JPH0851786A - 静電モータ - Google Patents
静電モータInfo
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- JPH0851786A JPH0851786A JP20806994A JP20806994A JPH0851786A JP H0851786 A JPH0851786 A JP H0851786A JP 20806994 A JP20806994 A JP 20806994A JP 20806994 A JP20806994 A JP 20806994A JP H0851786 A JPH0851786 A JP H0851786A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 可動子と固定子の間の摩擦抵抗が小さく、安
定して高速で移動できる静電モータを提供する。 【構成】 絶縁体２１、２１’の表面に金属薄膜からな
る固定子電極２２、２２’を一定の間隔で設けた固定子
２、２’と、絶縁体１１の表面に前記固定子電極面に対
向して金属薄膜からなる可動子電極１２、１２’を固定
子電極２２、２２’と所定の関係になるように設けた可
動子１とを有する静電モータにおいて、固定子電極２
２、２２’および可動子電極１２、１２’は、固定子
２、２’および可動子１の表面にそれぞれ所定の間隔を
置いて設けた溝部１３、２３、２３’の中にそれぞれ設
けられ、固定子２、２’と可動子１との間に絶縁性潤滑
油を充填したものである。
定して高速で移動できる静電モータを提供する。 【構成】 絶縁体２１、２１’の表面に金属薄膜からな
る固定子電極２２、２２’を一定の間隔で設けた固定子
２、２’と、絶縁体１１の表面に前記固定子電極面に対
向して金属薄膜からなる可動子電極１２、１２’を固定
子電極２２、２２’と所定の関係になるように設けた可
動子１とを有する静電モータにおいて、固定子電極２
２、２２’および可動子電極１２、１２’は、固定子
２、２’および可動子１の表面にそれぞれ所定の間隔を
置いて設けた溝部１３、２３、２３’の中にそれぞれ設
けられ、固定子２、２’と可動子１との間に絶縁性潤滑
油を充填したものである。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、静電気を用いて可動子
を移動させる静電モータに関する。
を移動させる静電モータに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、静電モータは、例えばリニアモー
タに適用した場合、第１の従来例は図５に示すように構
成してある。すなわち、１は可動子で、表面が平板状の
絶縁体１１の両面に長方形の金属薄膜からなる可動子電
極１２、１２’を所定ピッチで移動方向に配置してあ
る。２、２’は可動子１の両面に対向させた絶縁体２
１、２１’からなる固定子で、可動子電極１２、１２’
に微小空隙を介して対向する金属薄膜からなる固定子電
極２２、２２’を備えている。（例えば、特開昭６２−
４４０７９号）。静電モータの動作原理は、固定子２の
固定子電極２２、２２’に電圧を印加した時、可動子１
の可動子電極１２、１２’が固定子電極２２、２２’間
に引き込まれるという現象を利用したものである。この
時発生する静電気による吸引力ｆは、次の（１）式で表
される。 ｆ＝（ε0 Ｖ2 Ｗ／２）［｛ε1 ／（２ε1 ｇ＋ε0 ｄ）｝ −｛１／（２ｇ＋ｄ）｝］ …（１） ここで、ε0 は空気の誘電率、ε1 は絶縁体１１の誘電
率、Ｖは固定子電極２２、２２’間の電圧、Ｗは固定子
電極２２、２２’の幅、ｇは固定子電極２２と可動子電
極１２間、および固定子電極２２’と可動子電極１２’
