JPH0871910A - ワイヤソー装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 張力低減機構の構成を簡単にすることができ
るとともに、張力低減機構のローラが早期に磨耗するお
それを防止することができるワイヤソー装置を提供す
る。 【構成】 ワイヤ６の繰出しリール１２及び巻取リール
１３と張力付与機構１５との間に、ワイヤ６の張力低減
機構１８を配設する。その張力低減機構１８には、ワイ
ヤ６を周回させて案内するためのガイドローラ１２０
と、そのガイドローラ１２０をワイヤ６の走行方向へ回
転させるために、ワイヤ６の走行速度よりも速い速度で
回転する回転軸１０５，１０８とを設ける。その回転軸
１０５，１０８とガイドローラ１２０との間には滑りク
ラッチ１２１を介装する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、例えば半導体材料、
磁性材料、セラミック等の脆性材料をワイヤにより切断
するワイヤソー装置に係るものである。

【０００２】

【従来の技術】一般に、この種のワイヤソー装置におい
ては、繰出しリールから繰り出された切断用ワイヤが、
切断機構の複数の支持ローラ間に所定ピッチで周回支持
された後、巻取りリールに巻き取られる。また、繰出し
及び巻取りの各リールと、支持ローラとの間には張力付
与機構が配設され、支持ローラ間のワイヤに所定の張力
が付与される。そして、支持ローラ間のワイヤに砥粒を
含むスラリーが供給されながら、そのワイヤにワークが
押し付けられ、ラッピング作用によってワークが切断さ
れる。

【０００３】このワイヤソー装置においては、張力付与
機構によりワイヤに付与される張力が、繰出しリール及
び巻取りリール側にも伝達される。そのため、特に巻取
りリール側においては、その巻取りリールが破損するお
それがある。すなわち、ワイヤが巻取りリールに高張力
で巻取られるため、巻取りリールにすでに巻取られてい
るワイヤ間にワイヤの後続部分がくさび状に、かつ連続
的に食い込む。そして、その食い込み力によりリール両
端のフランジの内面が強圧され、そのフランジ部分が破
壊される。

【０００４】これを防止するためには、フランジ部分を
厚肉にするなどして、同部分の強度を高めることが考え
られるが、このようにすると、リールの質量が増大し
て、リールのイナーシャが大きくなり、リールの巻径に
応じて、リールの回転速度を調節する場合などに障害が
生じる。また、巻取りリールに対するワイヤの巻取りが
終了すると、その巻取りリールは繰出し側のリールとし
て使用される。この場合、くさび状に食い込んだワイヤ
は、リールから繰出されるとき、食い込み状態が瞬間的
に解除され、これによってワイヤに大きな張力変動が生
じ、切断動作に悪影響が与えられる。

【０００５】以上の問題に対処するために、従来、例え
ば特公平４−２６９７８号公報において、切断機構と巻
取りリールとの間の位置にてワイヤが主ローラと副ロー
ラとの間に複数回巻き付けられるようにした構成が提案
されている。この構成は、主副両ローラに対してワイヤ
の巻付けを複数回行うことによって、切断機構と巻取り
リールとの間の張力の伝達を遮断し、いわば張力の縁を
切って、巻取りリール側に伝達されるワイヤの張力が低
減されるようになっている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】ところが、この従来の
ワイヤソー装置においては、主ローラ及び副ローラの外
に、それらのローラを回転させるための駆動モータや、
張力調節のために駆動モータの回転数を調節するための
制御装置が必要となり、張力低減機構の構成が複雑にな
るという問題があった。

【０００７】また、この従来の切断装置においては、両
ローラが巻取りリールと切断機構との間の張力の縁を切
る作用を果たすため、両ローラには切断機構におけるワ
イヤの高張力が直接付与される。従って、その両ローラ
は早期に摩耗する欠陥があった。特に、主ローラは駆動
モータによって回転されるため、ワイヤとの間に滑りが
生じやすく、摩耗が激しいという問題もあった。

【０００８】この発明は、このような従来の技術に存在
する問題点に着目してなされたものである。その目的と
するところは、張力低減機構の構成を簡単にすることが
できるとともに、張力低減機構のローラが早期に摩耗す
るおそれを防止することができるワイヤソー装置を提供
することにある。また、他の目的は、ローラを片持ち支
持することにより、ワイヤ巻き等の作業性を向上させる
ことができるとともに、装置の簡略化に寄与できるワイ
ヤソー装置を提供することにある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、請求項１の発明においては、切断用ワイヤを走行
させるためのワイヤ走行機構と、ワイヤの走行域に配置
され、ワイヤを所定ピッチで周回支持するための複数本
の溝を形成した複数のメインローラを備えた切断機構
と、切断機構を通過したワイヤが巻き取られる巻取りリ
ールと、その巻取りリールと前記切断機構との間に配置
され、切断機構中に位置するワイヤに所定の張力を付与
するためのワイヤの張力付与機構と、そのワイヤ張力付
与機構と巻取りリールとの間に配設され、巻取りリール
に巻取られるワイヤの張力を低減するためのワイヤの張
力低減機構とを備えたワイヤソー装置において、前記張
力低減機構は、ワイヤを案内するためのガイドローラ
と、そのガイドローラに対して、ワイヤの走行速度より
も速い速度の回転力を付与する回転軸と、その回転軸と
ガイドローラとの間に介装された滑りクラッチとから構
成した。

【００１０】請求項２の発明においては、滑りクラッチ
は、回転軸側及びガイドローラ側の一方に設けられた磁
石と、その磁石と対向して他方に設けられた磁性体とを
含む。

【００１１】請求項３の発明においては、磁石と磁性体
との間には若干の間隙が設けられている。請求項４の発
明においては、磁石は永久磁石である。

【００１２】請求項５の発明においては、磁石は磁性体
を挟むように配置された一対のものであり、両磁石の間
にはヨークが設けられている。請求項６においては、切
断機構の複数のメインローラは、その両端部がそれぞれ
第１，第２の軸受体に回転自在に支持され、第１の軸受
体は固定部に支持されるとともに、第２の軸受体は固定
部に対し着脱自在な支持板を介して支持され、第２の軸
受体と固定部から前記支持板を取外すことにより、メイ
ンローラ群の他端側の周囲が開放されるとともに、各メ
インローラが一端側において片持ち状に支持されてい
る。

【００１３】請求項７においては、複数のメインローラ
の各第２の軸受体が一枚の取付板に一体的に連結され、
この取付板が前記支持板に取付けられている。

【００１４】

【作用】請求項１の発明においては、切断機構のメイン
ローラ間において、ワイヤが繰出しリール側から巻取り
リール側に走行されながら、そのワイヤにワークが押し
付けられて、ワークの切断が行われる。このとき、ガイ
ドローラにワイヤの走行速度よりも速い速度の回転力が
付与され、滑りクラッチを介してガイドローラが走行方
向に回転される。

【００１５】請求項２の発明においては、磁石と磁性体
との間の磁力により、滑りクラッチは所定の伝達トルク
をもって回転の伝達を行う。請求項３の発明において
は、磁石と磁性体との接触を回避できる。

【００１６】請求項４の発明においては、回転の伝達の
ための可動部品などが不要になる。請求項５の発明にお
いては、回転伝達のための磁気回路が有効に形成され
る。請求項６の発明においては、支持板を取外すことに
より、各メインローラを所定の位置に保持した状態で、
メインローラ群の他端側の開放部を介してメインローラ
に対するワイヤの巻回等の作業を容易に行うことができ
る。

【００１７】請求項７の発明においては、支持板を取外
した片持ち状態においても、取付板により各ローラ間の
位置関係を正確に保持できる。また、支持板の組付け及
び取外しに際しては、その作業が容易である。

【００１８】

【実施例】以下、この発明を具体化したワイヤソー装置
の一実施例を、図面に基づいて説明する。 （ワイヤソー装置の全体構成）図２及び図３に示すよう
に、基台１は床面上に設置され、その上面には第１〜第
３の機構フレーム２，３，４が立設されている。切断機
構５は第１機構フレーム２上に装設され、鋼線よりなる
切断用ワイヤ６を所定ピッチで多数回周回支持するため
の一対のメインローラとしての駆動溝ローラ７と溝ロー
ラ８を備えている。ワーク支持機構９は第２機構フレー
ム３に垂直方向へ移動可能に支持され、その下部には複
数のワーク１０が取り外し可能に取り付けられる。

【００１９】そして、ワイヤ６が切断機構５の両溝ロー
ラ７，８間で一方向に走行されながら、ワーク１０を支
持したワーク支持機構９が切断機構５に向かって下降さ
れる。このとき、ワーク支持機構９から溝ローラ７，８
間のワイヤ６上へ砥粒を含むスラリが供給されるととも
に、そのワイヤ６に対しワーク１０が上方から押し付け
られ、ラッピング作用によってワーク１０が多数枚の薄
片となるように切断される。

【００２０】リール機構１１は前記第３機構フレーム４
上に装設され、ワイヤ６を繰り出すための繰出しリール
１２と、ワイヤ６を巻き取るための巻取りリール１３と
を備えている。ワイヤのトラバース機構１４はリール機
構１１に隣接して、第３機構フレーム３上に装設され、
繰出しリール１２からのワイヤ６の繰出し及び巻取りリ
ール１３へのワイヤ６の巻取りを案内する。

【００２１】そして、前記両リール１２，１３の回転に
より、繰出しリール１２から後述の各種ガイドローラな
どを経て切断機構５へワイヤ６が繰り出されるととも
に、切断終了後のワイヤ６が巻取りリール１３に巻き取
られる。また、繰出しリール１２上のワイヤ６が、切断
機構５を経て巻取りリール１３に設定量巻き取られたと
き、両リール１２，１３の回転方向が切り換えられて、
リール１２，１３の繰出し機能及び巻取り機能が反転さ
れる。

【００２２】ワイヤの張力付与機構１５は前記リール機
構１１と切断機構５との間に位置するように、第２機構
フレーム３上に装設されている。複数のガイドローラ１
６，１７は張力付与機構１５と切断機構５との間におい
て、ワイヤ６の往復経路内にそれぞれ位置するように、
第２機構フレーム３の外面に回転可能に支持されてい
る。そして、前記張力付与機構１５により各ガイドロー
ラ１６，１７を介して、溝ローラ７，８間のワイヤ６に
所定の張力が付与される。

【００２３】ワイヤの張力低減機構１８は前記巻取りリ
ール１３と張力付与機構１５との間に位置するように、
第２機構フレーム３上に装設され、ワイヤ６を案内する
ための一対のガイドローラ１９，２０を備えている。そ
して、この張力低減機構１８によって、張力付与機構１
５から巻取りリール１３との間のワイヤ６の張力が低減
される。

【００２４】制御手段を構成する制御装置２１は前記基
台１の後方に近接して配置され、その前面には各種の操
作キーや表示ランプ等を備えた制御パネル２２が取り付
けられている。検出機構２３は、リール機構１１と、前
記ガイドローラ１６，１７，１９，２０を含む各種ガイ
ドローラとに関連して装備されている。そして、ワイヤ
６が地絡したとき、及びローラの外周溝が摩耗したとき
には、この検出機構２３によりその状態が検出されて、
制御装置２１の制御パネル２２上に表示される。

【００２５】次に、前述した各機構について、それらの
詳細構成を順に説明する。 （リール機構１１）図４、図６及び図８に示すように、
回転方向及び回転速度を変更可能な一対のモータ３１，
３２は前記第３機構フレーム４に装着され、その上面に
はモータ軸３１ａ，３２ａが突設されている。鉄等の導
電性金属材料よりなる回転軸３３は各モータ３１，３２
に対応するように、複数の軸受３４を介してフレーム４
内に回転可能に支持され、それらの上端には大径部３３
ａが一体形成されている。カップリング３５はモータ軸
３１ａ，３２ａを各回転軸３３に連結するように、それ
らの間に取り付けられている。

【００２６】前記繰出しリール１２及び巻取りリール１
３は鉄等の導電性金属材料により形成され、ドライブピ
ン３６により各回転軸３３の大径部３３ａ上に位置決め
された状態で、ネジ３７により大径部３３ａに締め付け
固定されている。合成樹脂等の絶縁材料よりなるスペー
サ３８，３９は、軸受３４とフレーム４との間及び大径
部３３ａとフレーム４との間にそれぞれ介装され、回転
軸３３をフレーム４に対して電気的に絶縁している。ま
た、前記カップリング３５も絶縁材料により形成され、
回転軸３３をモータ軸３１ａ，３２ａに対して電気的に
絶縁している。

【００２７】そして、この切断装置の運転時には、モー
タ３１，３２が制御装置２１により回転方向及び回転速
度を制御されながら回転される。そして、モータ３１，
３２により繰出しリール１２及び巻取リール１３が図８
の時計方向に回転されたときには、ワイヤ６が繰出しリ
ール１２から繰り出されるとともに、巻取りリール１３
に巻き取られる。一方、両モータ３１，３２が同図の反
時計方向に回転されたときには、リール１２，１３の繰
出し機能及び巻取り機能が前記の場合と逆になって、ワ
イヤ６の走行方向が反転される。

【００２８】また、演算プログラムにより両リール３
１，３２のワイヤ繰り出し量が算出され、繰出しリール
１２上のワイヤ６が設定量繰り出された時に、両リール
３１，３２の回転方向の反転が行われる。さらに、ワイ
ヤ６が同一速度で両リール１２，１３間を走行されるよ
うに、両リール１２，１３の巻径の変化にともないモー
タ３１，３２の回転速度がそれぞれ制御される。 （検出機構２３）図４及び図５に示すように、端子４１
は前記各回転軸３３の下部軸受３４にそれぞれ接触して
配置されている。第１検出回路４２は両端子４１間に接
続され、この検出回路４２内には電源４３が接続されて
いる。表示ランプ４４は前記制御パネル２２上に配置さ
れている。そして、通常は第１検出回路４２の電源４３
から、回転軸３３及び両リール１２，１３を介してワイ
ヤ６に検出電流が与えられている。この状態でワイヤ６
が何らかの原因により機体に接触すると、検出電流が微
弱となり、それに基づき制御装置２１が表示ランプ４４
を点灯させ、ワイヤ６の地絡状態が表示される。

【００２９】前記ガイドローラ１６，１７，１９，２０
を含む各種ガイドローラは合成樹脂等の絶縁材料で形成
され、それらの外周面にはワイヤ６を案内するために溝
が形成されている。各ガイドローラ１６，１７，１９，
２０の支軸４５は鉄等の導電性金属材料で形成され、フ
レームに対してそれぞれ絶縁状態に支持されている。接
触片４５ａは各支軸４５に突設されている。第２検出回
路４６は各支軸４５と第１検出回路４２との間に接続さ
れている。多数の表示ランプ４７は各ガイドローラと対
応して前記制御パネル２２上に配置されている。

【００３０】そして、１つのガイドローラの外周溝が摩
耗して、ワイヤ６が支軸４５の接触片４５ａに接触した
ときには、該当する第２検出回路４６の表示ランプ４７
が点灯されて、ローラの摩耗状態が表示される。また、
１つのガイドローラを新しいものと交換した後に所定時
間使用したときには、制御装置２１内のカウンタ（図示
しない）によるガイドローラの回転数の積算及びＣＰＵ
内部クロックの積算に基づいて、表示ランプ４７が点灯
されて、ローラの交換時期が表示される。 （トラバース機構１４）図６〜図８に示すように、一対
の取付板５１は前記第３機構フレーム４上に所定間隔を
おいて立設され、この両取付板５１間には上下一対の回
転軸５２，５３が回転可能に支持されている。回転方向
及び回転速度の変更可能な一対のモータ５４，５５は後
部取付板５１の外面に装着され、それらのモータ軸がカ
ップリング５６を介して回転軸５２，５３にそれぞれ連
結されている。

【００３１】一対の上部駆動スプロケット５７は前記上
部回転軸５２に所定間隔をおいて固定されている。一対
の下部従動スプロケット５８は上部駆動スプロケット５
７と対応するように、下部回転軸５３上に軸受５９を介
して回転可能に支持され、各従動スプロケット５８と駆
動スプロケット５７との間にはチェーン６０がそれぞれ
掛装されている。

【００３２】一対の下部駆動スプロケット６１は前記下
部回転軸５３に所定間隔をおいて固定されている。一対
の上部従動スプロケット６２は下部駆動スプロケット６
１と対応するように、上部回転軸５２上に軸受６３を介
して回転可能に支持され、各従動スプロケット６２と駆
動スプロケット６１との間にはチェーン６４がそれぞれ
掛装されている。

【００３３】一対の移動体６５，６６は前記各対のチェ
ーン６０，６４の途中に支持され、それらのチェーン６
０，６４の回転により、繰出しリール１２及び巻取りリ
ール１３の外周面に沿って各リール１２，１３の長手方
向へ往復移動される。横ガイドローラ６７は各移動体６
５，６６の下面に垂直軸線の周りで回転可能に支持さ
れ、繰出しリール１２から繰り出されるワイヤ６及び巻
取りリール１３に巻き取られるワイヤ６がほぼ水平方向
に走行するように規制する。縦ガイドローラ６８は各移
動体６５，６６の側面に水平軸線の周りで回転可能に支
持され、前記ワイヤ６が上下方向に走行するように規制
する。

【００３４】各一対のタッチローラ６９，７０は上下方
向へ所定の微小間隙をおいて隣接配置されるように、前
記各移動体６５，６６に回転可能に支持され、このタッ
チローラ６９，７０間の間隙中にワイヤ６が挿通されて
いる。センサとしてのエンコーダ７１，７２は各タッチ
ローラ６９，７０の回転軸に連結され、タッチローラ６
９，７０がワイヤ６との接触によって回転されときに検
出信号を出力する。多数のフィン７３は各タッチローラ
６９，７０の軸端にそれぞれ放射状に突設され、タッチ
ローラ６９，７０がワイヤ６との接触により回転された
とき、空気抵抗を生じさせてタッチローラ６９，７０に
制動力を付与する。これにより、ワイヤ６がタッチロー
ラ６９，７０から離間すると、そのタッチローラ６９，
７０がただちに停止される。

【００３５】前記のように構成されたトラバース機構１
４においては、装置の運転時に前記各モータ５４，５５
が、繰出しリール１２及び巻取リール１３上のワイヤ６
の巻径と、ワイヤ６の走行速度とに応じて適宜の速度で
回転される。

【００３６】そして、上部モータ５４により上部回転軸
５２が回転され、スプロケット５７，５８及びチェーン
６０を介して、後部移動体６５が垂直方向に往復移動さ
れる。これにより、ワイヤ６が繰出しリール１２上から
長手方向にトラバースされながら繰り出される。また、
下部モータ５５により下部回転軸５３が回転され、スプ
ロケット６１，６２及びチェーン６４を介して前部移動
体６６が垂直方向に往復移動される。これにより、ワイ
ヤ６が巻取ローラ１３上に長手方向へトラバースされな
がら巻き取られる。

【００３７】このようにワイヤ６がトラバースされなが
ら繰り出しまたは巻き取られるとき、トラバース速度が
速かったり遅かったりすると、ワイヤ６がタッチローラ
６９あるいは７０に接触して、それらのタッチローラ６
９，７０の一方が回転される。すなわち、トラバース機
構１４によるトラバース速度が速い場合には、移動体６
５，６６の移動方向の後方側に位置するタッチローラ６
９，７０のいずれかが回転され、トラバース速度が遅い
場合には、移動方向の前方側に位置するもう一方のタッ
チローラ６９あるいは７０が回転される。

【００３８】このようにタッチローラ６９，７０が回転
されると、エンコーダ７１，７２から制御装置２１に検
出信号が出力される。そして、この検出信号に基づいて
制御装置２１の制御により、モータ５４，５５の回転速
度が調節され、移動体６５，６６の移動速度が変更され
て、ワイヤ６のトラバース速度が修正される。すなわ
ち、移動体６５，６６の移動方向の前方側のタッチロー
ラに取付けられたエンコーダ７１あるいは７２から検出
信号が出力されたときには、トラバース速度が遅くされ
る。一方、移動体６５，６６の移動方向の後方側のタッ
チローラに取付けられたエンコーダ７１あるいは７２か
ら検出信号が出力されたときには、トラバース速度が速
くされる。

【００３９】ワイヤ６が前記タッチローラ６９，７０か
ら離間すると、フィン７３の制動力によりタッチローラ
６９，７０はただちに停止される。また、このようにタ
ッチローラ６９，７０の制動をフィン７３が果たすた
め、タッチローラ６９，７０の起動に際しては、その起
動に抗する抵抗がほとんど作用しない。このため、タッ
チローラ６９，７０はワイヤ６の接触，離間にただちに
感応して回転，停止する。従って、ワイヤ６の状態に応
じてトラバース運動を正確に行うことができ、繰出しリ
ール１２からの繰出しを無理なく行うことができるとと
もに、巻取りリール１３に対してワイヤ巻回を正確に行
うことができる。

【００４０】前述したワイヤのトラバース機構１４の実
施例から把握できる請求項以外の技術的思想を、その効
果とともに記載する。 （１） 切断用ワイヤを繰り出すための繰出しリール及
びワイヤを巻き取るための巻取リールと、その両リール
にそれぞれ対向して配設され、繰出しリールからのワイ
ヤの繰出し及び巻取リールへのワイヤの巻取を案内する
ワイヤのトラバース機構と、前記トラバース機構は、繰
出しリール及び巻取りリールの外周に沿って長手方向へ
往復移動される移動体と、ワイヤを挟んでトラバース方
向の両側方に近接位置するように、移動体上に回転可能
に支持された一対のタッチローラと、各タッチローラに
連結され、タッチローラがワイヤとの接触により回転さ
れときに検出信号を出力するセンサと、各センサから検
出信号が出力されたとき、移動体の移動速度を変更する
制御手段とから構成したワイヤソー装置。

【００４１】このように構成すれば、ワイヤの実際の繰
出し状態及び巻取り状態に応じて、的確なトラバース速
度を設定することができる。 （張力付与機構１５）図９〜図１１に示すように、一対
のハウジング８１は前記第２機構フレーム３の同一軸線
上で所定間隔をおいて配置されている。一対の回動軸８
２，８３は各ハウジング８１内に軸受８４を介して回動
可能に支持され、それらの先端には回動アーム８５，８
６が固定されている。支軸８７は各回動アーム８５，８
６の先端前面に突設され、これらの支軸８７にはガイド
ローラ８８が回転可能及び取り外し可能に支持されてい
る。

【００４２】ウェイト８９は後面の係合溝８９ａを前記
各回動アーム８５，８６に係合させることにより、それ
らの回動アーム８５，８６上に長手方向へ移動可能に支
持されている。蝶ネジ９０は各ウェイト８９に螺合さ
れ、この蝶ネジ９０を締め付けることによって、ウェイ
ト８９を回動アーム８５，８６上の所定位置に固定する
ことができる。

【００４３】センサとしてのエンコーダ９１，９２は前
記各回動軸８２，８３に連結され、回動アーム８５，８
６の回動量に応じて検出信号を出力する。そして、前記
制御装置２１は、このエンコーダ９１，９２からの検出
信号に基づいて、ワイヤ６の走行速度を算出し、トラバ
ース機構１４における初期のトラバース速度等を設定す
る。すなわち、ワイヤ６の走行初期においては、ワイヤ
６の弛みが吸収されるため、回動アーム８５，８６がウ
ェイト８９による荷重の作用方向とは反対方向に回動さ
れる。

【００４４】プランジャ９３は前記各回動アーム８５，
８６の基端に移動操作可能に取り付けられている。係合
孔９４は各プランジャ９３と係合可能に対応するよう
に、第２機構フレーム３の前面及び規制板９５の先端に
形成されている。そして、切断の準備作業に際して、ガ
イドローラ８８にワイヤ６を掛けるとき、あるいは回動
アーム８５，８６の原点位置を設定するときには、プラ
ンジャ９３を係合孔９４に係合させて、回動アーム８
５，８６を原点位置にロックすることができる。

【００４５】前記のように構成された張力付与機構１５
においては、装置の運転中にウェイト８９により回動ア
ーム８５，８６に図９の反時計方向に回動力が付与さ
れ、ガイドローラ８８に掛けられたワイヤ６に対して所
定の張力が付与されている。これにより、前記切断機構
５における両溝ローラ７，８間のワイヤ６は、常に緊張
状態に保持される。

【００４６】また、このワイヤ６に付与される張力を変
更する必要がある場合には、蝶ネジ９０を緩めた状態
で、各ウェイト８９を回動アーム８５，８６に沿って長
手方向へ移動させた後、蝶ネジ９０の締め付けにより任
意の位置に固定する。すなわち、ウェイト８９を回動ア
ーム８５，８６の先端側へ移動させれば、ワイヤ６の張
力を増大させることができ、ウェイト８９を回動アーム
８５，８６の基端側へ移動させれば、ワイヤ６の張力を
低減させることができる。

【００４７】次に、前述したワイヤの張力付与機構１５
の実施例から把握できる請求項以外の技術的思想を、そ
の効果とともに記載する。 （１） 切断用ワイヤを繰り出すための繰出しリール及
びワイヤを巻き取るための巻取りリールと、ワイヤを所
定ピッチで周回支持するための複数の溝ローラを備えた
切断機構と、繰出しリール及び及び巻取りリールと切断
機構との間に配設され、溝ローラ間に巻き付けられたワ
イヤに所定の張力を付与するためのワイヤの張力付与機
構とを有するワイヤソー装置において、前記張力付与機
構は、水平軸線の周りで回動可能に支持された回動アー
ムと、ワイヤを案内するために回動アームの先端に支持
されたガイドローラと、回動アーム上に長手方向へ移動
可能に取り付けられたウェイトとから構成したワイヤソ
ー機構。

【００４８】このように構成すれば、ウェイトを回動ア
ームの長手方向に移動させて適宜の位置に固定すること
により、ワイヤに付与される張力を容易に変更すること
ができる。 （張力低減機構１８）図１、図３及び図１２〜図１４に
示すように、駆動軸１０１は前記第２機構フレーム３に
軸受１０２を介して回転可能に支持され、その後端には
プーリ１０３が固定されている。そして、この駆動軸１
０１は後述する切断機構５のモータ１５３により、ベル
ト１０４及びプーリ１０３を介して回転される。

【００４９】第１回転軸１０５は前記駆動軸１０１の前
方において駆動軸１０１と同一軸線上に位置するよう
に、フレーム３に軸受１０６を介して回転可能に支持さ
れ、カップリング１０７を介して駆動軸１０１に連結さ
れている。第２回転軸１０８は第１回転軸１０５の側方
において第１回転軸１０５と平行に延びるように、フレ
ーム３に軸受１０９を介して回転可能に支持されてい
る。駆動プーリ１１０は第１回転軸１０５の一端に固定
され、この駆動プーリ１１０と対応するように、第２回
転軸１０８の他端には従動プーリ１１１が固定されてい
る。

【００５０】案内プーリ１１２は前記従動プーリ１１１
の近傍において、フレーム３に支軸１１３及び軸受１１
４を介して回転可能に支持されている。回動レバー１１
５は支持ピン１１６によりフレーム３に回動可能に取り
付けられ、その先端にはテンションプーリ１１７が回転
可能に支持されている。ベルト１１８は各プーリ１１
０，１１１，１１２，１１７に順に掛装され、このベル
ト１１８を介して第１回転軸１０５及び第２回転軸１０
８が図１において同方向へ回転される。一対のネジ１１
９は回動レバー１１５の長孔１１５ａを介してフレーム
３に螺合され、回動レバー１１５を所定の回動位置に固
定して、ベルト１１８の緊張度合いを調節できるように
なっている。

【００５１】一対のガイドローラ１２０は前記各回転軸
１０５，１０８の端部に相対回転可能及び取り外し可能
に取り付けられ、これらのガイドローラ１２０と回転軸
１０５，１０８との間には滑りクラッチ１２１が介装さ
れている。

【００５２】図１４に示すように、各滑りクラッチ１２
１は、回転軸１０５，１０８に固定されたスリーブ１２
２と、そのスリーブ１２２の外周に突設された磁性材料
よりなる駆動ディスク１２３とを備えている。さらに、
滑りクラッチ１２１は、スリーブ１２２の外周に軸受１
２４を介して回転可能に支持された磁性材料よりなる従
動体１２５と、駆動ディスク１２３の両側面に所定間隙
をおいて対向するように、従動体１２５内に固定された
一対の円板状をなす永久磁石１２６とを備えている。そ
して、従動体１２５は両永久磁石１２６間に位置するヨ
ークを構成し、永久磁石１２６，駆動ディスク１２３及
び従動体１２５により磁気回路が構成されている。

【００５３】従動体１２５の前面には前記ガイドローラ
１２０が、複数のネジ１２７により取付円板１２８を介
して取り外し可能に固定されている。そして、第１回転
軸１０５，第２回転軸１０８が回転されると、永久磁石
１２６の磁気力に基づき所定の伝達トルクを有する滑り
クラッチ１２１を介してガイドローラ１２０が同方向へ
従動回転される。このとき、前記伝達トルク以上の回転
トルクが各ガイドローラ１２０に作用すると、滑りクラ
ッチ１２１には回転方向の滑りが生じる。

【００５４】前記のように構成された張力低減機構１８
においては、装置の運転時に切断機構５のモータ１５３
により、駆動軸１０１及びベルト１１８を含む伝達構成
を介して、両回転軸１０５，１０８がワイヤ６を走行さ
せるための回転速度よりも速い速度でワイヤ６の走行方
向に回転される。このため、両ガイドローラ１２０には
滑りクラッチ１２１を介して両回転軸１０５，１０８の
回転力が付与され、両ガイドローラ１２０の上流側のワ
イヤ６に対して張力が付与されるとともに、両ガイドロ
ーラ１２０の下流側のワイヤ６の張力が低減される。

【００５５】このとき、ワイヤ６には、両ガイドローラ
１２０間で、かつ切断機構５の上流側及び下流側におい
てウェイト８９により張力が付与されている。従って、
巻取りリール１３側のガイドローラ１２０には回転軸１
０５の回転方向とは逆方向の回転トルクが作用する。こ
のため、滑りクラッチ１２１において滑りが生じ、ガイ
ドローラ１２０はワイヤ６の走行速度と同じ周速度で回
転され、ワイヤ６の走行速度に影響を与えることはな
い。滑りクラッチ１２１には、両ガイドローラ１２０の
回転数より高い回転数が常に与えられている。このた
め、両ガイドローラ１２０には回転方向に張力を付与す
ることになる。従って、両ガイドローラ１２０のワイヤ
６の出側の張力がそれぞれ低減される。

【００５６】例えば、図１に示すように、張力付与機構
１５のウェイト８９が、５ｋｇの荷重を有している場合
には、巻取りリール１３側のウェイト８９よりも切断機
構５側のワイヤ６に２．５ｋｇの張力が作用し、同ウェ
イト８９よりも張力低減機構１８側のワイヤ６に２．５
ｋｇの張力が作用する。

【００５７】そして、巻取りリール１３の下流側のワイ
ヤ６の張力は、前記ガイドローラ１２０の滑り回転に伴
うトルクの吸収により低減する。なお、繰出しリール１
２側のガイドローラ１２０に対しても、ワイヤ６の走行
速度よりも速い回転速度が付与されて、繰出しリール１
２から上流のワイヤ６にはウェイト８９による張力以上
の張力が作用し、繰出しリール１２にその張力が作用す
る。ただし、この場合、その張力は繰出しリール１２上
にすでに巻回されているワイヤ６のリールの軸心に作用
するのみで、リール破壊等の問題は生じない。

【００５８】以上のように、張力付与機構１５から巻取
リール１３に伝達されるワイヤ６の張力を低減させるこ
とができる。これにより、ワイヤ６の巻取り側におい
て、巻取リール１３がワイヤ６の高張力の反作用で圧壊
するおそれを防止することができる。しかも、そのため
の構成は、回転軸１０５，１０８とガイドローラ１２０
との間にそれぞれ滑りクラッチを設けただけであるか
ら、構成は極めて簡単である。

【００５９】また、この実施例の張力低減機構１８にお
いては、ワイヤ６と切断機構との間の縁を切る必要がな
いため、ワイヤ６をガイドローラ１２０に巻き付けるこ
となく支持するのみでよい。従って、ガイドローラ１２
０の外周溝とワイヤ６との間に滑りが生じることがな
く、ガイドローラ１２０が早期に摩耗するのを防止する
こともできる。

【００６０】加えて、この実施例においては、滑りクラ
ッチ１２１が永久磁石１２６と磁性体よりなる従動体１
２５により構成されているのみで、動力伝達のための可
動部分や電気配線などが存在せず、構成が簡単で、かつ
故障のおそれもない。しかも、永久磁石１２６と従動体
１２５との間には間隙が形成されて、それらが擦り合う
ことがなく、摩耗による耐久性低下の問題も生じない。
さらに、一対の永久磁石１２６間にはヨーク１２５が設
けられているため、磁気回路が効率的に形成され、永久
磁石１２６の磁力が弱くても、動力伝達を確実に行うこ
とができる。

【００６１】なお、前記張力低減機構は以上の実施例に
限定されるものではなく、以下のような態様で具体化し
てもよい。 （１）繰出し側のガイドローラ１２０がワイヤ走行方向
とは逆方向に回転されるように構成すること。このよう
に構成すれば、繰出しリール１２に作用するワイヤ張力
を低減できる。 （２）従動体１２５を一対にし、永久磁石１２６を両従
動体１２５間に配置すること。 （３）滑りクラッチとして、流体クラッチ、摩擦クラッ
チなどの他の種類のクラッチを使用すること。

【００６２】滑りクラッチ・・・この明細書における滑
りクラッチは、駆動側と従動側とを所定の伝達トルクを
持って連結し、かつ駆動側と従動側との間に滑りが生じ
るものを言う。 （切断機構５）図２、図３及び図１５〜図２０に示すよ
うに、一対の第１軸受体１３１は前記第１機構フレーム
２上に所定間隔をおいて配設されている。各第１軸受体
１３１は外筒１３２と、その外筒１３２内に固定された
軸受筒１３３と、その軸受筒１３３内に複数の軸受１３
４を介して回転可能に支持された第１回転軸１３５とを
備えている。そして、この第１回転軸１３５の外端には
テーパ状の連結凸部１３５ａが形成されている。

【００６３】一対の支持脚１３６は前記各第１軸受体１
３１に対応して基台１上に立設され、それらの上面には
支持板１３７が複数のネジ１３８により取り外し可能に
取着されている。取付板１３９は複数のネジ１４０によ
り両支持板１３７の上端部間に取り外し可能に取着さ
れ、その両端には一対の第２軸受体１４１が配設されて
いる。各第２軸受体１４１は軸受筒１４２と、その軸受
筒１４２内に複数の軸受１４３を介して回転可能に支持
された第２回転軸１４４とを備えている。そして、この
第２回転軸１４４の内端にはテーパ状の連結凸部１４４
ａが形成されている。

【００６４】一対の連結軸１４９は前記各溝ローラ７，
８における内筒１４５の両端に突設され、それらの先端
面にはテーパ状の連結凹部１４９ａが形成されている。
そして、これらの連結凹部１４９ａを回転軸１３５，１
４４の連結凸部１３５ａ，１４４ａに係合させることに
よって、各溝ローラ７，８が回転軸１３５，１４４間に
保持されている。締付ボルト１５０は各第２回転軸１４
４から溝ローラ７，８内を通して第１回転軸１３５に螺
合され、このボルト１５０の締付によって、溝ローラ
７，８が両回転軸１３５，１４４間に取り外し可能に固
定されている。

【００６５】一対の仮置き台１５１は前記第１軸受体１
３１の外筒１３２間及び支持板１３７の上端間にそれぞ
れ架設され、それらの両端上部には各溝ローラ７，８の
両端の連結軸１４９と係合可能に対応するほぼＶ字状の
支持溝１５２が形成されている。そして、前記締付ボル
ト１５０を取り外すとともに、第２軸受体１４１を取付
板１３９と一体的に取り外して、溝ローラ７，８を交換
する際に、溝ローラ７，８を仮置き台１５１の支持溝１
５２間に仮置きすることができる。

【００６６】また、ワイヤ巻掛け時には、各溝ローラ
７，８の他端部から第２軸受体１４１及び取付板１３９
を取外すことなく、ネジ１４０，１３８を取外すことで
両支持板１３７を支持脚１３６と取付板１３９から取外
すことができる。これにより、溝ローラ７，８の他端部
は機構フレームからその周囲が開放され、従ってワイヤ
巻掛けを容易に行うことができる。

【００６７】ワイヤ６の切断時等において、両溝ローラ
７，８間にワイヤ６を新たに巻き付ける必要が生じた場
合には、ネジ１３８を緩めて両支持板１３７を支持脚１
３６上から取り外す。これにより、両溝ローラ７，８の
先端側が大きく開放され、溝ローラ７，８へのワイヤの
巻き付け作業を支障なく容易に行うことができる。

【００６８】モータ１５３は前記溝ローラ７に対応する
ようにフレーム２の後面に装着され、そのモータ軸が駆
動プーリを兼用するカップリング１５４を介して駆動溝
ローラ７の第１回転軸１３５に連結されている。従動プ
ーリ１５５は溝ローラ８の第１回転軸１３５に一対のテ
ーパコロ軸受１５６を介して滑り回転可能に取り付けら
れ、この従動プーリ１５５と駆動プーリ１５４との間に
はベルト１５７が掛装されている。

【００６９】調節手段を構成する調節ナット１５８は前
記テーパコロ軸受１５６に対応して、第１回転軸１３５
の基端ネジ部１５９に螺合されている。そして、この調
節ナット１５８を回動させることにより、テーパコロ軸
受１５６の押圧偏倚状態を変更して、第１回転軸１３５
に対する従動プーリ１５５の伝達駆動力と滑り回転度合
いを調節することができる。

【００７０】従って、切削前のワイヤ掛けの際に両溝ロ
ーラ７，８は小さい回転トルクで同期回転させることが
できる。しかし、切削中において、両溝ローラ７，８間
において、外周溝１４８の摩耗状態が異なっていて、ワ
イヤ６の走行時に各溝ローラ７，８間で微小の回転速度
差が生じる場合でも、その回転速度差が従動プーリ１５
５と第１回転軸１３５との間で、テーパコロ軸受１５６
の滑りにより吸収される。このため、各溝ローラ７，８
間の回転速度差に伴い、ワイヤ６が溝ローラ７，８の外
周溝１４８に沿って滑りを生じながら走行されることは
なく、溝ローラ７，８の外周溝１４８が早期に異常摩耗
するおそれを防止することができる。

【００７１】同様に、各溝ローラ７，８の外周溝１４８
の摩耗状態が使用に従って相対的に変化したり、一方の
溝ローラ７，８の外筒１４６を新しいものと交換して溝
径がそれぞれ異なった場合にも対応できる。オイル循環
通路１６０は前記各第１軸受体１３１の第１回転軸１３
５及び軸受筒１３３に形成されている。そして、図示し
ないオイル供給源から、このオイル循環通路１６０を通
して第１軸受体１３１内の軸受１３４に冷却用オイルが
循環され、軸受１３４が潤滑される。

【００７２】エア供給通路１６１は前記各第１軸受体１
３１の第１回転軸１３５及び軸受筒１３３、各溝ローラ
７，８の内筒１４５、並びに第２軸受体１４１の第２回
転軸１４４に連通して形成されている。また、このエア
供給通路１６１は、第１回転軸１３５の外端と軸受筒１
３３との隙間１６２、及び第２回転軸１４４の両端と軸
受筒１４２との隙間１６３にそれぞれ開口されている。
そして、図示しないエア供給源からエア供給通路１６１
内に供給されるエアが、これらの隙間１６２，１６３か
ら外方に吹き付けられ、両軸受体１３１，１４１内の軸
受１３４，１４３へスラリが侵入するのが防止される。

【００７３】また、この実施例では図１９及び図２０に
示すように、各第１軸受体１３１における外筒１３２の
カップリング１５４側の端面にはその端面を閉塞する蓋
板１６４が嵌着固定されている。また、その外端面には
前記オイル循環通路１６０に接続されたオイル供給孔１
６５ａを有するオイル供給板１６５、前記エア供給通路
１６１に接続されたエア供給孔１６６ａを有するエア供
給板１６６が回り止め状態で取付られている。オイル供
給板１６５及びエア供給板１６６は互いにボルト１７０
で一体に結合されて、第１回転軸１３５の外周に隙間Ｓ
１を介して嵌合されている。両供給板１６５，１６６は
第１回転軸１３５に対し、回転軸受１６７を介して回転
自在に支持されており、この回転軸受１６７は前記隙間
Ｓ１を常に一定に保持している。前記オイル循環通路１
６０とオイル供給孔１６５ａ、エア供給通路１６１とエ
ア供給孔１６６ａとは隙間Ｓ１を介して接続されてい
る。

【００７４】オイル供給板１６５の前記蓋板１６４側に
対向する面には複数の被係合部１６５ｂが形成され、こ
の被係合部１６５ｂに前記蓋板１６４に固定したボルト
等の複数の係合部材１６４ａの係止部が係合されて蓋板
１６４に対しオイル供給板１６５がいずれの方向にも多
少の動きが許容されるように支持されている。そして、
蓋板１６４に対し、オイル供給板１６５の端面及び内嵌
突部１６５ｃとのそれぞれの間にはオイル供給板１６５
の動きを許容する隙間Ｓ２が形成されている。

【００７５】両メインローラ７，８間に巻き付けられた
ワイヤ６の大きな引っ張り力が第１回転軸１３５に作用
すると、第１回転軸１３５は両端の軸受１３４を支点に
撓み、カップリング１５４に近い側の軸受１３４より端
部側においては、ワイヤ６の引っ張り方向と同一方向の
撓みが生じる。このように、各第１回転軸１３５に撓み
が生じた場合でも、オイル供給板１６５とエア供給板１
６６とは軸受１６７によって第１回転軸１３５の外周に
おいて均一の隙間Ｓ１を保持した状態で撓み方向に追従
される。このため、オイル供給板１６５とエア供給板１
６６とが第１回転軸１３５の停止時においても、回転時
においても、第１回転軸１３５に接触するようなことが
全くなく、接触による焼き付きを防止できる。従って、
上記隙間Ｓ１を極力小さく形成することができ、これに
より、隙間Ｓ１からのオイル漏れや異物侵入を防止する
ことができる。加えて、両供給板１６５，１６６の端部
隙間部分においては、第１回転軸１３５の回転時に、隙
間Ｓ１が小さい分、動圧効果が大きく作用するため、隙
間Ｓ１は第１回転軸１３５の全周にわたって常に均一間
隔に保持され、両供給板１６５，１６６と第１回転軸１
３５との接触が確実に防止される。

【００７６】前述した切断機構５の実施例から把握でき
る請求項以外の技術的思想を、その効果とともに記載す
る。 （１） 切断用ワイヤを繰り出すための繰出しリール及
びワイヤを巻き取るための巻取リールと、ワイヤを所定
ピッチで周回支持するための一対のメインローラを備え
た切断機構とよりなるワイヤソー装置において、前記切
断機構には、フレーム上に固定され、各メインローラの
基端部に連結可能な回転軸を支持した第１軸受体と、フ
レーム上に取り外し可能に取着され、各メインローラの
先端部に連結可能な回転軸を支持した第２軸受体と、各
メインローラが両回転軸間に連結された状態で、第２軸
受体の回転軸からメインローラ内を通して第１軸受体の
回転軸に螺合された締付ボルトと、各メインローラの交
換時に、その両端部を下方から支持するように、フレー
ム上に配設された仮置き台とを備えたワイヤソー装置。

【００７７】このように構成すれば、メインローラの外
周溝が摩耗して、新しいメインローラと交換する必要が
ある場合には、フレーム上から第２軸受体を取り外すと
ともに、メインローラを仮置き台上に仮置きした状態
で、メインローラの交換作業を容易に行うことができ
る。

【００７８】（２） 切断用ワイヤを繰り出すための繰
出しリール及びワイヤを巻き取るための巻取リールと、
ワイヤを所定ピッチで周回支持するための複数のメイン
ローラを備えた切断機構とよりなるワイヤソー装置にお
いて、前記切断機構には、１つのメインローラの回転軸
に連結されたモータと、そのメインローラの回転軸に固
定された駆動プーリと、残りのメインローラの回転軸に
テーパコロ軸受を介して滑り回転可能に取り付けられた
従動プーリと、各従動プーリの滑り回転率を調節するた
めの調節手段と、各プーリ間に掛装されたベルトとを備
えたワイヤソー装置。

【００７９】このように構成すれば、複数のメインロー
ラ間において、外周溝の摩耗状態にばらつきがあって、
ワイヤの走行時に各メインローラ間で回転速度差が生じ
る場合でも、その回転速度差が従動プーリと回転軸との
間の滑りによって吸収される。従って、各メインローラ
間の回転速度差に伴い、ワイヤがメインローラの外周溝
に沿って滑りを生じながら走行されることはなく、メイ
ンローラの外周溝の早期摩耗を防止することができる。
しかも、そのための構成は、ローラ支持のためののテー
パコロ軸受を利用し、専用部品を設けたわけではないた
め、構成が簡単である。

【００８０】（３） 切断用ワイヤを繰り出すための繰
出しリール及びワイヤを巻き取るための巻取リールと、
ワイヤを所定ピッチで周回支持するための一対のメイン
ローラを備えた切断機構とよりなるワイヤソー装置にお
いて、前記切断機構には、メインローラの端部に連結可
能な回転軸を支持した軸受体を設け、軸受体の外端面に
はその軸受体内の軸受にオイルを供給するためのオイル
供給孔を有するオイル供給板を、軸受体に対して多少の
動きが許容されるように取り付け、そのオイル供給板を
回転軸の外周面との間に所定の隙間が形成されるよう
に、その回転軸に軸受を介して相対回転可能に支持した
ワイヤソー装置。

【００８１】このように構成すれば、ワイヤの大きな引
っ張り力が回転軸に作用して同回転軸に撓みが生じた場
合でも、オイル供給板が回転軸に接触することがなく、
接触による焼き付きを防止できる。従って、回転軸とオ
イル供給板との間の隙間を極力小さく形成することがで
き、その隙間からのオイル漏れや異物侵入を防止でき
る。

【００８２】

【発明の効果】この発明は、以上説明したように構成さ
れているため以下のような効果を発揮する。請求項１に
おいては、張力低減機構の構成を簡単にすることができ
るとともに、張力低減機構のローラが早期に摩耗するお
それを防止することができる。請求項２及び４において
は、動力伝達のための可動部分や電気配線などが不要で
あって構成が簡単で、かつ故障のおそれもない。

【００８３】請求項３においては、永久磁石と磁性体と
の間には間隙が形成されて、それらが擦り合うことがな
く、摩耗による耐久性低下の問題も生じない。請求項５
においては、さらに、一対の永久磁石間にヨークが設け
られているため、磁気回路が効率的に形成され、永久磁
石の磁力が弱くても、動力伝達を確実に行うことができ
る。

【００８４】請求項６においては、メインローラに対す
るワイヤの巻回等の作業を容易に行うことができる。請
求項７においては、支持板を取外した片持ち状態におい
ても、取付板により各ローラ間の位置関係を正確に保持
することができる。しかも、支持板の組付け及び取外し
における作業を容易に行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 この発明を具体化したワイヤソー装置の一実
施例を示すもので、特にそのワイヤの張力低減機構の概
要を示す展開説明図である。

【図２】 ワイヤソー装置の全体構成を示す正面図であ
る。

【図３】 同じくワイヤソー装置の平面図である。

【図４】 図２のワイヤソー装置において、ワイヤの繰
出し及び巻取り機構を拡大して示す部分破断側面図であ
る。

【図５】 そのワイヤの繰出し及び巻取り機構に関連し
て装備されたワイヤ切断及びローラ摩耗検出機構の電気
回路図である。

【図６】 図２のワイヤソー装置において、ワイヤのト
ラバース機構を拡大して示す部分切欠き正面図である。

【図７】 そのトラバース機構の要部側断面図である。

【図８】 同じくトラバース機構の部分平面図である。

【図９】 図２のワイヤソー装置において、ワイヤの張
力付与機構を拡大して示す部分正面図である。

【図１０】 図９のＸ−Ｘ線における部分拡大断面図で
ある。

【図１１】 図９のＸＩ−ＸＩ線における部分拡大断面
図である。

【図１２】 図３のワイヤソー装置において、ワイヤの
張力低減機構を拡大して示す部分横断面図である。

【図１３】 図１２のＸIII −ＸIII 線における部分断
面図である。

【図１４】 図１２のワイヤの張力低減機構において、
張力低減ローラの内部構造を拡大して示す部分断面図で
ある。

【図１５】 図２のワイヤソー装置において、切断機構
の基端側を拡大して示す部分側断面図である。

【図１６】 図１５の切断機構の先端側を示す部分側断
面図である。

【図１７】 図１６のＸＶII−ＸＶII線における部分断
面図である。

【図１８】 同じく切断機構の一部を断面にして示す要
部平面図である。

【図１９】 第１回転軸の端部付近を示す拡大断面図で
ある。

【図２０】 図１９の一部を拡大して示す断面図であ
る。

【符号の説明】

１…基台、５…切断機構、６…切断用ワイヤ、７…メイ
ンローラとしての駆動溝ローラ、８…メインローラとし
ての溝ローラ、９…ワイヤ支持及びスラリ供給機構、１
０…被切断部材としてのワーク、１１…ワイヤの繰出し
及び巻取機構、１２…繰出しリール、１３…巻取リー
ル、１４…ワイヤのトラバース機構、１５…ワイヤの張
力付与機構、１８…ワイヤの張力低減機構、１９…ガイ
ドローラ、２０…ガイドローラ、２１…制御手段として
の制御装置、２３…ワイヤ切断及びローラ摩耗検出機
構、１０１…駆動軸、１０５…第１回転軸、１０８…第
２回転軸、１２０…ガイドローラ、１２１…滑りクラッ
チ。

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 切断用ワイヤを走行させるためのワイヤ
   走行機構と、 ワイヤの走行域に配置され、ワイヤを所定ピッチで周回
   支持するための複数本の溝を形成した複数のメインロー
   ラを備えた切断機構と、 切断機構を通過したワイヤが巻き取られる巻取りリール
   と、その巻取りリールと前記切断機構との間に配置さ
   れ、切断機構中に位置するワイヤに所定の張力を付与す
   るためのワイヤの張力付与機構と、 そのワイヤ張力付与機構と巻取りリールとの間に配設さ
   れ、巻取りリールに巻取られるワイヤの張力を低減する
   ためのワイヤの張力低減機構とを備えたワイヤソー装置
   において、 前記張力低減機構は、ワイヤを案内するためのガイドロ
   ーラと、 そのガイドローラに対して、ワイヤの走行速度よりも速
   い速度の回転力を付与する回転軸と、 その回転軸とガイドローラとの間に介装された滑りクラ
   ッチとから構成したワイヤソー装置。
2. 【請求項２】 滑りクラッチは、回転軸側及びガイドロ
   ーラ側の一方に設けられた磁石と、その磁石と対向して
   他方に設けられた磁性体とを含む請求項１に記載のワイ
   ヤソー装置。
3. 【請求項３】 磁石と磁性体との間には若干の間隙が設
   けられている請求項２に記載のワイヤソー装置。
4. 【請求項４】 磁石は永久磁石である請求項２または３
   に記載のワイヤソー装置。
5. 【請求項５】 磁石は磁性体を挟むように配置された一
   対のものであり、両磁石の間にはヨークが設けられてい
   る請求項２〜４のいずれかに記載のワイヤソー装置。
6. 【請求項６】 切断機構の複数のメインローラは、その
   両端部がそれぞれ第１，第２の軸受体に回転自在に支持
   され、第１の軸受体は固定部に支持されるとともに、第
   ２の軸受体は固定部に対し着脱自在な支持板を介して支
   持され、第２の軸受体と固定部から前記支持板を取外す
   ことにより、メインローラ群の他端側の周囲が開放され
   るとともに、各メインローラが一端側において片持ち状
   に支持される請求項１〜５のいずれかに記載のワイヤソ
   ー装置。
7. 【請求項７】 複数のメインローラの各第２の軸受体が
   一枚の取付板に一体的に連結され、この取付板が前記支
   持板に取付けられる請求項６に記載のワイヤソー装置。