JP3293717B2 - Analysis equipment - Google Patents
Analysis equipmentInfo
- Publication number
- JP3293717B2 JP3293717B2 JP23480294A JP23480294A JP3293717B2 JP 3293717 B2 JP3293717 B2 JP 3293717B2 JP 23480294 A JP23480294 A JP 23480294A JP 23480294 A JP23480294 A JP 23480294A JP 3293717 B2 JP3293717 B2 JP 3293717B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- image data
- color
- display
- luminance
- range
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Image Processing (AREA)
- Image Generation (AREA)
- Controls And Circuits For Display Device (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、走査型プローブ顕微鏡
等の分析装置に関し、特に測定した画像データをカラー
表示する画像データ表示装置を備えた分析装置に関す
る。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an analyzer such as a scanning probe microscope, and more particularly to an analyzer having an image data display device for displaying measured image data in color.
【０００２】[0002]
【従来の技術】例えば、走査型プローブ顕微鏡等の分析
装置においては、物質表面の原子配列や、物質表面の表
面形状の測定結果を画像データとして取得し、該画像デ
ータを表示装置に表示している。この走査型プローブ顕
微鏡として、例えば、プローブと試料表面との間に流れ
るトンネル電流を用いる走査型トンネル顕微鏡（ＳＴ
Ｍ）や、プローブと試料表面間に働く原子間力を測定す
る原子間力顕微鏡（ＡＦＭ）が知られている。例えば、
走査型トンネル顕微鏡は、探針を試料表面に近づけて探
針または試料の何れかを３次元方向に移動可能とし、探
針と試料表面との間に流れるトンネル電流が一定となる
ように試料表面と探針先端部との間をサブナノメータオ
ーダーで制御することにより原子レベルの分解能で得ら
れる３次元形状の情報によって、物質表面の原子配列の
観察や、物質表面の表面形状の観察等を行うものであ
り、原子間力顕微鏡は、例えば探針及び探針を支持する
カンチレバー等と、レバーの曲がりを検出する変位測定
系からなり、探針と試料との間の原子間力（引力または
斥力）を検出してこれが一定になるように制御すること
によって、試料表面の凹凸像等を観察するものであり、
生物，有機分子，絶縁物等の非導電物質の観察を行うこ
とができる顕微鏡である。このような走査型プローブ顕
微鏡等の分析装置が備える画像表示装置においては、一
般に、分析装置から得られる画像データは必ずしもコン
トラストが良好ではない。そのため、測定されたままの
未処理の測定画像データに対してカラーテーブルを割り
当てて色付けを行っても、明瞭なカラーの画像表示が行
われるとは限らない。また、良好なコントラストが得ら
れている場合であっても、分析の必要性から輝度の表示
範囲を限定して表示を行いたいという要請が生じる場合
がある。そのため、従来、その画像データの輝度分布を
表すヒストグラムを基にして、測定画像データに対して
ヒストグラムの平坦化やヒストグラムの部分拡張等を行
うデータ加工を行って測定画像データを再構成し、その
再構成した測定画像データに対してカラーテーブルを割
り当てて色付けを行ってカラー表示し、その画像表示を
確認し、再び測定画像データのデータ加工を行うという
操作を、所望の表示状態となるまで繰り返して行ってい
る。2. Description of the Related Art For example, in an analyzer such as a scanning probe microscope, a measurement result of an atomic arrangement on a material surface or a surface shape of a material surface is obtained as image data, and the image data is displayed on a display device. I have. As this scanning probe microscope, for example, a scanning tunnel microscope (ST) using a tunnel current flowing between the probe and the sample surface is used.
M) and an atomic force microscope (AFM) for measuring an atomic force acting between a probe and a sample surface. For example,
A scanning tunneling microscope moves a probe close to the surface of a sample so that either the probe or the sample can move in a three-dimensional direction, and the surface of the sample is controlled so that the tunnel current flowing between the probe and the surface of the sample is constant. By controlling the distance between the probe and the tip in the order of sub-nanometers, it is possible to observe the atomic arrangement on the material surface, observe the surface shape of the material surface, etc., based on the three-dimensional shape information obtained at the atomic level resolution. An atomic force microscope is composed of, for example, a probe, a cantilever for supporting the probe, and a displacement measuring system for detecting the bending of the lever, and an atomic force (attractive or repulsive force) between the probe and the sample. ) Is detected and controlled so as to be constant, thereby observing an uneven image or the like on the sample surface.
This microscope enables observation of non-conductive substances such as living organisms, organic molecules, and insulators. In an image display device provided in such an analyzer such as a scanning probe microscope, generally, image data obtained from the analyzer does not always have good contrast. Therefore, even if a color table is assigned to unprocessed measured image data that has been measured and colored, a clear color image display is not necessarily performed. Further, even when good contrast is obtained, there is a case where a request arises that it is necessary to perform display with a limited display range of luminance due to necessity of analysis. For this reason, conventionally, based on a histogram representing the luminance distribution of the image data, data processing for flattening the histogram and partially expanding the histogram is performed on the measured image data to reconstruct the measured image data. Repeat the operation of assigning a color table to the reconstructed measurement image data, coloring it, displaying it in color, checking the image display, and processing the measurement image data again until the desired display state is achieved. Have gone.
【０００３】[0003]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
分析装置では、カラー表示のための測定データのデータ
処理が円滑に行えないという問題がある。従来の測定画
像データのカラー表示においては、前記したように分析
装置から得られた測定画像データのデータ加工による再
構成と、該加工画像データの表示確認という操作を繰り
返す必要があるため、カラー表示のための測定データの
データ処理に時間を要し、操作が煩雑となっている。こ
れは、従来の分析装置において行われるデータ加工はヒ
ストグラム自体を所望の特性とするデータ処理であり、
このデータ処理によって結果的に再構成される測定画像
データを用いてカラー表示を行うものであるため、カラ
ー表示におけるカラーテーブルの割り当てと、測定画像
データのデータ加工とが必ずしも対応しているものとな
っていないためである。例えば、走査型トンネル顕微鏡
では、試料と探針との間に流れるトンネル電流を用いて
得られる物質表面の原子配列や表面形状についての三次
元データを、カラー表示によって画像表示する場合があ
る。例えば、表面の高さ情報をカラー表示によって画像
表示する場合、この高さ方向の頻度を表すヒストグラム
自体が所望の特性となるよう行うヒストグラムのデータ
加工と、カラー表示を行うためのカラーテーブルの割当
てとの間には充分な対応がとられておらず、ヒストグラ
ムのデータ加工を行ったとしても，必ずしも適切なカラ
ー表示が行われるとは限らなかった。そこで、本発明は
前記した従来の分析装置の問題点を解決し、測定画像デ
ータの表示状態の調整のための操作を容易に行うことが
できる分析装置を提供することを目的とし、また、トン
ネル電流を用いて得られる画像データのカラー表示のた
めの調整を容易に行うことができる走査トンネル顕微鏡
を提供することを目的とする。However, the conventional analyzer has a problem that data processing of measurement data for color display cannot be performed smoothly. In the conventional color display of measured image data, as described above, it is necessary to repeat the operation of reconstructing the measured image data obtained from the analyzer by data processing and confirming the display of the processed image data. It takes time to process the measurement data for the measurement, and the operation is complicated. This means that the data processing performed in the conventional analyzer is a data processing that makes the histogram itself a desired characteristic.
Since the color display is performed using the measured image data reconstructed as a result of this data processing, the assignment of the color table in the color display and the data processing of the measured image data do not necessarily correspond to each other. Because it is not. For example, in a scanning tunneling microscope, three-dimensional data on an atomic arrangement and a surface shape of a material surface obtained by using a tunnel current flowing between a sample and a probe may be displayed as an image by color display. For example, when surface height information is displayed as an image by color display, data processing of the histogram is performed so that the histogram itself representing the frequency in the height direction has desired characteristics, and allocation of a color table for performing color display is performed. And there is no sufficient correspondence between them, and even if histogram data processing is performed, appropriate color display is not always performed. Therefore, an object of the present invention is to solve the above-described problems of the conventional analyzer, and to provide an analyzer that can easily perform an operation for adjusting the display state of measured image data. An object of the present invention is to provide a scanning tunneling microscope capable of easily performing adjustment for color display of image data obtained using an electric current.
【０００４】[0004]
【課題を解決するための手段】本発明は、分析装置にお
いて、分析手段側から得られる画像データの任意の輝度
分割数に分割された輝度分布を求める手段と、前記輝度
分布に対して、前記輝度分割数と実質的に１対１で対応
させることができる任意のカラー分割数に分割されたカ
ラーテーブルの割り当てを表示画面上のレンジ・バーを
用いて指定して色付けを行なう輝度分布の範囲を設定す
る手段と、前記カラーテーブルの割り当てに従って画像
データを表示用画像データに変換する手段と、前記表示
用画像データを記憶する手段と、前記輝度分布、カラー
テーブル、レンジ・バー、及び表示用画像データを表示
する手段とを備えることによって、測定画像データの表
示状態の調整のための操作を容易に行うことができる。According to the present invention, there is provided an analyzer, comprising: means for obtaining a luminance distribution obtained by dividing an image data obtained from an analyzing means into an arbitrary number of luminance divisions; A range of the luminance distribution in which the assignment of a color table divided into an arbitrary number of color divisions that can be made to substantially correspond to the number of luminance divisions by using a range bar on the display screen to perform coloring is performed. Means for setting image data to display image data according to the assignment of the color table; means for storing the display image data; and the luminance distribution, color table, range bar, and display By providing a means for displaying image data, an operation for adjusting the display state of the measured image data can be easily performed.
【０００５】本発明における分析装置は、分析手段から
得られる測定データを画像として表示する表示手段を備
えた装置であり、さらに、その表示手段は測定画像デー
タのカラー表示を行うことができるものである。本発明
における画像データの輝度分布は、測定した画像データ
の輝度の強度に対する頻度分布を表すものである。ま
た、本発明におけるカラーテーブルは、画像データをカ
ラー表示する際の色分布を表す表であり、割り当て指定
手段はこの色分布を輝度分布中の輝度範囲に対する割り
当てを指定し、設定する手段である。本発明における表
示用画像データは、測定画像データをカラーテーブルの
割り当て区分に対応するように変換することにより得ら
れ、この表示用画像データに対してカラーテーブルの各
色を対応させることによって、カラー表示を行うことが
できるものである。[0005] The analyzer according to the present invention is a device provided with a display means for displaying the measurement data obtained from the analysis means as an image, and the display means can perform color display of the measurement image data. is there. The luminance distribution of the image data in the present invention represents the frequency distribution with respect to the intensity of the luminance of the measured image data. Further, the color table in the present invention is a table representing a color distribution when displaying image data in color, and the assignment designating means is a means for designating and assigning the color distribution to a luminance range in the luminance distribution. . The display image data in the present invention is obtained by converting the measured image data so as to correspond to the allocation division of the color table. By associating each color of the color table with the display image data, color display is performed. Is what you can do.
【０００６】本発明の第１の実施態様は、走査型トンネ
ル顕微鏡において、探針を通して得られるトンネル電流
を用いて得られる表面状態に関連する画像データの輝度
分布を求める手段と、輝度分布に対するカラーテーブル
の割り当てを指定する手段と、カラーテーブルの割り当
てに従って表面状態に関連する画像データを表示用画像
データに変換する手段と、変換した表示用画像データを
記憶する手段と、輝度分布、カラーテーブル、及び表示
用画像データを表示する手段とを備えることによって、
トンネル電流を用いて得られる画像データのカラー表示
のための容易な調整を可能とする。本発明の第２の実施
態様は、画像データは画素単位の輝度強度であり、該輝
度強度を複数個の輝度区間に分割して区分し、各輝度区
間に分布する画素の個数を求めることによって画像デー
タの輝度分布を求めるものであり、これによって、該輝
度分布を任意の表示形態で表示することができる。本発
明の第３の実施態様は、輝度分布をヒストグラムの表示
形態で表示するものであり、これによって、柱状の形態
で表示したカラーテーブルと輝度分布との対応を容易に
行なうことができる。本発明の第４の実施態様は、画像
データの輝度強度をカラーテーブルの割り当てに対応し
て区分し、区分した値を画素単位のビットマップデータ
として記憶するものであり、これによって、設定したカ
ラー表示範囲に対応した表示用の画像データを得ること
ができる。According to a first embodiment of the present invention, in a scanning tunneling microscope, means for obtaining a luminance distribution of image data relating to a surface state obtained by using a tunnel current obtained through a probe, and a color distribution for the luminance distribution are provided. Means for designating table assignment, means for converting image data related to the surface state into display image data according to the color table assignment, means for storing the converted display image data, brightness distribution, color table, And means for displaying display image data,
It enables easy adjustment for color display of image data obtained using a tunnel current. According to a second embodiment of the present invention, the image data is a luminance intensity in a pixel unit, the luminance intensity is divided into a plurality of luminance sections and divided, and the number of pixels distributed in each luminance section is obtained. The luminance distribution of the image data is obtained, and the luminance distribution can be displayed in an arbitrary display form. In the third embodiment of the present invention, the luminance distribution is displayed in the form of a histogram display. This makes it possible to easily associate the luminance distribution with the color table displayed in a columnar form. According to a fourth embodiment of the present invention, the luminance intensity of image data is divided in accordance with the assignment of a color table, and the divided values are stored as bitmap data in pixel units. Image data for display corresponding to the display range can be obtained.
【０００７】本発明の第５の実施態様は、ビットマップ
データで表される表示用画像データの値と、カラーテー
ブルの各色を表す値とを対応させることによって画像デ
ータのカラー表示を行うものであり、これによって、画
像データのカラー表示を容易に行なうことができ、ま
た、カラーテーブルを変更することによりカラー表示の
変更を容易に行なうことができる。本発明の第６の実施
態様は、画像データの輝度の分割個数とカラーテーブル
の色分割の個数とが実質的に一致しているものであり、
これによって、ビットマップデータで表される表示用画
像データの値とカラーテーブルの各色を表す値とを実質
的に１対１で対応させることができ、これによって、画
像データのカラー表示を容易に行なうことができ、ま
た、カラーテーブルを変更することによりカラー表示の
変更を容易に行なうことができる。本発明の第７の実施
態様は、輝度分布、カラーテーブル、及び表示用画像デ
ータを実質的に一つの表示面上に表示するものであり、
これによって、輝度分布に対するカラーテーブルの割り
当て、及び画像データの表示確認を同時に行なうことが
できる。A fifth embodiment of the present invention performs color display of image data by associating values of display image data represented by bitmap data with values representing respective colors of a color table. Yes, this makes it possible to easily perform color display of image data, and to easily change color display by changing the color table. According to a sixth embodiment of the present invention, the number of luminance divisions of image data substantially matches the number of color divisions of the color table,
As a result, the value of the display image data represented by the bitmap data and the value representing each color of the color table can be substantially one-to-one, thereby facilitating color display of the image data. The color display can be easily changed by changing the color table. A seventh embodiment of the present invention is to display a luminance distribution, a color table, and display image data substantially on one display surface,
Thus, the assignment of the color table to the luminance distribution and the display confirmation of the image data can be performed simultaneously.
