JPH0836842A

JPH0836842A - ディスク欠陥検査装置及びディスク欠陥検査方法

Info

Publication number: JPH0836842A
Application number: JP16796594A
Authority: JP
Inventors: Yasuhide Fujiwara; 康秀藤原
Original assignee: Ricoh Co Ltd
Current assignee: Ricoh Co Ltd
Priority date: 1994-07-20
Filing date: 1994-07-20
Publication date: 1996-02-06

Abstract

(57)【要約】【目的】単に検査基準ディスクを交換するだけであら
ゆるＲＯＭ付きの光情報記録媒体の欠陥検査やデータエ
ラーの検出を高精度にかつ容易に行うことができるディ
スク欠陥検査装置を提供する。【構成】検査基準ディスク再生装置８から得られた検
査基準データ１２と、欠陥検査ディスク再生装置２３か
ら得られた欠陥検査データ３０とを、データ比較エラー
検出装置３３により比較して欠陥検査ディスク１７のエ
ラー３６を検出することにより、プロセス中において発
生したディスク欠陥や、エンコード時において発生した
データエラーを発見するようにした。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、光ディスクや光磁気デ
ィスクなどの光情報記録媒体の作成段階における欠陥を
検査するディスク欠陥検査装置及びディスク欠陥検査方
法に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、光情報記録媒体としては、再生専
用のＲＯＭ領域からなる光ディスク（例えば、音楽用の
ＣＤ−ＲＯＭ、ＴＶ用のＣＤ−ＲＯＭＸＡ、映像用のＣ
Ｄ−Ｉ等）の他に、ＲＯＭ領域と記録可能領域とを合わ
せもつ光ディスク（以下、ハイブリッドＣＤ−Ｒと呼
ぶ）や、データ部にＲＯＭ領域をもつ光磁気ディスク
（例えば、Ｐ−ＲＯＭやＯ−ＲＯＭがあり、以下、ＭＯ
−ＲＯＭと呼ぶ）がある。このようなＲＯＭ領域をもつ
光情報記録媒体は、ＲＯＭ領域にピットにより情報が記
録された原盤からスタンパを複製し、スタンパから所望
とする光情報記録媒体を大量に複製している。この場
合、大量に複製するために、原盤やスタンパの段階で欠
陥の有無の厳密な検査が必要となる。

【０００３】このような欠陥検査の例としては、特開平
５−２９８８３４号公報に「光磁気ディスクの欠陥検査
方法」として開示されているものがある（第一の従来
例）。これは、Ｐ−ＲＯＭの光磁気ディスクの欠陥検査
に関するものであり、ＩＤ部と共に、データ部における
ＲＯＭ領域の欠陥検出をインヒビット（抑制）し、その
ＲＯＭ領域以外のデータの検査を行っている。

【０００４】また、特開平５−２８３８号公報に「情報
記録媒体の検査装置」として開示されているものがある
（第二の従来例）。これは、ＣＤ（コンパクトディス
ク）のフォーマット（以下、ＣＤフォーマットと呼ぶ）
の検査に関するものである。具体的には、ＣＤに記録さ
れているデータやＣＩＲＣ（クロス・インターリーブ・
リードソロモン・コード）信号等をＥＦＭ（エイト・フ
ォーティーン・モジュレーション）デコーダに送り、こ
のＥＦＭデコーダから制御部に送られるサブコードデー
タをもとに補間（ＣＩＲＣのリードソロモン信号により
訂正できなかったエラー）に対応するＣＤ上の絶対時間
を検出してその検出値を記憶手段に記憶させ、これによ
り検査対象のＣＤが実用に供されるか否かの適確な判断
を行っている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】図６は、ハイブリッド
ＣＤ−Ｒの欠陥検査例を示すものである。ＣＤから検出
されたＲＦ信号（再生信号）は２値化回路１により２値
化された後、ＥＦＭ復調器２によりＥＦＭ復調させるこ
とにより、音響等のデータと、クロック等のサブコード
とに分離される。その分離されたデータには、エラー訂
正符号としてのリードソロモン符号Ｃ１，Ｃ２が付けら
れており、ＣＩＲＣ復号器３によりエラー訂正が行われ
る。リードソロモン符号Ｃ１は主にランダムエラー
（１，２ピット程度の小さなエラー）の訂正に用いら
れ、リードソロモン符号Ｃ２は主にバーストエラー（数
百ピット以上の大きなエラー）の訂正に用いられる。そ
の後、このようなＣＩＲＣ復号により得られたメインチ
ャンネルデータ（ＣＤ−ＲＯＭ、ＣＤ−ＲＯＭＸＡ、Ｃ
Ｄ−Ｉ）は、同期検出器４、デスクランブル５、ＥＣＣ
（エラーコレクションコード）・ＥＤＣ（エラーデテク
ションコード）復号器６を順次通過してマスタリング等
のユーザデータとして利用される。また、前記サブコー
ドは、ＣＲＣ（サイクリックリダンダンシーコード）チ
ェック回路３ａに送られサブコードデータを得る。これ
により、リードソロモン符号Ｃ１，Ｃ２で訂正できなか
ったエラーは、サブコードデータによりＣＤ上の位置と
対応づけられることにより欠陥検査に利用される。な
お、前述したようなユーザデータを用いて、マスタリン
グ時には、逆の処理がなされ、ＣＤの原盤上にピットの
作成がなされる。

【０００６】この図６に示したような欠陥検査工程を原
盤やスタンパの検査にそのまま使用して、原盤やスタン
パから得られたＲＦ信号をデコードして、リードソロモ
ン符号Ｃ１，Ｃ２やサブコードデータからエラーを検出
して欠陥検査を行うことはできる。しかし、メインチャ
ンネルデータからユーザデータを得るまでのエンコード
処理において発生したエラーは検出しておらず、この点
からして完全な欠陥検査を行っているとは言えない。こ
のことは、前述した第二の従来例についても同じことが
言えるものである。また、これにより、ユーザデータを
用いたマスタリングの際に、誤ピットを作成してしまう
おそれがある。

【０００７】また、第一の従来例のＰ−ＲＯＭの場合、
データ部におけるＲＯＭ領域以外のデータの欠陥検査は
行っているが、ＲＯＭ領域の検査は行っておらず、この
点からも前記同様完全な欠陥検査を行っているとは言え
ない。

【０００８】

【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明で
は、欠陥検査の基準となる検査基準ディスクからメイン
チャンネルデータ及びサブコードデータなどの検査基準
データを再生する検査基準ディスク再生装置と、回転駆
動系により駆動制御される欠陥検査ディスクから欠陥検
査データを再生する欠陥検査ディスク再生装置と、前記
検査基準ディスク再生装置により再生された前記検査基
準データと前記欠陥検査ディスク再生装置により再生さ
れた前記欠陥検査データとを比較し前記欠陥検査ディス
クのエラーを検出するデータ比較エラー検出装置とより
ディスク欠陥検査装置を構成した。

