JPH085354A - セラミック電子部品の測定方法 - Google Patents

セラミック電子部品の測定方法

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Publication number
JPH085354A
JPH085354A JP6156752A JP15675294A JPH085354A JP H085354 A JPH085354 A JP H085354A JP 6156752 A JP6156752 A JP 6156752A JP 15675294 A JP15675294 A JP 15675294A JP H085354 A JPH085354 A JP H085354A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
green sheet
electrode
film thickness
fluorescent
thickness
Prior art date
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Pending
Application number
JP6156752A
Other languages
English (en)
Inventor
Masaharu Riyougen
正春 了源
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Murata Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Murata Manufacturing Co Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Murata Manufacturing Co Ltd filed Critical Murata Manufacturing Co Ltd
Priority to JP6156752A priority Critical patent/JPH085354A/ja
Publication of JPH085354A publication Critical patent/JPH085354A/ja
Pending legal-status Critical Current

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  • Length-Measuring Devices Using Wave Or Particle Radiation (AREA)
  • Fixed Capacitors And Capacitor Manufacturing Machines (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 セラミックのグリーンシート上に印刷した電
極の膜厚を蛍光X線膜厚計で精度よく測定することがで
きる測定方法を提供する。 【構成】 電極2を印刷したセラミックグリーンシート
3とこれを載置する蛍光X線膜厚計のステージ1の間
に、グリーンシート3と同じ材質で厚みのあるグリーン
シート6を介在させ、電極2の膜厚を蛍光X線膜厚計で
測定すると、電極2を印刷したグリーンシート3の厚み
変動の影響を抑制できるため、精度のよい測定ができ
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、セラミック電子部品
の測定方法、更に詳しくは、セラミックのグリーンシー
ト上に印刷した電極膜厚を蛍光X線膜厚計で高精度に測
定する測定方法に関する。
【0002】
【従来の技術】例えば、積層セラミックコンデンサは、
表面に電極膜を印刷したグリーンシートを積層して加圧
した後、切断と焼成の工程を経て製造される。
【0003】このようなコンデンサの製造において、一
定の特性を得るには、グリーンシート上に印刷する電極
の膜厚の管理が極めて重要であり、製造工程で電極膜厚
の測定を行なわなければならない。
【0004】従来、製造工程における電極膜厚の測定に
は図2に示すように、検出器に比例計数管を用いた蛍光
X線膜厚計を用いるのが一般的である。
【0005】具体的には、蛍光X線膜厚計のステージ1
上に、電極2を印刷したグリーンシート3を載置し、電
極2に上部からX線4を照射し、特性X線スペクトル5
を比例計数管で検出することにより、電極2の膜厚を測
定するものである。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】ところで、一般に使用
されている蛍光X線膜厚計の比例計数管は、特性X線ス
ペクトルの検出波長範囲が比較的広く設定され、分解能
が低いものである。
【0007】また、測定せんとする電極2の膜厚は10
μm程度と極めて薄いものである。このため、電極膜厚
の測定時に、グリーンシート3の特性X線スペクトルが
電極膜厚の特性X線スペクトルと重なることになり、こ
の場合、両方の特性X線スペクトルを検出してしまい、
正確な電極膜厚の測定ができない。
【0008】また、電極膜厚が薄く、かつグリーンシー
トの厚みも薄い場合には、照射X線が前記電極膜および
グリーンシートを通過し、蛍光X線膜厚計のステージ1
を構成する樹脂や軽金属の材質をも励起させてしまう。
【0009】上記ステージ1の材質は、特性X線スペク
トルが広い波長のスペクトルである。これにより、比例
計数管が電極膜以外、即ちグリーンシート3およびステ
ージ1の特性X線を同時にカウントしてしまい、これら
が電極膜の特性X線スペクトルと重なる場合には、スペ
クトルを分離して測定することができないため、電極膜
厚の測定精度が低下するという問題がある。
【0010】そこで、この発明の課題は、蛍光X線膜厚
計を用いた電極膜厚の測定が高精度に行なえるセラミッ
ク電子部品の測定方法を提供することにある。
【0011】
【課題を解決するための手段】上記のような課題を解決
するため、この発明は、セラミックのグリーンシート上
に印刷した電極の膜厚を蛍光X線膜厚計で測定する測定
方法において、グリーンシートとこれを載置する蛍光X
線膜厚計ステージの間に、上記グリーンシートと同じ材
質の厚みのあるグリーンシートを介在させて測定を行な
う構成を採用したものである。
【0012】
【作用】セラミックグリーンシート上に印刷した電極の
厚みを蛍光X線膜厚計で測定するとき、グリーンシート
に同じ材質で厚みのあるグリーンシートを重ねると、電
極を印刷したグリーンシートの厚みを実質的に厚くする
ことができ、測定時にグリーンシートの厚み変動の影響
および蛍光X線膜厚計ステージ材質の影響を小さくし、
電極膜厚測定の精度を高めることができる。
【0013】
【実施例】以下、この発明の実施例を添付図面の図1
(A),(B)に基づいて説明する。
【0014】図1(A)のように、セラミックのグリー
ンシート3上に印刷した電極2の膜厚を蛍光X線膜厚計
で測定するに際し、グリーンシート3と蛍光X線膜厚計
ステージ1の間に、上記グリーンシート3と同じ材質で
厚みのあるグリーンシート6を介在させて測定を行な
う。
【0015】前記グリーンシート3は、例えばPb系複
合ペロブスカイト原料を使用し、電極2はAg/Pb:
70/30を用い、介在させるグリーンシート6は、グ
リーンシート3と同材質の積層加圧成形体によって形成
されている。
【0016】上記のように、グリーンシート3とステー
ジ1の間にグリーンシート6を介在させて電極2の厚み
を測定すると、電極2を印刷したグリーンシート3の厚
みが実質的に厚くなり、グリーンシート3の厚み変動の
影響を抑制することができ、電極2の厚み測定の精度が
向上する。
【0017】次に、Pb系複合ペロブスカイト原料を使
用したグリーンシート3上に印刷したAg/Pb:70
/30の電極2の厚み測定を、従来方法とこの発明の方
法で行なった結果を表1に示す。なお、この発明で用い
たグリーンシート6は、グリーンシート3を30枚積層
したものを用いた。
【0018】
【表1】
【0019】上記測定結果から明らかなように、電極2
を印刷したグリーンシート3と蛍光X線膜厚計のステー
ジ1の中間にグリーンシート6を介在させて電極2の膜
厚を測定するこの発明の測定方法は、電極2の膜厚の測
定精度を向上させることができる。
【0020】前記グリーンシート6による積層加圧成形
体の厚みについては、電極2を印刷したグリーンシート
3の厚み変動の影響を受けないことが必要である。
【0021】そこで、前記Pb系複合ペロブスカイト原
料を用いたグリーンシートの厚み(枚数)変化と電極印
刷膜および標準箔の厚み測定値の関係を図1(B)に示
す。なお、グリーンシートの厚みは17μm、検量線は
従来方法で作成した検量線を使用した。
【0022】図1(B)の測定値の関係から明らかなよ
うに、グリーンシート6の積層加圧成形体の厚みは、1
7μmのグリーンシート3の20枚分以上、好ましくは
30枚分以上が必要であることが判る。
【0023】
【発明の効果】以上のように、この発明によると、蛍光
X線膜厚計を用い、グリーンシート上に印刷した電極の
膜厚を測定するに際し、グリーンシートと蛍光X線膜厚
計のステージの間にグリーンシートと同じ材質で厚みの
あるグリーンシートを介在させて測定を行なうようにし
たので、電極印刷グリーンシートの蛍光X線厚みを無限
大にすることができ、電極印刷グリーンシートの厚み変
動の影響を抑制し、電極膜厚の変動を精度よく測定する
ことができる。
【0024】なお、分解能の高い蛍光X線膜厚計を使用
すると、一段と測定精度が向上する。
【図面の簡単な説明】
【図1】(A)はこの発明の測定方法を示す縦断面図、
(B)はグリーンシート枚数と導体厚み測定値を示すグ
ラフ図である。
【図2】従来の測定方法を示す縦断面図である。
【符号の説明】
1 蛍光X線膜厚計ステージ 2 電極 3,6 グリーンシート

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 セラミックのグリーンシート上に印刷し
    た電極の膜厚を蛍光X線膜厚計で測定する測定方法にお
    いて、グリーンシートとこれを載置する蛍光X線膜厚計
    ステージの間に、上記グリーンシートと同じ材質の厚み
    のあるグリーンシートを介在させて測定を行なうことを
    特徴とするセラミック電子部品の測定方法。
  2. 【請求項2】 介在させるグリーンシートが、グリーン
    シートの積層加圧成形体である請求項1記載のセラミッ
    ク電子部品の測定方法。
JP6156752A 1994-06-14 1994-06-14 セラミック電子部品の測定方法 Pending JPH085354A (ja)

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JP6156752A JPH085354A (ja) 1994-06-14 1994-06-14 セラミック電子部品の測定方法

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109579750A (zh) * 2017-09-29 2019-04-05 本田技研工业株式会社 电解质膜的膜厚测定方法及其装置
CN113218344A (zh) * 2020-02-04 2021-08-06 本田技研工业株式会社 膜电极构造体的检查方法

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