【０００８】[0008]
【作用】本発明の分析装置において、分析手段側から得
られる画像データは、例えば、画素単位の輝度強度によ
って表されている。この輝度強度を複数個の輝度区間に
分割して区分し、各輝度区間に分布する画素の個数を求
めることによって、画像データの輝度分布を求めること
ができる。この求めた輝度分布は、表示部中において、
例えば、ヒストグラム等の表示形態によって表すことが
できる。表示部には、前記輝度分布を表す部分と共に、
カラーテーブルを表す部分が形成され、画像データ表示
部で表示される画像データの色の分布を、例えば柱状の
形態によって、ヒストグラムで表された輝度分布と対応
できるように表示している。そして、カラーテーブル割
り当て指定手段によって画像データの輝度分布における
表示範囲を指定して、カラーテーブルによって色付さけ
れる輝度分布中の範囲を設定する。これによって、所望
の輝度分布範囲におけるカラー表示を設定することがで
きる。In the analyzing apparatus according to the present invention, the image data obtained from the analyzing means is represented, for example, by the luminance intensity in pixel units. This luminance intensity is divided into a plurality of luminance sections, divided, and the number of pixels distributed in each luminance section is obtained, whereby the luminance distribution of the image data can be obtained. The obtained luminance distribution is displayed in the display unit.
For example, it can be represented by a display form such as a histogram. The display unit, together with a part representing the luminance distribution,
A portion representing a color table is formed, and the color distribution of the image data displayed on the image data display section is displayed, for example, in a columnar form so as to correspond to the luminance distribution represented by the histogram. Then, the display range in the luminance distribution of the image data is designated by the color table assignment designation means, and the range in the luminance distribution to be colored by the color table is set. Thus, color display in a desired luminance distribution range can be set.
【０００９】また、画像データを表示用画像データに変
換する手段は、測定画像データをカラーテーブルの割り
当て区分に対応させ、その対応する色に該当するカラー
値を画素単位で求め、さらに、表示用画像データを記憶
する手段は、該値をビットマップデータとして記憶す
る。表示用画像データによって画像データのカラー表示
を行なう場合には、表示用画像データのカラー値に対し
て対応するカラーテーブルの色を選択し、該色によって
その画素に対応する部分を表示する。したがって、表示
部には、画像データとカラーテーブルと輝度分布が同時
に表示される。そして、該表示状態を観察して、カラー
テーブルの輝度分布に対する範囲を、表示された画像デ
ータの表示状態に応じてカラーテーブル割り当て指定手
段によって変更することができる。このカラーテーブル
の割り当て変更により、前記したように、画像データを
表示用画像データに変換し、カラー表示を行なう。Further, the means for converting the image data into image data for display corresponds the measured image data to the allocation division of the color table, obtains a color value corresponding to the corresponding color in pixel units, The means for storing image data stores the value as bitmap data. When color display of image data is performed by the display image data, a color of a color table corresponding to the color value of the display image data is selected, and a portion corresponding to the pixel is displayed by the color. Accordingly, the image data, the color table, and the luminance distribution are simultaneously displayed on the display unit. Then, by observing the display state, the range with respect to the luminance distribution of the color table can be changed by the color table assignment designating means according to the display state of the displayed image data. As described above, by changing the assignment of the color table, the image data is converted into display image data, and color display is performed.
【００１０】画像データの輝度の分割個数とカラーテー
ブルの色分割の個数とを一致させたり、あるいは、それ
らの個数関係に例えば整数倍等の一定の関係をたせるこ
とによって実質的に一致させると、ビットマップデータ
で表される表示用画像データのカラー値と画像データ表
示部において実際にカラー表示を行なう際のカラーテー
ブル中のＲ，Ｇ，Ｂの色データとを実質的に１対１で対
応させることができる。そして、このＲ，Ｇ，Ｂの色デ
ータを、対応する画素に入力することによって、設定し
たカラーテーブルの割り当てに対応したカラー表示が行
なわれる。このカラーテーブルにおいて、異なる組み合
わせのＲ，Ｇ，Ｂの色データを使用することによって、
カラー表示を変更することもできる。走査型トンネル顕
微鏡においては、表示部において、ヒストグラム等の表
示形態は、探針を通して得られるトンネル電流を用いて
得られる表面状態に関連する画像データの輝度分布を表
し、カラーテーブル割り当て指定手段によって表面状態
に関連した画像データについての色付けの割当てを行っ
て、所望の輝度分布範囲におけるカラー表示を設定す
る。そして、表示用画像データ記憶手段中の記憶してあ
る表面状態に関連するビットマップデータに対して、対
応するカラーテーブルの色を選択し、該色によって対応
画素を表示する。If the number of luminance divisions of the image data and the number of color divisions of the color table are made to match, or if the numbers are made to substantially match by giving a fixed relation such as an integral multiple, for example, The color values of the display image data represented by the bitmap data correspond to the R, G, and B color data in the color table when the color data is actually displayed on the image data display unit in a one-to-one correspondence. Can be done. Then, by inputting the R, G, and B color data to the corresponding pixels, a color display corresponding to the set color table assignment is performed. In this color table, by using different combinations of R, G, B color data,
You can also change the color display. In a scanning tunneling microscope, a display form such as a histogram on a display unit represents a luminance distribution of image data related to a surface state obtained by using a tunnel current obtained through a probe, and is displayed by a color table allocation designation unit. Coloring is assigned to image data related to the state, and color display in a desired luminance distribution range is set. Then, for the bitmap data related to the surface state stored in the display image data storage means, the color of the corresponding color table is selected, and the corresponding pixel is displayed according to the color.
【００１１】[0011]
【実施例】以下、本発明の実施例を図を参照しながら詳
細に説明する。 〔本発明の実施例の構成〕はじめに、図１の構成図を用
いて、本発明の分析装置の一実施例の構成について説明
する。図１において、本発明の分析装置は、通常の分析
を行なう分析手段（図示していない）、画像データ等の
表示を行なう表示部１、画像データ等のデータの処理や
記憶を行なうデータ処理部２を備えている。なお、図で
は、表示部１及びデータ処理部２の概略を示し、分析装
置が備える分析手段等のその他の部分については省略し
て示している。なお、以下に示す例では、輝度分布表示
としてヒストグラム表示を例として説明する。表示部１
は、画像データ表示部１０とカラーテーブル表示部１１
とレンジ・バー１２とヒストグラム表示部１３とを備え
ている。画像データ表示部１０は、分析手段が測定した
測定データを画像データとして表示する部分であり、例
えば、５１２×５１２個の複数の画素に区分した表示手
段により構成することができ、各画素に対して画像デー
タを入力することによって画像表示を行なうものであ
り、Ｒ，Ｇ，Ｂのカラーデータに対応することによるカ
ラー表示機能も備えている。分析装置が走査型トンネル
顕微鏡の場合には、前記画像データはトンネル電流を用
いて得られる表面状態に対応した画像データとなり、例
えば、表面の三次元情報を有した画像データである。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings. [Configuration of Embodiment of the Present Invention] First, the configuration of an embodiment of the analyzer of the present invention will be described with reference to the configuration diagram of FIG. In FIG. 1, an analyzer according to the present invention includes an analyzing means (not shown) for performing normal analysis, a display unit 1 for displaying image data and the like, a data processing unit for processing and storing data such as image data. 2 is provided. In the figure, the display unit 1 and the data processing unit 2 are schematically illustrated, and other parts such as an analysis unit included in the analyzer are omitted. In the following example, a histogram display will be described as an example of a luminance distribution display. Display 1
Are the image data display unit 10 and the color table display unit 11
, A range bar 12, and a histogram display unit 13. The image data display unit 10 is a part that displays the measurement data measured by the analysis unit as image data, and can be configured by, for example, a display unit divided into a plurality of 512 × 512 pixels. The image display is performed by inputting the image data by using the image data, and a color display function corresponding to the R, G, and B color data is provided. When the analyzer is a scanning tunneling microscope, the image data is image data corresponding to the surface state obtained by using a tunnel current, for example, image data having three-dimensional information on the surface.
【００１２】カラーテーブル表示部１１（ビデオルック
アップテーブルという名称で呼ばれる場合もある）は、
画像データ表示部１０におけるカラー表示に使用するカ
ラーの分布状態を表示する部分であり、図では柱状の形
態で示されている。そして、このカラーテーブル表示部
１１は、例えば、２５６個に分割されている。各分割さ
れた区分に対応するピクセル値（以下、カラー値とい
う）に対して、データ処理部２は後述するカラーテーブ
ルメモリ２１中に格納されているカラーテーブルの色情
報を対応させることにより、色表示を行なう。ヒストグ
ラム表示部１３は、測定画像データ中の輝度分布を表す
部分であり、例えば、最小の輝度から最大の輝度の間を
分割し、その分割した区分内にある測定画像データ中の
画素の個数をヒストグラムによって表示するものであ
る。このヒストグラム表示においては、最大の画素数で
各区分内の画素数を除することによって、規格化するこ
とができる。The color table display section 11 (sometimes called a video look-up table)
This is a portion for displaying the distribution state of colors used for color display in the image data display unit 10, and is shown in a columnar form in the figure. The color table display section 11 is divided into, for example, 256 pieces. The data processing unit 2 associates color information of a color table stored in a color table memory 21 described later with a pixel value (hereinafter, referred to as a color value) corresponding to each of the divided sections, thereby forming a color. Display. The histogram display unit 13 is a part that represents a luminance distribution in the measured image data. For example, the histogram display unit 13 divides the range from the minimum luminance to the maximum luminance, and determines the number of pixels in the measured image data in the divided section. It is displayed by a histogram. In this histogram display, normalization can be performed by dividing the number of pixels in each section by the maximum number of pixels.
【００１３】図１では、ヒストグラム表示によって測定
画像データ中の輝度分布を表しているが、その他の周知
の表示形態によって表すこともできる。また、レンジ・
バー１２は、画像データ表示部１０におけるカラー表示
の状態を変更して設定する手段であり、例えば、マウス
等のカラーテーブル割り当て指定手段４等の入力手段に
より入力することができる。カラーテーブル割り当て指
定手段４によって、このレンジ・バー１２をヒストグラ
ム表示部１３に対して移動し、輝度分布に対して色付け
を行なう範囲を設定する。図１では、横方向の実線で示
される２本のレンジ・バー１２により設定される輝度分
布の間において、カラーテーブル表示部１１で示される
色分布によってカラー表示が行なわれることになる。し
たがって、このレンジ・バー１２を移動させることによ
り、色付けされる輝度分布の範囲を変更することができ
る。データ処理部２は、分析手段からの画像データ等の
データを処理や記憶を行ない前記表示部１に表示のため
の信号を出力する部分であり、処理部２０、カラーテー
ブルメモリ２１、表示用画像データメモリ２２、カラー
テーブル割り当て範囲（レンジ範囲）メモリ２３、及び
ヒストグラムデータメモリ（輝度分布データメモリ）２
４、表示ドライバ２５を備えている。In FIG. 1, the luminance distribution in the measured image data is represented by a histogram display, but may be represented by other known display forms. Also, the range
The bar 12 is a unit for changing and setting the color display state in the image data display unit 10, and can be input by, for example, an input unit such as a color table assignment specifying unit 4 such as a mouse. The range bar 12 is moved with respect to the histogram display unit 13 by the color table assignment designating means 4 to set a range for coloring the luminance distribution. In FIG. 1, between the luminance distributions set by the two range bars 12 indicated by the horizontal solid lines, color display is performed by the color distribution indicated by the color table display unit 11. Accordingly, by moving the range bar 12, the range of the luminance distribution to be colored can be changed. The data processing unit 2 is a unit that processes and stores data such as image data from the analysis unit and outputs a signal for display to the display unit 1. The processing unit 20, a color table memory 21, and a display image Data memory 22, color table allocation range (range range) memory 23, and histogram data memory (brightness distribution data memory) 2
4. A display driver 25 is provided.
【００１４】処理手段２０には、分析手段から得られた
画像データを格納している画像データファイル３とカラ
ーテーブル割り当て指定手段４が、データ処理部２の外
部から接続され、データ処理部２内部において、カラー
テーブルメモリ２１、表示用画像データメモリ２２、カ
ラーテーブル割り当て範囲メモリ２３、及びヒストグラ
ムデータメモリ２４と接続されており、輝度分布形成の
ためのデータ処理やカラーテーブル割り当てのための処
理や表示用画像データ（ビットマップデータ）の作成処
理、及び表示ドライバ２５の制御等を行なっている。カ
ラーテーブルメモリ２１は、画像データ表示部１０にカ
ラー表示を行なうための色情報を格納している部分であ
り、例えば、２５６色の色付けを行なう場合には、各色
に対するＲ，Ｇ，Ｂの強度の組み合わせを記憶してい
る。そして、各色を指定するカラー値に対応したＲ，
Ｇ，Ｂ信号が画像データ表示部１０に送られると、該画
像データ表示部１０はカラー表示を行なうことになる。
なお、この例では、カラーテーブルを２５６色としてい
るが、表示のビット数を増やすことによって増色するこ
ともできる。また、使用するＲ，Ｇ，Ｂ信号の組み合わ
せを変更することより、カラー表示の色状態を変更する
こともできる。表示用画像データメモリ２２は、画像デ
ータ表示部１０に表示を行なうための画像データを格納
しておくメモリであり、画像データファイル３から入力
される分析手段からの画像データを、カラーテーブルの
割り当て区分に対応したカラー値を画素単位で記憶する
メモリであり、ビットマップデータを形成している。画
像データ表示部１０におけるカラー表示は、画像データ
ファイル３中の画像データではなく、この表示用画像デ
ータメモリ２２に格納されているビットマップデータに
基づいて行なわれる。The processing means 20 is connected to an image data file 3 storing image data obtained from the analysis means and a color table assignment designating means 4 from outside the data processing section 2. Are connected to a color table memory 21, a display image data memory 22, a color table allocation range memory 23, and a histogram data memory 24, and perform data processing for forming a luminance distribution and processing and display for color table allocation. It performs processing for creating image data for use (bitmap data), controls the display driver 25, and the like. The color table memory 21 stores color information for performing color display on the image data display section 10. For example, when 256 colors are to be colored, the R, G, and B intensities for each color are provided. Is memorized. And, R, corresponding to the color value designating each color,
When the G and B signals are sent to the image data display unit 10, the image data display unit 10 performs color display.
In this example, the color table has 256 colors. However, the number of colors can be increased by increasing the number of display bits. Further, by changing the combination of the R, G, and B signals to be used, the color state of the color display can be changed. The display image data memory 22 is a memory for storing image data to be displayed on the image data display unit 10. The display image data memory 22 assigns image data from the analysis means input from the image data file 3 to a color table. This is a memory that stores color values corresponding to the sections in pixel units, and forms bitmap data. The color display in the image data display unit 10 is performed based on the bitmap data stored in the display image data memory 22 instead of the image data in the image data file 3.
【００１５】カラーテーブル割り当て範囲メモリ２３
は、カラーテーブル割り当て指定手段４が指定した割り
当てを記憶するメモリである。表示部１中のレンジ・バ
ー１２、及びカラーテーブル表示部１１の表示範囲は、
このメモリ２３の記憶内容に応じて行なわれる。ヒスト
グラムデータメモリ２４は、最小輝度と最大輝度間を分
割した区分内にある測定画像データの画素の個数を記憶
するメモリであり、この記憶内容に応じて、ヒストグラ
ム表示部１３に表示が行なわれる。表示ドライバ２５
は、カラーテーブルメモリ２１、前記表示画像データメ
モリ２２、カラーテーブル割り当てメモリ２３、ヒスト
グラムメモリ２４の記憶内容を表示部１に表示するため
の駆動部分であり、処理手段２０によって制御される。
また、走査型トンネル顕微鏡による分析装置の場合に
は、前記画像データは、トンネル電流を用いて得られる
表面状態に関連した画像データとなる。Color table allocation range memory 23
Is a memory for storing the assignment specified by the color table assignment specifying means 4. The display range of the range bar 12 in the display unit 1 and the color table display unit 11 is as follows.
This is performed according to the contents stored in the memory 23. The histogram data memory 24 is a memory for storing the number of pixels of the measurement image data in a section obtained by dividing the area between the minimum luminance and the maximum luminance, and the histogram display unit 13 performs display according to the stored contents. Display driver 25
Is a drive unit for displaying the contents stored in the color table memory 21, the display image data memory 22, the color table allocation memory 23, and the histogram memory 24 on the display unit 1, and is controlled by the processing unit 20.
In the case of an analyzer using a scanning tunnel microscope, the image data is image data related to a surface state obtained by using a tunnel current.
【００１６】〔本発明の実施例の作用〕次に、本発明の
分析装置の作用について、図２，図３のフローチャー
ト、図４のビットマップデータ及びヒストグラムの形成
を説明する図、図５のフルカラーレンジによるカラー表
示を説明する図、及び図６の設定レンジによるカラー表
示を説明する図を用いて説明する。本発明の分析装置に
おける画像データの表示のための概略手順は、図２に示
すフローチャートに従って行なわれる。なお、図２のフ
ローチャートでは、ステップＳの符号を用いて説明す
る。はじめに、分析手段によって測定して得られた画像
データの入力を行なう（ステップＳ１）。この画像デー
タの入力は、画像データファイル３に格納しておいた画
像データを処理手段２０に読み込むことによって行なわ
れる。この場合、アナログの画像データを読み込んで、
処理手段２０においてデジタル信号にＡ／Ｄ変換するこ
とも、あるいは、デジタル信号に変換した画像データを
画像データファイル３に格納しておき、デジタル信号を
読み込むようにすることもできる。Next, the operation of the analyzer according to the present invention will be described with reference to the flowcharts of FIGS. 2 and 3 and FIGS. A description will be given with reference to a diagram for explaining color display in the full color range and a diagram for explaining color display in the set range in FIG. A schematic procedure for displaying image data in the analyzer of the present invention is performed according to a flowchart shown in FIG. In the flowchart of FIG. 2, the description will be made using the reference numerals of step S. First, image data obtained by measurement by the analysis means is input (step S1). The input of the image data is performed by reading the image data stored in the image data file 3 into the processing means 20. In this case, read the analog image data,
The processing unit 20 may perform A / D conversion to a digital signal, or store the image data converted to the digital signal in the image data file 3 and read the digital signal.
【００１７】そして、読み込んだ画像データを用いて、
輝度分布（ヒストグラム）を求める（ステップＳ２）。
カラー表示を行なう場合のカラーレンジを設定する。こ
のカラーレンジの設定は、輝度分布に対応して色付けを
行なう範囲を定めるものであり、定められた範囲内をフ
ルカラーレンジとして輝度分布に対応したカラー表示を
行なうものである。また、前記読み込んだ画像データを
処理して表示用の画像データを作成する。本発明の分析
装置においては、分析手段で得られた画像データそのも
のではなく、表示用に形成した画像データによって画像
表示を行なう（ステップＳ４）。前記ステップＳ２及び
ステップＳ４で形成した輝度分析、表示用画像データ、
及びカラー表示のためのカラーテーブルを表示部１上に
同時に表示する（テップＳ５）。ステップＳ５における
表示を観察して、カラー表示を行なう範囲（カラーレン
ジ）を変更する場合には、前記ステップＳ３に戻ってス
テップＳ４及びステップＳ５を繰り返す。次に、図４，
図５，及び図６を用いるとともに、図３に示す本発明の
分析装置における画像データの表示のためのより詳細な
手順に従って、ステップＳの１０番台の符号を用いて説
明する。Then, using the read image data,
A luminance distribution (histogram) is obtained (step S2).
Set the color range for color display. The setting of the color range defines a range in which coloring is performed in accordance with the luminance distribution, and performs color display corresponding to the luminance distribution within the defined range as a full color range. Further, the read image data is processed to create display image data. In the analyzer of the present invention, an image is displayed not by the image data itself obtained by the analyzing means but by the image data formed for display (step S4). Luminance analysis and display image data formed in steps S2 and S4,
And a color table for color display is simultaneously displayed on the display unit 1 (Step S5). To change the range (color range) in which color display is performed by observing the display in step S5, return to step S3 and repeat steps S4 and S5. Next, FIG.
A description will be given with reference to FIGS. 5 and 6 in accordance with a more detailed procedure for displaying image data in the analyzer of the present invention shown in FIG.
【００１８】前記ステップＳ１によって、画像データフ
ァイル３から読み込んだ画像データを基にして、その画
像データの輝度信号から最大輝度（Ｐmax)と最小輝度
（Ｐmin)を求める。図４において、画像データファイル
３から読み込まれる画像データは、画像元データとして
表されている。図中において、画像元データは４×４の
マトリックスＡによって示されているが、例えば５１２
×５１２のマトリックス状の画素により実現される。こ
の各画素中に表記される「Ｐｎ」は、当該画素における
輝度強度を表している。このマトリックス状の画素の輝
度は表Ｂによって表わされる。この各画素中の輝度強度
の中から、最大輝度（Ｐmax)と最小輝度（Ｐmin)を求め
る。図４中では、画素Ｉにおいて最大輝度（Ｐmax)を持
ち、画素Ｊにおいて最小輝度（Ｐmin)を持っている（ス
テップＳ１１）。前記ステップＳ１１で求めた最大輝度
（Ｐmax)と最小輝度（Ｐmin)の区間〔Ｐmax,Ｐmin 〕を
ｎ分割する。この分割数ｎは任意であるが、カラー表示
を行なう場合の色数と対応させて設定する方が後の信号
処理において望ましい。ｎ分割による輝度の一つの区間
間隔は（Ｐmax −Ｐmin ）／ｎである。そして、このｎ
分割に対応して、輝度区分を設定する。この輝度区分の
各輝度の代表値をそれぞれＬ1 〜Ｌn とする。このｎの
数は、前記したカラー表示の色数に対応して例えば２５
６とすることができる（ステップＳ１２）。次に、前記
求めた輝度区分に対応する輝度強度を有する画素の個数
を計数し、輝度分布のデータを形成する。図４では、輝
度区分Ｌ1 についてはｍ1 個の画素数を計数し、輝度区
分Ｌ2 についてはｍ2 個の画素数を計数し、輝度区分Ｌ
n については、ｍn 個の画素数を計数し、その値は図１
中のヒストグラムメモリ２４に格納している（ステップ
Ｓ１３）。In step S1, the maximum luminance (Pmax) and the minimum luminance (Pmin) are obtained from the luminance signal of the image data based on the image data read from the image data file 3. In FIG. 4, image data read from the image data file 3 is represented as image original data. In the figure, the original image data is indicated by a 4 × 4 matrix A, for example, 512
It is realized by a matrix of × 512 pixels. “Pn” described in each pixel represents the luminance intensity at the pixel. The luminance of the pixels in the matrix is represented by Table B. From the luminance intensities in each pixel, a maximum luminance (Pmax) and a minimum luminance (Pmin) are obtained. In FIG. 4, the pixel I has the maximum luminance (Pmax) and the pixel J has the minimum luminance (Pmin) (step S11). The section [Pmax, Pmin] between the maximum luminance (Pmax) and the minimum luminance (Pmin) obtained in step S11 is divided into n. Although the number of divisions n is arbitrary, it is desirable to set the number of divisions in correspondence with the number of colors when performing color display in the subsequent signal processing. One section interval of luminance by n division is (Pmax-Pmin) / n. And this n
A luminance section is set according to the division. A representative value of each luminance of the luminance division, respectively and L 1 ~L n. The number n is, for example, 25 corresponding to the number of colors of the color display described above.
6 (step S12). Next, the number of pixels having a luminance intensity corresponding to the obtained luminance division is counted to form luminance distribution data. In Figure 4, counts the m number 1 pixels for brightness segment L 1, counts the number 2 pixels m for brightness segment L 2, brightness segment L
For n, counts the m number n pixels, the value is 1
It is stored in the middle histogram memory 24 (step S13).
【００１９】（フルカラーレンジによるカラー表示）次
に、はじめに測定された画像データの輝度分析の全体を
観察するために、輝度区間〔Ｐmax,Ｐmin 〕をフルカラ
ーレンジとする。このカラーレンジは、色付けを行なう
際のカラーテーブルの割り当て範囲を設定するものとな
る（ステップＳ１４）。次に、画像データを表示部１の
画像データ表示部１０に表示するためのビットマップデ
ータを求める。このビットマップデータは、前記ステッ
プＳ１４で設定したカラーレンジ（カラーテーブルの割
り当て）に対応して、各画素の輝度強度がいずれの輝度
区分となるかを判定し、その区分値を示したものであ
る。図４のマトリックスＣは４×４のビットマップデー
タを示しており、その区分値は、Ｌ1 〜Ｌn によって表
示している。このビットマップデータが、表示用画像デ
ータとなり、図１中の表示用画像データメモリ２２に格
納される（ステップＳ１５）。(Color Display with Full Color Range) Next, in order to observe the entire luminance analysis of the image data measured first, the luminance section [Pmax, Pmin] is set to the full color range. This color range sets an allocation range of the color table when performing coloring (step S14). Next, bitmap data for displaying the image data on the image data display unit 10 of the display unit 1 is obtained. This bitmap data is used to determine which luminance section the luminance intensity of each pixel falls into in accordance with the color range (color table assignment) set in step S14, and indicate the division value. is there. The matrix C in FIG. 4 shows 4 × 4 bitmap data, and the segment values are represented by L 1 to L n . This bitmap data becomes display image data, and is stored in the display image data memory 22 in FIG. 1 (step S15).
【００２０】前記ステップＳ１３及びステップＳ１５に
よって、輝度分布のデータ（ヒストグラムのデータ）及
び表示用画像データが求められてメモリに格納され、ま
た、カラーテーブルは、あらかじめカラーテーブルメモ
リ２１に格納されている。そこで、これらのデータを表
示部１中のそれぞれの画像データ表示部１０、ヒストグ
ラム表示部１３、及びカラーテーブル表示部１１に表示
する。輝度分布のデータの表示は、例えば、図４中のヒ
ストグラムＤに示されるようにステップＳ１３による画
像素数を、各対応する輝度区分の位置に表示することに
より形成される。このヒストグラムの表示あるいはステ
ップＳ１３のヒストグラムの形成において、最大の画素
数で各区分内の画素数を除することによって、規格化す
ることができる。In steps S13 and S15, luminance distribution data (histogram data) and display image data are obtained and stored in the memory. The color table is stored in the color table memory 21 in advance. . Therefore, these data are displayed on the image data display unit 10, the histogram display unit 13, and the color table display unit 11 in the display unit 1. The display of the data of the luminance distribution is formed, for example, by displaying the image prime number in step S13 at the position of each corresponding luminance section as shown in a histogram D in FIG. In displaying the histogram or forming the histogram in step S13, normalization can be performed by dividing the number of pixels in each section by the maximum number of pixels.