【０００９】請求項２記載の発明では、請求項１記載の
発明において、欠陥検査ディスク再生装置を、欠陥検査
ディスクから欠陥検査データの基準となる信号を検出す
る再生手段と、その再生された信号を２値化しＥＦＭ信
号に変換するＥＦＭ変換手段と、その変換されたＥＦＭ
信号を復調するＥＦＭ復調手段と、そのＥＦＭ復調され
た信号からサブコードデータを抽出するサブコードデー
タ抽出手段と、前記ＥＦＭ復調された信号からメインチ
ャンネルデータ及びエラー訂正用の第１のエラーを抽出
するメインチャンネルデータ・エラー抽出手段とより構
成し、この欠陥検査ディスク再生装置の前記欠陥検査デ
ィスクから得られた前記メインチャンネルデータ及び前
記サブコードデータと検査基準ディスク再生装置の検査
基準ディスクから得られたメインチャンネルデータ及び
サブコードデータとを比較し前記欠陥検査ディスクの前
記第１のエラーとは異なるプロセス中に発生する第２の
エラーを検出するデータ比較エラー検出手段をさらに設
けた。

【００１０】請求項３記載の発明では、請求項１記載の
発明において、検査基準ディスク再生装置の検査基準デ
ィスクから再生されたメインチャンネルデータ及びサブ
コードデータをＥＦＭ信号に変換するＥＦＭ変換手段
と、欠陥検査ディスク再生装置の欠陥検査ディスクから
再生された欠陥検査データの基準となる信号を２値化し
ＥＦＭ信号に変換するＥＦＭ変換手段と、前記検査基準
ディスクから得られた前記ＥＦＭ信号と前記欠陥検査デ
ィスクから得られた前記ＥＦＭ信号とを比較し前記欠陥
検査ディスクのエラーを検出するＥＦＭ信号比較エラー
検出手段とをさらに備えた。

【００１１】請求項４記載の発明では、請求項１記載の
発明において、検査基準ディスク再生装置の光磁気メデ
ィアに対応した検査基準ディスクから再生された検査基
準データを一時保存する記録手段と、欠陥検査ディスク
再生装置の欠陥検査ディスクから欠陥検査データの基準
となる信号を検出する再生手段と、その再生された信号
を２値化する２値化手段と、その２値化された信号をヘ
ッダ情報とデータ情報に分割する信号分割手段と、前記
ヘッダ情報からアドレスデータを抽出するアドレスデー
タ抽出手段と、前記データ情報を復調するデータ復調手
段と、その復調されたデータから検査基準データ及びエ
ラー訂正用の第１のエラーを抽出するデータ・エラー抽
出手段と、この抽出された前記欠陥検査ディスクの前記
検査基準データと前記記録手段から順次読み出された前
記検査基準ディスクの前記検査基準データとをアドレス
毎に比較し前記欠陥検査ディスクのプロセス中に発生す
る第２のエラーを検出するデータ比較エラー検出手段と
をさらに設けた。

【００１２】請求項５記載の発明では、請求項２，３又
は４記載の発明において、検査基準ディスク再生装置に
装着された検査基準ディスクから検査基準データを得る
際に、その検査基準ディスク中のエラー訂正不能なデー
タの有無を検出する検査中止制御手段をさらに設けた。

【００１３】請求項６記載の発明では、請求項２，３又
は４記載の発明において、エラーが検出された時の欠陥
検査ディスクの半径情報及び角度情報を抽出する半径・
角度情報抽出手段を設け、これら抽出された半径情報及
び角度情報を記録する半径・角度情報記録手段をさらに
設けた。

【００１４】請求項７記載の発明では、請求項２又は４
記載の発明において、エラー位置情報を記録する際、検
出された第１のエラーと第２のエラーとを区別して記録
する記録手段をさらに設けた。

【００１５】請求項８記載の発明では、請求項２又は４
記載の発明において、検査基準ディスク再生装置から得
られたクロックを分周させ欠陥検査ディスク再生装置の
回転駆動系に送る回転駆動系制御手段をさらに設けた。

【００１６】請求項９記載の発明では、検査基準ディス
ク再生装置の検査基準ディスクから再生されたメインチ
ャンネルデータ及びサブコードデータの検査基準データ
を順次読み出してＥＦＭ変換手段によりＥＦＭ信号を生
成し、この生成されたＥＦＭ信号をデータに変換して記
録手段に記録させる検査基準ディスク読出し工程と、欠
陥検査ディスク再生装置の回転駆動系によって駆動制御
される欠陥検査ディスクから欠陥検査データを再生手段
により再生し、この再生された信号をＥＦＭ変換手段に
より２値化してＥＦＭ信号を求め、この欠陥検査ディス
クのＥＦＭ信号と前記記録手段に記録された前記検査基
準ディスクのデータが変換して得られたＥＦＭ信号とを
ＥＦＭ信号比較エラー検出手段により比較して前記欠陥
検査ディスクのエラーを検出するエラー検出工程との２
つの工程に分けてディスク欠陥を検査するようにした。

【００１７】請求項１０記載の発明では、検査基準ディ
スク再生装置の光磁気メディアに対応した検査基準ディ
スクから再生された検査基準データを順次読み出し、こ
の読み出された検査基準データを記録手段に記録させる
検査基準ディスク読出し工程と、欠陥検査ディスク再生
装置の回転駆動系によって駆動制御される欠陥検査ディ
スクから欠陥検査データを再生手段により再生し、この
再生された信号を２値化手段により２値化し、その２値
化された信号を信号分割手段によりヘッダ情報とデータ
情報に分割し、前記ヘッダ情報からアドレスデータ抽出
手段によりアドレスデータを抽出し、前記データ情報を
データ復調手段により復調し、その復調されたデータか
らデータ・エラー抽出手段により検査基準データ及びエ
ラー訂正用の第１のエラーを抽出し、この抽出された前
記欠陥検査ディスクの前記検査基準データと前記記録手
段に記録された前記検査基準ディスクの前記検査基準デ
ータとをデータ比較エラー検出手段により比較して前記
欠陥検査ディスクのプロセス中に発生する第２のエラー
を検出するエラー検出工程との２つの工程に分けてディ
スク欠陥を検査するようにした。

【００１８】請求項１１記載の発明では、請求項９又は
１０記載の発明において、検査基準ディスク再生装置に
装着された検査基準ディスクから検査基準データを得る
際に、検査中止制御手段によりその検査基準ディスク中
のエラー訂正不能なデータの有無を検出するようにし
た。

【００１９】請求項１２記載の発明では、請求項９又は
１０記載の発明において、エラーが検出された時の欠陥
検査ディスクの半径情報及び角度情報を半径・角度情報
抽出手段により抽出し、これら抽出された半径情報及び
角度情報を半径・角度情報記録手段に記録するようにし
た。

【００２０】請求項１３記載の発明では、請求項１０記
載の発明において、エラー位置情報を記録する際、検出
された第１のエラーと第２のエラーとを区別して記録手
段に記録するようにした。

