像デー
タの輝度分布を求めるものであり、これによって、該輝
度分布を任意の表示形態で表示することができる。本発
明の第3の実施態様は、輝度分布をヒストグラムの表示
形態で表示するものであり、これによって、柱状の形態
で表示したカラーテーブルと輝度分布との対応を容易に
行なうことができる。本発明の第4の実施態様は、画像
データの輝度強度をカラーテーブルの割り当てに対応し
て区分し、区分した値を画素単位のビットマップデータ
として記憶するものであり、これによって、設定したカ
ラー表示範囲に対応した表示用の画像データを得ること
ができる。
The first embodiment of the present invention is, in a scanning tunneling microscope, a means for obtaining a luminance distribution of image data relating to a surface state obtained by using a tunnel current obtained through a probe, and a color for the luminance distribution. Means for designating table allocation, means for converting image data relating to the surface state to display image data according to color table allocation, means for storing the converted display image data, brightness distribution, color table, And a means for displaying the image data for display,
It enables easy adjustment for color display of image data obtained using the tunnel current. According to the second embodiment of the present invention, the image data is the brightness intensity of each pixel, the brightness intensity is divided into a plurality of brightness sections, and the number of pixels distributed in each brightness section is obtained. The brightness distribution of the image data is obtained, and the brightness distribution can be displayed in an arbitrary display form. In the third embodiment of the present invention, the luminance distribution is displayed in a histogram display form, whereby the color table displayed in a columnar form and the luminance distribution can be easily associated with each other. According to the fourth embodiment of the present invention, the brightness intensity of the image data is divided according to the allocation of the color table, and the divided values are stored as bitmap data in pixel units. Image data for display corresponding to the display range can be obtained.

【0007】本発明の第5の実施態様は、ビットマップ
データで表される表示用画像データの値と、カラーテー
ブルの各色を表す値とを対応させることによって画像デ
ータのカラー表示を行うものであり、これによって、画
像データのカラー表示を容易に行なうことができ、ま
た、カラーテーブルを変更することによりカラー表示の
変更を容易に行なうことができる。本発明の第6の実施
態様は、画像データの輝度の分割個数とカラーテーブル
の色分割の個数とが実質的に一致しているものであり、
これによって、ビットマップデータで表される表示用画
像データの値とカラーテーブルの各色を表す値とを実質
的に1対1で対応させることができ、これによって、画
像データのカラー表示を容易に行なうことができ、ま
た、カラーテーブルを変更することによりカラー表示の
変更を容易に行なうことができる。本発明の第7の実施
態様は、輝度分布、カラーテーブル、及び表示用画像デ
ータを実質的に一つの表示面上に表示するものであり、
これによって、輝度分布に対するカラーテーブルの割り
当て、及び画像データの表示確認を同時に行なうことが
できる。
The fifth embodiment of the present invention performs color display of image data by associating a value of display image data represented by bitmap data with a value representing each color of a color table. Accordingly, the color display of the image data can be easily performed, and the color display can be easily changed by changing the color table. In the sixth embodiment of the present invention, the number of divisions of the luminance of the image data and the number of color divisions of the color table substantially match,
As a result, the value of the image data for display represented by the bitmap data and the value representing each color of the color table can be made to correspond substantially in a one-to-one manner, thereby facilitating color display of the image data. The color display can be easily changed by changing the color table. A seventh embodiment of the present invention is to display a luminance distribution, a color table, and display image data on substantially one display surface.
As a result, the color table can be assigned to the brightness distribution and the display of the image data can be confirmed at the same time.

【0008】[0008]

【作用】本発明の分析装置において、分析手段側から得
られる画像データは、例えば、画素単位の輝度強度によ
って表されている。この輝度強度を複数個の輝度区間に
分割して区分し、各輝度区間に分布する画素の個数を求
めることによって、画像データの輝度分布を求めること
ができる。この求めた輝度分布は、表示部中において、
例えば、ヒストグラム等の表示形態によって表すことが
できる。表示部には、前記輝度分布を表す部分と共に、
カラーテーブルを表す部分が形成され、画像データ表示
部で表示される画像データの色の分布を、例えば柱状の
形態によって、ヒストグラムで表された輝度分布と対応
できるように表示している。そして、カラーテーブル割
り当て指定手段によって画像データの輝度分布における
表示範囲を指定して、カラーテーブルによって色付さけ
れる輝度分布中の範囲を設定する。これによって、所望
の輝度分布範囲におけるカラー表示を設定することがで
きる。
In the analyzing apparatus of the present invention, the image data obtained from the analyzing means side is represented by, for example, the luminance intensity of each pixel. The brightness distribution of the image data can be obtained by dividing the brightness intensity into a plurality of brightness intervals and dividing the brightness intensities and determining the number of pixels distributed in each brightness interval. The brightness distribution obtained is
For example, it can be represented by a display form such as a histogram. In the display unit, together with the portion showing the brightness distribution,
A portion representing a color table is formed, and the color distribution of the image data displayed on the image data display unit is displayed in a columnar form so as to correspond to the brightness distribution represented by the histogram. Then, the display range in the luminance distribution of the image data is designated by the color table allocation designating means, and the range in the luminance distribution which is colored by the color table is set. With this, it is possible to set a color display in a desired luminance distribution range.