間の距離、ｄは絶縁体１１の厚さである。静電気による
吸引力ｆを大きくするためには、電極の幅Ｗと印加電圧
Ｖを一定とすると、可動子電極と固定子電極との間の距
離ｇと絶縁体の厚さｄを小さくすることが考えられる
が、可動子電極と固定子電極との間の距離ｇを小さくす
ると、可動子電極と固定子電極とが接触し、短絡し易く
なるという問題が生じる。また、可動子と固定子の接触
により生じる摩擦力により、可動子の移動が止まるとい
う問題がある。この問題を解決する第２の従来例とし
て、図６に示すように、可動子１および固定子２の少な
くとも一方の面に絶縁性自己潤滑膜３を備え、可動子１
が固定子２に接触しても摩擦力が小さくなるようにして
移動可能にしたものがある。
タに適用した場合、第１の従来例は図５に示すように構
成してある。すなわち、１は可動子で、表面が平板状の
絶縁体１１の両面に長方形の金属薄膜からなる可動子電
極１２、１２’を所定ピッチで移動方向に配置してあ
る。２、２’は可動子１の両面に対向させた絶縁体２
１、２１’からなる固定子で、可動子電極１２、１２’
に微小空隙を介して対向する金属薄膜からなる固定子電
極２２、２２’を備えている。（例えば、特開昭６２−
４４０７９号）。静電モータの動作原理は、固定子２の
固定子電極２２、２２’に電圧を印加した時、可動子１
の可動子電極１２、１２’が固定子電極２２、２２’間
に引き込まれるという現象を利用したものである。この
時発生する静電気による吸引力ｆは、次の（１）式で表
される。 ｆ＝（ε0 Ｖ2 Ｗ／２）［｛ε1 ／（２ε1 ｇ＋ε0 ｄ）｝ −｛１／（２ｇ＋ｄ）｝］ …（１） ここで、ε0 は空気の誘電率、ε1 は絶縁体１１の誘電
率、Ｖは固定子電極２２、２２’間の電圧、Ｗは固定子
電極２２、２２’の幅、ｇは固定子電極２２と可動子電
極１２間、および固定子電極２２’と可動子電極１２’
間の距離、ｄは絶縁体１１の厚さである。静電気による
吸引力ｆを大きくするためには、電極の幅Ｗと印加電圧
Ｖを一定とすると、可動子電極と固定子電極との間の距
離ｇと絶縁体の厚さｄを小さくすることが考えられる
が、可動子電極と固定子電極との間の距離ｇを小さくす
ると、可動子電極と固定子電極とが接触し、短絡し易く
なるという問題が生じる。また、可動子と固定子の接触
により生じる摩擦力により、可動子の移動が止まるとい
う問題がある。この問題を解決する第２の従来例とし
て、図６に示すように、可動子１および固定子２の少な
くとも一方の面に絶縁性自己潤滑膜３を備え、可動子１
が固定子２に接触しても摩擦力が小さくなるようにして
移動可能にしたものがある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところが、従来技術で
は、絶縁性自己潤滑膜の摩擦係数が微小荷重領域では急
激に大きくなるため、負荷重量の軽い小形の静電モータ
ではエネルギ損失が大きく、駆動電圧に対して移動速度
が十分に大きくならないという問題が生じた。また、絶
縁性自己潤滑膜内のピンホール等の欠陥のために、駆動
電圧印加中に沿面放電による絶縁破壊を生じて短絡する
という問題も生じた。本発明は、可動子と固定子の間の
摩擦抵抗が小さく、安定して高速で移動できる静電モー
タを提供することを目的とするものである。
は、絶縁性自己潤滑膜の摩擦係数が微小荷重領域では急
激に大きくなるため、負荷重量の軽い小形の静電モータ
ではエネルギ損失が大きく、駆動電圧に対して移動速度
が十分に大きくならないという問題が生じた。また、絶
縁性自己潤滑膜内のピンホール等の欠陥のために、駆動
電圧印加中に沿面放電による絶縁破壊を生じて短絡する
という問題も生じた。本発明は、可動子と固定子の間の
摩擦抵抗が小さく、安定して高速で移動できる静電モー
タを提供することを目的とするものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記問題を解決するた
め、本発明は、絶縁体の表面に金属薄膜からなる固定子
電極を一定の間隔で設けた固定子と、絶縁体の表面に前
記固定子電極面に対向して金属薄膜からなる可動子電極
を前記固定子電極と所定の関係になるように設けた可動
子とを有する静電モータにおいて、前記固定子電極およ
び前記可動子電極は、前記絶縁体の表面にそれぞれ所定
の間隔を置いて設けた溝部にそれぞれ設けられ、前記固
定子と前記可動子との間に絶縁性潤滑油を充填したもの
である。また、前記可動子および前記固定子の絶縁体
は、少なくとも一方の表面は多孔質からなり、前記可動
子電極および前記固定子電極はそれぞれ前記多孔質体の
絶縁体に設けた溝部に設けられ、前記多孔質体に絶縁性
潤滑油を含浸させたものである。
め、本発明は、絶縁体の表面に金属薄膜からなる固定子
電極を一定の間隔で設けた固定子と、絶縁体の表面に前
記固定子電極面に対向して金属薄膜からなる可動子電極
を前記固定子電極と所定の関係になるように設けた可動
子とを有する静電モータにおいて、前記固定子電極およ
び前記可動子電極は、前記絶縁体の表面にそれぞれ所定
の間隔を置いて設けた溝部にそれぞれ設けられ、前記固
定子と前記可動子との間に絶縁性潤滑油を充填したもの
である。また、前記可動子および前記固定子の絶縁体
は、少なくとも一方の表面は多孔質からなり、前記可動
子電極および前記固定子電極はそれぞれ前記多孔質体の
絶縁体に設けた溝部に設けられ、前記多孔質体に絶縁性
潤滑油を含浸させたものである。
【０００５】
【作用】上記手段により、可動子の電極と固定子の電極
とは溝部の中に入り込んでいるので、直接接触すること
がなく、絶縁破壊を起こすこともなくなる。また、可動
子と固定子の表面を多孔質の絶縁体で形成し、その多孔
質部分に絶縁性潤滑油を含浸させてあるので、可動子と
固定子の間の空隙が極めて小さくなっても、絶縁性潤滑
油が介在するので摩擦抵抗は小さくなり、移動速度を高
めることができる。
とは溝部の中に入り込んでいるので、直接接触すること
がなく、絶縁破壊を起こすこともなくなる。また、可動
子と固定子の表面を多孔質の絶縁体で形成し、その多孔
質部分に絶縁性潤滑油を含浸させてあるので、可動子と
固定子の間の空隙が極めて小さくなっても、絶縁性潤滑
油が介在するので摩擦抵抗は小さくなり、移動速度を高
めることができる。
【０００６】
【実施例】以下、本発明を図に示す実施例について説明
する。図１は本発明の第１の実施例を示す側断面図であ
る。なお、従来例を説明した図６と共通する要素は同一
符号を付して説明は省略する。図において、１１はポリ
テトラフルオロエチレン（以下、ＰＴＦＥという）から
なる絶縁体、１２、１２’はアルミニウム（以下、Ａｌ
と略す）からなる金属薄膜で可動子１を構成している。
固定子電極２２、２２’はＡｌの金属薄膜からなる電極
で、ＰＴＦＥからなる絶縁体２１、２１’に設けてあ
る。１３は可動子１の両表面に可動子電極１２、１２’
と同じピッチで複数個設けた深さ０．５μｍ、幅６０μ
ｍの溝部である。可動子１は次の方法で作製した。厚さ
０．５ｍｍのＰＴＦＥ板を絶縁体１１とし、その両面
に、６０μｍ間隔に幅６０μの長方形の穴の開いたステ
ンレス製マスク板を取り付け、イオンエッチング法によ
りＰＴＦＥ板の両面に深さ０．５μｍの溝部１３を設け
た。さらに、ステンレス製マスク板を取り外さずに、溝
部１３にスパッタリング法によりＡｌを０．３μｍ蒸着
した。したがって、可動子１の表面から約０．２μｍ窪
んだ位置にＡｌの可動子電極１２、１２’が形成され
る。固定子２、２’は固定子電極２２、２２’の幅を６
０μｍ、電極間距離を８０μｍとして、可動子１と同様
の方法で、絶縁体２１、２１’の可動子１と対向する面
にそれぞれ溝部２３、２３’を設け、その中に固定子電
極２２、２２’をスパッタリング法によりＡｌを蒸着さ
せて作製した。このようにして作製した可動子１の両面
に、微小空隙ｇを介して、二つの固定子２を対向させ、
微小空隙ｇおよび溝部１３に絶縁性潤滑油を充填して静
電モータを構成した。以上の構成により、可動子１と固
定子２、２’の間の空隙ｇが極めて小さくなっても、可
動子１と固定子２、２’の表面には絶縁性潤滑油が介在
するので摩擦抵抗は小さくなり、従来型の静電モータに
比べて、最大移動速度は約２倍になった。また、可動子
の可動子電極１２、１２’と固定子の固定子電極２２、
２２’とは溝部１３、２３、２３’の中に入り込んでい
るので、直接接触することがなく、絶縁破壊を起こすこ
ともなくなった。
する。図１は本発明の第１の実施例を示す側断面図であ
る。なお、従来例を説明した図６と共通する要素は同一
符号を付して説明は省略する。図において、１１はポリ
テトラフルオロエチレン（以下、ＰＴＦＥという）から
なる絶縁体、１２、１２’はアルミニウム（以下、Ａｌ
と略す）からなる金属薄膜で可動子１を構成している。
固定子電極２２、２２’はＡｌの金属薄膜からなる電極
で、ＰＴＦＥからなる絶縁体２１、２１’に設けてあ
る。１３は可動子１の両表面に可動子電極１２、１２’
と同じピッチで複数個設けた深さ０．５μｍ、幅６０μ
ｍの溝部である。可動子１は次の方法で作製した。厚さ
０．５ｍｍのＰＴＦＥ板を絶縁体１１とし、その両面
に、６０μｍ間隔に幅６０μの長方形の穴の開いたステ
ンレス製マスク板を取り付け、イオンエッチング法によ
りＰＴＦＥ板の両面に深さ０．５μｍの溝部１３を設け
た。さらに、ステンレス製マスク板を取り外さずに、溝
部１３にスパッタリング法によりＡｌを０．３μｍ蒸着
した。したがって、可動子１の表面から約０．２μｍ窪
んだ位置にＡｌの可動子電極１２、１２’が形成され
る。固定子２、２’は固定子電極２２、２２’の幅を６
０μｍ、電極間距離を８０μｍとして、可動子１と同様
の方法で、絶縁体２１、２１’の可動子１と対向する面
にそれぞれ溝部２３、２３’を設け、その中に固定子電
極２２、２２’をスパッタリング法によりＡｌを蒸着さ
せて作製した。このようにして作製した可動子１の両面
に、微小空隙ｇを介して、二つの固定子２を対向させ、
微小空隙ｇおよび溝部１３に絶縁性潤滑油を充填して静
電モータを構成した。以上の構成により、可動子１と固
定子２、２’の間の空隙ｇが極めて小さくなっても、可
動子１と固定子２、２’の表面には絶縁性潤滑油が介在
するので摩擦抵抗は小さくなり、従来型の静電モータに
比べて、最大移動速度は約２倍になった。また、可動子
の可動子電極１２、１２’と固定子の固定子電極２２、
２２’とは溝部１３、２３、２３’の中に入り込んでい
るので、直接接触することがなく、絶縁破壊を起こすこ
ともなくなった。
【０００７】図２は、本発明の第２の実施例を示す側断
面図である。なお、固定子２、２’は第１の実施例と同
じ構成とし、可動子１は次の方法で作製した。厚さ０．
５ｍｍのＡｌ板１１ａの両表面に絶縁層であるアルマイ
ト処理層１４を陽極酸化により１．５μｍずつ形成し
て、導電体であるＡｌ板１１ａの表面だけに絶縁層を備
えた絶縁体１１とし、その後、６０μｍ間隔に幅６０μ
の長方形の穴の開いたステンレス製マスク板を取りつけ
て、イオンエッチング法によりアルマイト処理層１４に
深さ０．５μｍの溝部１３を設けた。さらにステンレス
製マスク板を取り外さずに、この溝部１３にスパッタリ
ング法によりＡｌを０．３μｍ蒸着して、可動子１の表
面から約０．２μｍ窪んだ位置にＡｌの可動子電極１
２、１２’を形成した。アルマイト処理層１４は多孔質
絶縁体となっているので、アルマイト処理層１４に絶縁
性潤滑油を含浸させ、可動子１と固定子２の間の潤滑作
用を行わせる構造とした。このような構成により、静電
モータは駆動電圧印加中に沿面放電による電圧降下は発
生せず、最大移動速度は、第１の実施例に比べて約１．
５倍となった。なお、上記実施例では、固定子２、２’
をＰＴＦＥによって形成し、その表面に電極を設けた例
について説明したが、Ａｌ板の表面にアルマイト処理層
を設けて、そのアルマイト処理層に電極を設けるように
してもよい。
面図である。なお、固定子２、２’は第１の実施例と同
じ構成とし、可動子１は次の方法で作製した。厚さ０．
５ｍｍのＡｌ板１１ａの両表面に絶縁層であるアルマイ
ト処理層１４を陽極酸化により１．５μｍずつ形成し
て、導電体であるＡｌ板１１ａの表面だけに絶縁層を備
えた絶縁体１１とし、その後、６０μｍ間隔に幅６０μ
の長方形の穴の開いたステンレス製マスク板を取りつけ
て、イオンエッチング法によりアルマイト処理層１４に
深さ０．５μｍの溝部１３を設けた。さらにステンレス
製マスク板を取り外さずに、この溝部１３にスパッタリ
ング法によりＡｌを０．３μｍ蒸着して、可動子１の表
面から約０．２μｍ窪んだ位置にＡｌの可動子電極１
２、１２’を形成した。アルマイト処理層１４は多孔質
絶縁体となっているので、アルマイト処理層１４に絶縁
性潤滑油を含浸させ、可動子１と固定子２の間の潤滑作
用を行わせる構造とした。このような構成により、静電
モータは駆動電圧印加中に沿面放電による電圧降下は発
生せず、最大移動速度は、第１の実施例に比べて約１．
５倍となった。なお、上記実施例では、固定子２、２’
をＰＴＦＥによって形成し、その表面に電極を設けた例
について説明したが、Ａｌ板の表面にアルマイト処理層
を設けて、そのアルマイト処理層に電極を設けるように
してもよい。
【０００８】図３は本発明の第３の実施例を示す側断面
図である。なお、固定子２、２’は第１の実施例と同じ
構成とし、可動子１は次の方法で作製した。厚さ０．５
ｍｍの多孔質ＰＴＦＥ板を絶縁体１１’とし、その両面
に、６０μｍ間隔に幅６０μの長方形の穴の開いたステ
ンレス製マスク板を取り付け、イオンエッチング法によ
り多孔質ＰＴＦＥ板の両面に深さ０．５μｍの溝部１３
を設けた。さらに、ステンレス製マスク板を取り外さず
に、溝部１３にスパッタリング法によりＡｌを０．３μ
ｍ蒸着し、可動子１の表面から約０．２μｍ窪んだ位置
にＡｌの可動子電極１２、１２’を形成した。絶縁体１
１’は多孔質になっているので、絶縁性潤滑油を含浸さ
せ、可動子１と固定子２、２’の間の潤滑作用を行わせ
る構造とした。このような構成により、静電モータは、
実施例２とほぼ同様に、駆動電圧印加中に沿面放電によ
る電圧降下は発生せず、最大移動速度は、第１の実施例
に比べて約１．５倍となった。
図である。なお、固定子２、２’は第１の実施例と同じ
構成とし、可動子１は次の方法で作製した。厚さ０．５
ｍｍの多孔質ＰＴＦＥ板を絶縁体１１’とし、その両面
に、６０μｍ間隔に幅６０μの長方形の穴の開いたステ
ンレス製マスク板を取り付け、イオンエッチング法によ
り多孔質ＰＴＦＥ板の両面に深さ０．５μｍの溝部１３
を設けた。さらに、ステンレス製マスク板を取り外さず
に、溝部１３にスパッタリング法によりＡｌを０．３μ
ｍ蒸着し、可動子１の表面から約０．２μｍ窪んだ位置
にＡｌの可動子電極１２、１２’を形成した。絶縁体１
１’は多孔質になっているので、絶縁性潤滑油を含浸さ
せ、可動子１と固定子２、２’の間の潤滑作用を行わせ
る構造とした。このような構成により、静電モータは、
実施例２とほぼ同様に、駆動電圧印加中に沿面放電によ
る電圧降下は発生せず、最大移動速度は、第１の実施例
に比べて約１．５倍となった。
【０００９】図４は本発明の第４の実施例を示す側断面
図である。なお、固定子２、２’は第１の実施例と同じ
構成とし、可動子１は次の方法で作製した。厚さ０．５
ｍｍのＰＴＦＥ板を絶縁体１１とし、その両面に０．５
μｍの多孔質ＰＴＦＥ膜１５を形成したあと、６０μｍ
間隔に幅６０μの長方形の穴の開いたステンレス製マス
ク板を取り付け、イオンエッチング法により多孔質ＰＴ
ＦＥ板の両面に深さ０．５μｍの溝部１３を設けた。さ
らに、ステンレス製マスク板を取り外さずに、溝部１３
にスパッタリング法によりＡｌを０．３μｍ蒸着し、可
動子１の表面から約０．２μｍ窪んだ位置にＡｌの可動
子電極１２、１２’を形成した。絶縁体１１の両表面は
多孔質になっているので、絶縁性潤滑油を含浸させ、可
動子１と固定子２の間の潤滑作用を行わせる構造とし
た。このよう構成により、静電モータは、実施例２、３
とほぼ同様に、駆動電圧印加中に沿面放電による電圧降
下は発生せず、最大移動速度は、第１の実施例に比べて
約１．５倍となった。なお、上記実施例では固定子をＰ
ＴＦＥ板の表面に電極を設けた例について説明したが、
その表面に多孔質ＰＴＦＥ膜を形成し、その多孔質ＰＴ
ＦＥ膜に電極を設けるとともに、絶縁性潤滑油を含浸す
るようにしてもよい。また、上記実施例ではリニアモー
タに適用した例について説明したが、可動子を円筒状の
回転子とし、固定子を回転子に対向する円筒状に形成し
て回転形モータに適用してもよい。
図である。なお、固定子２、２’は第１の実施例と同じ
構成とし、可動子１は次の方法で作製した。厚さ０．５
ｍｍのＰＴＦＥ板を絶縁体１１とし、その両面に０．５
μｍの多孔質ＰＴＦＥ膜１５を形成したあと、６０μｍ
間隔に幅６０μの長方形の穴の開いたステンレス製マス
ク板を取り付け、イオンエッチング法により多孔質ＰＴ
ＦＥ板の両面に深さ０．５μｍの溝部１３を設けた。さ
らに、ステンレス製マスク板を取り外さずに、溝部１３
にスパッタリング法によりＡｌを０．３μｍ蒸着し、可
動子１の表面から約０．２μｍ窪んだ位置にＡｌの可動
子電極１２、１２’を形成した。絶縁体１１の両表面は
多孔質になっているので、絶縁性潤滑油を含浸させ、可
動子１と固定子２の間の潤滑作用を行わせる構造とし
た。このよう構成により、静電モータは、実施例２、３
とほぼ同様に、駆動電圧印加中に沿面放電による電圧降
下は発生せず、最大移動速度は、第１の実施例に比べて
約１．５倍となった。なお、上記実施例では固定子をＰ
ＴＦＥ板の表面に電極を設けた例について説明したが、
その表面に多孔質ＰＴＦＥ膜を形成し、その多孔質ＰＴ
ＦＥ膜に電極を設けるとともに、絶縁性潤滑油を含浸す
るようにしてもよい。また、上記実施例ではリニアモー
タに適用した例について説明したが、可動子を円筒状の
回転子とし、固定子を回転子に対向する円筒状に形成し
て回転形モータに適用してもよい。
【００１０】
【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、可
動子と固定子の表面に溝部を設けてそれぞれの電極を溝
部の中に沈めて設けてあるとともに、可動子と固定子の
表面を多孔質で形成して絶縁性潤滑油を含浸してあるの
で、金属薄膜と電極とが接触することがなく、可動子と
固定子の間の摩擦抵抗が小さく、安定して高速で移動で
きる静電モータを提供できる効果がある。
動子と固定子の表面に溝部を設けてそれぞれの電極を溝
部の中に沈めて設けてあるとともに、可動子と固定子の
表面を多孔質で形成して絶縁性潤滑油を含浸してあるの
で、金属薄膜と電極とが接触することがなく、可動子と
固定子の間の摩擦抵抗が小さく、安定して高速で移動で
きる静電モータを提供できる効果がある。
【図１】 本発明の第１の実施例を示す側断面図であ
る。
る。
【図２】 本発明の第２の実施例を示す側断面図であ
る。
る。
【図３】 本発明の第３の実施例を示す側断面図であ
る。
る。
【図４】 本発明の第４の実施例を示す側断面図であ
る。
る。
【図５】 第１の従来例を示す側断面図である。
【図６】 第２の従来例を示す側断面図である。
１ 可動子、１１、１１’ 絶縁体、１１ａ Ａｌ板、
１２、１２’ 可動子電極、１３ 溝部、１４ アルマ
イト処理層、１５ 多孔質ＰＴＦＥ膜、２、２’ 固定
子、２１、２１’ 絶縁体、２２、２２’固定子電極、
２３、２３’溝部
１２、１２’ 可動子電極、１３ 溝部、１４ アルマ
イト処理層、１５ 多孔質ＰＴＦＥ膜、２、２’ 固定
子、２１、２１’ 絶縁体、２２、２２’固定子電極、
２３、２３’溝部
Claims (4)
- 【請求項１】 絶縁体の表面に金属薄膜からなる固定子
電極を一定の間隔で設けた固定子と、絶縁体の表面に前
記固定子電極面に対向して金属薄膜からなる可動子電極
を前記固定子電極と所定の関係になるように設けた可動
子とを有する静電モータにおいて、前記固定子電極およ
び前記可動子電極は、前記絶縁体の表面にそれぞれ所定
の間隔を置いて設けた溝部にそれぞれ設けられ、前記固
定子と前記可動子との間に絶縁性潤滑油を充填したこと
を特徴とする静電モータ。 - 【請求項２】 絶縁体の表面に金属薄膜からなる固定子
電極を一定の間隔で設けた固定子と、絶縁体の表面に前
記固定子電極面に対向して金属薄膜からなる可動子電極
を前記固定子電極と所定の関係になるように設けた可動
子とを有する静電モータにおいて、前記可動子および前
記固定子の絶縁体は、少なくとも一方の表面が多孔質体
からなり、前記可動子電極および前記固定子電極はそれ
ぞれ前記多孔質体の絶縁体に設けた溝部に設けられ、前
記多孔質体に絶縁性潤滑油を含浸させたことを特徴とす
る静電モータ。 - 【請求項３】 前記多孔質体はＡｌ材の表面に形成した
アルマイト処理層である請求項２記載の静電モータ。 - 【請求項４】 前記多孔質体がＰＴＦＥである請求項２
記載の静電モータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20806994A JPH0851786A (ja) | 1994-08-08 | 1994-08-08 | 静電モータ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20806994A JPH0851786A (ja) | 1994-08-08 | 1994-08-08 | 静電モータ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0851786A true JPH0851786A (ja) | 1996-02-20 |
Family
ID=16550136
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20806994A Pending JPH0851786A (ja) | 1994-08-08 | 1994-08-08 | 静電モータ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0851786A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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-
1994
- 1994-08-08 JP JP20806994A patent/JPH0851786A/ja active Pending
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