JPH084583Y2 - 圧力計 - Google Patents

圧力計

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JPH084583Y2
JPH084583Y2 JP1988102601U JP10260188U JPH084583Y2 JP H084583 Y2 JPH084583 Y2 JP H084583Y2 JP 1988102601 U JP1988102601 U JP 1988102601U JP 10260188 U JP10260188 U JP 10260188U JP H084583 Y2 JPH084583 Y2 JP H084583Y2
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JP
Japan
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light
pipe
optical axis
pressure gauge
axis sensor
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JP1988102601U
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JPH0224352U (ja
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直也 伊藤
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NEC Corp
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Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は圧力計に関する。
〔従来の技術〕
従来、この種の圧力計は液柱計、ブルドン管、隔膜式
圧力計など圧力を水位の変化あるいは検知体の変形に置
き換え、その変化量を直接あるいは電気信号で読み取る
型式のものである。
〔考案が解決しようとする課題〕
上述した従来の圧力計は配管の途中をＴ型管で分けて
圧力検知部まで被測定媒体を導くことが必要であり、余
分な配管が増して被測定媒体のリークの可能性が増える
という欠点がある。
また配管をＴ型管で分けたところは、被測定媒体が滞
留する部分であり、配管内の微小な異物がゴミとなって
溜りやすく半導体関係などゴミを嫌う分野の装置ではこ
のゴミが製品に悪影響を与えるという欠点がある。
ブルドン管などは溶接部があるため、この部分がこわ
れやすく、腐食性のある気体や液体の圧力を測定するこ
とができるものを作ることは難しい。さらに、機械的変
形量が大きいため、管内の材料の剥離が起きてゴミが多
い。
また、耐腐食性のあるプラスチックを隔膜に使用した
隔膜式圧力計は隔膜が薄いため破損しやすいという欠点
がある。
本考案の目的は前記課題を解決した圧力計を提供する
ことにある。
〔考案の従来技術に対する相違点〕
上述した従来の圧力計に対し、本考案は被測定気体に
光を通し、この光の光軸のズレを測定し間接的に圧力を
測定するという相違点を有する。
〔課題を解決するための手段〕
前記目的を達成するため、本考案に係る圧力計は、投
光部と光軸センサとを配管に有し、気体の圧力を検知す
る圧力計であって、 配管は、気体が流動する管内の一部に光透過部を有す
るものであり、 投光部と光軸センサとは、前記配管の光透過部を挾ん
で向き合わせに配置されたものであり、 前記投光部は、前記配管の光透過部より管内に光を照
射するものであり、 前記光軸センサは、前記配管内を通過した光を受光す
る受光面を有し、前記投光器から発して配管内を通過し
た光の光軸の前記受光面上でのズレ量を検出するもので
ある。
〔実施例〕
次に、本考案について図面を参照して説明する。
第１図は本考案の一実施例を示す概略図である。
図において、管３の一部に光透過部3aを設け、該光透
過部3aを挟みその一側に管内に光照射を行う投光器１を
設け、その他側に、投光器１から発して管３内を通過し
た光の光軸の変動を検出する光軸センサ２を設ける。な
お、実施例では光路を最大に確保するため、投光器１と
光軸センサ２との設置位置を上下にずらせて投光器１の
投光面と光軸センサ２の受光面とを向き合せに設置して
いる。投光器１はチャンバ５により覆われており、レギ
ュレータ６によりチャンバ５内は大気の変動にかかわり
なく一定圧力、一定温度に保たれている。これはチャン
バ５内の空気と光透過部3aとの屈折率を一定に保つため
である。同じ理由で光軸センサ２もチャンバ７により覆
われ、レギュレータ８によりチャンバ７内が一定圧力、
一定温度に保たれている。４は温度センサである。
投光器１から出た光は光透過部3aを介して管３内を通
り光軸センサ２に受光される。管３内の被測定気体があ
る圧力，温度のとき、投光器１から出た光は実線のよう
に通って光軸センサ２に受光されているとする。被測定
気体の圧力，温度が変化すると、被測定気体の密度が変
わりそれにより被測定気体と光透過部3aとの屈折率が変
化するので、光路は破線のようになる。実線の光路のと
きの圧力をP1，温度をT1，密度をω１，破線の光路のと
きの圧力をP2，温度をT2，密度をω２とすると、光軸セ
ンサ２上での光軸のズレ量ｌは ω１／ω２＝ｆ（ｌ） …（１） とみなすことができる。また気体の状態方程式より P1／P2＝ω１／ω２・T1／T2 …（２） となるので、 P1／P2＝ｆ（ｌ）・T1／T2 …（３） と表わすことができる。したがって、（１）式を実験に
より求めておけば、T1／T2は温度センサ４により知るこ
とができるので、P1を前もって実験で求めておけば、P2
を知ることができる。
〔考案の効果〕
以上説明したように本考案によれば、投光器から発し
て配管内を通過した光の光軸が光軸センサの受光面上で
変動するズレ量を検出し、そのズレ量に基づいて圧力を
測定することができる。また配管の途中を分岐させる必
要がないため、配管部材を減らしてその分のコストを削
減できるばかりでなく、リークする可能性を減少でき、
またゴミが溜るということもない。
光が通る配管部分をSiガラス等の耐腐食性のある材質
で作れば、腐食性ガスにも使用でき、またメカニカルに
動く部分がないので、長寿命とすることができる効果を
有する。
【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の一実施例を示す概略図である。 １…投光器、２…光軸センサ ３…管、3a…光透過部 ４…温度センサ、5,7…チャンバ 6,8…レギュレータ

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 【請求項１】投光部と光軸センサとを配管に有し、気体
    の圧力を検知する圧力計であって、 配管は、気体が流動する管内の一部に光透過部を有する
    ものであり、 投光部と光軸センサとは、前記配管の光透過部を挾んで
    向き合わせに配置されたものであり、 前記投光部は、前記配管の光透過部より管内に光を照射
    するものであり、 前記光軸センサは、前記配管内を通過した光を受光する
    受光面を有し、前記投光器から発して配管内を通過した
    光の光軸の前記受光面上でのズレ量を検出するものであ
    ることを特徴とする圧力計。
JP1988102601U 1988-08-02 1988-08-02 圧力計 Expired - Lifetime JPH084583Y2 (ja)

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JP1988102601U JPH084583Y2 (ja) 1988-08-02 1988-08-02 圧力計

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JP1988102601U JPH084583Y2 (ja) 1988-08-02 1988-08-02 圧力計

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Publication Number Publication Date
JPH0224352U JPH0224352U (ja) 1990-02-19
JPH084583Y2 true JPH084583Y2 (ja) 1996-02-07

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ID=31332655

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JPS56159744U (ja) * 1980-04-25 1981-11-28

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JPH0224352U (ja) 1990-02-19

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