【0009】また、画像データを表示用画像データに変
換する手段は、測定画像データをカラーテーブルの割り
当て区分に対応させ、その対応する色に該当するカラー
値を画素単位で求め、さらに、表示用画像データを記憶
する手段は、該値をビットマップデータとして記憶す
る。表示用画像データによって画像データのカラー表示
を行なう場合には、表示用画像データのカラー値に対し
て対応するカラーテーブルの色を選択し、該色によって
その画素に対応する部分を表示する。したがって、表示
部には、画像データとカラーテーブルと輝度分布が同時
に表示される。そして、該表示状態を観察して、カラー
テーブルの輝度分布に対する範囲を、表示された画像デ
ータの表示状態に応じてカラーテーブル割り当て指定手
段によって変更することができる。このカラーテーブル
の割り当て変更により、前記したように、画像データを
表示用画像データに変換し、カラー表示を行なう。
Further, the means for converting the image data into the display image data is such that the measurement image data is made to correspond to the allocation section of the color table, the color value corresponding to the corresponding color is obtained in pixel units, and further, the display value is displayed. The means for storing the image data stores the value as bitmap data. When the color display of the image data is performed by the display image data, the color of the color table corresponding to the color value of the display image data is selected, and the portion corresponding to the pixel is displayed by the color. Therefore, the display unit simultaneously displays the image data, the color table, and the brightness distribution. Then, by observing the display state, the range for the luminance distribution of the color table can be changed by the color table allocation designating means according to the display state of the displayed image data. By changing the allocation of the color table, as described above, the image data is converted into the display image data and the color display is performed.

【0010】画像データの輝度の分割個数とカラーテー
ブルの色分割の個数とを一致させたり、あるいは、それ
らの個数関係に例えば整数倍等の一定の関係をたせるこ
とによって実質的に一致させると、ビットマップデータ
で表される表示用画像データのカラー値と画像データ表
示部において実際にカラー表示を行なう際のカラーテー
ブル中のR,G,Bの色データとを実質的に1対1で対
応させることができる。そして、このR,G,Bの色デ
ータを、対応する画素に入力することによって、設定し
たカラーテーブルの割り当てに対応したカラー表示を行
なわれる。このカラーテーブルにおいて、異なる組み合
わせのR,G,Bの色データを使用することによって、
カラー表示を変更することもできる。走査型トンネル顕
微鏡においては、表示部において、ヒストグラム等の表
示形態は、探針を通して得られるトンネル電流を用いて
得られる表面状態に関連する画像データの輝度分布を表
し、カラーテーブル割り当て指定手段によって表面状態
に関連した画像データについての色付けの割当てを行っ
て、所望の輝度分布範囲におけるカラー表示を設定す
る。そして、表示用画像データ記憶手段中の記憶してあ
る表面状態に関連するビットマップデータに対して、対
応するカラーテーブルの色を選択し、該色によって対応
画素を表示する。
When the number of luminance divisions of the image data and the number of color divisions of the color table are made to coincide with each other, or the number of them is made to substantially coincide by making a certain relation such as an integral multiple, The color values of the display image data represented by the bitmap data and the R, G, B color data in the color table when the color display is actually performed in the image data display section are substantially in one-to-one correspondence. Can be made. Then, by inputting the R, G, B color data to the corresponding pixels, color display corresponding to the set allocation of the color table is performed. In this color table, by using different combinations of R, G, B color data,
The color display can be changed. In a scanning tunneling microscope, a display form such as a histogram in the display unit shows a luminance distribution of image data related to a surface state obtained by using a tunnel current obtained through a probe, and the surface is displayed by a color table assignment designating means. Coloring is assigned to the image data related to the state, and the color display in the desired luminance distribution range is set. Then, for the bitmap data relating to the surface state stored in the display image data storage means, the color of the corresponding color table is selected, and the corresponding pixel is displayed by the color.

【0011】[0011]

【実施例】以下、本発明の実施例を図を参照しながら詳
細に説明する。 〔本発明の実施例の構成〕はじめに、図1の構成図を用
いて、本発明の分析装置の一実施例の構成について説明
する。図1において、本発明の分析装置は、通常の分析
を行なう分析手段(図示していない)、画像データ等の
表示を行なう表示部1、画像データ等のデータの処理や
記憶を行なうデータ処理部2を備えている。なお、図で
は、表示部1及びデータ処理部2の概略を示し、分析装
置が備える分析手段等のその他の部分については省略し
て示している。なお、以下に示す例では、輝度分布表示
としてヒストグラム表示を例として説明する。表示部1
は、画像データ表示部10とカラーテーブル表示部11
とレンジ・バー12とヒストグラム表示部13とを備え
ている。画像データ表示部10は、分析手段が測定した
測定データを画像データとして表示する部分であり、例
えば、512×512個の複数の画素に区分した表示手
段により構成することができ、各画素に対して画像デー
タを入力することによって画像表示を行なうものであ
り、R,G,Bのカラーデータに対応することによるカ
ラー表示機能も備えている。分析装置が走査型トンネル
顕微鏡の場合には、前記画像データはトンネル電流を用
いて得られる表面状態に対応した画像データとなり、例
えば、表面の三次元情報を有した画像データである。
Embodiments of the present invention will now be described in detail with reference to the drawings. [Structure of Embodiment of the Present Invention] First, the structure of an embodiment of the analyzer of the present invention will be described with reference to the block diagram of FIG. In FIG. 1, an analyzing apparatus of the present invention comprises an analyzing means (not shown) for performing normal analysis, a display unit 1 for displaying image data and the like, and a data processing unit for processing and storing data such as image data and the like. Equipped with 2. In addition, in the figure, the display unit 1 and the data processing unit 2 are schematically illustrated, and other portions such as an analysis unit included in the analysis device are omitted. In the following example, a histogram display will be described as an example of brightness distribution display. Display 1
Is an image data display unit 10 and a color table display unit 11
A range bar 12 and a histogram display section 13 are provided. The image data display unit 10 is a unit that displays the measurement data measured by the analyzing unit as image data, and can be configured by a display unit that is divided into a plurality of 512 × 512 pixels, for each pixel. The image display is performed by inputting image data by using the image data, and a color display function is provided by corresponding to the R, G, B color data. When the analyzer is a scanning tunneling microscope, the image data is image data corresponding to a surface state obtained by using a tunnel current, and is, for example, image data having three-dimensional information on the surface.

【0012】カラーテーブル表示部11(ビデオルック
アップテーブルという名称で呼ばれる場合もある)は、
画像データ表示部10におけるカラー表示に使用するカ
ラーの分布状態を表示する部分であり、図では柱状の形
態で示されている。そして、このカラーテーブル表示部
11は、例えば、256個に分割されている。各分割さ
れた区分に対応するピクセル値(以下、カラー値とい
う)に対して、データ処理部2は後述するカラーテーブ
ルメモリ21中に格納されているカラーテーブルの色情
報を対応させることにより、色表示を行なう。ヒストグ
ラム表示部13は、測定画像データ中の輝度分布を表す
部分であり、例えば、最小の輝度から最大の輝度の間を
分割し、その分割した区分内にある測定画像データ中の
画素の個数をヒストグラムによって表示するものであ
る。このヒストグラム表示においては、最大の画素数で
各区分内の画素数を除することによって、規格化するこ
とができる。
The color table display section 11 (sometimes called a video look-up table) is
This is a portion for displaying the distribution state of colors used for color display in the image data display unit 10, and is shown in a columnar form in the figure. The color table display section 11 is divided into, for example, 256 pieces. The data processing unit 2 associates the pixel value (hereinafter, referred to as a color value) corresponding to each divided section with the color information of the color table stored in the color table memory 21 to be described later to thereby obtain the color. Display. The histogram display unit 13 is a portion that represents the luminance distribution in the measurement image data, and for example, divides between the minimum luminance and the maximum luminance and displays the number of pixels in the measurement image data in the divided division. It is displayed by a histogram. This histogram display can be standardized by dividing the number of pixels in each section by the maximum number of pixels.

【0013】図1では、ヒストグラム表示によって測定
画像データ中の輝度分布を表しているが、その他の周知
の表示形態によって表すこともできる。また、レンジ・
バー12は、画像データ表示部10におけるカラー表示
の状態を変更して設定する手段であり、例えば、マウス
等のカラーテーブル割り当て指定手段4等の入力手段に
より入力することができる。カラーテーブル割り当て指
定手段4によって、このレンジ・バー12をヒストグラ
ム表示部13に対して移動し、輝度分布に対して色付け
を行なう範囲を設定する。図1では、横方向の実線で示
される2本のレンジ・バー12により設定される輝度分
布の間において、カラーテーブル表示部11で示される
色分布によってカラー表示が行なわれることになる。し
たがって、このレンジ・バー12を移動させることによ
り、色付けされる輝度分布の範囲を変更することができ
る。データ処理部2は、分析手段からの画像データ等の
データを処理や記憶を行ない前記表示部1に表示のため
の信号を出力する部分であり、処理部20、カラーテー
ブルメモリ21、表示用画像データメモリ22、カラー
テーブル割り当て範囲(レンジ範囲)メモリ23、及び
ヒストグラムデータメモリ(輝度分布データメモリ)2
4、表示ドライバ25を備えている。
In FIG. 1, the histogram display shows the luminance distribution in the measurement image data, but it is also possible to show it by other known display forms. In addition, the range
The bar 12 is means for changing and setting the color display state in the image data display unit 10, and can be input by input means such as the color table allocation designating means 4 such as a mouse. The color table allocation designating means 4 moves the range bar 12 with respect to the histogram display section 13 to set a range for coloring the luminance distribution. In FIG. 1, color display is performed by the color distribution shown in the color table display unit 11 between the luminance distributions set by the two range bars 12 shown by the horizontal solid lines. Therefore, by moving the range bar 12, the range of the luminance distribution to be colored can be changed. The data processing unit 2 is a unit that processes and stores data such as image data from the analyzing unit and outputs a signal for display to the display unit 1, and includes a processing unit 20, a color table memory 21, and a display image. A data memory 22, a color table allocation range (range range) memory 23, and a histogram data memory (luminance distribution data memory) 2
4, a display driver 25 is provided.

【0014】処理手段20には、分析手段から得られた
画像データを格納している画像データファイル3とカラ
ーテーブル割り当て指定手段4が、データ処理部2の外
部から接続され、データ処理部2内部において、カラー
テーブルメモリ21、表示用画像データメモリ22、カ
ラーテーブル割り当て範囲メモリ23、及びヒストグラ
ムデータメモリ24と接続されており、輝度分布形成の
ためのデータ処理やカラーテーブル割り当てのための処
理や表示用画像データ(ビットマップデータ)の作成処
理、及び表示ドライバ25の制御等を行なっている。カ
ラーテーブルメモリ21は、画像データ表示部10にカ
ラー表示を行なうための色情報を格納している部分であ
り、例えば、256色の色付けを行なう場合には、各色
に対するR,G,Bの強度の組み合わせを記憶してい
る。そして、各色を指定するカラー値に対応したR,
G,B信号が画像データ表示部10に送られると、該画
像データ表示部10はカラー表示を行なうことになる。
なお、この例では、カラーテーブルを256色としてい
るが、表示のビット数を増やすことによって増色するこ
ともできる。また、使用するR,G,B信号の組み合わ
せを変更することより、カラー表示の色状態を変更する
こともできる。表示用画像データメモリ22は、画像デ
ータ表示部10に表示を行なうための画像データを格納
しておくメモリであり、画像データファイル3から入力
される分析手段からの画像データを、カラーテーブルの
割り当て区分に対応したカラー値を画素単位で記憶する
メモリであり、ビットマップデータを形成している。画
像データ表示部10におけるカラー表示は、画像データ
ファイル3中の画像データではなく、この表示用画像デ
ータメモリ22に格納されているビットマップデータに
基づいて行なわれる。
An image data file 3 storing image data obtained from the analyzing means and a color table allocation designating means 4 are connected to the processing means 20 from outside the data processing section 2, and inside the data processing section 2. In the above, the color table memory 21, the display image data memory 22, the color table allocation range memory 23, and the histogram data memory 24 are connected, and data processing for luminance distribution formation and processing and display for color table allocation are performed. For example, the process of creating the use image data (bitmap data) and the control of the display driver 25 are performed. The color table memory 21 is a portion that stores color information for performing color display on the image data display unit 10. For example, in the case of coloring 256 colors, the intensities of R, G, and B for each color are stored. Remember the combination of. Then, R corresponding to the color value that specifies each color,
When the G and B signals are sent to the image data display unit 10, the image data display unit 10 will display in color.
In this example, the color table has 256 colors, but it is also possible to increase colors by increasing the number of display bits. Further, the color state of color display can be changed by changing the combination of R, G, B signals used. The display image data memory 22 is a memory for storing image data to be displayed on the image data display unit 10. The image data from the analyzing means input from the image data file 3 is assigned to the color table. It is a memory that stores the color value corresponding to the division in pixel units, and forms bitmap data. The color display in the image data display unit 10 is performed based on the bitmap data stored in the display image data memory 22 instead of the image data in the image data file 3.