【００２１】

【作用】請求項１記載の発明においては、欠陥検査ディ
スクから得られる欠陥検査データは基準となるエラー訂
正用の信号の他に原盤やスタンパのプロセス中に生じる
エラー情報を含んでいるため、そのようなプロセス中で
発生したエラー情報を含んだ欠陥検査データと検査基準
ディスクから得られる検査基準データとをデータ比較エ
ラー検出装置により比較することにより、原盤からスタ
ンパまでの工程、及び、スタンパから所望の光情報記録
媒体を多量に複製するまでの工程等における欠陥検査デ
ィスクのディスク欠陥を検出することが可能となる。ま
た、このようなプロセス中の欠陥のみならず、エラー訂
正用の信号に予定以外のエラーが含まれていた場合に
は、エンコード処理時にデータエラーが発生しているも
のとみなしてマスタリング工程におけるエラーも検出す
ることが可能となる。

【００２２】請求項２記載の発明においては、欠陥検査
ディスク再生装置のメインチャンネルデータ・エラー抽
出手段から得られた欠陥検査ディスクのメインチャンネ
ルデータ及びサブコードデータ抽出手段から得られたサ
ブコードデータと、検査基準ディスクから得られたメイ
ンチャンネルデータ及びサブコードデータとをデータ比
較エラー検出手段により比較することにより、欠陥検査
ディスクの基準となるエラー訂正用の信号を表す第１の
エラーと、プロセス中に発生したエラー情報を表す第２
のエラーとを検出することができ、これにより、エンコ
ード処理時に発生したデータエラーやＣＤフォーマット
のディスク欠陥を求めることが可能となる。

【００２３】請求項３記載の発明においては、検査基準
ディスクから得られたＥＦＭ信号と欠陥検査ディスクか
ら得られたＥＦＭ信号とを比較して欠陥検査ディスクの
エラーを検出することにより、ＣＤフォーマットのディ
スク欠陥を検出すると共に、余分な処理回路を含まない
ためエラーを時間の遅れなしに検出することが可能とな
る。

【００２４】請求項４記載の発明においては、欠陥検査
ディスクの欠陥検査データと検査基準ディスクの検査基
準データとを比較して欠陥検査ディスクの第１のエラー
のみなずら第２のエラーを検出することにより、ＭＯ−
ＲＯＭに対しても、ディスク欠陥や、データエラーを求
めることが可能となる。

【００２５】請求項５記載の発明においては、検査基準
ディスクに訂正不能なエラーが検出された場合には、そ
れまで続行していた検査を中止させることが可能とな
る。

【００２６】請求項６記載の発明においては、エラーが
発生した時間位置やアドレスだけでなく、半径位置や角
度の情報を記録することにより、検査後の欠陥観察が容
易となる。

【００２７】請求項７記載の発明においては、角度情報
や半径情報などのエラー位置情報を記録する際、第１の
エラーと第２のエラーとを区別して検出することによ
り、フォトリソ・マスタリング等の原盤の作成プロセス
中に発生したエラーか、データのエンコード時などに発
生したエラーかを判断することが可能となる。

【００２８】請求項８記載の発明においては、検査基準
ディスク再生装置から再生される検査基準データと、欠
陥検査ディスク再生装置から再生される欠陥検査データ
との同期をとることが可能となる。

【００２９】請求項９記載の発明においては、ＣＤフォ
ーマットのあらゆるＲＯＭ付きの光情報記録媒体の欠陥
検査を行え、エラー位置を正確に求めることが可能とな
る。また、記録手段を備え、検査基準ディスク読出し工
程とエラー検出工程とを分離して行うことにより、欠陥
検査ディスク再生装置を検査基準ディスク再生装置の回
転駆動系に同期して駆動させる必要がなくなる。

【００３０】請求項１０記載の発明においては、ＭＯ−
ＲＯＭに対しても、欠陥検査を行えると共に、エラー位
置を正確に求めることが可能となる。また、記録手段を
備え、検査基準ディスク読出し工程とエラー検出工程と
を分離して行うことにより、検査基準ディスク再生装置
と欠陥検査ディスク再生装置の回転駆動系とを同期して
駆動させる必要がなくなる。

【００３１】請求項１１記載の発明においては、検査基
準ディスクに訂正不能なエラー検出された場合には、そ
れまで続行していた検査を中止させることが可能とな
る。

【００３２】請求項１２記載の発明においては、エラー
が発生した時間位置やアドレスだけでなく、半径位置や
角度の情報を記録することにより、検査後の欠陥観察が
容易となる。

【００３３】請求項１３記載の発明においては、第１の
エラーと第２のエラーとを区別して検出することによ
り、フォトリソ・マスタリング等の原盤の作成プロセス
中に発生したエラーか、データのエンコード時などに発
生したエラーかを判断することが可能となる。

【００３４】

【実施例】請求項１，２及び５〜８記載の発明の一実施
例を図１に基づいて説明する。なお、従来例と同一部分
についての説明は省略し、その同一部分については同一
名称を用いる。まず、本装置を用いて光ディスクの欠陥
検査を行う背景について述べる。テキスト、音声、映
像、プログラム等のデータはハードディスク（ＨＤ）上
で編集され、この編集を終えたデータは論理変換され、
ＣＤライターを用いてＣＤ−Ｒ（追記型光ディスク）に
プリレコードされ、これにより、ＣＤフォーマットのプ
リレコードディスクが作成される。この作成されたプリ
レコードディスクのデータ検証が行われ、その検証され
たデータはＣＤ−Ｒ又は他の光情報記録媒体にコピーさ
れマスタリング装置へ送られ、原盤の作成が行われる。
このようにして作成された原盤をもとに大量に複製する
ことによってＣＤ−ＲＯＭ等の光ディスクを作成でき
る。しかし、検証を終えたデータであるとはいえ、原盤
の作成段階でエラーがあると、エラーのある光ディスク
が大量に複製されることになる。そこで、このようなミ
スをなくすために、本実施例では、プリレコードディス
クを用いて原盤等の検査をする、すなわち、プリレコー
ドディスクからエラーのないマスターデータを読出し、
このマスターデータと原盤等から再生されるデータとを
直接比較してエラーの有無を検査するようにしたもので
ある。

【００３５】次に、具体的な構成例を図１に基づいて述
べる。検査基準ディスクとして、ハイブリッドＣＤ−Ｒ
などの光ディスクメディア対応のプリレコードディスク
７を用いる。このプリレコードディスク７は、検査基準
ディスク再生装置としてのＣＤドライブ装置８に装着さ
れる。ＣＤドライブ装置８としては周知のものが用いら
れ、２値化回路９、ＣＤデコーダ１０、ドライブＩ／Ｆ
１１などから構成されている。このＣＤドライブ装置８
からは、ＣＤデータ１２（メインチャンネルデータ），
サブコードデータ１３などの検査基準データや、エラー
チェック用のＣＵエラー１４（エラー訂正不能なデータ
か否かを確認するためのエラー）などの信号が送出され
る。ＣＤデータ１２はバッファ１５（ＦＩＦＯ：ファー
ストインファーストアウト）に送られ、サブコードデー
タ１３及びＣＵエラー１４はＣＰＵ１６に送られる。

【００３６】一方、欠陥検査ディスクとしては、原盤１
７が用いられる。この原盤１７はターンテーブル１８ａ
上に置かれ、回転駆動系としてのターンテーブル駆動系
１８により回転制御される。このターンテーブル駆動系
１８には、回転駆動系制御手段としてのクロックジェネ
レータ１９から駆動パルス２０が送られる。クロックジ
ェネレータ１９はＣＤドライブ装置８から送られるクロ
ック２１を分周させ駆動パルス２０を発生させる。ま
た、ターンテーブル駆動系１８により得られたエラー位
置情報２２（角度情報、半径情報）はＣＰＵ１６に送ら
れる。

【００３７】このようにターンテーブル駆動系１８によ
り回転制御される原盤１７は、欠陥検査ディスク再生装
置２３内に装着されている。この欠陥検査ディスク再生
装置２３は、原盤１７から欠陥検査データの基準となる
信号を再生する再生手段としての光ピックアップ部２４
と、その再生された信号を２値化しＥＦＭ信号３８に変
換するＥＦＭ変換手段としての２値化回路２５と、ＣＤ
デコーダ２６とからなっている。このＣＤデコーダ２６
内には、変換されたＥＦＭ信号を復調するＥＦＭ復調手
段としてのＥＦＭ復調回路２７と、そのＥＦＭ復調され
た信号からサブコードデータ２８を抽出するサブコード
データ抽出手段としてのＣＲＣチェック回路２９と、前
記ＥＦＭ復調された信号からＣＤデータ３０（メインチ
ャンネルデータ）、及び、エラー訂正用の第１のエラー
３１（Ｃ１，Ｃ２，ＣＵのエラー）を抽出するメインチ
ャンネルデータ・エラー抽出手段としてのＣＩＲＣ復号
回路３２とが設けられている。この場合、サブコードデ
ータ２８やＣＤデータ３０などは欠陥検査データとして
用いられる。

【００３８】欠陥検査ディスク再生装置２３から送出さ
れるＣＤデータ３０と、ＣＤドライブ装置８からバッフ
ァ１５を介して送出されるＣＤデータ１２とは、共にデ
ータ比較エラー検出装置としてのエラー検出装置３３に
入力される。このエラー検出装置３３は、レジスタ３４
ａ，３４ｂと、コンパレータ３５とからなっている。こ
のコンパレータ３５は、欠陥検査ディスク再生装置２３
からのＣＤデータ３０と、ＣＤドライブ装置８からのＣ
Ｄデータ１２とを比較して原盤１７のプロセス中に発生
する第２のエラー３６を求めるデータ比較エラー検出手
段（図示せず）を有している。このようにしてエラー検
出装置３３により求められた第２のエラー３６はＣＰＵ
１６に送られる。このＣＰＵ１６には、第２のエラー３
６の他に、欠陥検査ディスク再生装置２３からの第１の
エラー３１，サブコードデータ２８や、ＣＤドライブ装
置８からのサブコードデータ１３，ＣＵエラー１４が送
られる。

【００３９】また、このＣＰＵ１６により、ＣＤドライ
ブ装置８に装着されたプリレコードディスク７から検査
基準データを得る際に、その検査基準ディスク中のエラ
ー訂正不能なデータ（ＣＵエラー１４）の有無を検出す
る検査中止制御手段（図示せず）が実行され、さらに、
エラーが検出された時の原盤１７のエラー位置情報２２
を抽出する半径・角度情報抽出手段（図示せず）が実行
される。これらの抽出されたエラー位置情報２２は、半
径・角度情報記録手段としての記録装置３７に記録され
る。また、ここでの記録装置３７は、エラー位置情報２
２を記録する際、検出された第１のエラー３１と第２の
エラー３６とを区別して記録する記録手段も兼ねてい
る。

【００４０】このような構成において、本装置の動作に
ついて述べる。プリレコードディスク７はＣＤドライブ
装置８によりＲＦ信号９ａ（再生信号）として再生さ
れ、その後、ＣＤデコーダ１０等を介すことにより、Ｃ
Ｄデータ１２とサブコードデータ１３とが読み出され
る。この読出しと同時に、ＣＩＲＣ復号でのＣＵエラー
１４（エラー訂正不能なデータ）の有無がチェックされ
る。この場合、データ検証済みのプリレコードディスク
７からは本来ＣＵエラー１４が発生しないため、通常の
場合には欠陥検査を続行するが、もし、ＣＵエラー１４
が発生するようであれば欠陥検査を中止する。一方、原
盤１７はターンテーブル１８ａ上で回転され、光ピック
アップ部２４によりＲＦ信号２４ａが検出される。この
ＲＦ信号２４ａは、２値化回路２５により２値化・波形
整形などの処理が行われることによってＥＦＭ信号３８
となる。このようにして求められたＥＦＭ信号３８は、
ＣＤデコーダ２６によりＥＦＭ復調され、ＣＤデータ３
０と、サブコードデータ２８とが抽出される。このと
き、ＣＤデータ３０の抽出時のＣＩＲＣ復号でＣ１，Ｃ
２，ＣＵエラーが検出される。ＣＤデータ３０はエラー
検出装置３３に送られる。

【００４１】また、ＣＤドライブ装置８で検出されたＣ
Ｄデータ１２は、一旦バッファ１５に記録された後、原
盤１７から送られるＣＤデータ３０に合わせて順次エラ
ー検出装置３３に送られる。そして、エラー検出装置３
３では、２つのＣＤデータ１２，３０が先頭から順次比
較され、その比較値が一致しないときは第２のエラー３
６としてＣＰＵ１６に送られる。また、サブコードデー
タ１３，２８は、共に情報量が少ないため、直接ＣＰＵ
１６に送られて比較されエラーが求められる。そして、
第１のエラー３１（Ｃ１，Ｃ２，ＣＵエラー）と、第２
のエラー３６（ＣＤデータ１２，３０のエラー）と、サ
ブコードデータ１３，２８のエラーとは互いに区別さ
れ、ターンテーブル１８ａのエラー位置情報２２及びサ
ブコードデータ１３，２８より抽出された時間情報と共
に記録装置３７内に記録される。

【００４２】これにより、第１のエラー３１を検出する
ことにより、予定以外のエラーが含まれていた場合には
マスタリング時のエンコード処理中で発生したデータエ
ラーであると判断することができる。また、第２のエラ
ー３６及びサブコードデータ１３，２８のエラーから、
プロセス中に発生した欠陥などを検出することができ
る。従って、このようなことから、単に検査基準データ
（プリレコードディスク７）を交換するだけで、ハイブ
リッドＣＤ−ＲなどのあらゆるＲＯＭ付きの光情報記録
媒体の欠陥検査を高精度にしかも容易に行うことができ
る。

【００４３】次に、請求項１，３，５及び６記載の発明
の一実施例を図２に基づいて説明する。なお、図１と同
一部分についての説明は省略し、その同一部分について
は同一符号を用いる。本実施例では、ＣＤドライブ装置
８とエラー検出装置３３との間に、ＣＤドライブ装置８
のプリレコードディスク７から再生されたＣＤデータ１
２及びサブコードデータ１３をＥＦＭ信号３９に変換す
るＥＦＭ変換手段としてのＣＤエンコーダ４０を設け
た。このＣＤエンコーダ４０は、ＣＩＲＣ生成回路４１
と、ＣＲＣ生成回路４２と、ＥＦＭ変調回路４３とから
なっている。また、ここでのエラー検出装置３３は、プ
リレコードディスク７から得られたＥＦＭ信号３９と原
盤１７から得られたＥＦＭ信号３８とを比較して原盤１
７のエラー４４を検出するＥＦＭ信号比較エラー検出手
段（図示せず）を有している。このエラー検出装置３３
には、２値化回路２５によりＲＦ信号２４ａを２値化し
て得られたＥＦＭ信号３８が送られる。また、ＣＤエン
コーダ４０に入力される２つのＥＦＭ信号３８，３９の
同期をとるために、ターンテーブル駆動系１８へ送られ
る駆動パルス２０は、ＣＤエンコーダ４０のクロック４
５をクロックジェネレータ１９により分周して得られ
る。

【００４４】このような構成において、本装置の動作に
ついて述べる。プリレコードディスク７はＣＤドライブ
装置８で再生されることにより、ＣＤデータ１２、サブ
コードデータ１３が読み出され、一旦バッファ１５に記
憶された後、ＣＤエンコーダ４０に送られる。このと
き、ＣＵエラー１４はＣＰＵ１６に送られることにより
エラーの有無が検出され、エラーが検出されたときには
検査を中止する。そして、ＣＤエンコーダ４０では、Ｃ
Ｄデータ１２をＣＩＲＣ処理し、サブコードデータ１３
にＣＲＣ符号を付加し、これらのデータをＥＦＭ変調し
てＥＦＭ信号３９を生成する。一方、原盤１７は光ピッ
クアップ部２４で再生されＲＦ信号２４ａが得られ、こ
のＲＦ信号２４ａは２値化・波形整形されてＥＦＭ信号
３８となり、エラー検出装置３３に送られる。ＣＤエン
コーダ４０から送られるＥＦＭ信号３９は、ターンテー
ブル１８ａの回転に合わせてバッファ１５から順次デー
タを読み出してエンコードすることにより、２つのＥＦ
Ｍ信号３８，３９の同期が図られる。

【００４５】そして、このように同期したＥＦＭ信号３
８，３９がエラー検出装置３３内に入力されると、クロ
ック４５に合わせてそれらのＥＦＭ信号３８，３９がシ
フトレジスタ３４ａ，３４ｂに保持され、１ビット毎に
先頭から順次全データが比較され、比較値が異なってい
ればエラー４４としてＣＰＵ１６に送られる。このＣＰ
Ｕ１６では、エラー４４が発生したとき、ターンテーブ
ル駆動系１８からのエラー位置情報２２（半径情報，角
度情報）は記録装置３７に記録される。このようにして
原盤１７の欠陥検査を実行することができる。上述した
ように、ＥＦＭ信号３８，３９を比較する構成では、欠
陥検査ディスク再生装置２３側でＣＩＲＣ復号処理を行
わないためデコードに要する時間を省略することがで
き、これにより、エラーの位置を高精度に検出すること
ができると共に、欠陥検査を時間の遅れなしに高速に処
理することができる。

【００４６】次に、請求項１，４，６，７及び８記載の
発明の一実施例を図３に基づいて説明する。なお、図
１，図２と同一部分についての説明は省略し、その同一
部分については同一符号を用いる。本実施例は、前記図
１，図２の装置と異なり、ＭＯ−ＲＯＭなどの光磁気メ
ディア対応の欠陥検査装置に関するものである。本装置
の構成を、前記図１の装置と対比させて述べる。まず、
欠陥検査ディスク再生装置２３側において、図１のＣＤ
デコーダ２６の代わりに、ＭＯデコーダ４６が用いられ
ている。このＭＯデコーダ４６は、２値化された信号を
ヘッダ４７（ヘッダ情報）とデータ４８（データ情報）
とに分割する信号分割手段としてのセクタ検出回路４９
と、前記ヘッダ４７からアドレスデータ５０及びＣＲＣ
エラー５１を抽出するアドレスデータ抽出手段としての
ＣＲＣチェック回路５２と、データ４８を復調するデー
タ復調手段としての２／７復調回路５３及びＥＣＣエラ
ー５４を送出するＥＣＣ復号回路５５と、その復調され
たデータ４８からユーザデータ５６（検査基準データ）
及びパリティーエラー５７（第１のエラー）を抽出する
データ・エラー抽出手段としてのパリティー検出回路５
８とからなっている。

【００４７】また、図１のＣＤドライブ装置８の代わり
に、ＭＯドライブ装置５９（検査基準ディスク再生装
置）が設けられている。このＭＯドライブ装置５９は周
知のものを用い、２値化回路９と、ＭＯデコーダ６０
と、ドライブＩ／Ｆ１１とからなっている。また、エラ
ー検出装置３３には、原盤１７（欠陥検査ディスク）か
ら得られたユーザデータ５６と、バッファ１５から順次
読み出されたプリレコードディスク７（検査基準ディス
ク）のユーザデータ６１（検査基準データ）とをアドレ
ス毎に比較し原盤１７の第２のエラー３６を検出するデ
ータ比較エラー検出手段（図示せず）が設けられてい
る。

【００４８】このような構成において、本装置の動作に
ついて述べる。ここでも、データ検証用の媒体としてプ
リレコードディスク７を用い、原盤１７の欠陥検査を行
う。まず、ＭＯドライブ装置５９側では、データがピッ
トとして記録されたプリレコードディスク７からＲＦ信
号９ａが検出され、この検出された信号はＭＯデコータ
６０からドライブＩ／Ｆ１１に送られ、ユーザデータ６
１を発生する。このとき、ＭＯデコータ６０ではエラー
訂正が行われ、エラー訂正不能データの有無が検出さ
れ、エラーが検出された場合には検査を中止する。そし
て、ＭＯドライブ装置５９により発生されたユーザデー
タ６１は、アドレス毎にバッファ１５に一時的に記憶さ
れる。一方、欠陥検査ディスク再生装置２３側では、原
盤１７から検出されたＲＦ信号２４ａは、２値化・波形
整形された後、ＭＯデコーダ４６でヘッダ４７とデータ
４８とに分離され、ヘッダ４７はＣＲＣチェック（エラ
ー検出）後アドレスデータ５０が抽出され、データ４８
は復調されＥＣＣ復号・パリティーチェックの後ユーザ
データ５６が抽出される。この抽出されたユーザデータ
５６はエラー検出装置３３へ送られ、このユーザデータ
５６とバッファ１５から順次読み出されるユーザデータ
６１とが比較され、第２のエラー３６（ユーザデータエ
ラー）が求められる。また、ＭＯデコーダ４６でのＥＣ
Ｃ復号・パリティー処理時には、ＥＣＣエラー５４、パ
リティーエラー５７が検出される。そして、このように
して求められたエラーはＣＰＵ１６に送られ、エラーの
種類（第２のエラー３６、ＣＲＣエラー５１、ＥＣＣエ
ラー５４、パリティーエラー５７）、アドレスデータ５
０、ターンテーブル１８ａのエラー位置情報２２（半径
情報、角度情報）が区別して記録装置３７に記録され
る。このようにして、光磁気メディア対応の原盤１７の
欠陥検査を実現することができる。

【００４９】上述したように、原盤１７のユーザデータ
５６とプリレコードディスク７のユーザデータ６１とを
比較して原盤１７の第１のエラー（ＣＲＣエラー５１、
ＥＣＣエラー５４、パリティーエラー５７）のみなずら
第２のエラー３６を検出することによって、ＭＯ−ＲＯ
Ｍに対しても、ディスク欠陥の検出及びデータエラーの
検出を行うことができる。これにより、光磁気メディア
に対しても、欠陥検査を単に検査基準データ（プリレコ
ードディスク７）を交換するだけで容易にかつ正確に行
うことができる。

【００５０】次に、請求項９，１１及び１２記載の発明
の一実施例を図４に基づいて説明する。なお、図１〜図
３と同一部分についての説明は省略し、その同一部分に
ついては同一符号を用いる。本実施例は、前記図１又は
図２の光ディスクメディアに対応した装置のディスク欠
陥検査方法に関するものであり、ここでは、図２の装置
に対比させた場合について述べる。本ディスク欠陥検査
方法は、図４（ａ）の検査基準ディスク読出し工程Ａ
と、図４（ｂ）のエラー検出工程Ｂとに大別される。ま
ず、検査基準ディスク読出し工程Ａにおいて、プリレコ
ードディスク７はＣＤドライブ装置８で再生され、これ
により得られたＣＤデータ１２とサブコード１３がＣＤ
エンコーダ４０に入力され、ＥＦＭ信号３９が生成され
る。このＥＦＭ信号３９はＳ／Ｐ（シリアル／パラレ
ル）変換回路６２によりパラレルデータに変換され、記
録手段としての記録装置３７（ＨＤ：ハードディスク）
に記録される。また、ＣＰＵ１６には、ＣＤドライブ装
置８からＣＵエラー１４が送られ、これによりエラー有
無の検出が行われ、エラーを検出したときには検査を中
止する。

【００５１】一方、エラー検出工程Ｂにおいて、原盤１
７から再生されたＲＦ信号２４ａは２値化・波形整形さ
れてＥＦＭ信号３８となり、このＥＦＭ信号３８はエラ
ー検出装置３３に入力される。このとき、記録装置３７
に記録されているＥＦＭ信号３９はＰ／Ｓ変換回路６３
によりシリアルデータに変換され、エラー検出装置３３
に入力される。これにより、エラー検出装置３３では、
２つのＥＦＭ信号３８，３９が比較されエラー４４が求
められる。このエラー４４はＣＰＵ１６に送られ、記録
装置３７に記録される。この場合、エラー４４が検出さ
れたときの原盤１７のエラー位置情報２２（半径情報、
角度情報）を抽出して記録装置３７に記録させる。これ
により、光ディスクメディアに対応した原盤１７の欠陥
検査を実行できる。上述したように、２つの工程Ａ，Ｂ
に分けて欠陥検査を行うことによって、エラー４４の位
置を高精度に検出することができる。また、このような
検査は工程Ｂ側でデータをデコードする必要がないた
め、検査処理を高速に短時間に行うことができる。

【００５２】次に、請求項１０，１１，１２及び１３記
載の発明の一実施例を図５に基づいて説明する。なお、
図１〜図４と同一部分についての説明は省略し、その同
一部分については同一符号を用いる。本実施例は、前記
図３の光磁気ディスクメディアに対応した装置のディス
ク欠陥検査方法に関するものである。本ディスク欠陥検
査方法は、図５（ａ）の検査基準ディスク読出し工程Ａ
と、図５（ｂ）のエラー検出工程Ｂとに大別される。ま
ず、検査基準ディスク読出し工程Ａにおいて、プリレコ
ードディスク７はＭＯドライブ装置５９で再生され、こ
れによりアドレス毎にユーザデータ６１が検出され、記
録装置３７（ＨＤ）に記録される。このとき、ＭＯデコ
ーダ６０内でエラー訂正が行われるが、エラー訂正不能
データの有無が検出され、エラーが検出されたときには
検査を中止し、エラーのないプリレコードディスク７と
交換して再度ユーザデータ６１を読出す。このように検
査は、エラーの存在しないユーザデータ６１を使用す
る。

【００５３】一方、エラー検出工程Ｂにおいて、原盤１
７から再生されたＲＦ信号２４ａは２値化・波形整形さ
れた後、ＭＯデコーダ４６によりユーザデータ５６が抽
出され、エラー検出装置３３に送られる。このエラー検
出装置３３では、ユーザデータ５６と、記録装置３７か
ら順次読み出されるユーザデータ６１とが比較され、第
２のエラー３６（ユーザデータエラー）が求められる。
また、ＭＯデコーダ４６でのＥＣＣ復号・パリティー処
理時には、ＥＣＣエラー５４、パリティーエラー５７が
検出される。そして、このようにして求められたエラー
はＣＰＵ１６に送られ、エラーの種類（第２のエラー３
６、ＣＲＣエラー５１、ＥＣＣエラー５４、パリティー
エラー５７）、アドレスデータ５０、エラー位置情報２
２（半径情報、角度情報）が区別して記録装置３７に記
録される。これにより、光磁気メディアに対応した原盤
１７の欠陥検査を実現することができる。上述したよう
に、２つの工程Ａ，Ｂにより欠陥検査を行い記録装置３
７に記録しておくことによって、検査を行う毎にプリレ
コードディスク７を再生しなくてもよくなり、また、プ
リレコードディスク７の読出しと原盤１７の再生速度を
変えることができる。これにより、重量の重い原盤１７
等の欠陥検査ディスクをＭＯドライブ装置５９側で行う
ように高速回転させなくてもよいため、ターンテーブル
駆動系１８の小型化を図ることができる。

【００５４】

【発明の効果】請求項１記載の発明は、検査基準ディス
ク再生装置により再生された検査基準データと、欠陥検
査ディスク再生装置により再生された欠陥検査データと
をデータ比較エラー検出装置において比較して欠陥検査
ディスクのエラーを検出するようにしたので、原盤から
スタンパまでのプロセスやスタンパから所望の光情報記
録媒体を複製するまでのプロセス中に発生したディスク
欠陥や、エンコード処理時に発生したデータエラーを検
出することができる。これにより、あらゆるＲＯＭ付き
の光情報記録媒体の欠陥検査を単に検査基準データを交
換するだけで検査できる高精度で操作の容易なディスク
欠陥検査装置を提供することができる等の効果を有す
る。

【００５５】請求項２記載の発明は、請求項１記載の発
明において、検査基準ディスク再生装置により再生され
たメインチャンネルデータ及びサブコードデータと、欠
陥検査ディスク再生装置により再生されたメインチャン
ネルデータ及びサブコードデータとをデータ比較エラー
検出装置において比較して欠陥検査ディスクの第１のエ
ラーのみならず第２のエラーを検出するようにしたの
で、ＣＤフォーマットに対応したあらゆるＲＯＭ付きの
光情報記録媒体に対しても、ディスク欠陥やデータエラ
ーを高精度にかつ容易に検出することができる等の効果
を有する。

【００５６】請求項３記載の発明は、請求項１記載の発
明において、検査基準ディスク再生装置により再生され
たＥＦＭ信号と、欠陥検査ディスク再生装置により再生
されたＥＦＭ信号とをデータ比較エラー検出装置におい
て比較して欠陥検査ディスクのエラーを検出するように
したので、ＣＤフォーマットの光情報記録媒体に対して
もディスク欠陥やデータエラーを高精度にかつ容易に検
出できると共に、エラーを時間の遅れなしに短時間のう
ちに検出することができ、これにより作業の効率化を図
ることができる等の効果を有する。

【００５７】請求項４記載の発明は、請求項１記載の発
明において、検査基準ディスク再生装置により再生され
た検査基準データと、欠陥検査ディスク再生装置により
再生された欠陥検査データとをデータ比較エラー検出装
置において比較して欠陥検査ディスクの第１のエラーの
みならず第２のエラーを検出するようにしたので、ＭＯ
−ＲＯＭに対しても、欠陥検査やデータエラーの検出を
行うことができる等の効果を有する。

【００５８】請求項５記載の発明は、請求項２，３又は
４記載の発明において、検査中止制御手段により検査基
準ディスクに訂正不能なエラーが検出された場合には、
それまで続行していた検査を中止させるようにしたの
で、検査の信頼性を一段と向上させることができる等の
効果を有する。

【００５９】請求項６記載の発明は、請求項２，３又は
４記載の発明において、半径・角度情報抽出手段により
半径や角度の情報を抽出し、これらの値を半径・角度情
報記録手段に記録するようにしたので、検査後の欠陥観
察が容易となり、作業の効率化を図ることができる等の
効果を有する。

【００６０】請求項７記載の発明は、請求項２又は４記
載の発明において、第１のエラーと第２のエラーとを記
録手段に区別して記録するようにしたので、プロセス中
に発生したエラーかデータのエンコード時に発生したエ
ラーかを容易に判断することができ、より適確な欠陥検
査を行うことができる等の効果を有する。

【００６１】請求項８記載の発明は、請求項２又は４記
載の発明において、回転駆動系制御手段により検査基準
ディスク再生装置から再生される検査基準データと、欠
陥検査ディスク再生装置から再生される欠陥検査データ
との同期をとるようにしたので、欠陥検査の信頼性を向
上させることができる等の効果を有すると共に、バッフ
ァ容量の小型化を図ることができる等の効果を有する。

【００６２】請求項９記載の発明は、検査基準ディスク
読出し工程とエラー検出工程との２つの工程に分離して
行うようにしたので、欠陥検査工程の簡素化を図り、原
盤からスタンパ、スタンパから所望の光情報記録媒体を
複製するまでのプロセス中に発生するディスク欠陥やデ
ータエラーの検出を行えると共に、エラーの位置を正確
に求めることができる。また、デコード処理を行わない
ため、欠陥検査を短時間に処理することができ作業の効
率化を図ることができる等の効果を有する。

【００６３】請求項１０記載の発明は、検査基準ディス
ク読出し工程とエラー検出工程との２つの工程に分離し
て行うようにしたので、原盤からスタンパ、スタンパか
ら所望の光情報記録媒体を複製するまでのプロセス中に
発生するディスク欠陥や、データエラーを光磁気メディ
アに対しても検出することができる。また、検査基準デ
ィスク再生装置と欠陥検査ディスク再生装置の回転駆動
系とを同期して駆動させていないため、制御回路の構成
を簡素化させ装置の小型化を図ることができると共に、
回転ムラ等により発生する同期ずれによるエラーの誤検
出をなくすことができる。さらに、検査基準ディスクの
読出しと欠陥検査ディスクの再生速度を変えることがで
き、欠陥検査ディスク再生装置側で重量の重い原盤等を
高速回転させなくてもよいため、欠陥検査ディスクのタ
ーンテーブル駆動系の小型化を図ることができる等の効
果を有する。

【００６４】請求項１１記載の発明は、請求項９又は１
０記載の発明において、検査基準ディスクに訂正不能な
エラーが検出された場合には、それまで続行していた検
査を中止させるようにしたので、検査の信頼性を一段と
向上させることができる等の効果を有する。

【００６５】請求項１２記載の発明は、請求項９又は１
０記載の発明において、半径や角度の情報を抽出し記録
するようにしたので、検査後の欠陥観察が容易となり、
作業の効率化を図ることができる等の効果を有する。

【００６６】請求項１３記載の発明は、請求項１０記載
の発明において、第１のエラーと第２のエラーとを区別
して記録するようにしたので、プロセス中に発生したエ
ラーかデータのエンコード時に発生したエラーかを容易
に判断することができ、より適確な欠陥検査を行うこと
ができる等の効果を有する。

【図面の簡単な説明】

【図１】請求項１，２及び５〜８記載の発明の一実施例
を示すブロック図である。

【図２】請求項１，３，５及び６記載の発明の一実施例
を示すブロック図である。

【図３】請求項１，４〜７及び８記載の発明の一実施例
を示すブロック図である。

【図４】請求項９，１１及び１２記載の発明の一実施例
を示すブロック図である。

【図５】請求項１０，１１，１２及び１３記載の発明の
一実施例を示すブロック図である。

【図６】従来例を示すブロック図である。

【符号の説明】

７検査基準ディスク８検査基準ディスク再生装置１２メインチャンネルデータ１３サブコード１７欠陥検査ディスク１８回転駆動系１９回転駆動系制御手段２２エラー位置情報２３欠陥検査ディスク再生装置２４再生手段２５ＥＦＭ変換手段２７ＥＦＭ復調手段２８サブコードデータ２９データ抽出手段３０メインチャンネルデータ３１第１のエラー３２メインチャンネルデータ・エラー抽
出手段３３データ比較エラー検出装置３６第２のエラー３７記憶手段３８，３９ＥＦＭ信号４０ＥＦＭ変換手段４４エラー４７ヘッダ情報４８データ情報４９信号分割手段５０アドレスデータ５１第１のエラー５２アドレスデータ抽出手段５３データ復調手段５４第１のエラー５５データ復調手段５６検査基準データ５７第１のエラー５８データ・エラー抽出手段５９検査基準ディスク再生装置Ａ検査基準ディスク読出し工程Ｂエラー検出工程

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号庁内整理番号ＦＩ技術表示箇所Ｇ１１Ｂ 23/00 Ｈ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】欠陥検査の基準となる検査基準ディスク
からメインチャンネルデータ及びサブコードデータなど
の検査基準データを再生する検査基準ディスク再生装置
と、回転駆動系により駆動制御される欠陥検査ディスク
から欠陥検査データを再生する欠陥検査ディスク再生装
置と、前記検査基準ディスク再生装置により再生された
前記検査基準データと前記欠陥検査ディスク再生装置に
より再生された前記欠陥検査データとを比較し前記欠陥
検査ディスクのエラーを検出するデータ比較エラー検出
装置とよりなることを特徴とするディスク欠陥検査装
置。
【請求項２】欠陥検査ディスク再生装置を、欠陥検査
ディスクから欠陥検査データの基準となる信号を検出す
る再生手段と、その再生された信号を２値化しＥＦＭ信
号に変換するＥＦＭ変換手段と、その変換されたＥＦＭ
信号を復調するＥＦＭ復調手段と、そのＥＦＭ復調され
た信号からサブコードデータを抽出するサブコードデー
タ抽出手段と、前記ＥＦＭ復調された信号からメインチ
ャンネルデータ及びエラー訂正用の第１のエラーを抽出
するメインチャンネルデータ・エラー抽出手段とから構
成し、前記欠陥検査ディスク再生装置の前記欠陥検査デ
ィスクから得られた前記メインチャンネルデータ及び前
記サブコードデータと検査基準ディスク再生装置の検査
基準ディスクから得られたメインチャンネルデータ及び
サブコードデータとを比較し前記欠陥検査ディスクの前
記第１のエラーとは異なるプロセス中に発生する第２の
エラーを検出するデータ比較エラー検出手段をさらに設
けたことを特徴とする請求項１記載のディスク欠陥検査
装置。
【請求項３】検査基準ディスク再生装置の検査基準デ
ィスクから再生されたメインチャンネルデータ及びサブ
コードデータをＥＦＭ信号に変換するＥＦＭ変換手段
と、欠陥検査ディスク再生装置の欠陥検査ディスクから
再生された欠陥検査データの基準となる信号を２値化し
ＥＦＭ信号に変換するＥＦＭ変換手段と、前記検査基準
ディスクから得られた前記ＥＦＭ信号と前記欠陥検査デ
ィスクから得られた前記ＥＦＭ信号とを比較し前記欠陥
検査ディスクのエラーを検出するＥＦＭ信号比較エラー
検出手段とをさらに備えたことを特徴とする請求項１記
載のディスク欠陥検査装置。
【請求項４】検査基準ディスク再生装置の光磁気メデ
ィアに対応した検査基準ディスクから再生された検査基
準データを一時保存する記録手段と、欠陥検査ディスク
再生装置の欠陥検査ディスクから欠陥検査データの基準
となる信号を検出する再生手段と、その再生された信号
を２値化する２値化手段と、その２値化された信号をヘ
ッダ情報とデータ情報に分割する信号分割手段と、前記
ヘッダ情報からアドレスデータを抽出するアドレスデー
タ抽出手段と、前記データ情報を復調するデータ復調手
段と、その復調されたデータから検査基準データ及びエ
ラー訂正用の第１のエラーを抽出するデータ・エラー抽
出手段と、この抽出された前記欠陥検査ディスクの前記
検査基準データと前記記録手段から順次読み出された前
記検査基準ディスクの前記検査基準データとをアドレス
毎に比較し前記欠陥検査ディスクのプロセス中に発生す
る第２のエラーを検出するデータ比較エラー検出手段と
をさらに設けたことを特徴とする請求項１記載のディス
ク欠陥検査装置。
【請求項５】検査基準ディスク再生装置に装着された
検査基準ディスクから検査基準データを得る際に、その
検査基準ディスク中のエラー訂正不能なデータの有無を
検出する検査中止制御手段をさらに設けたことを特徴と
する請求項２，３又は４記載のディスク欠陥検査装置。
【請求項６】エラーが検出された時の欠陥検査ディス
クの半径情報及び角度情報を抽出する半径・角度情報抽
出手段と、これら抽出された半径情報及び角度情報を記
録する半径・角度情報記録手段とをさらに設けたことを
特徴とする請求項２，３又は４記載のディスク欠陥検査
装置。
【請求項７】エラー位置情報を記録する際、検出され
た第１のエラーと第２のエラーとを区別して記録する記
録手段をさらに設けたことを特徴とする請求項２又は４
記載のディスク欠陥検査装置。
【請求項８】検査基準ディスク再生装置から得られた
クロックを分周させ欠陥検査ディスク再生装置の回転駆
動系に送る回転駆動系制御手段をさらに設けたことを特
徴とする請求項２又は４記載のディスク欠陥検査装置。
【請求項９】検査基準ディスク再生装置の検査基準デ
ィスクから再生されたメインチャンネルデータ及びサブ
コードデータの検査基準データを順次読み出してＥＦＭ
変換手段によりＥＦＭ信号を生成し、この生成されたＥ
ＦＭ信号をデータに変換して記録手段に記録させる検査
基準ディスク読出し工程と、欠陥検査ディスク再生装置
の回転駆動系によって駆動制御される欠陥検査ディスク
から欠陥検査データを再生手段により再生し、この再生
された信号をＥＦＭ変換手段により２値化してＥＦＭ信
号を求め、この欠陥検査ディスクのＥＦＭ信号と前記記
録手段に記録された前記検査基準ディスクのデータを変
換して得られたＥＦＭ信号とをＥＦＭ信号比較エラー検
出手段により比較して前記欠陥検査ディスクのエラーを
検出するエラー検出工程とからなることを特徴とするデ
ィスク欠陥検査方法。
【請求項１０】検査基準ディスク再生装置の光磁気メ
ディアに対応した検査基準ディスクから再生された検査
基準データを順次読み出し、この読み出された検査基準
データを記録手段に記録させる検査基準ディスク読出し
工程と、欠陥検査ディスク再生装置の回転駆動系によっ
て駆動制御される欠陥検査ディスクから欠陥検査データ
を再生手段により再生し、この再生された信号を２値化
手段により２値化し、その２値化された信号を信号分割
手段によりヘッダ情報とデータ情報に分割し、前記ヘッ
ダ情報からアドレスデータ抽出手段によりアドレスデー
タを抽出し、前記データ情報をデータ復調手段により復
調し、その復調されたデータからデータ・エラー抽出手
段により検査基準データ及びエラー訂正用の第１のエラ
ーを抽出し、この抽出された前記欠陥検査ディスクの前
記検査基準データと前記記録手段に記録された前記検査
基準ディスクの前記検査基準データとをデータ比較エラ
ー検出手段により比較して前記欠陥検査ディスクのプロ
セス中に発生する第２のエラーを検出するエラー検出工
程とからなることを特徴とするディスク欠陥検査方法。
【請求項１１】検査基準ディスク再生装置に装着され
た検査基準ディスクから検査基準データを得る際に、検
査中止制御手段によりその検査基準ディスク中のエラー
訂正不能なデータの有無を検出するようにしたことを特
徴とする請求項９又は１０記載のディスク欠陥検査方
法。
【請求項１２】エラーが検出された時の欠陥検査ディ
スクの半径情報及び角度情報を半径・角度情報抽出手段
により抽出し、これら抽出された半径情報及び角度情報
を半径・角度情報記録手段に記録するようにしたことを
特徴とする請求項９又は１０記載のディスク欠陥検査方
法。
【請求項１３】エラー位置情報を記録する際、検出さ
れた第１のエラーと第２のエラーとを区別して記録手段
に記録するようにしたことを特徴とする請求項１０記載
のディスク欠陥検査方法。