JPH085486A - ガス供給圧力測定方法 - Google Patents
ガス供給圧力測定方法Info
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- JPH085486A JPH085486A JP6133385A JP13338594A JPH085486A JP H085486 A JPH085486 A JP H085486A JP 6133385 A JP6133385 A JP 6133385A JP 13338594 A JP13338594 A JP 13338594A JP H085486 A JPH085486 A JP H085486A
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- Japan
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- gas
- gas supply
- supply pressure
- pressure
- diaphragm
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- Measuring Volume Flow (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
- Arrangements For Transmission Of Measured Signals (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 管路末端でのガス供給圧力のデータを大量に
正確かつ迅速に集計することができるガス供給圧力測定
方法を提供する。 【構成】 多数の管路末端にはガスメータが取付けら
れ、そのうちガス供給圧力を監視するガスメータ５０が
幾つか選定される。各ガスメータ５０で測定されたガス
圧力はデータ伝送のためのモデム７０に入力され、所定
の変調方式で変調される。各モデム７０と集中監視装置
７４とは電話回線などで接続され、モデム７０が送信す
るデータは一括して収集される。集中監視装置７４は、
データ記憶やデータ解析等を行う中央制御装置７２と、
データ解析の結果を表示する表示装置７３を備える。表
示装置７３は、ガス供給地域の地図上にガス管路が図式
的に表現されており、末端８３には赤、黄、緑など色分
け点灯可能なカラー光源が設置される。
正確かつ迅速に集計することができるガス供給圧力測定
方法を提供する。 【構成】 多数の管路末端にはガスメータが取付けら
れ、そのうちガス供給圧力を監視するガスメータ５０が
幾つか選定される。各ガスメータ５０で測定されたガス
圧力はデータ伝送のためのモデム７０に入力され、所定
の変調方式で変調される。各モデム７０と集中監視装置
７４とは電話回線などで接続され、モデム７０が送信す
るデータは一括して収集される。集中監視装置７４は、
データ記憶やデータ解析等を行う中央制御装置７２と、
データ解析の結果を表示する表示装置７３を備える。表
示装置７３は、ガス供給地域の地図上にガス管路が図式
的に表現されており、末端８３には赤、黄、緑など色分
け点灯可能なカラー光源が設置される。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ガスメータに供給され
るガスの供給圧力を測定するためのガス供給圧力測定方
法に関する。
るガスの供給圧力を測定するためのガス供給圧力測定方
法に関する。
【０００２】
【従来の技術】ガス製造所で生産されるガスは、広範囲
の供給地区に多数の枝状に張り巡らせた管路を介して、
末端のユーザまで給送される。特にガス消費量が格段に
増加する冬期など、管路内のガス流量が増えた場合であ
っても、末端でのガス供給圧力を所定範囲内に維持する
ことがガス安定供給に不可欠である。
の供給地区に多数の枝状に張り巡らせた管路を介して、
末端のユーザまで給送される。特にガス消費量が格段に
増加する冬期など、管路内のガス流量が増えた場合であ
っても、末端でのガス供給圧力を所定範囲内に維持する
ことがガス安定供給に不可欠である。
【０００３】従来、管路末端でのガス供給圧力を測定す
る方法として、冬期等必要なときに記録紙付の圧力計を
取付けて、その出力の時間経過を自動的に記録紙上に記
録し、たとえば１週間ごとに記録紙を回収することによ
って、各末端ユーザでのガス圧力を集計している。
る方法として、冬期等必要なときに記録紙付の圧力計を
取付けて、その出力の時間経過を自動的に記録紙上に記
録し、たとえば１週間ごとに記録紙を回収することによ
って、各末端ユーザでのガス圧力を集計している。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】従来の測定方法では、
ガス供給地区が広範囲になると管路末端の数が急増する
ため、監視すべき記録紙付圧力計の数も急増し、記録紙
回収やデータ解析に要するコストが膨大になる。
ガス供給地区が広範囲になると管路末端の数が急増する
ため、監視すべき記録紙付圧力計の数も急増し、記録紙
回収やデータ解析に要するコストが膨大になる。
【０００５】さらに記録紙回収とデータ解析に時間がか
かるため、測定結果を現在の運転状況に反映させること
ができない。
かるため、測定結果を現在の運転状況に反映させること
ができない。
【０００６】本発明の目的は、管路末端でのガス供給圧
力のデータを大量に正確かつ迅速に集計することができ
るガス供給圧力測定方法を提供することである。
力のデータを大量に正確かつ迅速に集計することができ
るガス供給圧力測定方法を提供することである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は、ガスメータに
ガス供給圧力を検出して電気信号に変換するガス圧セン
サを設置し、ガスメータと集中監視装置とを伝送回線で
接続して、ガスメータのガス供給圧力を測定することを
特徴とするガス供給圧力測定方法である。
ガス供給圧力を検出して電気信号に変換するガス圧セン
サを設置し、ガスメータと集中監視装置とを伝送回線で
接続して、ガスメータのガス供給圧力を測定することを
特徴とするガス供給圧力測定方法である。
【０００８】また本発明は、前記ガス圧センサは、ガス
圧に応じて弾性変形する導電性のダイアフラムと、該ダ
イアフラムと隔てて設けられる対向電極とを備え、ダイ
アフラムと対向電極との間の静電容量を検出してアナロ
グ信号に変換することを特徴とする。
圧に応じて弾性変形する導電性のダイアフラムと、該ダ
イアフラムと隔てて設けられる対向電極とを備え、ダイ
アフラムと対向電極との間の静電容量を検出してアナロ
グ信号に変換することを特徴とする。
【０００９】また本発明は、前記ダイアフラムは、導電
性単結晶シリコンから成ることを特徴とする。
性単結晶シリコンから成ることを特徴とする。
【００１０】
【作用】本発明に従えば、ガスメータにガス圧センサを
設置して、ガス供給圧力を電気信号として検出するとと
もに、ガスメータと集中監視装置とを有線方式、無線方
式またはこれらの組合せによる伝送回線で接続すること
によって、遠距離にある多数の末端ガスメータからガス
供給圧力データを大量にかつ迅速に集計することが可能
になる。そのため、管路末端でのガス供給圧力が不安定
になると、ほぼリアルタイムでガス製造所等のガス供給
量を調整して、ガス圧力の安定化を図ることができる。
設置して、ガス供給圧力を電気信号として検出するとと
もに、ガスメータと集中監視装置とを有線方式、無線方
式またはこれらの組合せによる伝送回線で接続すること
によって、遠距離にある多数の末端ガスメータからガス
供給圧力データを大量にかつ迅速に集計することが可能
になる。そのため、管路末端でのガス供給圧力が不安定
になると、ほぼリアルタイムでガス製造所等のガス供給
量を調整して、ガス圧力の安定化を図ることができる。
【００１１】また、ガス圧センサは、ガス圧に応じて弾
性変形する導電性のダイアフラムと、該ダイアフラムと
隔てて設けられる対向電極とを備え、ダイアフラムと対
向電極との間の静電容量を検出してアナログ信号に変換
することによって、ガス圧と出力信号との関係が良好な
直線性を示し、ガス圧を連続したアナログ量として測定
することが可能になる。したがって、ガス供給圧力を僅
かな変化でも精度良く検出することができる。
性変形する導電性のダイアフラムと、該ダイアフラムと
隔てて設けられる対向電極とを備え、ダイアフラムと対
向電極との間の静電容量を検出してアナログ信号に変換
することによって、ガス圧と出力信号との関係が良好な
直線性を示し、ガス圧を連続したアナログ量として測定
することが可能になる。したがって、ガス供給圧力を僅
かな変化でも精度良く検出することができる。
【００１２】また、ダイアフラムは導電性単結晶シリコ
ンで形成されることによって、ヒステリシス、脆性、ク
リープ等が無い完全弾性体として機能するため、測定精
度が向上する。また、シリコンウエハに関する製造技術
を利用することによって、数ｍｍオーダのセンサを高品
質で大量に製造することができる。
ンで形成されることによって、ヒステリシス、脆性、ク
リープ等が無い完全弾性体として機能するため、測定精
度が向上する。また、シリコンウエハに関する製造技術
を利用することによって、数ｍｍオーダのセンサを高品
質で大量に製造することができる。
【００１３】
【実施例】図１は、本発明に係るガス圧センサを示す断
面図である。センサ本体１は、導電性単結晶シリコンな
どで形成されたダイアフラム１２と、ガラス基板７上の
ほぼ全面にアルミニウム蒸着等によって形成された対向
電極８と、ダイアフラム１２と対向電極８との間隙を一
定に保つガラス板等から成るスペーサ１０とを備える。
ダイアフラム１２は、図２に示すように、一定の厚さを
持つ矩形状基板の中央部分に極めて薄い変形膜１２ａが
エッチング等によって形成されたものである。ダイアフ
ラム１２の上にガラス板１３およびシリコン板１４が接
着されて測定空間１５が形成され、この測定空間１５と
連通する貫通孔１５ａが形設される。シリコン板１４の
上にはガラス管１６が接着剤によって気密性を保って固
定され、さらにガラス管１６にはシリコーンゴム等から
成る可撓性の管１７が装着され、測定対象となる流体圧
力を測定空間１５へ導入している。
面図である。センサ本体１は、導電性単結晶シリコンな
どで形成されたダイアフラム１２と、ガラス基板７上の
ほぼ全面にアルミニウム蒸着等によって形成された対向
電極８と、ダイアフラム１２と対向電極８との間隙を一
定に保つガラス板等から成るスペーサ１０とを備える。
ダイアフラム１２は、図２に示すように、一定の厚さを
持つ矩形状基板の中央部分に極めて薄い変形膜１２ａが
エッチング等によって形成されたものである。ダイアフ
ラム１２の上にガラス板１３およびシリコン板１４が接
着されて測定空間１５が形成され、この測定空間１５と
連通する貫通孔１５ａが形設される。シリコン板１４の
上にはガラス管１６が接着剤によって気密性を保って固
定され、さらにガラス管１６にはシリコーンゴム等から
成る可撓性の管１７が装着され、測定対象となる流体圧
力を測定空間１５へ導入している。
【００１４】一方、対向電極８が形成されたガラス基板
７は、セラミック等から成る電気絶縁性の基板２上に接
着される。ガラス基板７の表面およびスペーサ１０の端
面には、ダイアフラム１２の接続電極９が対向電極８と
短絡しないように形成されている。また、基板２上には
アルミニウム等から成る配線電極３、５が形成されてお
り、対向電極８と配線電極３とがハンダ４によって接続
され、接続電極９と配線電極５がハンダ６によって接続
されている。なお、上述したシリコンとガラスとは熱融
着等によって接着され、センサ本体１の外形はたとえば
４ｍｍ×４．５ｍｍ×３ｍｍ程度に小型化されている。
７は、セラミック等から成る電気絶縁性の基板２上に接
着される。ガラス基板７の表面およびスペーサ１０の端
面には、ダイアフラム１２の接続電極９が対向電極８と
短絡しないように形成されている。また、基板２上には
アルミニウム等から成る配線電極３、５が形成されてお
り、対向電極８と配線電極３とがハンダ４によって接続
され、接続電極９と配線電極５がハンダ６によって接続
されている。なお、上述したシリコンとガラスとは熱融
着等によって接着され、センサ本体１の外形はたとえば
４ｍｍ×４．５ｍｍ×３ｍｍ程度に小型化されている。
【００１５】次に動作を説明する。管１７から測定対象
であるガスが導入されて測定空間１５の内部圧力が高く
なると、ダイアフラム１２の変形膜１２ａが外側（図１
中下方）に膨らむように弾性変形する。なお、変形膜１
２ａの動きを妨げないように、スペーサ１０で囲まれた
空間１１は連通孔（図示せず）を介して大気と連通して
いる。変形膜１２ａが外側に膨らむと、対向電極８との
距離が近くなるため、ダイアフラム１２と対向電極８と
の間の静電容量が増加する。この静電容量の変化は配線
電極３、５間の静電容量の変化として検出される。した
がって、ガス圧力が増加するにつれて静電容量が増加す
るとともに、変形膜１２ａの変形量が小さい範囲では両
者の関係は直線的に比例する。
であるガスが導入されて測定空間１５の内部圧力が高く
なると、ダイアフラム１２の変形膜１２ａが外側（図１
中下方）に膨らむように弾性変形する。なお、変形膜１
２ａの動きを妨げないように、スペーサ１０で囲まれた
空間１１は連通孔（図示せず）を介して大気と連通して
いる。変形膜１２ａが外側に膨らむと、対向電極８との
距離が近くなるため、ダイアフラム１２と対向電極８と
の間の静電容量が増加する。この静電容量の変化は配線
電極３、５間の静電容量の変化として検出される。した
がって、ガス圧力が増加するにつれて静電容量が増加す
るとともに、変形膜１２ａの変形量が小さい範囲では両
者の関係は直線的に比例する。
【００１６】逆に、測定空間１５の内部圧力が低くなる
と、ダイアフラム１２の変形膜１２ａが内側（図１中上
方）に凹むように弾性変形する。すると、対向電極８と
の距離が遠くなるため、ダイアフラム１２と対向電極８
との間の静電容量が減少することになる。
と、ダイアフラム１２の変形膜１２ａが内側（図１中上
方）に凹むように弾性変形する。すると、対向電極８と
の距離が遠くなるため、ダイアフラム１２と対向電極８
との間の静電容量が減少することになる。
【００１７】このようにダイアフラム１２は導電性単結
晶シリコンで形成されているため、ヒステリシス、脆
性、クリープ等が無い完全弾性体として機能し、測定精
度が向上する。また、シリコンウエハに関する半導体製
造技術を利用することによって高品質の大量生産が可能
である。
晶シリコンで形成されているため、ヒステリシス、脆
性、クリープ等が無い完全弾性体として機能し、測定精
度が向上する。また、シリコンウエハに関する半導体製
造技術を利用することによって高品質の大量生産が可能
である。
【００１８】図３は、本発明に係るガス圧センサの電気
的構成を示すブロック図である。センサ本体１の配線電
極３、５は、両者間の静電容量を電圧信号に変換する変
換回路２０に接続され、増幅器２１によって所定増幅率
で増幅される。なお、オフセット回路２３は変換回路２
０のオフセット電圧を解消するものであり、温度補償回
路２２は、変換回路２０に基準電圧を供給するととも
に、変換回路２０およびオフセット回路２３の温度変動
に対する補償を行う。
的構成を示すブロック図である。センサ本体１の配線電
極３、５は、両者間の静電容量を電圧信号に変換する変
換回路２０に接続され、増幅器２１によって所定増幅率
で増幅される。なお、オフセット回路２３は変換回路２
０のオフセット電圧を解消するものであり、温度補償回
路２２は、変換回路２０に基準電圧を供給するととも
に、変換回路２０およびオフセット回路２３の温度変動
に対する補償を行う。
【００１９】図４はガス圧センサに導入されたガス圧力
と増幅器２１の出力電圧ＶＯＵＴとの関係を示すグラフ
である。図４において、ガス圧力と出力電圧ＶＯＵＴと
は直線的な比例関係を示していることが判る。
と増幅器２１の出力電圧ＶＯＵＴとの関係を示すグラフ
である。図４において、ガス圧力と出力電圧ＶＯＵＴと
は直線的な比例関係を示していることが判る。
【００２０】図３に戻って、増幅器２１の出力信号はア
ナログ信号をデジタル信号に変換するＡＤ変換回路２７
に入力されて、たとえば８ビット（＝２５６レベル）の
デジタルデータに変換され、後述のモデム７０に出力さ
れる。
ナログ信号をデジタル信号に変換するＡＤ変換回路２７
に入力されて、たとえば８ビット（＝２５６レベル）の
デジタルデータに変換され、後述のモデム７０に出力さ
れる。
【００２１】図５は本発明に係るガスメータ５０の一部
切欠斜視図であり、図６はガスメータ５０のガス流路お
よび電気ブロックを示す系統図である。ガスメータ５０
の入口５１からガスが供給されと、遮断弁５２から通路
６０を通って膜式ガスメータなどのガスメータ本体５３
にガスが流れてガス流量の計量が行われる。計量を終え
たガスは通路６１を通って出口５４からガス消費機器に
分配される。
切欠斜視図であり、図６はガスメータ５０のガス流路お
よび電気ブロックを示す系統図である。ガスメータ５０
の入口５１からガスが供給されと、遮断弁５２から通路
６０を通って膜式ガスメータなどのガスメータ本体５３
にガスが流れてガス流量の計量が行われる。計量を終え
たガスは通路６１を通って出口５４からガス消費機器に
分配される。
【００２２】ガスメータ５０には図３に示した電気回路
を含む回路基板５５が搭載され、この電源としてたとえ
ばリチウム電池など長期間使用可能な電池５６が使用さ
れる。センサ本体１は回路基板５５に搭載され、通路６
０とセンサ本体１とは管１７で接続されて、通路６０の
ガス圧力が図１の測定空間１５に導入される。
を含む回路基板５５が搭載され、この電源としてたとえ
ばリチウム電池など長期間使用可能な電池５６が使用さ
れる。センサ本体１は回路基板５５に搭載され、通路６
０とセンサ本体１とは管１７で接続されて、通路６０の
ガス圧力が図１の測定空間１５に導入される。
【００２３】図３のＡＤ変換回路（比較回路内蔵）２７
においてガス供給圧力が適正範囲を外れたことを検出す
ると、表示ランプ６２を点灯して使用者に警告するとと
もに、ガス消費機器の不完全燃焼や立消えを防止するた
めに遮断弁５２を動作させて、ガス供給を停止する。遮
断弁５２は復帰ボタンを操作すると元に復帰し、ガス供
給が再開する。また、図３のＡＤ変換回路２７から出力
されるデジタルデータは別途設置されたモデム７０へ出
力される。
においてガス供給圧力が適正範囲を外れたことを検出す
ると、表示ランプ６２を点灯して使用者に警告するとと
もに、ガス消費機器の不完全燃焼や立消えを防止するた
めに遮断弁５２を動作させて、ガス供給を停止する。遮
断弁５２は復帰ボタンを操作すると元に復帰し、ガス供
給が再開する。また、図３のＡＤ変換回路２７から出力
されるデジタルデータは別途設置されたモデム７０へ出
力される。
【００２４】一方、ガスメータ本体５３において検出さ
れたガス量は、流量センサ５７によって電気信号に変換
され、回路基板５５に搭載されたマイクロコンピュータ
等の処理回路５８に入力される。また、ガス消費機器の
近辺に設置されたガス漏洩警報器や不完全燃焼警報器な
どから外部信号５９を回路基板５５を介して処理回路５
８に入力することが可能であり、外部信号５９に基づい
て表示ランプ６２や遮断弁５２を動作させてもよい。
れたガス量は、流量センサ５７によって電気信号に変換
され、回路基板５５に搭載されたマイクロコンピュータ
等の処理回路５８に入力される。また、ガス消費機器の
近辺に設置されたガス漏洩警報器や不完全燃焼警報器な
どから外部信号５９を回路基板５５を介して処理回路５
８に入力することが可能であり、外部信号５９に基づい
て表示ランプ６２や遮断弁５２を動作させてもよい。
【００２５】図７は、本発明の一実施例を説明するブロ
ック図である。多数の管路末端にはガスメータが取付け
られ、各ユーザごとにガス消費量が計量されており、そ
のうちガス供給圧力を監視するためのガスメータ５０が
幾つか予め選定されている。
ック図である。多数の管路末端にはガスメータが取付け
られ、各ユーザごとにガス消費量が計量されており、そ
のうちガス供給圧力を監視するためのガスメータ５０が
幾つか予め選定されている。
【００２６】各ガスメータ５０で測定されたガス圧力
は、図３のＡＤ変換回路２７によってデジタル値に変換
され、データ伝送のためのモデム７０に入力され、ガス
圧力データを所定の変調方式で変調する。
は、図３のＡＤ変換回路２７によってデジタル値に変換
され、データ伝送のためのモデム７０に入力され、ガス
圧力データを所定の変調方式で変調する。
【００２７】各モデム７０と集中監視装置７４とは、有
線方式、無線方式またはこれらの組合せによる伝送回
線、たとえば既存の電話回線などで接続されており、モ
デム７０が送信するデータは一括して収集される。
線方式、無線方式またはこれらの組合せによる伝送回
線、たとえば既存の電話回線などで接続されており、モ
デム７０が送信するデータは一括して収集される。
【００２８】集中監視装置７４は、伝送されたデータを
集計して、データ記憶やデータ解析等を行うコンピュー
タなどの中央制御装置７２と、データ解析の結果を判り
やすく表示するための表示装置７３等を備える。
集計して、データ記憶やデータ解析等を行うコンピュー
タなどの中央制御装置７２と、データ解析の結果を判り
やすく表示するための表示装置７３等を備える。
【００２９】表示装置７３は、ガス供給地域の地図上に
ガス管路が図式的に表現されており、たとえばガス製造
所８０から管路８１、８２を介して末端８３まで枝分か
れしている。末端８３には赤、黄、緑など色分け点灯可
能なカラー光源が設置されている。
ガス管路が図式的に表現されており、たとえばガス製造
所８０から管路８１、８２を介して末端８３まで枝分か
れしている。末端８３には赤、黄、緑など色分け点灯可
能なカラー光源が設置されている。
【００３０】次に動作を説明する。各ガスメータ５０で
測定されたガス供給圧力のデータはモデム７０を介して
時々刻々と中央制御装置７２に集計される。中央制御装
置７２は、各データと各管路末端ごとに予め設定された
適正範囲とを比較して、適正範囲にあれば、当該データ
が得られた末端８３のカラー光源を緑色に点灯させる。
また、当該データが適正範囲を上回っていれば、末端８
３を赤色に点灯させる。さらに、当該データが適正範囲
を下回っていれば、末端８３を黄色に点灯させる。
測定されたガス供給圧力のデータはモデム７０を介して
時々刻々と中央制御装置７２に集計される。中央制御装
置７２は、各データと各管路末端ごとに予め設定された
適正範囲とを比較して、適正範囲にあれば、当該データ
が得られた末端８３のカラー光源を緑色に点灯させる。
また、当該データが適正範囲を上回っていれば、末端８
３を赤色に点灯させる。さらに、当該データが適正範囲
を下回っていれば、末端８３を黄色に点灯させる。
【００３１】こうして各ガスメータ５０でのガス供給圧
力が適正であるか否かを地図上に一目瞭然で表示するこ
とができる。そのため、ガス供給圧力の異常が表示され
ると、その原因究明や対策について迅速な処置が可能に
なる。
力が適正であるか否かを地図上に一目瞭然で表示するこ
とができる。そのため、ガス供給圧力の異常が表示され
ると、その原因究明や対策について迅速な処置が可能に
なる。
【００３２】
【発明の効果】以上詳説したように本発明によれば、遠
距離にある多数の末端ガスメータからガス供給圧力デー
タを大量にかつ迅速に集計することが可能になる。その
ため、管路末端でのガス供給圧力が不安定になると、ほ
ぼリアルタイムでガス製造所や供給所等からのガス供給
量を調整して、ガス圧力の安定化を図ることができる。
距離にある多数の末端ガスメータからガス供給圧力デー
タを大量にかつ迅速に集計することが可能になる。その
ため、管路末端でのガス供給圧力が不安定になると、ほ
ぼリアルタイムでガス製造所や供給所等からのガス供給
量を調整して、ガス圧力の安定化を図ることができる。
【００３３】また、ガス圧センサはガス圧と出力信号と
の関係が良好な直線性を示し、ガス圧を連続したアナロ
グ量として測定することが可能になるため、ガス供給圧
力を僅かな変化でも精度良く検出することができる。
の関係が良好な直線性を示し、ガス圧を連続したアナロ
グ量として測定することが可能になるため、ガス供給圧
力を僅かな変化でも精度良く検出することができる。
【００３４】また、ダイアフラムは導電性単結晶シリコ
ンで形成されることによって、測定精度向上および大量
生産が実現し、小型、高品質かつ低価格のガス圧センサ
を提供できる。
ンで形成されることによって、測定精度向上および大量
生産が実現し、小型、高品質かつ低価格のガス圧センサ
を提供できる。
【図１】本発明に係るガス圧センサを示す断面図であ
る。
る。
【図２】図１のダイアフラム１２およびガラス板１３の
分解斜視図である。
分解斜視図である。
【図３】本発明に係るガス圧センサの電気的構成を示す
ブロック図である。
ブロック図である。
【図４】ガス圧センサに導入されたガス圧力と増幅器２
１の出力電圧ＶＯＵＴとの関係を示すグラフである。
１の出力電圧ＶＯＵＴとの関係を示すグラフである。
【図５】本発明に係るガスメータ５０の一部切欠斜視図
である。
である。
【図６】ガスメータ５０のガス流路および電気ブロック
を示す系統図である。
を示す系統図である。
【図７】本発明の一実施例を説明するブロック図であ
る。
る。
１ センサ本体 ２ 基板 ３、５ 配線電極 ４、６ ハンダ ７ ガラス基板 ８ 対向電極 ９ 接続電極 １０ スペーサ １１ 空間 １２ ダイアフラム １２ａ 変形膜 １３ ガラス板 １４ シリコン板 １５ 測定空間 １６ ガラス管 １７ 管 ２０ 変換回路 ２７ ＡＤ変換回路 ５０ ガスメータ ５５ 回路基板 ７０ モデム ７３ 表示装置 ７４ 集中監視装置
フロントページの続き (72)発明者 藤沢 正造 大阪府大阪市中央区平野町四丁目１番２号 大阪瓦斯株式会社内
Claims (3)
- 【請求項１】 ガスメータにガス供給圧力を検出して電
気信号に変換するガス圧センサを設置し、ガスメータと
集中監視装置とを伝送回線で接続して、ガスメータのガ
ス供給圧力を測定することを特徴とするガス供給圧力測
定方法。 - 【請求項２】 前記ガス圧センサは、ガス圧に応じて弾
性変形する導電性のダイアフラムと、該ダイアフラムと
隔てて設けられる対向電極とを備え、 ダイアフラムと対向電極との間の静電容量を検出してア
ナログ信号に変換することを特徴とする請求項１記載の
ガス供給圧力測定方法。 - 【請求項３】 前記ダイアフラムは、導電性単結晶シリ
コンから成ることを特徴とする請求項２記載のガス供給
圧力測定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6133385A JPH085486A (ja) | 1994-06-15 | 1994-06-15 | ガス供給圧力測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6133385A JPH085486A (ja) | 1994-06-15 | 1994-06-15 | ガス供給圧力測定方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH085486A true JPH085486A (ja) | 1996-01-12 |
Family
ID=15103505
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6133385A Pending JPH085486A (ja) | 1994-06-15 | 1994-06-15 | ガス供給圧力測定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH085486A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20030018801A (ko) * | 2001-08-31 | 2003-03-06 | 이긍재 | 시설물 계측데이터 무선전송시스템 |
| JP2012088195A (ja) * | 2010-10-20 | 2012-05-10 | Denso Corp | 圧力センサ |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03158731A (ja) * | 1989-11-17 | 1991-07-08 | Hitachi Ltd | 半導体容量式圧力変換器 |
| JPH0526750A (ja) * | 1991-07-24 | 1993-02-02 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 管路気中送電線の管内ガス圧監視装置 |
| JPH05196532A (ja) * | 1992-01-22 | 1993-08-06 | Osaka Gas Co Ltd | 都市ガスガバナの異常検出方法 |
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-
1994
- 1994-06-15 JP JP6133385A patent/JPH085486A/ja active Pending
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|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |