JPH0869778A - 無電極放電ランプ - Google Patents
無電極放電ランプInfo
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- JPH0869778A JPH0869778A JP20574894A JP20574894A JPH0869778A JP H0869778 A JPH0869778 A JP H0869778A JP 20574894 A JP20574894 A JP 20574894A JP 20574894 A JP20574894 A JP 20574894A JP H0869778 A JPH0869778 A JP H0869778A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 温度特性に優れ、しかも長寿命の無電極放電
ランプを提供する。 【構成】 放電ガスを封入したバルブ１の外側に配置さ
れた誘導コイル２に高周波電源３より高周波電流を通電
することにより、放電ガスを励起発光させる無電極放電
ランプにおいて、放電ガスを少なくとも１種類の金属ハ
ロゲン化物と少なくとも１種類の希ガスとで構成すると
共に、金属ハロゲン化物をその蒸発温度よりも低いバル
ブ温度の場所に配置したこと。 【効果】 放電中に希ガスハライドのエキシマが生成さ
れ、周囲温度の変化に影響なく安定した紫外線出力が得
られる。また、エキシマガスを直接封入せす、金属ハロ
ゲン化物の形で封入しているので、ハロゲンガス劣化時
にも金属ハロゲン化物からハロゲンガスが供給され、長
寿命のエキシマ光源が得られる。
ランプを提供する。 【構成】 放電ガスを封入したバルブ１の外側に配置さ
れた誘導コイル２に高周波電源３より高周波電流を通電
することにより、放電ガスを励起発光させる無電極放電
ランプにおいて、放電ガスを少なくとも１種類の金属ハ
ロゲン化物と少なくとも１種類の希ガスとで構成すると
共に、金属ハロゲン化物をその蒸発温度よりも低いバル
ブ温度の場所に配置したこと。 【効果】 放電中に希ガスハライドのエキシマが生成さ
れ、周囲温度の変化に影響なく安定した紫外線出力が得
られる。また、エキシマガスを直接封入せす、金属ハロ
ゲン化物の形で封入しているので、ハロゲンガス劣化時
にも金属ハロゲン化物からハロゲンガスが供給され、長
寿命のエキシマ光源が得られる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、バルブ内部に電極を持
たず、外部からの高周波電磁界によって、バルブ内部の
放電ガスを励起発光させる無電極放電ランプに関する。
たず、外部からの高周波電磁界によって、バルブ内部の
放電ガスを励起発光させる無電極放電ランプに関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、無電極蛍光ランプが実用化されて
いる。このランプは、放電ガスを封入したバルブに近接
して配置した誘導コイルに高周波電流を通電し、発生す
る誘導電磁界でバルブ内の放電ガスを励起発光させるも
のである。
いる。このランプは、放電ガスを封入したバルブに近接
して配置した誘導コイルに高周波電流を通電し、発生す
る誘導電磁界でバルブ内の放電ガスを励起発光させるも
のである。
【０００３】図８はその一例を示すもので、数Torrのア
ルゴンと水銀を封入したバルブ１に近接して配置した誘
導コイル２に、高周波電源（図示せず）から出力される
１３．５６ＭHzの高周波電流を通電し、発生する誘導電
磁界でバルブ１内の水銀原子を励起して２５４nmの紫外
線を放射し、この紫外線をバルブ１の内面に塗布した蛍
光体４に照射することにより可視光を得るようにした無
電極蛍光ランプである。
ルゴンと水銀を封入したバルブ１に近接して配置した誘
導コイル２に、高周波電源（図示せず）から出力される
１３．５６ＭHzの高周波電流を通電し、発生する誘導電
磁界でバルブ１内の水銀原子を励起して２５４nmの紫外
線を放射し、この紫外線をバルブ１の内面に塗布した蛍
光体４に照射することにより可視光を得るようにした無
電極蛍光ランプである。
【０００４】なお、図８において、５は導電体で構成さ
れた装置本体で、上記高周波電源などが収容されてお
り、ランプや高周波電源から発生する放射ノイズを除去
する。また、６は導電性メッシュで構成された電磁シー
ルド手段で、ランプからの照射光を透過すると共に、照
射面からのノイズ漏洩を防ぐ。
れた装置本体で、上記高周波電源などが収容されてお
り、ランプや高周波電源から発生する放射ノイズを除去
する。また、６は導電性メッシュで構成された電磁シー
ルド手段で、ランプからの照射光を透過すると共に、照
射面からのノイズ漏洩を防ぐ。
【０００５】この無電極蛍光ランプは、バルブ１内に電
極を持たないため、電極切れの心配がなく、長寿命であ
る。また、ランプの形状が自由に設計できるといった特
徴もある。
極を持たないため、電極切れの心配がなく、長寿命であ
る。また、ランプの形状が自由に設計できるといった特
徴もある。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】ところで、放電ガスと
して水銀蒸気を用いた場合、ランプ特性はバルブ内の水
銀蒸気圧で規制され、この水銀蒸気圧はランプの最冷点
部の温度によって決定されることは周知の通りである。
水銀蒸気を用いた低圧放電ランプでは、最冷点部の温度
が約４０℃で最大発光効率となり、低温時には発光効率
が低下する。
して水銀蒸気を用いた場合、ランプ特性はバルブ内の水
銀蒸気圧で規制され、この水銀蒸気圧はランプの最冷点
部の温度によって決定されることは周知の通りである。
水銀蒸気を用いた低圧放電ランプでは、最冷点部の温度
が約４０℃で最大発光効率となり、低温時には発光効率
が低下する。
【０００７】また、特開平２−７３５３号公報に開示さ
れた高出力放射器は、図９に示すように、誘電体１１を
介した外部電極１２，１３による、いわゆる誘電体バリ
ア放電で、封入ガスとしてエキシマを形成するガスが開
示されている。かかる高出力放射器において、封入した
エキシマを形成するガスがハロゲンガスの場合、ハロゲ
ンガスが早期に劣化してしまい光出力が低下する。ま
た、このような誘電体バリア放電の形態では、高電流密
度の放電が得にくいことから、外部電極や誘電体部で電
力損失が生じ、プラズマに効率良く電力供給できない。
れた高出力放射器は、図９に示すように、誘電体１１を
介した外部電極１２，１３による、いわゆる誘電体バリ
ア放電で、封入ガスとしてエキシマを形成するガスが開
示されている。かかる高出力放射器において、封入した
エキシマを形成するガスがハロゲンガスの場合、ハロゲ
ンガスが早期に劣化してしまい光出力が低下する。ま
た、このような誘電体バリア放電の形態では、高電流密
度の放電が得にくいことから、外部電極や誘電体部で電
力損失が生じ、プラズマに効率良く電力供給できない。
【０００８】本発明は、上記問題点に鑑みなされたもの
で、その目的とするところは、温度特性に優れ、しかも
長寿命の無電極放電ランプを提供することにある。
で、その目的とするところは、温度特性に優れ、しかも
長寿命の無電極放電ランプを提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
請求項１記載の発明は、無電極放電ランプにおいて、バ
ルブ内に封入する放電ガスを、少なくとも１種類の金属
ハロゲン化物と少なくとも１種類の希ガスとで構成する
と共に、前記金属ハロゲン化物をその蒸発温度よりも低
いバルブ温度（放電中における）の場所に配置したこと
を特徴とするものであり、請求項２記載の発明は、金属
ハロゲン化物を金属塩化物、金属臭化物または金属沃化
物としたことを特徴とするものである。
請求項１記載の発明は、無電極放電ランプにおいて、バ
ルブ内に封入する放電ガスを、少なくとも１種類の金属
ハロゲン化物と少なくとも１種類の希ガスとで構成する
と共に、前記金属ハロゲン化物をその蒸発温度よりも低
いバルブ温度（放電中における）の場所に配置したこと
を特徴とするものであり、請求項２記載の発明は、金属
ハロゲン化物を金属塩化物、金属臭化物または金属沃化
物としたことを特徴とするものである。
【００１０】また、請求項３記載の発明は、バルブの形
状を、主放電部に比べて径の小さな細管部を有する形状
とすると共に、前記細管部に前記金属ハロゲン化物を配
置したことを特徴とし、請求項４記載の発明は、金属ハ
ロゲン化物が配置される場所に近接してバルブ温度制御
手段を設けると共に、そのバルブ温度制御手段でバルブ
温度を前記金属ハロゲン化物の蒸発温度よりも低くした
ことを特徴とし、請求項５記載の発明は、バルブの近傍
に紫外線を可視光に変換する蛍光体を配置したことを特
徴とする。
状を、主放電部に比べて径の小さな細管部を有する形状
とすると共に、前記細管部に前記金属ハロゲン化物を配
置したことを特徴とし、請求項４記載の発明は、金属ハ
ロゲン化物が配置される場所に近接してバルブ温度制御
手段を設けると共に、そのバルブ温度制御手段でバルブ
温度を前記金属ハロゲン化物の蒸発温度よりも低くした
ことを特徴とし、請求項５記載の発明は、バルブの近傍
に紫外線を可視光に変換する蛍光体を配置したことを特
徴とする。
【００１１】
【作用】請求項１記載の発明によれば、金属ハロゲン化
物がその蒸発温度よりも低いバルブ温度の場所に配置さ
れるので、放電中に金属ハロゲン化物は蒸発せず、遊離
ハロゲンと希ガスがエキシマを形成し、このエキシマか
ら励起発光が生じる。エキシマガスを利用する場合には
温度による出力変動はない。また、エキシマガスを直接
封入するのとは違い金属ハロゲン化物の形で封入するた
め、ハロゲンガスが劣化した場合にも、遊離ハロゲンが
金属ハロゲン化物から供給されるのでハロゲンガス寿命
が長い。従って、温度特性に優れ、しかも長寿命の紫外
線光源となる。また、請求項２記載の発明のように、金
属ハロゲン化物を金属塩化物とすれば、希ガスと塩素の
エキシマが生成され特有の波長の紫外線が放出され、金
属ハロゲン化物を金属臭化物とすれば、希ガスと臭素の
エキシマが生成され特有の波長の紫外線が放出され、金
属ハロゲン化物を金属沃化物とすれば、希ガスと沃素の
エキシマが生成され特有の波長の紫外線が放出される。
物がその蒸発温度よりも低いバルブ温度の場所に配置さ
れるので、放電中に金属ハロゲン化物は蒸発せず、遊離
ハロゲンと希ガスがエキシマを形成し、このエキシマか
ら励起発光が生じる。エキシマガスを利用する場合には
温度による出力変動はない。また、エキシマガスを直接
封入するのとは違い金属ハロゲン化物の形で封入するた
め、ハロゲンガスが劣化した場合にも、遊離ハロゲンが
金属ハロゲン化物から供給されるのでハロゲンガス寿命
が長い。従って、温度特性に優れ、しかも長寿命の紫外
線光源となる。また、請求項２記載の発明のように、金
属ハロゲン化物を金属塩化物とすれば、希ガスと塩素の
エキシマが生成され特有の波長の紫外線が放出され、金
属ハロゲン化物を金属臭化物とすれば、希ガスと臭素の
エキシマが生成され特有の波長の紫外線が放出され、金
属ハロゲン化物を金属沃化物とすれば、希ガスと沃素の
エキシマが生成され特有の波長の紫外線が放出される。
【００１２】請求項３記載の発明によれば、バルブの形
状が、主放電部に比べて径の小さな細管部を有する形状
となっており、その細管部に金属ハロゲン化物が配置さ
れているので、細管部がバルブの内で最も低い温度にな
り、金属ハロゲン化物が蒸発しにくい。
状が、主放電部に比べて径の小さな細管部を有する形状
となっており、その細管部に金属ハロゲン化物が配置さ
れているので、細管部がバルブの内で最も低い温度にな
り、金属ハロゲン化物が蒸発しにくい。
【００１３】請求項４記載の発明によれば、金属ハロゲ
ン化物が配置される場所が金属ハロゲン化物の蒸発温度
以下になるような温度制御手段が設けられているので、
バルブ全体が金属ハロゲン化物の蒸発温度以上になるよ
うな高入力時にも、金属ハロゲン化物が蒸発しない。
ン化物が配置される場所が金属ハロゲン化物の蒸発温度
以下になるような温度制御手段が設けられているので、
バルブ全体が金属ハロゲン化物の蒸発温度以上になるよ
うな高入力時にも、金属ハロゲン化物が蒸発しない。
【００１４】請求項５記載の発明によれば、バルブの近
傍に紫外線を可視光に変換する蛍光体を配置しているの
で、周囲温度が変動しても可視光の出力変動がない。
傍に紫外線を可視光に変換する蛍光体を配置しているの
で、周囲温度が変動しても可視光の出力変動がない。
【００１５】
（実施例１）図１は本発明に係る第１の実施例を示すも
ので、図中、１は透光性材料よりなるバルブであって、
バルブ１の内部には放電ガスとして希ガスと金属ハロゲ
ン化物が封入されている。この実施例では、希ガスとし
てＸｅ（キセノン）が１００Torr、金属ハロゲン化物と
してＬｉＩ（沃化リチウム）が１６mg封入されている。
Ｘｅはガスの状態で封入され、ＬｉＩは固体の状態で封
入されている。なお、Ｘｅに加えてバッファーガスとし
てＮｅなどの他の希ガスを加えてもよい。
ので、図中、１は透光性材料よりなるバルブであって、
バルブ１の内部には放電ガスとして希ガスと金属ハロゲ
ン化物が封入されている。この実施例では、希ガスとし
てＸｅ（キセノン）が１００Torr、金属ハロゲン化物と
してＬｉＩ（沃化リチウム）が１６mg封入されている。
Ｘｅはガスの状態で封入され、ＬｉＩは固体の状態で封
入されている。なお、Ｘｅに加えてバッファーガスとし
てＮｅなどの他の希ガスを加えてもよい。
【００１６】ＬｉＩは室温では固体であるが、一部、金
属（Ｌｉ）と沃素（Ｉ）に分離している。沃素は単体で
Ｉ2 としてガス状態で存在する。このＬｉＩから分離し
た沃素をここでは遊離沃素と呼ぶ。
属（Ｌｉ）と沃素（Ｉ）に分離している。沃素は単体で
Ｉ2 としてガス状態で存在する。このＬｉＩから分離し
た沃素をここでは遊離沃素と呼ぶ。
【００１７】２はバルブ１の外周に巻かれた誘導コイル
で、この実施例では３ターン巻回されているが、ターン
数は特に限定されるものではなく、１ターン以上巻回さ
れていればよい。
で、この実施例では３ターン巻回されているが、ターン
数は特に限定されるものではなく、１ターン以上巻回さ
れていればよい。
【００１８】３は誘導コイル２に高周波電流を通電する
高周波電源である。高周波電源３は発振周波数１３．５
６ＭHzで連続発振させている。
高周波電源である。高周波電源３は発振周波数１３．５
６ＭHzで連続発振させている。
【００１９】このように構成された無電極放電ランプの
誘導コイル２に、高周波電源３で発生した高周波電流を
通電すると、誘導コイル２の周りに交番磁界が発生し、
さらにこの交番磁界に鎖交する形で誘導電界が発生す
る。この誘導電界はコイル２に沿った閉じた電界であ
り、この誘導電界によってバルブ１内にプラズマが維持
される。プラズマ内では、電子が電界からエネルギ−を
受け取り、封入ガスに衝突することにより色々な励起、
電離、結合などの現象が生じるが、ＸｅとＩの結合は励
起状態でのみ許され、一般にエキシマと呼ばれる励起分
子を生成する。このエキシマが解離する時、２５４nmの
波長の紫外線を放出する。
誘導コイル２に、高周波電源３で発生した高周波電流を
通電すると、誘導コイル２の周りに交番磁界が発生し、
さらにこの交番磁界に鎖交する形で誘導電界が発生す
る。この誘導電界はコイル２に沿った閉じた電界であ
り、この誘導電界によってバルブ１内にプラズマが維持
される。プラズマ内では、電子が電界からエネルギ−を
受け取り、封入ガスに衝突することにより色々な励起、
電離、結合などの現象が生じるが、ＸｅとＩの結合は励
起状態でのみ許され、一般にエキシマと呼ばれる励起分
子を生成する。このエキシマが解離する時、２５４nmの
波長の紫外線を放出する。
【００２０】エキシマレーザーで知られている通り、ハ
ロゲンガス（ここでは沃素）は非常に反応性が高く、直
ぐに他の物質と結合し、効率良くエキシマを生成するこ
とが困難になる。通常、エキシマレーザー装置では、ハ
ロゲンガスを外部から頻繁に供給することで寿命を得て
いるが、エキシマランプのように封じきり装置の場合に
は不可能である。
ロゲンガス（ここでは沃素）は非常に反応性が高く、直
ぐに他の物質と結合し、効率良くエキシマを生成するこ
とが困難になる。通常、エキシマレーザー装置では、ハ
ロゲンガスを外部から頻繁に供給することで寿命を得て
いるが、エキシマランプのように封じきり装置の場合に
は不可能である。
【００２１】この発明では、ハロゲンを金属との化合物
の形でランプ内に大量にストックすることにより寿命を
格段に長くしている。すなわち、劣化した分の沃素は金
属ハロゲン化物から供給される。
の形でランプ内に大量にストックすることにより寿命を
格段に長くしている。すなわち、劣化した分の沃素は金
属ハロゲン化物から供給される。
【００２２】ＸｅおよびＩ2 の蒸気圧は周囲温度の影響
を受けず、水銀を封入したランプのように周囲温度によ
り出力変動するようなことはない。従って、温度特性に
優れ、しかも長寿命の紫外線光源となる。図２は本実施
例に係る発光スペクトルを示す特性図である。
を受けず、水銀を封入したランプのように周囲温度によ
り出力変動するようなことはない。従って、温度特性に
優れ、しかも長寿命の紫外線光源となる。図２は本実施
例に係る発光スペクトルを示す特性図である。
【００２３】なお、エキシマを形成するガスは上記実施
例に係るものだけでなく、表１に示すようなエキシマを
形成するガスを用途に応じて封入すればよい。封入する
際の金属ハロゲン化物の母体金属も常温で固体の組み合
わせであれば、必要に応じて選べばよい。
例に係るものだけでなく、表１に示すようなエキシマを
形成するガスを用途に応じて封入すればよい。封入する
際の金属ハロゲン化物の母体金属も常温で固体の組み合
わせであれば、必要に応じて選べばよい。
【００２４】
【表１】
【００２５】（実施例２）図３は本発明に係る第２の実
施例を示すもので、前記実施例１と異なる点は、バルブ
１が球状の主放電部１ａと、主放電部１ａの径に比べて
小さな径の細管部１ｂとで構成され、細管部１ｂに金属
ハロゲン化物であるＬｉＩが配置されたことで、他の構
成は実施例１と同様であるので、同等構成に同一符号を
付すことにより説明を省略する。
施例を示すもので、前記実施例１と異なる点は、バルブ
１が球状の主放電部１ａと、主放電部１ａの径に比べて
小さな径の細管部１ｂとで構成され、細管部１ｂに金属
ハロゲン化物であるＬｉＩが配置されたことで、他の構
成は実施例１と同様であるので、同等構成に同一符号を
付すことにより説明を省略する。
【００２６】このように構成したことにより、ランプ動
作中（点灯中）の温度は細管部１ｂが最も低く、従っ
て、金属ハロゲン化物であるＬｉＩを比較的低温に保つ
ことができる。ランプ入力電力を高くした場合、細管部
１ｂがない場合には非常に高温になり、ＬｉＩが蒸発し
てしまう恐れがある。ＬｉＩが蒸発するとＬｉの金属発
光が生じたり、Ｉの供給量が過剰になりエキシマ生成に
不都合が生じたりする。ところが本実施例の場合には、
細管部１ｂにより金属ハロゲン化物であるＬｉＩの温度
を低く調整でき、上記問題点を解消できる。また、必要
に応じて細管部１ｂの長さを変えることにより、金属ハ
ロゲン化物の温度を調整できる。
作中（点灯中）の温度は細管部１ｂが最も低く、従っ
て、金属ハロゲン化物であるＬｉＩを比較的低温に保つ
ことができる。ランプ入力電力を高くした場合、細管部
１ｂがない場合には非常に高温になり、ＬｉＩが蒸発し
てしまう恐れがある。ＬｉＩが蒸発するとＬｉの金属発
光が生じたり、Ｉの供給量が過剰になりエキシマ生成に
不都合が生じたりする。ところが本実施例の場合には、
細管部１ｂにより金属ハロゲン化物であるＬｉＩの温度
を低く調整でき、上記問題点を解消できる。また、必要
に応じて細管部１ｂの長さを変えることにより、金属ハ
ロゲン化物の温度を調整できる。
【００２７】図４に金属ハロゲン化物の蒸気圧曲線を示
すが、例えばＬｉＩの場合、細管部１ｂの温度を８００
Ｋ以下に保つようにすればよいことがわかる。
すが、例えばＬｉＩの場合、細管部１ｂの温度を８００
Ｋ以下に保つようにすればよいことがわかる。
【００２８】（実施例３）図５は本発明に係る第３の実
施例を示すもので、前記実施例１と異なる点は、バルブ
１の一部に温度制御装置７により制御される温度制御手
段８を設け、その温度制御手段８の近傍に金属ハロゲン
化物を配置したことで、他の構成は実施例１と同様であ
るので、同等構成に同一符号を付すことにより説明を省
略する。
施例を示すもので、前記実施例１と異なる点は、バルブ
１の一部に温度制御装置７により制御される温度制御手
段８を設け、その温度制御手段８の近傍に金属ハロゲン
化物を配置したことで、他の構成は実施例１と同様であ
るので、同等構成に同一符号を付すことにより説明を省
略する。
【００２９】このように構成することにより、ランプ入
力電力が高いような場合でも、金属ハロゲン化物の温度
を蒸発温度以下に保つことが可能になる。ここで、温度
制御手段８は例えばヒートシンクのようなものでもよい
し、ペルチェ素子のようなものでもよい。
力電力が高いような場合でも、金属ハロゲン化物の温度
を蒸発温度以下に保つことが可能になる。ここで、温度
制御手段８は例えばヒートシンクのようなものでもよい
し、ペルチェ素子のようなものでもよい。
【００３０】（実施例４）図６は本発明に係る第４の実
施例を示すもので、前記実施例１と異なる点は、バルブ
１の内面に蛍光体４を塗布したことで、このように構成
することにより、バルブ１内部で発生した紫外線が蛍光
体４により可視光に変換される。従って、周囲温度が変
化した場合においても、可視光出力の変動はない。
施例を示すもので、前記実施例１と異なる点は、バルブ
１の内面に蛍光体４を塗布したことで、このように構成
することにより、バルブ１内部で発生した紫外線が蛍光
体４により可視光に変換される。従って、周囲温度が変
化した場合においても、可視光出力の変動はない。
【００３１】なお、上記実施例ではバルブ１の内面に蛍
光体４を塗布したが、これに限定される必要はなく、例
えばバルブ１の外面や、図７に示すようにバルブ１から
少し離れた所に蛍光体４を配置してもよい。
光体４を塗布したが、これに限定される必要はなく、例
えばバルブ１の外面や、図７に示すようにバルブ１から
少し離れた所に蛍光体４を配置してもよい。
【００３２】
【発明の効果】請求項１記載の発明によれば、バルブ内
に少なくとも１種類の金属ハロゲン化物と、少なくとも
１種類の希ガスとを封入し、かつ、前記封入ガス放電中
に前記金属ハロゲン化物の蒸発温度よりも低いバルブ温
度の場所に、前記金属ハロゲン化物が配置されるので、
放電中に希ガスハライドのエキシマが生成され、周囲温
度の変化に影響なく安定した紫外線出力が得られる。ま
た、エキシマガスを直接封入するのとは違い金属ハロゲ
ン化物の形で封入しているので、ハロゲンガス劣化時に
も金属ハロゲン化物からハロゲンガスが供給され、長寿
命のエキシマ光源が得られる。
に少なくとも１種類の金属ハロゲン化物と、少なくとも
１種類の希ガスとを封入し、かつ、前記封入ガス放電中
に前記金属ハロゲン化物の蒸発温度よりも低いバルブ温
度の場所に、前記金属ハロゲン化物が配置されるので、
放電中に希ガスハライドのエキシマが生成され、周囲温
度の変化に影響なく安定した紫外線出力が得られる。ま
た、エキシマガスを直接封入するのとは違い金属ハロゲ
ン化物の形で封入しているので、ハロゲンガス劣化時に
も金属ハロゲン化物からハロゲンガスが供給され、長寿
命のエキシマ光源が得られる。
【００３３】請求項２記載の発明によれば、金属ハロゲ
ン化物を金属塩化物、金属臭化物または金属沃化物とし
たことにより、希ガスと塩素のエキシマあるいは希ガス
と臭素のエキシマあるいは希ガスと沃素のエキシマが生
成され、それぞれ特有の波長の紫外線出力が得られる。
ン化物を金属塩化物、金属臭化物または金属沃化物とし
たことにより、希ガスと塩素のエキシマあるいは希ガス
と臭素のエキシマあるいは希ガスと沃素のエキシマが生
成され、それぞれ特有の波長の紫外線出力が得られる。
【００３４】請求項３記載の発明によれば、バルブの形
状が、主放電部に比べて径の小さな細管部を有する形状
となっており、その細管部に金属ハロゲン化物が配置さ
れているので、細管部がバルブの内で最も低い温度にな
り、金属ハロゲン化物が蒸発しにくく、入力電力が高く
バルブ温度が上昇するような場合でも安定したエキシマ
発光出力が得られる。
状が、主放電部に比べて径の小さな細管部を有する形状
となっており、その細管部に金属ハロゲン化物が配置さ
れているので、細管部がバルブの内で最も低い温度にな
り、金属ハロゲン化物が蒸発しにくく、入力電力が高く
バルブ温度が上昇するような場合でも安定したエキシマ
発光出力が得られる。
【００３５】請求項４記載の発明によれば、金属ハロゲ
ン化物が配置される場所が金属ハロゲン化物の蒸発温度
以下になるような温度制御手段が設けられているので、
バルブ全体が金属ハロゲン化物の蒸発温度以上になるよ
うな高入力時にも、金属ハロゲン化物が蒸発せず、安定
したエキシマ発光出力が得られる。
ン化物が配置される場所が金属ハロゲン化物の蒸発温度
以下になるような温度制御手段が設けられているので、
バルブ全体が金属ハロゲン化物の蒸発温度以上になるよ
うな高入力時にも、金属ハロゲン化物が蒸発せず、安定
したエキシマ発光出力が得られる。
【００３６】請求項５記載の発明によれば、バルブの近
傍に紫外線を可視光に変換する蛍光体を配置しているの
で、周囲温度が変動しても出力変動のない可視光源が得
られる。
傍に紫外線を可視光に変換する蛍光体を配置しているの
で、周囲温度が変動しても出力変動のない可視光源が得
られる。
【図１】本発明の第１実施例を示すもので、（ａ）は簡
略斜視図、（ｂ）は簡略断面図である。
略斜視図、（ｂ）は簡略断面図である。
【図２】本発明の第１実施例に係る発光スペクトルを示
す特性図である。
す特性図である。
【図３】本発明の第２実施例を示す簡略断面図である。
【図４】金属および金属ハロゲン化物の蒸気圧曲線図で
ある。
ある。
【図５】本発明の第３実施例を示す簡略断面図である。
【図６】本発明の第４実施例を示す簡略断面図である。
【図７】本発明の第５実施例を示す簡略断面図である。
【図８】従来例を示す斜視図である。
【図９】異なる従来例を示す簡略断面図である。
１ バルブ １ａ 主放電部 １ｂ 細管部 ２ 誘導コイル２ ３ 高周波電源 ４ 蛍光体 ７ 温度制御装置 ８ 温度制御手段
Claims (5)
- 【請求項１】 放電ガスを封入した透光性材料よりなる
バルブの外側に配置された誘導コイルに高周波電源より
高周波電流を通電し、バルブ内に封入された放電ガスに
高周波電磁界を作用させることによって前記放電ガスを
励起発光させる無電極放電ランプにおいて、前記バルブ
内に封入する放電ガスを、少なくとも１種類の金属ハロ
ゲン化物と少なくとも１種類の希ガスとで構成すると共
に、前記金属ハロゲン化物をその蒸発温度よりも低いバ
ルブ温度（放電中における）の場所に配置したことを特
徴とする無電極放電ランプ。 - 【請求項２】 前記金属ハロゲン化物が金属塩化物、金
属臭化物または金属沃化物のいずれか１つである請求項
１記載の無電極放電ランプ。 - 【請求項３】 前記バルブの形状を、主放電部に比べて
径の小さな細管部を有する形状とすると共に、前記細管
部に前記金属ハロゲン化物を配置したことを特徴とする
請求項１または請求項２記載の無電極放電ランプ。 - 【請求項４】 前記金属ハロゲン化物が配置される場所
に近接してバルブ温度制御手段を設けると共に、そのバ
ルブ温度制御手段でバルブ温度を前記金属ハロゲン化物
の蒸発温度よりも低くしたことを特徴とする請求項１乃
至請求項３のいずれかに記載の無電極放電ランプ。 - 【請求項５】 前記バルブの近傍に紫外線を可視光に変
換する蛍光体を配置したことを特徴とする請求項１乃至
請求項４のいずれかに記載の無電極放電ランプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20574894A JP3178259B2 (ja) | 1994-08-30 | 1994-08-30 | 無電極放電ランプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20574894A JP3178259B2 (ja) | 1994-08-30 | 1994-08-30 | 無電極放電ランプ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0869778A true JPH0869778A (ja) | 1996-03-12 |
| JP3178259B2 JP3178259B2 (ja) | 2001-06-18 |
Family
ID=16512008
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20574894A Expired - Fee Related JP3178259B2 (ja) | 1994-08-30 | 1994-08-30 | 無電極放電ランプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3178259B2 (ja) |
-
1994
- 1994-08-30 JP JP20574894A patent/JP3178259B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3178259B2 (ja) | 2001-06-18 |
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