【0015】カラーテーブル割り当て範囲メモリ23
は、カラーテーブル割り当て指定手段4が指定した割り
当てを記憶するメモリである。表示部1中のレンジ・バ
ー12、及びカラーテーブル表示部11の表示範囲は、
このメモリ23の記憶内容に応じて行なわれる。ヒスト
グラムデータメモリ24は、最小輝度と最大輝度間を分
割した区分内にある測定画像データの画素の個数を記憶
するメモリであり、この記憶内容に応じて、ヒストグラ
ム表示部13に表示が行なわれる。表示ドライバ25
は、カラーテーブルメモリ21、前記表示画像データメ
モリ22、カラーテーブル割り当てメモリ23、ヒスト
グラムメモリ24の記憶内容を表示部1に表示するため
の駆動部分であり、処理手段20によって制御される。
また、走査型トンネル顕微鏡による分析装置の場合に
は、前記画像データは、トンネル電流を用いて得られる
表面状態に関連した画像データとなる。
Color table allocation range memory 23
Is a memory for storing the allocation specified by the color table allocation specifying means 4. The display range of the range bar 12 in the display unit 1 and the color table display unit 11 is
This is performed according to the stored contents of the memory 23. The histogram data memory 24 is a memory for storing the number of pixels of the measurement image data in the division obtained by dividing the minimum luminance and the maximum luminance, and the histogram display unit 13 displays the number according to the stored contents. Display driver 25
Is a drive unit for displaying the stored contents of the color table memory 21, the display image data memory 22, the color table allocation memory 23, and the histogram memory 24 on the display unit 1, and is controlled by the processing unit 20.
Further, in the case of the analyzer using the scanning tunneling microscope, the image data is image data related to the surface state obtained by using the tunnel current.

【0016】〔本発明の実施例の作用〕次に、本発明の
分析装置の作用について、図2,図3のフローチャー
ト、図4のビットマップデータ及びヒストグラムの形成
を説明する図、図5のフルカラーレンジによるカラー表
示を説明する図、及び図6の設定レンジによるカラー表
示を説明する図を用いて説明する。本発明の分析装置に
おける画像データの表示のための概略手順は、図2に示
すフローチャートに従って行なわれる。なお、図2のフ
ローチャートでは、ステップSの符号を用いて説明す
る。はじめに、分析手段によって測定して得られた画像
データの入力を行なう(ステップS1)。この画像デー
タの入力は、画像データファイル3に格納しておいた画
像データを処理手段20に読み込むことによって行なわ
れる。この場合、アナログの画像データを読み込んで、
処理手段20においてデジタル信号にA/D変換するこ
とも、あるいは、デジタル信号に変換した画像データを
画像データファイル3に格納しておき、デジタル信号を
読み込むようにすることもできる。
[Operation of the Embodiment of the Present Invention] Next, regarding the operation of the analyzer of the present invention, the flowcharts of FIGS. 2 and 3, the diagram for explaining the formation of the bitmap data and the histogram of FIG. 4, and FIG. This will be described with reference to a diagram for explaining color display by the full color range and a diagram for explaining color display by the setting range in FIG. A schematic procedure for displaying image data in the analyzer of the present invention is performed according to the flowchart shown in FIG. Note that the flowchart of FIG. 2 will be described using the reference numeral of step S. First, image data obtained by measurement by the analyzing means is input (step S1). The image data is input by reading the image data stored in the image data file 3 into the processing means 20. In this case, read the analog image data,
The processing means 20 can perform A / D conversion into a digital signal, or the image data converted into a digital signal can be stored in the image data file 3 and the digital signal can be read.

【0017】そして、読み込んだ画像データを用いて、
輝度分布(ヒストグラム)を求める(ステップS2)。
カラー表示を行なう場合のカラーレンジを設定する。こ
のカラーレンジの設定は、輝度分布に対応して色付けを
行なう範囲を定めるものであり、定められた範囲内をフ
ルカラーレンジとして輝度分布に対応したカラー表示を
行なうものである。また、前記読み込んだ画像データを
処理して表示用の画像データを作成する。本発明の分析
装置においては、分析手段で得られた画像データそのも
のではなく、表示用に形成した画像データによって画像
表示を行なう(ステップS4)。前記ステップS2及び
ステップS4で形成した輝度分析、表示用画像データ、
及びカラー表示のためのカラーテーブルを表示部1上に
同時に表示する(テップS5)。ステップS5における
表示を観察して、カラー表示を行なう範囲(カラーレン
ジ)を変更する場合には、前記ステップS3に戻ってス
テップS4及びステップS5を繰り返す。次に、図4,
図5,及び図6を用いるとともに、図3に示す本発明の
分析装置における画像データの表示のためのより詳細な
手順に従って、ステップSの10番台の符号を用いて説
明する。
Then, using the read image data,
A brightness distribution (histogram) is obtained (step S2).
Set the color range for color display. The setting of the color range defines a range in which coloring is performed in accordance with the brightness distribution, and the color display corresponding to the brightness distribution is performed with the defined range as a full color range. Further, the read image data is processed to create image data for display. In the analyzing apparatus of the present invention, the image display is performed not by the image data itself obtained by the analyzing means but by the image data formed for display (step S4). The brightness analysis and display image data formed in steps S2 and S4,
And a color table for color display is simultaneously displayed on the display unit 1 (step S5). When observing the display in step S5 and changing the range (color range) in which color display is performed, the process returns to step S3 and steps S4 and S5 are repeated. Next, in FIG.
A more detailed procedure for displaying image data in the analyzer of the present invention shown in FIG. 3 will be described with reference to FIGS.

【0018】前記ステップS1によって、画像データフ
ァイル3から読み込んだ画像データを基にして、その画
像データの輝度信号から最大輝度(Pmax)と最小輝度
(Pmin)を求める。図4において、画像データファイル
3から読み込まれる画像データは、画像元データとして
表されている。図中において、画像元データは4×4の
マトリックスAによって示されているが、例えば512
×512のマトリックス状の画素により実現される。こ
の各画素中に表記される「Pn」は、当該画素における
輝度強度を表している。このマトリックス状の画素の輝
度は表Bによって表わされる。この各画素中の輝度強度
の中から、最大輝度(Pmax)と最小輝度(Pmin)を求め
る。図4中では、画素Iにおいて最大輝度(Pmax)を持
ち、画素Jにおいて最小輝度(Pmin)を持っている(ス
テップS11)。前記ステップS11で求めた最大輝度
(Pmax)と最小輝度(Pmin)の区間〔Pmax,Pmin 〕を
n分割する。この分割数nは任意であるが、カラー表示
を行なう場合の色数と対応させて設定する方が後の信号
処理において望ましい。n分割による輝度の一つの区間
間隔は(Pmax −Pmin )/nである。そして、このn
分割に対応して、輝度区分を設定する。この輝度区分の
各輝度の代表値をそれぞれL1 〜Ln とする。このnの
数は、前記したカラー表示の色数に対応して例えば25
6とすることができる(ステップS12)。次に、前記
求めた輝度区分に対応する輝度強度を有する画素の個数
を計数し、輝度分布のデータを形成する。図4では、輝
度区分L1 についてはm1 個の画素数を計数し、輝度区
分L2 についてはm2 個の画素数を計数し、輝度区分L
n については、mn 個の画素数を計数し、その値は図1
中のヒストグラムメモリ24に格納している(ステップ
S13)。
In step S1, the maximum brightness (Pmax) and the minimum brightness (Pmin) are obtained from the brightness signal of the image data based on the image data read from the image data file 3. In FIG. 4, the image data read from the image data file 3 is represented as image original data. In the figure, the image original data is shown by a 4 × 4 matrix A, but for example 512
It is realized by pixels in a matrix of × 512. “Pn” described in each pixel represents the brightness intensity in the pixel. The brightness of this matrix of pixels is represented by Table B. The maximum brightness (Pmax) and the minimum brightness (Pmin) are obtained from the brightness intensities in each pixel. In FIG. 4, the pixel I has the maximum brightness (Pmax) and the pixel J has the minimum brightness (Pmin) (step S11). The section [Pmax, Pmin] between the maximum brightness (Pmax) and the minimum brightness (Pmin) obtained in step S11 is divided into n. The number of divisions n is arbitrary, but it is desirable to set it in correspondence with the number of colors when performing color display in later signal processing. The interval of one section of the brightness by the division into n is (Pmax-Pmin) / n. And this n
The brightness classification is set according to the division. The representative values of the respective luminances in this luminance section are L 1 to L n , respectively. The number of n is, for example, 25 in correspondence with the number of colors of the color display described above.
It can be set to 6 (step S12). Next, the number of pixels having the luminance intensity corresponding to the obtained luminance classification is counted to form the luminance distribution data. In FIG. 4, the number of pixels of m 1 is counted for the luminance section L 1, the number of pixels of m 2 is counted for the luminance section L 2 , and the luminance section L 1 is counted.
For n, counts the m number n pixels, the value is 1
It is stored in the internal histogram memory 24 (step S13).

【0019】(フルカラーレンジによるカラー表示)次
に、はじめに測定された画像データの輝度分析の全体を
観察するために、輝度区間〔Pmax,Pmin 〕をフルカラ
ーレンジとする。このカラーレンジは、色付けを行なう
際のカラーテーブルの割り当て範囲を設定するものとな
る(ステップS14)。次に、画像データを表示部1の
画像データ表示部10に表示するためのビットマップデ
ータを求める。このビットマップデータは、前記ステッ
プS14で設定したカラーレンジ(カラーテーブルの割
り当て)に対応して、各画素の輝度強度がいずれの輝度
区分となるかを判定し、その区分値を示したものであ
る。図4のマトリックスCは4×4のビットマップデー
タを示しており、その区分値は、L1 〜Ln によって表
示している。このビットマップデータが、表示用画像デ
ータとなり、図1中の表示用画像データメモリ22に格
納される(ステップS15)。
(Color Display by Full Color Range) Next, in order to observe the whole brightness analysis of the image data measured first, the brightness section [Pmax, Pmin] is set to the full color range. This color range sets the allocation range of the color table when performing coloring (step S14). Next, the bitmap data for displaying the image data on the image data display unit 10 of the display unit 1 is obtained. This bitmap data is a data indicating the classification value of the brightness intensity of each pixel, which is determined according to the color range (allocation of the color table) set in step S14. is there. The matrix C in FIG. 4 shows 4 × 4 bitmap data, and the segment values are indicated by L 1 to L n . This bitmap data becomes display image data and is stored in the display image data memory 22 in FIG. 1 (step S15).

【0020】前記ステップS13及びステップS15に
よって、輝度分布のデータ(ヒストグラムのデータ)及
び表示用画像データが求められてメモリに格納され、ま
た、カラーテーブルは、あらかじめカラーテーブルメモ
リ21に格納されている。そこで、これらのデータを表
示部1中のそれぞれの画像データ表示部10、ヒストグ
ラム表示部13、及びカラーテーブル表示部11に表示
する。輝度分布のデータの表示は、例えば、図4中のヒ
ストグラムDに示されるようにステップS13による画
像素数を、各対応する輝度区分の位置に表示することに
より形成される。このヒストグラムの表示あるいはステ
ップS13のヒストグラムの形成において、最大の画素
数で各区分内の画素数を除することによって、規格化す
ることができる。
By the steps S13 and S15, the luminance distribution data (histogram data) and the display image data are obtained and stored in the memory, and the color table is stored in the color table memory 21 in advance. . Therefore, these data are displayed on the image data display unit 10, the histogram display unit 13, and the color table display unit 11 in the display unit 1. The display of the luminance distribution data is formed, for example, by displaying the image prime number in step S13 at the position of each corresponding luminance section as shown in the histogram D in FIG. In displaying this histogram or forming the histogram in step S13, the number of pixels in each section can be divided by the maximum number of pixels for normalization.

【0021】また、フルカラーレンジにおける画像デー
タのカラー表示においては、図5に示すように、ビット
マップデータCに対してカラーテーブルEを用いて対応
するR,G,Bの色データを用いて行なう。このときの
色付けは、前記ステップS12において輝度範囲をn分
割して求めた輝度区分(L1 〜Kn )に対して、フルカ
ラーレンジを同じくn分割した代表値(以下、カラー値
(C1 〜Cn )という)を1対1で対応させて定め、前
記ステップS15で求めたビットマップデータC中の輝
度区分Lを対応したカラー値Cを求めることにより行な
われる。一般に、カラーテーブルEは、R,G,Bの各
色の強度の組み合わせによって、ソフトウェアにより色
表示を行なうことができるものであり、それらの組み合
わせを示すカラーテーブルE中においてカラー値Cを指
定することによって、該色を表示することができる。
Further, in the color display of the image data in the full color range, as shown in FIG. 5, the color data of R, G and B corresponding to the bitmap data C is used by using the color table E. . Coloring this time, the luminance range for brightness segment found by n division (L 1 ~K n) in the step S12, the full color range also n divided representative value (hereinafter, a color value (C 1 ~ (C n )) is defined in a one-to-one correspondence, and the color value C corresponding to the luminance segment L in the bitmap data C obtained in step S15 is obtained. In general, the color table E can be displayed in color by software by combining the intensities of R, G, and B colors, and the color value C can be specified in the color table E indicating the combination. The color can be displayed by.

【0022】したがって、ステップS15で求めたビッ
トマップデータとあらかじめ用意してあるカラーテーブ
ルとによって、カラー表示を行なうことができる。ま
た、該カラーテーブル自体の表示については、図5中に
示すカラーテーブルEのカラー値(C1 〜Cn )に対応
する色をカラーテーブル表示部11に表示することによ
り行なうことができる。なお、前記例では、輝度分布と
カラーレンジとを共にn分割して1対1の対応付けを行
なっているが、分割数及び対応付けの比率は任意とする
ことができる。(ステップS16)。次に、前記ステッ
プS16による表示を観察し、カラー表示の色範囲を変
更するか否かの判定を行なう(ステップS17)。
Therefore, color display can be performed by using the bitmap data obtained in step S15 and the color table prepared in advance. The color table itself can be displayed by displaying the colors corresponding to the color values (C 1 to C n ) of the color table E shown in FIG. 5 on the color table display unit 11. In the above example, the luminance distribution and the color range are both divided into n for one-to-one correspondence, but the number of divisions and the ratio of the correspondence may be arbitrary. (Step S16). Next, the display in step S16 is observed to determine whether to change the color range of color display (step S17).

【0023】(設定カラーレンジによるカラー表示)カ
ラー表示の色範囲を変更する場合には、レンジ・バー1
2をヒストグラム表示部13に対して移動して、カラー
レンジを指定し変更を行なう(ステップS18)。前記
ステップS18においてカラーレンジの指定範囲が変更
すると、例えば図6に示す設定レンジ及び輝度区分とな
る。図6において、フルカラーレンジより狭い範囲に設
定し、その狭い設定範囲をフルカラーレンジとして前記
ステップS14と同様にn分割し、輝度区分(L1 〜L
n )を求める(ステップS19)。
(Color display according to the set color range) When changing the color range of the color display, the range bar 1
2 is moved to the histogram display section 13 to specify and change the color range (step S18). When the designated range of the color range is changed in step S18, the set range and the brightness classification shown in FIG. 6, set to a narrower range than the full color range, similarly divided into n to the step S14 the narrow setting range as a full-color range, brightness segment (L 1 ~L
n ) is obtained (step S19).

【0024】そして、前記ステップS15と同様にし
て、画像データを表示部1の画像データ表示部10に表
示するためのビットマップデータを求める。このビット
マップデータは、前記ステップS19で設定したカラー
レンジ(カラーテーブルの割り当て)に対応して、各画
素の輝度強度がいずれの輝度区分となるかを判定し、そ
の区分値を示したものとなる。図6のマトリックスCは
4×4のビットマップデータを示しており、その区分値
は、L1 〜Ln によって表示している。このビットマッ
プデータにおいては、表示される輝度の上限が下げら
れ、また、下限が上げられているため、L1 以下の輝度
はL1 として表示され、Ln 以上の輝度はLn として表
示される。また、ビットマップデータCをカラーテーブ
ルEを用いてカラー表示する場合には、前記ステップS
16と同様に、ビットマップデータCに対してカラーテ
ーブルEを用いて対応するR,G,Bの色データを用い
て行ない、色付けは、前記ステップS12において輝度
範囲をn分割して求めた輝度区分(L1 〜Kn )に対し
て、フルカラーレンジを同じくn分割した代表値(以
下、カラー値(C1 〜Cn )という)を1対1で対応さ
せて定め、ビットマップデータC中の輝度区分Lを対応
したカラー値Cを求めることにより行なわれる。このと
き、カラーテーブル及びヒストグラムに表示について
は、フルカラーレンジおける表示と同一のデータを用い
て同様に行なうことができる。
Then, the bit map data for displaying the image data on the image data display section 10 of the display section 1 is obtained in the same manner as in step S15. It is determined that the bitmap data indicates which luminance division the luminance intensity of each pixel belongs to, in accordance with the color range (color table allocation) set in step S19, and indicates the division value. Become. The matrix C in FIG. 6 shows 4 × 4 bitmap data, and the partition values are represented by L 1 to L n . In the bit map data, it is given lower limit of luminance displayed, also, since the lower limit is raised, L 1 following luminance is displayed as L 1, L n or more luminance is displayed as L n It When the bitmap data C is displayed in color using the color table E, the step S
Similar to 16, the color data of the corresponding R, G, and B is used for the bitmap data C using the color table E, and the coloring is performed by dividing the brightness range into n in step S12. In the bitmap data C, representative values (hereinafter, referred to as color values (C 1 to C n )) obtained by dividing the full color range into n are also defined in one-to-one correspondence with the divisions (L 1 to K n ). This is performed by obtaining the color value C corresponding to the luminance section L of. At this time, the display in the color table and the histogram can be performed in the same manner using the same data as the display in the full color range.

【0025】また、走査型トンネル顕微鏡による分析装
置の場合には、前記と同様の工程によって、トンネル電
流を用いて得られる表面状態に関連した画像データのカ
ラー表示することができる。
Further, in the case of the analyzer using the scanning tunneling microscope, the image data relating to the surface state obtained by using the tunnel current can be displayed in color by the same steps as described above.

【0026】[0026]

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
装置画像データの表示状態の調整のための操作が容易な
分析装置を提供することができる。また、トンネル電流
を用いて得られる画像データのカラー表示調整が容易な
走査トンネル顕微鏡を提供することができる。
As described above, according to the present invention,
It is possible to provide an analyzer that is easy to operate for adjusting the display state of device image data. Further, it is possible to provide a scanning tunnel microscope in which color display adjustment of image data obtained by using a tunnel current is easy.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の分析装置の一実施例の構成を説明する
ブロック図である。
FIG. 1 is a block diagram illustrating a configuration of an embodiment of an analyzer of the present invention.

【図2】本発明の分析装置における画像データの表示の
ための概略手順を示すフローチャートである。
FIG. 2 is a flowchart showing a schematic procedure for displaying image data in the analyzer of the present invention.

【図3】本発明の分析装置における画像データの表示の
ためのより詳細な手順を示すフローチャートである。
FIG. 3 is a flowchart showing a more detailed procedure for displaying image data in the analyzer of the present invention.

【図4】本発明のビットマップデータ及びヒストグラム
の形成を説明する図である。
FIG. 4 is a diagram illustrating formation of bitmap data and a histogram according to the present invention.

【図5】本発明のフルカラーレンジによるカラー表示を
説明する図である。
FIG. 5 is a diagram illustrating color display according to the full color range of the present invention.

【図6】本発明の設定レンジによるカラー表示を説明す
る図である。
FIG. 6 is a diagram illustrating color display according to a setting range of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1…表示部、2…データ処理部、3…画像データファイ
ル、4…カラーテーブル割り当て指定手段、11…カラ
ーテーブル表示部、12…レンジ・バー、13…ヒスト
グラム表示部、20…処理手段、21…カラーテーブル
メモリ、22…表示用画像データメモリ、23…カラー
テーブル割り当てメモリ、24…ヒストグラムデータメ
モリ、25…表示ドライバ、A…画像元データ、B…画
素−輝度表、C…ビットマップデータ、D…ヒストグラ
ム。
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Display part, 2 ... Data processing part, 3 ... Image data file, 4 ... Color table allocation designation means, 11 ... Color table display part, 12 ... Range bar, 13 ... Histogram display part, 20 ... Processing means, 21 ... color table memory, 22 ... display image data memory, 23 ... color table allocation memory, 24 ... histogram data memory, 25 ... display driver, A ... image original data, B ... pixel-luminance table, C ... bitmap data, D ... Histogram.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 G09G 5/06 9377−5H ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (51) Int.Cl. 6 Identification code Internal reference number FI technical display location G09G 5/06 9377-5H

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 分析手段側から得られる画像データの輝
度分布を求める手段と、前記輝度分布に対するカラーテ
ーブルの割り当てを指定する手段と、前記カラーテーブ
ルの割り当てに従って画像データを表示用画像データに
変換する手段と、前記表示用画像データを記憶する手段
と、前記輝度分布、カラーテーブル、及び表示用画像デ
ータを表示する手段とを備えたことを特徴とする分析装
置。
1. A means for obtaining a luminance distribution of image data obtained from the analyzing means side, a means for designating allocation of a color table to the luminance distribution, and converting the image data into display image data according to the allocation of the color table. An analyzing device comprising: a means for storing the display image data; a means for storing the display image data; and a means for displaying the brightness distribution, the color table, and the display image data.
JP23480294A 1994-09-29 1994-09-29 Analysis equipment Expired - Fee Related JP3293717B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP23480294A JP3293717B2 (en) 1994-09-29 1994-09-29 Analysis equipment

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP23480294A JP3293717B2 (en) 1994-09-29 1994-09-29 Analysis equipment

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH0894645A true JPH0894645A (en) 1996-04-12
JP3293717B2 JP3293717B2 (en) 2002-06-17

Family

ID=16976624

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP23480294A Expired - Fee Related JP3293717B2 (en) 1994-09-29 1994-09-29 Analysis equipment

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3293717B2 (en)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009168749A (en) * 2008-01-18 2009-07-30 Nikon Corp Device and method for particle analysis
JP2013115827A (en) * 2011-11-30 2013-06-10 Thomson Licensing Method and device for visualizing data set
JP2020095120A (en) * 2018-12-11 2020-06-18 キヤノン株式会社 Image processing system, control method, program, and storage medium
WO2023053535A1 (en) * 2021-09-28 2023-04-06 株式会社島津製作所 Scan-type probe microscope and program

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3293717B2 (en) * 1994-09-29 2002-06-17 株式会社島津製作所 Analysis equipment

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5766479A (en) * 1980-10-13 1982-04-22 Tokyo Shibaura Electric Co Video display unit
JPH04198812A (en) * 1990-11-29 1992-07-20 Hitachi Ltd Method for displaying distribution of scalar quantity
JPH04294467A (en) * 1991-03-22 1992-10-19 Hitachi Ltd Image processor
JPH05282422A (en) * 1992-04-03 1993-10-29 Asahi Chem Ind Co Ltd Image processing device
JP3293717B2 (en) * 1994-09-29 2002-06-17 株式会社島津製作所 Analysis equipment

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5766479A (en) * 1980-10-13 1982-04-22 Tokyo Shibaura Electric Co Video display unit
JPH04198812A (en) * 1990-11-29 1992-07-20 Hitachi Ltd Method for displaying distribution of scalar quantity
US5333244A (en) * 1990-11-29 1994-07-26 Hitachi, Ltd. Method of and system for displaying a scalar quantity distribution
JPH04294467A (en) * 1991-03-22 1992-10-19 Hitachi Ltd Image processor
JPH05282422A (en) * 1992-04-03 1993-10-29 Asahi Chem Ind Co Ltd Image processing device
JP3293717B2 (en) * 1994-09-29 2002-06-17 株式会社島津製作所 Analysis equipment

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009168749A (en) * 2008-01-18 2009-07-30 Nikon Corp Device and method for particle analysis
JP2013115827A (en) * 2011-11-30 2013-06-10 Thomson Licensing Method and device for visualizing data set
JP2020095120A (en) * 2018-12-11 2020-06-18 キヤノン株式会社 Image processing system, control method, program, and storage medium
WO2023053535A1 (en) * 2021-09-28 2023-04-06 株式会社島津製作所 Scan-type probe microscope and program

Also Published As

Publication number Publication date
JP3293717B2 (en) 2002-06-17

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6571020B1 (en) Introducing reduced dataset information into a primary image dataset
US5333244A (en) Method of and system for displaying a scalar quantity distribution
JP3185900B2 (en) Image editing apparatus and method for image processing system
JPH0776974B2 (en) Multi-dimensional visual analysis method and device
CN101740002A (en) Method of calcuating correction value and display device
CN1284117C (en) Method of displaying images in medical imaging
US5434593A (en) Display resolution enhancement using data compression and overlapping techniques
JP3293717B2 (en) Analysis equipment
CN104011531A (en) Image processing device, image display system, image processing method, and image processing program
JP2024040370A (en) Information processing device, information processing method, and program
Van Laar Psychological and cartographic principles for the production of visual layering effects in computer displays
EP0969285A2 (en) Method of controlling brightness and contrast in a raster scan digital oscilloscope
US5164711A (en) System and method for generating graphical output
US6430583B1 (en) Scenario editing apparatus for performing editing of multimedia using figure feature points
JP2770764B2 (en) Image data display device
JP3143297B2 (en) Image processing device
Swift et al. A technique for obtaining scanning electron micrographs in colour
US6278438B1 (en) Method of displaying digital photograph based bitmaps
JP3930343B2 (en) Uniform color space configuration processing method, processing apparatus, processing program for executing the processing method, and recording medium recording the processing program
Halder et al. Presentation of confocal images
JP3363286B2 (en) How to output the display data displayed on the recorder to the plotter
JP2001357812A (en) Display device for observed image of specimen
EP4179722A1 (en) System for luminance qualified chromaticity
JPH07141311A (en) Image processor
JPH08331367A (en) Storage system for image information and image display system

Legal Events

Date Code Title Description
FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080405

Year of fee payment: 6

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080405

Year of fee payment: 6

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080405

Year of fee payment: 6

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090405

Year of fee payment: 7

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090405

Year of fee payment: 7

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100405

Year of fee payment: 8

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100405

Year of fee payment: 8

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100405

Year of fee payment: 8

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110405

Year of fee payment: 9

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110405

Year of fee payment: 9

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110405

Year of fee payment: 9

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110405

Year of fee payment: 9

R157 Certificate of patent or utility model (correction)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R157

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110405

Year of fee payment: 9

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120405

Year of fee payment: 10

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120405

Year of fee payment: 10

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120405

Year of fee payment: 10

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120405

Year of fee payment: 10

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130405

Year of fee payment: 11

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130405

Year of fee payment: 11

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140405

Year of fee payment: 12

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees