JPH0851116A - ウエハーヒーターのための動力損回復 - Google Patents
ウエハーヒーターのための動力損回復Info
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- JPH0851116A JPH0851116A JP7036880A JP3688095A JPH0851116A JP H0851116 A JPH0851116 A JP H0851116A JP 7036880 A JP7036880 A JP 7036880A JP 3688095 A JP3688095 A JP 3688095A JP H0851116 A JPH0851116 A JP H0851116A
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- wafer heater
- pneumatic cylinder
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- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P70/00—Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
- Y02P70/50—Manufacturing or production processes characterised by the final manufactured product
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
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Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【目的】 電源事故などによる停電中に、半導体ウエハ
の加熱用ヒータが収縮を始めウエハを捕え、ウエハが破
損する前にウエハを取出し可能な回収装置を提供する。 【構成】 ウエハヒータアセンブリは、ウエハを収納し
処理中のウエハを定置させるようになっていて、その上
面内に凹所が形成されている。正常動作中は、空気圧シ
リンダ５２はウエハヒータ組立体を駆動する電動機１１
の運動径路から外れている。電力が中断時には常開弁６
０が開いて、ヒータ組立体が収縮してウエハが破損する
程度まで冷込む前に、空気圧シリンダ５２を作動させ、
ヒータ組立体を下方に駆動し、ヒータの凹所からウエハ
を移動させることができる。電力の回復時には空気圧シ
リンダへの空気供給は遮断され、ヒータは電動機１１に
よって定位置に戻る。かゝる処置によりシステム命令が
発せられ、電動機が空気圧シリンダを将来の運動に備え
て準備万端の位置に戻すことができる。
の加熱用ヒータが収縮を始めウエハを捕え、ウエハが破
損する前にウエハを取出し可能な回収装置を提供する。 【構成】 ウエハヒータアセンブリは、ウエハを収納し
処理中のウエハを定置させるようになっていて、その上
面内に凹所が形成されている。正常動作中は、空気圧シ
リンダ５２はウエハヒータ組立体を駆動する電動機１１
の運動径路から外れている。電力が中断時には常開弁６
０が開いて、ヒータ組立体が収縮してウエハが破損する
程度まで冷込む前に、空気圧シリンダ５２を作動させ、
ヒータ組立体を下方に駆動し、ヒータの凹所からウエハ
を移動させることができる。電力の回復時には空気圧シ
リンダへの空気供給は遮断され、ヒータは電動機１１に
よって定位置に戻る。かゝる処置によりシステム命令が
発せられ、電動機が空気圧シリンダを将来の運動に備え
て準備万端の位置に戻すことができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体ウエハー処理装
置に関する。より詳細には、本発明は、半導体ウエハー
ヒーター用の動力損失回復機構に関する。
置に関する。より詳細には、本発明は、半導体ウエハー
ヒーター用の動力損失回復機構に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体ウエハーの処理中にヒーターを使
用してウエハーの所望高温を確立、維持し、これによ
り、行おうとする個々の処理工程に最適のウエハー温度
を確保することができる。図１は、半導体ウエハー加熱
アセンブリを備える従来の処理環境１０の、部分断面側
面図である。
用してウエハーの所望高温を確立、維持し、これによ
り、行おうとする個々の処理工程に最適のウエハー温度
を確保することができる。図１は、半導体ウエハー加熱
アセンブリを備える従来の処理環境１０の、部分断面側
面図である。
【０００３】処理の間、ウエハー２８はヒーターアセン
ブリ２２等のペデスタルで堅持される。このヒーターア
センブリは所望温度に維持された大きな熱質量体を備
え、これにより、ウエハーも又、ヒーターアセンブリに
配置されたとき、処理中、その所望温度に維持されるよ
うになっている。処理条件いかんによってはウエハー表
面に温度の勾配即ち変化が発生するとしても、ヒーター
アセンブリがウエハー表面の全体にわたって一定温度を
維持することが理想である。このため、従来のウエハー
ヒーターアセンブリは、熱質量体に加え、以下のような
数個の温度調整装置を備えている。
ブリ２２等のペデスタルで堅持される。このヒーターア
センブリは所望温度に維持された大きな熱質量体を備
え、これにより、ウエハーも又、ヒーターアセンブリに
配置されたとき、処理中、その所望温度に維持されるよ
うになっている。処理条件いかんによってはウエハー表
面に温度の勾配即ち変化が発生するとしても、ヒーター
アセンブリがウエハー表面の全体にわたって一定温度を
維持することが理想である。このため、従来のウエハー
ヒーターアセンブリは、熱質量体に加え、以下のような
数個の温度調整装置を備えている。
【０００４】１）電気ヒーター或いは被加熱流体循環導
管とすることのできる熱源２３； ２）ウエハー裏面への伝熱流体、例えば、導管２５で循
環される冷却液や加熱ガス；及び／又は ３）ウエハーをウエハーヒーターアセンブリにしっかり
と引き寄せる真空２６。ヒーターアセンブリ温度は、熱
電対２４でモニターする。この熱電対は加熱アセンブリ
内に配置されるが、ヒーターアセンブリ表面、即ちウエ
ハー裏面、の温度がモニターされるようにすることが好
ましい。
管とすることのできる熱源２３； ２）ウエハー裏面への伝熱流体、例えば、導管２５で循
環される冷却液や加熱ガス；及び／又は ３）ウエハーをウエハーヒーターアセンブリにしっかり
と引き寄せる真空２６。ヒーターアセンブリ温度は、熱
電対２４でモニターする。この熱電対は加熱アセンブリ
内に配置されるが、ヒーターアセンブリ表面、即ちウエ
ハー裏面、の温度がモニターされるようにすることが好
ましい。
【０００５】典型的な処理チャンバは図１に示されるよ
うなものであり、ドーム形状の上部３３を有する。ウエ
ハーの上方に置かれるサセプタ３４が処理中、例えばリ
アクティブイオンエッチング中、に前記チャンバ内にプ
ラズマを発生させるのに役立つ。前記図では、半導体ウ
エハー２８は、例えば処理工程の前或いは後の、複数の
支持フィンガー部材(support finger)２０に配置された
状態で示されている。
うなものであり、ドーム形状の上部３３を有する。ウエ
ハーの上方に置かれるサセプタ３４が処理中、例えばリ
アクティブイオンエッチング中、に前記チャンバ内にプ
ラズマを発生させるのに役立つ。前記図では、半導体ウ
エハー２８は、例えば処理工程の前或いは後の、複数の
支持フィンガー部材(support finger)２０に配置された
状態で示されている。
【０００６】ウエハー２８は、支持フィンガー部材２０
とウエハーヒーターアセンブリ２２との複合運動の結果
として、処理位置に導かれる。この複合運動は、２個の
プ−リ−１２、１３と１本のベルト１４とにより駆動軸
に連結されている駆動装置１１(drive) により達成され
る。駆動装置１１は、親ねじアセンブリ(lead screwass
embly) １６の一部である軸１５を可逆的に駆動可能で
ある。数字符号３５、３６で識別される矢印で示される
通り、親ねじアセンブリ１６はヒーターアセンブリを上
げ（或いは下げ）、一方、バネ附勢往復台アセンブリ(s
pring biased carriage assembly) １７、１８、１９が
リフトフィンガー部材(lift finger) ２０を上げる（或
いは下げる）。この動きを以下に、より詳細に述べる。
ベローズ３０がヒーターアセンブリ２２を囲み、周囲か
ら密封して、処理環境内に真空を維持するのを容易にし
ており、これにより処理環境への異粒子侵入を防止し、
一方で、ウエハー処理中のヒーターアセンブリとリフト
フィンガー部材との容易な移動を可能としている。
とウエハーヒーターアセンブリ２２との複合運動の結果
として、処理位置に導かれる。この複合運動は、２個の
プ−リ−１２、１３と１本のベルト１４とにより駆動軸
に連結されている駆動装置１１(drive) により達成され
る。駆動装置１１は、親ねじアセンブリ(lead screwass
embly) １６の一部である軸１５を可逆的に駆動可能で
ある。数字符号３５、３６で識別される矢印で示される
通り、親ねじアセンブリ１６はヒーターアセンブリを上
げ（或いは下げ）、一方、バネ附勢往復台アセンブリ(s
pring biased carriage assembly) １７、１８、１９が
リフトフィンガー部材(lift finger) ２０を上げる（或
いは下げる）。この動きを以下に、より詳細に述べる。
ベローズ３０がヒーターアセンブリ２２を囲み、周囲か
ら密封して、処理環境内に真空を維持するのを容易にし
ており、これにより処理環境への異粒子侵入を防止し、
一方で、ウエハー処理中のヒーターアセンブリとリフト
フィンガー部材との容易な移動を可能としている。
【０００７】ヒーターアセンブリの操作は次の通りであ
る。ウエハー２８を支持フィンガー部材２０上に配置後
に、軸１５を駆動装置１１とベルト１４／プーリー１
２、１３装置とで回転させて親ねじアセンブリ１６を上
方に移動させ、キャリヤー８２を引き上げ、これに対応
してヒーターアセンブリ２２を上方に移動させてウエハ
ー直下の処理位置に導き、ウエハーを支持させる。同時
に、キャリヤー８２の上方移動が往復台１７を押し、こ
れが押棒１８とプラットホ−ム１９とを押し、これに対
応して支持フィンガー部材２０が上に移動してウエハー
を持ち上げる。この複合運動は往復台１７が停止装置(s
top)８３に衝突する迄続き、衝突した時点で往復台はも
はや上方移動せず、それ故、フィンガー部材２０も上方
移動しない。
る。ウエハー２８を支持フィンガー部材２０上に配置後
に、軸１５を駆動装置１１とベルト１４／プーリー１
２、１３装置とで回転させて親ねじアセンブリ１６を上
方に移動させ、キャリヤー８２を引き上げ、これに対応
してヒーターアセンブリ２２を上方に移動させてウエハ
ー直下の処理位置に導き、ウエハーを支持させる。同時
に、キャリヤー８２の上方移動が往復台１７を押し、こ
れが押棒１８とプラットホ−ム１９とを押し、これに対
応して支持フィンガー部材２０が上に移動してウエハー
を持ち上げる。この複合運動は往復台１７が停止装置(s
top)８３に衝突する迄続き、衝突した時点で往復台はも
はや上方移動せず、それ故、フィンガー部材２０も上方
移動しない。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】しかし、ヒーターアセ
ンブリ２２はウエハー直下の位置に迄上昇を続ける。ヒ
ーターアセンブリが上昇するにつれて、ヒーターアセン
ブリの上面はフィンガー部材２０と係合し、フィンガー
部材を持ち上げる。この動きによりフィンガー部材はヒ
ーターアセンブリ表面中の凹所に収容され、ウエハー２
８がヒーターアセンブリの表面に戴置されるようにな
る。このように、ウエハーが処理位置にあるときには、
支持フィンガー部材はヒーターアセンブリ中の奥まった
位置に下げられており、ウエハーはヒーターアセンブリ
の上面中に形成された凹所(well)２７内に戴置されてい
る。
ンブリ２２はウエハー直下の位置に迄上昇を続ける。ヒ
ーターアセンブリが上昇するにつれて、ヒーターアセン
ブリの上面はフィンガー部材２０と係合し、フィンガー
部材を持ち上げる。この動きによりフィンガー部材はヒ
ーターアセンブリ表面中の凹所に収容され、ウエハー２
８がヒーターアセンブリの表面に戴置されるようにな
る。このように、ウエハーが処理位置にあるときには、
支持フィンガー部材はヒーターアセンブリ中の奥まった
位置に下げられており、ウエハーはヒーターアセンブリ
の上面中に形成された凹所(well)２７内に戴置されてい
る。
【０００９】ウエハー処理が完了すると、上記の複合運
動は逆方向に繰り返される。即ち、ヒーターアセンブリ
が下げられ、これにより、リフトフィンガー部材がヒー
ターアセンブリから現れ、ウエハーを支持するようにな
っている。ヒーターアセンブリが下降し続けると、往復
台アセンブリ１７、１８、１９が係合し、強制降下さ
れ、これにより、リフトフィンガー部材も下げられ、従
って、ウエハーも降下される。
動は逆方向に繰り返される。即ち、ヒーターアセンブリ
が下げられ、これにより、リフトフィンガー部材がヒー
ターアセンブリから現れ、ウエハーを支持するようにな
っている。ヒーターアセンブリが下降し続けると、往復
台アセンブリ１７、１８、１９が係合し、強制降下さ
れ、これにより、リフトフィンガー部材も下げられ、従
って、ウエハーも降下される。
【００１０】上記複合運動には次の通り、ウエハー締付
け動作も含めてもよい。ウエハーが支持フィンガー部材
上に置かれた後、ウエハー処理前に、ウエハー締付けア
センブリ３２に連結しているアクチュエータ３１が後退
し、同時に、支持フィンガー部材が下げられ、ヒーター
アセンブリが上げられる。アクチュエ−タの後退によ
り、ウエハー締付けアセンブリが下がってウエハーの端
と隣接し、処理中、ウエハーをウエハーヒーターアセン
ブリの上面にしっかりと締め付ける。
け動作も含めてもよい。ウエハーが支持フィンガー部材
上に置かれた後、ウエハー処理前に、ウエハー締付けア
センブリ３２に連結しているアクチュエータ３１が後退
し、同時に、支持フィンガー部材が下げられ、ヒーター
アセンブリが上げられる。アクチュエ−タの後退によ
り、ウエハー締付けアセンブリが下がってウエハーの端
と隣接し、処理中、ウエハーをウエハーヒーターアセン
ブリの上面にしっかりと締め付ける。
【００１１】ウエハー締付けアセンブリの実際の移動
は、ヒーターアセンブリ或いは支持フィンガー部材の移
動と整合させることもでき、これにより、３通りの複合
運動が達成される。即ち、ウエハー締付けは、上記方法
に加え、ウエハーがヒーターアセンブリの表面に置かれ
た後に行うこともでき、或いは、重力で達成することも
でき、後者の場合には、アクチュエータは必要ないこと
になる。
は、ヒーターアセンブリ或いは支持フィンガー部材の移
動と整合させることもでき、これにより、３通りの複合
運動が達成される。即ち、ウエハー締付けは、上記方法
に加え、ウエハーがヒーターアセンブリの表面に置かれ
た後に行うこともでき、或いは、重力で達成することも
でき、後者の場合には、アクチュエータは必要ないこと
になる。
【００１２】ウエハー処理の完了後に、上記工程を逆転
させる。即ち、ウエハー締付けアセンブリをウエハー表
面から上げ、ウエハーヒーターを下げると、同時に支持
フィンガー部材が上がってウエハーをヒーターアセンブ
リ表面から押し上げる。その後にウエハーを処理チャン
バから取り出し、別のウエハーを処理のために上記チャ
ンバに装着できる。
させる。即ち、ウエハー締付けアセンブリをウエハー表
面から上げ、ウエハーヒーターを下げると、同時に支持
フィンガー部材が上がってウエハーをヒーターアセンブ
リ表面から押し上げる。その後にウエハーを処理チャン
バから取り出し、別のウエハーを処理のために上記チャ
ンバに装着できる。
【００１３】典型的なウエハー製作施設においては、例
えば電源故障或いは、遮断器やプロセス割込みの作動の
結果として、上記施設への電力が時々中断されることは
珍しいことではない。電力がなければウエハーヒーター
アセンブリはもはや加熱されず、それ故、冷え始める。
処理温度は約４７５℃であり、また、ウエハーヒーター
の膨張は、ウエハーヒーターアセンブリの種々の部品の
設計、寸法決めの際に考慮される一般に受け入れられて
いる現象である。
えば電源故障或いは、遮断器やプロセス割込みの作動の
結果として、上記施設への電力が時々中断されることは
珍しいことではない。電力がなければウエハーヒーター
アセンブリはもはや加熱されず、それ故、冷え始める。
処理温度は約４７５℃であり、また、ウエハーヒーター
の膨張は、ウエハーヒーターアセンブリの種々の部品の
設計、寸法決めの際に考慮される一般に受け入れられて
いる現象である。
【００１４】前述の通り、ウエハーヒーター２２の表面
には、処理の間、ウエハーを収容し、その位置を合わせ
る形状となっている凹所２７が画成されている。ウエハ
ーヒーターの偶発的冷却の間、例えば電力損失期間中、
ウエハーヒーターアセンブリは収縮を始める。その結
果、ウエハーヒーターの直径は小さくなり、ヒーターの
凹所の直径がウエハーの直径より小さくなる。ウエハー
ヒーターアセンブリが縮むと、凹所の内面（即ち、Ａｌ
2 Ｏ3 等の硬い材料でできている６〜８本のガイドピ
ン）がウエハーの端を圧し、電力が速やかに回復しない
と、最終的にはウエハーは破損する。かかるウエハー破
損の結果は、ウエハ自体の損失にとどまらない。この状
況でのウエハー破損は、ウエハー破損中に発生した可能
性のある全ての粒子を除去するための完全清浄のために
処理環境を閉鎖することをも必然的に伴い、その理由
は、上記粒子がウエハーを汚染するおそれが相当にある
からである。この処置には時間がかかり、それ故、処理
チャンバを１２時間という長時間休止する必要がある。
かかる休止時間の結果、未処理ウエハー量は増大し、生
産性が悪化し、収益が下がる。
には、処理の間、ウエハーを収容し、その位置を合わせ
る形状となっている凹所２７が画成されている。ウエハ
ーヒーターの偶発的冷却の間、例えば電力損失期間中、
ウエハーヒーターアセンブリは収縮を始める。その結
果、ウエハーヒーターの直径は小さくなり、ヒーターの
凹所の直径がウエハーの直径より小さくなる。ウエハー
ヒーターアセンブリが縮むと、凹所の内面（即ち、Ａｌ
2 Ｏ3 等の硬い材料でできている６〜８本のガイドピ
ン）がウエハーの端を圧し、電力が速やかに回復しない
と、最終的にはウエハーは破損する。かかるウエハー破
損の結果は、ウエハ自体の損失にとどまらない。この状
況でのウエハー破損は、ウエハー破損中に発生した可能
性のある全ての粒子を除去するための完全清浄のために
処理環境を閉鎖することをも必然的に伴い、その理由
は、上記粒子がウエハーを汚染するおそれが相当にある
からである。この処置には時間がかかり、それ故、処理
チャンバを１２時間という長時間休止する必要がある。
かかる休止時間の結果、未処理ウエハー量は増大し、生
産性が悪化し、収益が下がる。
【００１５】その上、動力中断はヒーターアセンブリ自
体の損傷をも招き、その理由は、ヒーターがアルミニウ
ム製で、高温で崩壊(give at high temperatures) する
ことにある。粉砕されたウエハーの破片は非常に鋭く、
ヒーターアセンブリの表面に食い込み(cut into the su
rface)、そのため、ヒーターアセンブリが真空チャック
として機能するのに必要な平らで精密なヒーターアセン
ブリ表面が破壊される。
体の損傷をも招き、その理由は、ヒーターがアルミニウ
ム製で、高温で崩壊(give at high temperatures) する
ことにある。粉砕されたウエハーの破片は非常に鋭く、
ヒーターアセンブリの表面に食い込み(cut into the su
rface)、そのため、ヒーターアセンブリが真空チャック
として機能するのに必要な平らで精密なヒーターアセン
ブリ表面が破壊される。
【００１６】電源事故その他の原因による停電(other s
ervice interruption)中に、ウエハーヒーターが収縮を
開始し、ウエハーを捕らえ、破損する前にウエハーヒー
ターの凹所からウエハーを取り出す回収装置は半導体製
造業界から歓迎されるであろう。
ervice interruption)中に、ウエハーヒーターが収縮を
開始し、ウエハーを捕らえ、破損する前にウエハーヒー
ターの凹所からウエハーを取り出す回収装置は半導体製
造業界から歓迎されるであろう。
【００１７】
【課題を解決するための手段および作用】本発明は、ウ
エハーヒーターアセンブリへの動力が中断され、その結
果としてのウエハーヒーターアセンブリの冷え込みのた
めにウエハーヒーターアセンブリが収縮してウエハー破
損を起こすときに発生することのある、ウエハー破損と
いう問題に対処するものである。本明細書に教示されて
いる回復装置では、常開ソレノイド弁を有する空気圧シ
リンダーまたはモーターが、電源が異常の間、例えば、
全装置への電力が中断し、圧縮空気の供給のみが操作可
能とされたときに緊急回復動力を提供する。正常運動状
態中は空気圧シリンダーに空気供給はなく、それ故、ヒ
ーターキャリヤーアセンブリの経路から外れて位置す
る。電力が中断した場合には、常開弁が開き、これによ
り空気圧シリンダーが作動し、ヒーターアセンブリが下
方に押され或いは引かれ、これにより、ヒーターアセン
ブリの様々な送り部材の相互作用によりヒーターアセン
ブリの凹所からウエハーが引き上げられるようになって
いる。電力が回復したときには、空気圧シリンダへの空
気供給は遮断され、ヒーターは電動機によって定位置に
復する。
エハーヒーターアセンブリへの動力が中断され、その結
果としてのウエハーヒーターアセンブリの冷え込みのた
めにウエハーヒーターアセンブリが収縮してウエハー破
損を起こすときに発生することのある、ウエハー破損と
いう問題に対処するものである。本明細書に教示されて
いる回復装置では、常開ソレノイド弁を有する空気圧シ
リンダーまたはモーターが、電源が異常の間、例えば、
全装置への電力が中断し、圧縮空気の供給のみが操作可
能とされたときに緊急回復動力を提供する。正常運動状
態中は空気圧シリンダーに空気供給はなく、それ故、ヒ
ーターキャリヤーアセンブリの経路から外れて位置す
る。電力が中断した場合には、常開弁が開き、これによ
り空気圧シリンダーが作動し、ヒーターアセンブリが下
方に押され或いは引かれ、これにより、ヒーターアセン
ブリの様々な送り部材の相互作用によりヒーターアセン
ブリの凹所からウエハーが引き上げられるようになって
いる。電力が回復したときには、空気圧シリンダへの空
気供給は遮断され、ヒーターは電動機によって定位置に
復する。
【００１８】本発明の他の実施例により、正常運動状態
中は空気が供給されない空気圧モーターが提供される。
電力が中断した場合には、常開弁が開き、これにより空
気圧モーターが作動して、ヒーターアセンブリ送り機構
が働いてヒーターアセンブリの凹所からウエハーを引き
上げるようになっている。電力が回復したときには、空
気圧モーターへの空気供給は遮断され、ヒーターは電動
機(electric drive motor)によって定位置に復する。
中は空気が供給されない空気圧モーターが提供される。
電力が中断した場合には、常開弁が開き、これにより空
気圧モーターが作動して、ヒーターアセンブリ送り機構
が働いてヒーターアセンブリの凹所からウエハーを引き
上げるようになっている。電力が回復したときには、空
気圧モーターへの空気供給は遮断され、ヒーターは電動
機(electric drive motor)によって定位置に復する。
【００１９】
【実施例】本発明は、電力中断の際に機能するようにな
っている緊急回復装置を提供する。本発明の典型的な実
施例は、ウエハーヒーターアセンブリが、電動式駆動装
置により定位置と処理位置との間を移動する標準のウエ
ハー処理環境に適用される。電力中断の際にはウエハー
ヒーターアセンブリが安全な定位置に自動的に運ばれ、
これにより、ウエハーが凹所の上方の、ウエハー破損を
防止するのに充分な位置に引き上げられるようになって
いる。
っている緊急回復装置を提供する。本発明の典型的な実
施例は、ウエハーヒーターアセンブリが、電動式駆動装
置により定位置と処理位置との間を移動する標準のウエ
ハー処理環境に適用される。電力中断の際にはウエハー
ヒーターアセンブリが安全な定位置に自動的に運ばれ、
これにより、ウエハーが凹所の上方の、ウエハー破損を
防止するのに充分な位置に引き上げられるようになって
いる。
【００２０】このウエハーヒーターアセンブリは、ウエ
ハーの正常処理中は約４７５℃に維持されるのが通常で
はあるが、広範囲の温度をウエハー処理中に使用でき
る。電力を失うとアセンブリの加熱は妨げられ、それ
故、ヒーターアセンブリは冷え始める。ヒーターアセン
ブリは冷え込むにつれて収縮し、このために、ウエハー
表面に形成され凹所の直径が小さくなることになる。ヒ
ーターアセンブリに対する電力が回復しないと凹所の直
径はその内部に保持されているウエハーの直径より小さ
くなり、その時点でウエハーは、ヒーターアセンブリか
らウエハーの端に加わる圧力の結果として破損する。
ハーの正常処理中は約４７５℃に維持されるのが通常で
はあるが、広範囲の温度をウエハー処理中に使用でき
る。電力を失うとアセンブリの加熱は妨げられ、それ
故、ヒーターアセンブリは冷え始める。ヒーターアセン
ブリは冷え込むにつれて収縮し、このために、ウエハー
表面に形成され凹所の直径が小さくなることになる。ヒ
ーターアセンブリに対する電力が回復しないと凹所の直
径はその内部に保持されているウエハーの直径より小さ
くなり、その時点でウエハーは、ヒーターアセンブリか
らウエハーの端に加わる圧力の結果として破損する。
【００２１】図２は、半導体ウエハーヒーターアセンブ
リ用の動力損回復装置の一例の概略側面図である。前述
通り、通常のウエハーヒーターアセンブリは、図１、２
に示される電動のステップモータ等のモータを備える。
ステップモータ１１は、軸４０を時計方向にも反時計方
向にも回転できる機能を備え、これは、図２で数字符号
６４で識別される矢印により示される通りである。軸４
０はギアアセンブリ４１を駆動し、後者はプーリー１２
を回転させる。プ−リ−１２は、第二のプーリー１４を
駆動するベルト１３を引いている。プーリー１４は、ね
じが切られている親ねじ６２を備える親ねじ機構１６に
連結されている。この親ねじはプ−リ−の回転運動を上
方か下方かへの運動のいずれかに変換し、これは、図２
で数字符号６４で識別される矢印により示される通りで
ある。親ねじアセンブリは、ねじが切られている親ねじ
６２と係合し、それによりかかる直交運動を達成するよ
うになっているベアリングアセンブリ（図示せず）を有
するカラ−６３を備える。正常動作状態中は、電動機１
１が親ねじアセンブリを作動させてヒーターアセンブリ
及び支持フィンガー部材を上下させるが、これは前述し
た通りである。電力供給中断の際は、本明細書に開示さ
れているような動力損回復装置が空気圧シリンダ５２を
作動させてプランジャ５３を延伸させ、このプランジャ
がラム５５を押すが、これは、図２で数字符号５４で識
別される矢印により示される通りである。
リ用の動力損回復装置の一例の概略側面図である。前述
通り、通常のウエハーヒーターアセンブリは、図１、２
に示される電動のステップモータ等のモータを備える。
ステップモータ１１は、軸４０を時計方向にも反時計方
向にも回転できる機能を備え、これは、図２で数字符号
６４で識別される矢印により示される通りである。軸４
０はギアアセンブリ４１を駆動し、後者はプーリー１２
を回転させる。プ−リ−１２は、第二のプーリー１４を
駆動するベルト１３を引いている。プーリー１４は、ね
じが切られている親ねじ６２を備える親ねじ機構１６に
連結されている。この親ねじはプ−リ−の回転運動を上
方か下方かへの運動のいずれかに変換し、これは、図２
で数字符号６４で識別される矢印により示される通りで
ある。親ねじアセンブリは、ねじが切られている親ねじ
６２と係合し、それによりかかる直交運動を達成するよ
うになっているベアリングアセンブリ（図示せず）を有
するカラ−６３を備える。正常動作状態中は、電動機１
１が親ねじアセンブリを作動させてヒーターアセンブリ
及び支持フィンガー部材を上下させるが、これは前述し
た通りである。電力供給中断の際は、本明細書に開示さ
れているような動力損回復装置が空気圧シリンダ５２を
作動させてプランジャ５３を延伸させ、このプランジャ
がラム５５を押すが、これは、図２で数字符号５４で識
別される矢印により示される通りである。
【００２２】ラム(ram) ５５は、ウエハーヒーター往復
台アセンブリに接続され、それ故にそれと共に移動する
プレート７０と境を接し、それを押すように機械処理さ
れている。従って、ラム５５の下方移動によりウエハー
ヒーターアセンブリが下方に押され、これにより、支持
フィンガー部材がヒーターアセンブリ表面から現れ、ヒ
ーターアセンブリ表面に形成された凹所からウエハーを
引き上げるようになっているが、これは前述した通りで
ある。前記親ねじには様々なねじを備えることができ
る。本発明で使用される親ねじには、ヒーターアセンブ
リがラムにより下方向に押されている間は親ねじの回転
を可能とするねじピッチを持たせ、これにより親ねじそ
の他の送り関連部材の損傷を避けることが好ましい。
台アセンブリに接続され、それ故にそれと共に移動する
プレート７０と境を接し、それを押すように機械処理さ
れている。従って、ラム５５の下方移動によりウエハー
ヒーターアセンブリが下方に押され、これにより、支持
フィンガー部材がヒーターアセンブリ表面から現れ、ヒ
ーターアセンブリ表面に形成された凹所からウエハーを
引き上げるようになっているが、これは前述した通りで
ある。前記親ねじには様々なねじを備えることができ
る。本発明で使用される親ねじには、ヒーターアセンブ
リがラムにより下方向に押されている間は親ねじの回転
を可能とするねじピッチを持たせ、これにより親ねじそ
の他の送り関連部材の損傷を避けることが好ましい。
【００２３】ウエハーヒーターアセンブリの正常動作中
は、空気圧シリンダ５２はヒーターアセンブリ送り機構
の運動経路内にはなく、かかる運動の最大範囲の外にあ
る。常開弁６０は電源６１に接続されており、この状態
で給電されている間は閉じており、これにより、空気管
路５９を経て上記弁に供給される圧縮空気の流れは空気
圧シリンダの吸気口５７に通じないようになっている。
即ち、電力が上記弁に提供されている間は、空気圧シリ
ンダ５２は、ヒーターアセンブリ送り機構の走行路から
はずされて位置されている。
は、空気圧シリンダ５２はヒーターアセンブリ送り機構
の運動経路内にはなく、かかる運動の最大範囲の外にあ
る。常開弁６０は電源６１に接続されており、この状態
で給電されている間は閉じており、これにより、空気管
路５９を経て上記弁に供給される圧縮空気の流れは空気
圧シリンダの吸気口５７に通じないようになっている。
即ち、電力が上記弁に提供されている間は、空気圧シリ
ンダ５２は、ヒーターアセンブリ送り機構の走行路から
はずされて位置されている。
【００２４】電力中断の際は、上記弁に電力がもはや供
給されず、弁６０はその常開状態をとり、これにより、
圧縮空気が空気圧シリンダ５２の吸気口５７に流れるこ
とが可能になる。圧縮空気は空気圧モーターから出口５
６、空気管路５８を経て流れる。
給されず、弁６０はその常開状態をとり、これにより、
圧縮空気が空気圧シリンダ５２の吸気口５７に流れるこ
とが可能になる。圧縮空気は空気圧モーターから出口５
６、空気管路５８を経て流れる。
【００２５】電力が再開すると、空気圧シリンダへの空
気供給が遮断され、ヒーターは電動機により定位置に戻
る。かかる処置によりシステムコマンドが発せられ、電
動機が空気圧シリンダを将来の運動に備えて配置するこ
とが可能になり、即ち、圧縮空気を使用して上記シリン
ダを準備万端の位置に戻すことができる。圧縮空気の形
の非中断性動力源を提供することは、大部分の工業施設
における普通の安全策である。圧縮空気源は、供給され
た空気を空気タンク内に加圧して保存するので、非中断
性と考えられる。従って、本発明はこの保存エネルギー
源を有益に活用するのに十分に適している。
気供給が遮断され、ヒーターは電動機により定位置に戻
る。かかる処置によりシステムコマンドが発せられ、電
動機が空気圧シリンダを将来の運動に備えて配置するこ
とが可能になり、即ち、圧縮空気を使用して上記シリン
ダを準備万端の位置に戻すことができる。圧縮空気の形
の非中断性動力源を提供することは、大部分の工業施設
における普通の安全策である。圧縮空気源は、供給され
た空気を空気タンク内に加圧して保存するので、非中断
性と考えられる。従って、本発明はこの保存エネルギー
源を有益に活用するのに十分に適している。
【００２６】図３は、半導体ウエハーヒーターアセンブ
リ用の動力損回復装置の別の実施例の概略側面図であ
る。正常動作条件では、電動機１１が親ねじアセンブリ
を作動させてヒーターアセンブリ及び支持フィンガー部
材を上下させるが、これは前述した通りである。電力供
給中断の際は、本明細書に開示されているような動力損
回復装置が空気圧モーター７３を作動させて軸７７を回
転させ、この軸がプーリー７８を回転させるが、これ
は、図３で数字符号８４で識別される矢印により示され
る通りである。
リ用の動力損回復装置の別の実施例の概略側面図であ
る。正常動作条件では、電動機１１が親ねじアセンブリ
を作動させてヒーターアセンブリ及び支持フィンガー部
材を上下させるが、これは前述した通りである。電力供
給中断の際は、本明細書に開示されているような動力損
回復装置が空気圧モーター７３を作動させて軸７７を回
転させ、この軸がプーリー７８を回転させるが、これ
は、図３で数字符号８４で識別される矢印により示され
る通りである。
【００２７】プ−リ−７８は、プ−リ−８０を回す第二
のベルト７９を引っぱっている。プ−リ−８０は、共通
駆動軸８１にプ−リ−１４と同軸に装着されている。プ
ーリー８０が回転すると親ねじ６２が回って、ヒーター
アセンブリと支持フィンガー部材とが上下移動するが、
これは前述した通りである。ウエハーヒーターアセンブ
リが正常動作している間は、空気圧モーター７３は機能
しない(is passive)。常開弁７２は電力源７１に接続さ
れており、この状態で給電されている間は閉じており、
これにより、空気管路７４により上記弁に供給される圧
縮空気の流れは空気圧モーターの吸気口８５に通じない
ようになっている(is withheld) 。従って、電力が弁に
提供されている間は、空気圧モータ７３は電動機１１の
作用で回転可能であり、或いは、例えばクラッチ装置に
よりそれから解放可能であるが、空気圧モーター自体が
ウエハーヒーターアセンブリの動作に影響することはな
い。
のベルト７９を引っぱっている。プ−リ−８０は、共通
駆動軸８１にプ−リ−１４と同軸に装着されている。プ
ーリー８０が回転すると親ねじ６２が回って、ヒーター
アセンブリと支持フィンガー部材とが上下移動するが、
これは前述した通りである。ウエハーヒーターアセンブ
リが正常動作している間は、空気圧モーター７３は機能
しない(is passive)。常開弁７２は電力源７１に接続さ
れており、この状態で給電されている間は閉じており、
これにより、空気管路７４により上記弁に供給される圧
縮空気の流れは空気圧モーターの吸気口８５に通じない
ようになっている(is withheld) 。従って、電力が弁に
提供されている間は、空気圧モータ７３は電動機１１の
作用で回転可能であり、或いは、例えばクラッチ装置に
よりそれから解放可能であるが、空気圧モーター自体が
ウエハーヒーターアセンブリの動作に影響することはな
い。
【００２８】電力中断の際は、上記弁に電力がもはや供
給されず、弁７２はその常開状態をとり、これにより、
圧縮空気が空気圧モーター７３の吸気口に流れることが
可能になる。圧縮空気は空気圧モーターから出口７６、
空気管路７５を経て流れる。
給されず、弁７２はその常開状態をとり、これにより、
圧縮空気が空気圧モーター７３の吸気口に流れることが
可能になる。圧縮空気は空気圧モーターから出口７６、
空気管路７５を経て流れる。
【００２９】前述した通り、電力が中断すると空気圧モ
ーターが作動する。空気圧モーターがプーリー７８を、
そしてその結果として親ねじ６２を回し、これによりウ
エハーヒーターアセンブリがその定位置に移動する。そ
の結果として、ウエハーヒーター表面に形成されている
凹所からウエハーが離脱して、支持フィンガー部材上に
戴置される。クラッチ装置を提供し、ヒーターアセンブ
リがその定位置に達し、底に届いたときに空気圧モータ
を切ることができる。このクラッチによりプ−リ−とベ
ルトとの余分な摩耗と、かかる摩耗に起因する粒子の発
生の可能性とを防止する。
ーターが作動する。空気圧モーターがプーリー７８を、
そしてその結果として親ねじ６２を回し、これによりウ
エハーヒーターアセンブリがその定位置に移動する。そ
の結果として、ウエハーヒーター表面に形成されている
凹所からウエハーが離脱して、支持フィンガー部材上に
戴置される。クラッチ装置を提供し、ヒーターアセンブ
リがその定位置に達し、底に届いたときに空気圧モータ
を切ることができる。このクラッチによりプ−リ−とベ
ルトとの余分な摩耗と、かかる摩耗に起因する粒子の発
生の可能性とを防止する。
【００３０】空気圧モータは、親ねじアセンブリに対し
ていかなる位置に配置してもよい。例えば、空気圧モー
ターは、親ねじアセンブリの上、下或いは傍らに置くこ
とができ、また、空気圧モータはベルト／プ−リ−配
列、撓み継手を通じて親ねじアセンブリに連結でき、或
いは、ステップモーター、親ねじのいずれにも直接駆動
接続を確立してもよい。更に、空気圧モータはリニアモ
ータでも回転モータでもよい。本発明の例示的実施例で
は、シリンダとして、例えば、クリッパード（Ｃｌｉｐ
ｐａｒｄ）社より供給されるものが備えられ、或いは、
回転空気圧モーターとして、ガスト（Ｇａｓｔ）社より
供給されるものが備えられる。本発明の例示的態様で使
用された常開弁は、カリフォルニア州レッドウッド市
（Ｒｅｄｗｏｏｄ Ｃｉｔｙ）のベイ ニュウマチック
ス（Ｂａｙ Ｐｎｅｕｍａｔｉｃｓ）社より供給される
タイプのものである。既知の空気圧モータと弁のいずれ
もが本発明の実施に使用可能であると思われる。
ていかなる位置に配置してもよい。例えば、空気圧モー
ターは、親ねじアセンブリの上、下或いは傍らに置くこ
とができ、また、空気圧モータはベルト／プ−リ−配
列、撓み継手を通じて親ねじアセンブリに連結でき、或
いは、ステップモーター、親ねじのいずれにも直接駆動
接続を確立してもよい。更に、空気圧モータはリニアモ
ータでも回転モータでもよい。本発明の例示的実施例で
は、シリンダとして、例えば、クリッパード（Ｃｌｉｐ
ｐａｒｄ）社より供給されるものが備えられ、或いは、
回転空気圧モーターとして、ガスト（Ｇａｓｔ）社より
供給されるものが備えられる。本発明の例示的態様で使
用された常開弁は、カリフォルニア州レッドウッド市
（Ｒｅｄｗｏｏｄ Ｃｉｔｙ）のベイ ニュウマチック
ス（Ｂａｙ Ｐｎｅｕｍａｔｉｃｓ）社より供給される
タイプのものである。既知の空気圧モータと弁のいずれ
もが本発明の実施に使用可能であると思われる。
【００３１】正常な電力供給が中断したときには、空気
圧シリンダ或いはモーターを使用して発電機を作動さ
せ、これにより電流を発生させてもよい。空気圧シリン
ダ或いはモーターから発生した電力をステップモータの
運転に使用してもよい。ヒーターアセンブリと連動した
種々の安全及び／又はバックアップ装置を作動させても
よく、例えば、かかる電力を使用して、動力中断の際に
ランダムアクセスメモリーの内容を維持し、それにより
価値ある情報の損失を防止してもよい。
圧シリンダ或いはモーターを使用して発電機を作動さ
せ、これにより電流を発生させてもよい。空気圧シリン
ダ或いはモーターから発生した電力をステップモータの
運転に使用してもよい。ヒーターアセンブリと連動した
種々の安全及び／又はバックアップ装置を作動させても
よく、例えば、かかる電力を使用して、動力中断の際に
ランダムアクセスメモリーの内容を維持し、それにより
価値ある情報の損失を防止してもよい。
【００３２】
【発明の効果】本発明は、以上説明したように構成され
るので、電源事故その他の原因による停電中に、ウエハ
ーヒーターが収縮を開始し、ウエハーを捕らえ、破損す
る前にウエハーヒーターの凹所からウエハーを取り出す
ことができる。
るので、電源事故その他の原因による停電中に、ウエハ
ーヒーターが収縮を開始し、ウエハーを捕らえ、破損す
る前にウエハーヒーターの凹所からウエハーを取り出す
ことができる。
【図１】図１は、半導体ウエハー加熱アセンブリを含
む、従来の処理環境の、部分断面側面図。
む、従来の処理環境の、部分断面側面図。
【図２】図２は、本発明の第一実施例の半導体ウエハー
ヒーターアセンブリ用の動力損回復装置の概略側面図。
ヒーターアセンブリ用の動力損回復装置の概略側面図。
【図３】図３は、本発明の第二実施例の半導体ウエハー
ヒーターアセンブリ用の動力損回復装置の概略側面図。
ヒーターアセンブリ用の動力損回復装置の概略側面図。
１０…処理環境、１１…駆動装置（電動機）、１２、１
３…プーリー、１４…ベルト、１５…軸、１６…親ねじ
アセンブリ、１７、１８、１９…往復台アセンブリ、２
０…支持フィンガー部材、２２…ヒーターアセンブリ、
２４…熱電対、２５…導管、２６…真空、２７…凹所、
２８…ウエハー、３０…べローズ、３１…アクチュエー
ター、３３…上部、３４…サセプタ、５２…空気圧シリ
ンダー、５６…出口、５７…吸気口、５８、５９…空気
管路、６０…常開弁、６１…電源、６２…親ねじ、７１
…電力源、７２…常開弁、７３…空気圧モーター、７
４、７５…空気管路、７６…出口、７８、８０…プーリ
ー、８１…共通駆動軸、８２…キャリヤー、８５…吸気
口。
３…プーリー、１４…ベルト、１５…軸、１６…親ねじ
アセンブリ、１７、１８、１９…往復台アセンブリ、２
０…支持フィンガー部材、２２…ヒーターアセンブリ、
２４…熱電対、２５…導管、２６…真空、２７…凹所、
２８…ウエハー、３０…べローズ、３１…アクチュエー
ター、３３…上部、３４…サセプタ、５２…空気圧シリ
ンダー、５６…出口、５７…吸気口、５８、５９…空気
管路、６０…常開弁、６１…電源、６２…親ねじ、７１
…電力源、７２…常開弁、７３…空気圧モーター、７
４、７５…空気管路、７６…出口、７８、８０…プーリ
ー、８１…共通駆動軸、８２…キャリヤー、８５…吸気
口。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ジーン スー アメリカ合衆国， カリフォルニア州 94539， フレモント， サンランズ ド ライヴ 1075
Claims (25)
- 【請求項１】 半導体ウエハーヒーターアセンブリ用の
動力損回復機構において、 圧縮空気源に連結された空気圧シリンダ；前記空気圧シ
リンダと、前記ウエハーヒーターアセンブリをその定位
置と加工位置との間に位置させることのできるウエハー
アセンブリ駆動機構との間の機械的連結手段(link)；及
び、 ウエハーヒーターアセンブリの正常動作中は閉じてお
り、給電中断の際に開き、これにより、かかる給電中断
発生時に前記空気圧シリンダが作動して前記ウエハーヒ
ーターアセンブリを定位置に駆動するようになってい
る、前記空気圧シリンダへの圧縮空気の流れを制御する
ための常開弁、を備える装置。 - 【請求項２】 前記機械的リンクは、前記空気圧シリン
ダの軸に連結され、前記空気圧シリンダから前記駆動機
構へ機械的エネルギーを伝達するためのラム(ram) を更
に備える、請求項１記載の装置。 - 【請求項３】 前記空気圧シリンダが前記ウエハーヒー
ターアセンブリ駆動機構の下方に位置する、請求項１記
載の装置。 - 【請求項４】 前記空気圧シリンダが前記ウエハーヒー
ターアセンブリ駆動機構の上方に位置する、請求項１記
載の装置。 - 【請求項５】 前記空気圧シリンダに連結され、前記ウ
エハーヒーターアセンブリ駆動機構のいずれかを作動す
るようになっている発電機と、バックアップシステム
と、システムメモリとを更に備える、請求項１記載の装
置。 - 【請求項６】 ウエハーの位置を定め、加工中のウエハ
ーをそこに整列、保持するウエハー収納凹所を定めてい
るウエハー表面を有する半導体ウエハーヒーターアセン
ブリ用の動力損回復装置において、 圧縮空気源に連結された空気圧シリンダ；前記空気圧シ
リンダと、前記ウエハーヒーターアセンブリをその定位
置と加工位置との間に位置させることのできるウエハー
アセンブリ駆動機構との間の機械的連結手段；及び、 ウエハーヒーターアセンブリの正常動作中は閉じてお
り、給電中断の際に開き、これにより、かかる給電中断
発生時に前記空気圧シリンダが作動して前記ウエハーヒ
ーターアセンブリを定位置に駆動するようになってい
る、前記空気圧シリンダへの圧縮空気の流れを制御する
ための常開弁、を備える装置。 - 【請求項７】 動力損回復装置において、 非中断性動力源に連結された駆動装置；正常時の動力源
の中断の際に前記非中断性源から前記駆動装置へ動力を
供給するためのアクチュエータ；及び前記駆動装置と加
工アセンブリとの間に位置し、前記加工アセンブリをそ
の定位置と加工位置との間に位置させる連結手段、を備
える装置。 - 【請求項８】 半導体ウエハーヒーターアセンブリのた
めの動力損回復方法において、 圧縮空気源に空気圧シリンダを連結する工程；前記空気
圧シリンダと、前記ウエハーヒーターアセンブリをその
定位置と加工位置との間に位置させることのできるウエ
ハーアセンブリ駆動機構との間に機械的連結手段を確立
する工程；及び、 ウエハーヒーターアセンブリの正常動作中は閉じてお
り、給電中断の際に開き、これにより、かかる給電中断
発生時に前記空気圧シリンダが作動して前記ウエハーヒ
ーターアセンブリを定位置に駆動するようになっている
常開弁で、前記空気圧シリンダへの圧縮空気の流れを制
御する工程、を備える方法。 - 【請求項９】 半導体ウエハーヒーターアセンブリ用の
動力損回復装置において、 圧縮空気源に連結された空気圧モーター；前記空気圧モ
ーターと、前記ウエハーヒーターアセンブリをその定位
置と加工位置との間で移動させることのできるウエハー
アセンブリ駆動機構との間の機械的連結手段；及び、 ウエハーヒーターアセンブリの正常動作中は閉じてお
り、給電中断の際に開き、これにより、かかる給電中断
発生時に前記空気圧モーターが作動して前記ウエハーヒ
ーターアセンブリを定位置に駆動するようになってい
る、前記空気圧シリンダへの圧縮空気の流れを制御する
ための常開弁、を備える装置。 - 【請求項１０】 前記機械的連結手段が更に、 前記空気圧モーターの軸に連結された第一プーリー；前
記ウエハーヒーターアセンブリ駆動装置に連結された第
二プーリー；及び前記第一と前記第二のプーリーとの間
に配置され、前記第一プーリーから前記第二プーリーへ
機械的エネルギーを伝達するためのベルト、を備える、
請求項９記載の装置。 - 【請求項１１】 前記空気圧モーターが前記ウエハーヒ
ーターアセンブリ駆動機構の下方に位置する、請求項９
記載の装置。 - 【請求項１２】 前記空気圧モーターが前記ウエハーヒ
ーターアセンブリ駆動装機構の上方に位置する、請求項
９記載の装置。 - 【請求項１３】 前記空気圧モーターが前記ウエハーヒ
ーターアセンブリ駆動機構と同軸に配置されている、請
求項９記載の装置。 - 【請求項１４】 前記空気圧モーターが前記ウエハーヒ
ーターアセンブリ駆動機構に直結されている、請求項９
記載の装置。 - 【請求項１５】 前記空気圧モーターが前記ウエハーヒ
ーターアセンブリ駆動機構の親ねじ部分に連結されてい
る、請求項９記載の装置。 - 【請求項１６】 前記空気圧モーターが回転駆動装置で
ある、請求項９記載の装置。 - 【請求項１７】 前記空気圧モーターが直線駆動装置で
ある、請求項９記載の装置。 - 【請求項１８】 前記空気圧モーターに連結され、前記
ウエハーヒーターアセンブリ駆動装置のいずれかを作動
するようになっている発電機と、バックアップ装置と、
システムメモリとを更に備える、請求項９記載の装置。 - 【請求項１９】 前記空気圧モーターが更にクラッチを
備える、請求項９記載の装置。 - 【請求項２０】 前記空気圧モーターが撓み継手により
前記ウエハーヒーター駆動機構に連結している、請求項
９記載の装置。 - 【請求項２１】 ウエハーの位置を定め、加工中のウエ
ハーをそこに保持するウエハー収納凹所を定めているウ
エハー表面を有する半導体ウエハーヒーターアセンブリ
用であり、圧縮空気源と共に使用される動力損回復機構
において、 前記圧縮空気源に連結されるようになっている空気作動
手段；前記空気作動手段と、これとは別の駆動源とのい
ずれにても動力供給されるようになっている、ウエハー
とウエハーヒーターアセンブリとを相互に近接させる方
向と離す方向とに移動させる手段；及び、 ウエハーヒーターアセンブリの正常運動中は閉じてお
り、前記別駆動源の中断の際に開き、これにより、前記
空気作動手段が前記手段を駆動して移動させるようにな
っている、前記空気作動手段への圧縮空気の流れを制御
するための常開弁、を備える装置。 - 【請求項２２】 前記作動手段が空気圧シリンダを備え
る、請求項２１記載の装置。 - 【請求項２３】 前記作動手段が空気圧モーターを備え
る、請求項２１記載の装置。 - 【請求項２４】 前記別駆動源が電動機を備える、請求
項２１記載の装置。 - 【請求項２５】 半導体ウエハーヒーターアセンブリの
ための動力損回復方法において、 圧縮空気源に空気圧モーターを連結する工程；前記空気
圧モーターと、前記ウエハーヒーターアセンブリをその
定位置と加工位置との間に位置させることのできるウエ
ハーアセンブリ駆動機構との間に機械的連結手段を確立
する工程；及び、 ウエハーヒーターアセンブリの正常動作中は閉じてお
り、給電中断の際に開き、これにより、かかる給電中断
発生時に前記空気圧モーターが作動して前記ウエハーヒ
ーターアセンブリを定位置に駆動するようになっている
常開弁で、前記空気圧シリンダへの圧縮空気の流れを制
御する工程、を備える方法。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US08/201444 | 1994-02-24 | ||
| US08/201,444 US5421894A (en) | 1994-02-24 | 1994-02-24 | Power loss recovery for wafer heater |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
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