【００２１】また、フルカラーレンジにおける画像デー
タのカラー表示においては、図５に示すように、ビット
マップデータＣに対してカラーテーブルＥを用いて対応
するＲ，Ｇ，Ｂの色データを用いて行なう。このときの
色付けは、前記ステップＳ１２において輝度範囲をｎ分
割して求めた輝度区分（Ｌ1 〜Ｋn ）に対して、フルカ
ラーレンジを同じくｎ分割した代表値（以下、カラー値
（Ｃ1 〜Ｃn ）という）を１対１で対応させて定め、前
記ステップＳ１５で求めたビットマップデータＣ中の輝
度区分Ｌを対応したカラー値Ｃを求めることにより行な
われる。一般に、カラーテーブルＥは、Ｒ，Ｇ，Ｂの各
色の強度の組み合わせによって、ソフトウェアにより色
表示を行なうことができるものであり、それらの組み合
わせを示すカラーテーブルＥ中においてカラー値Ｃを指
定することによって、該色を表示することができる。The color display of the image data in the full color range is performed using the corresponding R, G, and B color data using the color table E with respect to the bitmap data C, as shown in FIG. . At this time, the representative values (hereinafter referred to as color values (C 1 to C 1 ) obtained by dividing the full-color range into n with respect to the luminance divisions (L 1 to K n ) obtained by dividing the luminance range into n at step S 12 are obtained. C n ) is determined in one-to-one correspondence, and a color value C corresponding to the luminance section L in the bitmap data C obtained in step S15 is obtained. In general, the color table E is capable of performing color display by software according to the combination of the intensities of the respective colors R, G, and B. A color value C is designated in the color table E indicating the combination. Thus, the color can be displayed.
【００２２】したがって、ステップＳ１５で求めたビッ
トマップデータとあらかじめ用意してあるカラーテーブ
ルとによって、カラー表示を行なうことができる。ま
た、該カラーテーブル自体の表示については、図５中に
示すカラーテーブルＥのカラー値（Ｃ1 〜Ｃn ）に対応
する色をカラーテーブル表示部１１に表示することによ
り行なうことができる。なお、前記例では、輝度分布と
カラーレンジとを共にｎ分割して１対１の対応付けを行
なっているが、分割数及び対応付けの比率は任意とする
ことができる。（ステップＳ１６）。次に、前記ステッ
プＳ１６による表示を観察し、カラー表示の色範囲を変
更するか否かの判定を行なう（ステップＳ１７）。Therefore, color display can be performed using the bitmap data obtained in step S15 and the color table prepared in advance. The display of the color table itself can be performed by displaying the color corresponding to the color values (C 1 to C n ) of the color table E shown in FIG. In the above-described example, the luminance distribution and the color range are both divided into n and the one-to-one correspondence is performed. However, the number of divisions and the ratio of the correspondence may be arbitrary. (Step S16). Next, the display in step S16 is observed, and it is determined whether to change the color range of the color display (step S17).
【００２３】（設定カラーレンジによるカラー表示）カ
ラー表示の色範囲を変更する場合には、レンジ・バー１
２をヒストグラム表示部１３に対して移動して、カラー
レンジを指定し変更を行なう（ステップＳ１８）。前記
ステップＳ１８においてカラーレンジの指定範囲が変更
すると、例えば図６に示す設定レンジ及び輝度区分とな
る。図６において、フルカラーレンジより狭い範囲に設
定し、その狭い設定範囲をフルカラーレンジとして前記
ステップＳ１４と同様にｎ分割し、輝度区分（Ｌ1 〜Ｌ
n ）を求める（ステップＳ１９）。(Color Display by Setting Color Range) When changing the color range of the color display, the range bar 1
2 is moved to the histogram display unit 13 to specify and change the color range (step S18). When the designated range of the color range is changed in step S18, for example, the setting range and the luminance classification shown in FIG. 6, set to a narrower range than the full color range, similarly divided into n to the step S14 the narrow setting range as a full-color range, brightness segment (L 1 ~L
n ) (step S19).
【００２４】そして、前記ステップＳ１５と同様にし
て、画像データを表示部１の画像データ表示部１０に表
示するためのビットマップデータを求める。このビット
マップデータは、前記ステップＳ１９で設定したカラー
レンジ（カラーテーブルの割り当て）に対応して、各画
素の輝度強度がいずれの輝度区分となるかを判定し、そ
の区分値を示したものとなる。図６のマトリックスＣは
４×４のビットマップデータを示しており、その区分値
は、Ｌ1 〜Ｌn によって表示している。このビットマッ
プデータにおいては、表示される輝度の上限が下げら
れ、また、下限が上げられているため、Ｌ1 以下の輝度
はＬ1 として表示され、Ｌn 以上の輝度はＬn として表
示される。また、ビットマップデータＣをカラーテーブ
ルＥを用いてカラー表示する場合には、前記ステップＳ
１６と同様に、ビットマップデータＣに対してカラーテ
ーブルＥを用いて対応するＲ，Ｇ，Ｂの色データを用い
て行ない、色付けは、前記ステップＳ１２において輝度
範囲をｎ分割して求めた輝度区分（Ｌ1 〜Ｋn ）に対し
て、フルカラーレンジを同じくｎ分割した代表値（以
下、カラー値（Ｃ1 〜Ｃn ）という）を１対１で対応さ
せて定め、ビットマップデータＣ中の輝度区分Ｌを対応
したカラー値Ｃを求めることにより行なわれる。このと
き、カラーテーブル及びヒストグラムに表示について
は、フルカラーレンジおける表示と同一のデータを用い
て同様に行なうことができる。Then, in the same manner as in step S15, bitmap data for displaying the image data on the image data display section 10 of the display section 1 is obtained. This bitmap data determines which luminance section the luminance intensity of each pixel falls into in accordance with the color range (color table assignment) set in step S19, and indicates the division value. Become. The matrix C in FIG. 6 shows 4 × 4 bitmap data, and the division values are indicated by L 1 to L n . In the bit map data, it is given lower limit of luminance displayed, also, since the lower limit is raised, L 1 following luminance is displayed as L 1, L n or more luminance is displayed as L n You. When the bitmap data C is displayed in color using the color table E, the step S
As in the case of No. 16, the bitmap data C is processed using the corresponding R, G, B color data using the color table E, and coloring is performed by dividing the brightness range into n in step S12. A representative value (hereinafter, referred to as a color value (C 1 -C n )) obtained by dividing the full color range into n in one-to-one correspondence with the section (L 1 -K n ) is determined in one-to-one correspondence. Is determined by obtaining a color value C corresponding to the luminance section L. At this time, the display in the color table and the histogram can be similarly performed using the same data as the display in the full color range.
【００２５】また、走査型トンネル顕微鏡による分析装
置の場合には、前記と同様の工程によって、トンネル電
流を用いて得られる表面状態に関連した画像データのカ
ラー表示することができる。In the case of an analyzer using a scanning tunneling microscope, color display of image data related to a surface state obtained by using a tunnel current can be performed by the same steps as described above.
【００２６】[0026]
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
装置画像データの表示状態の調整のための操作が容易な
分析装置を提供することができる。また、トンネル電流
を用いて得られる画像データのカラー表示調整が容易な
走査トンネル顕微鏡を提供することができる。As described above, according to the present invention,
An analyzer that can be easily operated for adjusting the display state of the apparatus image data can be provided. Further, it is possible to provide a scanning tunnel microscope in which color display adjustment of image data obtained using a tunnel current is easy.
【図１】本発明の分析装置の一実施例の構成を説明する
ブロック図である。FIG. 1 is a block diagram illustrating a configuration of an embodiment of an analyzer according to the present invention.
【図２】本発明の分析装置における画像データの表示の
ための概略手順を示すフローチャートである。FIG. 2 is a flowchart showing a schematic procedure for displaying image data in the analyzer of the present invention.
【図３】本発明の分析装置における画像データの表示の
ためのより詳細な手順を示すフローチャートである。FIG. 3 is a flowchart showing a more detailed procedure for displaying image data in the analyzer of the present invention.
【図４】本発明のビットマップデータ及びヒストグラム
の形成を説明する図である。FIG. 4 is a diagram illustrating the formation of bitmap data and a histogram according to the present invention.
【図５】本発明のフルカラーレンジによるカラー表示を
説明する図である。FIG. 5 is a diagram illustrating color display in a full color range according to the present invention.
【図６】本発明の設定レンジによるカラー表示を説明す
る図である。FIG. 6 is a diagram illustrating color display using a set range according to the present invention.
１…表示部、２…データ処理部、３…画像データファイ
ル、４…カラーテーブル割り当て指定手段、１１…カラ
ーテーブル表示部、１２…レンジ・バー、１３…ヒスト
グラム表示部、２０…処理手段、２１…カラーテーブル
メモリ、２２…表示用画像データメモリ、２３…カラー
テーブル割り当てメモリ、２４…ヒストグラムデータメ
モリ、２５…表示ドライバ、Ａ…画像元データ、Ｂ…画
素−輝度表、Ｃ…ビットマップデータ、Ｄ…ヒストグラ
ム。DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Display part, 2 ... Data processing part, 3 ... Image data file, 4 ... Color table allocation designation means, 11 ... Color table display part, 12 ... Range bar, 13 ... Histogram display part, 20 ... Processing means, 21 ... Color table memory, 22 ... Display image data memory, 23 ... Color table allocation memory, 24 ... Histogram data memory, 25 ... Display driver, A ... Image original data, B ... Pixel-brightness table, C ... Bitmap data, D: histogram.
Claims (1)
意の輝度分割数に分割された輝度分布を求める手段と、 前記輝度分布に対して、前記輝度分割数と実質的に１対
１で対応させることができる任意のカラー分割数に分割
されたカラーテーブルの割り当てを表示画面上のレンジ
・バーを用いて指定して色付けを行なう輝度分布の範囲
を設定する手段と、 前記カラーテーブルの割り当てに従って画像データを表
示用画像データに変換する手段と、 前記表示用画像データを記憶する手段と、前記輝度分
布、カラーテーブル、レンジ・バー、及び表示用画像デ
ータを表示する手段とを備えたことを特徴とする分析装
置。A means for obtaining a luminance distribution obtained by dividing the image data obtained from the analyzing means into an arbitrary number of luminance divisions, wherein the luminance distribution is substantially one-to-one corresponding to the luminance division number. Means for setting a range of a luminance distribution for performing coloring by specifying an allocation of a color table divided into an arbitrary number of color divisions using a range bar on a display screen, according to the allocation of the color table Means for converting image data into display image data, means for storing the display image data, and means for displaying the luminance distribution, color table, range bar, and display image data. Characteristic analyzer.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23480294A JP3293717B2 (en) | 1994-09-29 | 1994-09-29 | Analysis equipment |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23480294A JP3293717B2 (en) | 1994-09-29 | 1994-09-29 | Analysis equipment |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0894645A JPH0894645A (en) | 1996-04-12 |
| JP3293717B2 true JP3293717B2 (en) | 2002-06-17 |
Family
ID=16976624
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23480294A Expired - Fee Related JP3293717B2 (en) | 1994-09-29 | 1994-09-29 | Analysis equipment |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3293717B2 (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0894645A (en) * | 1994-09-29 | 1996-04-12 | Shimadzu Corp | Analytical apparatus |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009168749A (en) * | 2008-01-18 | 2009-07-30 | Nikon Corp | Device and method for particle analysis |
| EP2600311A1 (en) * | 2011-11-30 | 2013-06-05 | Thomson Licensing | Method and apparatus for visualizing a data set |
| JP7341656B2 (en) * | 2018-12-11 | 2023-09-11 | キヤノン株式会社 | Image processing device, control method, program, and storage medium |
| WO2023053535A1 (en) * | 2021-09-28 | 2023-04-06 | 株式会社島津製作所 | Scan-type probe microscope and program |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5766479A (en) * | 1980-10-13 | 1982-04-22 | Tokyo Shibaura Electric Co | Video display unit |
| JP2643596B2 (en) * | 1990-11-29 | 1997-08-20 | 株式会社日立製作所 | Display method of scalar quantity distribution |
| JPH04294467A (en) * | 1991-03-22 | 1992-10-19 | Hitachi Ltd | Image processor |
| JPH05282422A (en) * | 1992-04-03 | 1993-10-29 | Asahi Chem Ind Co Ltd | Image processing device |
| JP3293717B2 (en) * | 1994-09-29 | 2002-06-17 | 株式会社島津製作所 | Analysis equipment |
-
1994
- 1994-09-29 JP JP23480294A patent/JP3293717B2/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0894645A (en) * | 1994-09-29 | 1996-04-12 | Shimadzu Corp | Analytical apparatus |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0894645A (en) | 1996-04-12 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6571020B1 (en) | Introducing reduced dataset information into a primary image dataset | |
| US5929842A (en) | Method and apparatus for improving time variant image details on a raster display | |
| JP3185900B2 (en) | Image editing apparatus and method for image processing system | |
| CN1284117C (en) | Method of displaying images in medical imaging | |
| JP3293717B2 (en) | Analysis equipment | |
| WO2013100026A1 (en) | Image processing device, image processing system, image processing method, and image processing program | |
| JP2020129439A (en) | Information processing system and information processing method | |
| CN104011531A (en) | Image processing device, image display system, image processing method, and image processing program | |
| US6239782B1 (en) | Single knob intensity control for use in digital test and measurement equipment | |
| US6249115B1 (en) | Method of controlling brightness and contrast in a raster scan digital oscilloscope | |
| CN108627695A (en) | A kind of abnormal signal display methods and spectrum analyzer system, digital spectrum analysis instrument | |
| JP2770764B2 (en) | Image data display device | |
| JP2003156460A (en) | Method and system for managing data | |
| JPS58127490A (en) | Digital video processing and displaying method using video intensity difference determining method | |
| US9519991B2 (en) | Method for displaying optically determined surface geometries | |
| Swift et al. | A technique for obtaining scanning electron micrographs in colour | |
| JPH04288687A (en) | Method of transformation to the raster display picture from vector display picture and its device | |
| US5745595A (en) | Surface analysis instrument and method of displaying images using information obtained by surface analysis | |
| JP3052744B2 (en) | Scanning probe microscope | |
| JP3363695B2 (en) | Map display device and display method for analytical instrument | |
| Halder et al. | Presentation of confocal images | |
| JP2953075B2 (en) | A microscope for displaying data obtained by scanning the vicinity of a sample with a probe and its image measurement method | |
| JP2911126B2 (en) | Image display device | |
| JPH0413901A (en) | Scanning-type tunnel microscope with function of discriminating shape of fore end of probe and discriminating method thereof | |
| JPH08331367A (en) | Storage system for image information and image display system |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080405 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080405 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080405 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090405 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090405 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100405 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100405 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100405 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110405 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110405 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110405 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110405 Year of fee payment: 9 |
|
| R157 | Certificate of patent or utility model (correction) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R157 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110405 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120405 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120405 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120405 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120405 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130405 Year of fee payment: 11 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130405 Year of fee payment: 11 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140405 Year of fee payment: 12 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |