JPH0880070A - Ultrasonic motor - Google Patents

Ultrasonic motor

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Publication number
JPH0880070A
JPH0880070A JP6212437A JP21243794A JPH0880070A JP H0880070 A JPH0880070 A JP H0880070A JP 6212437 A JP6212437 A JP 6212437A JP 21243794 A JP21243794 A JP 21243794A JP H0880070 A JPH0880070 A JP H0880070A
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JP
Japan
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ultrasonic motor
motor
coupling
high frequency
vibration
Prior art date
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Application number
JP6212437A
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Japanese (ja)
Inventor
Nobukazu Ito
信和 伊藤
忠雄 ▲高▼木
Tadao Takagi
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Nikon Corp
Original Assignee
Nikon Corp
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Publication date
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  • General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)

Abstract

PURPOSE: To enable free traveling in a cylinder by constituting an ultrasonic motor such that it has two discs for generating elliptic vibration at the tips, and a coupling for coupling with the two discs, and two piezoelectric bodies joined to the coupling. CONSTITUTION: A motor 10 has two disclike elastic substances 10a and 10b, and two piezoelectric materials 15 are stuck to the surface of the coupling 10c. And, when the piezoelectric substance 15 is supplied with high frequency voltages A and B, the peripheries of the discs 10a and 10b oscillates compositely, so the motor 10 travels, but in the motor 10, the elastic bodies 10a and 10b are roughly round, and besides a coupling 10 is made between them, so it can rotate freely in the direction orthogonal to the direction of advance. Therefore, it can rotate according to the condition of inclination, even if it inclines in various directions within a cylinder 50, and the inside periphery of the cylinder 50 and the outside peripheries of the discs 10a and 10b contact with each other. As a result, even in the case that the cylinder 50 meanders in all directions, it can travel.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、屈曲振動と縦振動との
複合振動(楕円振動)を用いる超音波モータに関するも
のである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an ultrasonic motor using composite vibration (elliptic vibration) of bending vibration and longitudinal vibration.

【0002】[0002]

【従来の技術】図8のようなリニア型超音波モータが、
日本機械学会・電気学会・日本AEM学会において発表
されている。この学会の「第5回電磁力関連のダイナミ
ックスシンポジウム講演論文集」の「222 光ピック
アップ移動を目的とした圧電リニアモータ」には、「異
形縮退縦L1−屈曲B4モード・平板モータ」が記載さ
れている。
2. Description of the Related Art A linear type ultrasonic motor as shown in FIG.
Presented at the Japan Society of Mechanical Engineers, the Institute of Electrical Engineers, and the Japan AEM Society. "Differential degenerate vertical L1-bending B4 mode flat plate motor" is described in "222 Piezoelectric linear motor for moving optical pickup" in "Proceedings of the 5th Symposium on Dynamics Related to Electromagnetic Force" of this society. Has been done.

【0003】この平板モータは、矩形平板の縦L1モー
ドと屈曲B4モードを2相駆動し、その変位の複合振動
(楕円運動)を利用し駆動力を得る構成であり、地表上
を走行することができる。
This flat plate motor is constructed so as to drive a rectangular flat plate in a vertical L1 mode and a bending B4 mode in two phases to obtain a driving force by utilizing a composite vibration (elliptical motion) of the displacement, and it is required to travel on the ground surface. You can

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、この超
音波モータの2つの脚部は、地面と接するための平らの
ものであるため、円管内(例えば、土管、水道管、電気
コード等の配線管など)を走行することはできない。特
に地中やビルの内壁などをとおる円管は、縦横無尽にく
ねっているため走行することが困難である。
However, since the two legs of this ultrasonic motor are flat for contact with the ground, they can be used in circular pipes (for example, earth pipes, water pipes, wiring pipes such as electric cords). Etc.) cannot be driven. In particular, circular pipes running through the ground or the inner wall of a building are difficult to run because they have an infinite number of vertical and horizontal windings.

【0005】そこで、円管内で自由に走行することがで
きる超音波モータを提供することを目的とする。
Therefore, it is an object of the present invention to provide an ultrasonic motor which can freely travel in a circular pipe.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】本発明の超音波モータ
は、楕円振動が先端部で発生する2つの円盤体(10
a、10b)と、2つの円盤体と結合する連結部(10
c)と、連結部に接合される2つの圧電体(15)とを
有することを特徴とする。
The ultrasonic motor of the present invention has two disk bodies (10) in which elliptical vibration is generated at the tip.
a, 10b) and a connecting part (10
c) and two piezoelectric bodies (15) bonded to the connecting portion.

【0007】[0007]

【作用】超音波モータの動作原理について、図7および
図8を用いて説明する。この超音波モータは、超音波モ
ータは、板状弾性部材1と一対の駆動力取り出し部1
a,1bと圧電素子(PZT等)2,3とから構成され
ている。超音波モータは、2つの圧電素子2,3に高周
波電圧A,Bを印加することで、板状弾性部材1上に屈
曲振動と縦振動との複合振動を起こし、これにより駆動
力取り出し部1aと1bとの先端に楕円運動を発生さ
せ、駆動力を発生させる構成になっている。尚、Gはグ
ランドである。また、2つの圧電素子2,3は、互いに
極性が同一方向になるように分極され、高周波電圧A,
Bは、π/2の時間的位相差を有している。尚、2つの
圧電素子2,3の分極方向は、互いに逆方向であっても
問題はない。
The operation principle of the ultrasonic motor will be described with reference to FIGS. 7 and 8. This ultrasonic motor includes a plate-like elastic member 1 and a pair of driving force extracting portions 1
It is composed of a and 1b and piezoelectric elements (PZT etc.) 2 and 3. The ultrasonic motor applies high-frequency voltages A and B to the two piezoelectric elements 2 and 3 to cause a combined vibration of bending vibration and longitudinal vibration on the plate-like elastic member 1, and thereby the driving force extracting portion 1a. And 1b, the driving force is generated by causing elliptical motion at the tips of the points 1b and 1b. Incidentally, G is a ground. The two piezoelectric elements 2 and 3 are polarized so that their polarities are in the same direction, and the high frequency voltage A,
B has a time phase difference of π / 2. There is no problem even if the polarization directions of the two piezoelectric elements 2 and 3 are opposite to each other.

【0008】図7の左図は、超音波モータに入力される
2相の高周波電圧A,Bの時間的変化をt1〜t9で示
している。図7の左図の横軸は、高周波電圧の実効値を
示している。図7の左中図は、超音波モータの断面の変
形の様子を示し、超音波モータに発生する屈曲振動の時
間的変化(t1〜t9)を示している。図7の右中図
は、超音波モータの断面の変形の様子を示し、超音波モ
ータに発生する縦振動の時間的変化(t1〜t9)を示
している。図7の右図は、超音波モータの駆動力取り出
し部1aと1bとに発生する楕円運動の時間的変化(t
1〜t9)を示している。
The left diagram of FIG. 7 shows changes with time of the two-phase high frequency voltages A and B input to the ultrasonic motor at t1 to t9. The horizontal axis of the left diagram of FIG. 7 indicates the effective value of the high frequency voltage. The middle left diagram of FIG. 7 shows the state of deformation of the cross section of the ultrasonic motor, and shows the temporal change (t1 to t9) of the bending vibration generated in the ultrasonic motor. The middle part of the right side of FIG. 7 shows how the cross section of the ultrasonic motor is deformed, and shows the temporal change (t1 to t9) of the longitudinal vibration generated in the ultrasonic motor. The right diagram of FIG. 7 shows a temporal change (t) of the elliptic motion generated in the driving force extracting portions 1a and 1b of the ultrasonic motor.
1 to t9) are shown.

【0009】超音波モータの動作を、時間的変化(t1
〜t9)毎に説明する。時間t1において、左図におい
て、高周波電圧Aは正の電圧を発生し、同様に高周波電
圧Bは同一の正の電圧を発生する。左中図において、高
周波電圧A,Bによる屈曲振動は互いに打ち消し合い、
質点Y1とZ1とが振幅零となる。また右中図におい
て、高周波電圧A,Bによる縦振動は伸長する方向に発
生する。質点Y2とZ2とは矢印で示されるように、節
Xを中心にして最大の伸長を示す。その結果上記両振動
が複合され、質点Y1とY2との合成が質点Yとなり、
また右図において、質点Z1とZ2との合成が質点Zと
なる。
The operation of the ultrasonic motor is changed with time (t1
~ T9) will be described. At time t1, in the left diagram, the high frequency voltage A generates a positive voltage, and similarly, the high frequency voltage B generates the same positive voltage. In the middle diagram on the left, bending vibrations due to high-frequency voltages A and B cancel each other out,
The mass points Y1 and Z1 have zero amplitude. Further, in the middle diagram on the right, the longitudinal vibrations due to the high frequency voltages A and B are generated in the extending direction. The mass points Y2 and Z2 show the maximum elongation around the node X, as indicated by the arrow. As a result, the above two vibrations are combined, and the composite of the mass points Y1 and Y2 becomes the mass point Y,
Further, in the right figure, the composite of the mass points Z1 and Z2 becomes the mass point Z.

【0010】時間t2において、左図に示すように、高
周波電圧Bは零となり、高周波電圧Aは正の電圧を発生
する。左中図に示すように、高周波電圧Aによる屈曲振
動が発生し、質点Y1が正方向に振幅し、質点Z1が負
方向に振幅する。また右中図に示すように、高周波電圧
Aによる縦振動が発生し、質点Y2とZ2とが時間t1
の時より縮む。その結果、右図に示すように、上記両振
動が複合され、質点YとZとが時間t1の時より右回り
に移動する。
At time t2, as shown in the left figure, the high frequency voltage B becomes zero and the high frequency voltage A generates a positive voltage. As shown in the middle diagram on the left, bending vibration is generated by the high-frequency voltage A, the mass Y1 oscillates in the positive direction, and the mass Z1 oscillates in the negative direction. Further, as shown in the middle diagram on the right, longitudinal vibration is generated by the high frequency voltage A, and the mass points Y2 and Z2 are generated at time t1.
Shrink more than when. As a result, as shown in the right figure, both of the above vibrations are combined, and the mass points Y and Z move clockwise from the time t1.

【0011】時間t3において、左図に示すように、高
周波電圧Aは正の電圧を発生し、同様に高周波電圧Bは
同一の負の電圧を発生する。左中図に示すように、高周
波電圧A及びBによる屈曲振動が合成されて増幅され、
質点Y1が時間t2の時より正方向に増幅され、最大の
正の振幅値を示し、質点Z1が時間t2の時より負方向
に増幅さ、最大の負の振幅値を示す。また右中図に示す
ように、高周波電圧A及びBによる縦振動が互いに打ち
消し合い、質点Y2とZ2とが元の位置に戻る。その結
果、右図に示すように、上記両振動が複合され、質点Y
とZとが時間t2の時より右回りに移動する。
At time t3, the high frequency voltage A generates a positive voltage, and the high frequency voltage B similarly generates the same negative voltage, as shown in the left figure. As shown in the middle diagram on the left, flexural vibrations due to high-frequency voltages A and B are combined and amplified,
The mass point Y1 is amplified in the positive direction from the time t2 and shows the maximum positive amplitude value, and the mass point Z1 is amplified in the negative direction from the time t2 and shows the maximum negative amplitude value. Further, as shown in the middle diagram on the right, the longitudinal vibrations due to the high frequency voltages A and B cancel each other out, and the mass points Y2 and Z2 return to their original positions. As a result, as shown in the right figure, both of the above vibrations are combined and the mass Y
And Z move clockwise from the time t2.

【0012】時間t4において、左図に示すように、高
周波電圧Aは零となり、高周波電圧Bは負の電圧を発生
する。左中図に示すように、高周波電圧Bによる屈曲振
動が発生し、質点Y1は時間t3の時より振幅が低下
し、質点Z1は時間t3の時より振幅が低下する。また
右中図に示すように、高周波電圧Bによる縦振動が発生
し、質点Y2とZ2とが収縮する。その結果、右図に示
すように、上記両振動が複合され、質点YとZとが時間
t3の時より右回りに移動する。
At time t4, the high frequency voltage A becomes zero and the high frequency voltage B produces a negative voltage as shown in the left figure. As shown in the middle diagram on the left, bending vibration occurs due to the high frequency voltage B, the amplitude of the mass point Y1 decreases from the time t3, and the amplitude of the mass point Z1 decreases from the time t3. Further, as shown in the middle diagram on the right, longitudinal vibration is generated by the high frequency voltage B, and the mass points Y2 and Z2 contract. As a result, as shown in the right figure, both vibrations are combined, and the mass points Y and Z move clockwise from the time t3.

【0013】時間t5において、左図に示すように、高
周波電圧Aは負の電圧を発生し、同様に高周波電圧Bは
同一の負の電圧を発生する。左中図に示すように、高周
波電圧A,Bによる屈曲振動は互いに打ち消し合い、質
点Y1とZ1とが振幅零となる。また、右中図に示すよ
うに、高周波電圧A,Bによる縦振動は収縮する方向に
発生する。質点Y2とZ2とは矢印で示されるように、
節Xを中心にして最大の収縮を示す。その結果、右図に
示すように、上記両振動が複合され、質点YとZとが時
間t4の時より右回りに移動する。
At time t5, the high frequency voltage A produces a negative voltage and the high frequency voltage B produces the same negative voltage as shown in the left figure. As shown in the middle diagram on the left, the bending vibrations due to the high-frequency voltages A and B cancel each other out, and the masses Y1 and Z1 have zero amplitude. Further, as shown in the middle diagram on the right, the longitudinal vibrations due to the high frequency voltages A and B are generated in the contracting direction. The mass points Y2 and Z2 are, as shown by the arrows,
Maximum contraction around node X is shown. As a result, as shown in the right figure, both of the above vibrations are combined, and the mass points Y and Z move clockwise from the time t4.

【0014】時間t6からt9に変化するにしたがっ
て、上述の原理と同様に屈曲振動及び縦振動が発生し、
その結果、右図に示すように質点Y及びZが右回りに移
動し、楕円運動をする。以上の原理により、この超音波
モータは、駆動力取り出し部1aと1bとの先端に楕円
運動を発生させ、駆動力を発生させる構成になってい
る。
As the time changes from t6 to t9, bending vibration and longitudinal vibration are generated similarly to the above-mentioned principle,
As a result, as shown in the right figure, the mass points Y and Z move clockwise and make an elliptic motion. Based on the above principle, this ultrasonic motor is configured to generate an elliptic motion at the tips of the driving force extracting portions 1a and 1b to generate the driving force.

【0015】[0015]

【実施例】図1は、本発明の第1実施例の超音波駆動に
よるモータ10を示したものである。モータ10は、2
つの円盤形状の弾性体10a、10bを有している。こ
の2つの弾性体10a、10b間は、円盤形状の弾性体
10a、10bの断面関より小さな連結部10cで結ば
れている。この連結部10cの断面形状は円形状(楕円
も含む)であってもよいし4角形状等の多角形であって
もよい(後述する図3を参照)。これら弾性体と連結部
はステンレス、インバー材などの硬質金属を使用する。
このようなモータ10は、2つの弾性体10a、10b
に連結部10cを溶接して製作してもよいし、円柱部材
から削りだしてもよい。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS FIG. 1 shows an ultrasonically driven motor 10 according to a first embodiment of the present invention. The motor 10 is 2
It has two disk-shaped elastic bodies 10a and 10b. The two elastic bodies 10a and 10b are connected by a connecting portion 10c which is smaller than the cross section of the disk-shaped elastic bodies 10a and 10b. The cross-sectional shape of the connecting portion 10c may be a circular shape (including an ellipse) or a polygonal shape such as a quadrangular shape (see FIG. 3 described later). Hard metal such as stainless steel or Invar material is used for the elastic body and the connecting portion.
Such a motor 10 has two elastic bodies 10a and 10b.
The connecting portion 10c may be manufactured by welding or may be cut out from a cylindrical member.

【0016】連結部10cの表面には2つの圧電材(例
えば、PZT)15が貼り付けられている。2つの圧電
材15には、図6、7で説明した高周波電圧A及びBが
入力される。図2は、モータ10が円管50内を走行す
る様子を示したものである。図2(a)は、モータ10の
進行方向側から見たようすを示し、図2(b)は、モータ
10の進行方向と直交する側から見たようすを示してい
る。
Two piezoelectric materials (for example, PZT) 15 are attached to the surface of the connecting portion 10c. The high frequency voltages A and B described in FIGS. 6 and 7 are input to the two piezoelectric materials 15. FIG. 2 shows how the motor 10 travels in the circular pipe 50. FIG. 2A shows the view seen from the traveling direction side of the motor 10, and FIG. 2B shows the view seen from the side orthogonal to the traveling direction of the motor 10.

【0017】圧電体15に高周波電圧A及びBを供給す
ると、円盤部10a、10bの外周部が、複合振動すな
わち、進行方向に振幅し半径方向に伸縮するので、モー
タ10は走行する。第1実施例のモータ10では、弾性
体10a、10bがほぼ円形状になっており且つこれら
の中心に連結部10cが形成されているため、進行方向
と直交する方向に自由に回転することができる。そのた
め、円管50内でいろいろな方向に傾いていても、傾き
具合にしたがって回転でき、いつもその円管50の内周
面と円盤部10a、10bの外周面とが接触するように
なる。したがって、円管50が縦横無尽にくねっている
場合であっても走行することができる。
When the high frequency voltages A and B are supplied to the piezoelectric body 15, the outer peripheral portions of the disk portions 10a, 10b vibrate in the traveling direction and expand or contract in the radial direction, so that the motor 10 runs. In the motor 10 of the first embodiment, since the elastic bodies 10a and 10b are substantially circular and the connecting portion 10c is formed at the center thereof, they can freely rotate in the direction orthogonal to the traveling direction. it can. Therefore, even if the circular pipe 50 is tilted in various directions, the circular pipe 50 can be rotated according to the degree of inclination, and the inner peripheral surface of the circular pipe 50 and the outer peripheral surfaces of the disk portions 10a and 10b always come into contact with each other. Therefore, even when the circular pipe 50 is inexhaustibly twisted vertically and horizontally, it can travel.

【0018】一方、モータ10は円管50内をいろいろ
な方向に動けるために、モータ10の円盤部10a、1
0bの外周すべてが、円管50の内周面と接触すること
になる。このため、圧電体15に高周波電圧AおよびB
を供給するための電源コードをいかに処理するかの問題
が生じる。この問題を解決するために、円盤形状の弾性
体10a、10bの一部に孔部10dを設けておく。ま
た、連結部10cも管形状にする。そして、孔部10d
から圧電体15に電源コード16を通して、高周波電圧
AおよびBを供給する。
On the other hand, since the motor 10 can move in various directions inside the circular pipe 50, the disk portions 10a, 1a of the motor 10 are
The entire outer circumference of 0b comes into contact with the inner circumferential surface of the circular pipe 50. Therefore, high frequency voltages A and B are applied to the piezoelectric body 15.
There is a problem of how to handle the power cord for supplying power. In order to solve this problem, holes 10d are provided in a part of the disk-shaped elastic bodies 10a and 10b. Further, the connecting portion 10c also has a tubular shape. And the hole 10d
The high frequency voltages A and B are supplied to the piezoelectric body 15 through the power cord 16.

【0019】図3に、連結部10cの断面図を示す。図
3(a),(b)は、連結部10cの断面が四角形状の
管の場合である。図3(c),(d)は、連結部10c
の断面が円形状の管の場合を示している。連結部10c
には、管の内側から外側への貫通する貫通孔部10eが
設けられている。したがって、電源コード16は、孔部
10dから連結部10cの管内を通って圧電体15に繋
がっている。なお、図3では、圧電体15が貫通孔部1
0eを覆うように接合しているが、必ずしも貫通孔部1
0eを覆って接合する必要はない。
FIG. 3 shows a sectional view of the connecting portion 10c. 3A and 3B show the case where the connecting portion 10c is a tube having a quadrangular cross section. 3C and 3D show the connecting portion 10c.
Shows the case of a tube having a circular cross section. Connecting part 10c
Is provided with a through hole portion 10e penetrating from the inside to the outside of the pipe. Therefore, the power cord 16 is connected to the piezoelectric body 15 from the hole 10d through the inside of the pipe of the connecting portion 10c. In addition, in FIG. 3, the piezoelectric body 15 corresponds to the through-hole portion 1.
Although it is bonded so as to cover 0e, the through hole 1
It is not necessary to cover and bond 0e.

【0020】図4は、第2実施例の超音波駆動によるモ
ータ20を示したものである。第1実施例と同じ部分に
ついては、同一符号を付している。第1実施例では、弾
性体が円盤形状であったが、第2実施例では、弾性体が
トンネル型20a、20bで構成されている。これは、
モータ20が円管50内のみを移動するのでなく、平ら
な面上を移動させたいこともあるので、両方の場合に兼
用できるようにするものである。なお、連結部20c
は、トンネル型弾性体20a、20bの重心より上に形
成させる必要がある。さもなけば、円管50内で角部が
下になってしまうからである。
FIG. 4 shows a motor 20 driven by ultrasonic waves according to the second embodiment. The same parts as those in the first embodiment are designated by the same reference numerals. In the first embodiment, the elastic body has a disk shape, but in the second embodiment, the elastic body is composed of tunnel types 20a and 20b. this is,
Since it is sometimes desired that the motor 20 not only move in the circular tube 50 but also move on a flat surface, it can be used in both cases. The connecting portion 20c
Must be formed above the center of gravity of the tunnel-type elastic bodies 20a and 20b. Otherwise, the corner will be down in the circular tube 50.

【0021】図5は、第1、2実施例のモータ10、2
0の弾性体10aの外周部の複合振動(楕円運動)の変
位量を大きくするために、弾性部10a、20aの剛性
を小さくしたものである。すなわち、弾性部10a、2
0aの外周付近に貫通孔を設けている。また、図6は、
第1実施例のモータ10の弾性部10aが、弾性体の中
心から外周へいくに従い、弾性体の幅を狭くしたもので
ある。このようにすることでも複合振動(楕円運動)の
変位量を大きくすることができ、移動速度を早くするこ
とができる。
FIG. 5 shows the motors 10 and 2 of the first and second embodiments.
In order to increase the displacement amount of the composite vibration (elliptic motion) of the outer peripheral portion of the elastic body 10a of 0, the rigidity of the elastic portions 10a and 20a is reduced. That is, the elastic portions 10a, 2
A through hole is provided near the outer periphery of 0a. In addition, FIG.
The elastic portion 10a of the motor 10 of the first embodiment is such that the width of the elastic body becomes narrower from the center of the elastic body to the outer periphery. This also makes it possible to increase the amount of displacement of the composite vibration (elliptic movement) and increase the moving speed.

【0022】[0022]

【効果】請求項1の超音波モータによれば、弾性体の外
周部に円形状の部分を有するため、円管内を走行するこ
とができる。請求項2〜4の超音波モータによれば、圧
電体に供給する高周波電圧用のケーブルが、走行時にじ
ゃまになることはない。
According to the ultrasonic motor of the first aspect, since the elastic body has the circular portion on the outer peripheral portion, the ultrasonic motor can travel in the circular pipe. According to the ultrasonic motors of claims 2 to 4, the cable for high-frequency voltage supplied to the piezoelectric body does not interfere with traveling.

【0023】請求項5の超音波モータによれば、弾性体
の複合振動が大きくなるため、振動効率があがり、超音
波モータの移動速度が速くなる。
According to the ultrasonic motor of the fifth aspect, since the composite vibration of the elastic body is increased, the vibration efficiency is improved and the moving speed of the ultrasonic motor is increased.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】第1実施例の超音波モータの斜視図である。FIG. 1 is a perspective view of an ultrasonic motor according to a first embodiment.

【図2】第1実施例の超音波モータが円管内を走行する
場合の概略図である。
FIG. 2 is a schematic diagram when the ultrasonic motor of the first embodiment travels in a circular pipe.

【図3】第1実施例の超音波モータの連結部の拡大図で
ある。
FIG. 3 is an enlarged view of a connecting portion of the ultrasonic motor according to the first embodiment.

【図4】第2実施例の超音波モータの斜視図である。FIG. 4 is a perspective view of an ultrasonic motor according to a second embodiment.

【図5】弾性体の複合振動の効率をあげるための概念図
である。
FIG. 5 is a conceptual diagram for increasing the efficiency of composite vibration of an elastic body.

【図6】弾性体の複合振動の効率をあげるための概念図
である。
FIG. 6 is a conceptual diagram for increasing the efficiency of composite vibration of an elastic body.

【図7】異形縮退縦L1−屈曲B4モードの動作説明図
である。
FIG. 7 is an explanatory diagram of an operation in a modified degenerate vertical L1-bending B4 mode.

【図8】異形縮退縦L1−屈曲B4モードの平板モータ
を示した図である。
FIG. 8 is a view showing a flat motor in a modified degenerate vertical L1-bending B4 mode.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10、20 超音波モータ 15 圧電体 10a、20a 弾性体 10c、20c 連結部 10, 20 Ultrasonic motor 15 Piezoelectric body 10a, 20a Elastic body 10c, 20c Connection part

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 縦振動モードと屈曲振動モードとによっ
て生じる複合振動により相対移動が可能な超音波モータ
において、 前記複合振動が先端部で発生する円形状部分を有する2
つの弾性体と、 前記2つの弾性体と結合する連結部と前記連結部に接合
され、高周波信号の供給が供給されることにより機械的
振動を発生する2つの圧電体と、 を有することを特徴とする超音波モータ。
1. An ultrasonic motor capable of relative movement by a composite vibration generated by a longitudinal vibration mode and a bending vibration mode, wherein the composite vibration has a circular portion generated at a tip portion.
One elastic body, and two piezoelectric bodies that are connected to the two elastic bodies and that are joined to the connection portion and that generate mechanical vibration by being supplied with a high-frequency signal. And ultrasonic motor.
【請求項2】 前記弾性体の一部には孔部が形成されて
いることを特徴とする請求項1に記載の超音波モータ。
2. The ultrasonic motor according to claim 1, wherein a hole is formed in a part of the elastic body.
【請求項3】 前記連結部は、中空部が形成されている
ことを特徴とする請求項1ないし請求項2に記載の超音
波モータ。
3. The ultrasonic motor according to claim 1, wherein the connecting portion has a hollow portion.
【請求項4】 前記連結部の外面と前記中空部とが繋が
るように貫通孔が形成されていることを特徴とする請求
項3に記載のリニア型超音波モータ。
4. The linear ultrasonic motor according to claim 3, wherein a through hole is formed so that an outer surface of the connecting portion and the hollow portion are connected to each other.
【請求項5】 前記弾性体は、該弾性体の中央部から外
周部に至るにしたがい、剛性が小さくなることを特徴と
する請求項1に記載のリニア型超音波モータ。
5. The linear ultrasonic motor according to claim 1, wherein the elastic body becomes less rigid as it goes from the central portion to the outer peripheral portion of the elastic body.
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