JPH085354A - セラミック電子部品の測定方法 - Google Patents
セラミック電子部品の測定方法Info
- Publication number
- JPH085354A JPH085354A JP6156752A JP15675294A JPH085354A JP H085354 A JPH085354 A JP H085354A JP 6156752 A JP6156752 A JP 6156752A JP 15675294 A JP15675294 A JP 15675294A JP H085354 A JPH085354 A JP H085354A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- green sheet
- electrode
- film thickness
- fluorescent
- thickness
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Length-Measuring Devices Using Wave Or Particle Radiation (AREA)
- Fixed Capacitors And Capacitor Manufacturing Machines (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 セラミックのグリーンシート上に印刷した電
極の膜厚を蛍光Ｘ線膜厚計で精度よく測定することがで
きる測定方法を提供する。 【構成】 電極２を印刷したセラミックグリーンシート
３とこれを載置する蛍光Ｘ線膜厚計のステージ１の間
に、グリーンシート３と同じ材質で厚みのあるグリーン
シート６を介在させ、電極２の膜厚を蛍光Ｘ線膜厚計で
測定すると、電極２を印刷したグリーンシート３の厚み
変動の影響を抑制できるため、精度のよい測定ができ
る。
極の膜厚を蛍光Ｘ線膜厚計で精度よく測定することがで
きる測定方法を提供する。 【構成】 電極２を印刷したセラミックグリーンシート
３とこれを載置する蛍光Ｘ線膜厚計のステージ１の間
に、グリーンシート３と同じ材質で厚みのあるグリーン
シート６を介在させ、電極２の膜厚を蛍光Ｘ線膜厚計で
測定すると、電極２を印刷したグリーンシート３の厚み
変動の影響を抑制できるため、精度のよい測定ができ
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、セラミック電子部品
の測定方法、更に詳しくは、セラミックのグリーンシー
ト上に印刷した電極膜厚を蛍光Ｘ線膜厚計で高精度に測
定する測定方法に関する。
の測定方法、更に詳しくは、セラミックのグリーンシー
ト上に印刷した電極膜厚を蛍光Ｘ線膜厚計で高精度に測
定する測定方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】例えば、積層セラミックコンデンサは、
表面に電極膜を印刷したグリーンシートを積層して加圧
した後、切断と焼成の工程を経て製造される。
表面に電極膜を印刷したグリーンシートを積層して加圧
した後、切断と焼成の工程を経て製造される。
【０００３】このようなコンデンサの製造において、一
定の特性を得るには、グリーンシート上に印刷する電極
の膜厚の管理が極めて重要であり、製造工程で電極膜厚
の測定を行なわなければならない。
定の特性を得るには、グリーンシート上に印刷する電極
の膜厚の管理が極めて重要であり、製造工程で電極膜厚
の測定を行なわなければならない。
【０００４】従来、製造工程における電極膜厚の測定に
は図２に示すように、検出器に比例計数管を用いた蛍光
Ｘ線膜厚計を用いるのが一般的である。
は図２に示すように、検出器に比例計数管を用いた蛍光
Ｘ線膜厚計を用いるのが一般的である。
【０００５】具体的には、蛍光Ｘ線膜厚計のステージ１
上に、電極２を印刷したグリーンシート３を載置し、電
極２に上部からＸ線４を照射し、特性Ｘ線スペクトル５
を比例計数管で検出することにより、電極２の膜厚を測
定するものである。
上に、電極２を印刷したグリーンシート３を載置し、電
極２に上部からＸ線４を照射し、特性Ｘ線スペクトル５
を比例計数管で検出することにより、電極２の膜厚を測
定するものである。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】ところで、一般に使用
されている蛍光Ｘ線膜厚計の比例計数管は、特性Ｘ線ス
ペクトルの検出波長範囲が比較的広く設定され、分解能
が低いものである。
されている蛍光Ｘ線膜厚計の比例計数管は、特性Ｘ線ス
ペクトルの検出波長範囲が比較的広く設定され、分解能
が低いものである。
【０００７】また、測定せんとする電極２の膜厚は１０
μｍ程度と極めて薄いものである。このため、電極膜厚
の測定時に、グリーンシート３の特性Ｘ線スペクトルが
電極膜厚の特性Ｘ線スペクトルと重なることになり、こ
の場合、両方の特性Ｘ線スペクトルを検出してしまい、
正確な電極膜厚の測定ができない。
μｍ程度と極めて薄いものである。このため、電極膜厚
の測定時に、グリーンシート３の特性Ｘ線スペクトルが
電極膜厚の特性Ｘ線スペクトルと重なることになり、こ
の場合、両方の特性Ｘ線スペクトルを検出してしまい、
正確な電極膜厚の測定ができない。
【０００８】また、電極膜厚が薄く、かつグリーンシー
トの厚みも薄い場合には、照射Ｘ線が前記電極膜および
グリーンシートを通過し、蛍光Ｘ線膜厚計のステージ１
を構成する樹脂や軽金属の材質をも励起させてしまう。
トの厚みも薄い場合には、照射Ｘ線が前記電極膜および
グリーンシートを通過し、蛍光Ｘ線膜厚計のステージ１
を構成する樹脂や軽金属の材質をも励起させてしまう。
【０００９】上記ステージ１の材質は、特性Ｘ線スペク
トルが広い波長のスペクトルである。これにより、比例
計数管が電極膜以外、即ちグリーンシート３およびステ
ージ１の特性Ｘ線を同時にカウントしてしまい、これら
が電極膜の特性Ｘ線スペクトルと重なる場合には、スペ
クトルを分離して測定することができないため、電極膜
厚の測定精度が低下するという問題がある。
トルが広い波長のスペクトルである。これにより、比例
計数管が電極膜以外、即ちグリーンシート３およびステ
ージ１の特性Ｘ線を同時にカウントしてしまい、これら
が電極膜の特性Ｘ線スペクトルと重なる場合には、スペ
クトルを分離して測定することができないため、電極膜
厚の測定精度が低下するという問題がある。
【００１０】そこで、この発明の課題は、蛍光Ｘ線膜厚
計を用いた電極膜厚の測定が高精度に行なえるセラミッ
ク電子部品の測定方法を提供することにある。
計を用いた電極膜厚の測定が高精度に行なえるセラミッ
ク電子部品の測定方法を提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】上記のような課題を解決
するため、この発明は、セラミックのグリーンシート上
に印刷した電極の膜厚を蛍光Ｘ線膜厚計で測定する測定
方法において、グリーンシートとこれを載置する蛍光Ｘ
線膜厚計ステージの間に、上記グリーンシートと同じ材
質の厚みのあるグリーンシートを介在させて測定を行な
う構成を採用したものである。
するため、この発明は、セラミックのグリーンシート上
に印刷した電極の膜厚を蛍光Ｘ線膜厚計で測定する測定
方法において、グリーンシートとこれを載置する蛍光Ｘ
線膜厚計ステージの間に、上記グリーンシートと同じ材
質の厚みのあるグリーンシートを介在させて測定を行な
う構成を採用したものである。
【００１２】
【作用】セラミックグリーンシート上に印刷した電極の
厚みを蛍光Ｘ線膜厚計で測定するとき、グリーンシート
に同じ材質で厚みのあるグリーンシートを重ねると、電
極を印刷したグリーンシートの厚みを実質的に厚くする
ことができ、測定時にグリーンシートの厚み変動の影響
および蛍光Ｘ線膜厚計ステージ材質の影響を小さくし、
電極膜厚測定の精度を高めることができる。
厚みを蛍光Ｘ線膜厚計で測定するとき、グリーンシート
に同じ材質で厚みのあるグリーンシートを重ねると、電
極を印刷したグリーンシートの厚みを実質的に厚くする
ことができ、測定時にグリーンシートの厚み変動の影響
および蛍光Ｘ線膜厚計ステージ材質の影響を小さくし、
電極膜厚測定の精度を高めることができる。
【００１３】
【実施例】以下、この発明の実施例を添付図面の図１
（Ａ），（Ｂ）に基づいて説明する。
（Ａ），（Ｂ）に基づいて説明する。
【００１４】図１（Ａ）のように、セラミックのグリー
ンシート３上に印刷した電極２の膜厚を蛍光Ｘ線膜厚計
で測定するに際し、グリーンシート３と蛍光Ｘ線膜厚計
ステージ１の間に、上記グリーンシート３と同じ材質で
厚みのあるグリーンシート６を介在させて測定を行な
う。
ンシート３上に印刷した電極２の膜厚を蛍光Ｘ線膜厚計
で測定するに際し、グリーンシート３と蛍光Ｘ線膜厚計
ステージ１の間に、上記グリーンシート３と同じ材質で
厚みのあるグリーンシート６を介在させて測定を行な
う。
【００１５】前記グリーンシート３は、例えばＰｂ系複
合ペロブスカイト原料を使用し、電極２はＡｇ／Ｐｂ：
７０／３０を用い、介在させるグリーンシート６は、グ
リーンシート３と同材質の積層加圧成形体によって形成
されている。
合ペロブスカイト原料を使用し、電極２はＡｇ／Ｐｂ：
７０／３０を用い、介在させるグリーンシート６は、グ
リーンシート３と同材質の積層加圧成形体によって形成
されている。
【００１６】上記のように、グリーンシート３とステー
ジ１の間にグリーンシート６を介在させて電極２の厚み
を測定すると、電極２を印刷したグリーンシート３の厚
みが実質的に厚くなり、グリーンシート３の厚み変動の
影響を抑制することができ、電極２の厚み測定の精度が
向上する。
ジ１の間にグリーンシート６を介在させて電極２の厚み
を測定すると、電極２を印刷したグリーンシート３の厚
みが実質的に厚くなり、グリーンシート３の厚み変動の
影響を抑制することができ、電極２の厚み測定の精度が
向上する。
【００１７】次に、Ｐｂ系複合ペロブスカイト原料を使
用したグリーンシート３上に印刷したＡｇ／Ｐｂ：７０
／３０の電極２の厚み測定を、従来方法とこの発明の方
法で行なった結果を表１に示す。なお、この発明で用い
たグリーンシート６は、グリーンシート３を３０枚積層
したものを用いた。
用したグリーンシート３上に印刷したＡｇ／Ｐｂ：７０
／３０の電極２の厚み測定を、従来方法とこの発明の方
法で行なった結果を表１に示す。なお、この発明で用い
たグリーンシート６は、グリーンシート３を３０枚積層
したものを用いた。
【００１８】
【表１】
【００１９】上記測定結果から明らかなように、電極２
を印刷したグリーンシート３と蛍光Ｘ線膜厚計のステー
ジ１の中間にグリーンシート６を介在させて電極２の膜
厚を測定するこの発明の測定方法は、電極２の膜厚の測
定精度を向上させることができる。
を印刷したグリーンシート３と蛍光Ｘ線膜厚計のステー
ジ１の中間にグリーンシート６を介在させて電極２の膜
厚を測定するこの発明の測定方法は、電極２の膜厚の測
定精度を向上させることができる。
【００２０】前記グリーンシート６による積層加圧成形
体の厚みについては、電極２を印刷したグリーンシート
３の厚み変動の影響を受けないことが必要である。
体の厚みについては、電極２を印刷したグリーンシート
３の厚み変動の影響を受けないことが必要である。
【００２１】そこで、前記Ｐｂ系複合ペロブスカイト原
料を用いたグリーンシートの厚み（枚数）変化と電極印
刷膜および標準箔の厚み測定値の関係を図１（Ｂ）に示
す。なお、グリーンシートの厚みは１７μｍ、検量線は
従来方法で作成した検量線を使用した。
料を用いたグリーンシートの厚み（枚数）変化と電極印
刷膜および標準箔の厚み測定値の関係を図１（Ｂ）に示
す。なお、グリーンシートの厚みは１７μｍ、検量線は
従来方法で作成した検量線を使用した。
【００２２】図１（Ｂ）の測定値の関係から明らかなよ
うに、グリーンシート６の積層加圧成形体の厚みは、１
７μｍのグリーンシート３の２０枚分以上、好ましくは
３０枚分以上が必要であることが判る。
うに、グリーンシート６の積層加圧成形体の厚みは、１
７μｍのグリーンシート３の２０枚分以上、好ましくは
３０枚分以上が必要であることが判る。
【００２３】
【発明の効果】以上のように、この発明によると、蛍光
Ｘ線膜厚計を用い、グリーンシート上に印刷した電極の
膜厚を測定するに際し、グリーンシートと蛍光Ｘ線膜厚
計のステージの間にグリーンシートと同じ材質で厚みの
あるグリーンシートを介在させて測定を行なうようにし
たので、電極印刷グリーンシートの蛍光Ｘ線厚みを無限
大にすることができ、電極印刷グリーンシートの厚み変
動の影響を抑制し、電極膜厚の変動を精度よく測定する
ことができる。
Ｘ線膜厚計を用い、グリーンシート上に印刷した電極の
膜厚を測定するに際し、グリーンシートと蛍光Ｘ線膜厚
計のステージの間にグリーンシートと同じ材質で厚みの
あるグリーンシートを介在させて測定を行なうようにし
たので、電極印刷グリーンシートの蛍光Ｘ線厚みを無限
大にすることができ、電極印刷グリーンシートの厚み変
動の影響を抑制し、電極膜厚の変動を精度よく測定する
ことができる。
【００２４】なお、分解能の高い蛍光Ｘ線膜厚計を使用
すると、一段と測定精度が向上する。
すると、一段と測定精度が向上する。
【図１】（Ａ）はこの発明の測定方法を示す縦断面図、
（Ｂ）はグリーンシート枚数と導体厚み測定値を示すグ
ラフ図である。
（Ｂ）はグリーンシート枚数と導体厚み測定値を示すグ
ラフ図である。
【図２】従来の測定方法を示す縦断面図である。
１ 蛍光Ｘ線膜厚計ステージ ２ 電極 ３，６ グリーンシート
Claims (2)
- 【請求項１】 セラミックのグリーンシート上に印刷し
た電極の膜厚を蛍光Ｘ線膜厚計で測定する測定方法にお
いて、グリーンシートとこれを載置する蛍光Ｘ線膜厚計
ステージの間に、上記グリーンシートと同じ材質の厚み
のあるグリーンシートを介在させて測定を行なうことを
特徴とするセラミック電子部品の測定方法。 - 【請求項２】 介在させるグリーンシートが、グリーン
シートの積層加圧成形体である請求項１記載のセラミッ
ク電子部品の測定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6156752A JPH085354A (ja) | 1994-06-14 | 1994-06-14 | セラミック電子部品の測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6156752A JPH085354A (ja) | 1994-06-14 | 1994-06-14 | セラミック電子部品の測定方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH085354A true JPH085354A (ja) | 1996-01-12 |
Family
ID=15634548
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6156752A Pending JPH085354A (ja) | 1994-06-14 | 1994-06-14 | セラミック電子部品の測定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH085354A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109579750A (zh) * | 2017-09-29 | 2019-04-05 | 本田技研工业株式会社 | 电解质膜的膜厚测定方法及其装置 |
| CN113218344A (zh) * | 2020-02-04 | 2021-08-06 | 本田技研工业株式会社 | 膜电极构造体的检查方法 |
-
1994
- 1994-06-14 JP JP6156752A patent/JPH085354A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109579750A (zh) * | 2017-09-29 | 2019-04-05 | 本田技研工业株式会社 | 电解质膜的膜厚测定方法及其装置 |
| CN113218344A (zh) * | 2020-02-04 | 2021-08-06 | 本田技研工业株式会社 | 膜电极构造体的检查方法 |
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