JPH08338858A - Inspection equipment for circuit board - Google Patents
Inspection equipment for circuit boardInfo
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- JPH08338858A JPH08338858A JP7146094A JP14609495A JPH08338858A JP H08338858 A JPH08338858 A JP H08338858A JP 7146094 A JP7146094 A JP 7146094A JP 14609495 A JP14609495 A JP 14609495A JP H08338858 A JPH08338858 A JP H08338858A
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- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
- Test And Diagnosis Of Digital Computers (AREA)
Abstract
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、検査すべき回路基板を
搬送機構によって検査区域に搬送し、上部側検査治具と
下部側検査治具とにより回路基板の両面を挟圧すること
により、回路基板の両面の導電接点部がテスターに電気
的に接続された状態を達成し、これにより当該回路基板
の電気的接続状態を検査する回路基板の検査装置に関す
るものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention conveys a circuit board to be inspected to an inspection area by a conveyance mechanism and clamps both sides of the circuit board by an upper inspection jig and a lower inspection jig. The present invention relates to an inspection device for a circuit board, in which conductive contact portions on both surfaces of the board are electrically connected to a tester, thereby inspecting an electrically connected state of the circuit board.
【0002】[0002]
【従来の技術】一般に集積回路などを搭載するためのプ
リント回路基板については、集積回路などを実装する以
前に、当該回路基板の配線パターンが所期の性能を有す
ることを確認することが必要であり、そのためにその電
気的特性を検査することが行われている。かかる回路基
板の検査のための検査装置としては、検査すべき被検査
回路基板を検査区域に搬送する搬送機構を具えてなるも
のが知られている。2. Description of the Related Art Generally, for a printed circuit board on which an integrated circuit or the like is mounted, it is necessary to confirm that the wiring pattern of the circuit board has desired performance before mounting the integrated circuit or the like. For that reason, the electrical characteristics thereof are inspected. As an inspection apparatus for inspecting such a circuit board, there is known an inspection apparatus including a transfer mechanism that transfers a circuit board to be inspected to be inspected to an inspection area.
【0003】図10は、従来の回路基板の検査装置の一
例の基本的な構成を示す説明図である。この回路基板の
検査装置においては、検査すべき被検査回路基板1を、
この図において紙面に垂直な水平方向に伸びる搬送通路
に沿って検査区域に搬送する搬送機構90が設けられて
いる。この例の搬送機構90は、搬送通路の一側に設け
られた一方の搬送部材91と、搬送通路の他側に設けら
れた他方の搬送部材92とよりなり、一方の搬送部材9
1は、被検査回路基板1の一側縁を案内する断面L字形
の一方のガイドレール93と、被検査回路基板1の一側
縁を載せて走行する一方の搬送ベルト94とにより構成
され、他方の搬送部材92は、被検査回路基板1の他側
縁を案内する断面L字形の他方のガイドレール95と、
被検査回路基板1の他側縁を載せて、前記一方の搬送ベ
ルト94と一体的に走行する他方の搬送ベルト96とに
構成されている。FIG. 10 is an explanatory view showing the basic construction of an example of a conventional circuit board inspection apparatus. In this circuit board inspection device, the circuit board 1 to be inspected is
In this figure, a transport mechanism 90 for transporting to the inspection area is provided along a transport path extending in the horizontal direction perpendicular to the paper surface. The transport mechanism 90 of this example includes one transport member 91 provided on one side of the transport passage and another transport member 92 provided on the other side of the transport passage.
1 is constituted by one guide rail 93 having an L-shaped cross section that guides one side edge of the circuit board 1 to be inspected, and one conveyor belt 94 that runs with one side edge of the circuit board 1 to be inspected, The other transport member 92 has another L-shaped guide rail 95 for guiding the other side edge of the circuit board 1 to be inspected,
The other side edge of the circuit board 1 to be inspected is placed on the one conveyor belt 94 and the other conveyor belt 96 that travels integrally.
【0004】そして、一方の搬送部材91と他方の搬送
部材92とは、被検査回路基板1の搬送方向とは直角な
水平方向であって互いに離接する方向に移動可能に設け
られており、これにより、各搬送部材91,92は、被
検査回路基板1を検査のためにフリーな状態とするため
に、被検査回路基板1より外側方に外れる位置にまで変
位することが可能とされると共に、幅寸法の異なる被検
査回路基板に対応した走行位置に移動することが可能な
状態とされている。The one carrying member 91 and the other carrying member 92 are provided so as to be movable in a horizontal direction perpendicular to the carrying direction of the circuit board 1 to be inspected and in a direction in which they are in contact with each other. Thus, each of the transport members 91 and 92 can be displaced to a position outside the inspected circuit board 1 in order to put the inspected circuit board 1 in a free state for inspection. It is in a state in which it is possible to move to a traveling position corresponding to the circuit boards to be inspected having different width dimensions.
【0005】また、検査区域においては、搬送された被
検査回路基板1を搬送機構90から離脱させてフリーの
状態とすると共に、更に被検査回路基板1を上下方向か
ら挟圧する下部側検査治具97および上部側検査治具9
8が配置されており、これらはテスターの検査回路(図
示省略)に接続される。In the inspection area, the conveyed inspection target circuit board 1 is detached from the transfer mechanism 90 to be in a free state, and the lower inspection jig for further pinching the inspection target circuit board 1 from the vertical direction. 97 and upper inspection jig 9
8 are arranged, and these are connected to an inspection circuit (not shown) of the tester.
【0006】このような構成の回路基板の検査装置にお
いては、検査すべき被検査回路基板1が搬送機構90の
一方の搬送部材91および他方の搬送部材92により検
査区域にまで搬送されて停止され、その後、例えば下部
側検査治具97が上昇することにより、被検査回路基板
1が上方に押し上げられて搬送機構90から離脱される
一方、搬送機構90における一方の搬送部材91および
他方の搬送部材92が被検査回路基板1の幅方向外方に
下部側検査治具97の外側位置にまで変位されることに
より、被検査回路基板1がフリーの状態となり、下部側
検査治具97が更に上昇することにより、被検査回路基
板1が下部側検査治具97と上部側検査治具98との間
に挟圧されて被検査回路基板1の両面の導電接点部がテ
スターの検査回路に電気的に接続された状態が達成さ
れ、この状態でテスターにより、当該被検査回路基板1
の検査が実行される。In the circuit board inspection apparatus having such a configuration, the circuit board 1 to be inspected to be inspected is conveyed to the inspection area by one conveyance member 91 and the other conveyance member 92 of the conveyance mechanism 90 and stopped. After that, for example, when the lower side inspection jig 97 rises, the circuit board 1 to be inspected is pushed upward and separated from the transfer mechanism 90, while one transfer member 91 and the other transfer member in the transfer mechanism 90 are removed. When 92 is displaced outward in the width direction of the inspected circuit board 1 to the position outside the lower side inspection jig 97, the inspected circuit board 1 becomes free and the lower side inspection jig 97 is further raised. By doing so, the circuit board 1 to be inspected is pinched between the lower inspection jig 97 and the upper inspection jig 98, and the conductive contact portions on both sides of the inspected circuit board 1 are the inspection circuits of the tester. Electrically accomplished connected state, the tester in this state, the circuit board 1 to be inspected
Inspection is performed.
【0007】以上において、一方の搬送部材91および
他方の搬送部材92の外方への変位がなされなければ、
それらが障害となって、下部側検査治具97および上部
側検査治具98により、被検査回路基板1を挟圧するこ
とができない。In the above, if one of the conveying members 91 and the other conveying member 92 are not displaced outward,
Due to these obstacles, the circuit board 1 to be inspected cannot be pinched by the lower inspection jig 97 and the upper inspection jig 98.
【0008】このような回路基板の検査装置によれば、
搬送機構90により被検査回路基板1を迅速に検査区域
に配置することができるので、被検査回路基板1を検査
のためにセットするための所要時間が短時間となり、多
数の被検査回路基板についての検査を高い時間的効率で
実行することができる。According to such a circuit board inspection apparatus,
Since the circuit board 1 to be inspected can be quickly placed in the inspection area by the transport mechanism 90, the time required for setting the circuit board 1 to be inspected for inspection is short, and a large number of circuit boards to be inspected can be obtained. Can be performed with high time efficiency.
【0009】而して、実際上、検査すべき被検査回路基
板は、幅寸法が一定の一種類のみではない。このため、
下部側検査治具97および上部側検査治具98は、最大
の幅寸法を有する被検査回路基板に対応する幅の検査領
域をカバーするものであることが必要である。Thus, in practice, the type of circuit board to be inspected is not limited to one type having a constant width dimension. For this reason,
The lower side inspection jig 97 and the upper side inspection jig 98 need to cover an inspection area having a width corresponding to the circuit board to be inspected having the maximum width dimension.
【0010】[0010]
【発明が解決しようとする課題】然るに、下部側検査治
具97および上部側検査治具98の検査領域の幅よりも
小さい幅寸法を有する被検査回路基板について検査を行
う場合には、一方の搬送部材91および他方の搬送部材
92をそれぞれ下部側検査治具97および上部側検査治
具98の両外側にまで変位させる必要があるためにそれ
らの変位距離が大きいものとなり、その結果、一方の搬
送部材91および他方の搬送部材92の変位が完了する
までに長い時間を要することとなって、時間的効率が低
いものとなる、という問題がある。However, when inspecting a circuit board to be inspected having a width dimension smaller than the widths of the inspection regions of the lower side inspection jig 97 and the upper side inspection jig 98, one of Since it is necessary to displace the conveying member 91 and the other conveying member 92 to both outsides of the lower side inspection jig 97 and the upper side inspection jig 98, respectively, the displacement distance between them becomes large. It takes a long time to complete the displacement of the transport member 91 and the other transport member 92, which causes a problem of low time efficiency.
【0011】また、従来の検査装置においては、下部側
検査治具97および上部側検査治具98は、各々特定の
被検査回路基板1に専用のものとして構成されているた
め、配線パターンの異なる被検査回路基板を検査するた
めには、当該被検査回路基板に対応して全体の検査治具
を変更する必要がある、という問題がある。Further, in the conventional inspection apparatus, since the lower inspection jig 97 and the upper inspection jig 98 are constructed exclusively for the specific circuit board 1 to be inspected, the wiring patterns are different. In order to inspect the circuit board to be inspected, there is a problem that it is necessary to change the entire inspection jig corresponding to the circuit board to be inspected.
【0012】本発明は、以上のような事情に基づいてな
されたものであり、その第1の目的は、幅寸法の異なる
回路基板であっても、当該回路基板の各々についての検
査を高い時間的効率で達成することができる回路基板の
検査装置を提供することにある。本発明の第2の目的
は、異なる種類の回路基板に対しても、検査治具の主要
部を共通に使用することができる回路基板の検査装置を
提供することにある。本発明の第3の目的は、幅寸法の
異なる回路基板を検査する場合であっても、当該回路基
板の検査のために必要な準備作業を短時間で行うことが
できる回路基板の検査装置を提供することにある。The present invention has been made based on the above circumstances. A first object of the present invention is to perform a high inspection time for each circuit board having different width dimensions. It is an object of the present invention to provide a circuit board inspection device that can be achieved with high efficiency. A second object of the present invention is to provide a circuit board inspecting apparatus which can commonly use a main part of an inspection jig even for different types of circuit boards. A third object of the present invention is to provide a circuit board inspection apparatus capable of performing a preparatory work necessary for the inspection of the circuit board in a short time even when inspecting circuit boards having different width dimensions. To provide.
【0013】[0013]
【課題を解決するための手段】本発明の回路基板の検査
装置は、検査すべき回路基板を検査区域に搬送する搬送
機構を有し、当該検査区域において上部側検査治具と下
部側検査治具とにより回路基板の両面を挟圧して検査す
る回路基板の検査装置であって、前記搬送機構は、搬送
機構可動範囲において回路基板の搬送方向とは垂直な水
平方向に移動可能に設けられており、前記下部側検査治
具は、回路基板の下面に対接される下部基板側コネクタ
ーと、この下部基板側コネクターの下方に設けられた、
テスターに電気的に接続されるテスター側コネクター
と、前記下部基板側コネクターおよび前記テスター側コ
ネクターの間を仲介してそれぞれを電気的に接続するた
めの仲介ピン装置とを有してなり、前記下部基板側コネ
クターは、仲介ピン装置と分離可能に設けられており、
仲介ピン装置は、多数の導電ピンと、これらの導電ピン
を上下方向に伸びるよう支持する導電ピン支持機構とを
有してなり、前記多数の導電ピンのうち、少なくとも前
記搬送機構可動範囲の直下領域におけるすべての導電ピ
ンの各々は、前記導電ピン支持機構に着脱自在に支持さ
れており、仲介ピン装置は、前記テスター側コネクター
に対して交換可能に設けられており、予め着脱自在の導
電ピンのうち選択された領域における導電ピンが取り外
されることにより搬送機構の収容用空間が形成された状
態で、前記テスター側コネクターに装着されることを特
徴とする。A circuit board inspection apparatus of the present invention has a transfer mechanism for transferring a circuit board to be inspected to an inspection area, and an upper side inspection jig and a lower side inspection jig are provided in the inspection area. A circuit board inspecting device for pinching both sides of a circuit board by means of a tool, wherein the transfer mechanism is provided so as to be movable in a horizontal direction perpendicular to the transfer direction of the circuit board in a movable range of the transfer mechanism. The lower side inspection jig is provided below the lower board side connector and the lower board side connector that is in contact with the lower surface of the circuit board.
A tester-side connector electrically connected to the tester, and an intermediary pin device for electrically connecting the lower board-side connector and the tester-side connector to electrically connect each other. The board-side connector is separable from the intermediary pin device,
The intermediary pin device includes a large number of conductive pins and a conductive pin support mechanism that supports these conductive pins so as to extend in the vertical direction. Of the plurality of conductive pins, at least a region immediately below the movable range of the transport mechanism. All of the conductive pins in the above are detachably supported by the conductive pin support mechanism, and the intermediary pin device is provided so as to be replaceable with respect to the tester-side connector, and the conductive pin of the detachable conductive pins is It is characterized in that the conductive pin in the selected region is detached to be attached to the tester side connector in a state where the accommodation space of the transport mechanism is formed.
【0014】[0014]
【作用】以上の構成によれば、仲介ピン装置における着
脱自在の導電ピンを取り外すことにより、仲介ピン装置
において搬送機構の収容用空間を形成することができ、
しかも、搬送機構の搬送機構可動範囲の直下領域におけ
るすべての導電ピンが着脱自在に設けられているので、
当該搬送機構可動範囲の直下領域内においては、収容用
空間の位置を任意に選定することができる。従って、種
々の大きさの幅寸法を有する回路基板に好適に対応する
ことができると共に、幅寸法の異なる回路基板を検査対
象とするために当該幅寸法の大きさに応じて搬送機構の
幅方向位置が変更されたときにも、収容用空間を形成す
る位置を検査が実行される領域に隣接する位置に選定す
ることにより、当該搬送機構を回路基板から離脱させる
ために必要な変位距離を常に小さくすることができる。
そして、その結果、回路基板が検査区域に到着した後の
きわめて短時間のうちに、回路基板が上部側検査治具お
よび下部側検査治具に挟圧された検査準備完了状態を達
成することができるので、回路基板の検査において高い
時間的効率が得られる。According to the above construction, by removing the detachable conductive pin in the intermediary pin device, the accommodating space for the transfer mechanism can be formed in the intermediary pin device.
Moreover, since all the conductive pins in the area immediately below the movable range of the transfer mechanism of the transfer mechanism are detachably provided,
The position of the accommodating space can be arbitrarily selected within the region directly below the movable range of the transport mechanism. Therefore, it is possible to favorably cope with circuit boards having various width dimensions, and in order to inspect circuit boards having different width dimensions, the width direction of the transport mechanism can be adjusted according to the width dimensions. Even when the position is changed, by selecting the position forming the accommodation space as the position adjacent to the region where the inspection is performed, the displacement distance required to detach the transfer mechanism from the circuit board is always maintained. Can be made smaller.
As a result, in a very short time after the circuit board arrives at the inspection area, the circuit board can reach an inspection ready state in which the circuit board is pinched by the upper inspection jig and the lower inspection jig. Therefore, high time efficiency can be obtained in the inspection of the circuit board.
【0015】また、下部基板側コネクターは、仲介ピン
装置と分離可能に設けられているため、下部側検査治具
においては、配線パターンの異なる回路基板を検査する
場合には、下部基板側コネクターのみを回路基板の配線
パターンに対応するものに交換すればよいので、下部側
検査治具の主要部である仲介ピン装置および下部テスタ
ー側コネクターを共通に使用することができる。Further, since the lower board side connector is provided so as to be separable from the intermediary pin device, in the lower side inspection jig, when inspecting a circuit board having a different wiring pattern, only the lower board side connector is used. Can be replaced with one corresponding to the wiring pattern of the circuit board, so that the intermediate pin device and the lower tester-side connector, which are the main parts of the lower inspection jig, can be used in common.
【0016】また、仲介ピン装置は、テスター側コネク
ターに対して交換可能に設けられているため、当該仲介
ピン装置のみを、別途用意された、同様の基本的構成を
有する他の仲介ピン装置に容易に交換することができ
る。従って、次に検査すべき回路基板が幅寸法の異なる
ものである場合であっても、予め、当該次の回路基板の
幅寸法に応じて着脱自在の導電ピンを取り外して搬送機
構の収容用空間が形成された交換用の仲介ピン装置を用
意しておくことにより、当該次の回路基板の検査のため
に必要な準備作業を短時間で行うことができる。Since the intermediary pin device is provided so as to be replaceable with respect to the connector on the tester side, only the intermediary pin device can be replaced with another intermediary pin device having a similar basic structure. It can be easily replaced. Therefore, even if the circuit board to be inspected next has a different width dimension, the detachable conductive pin is removed in advance according to the width dimension of the next circuit board to accommodate the space for accommodating the transfer mechanism. By preparing the intermediary pin device for replacement in which the above is formed, the preparatory work required for the inspection of the next circuit board can be performed in a short time.
【0017】[0017]
【実施例】以下、本発明の回路基板の検査装置の実施例
について説明する。図1は、本発明に係る回路基板の検
査装置の一例における要部の構成を示す説明用断面図で
ある。この回路基板の検査装置においては、検査すべき
被検査回路基板1を、図1において紙面に垂直な水平方
向に伸びる搬送通路に沿って検査区域に搬送する搬送機
構10が設けられており、検査区域には、搬送された被
検査回路基板1の両面を上下方向から挟圧する下部側検
査治具20および上部側検査治具70が配置されてい
る。Embodiments of the circuit board inspection apparatus of the present invention will be described below. FIG. 1 is an explanatory sectional view showing a configuration of a main part in an example of a circuit board inspection apparatus according to the present invention. The circuit board inspection apparatus is provided with a transfer mechanism 10 for transferring the circuit board 1 to be inspected to the inspection area along a transfer path extending in the horizontal direction perpendicular to the paper surface of FIG. A lower side inspection jig 20 and an upper side inspection jig 70 that pinch both surfaces of the conveyed circuit board 1 to be inspected in the vertical direction are arranged in the area.
【0018】図示の例における搬送機構10は、搬送通
路の一側に設けられた一方の搬送部材11と、搬送通路
の他側に設けられた他方の搬送部材12とよりなり、一
方の搬送部材11は、被検査回路基板1の一側縁を案内
する断面L字形の一方のガイドレール13と、被検査回
路基板1の一側縁を載せて走行する一方の搬送ベルト1
4とにより構成され、他方の搬送部材12は、被検査回
路基板1の他側縁を案内する断面L字形の他方のガイド
レール15と、被検査回路基板1の他側縁を載せて、前
記一方の搬送ベルト14と一体的に走行する他方の搬送
ベルト16とにより構成されている。The carrying mechanism 10 in the illustrated example comprises one carrying member 11 provided on one side of the carrying passage and another carrying member 12 provided on the other side of the carrying passage. Reference numeral 11 denotes one guide rail 13 having an L-shaped cross-section that guides one side edge of the circuit board 1 to be inspected, and one conveyor belt 1 that runs with one side edge of the circuit board 1 to be inspected.
4, the other conveying member 12 mounts the other guide rail 15 having an L-shaped cross section for guiding the other side edge of the circuit board 1 to be inspected, and the other side edge of the circuit board 1 to be inspected. It is composed of one conveyor belt 14 and the other conveyor belt 16 that travels integrally.
【0019】被検査回路基板1の幅方向における一方の
搬送部材11の搬送のために走行するときの位置(以
下、「走行位置」という。)は、適宜の移動機構によ
り、他方の搬送部材12の走行位置を基準として、当該
他方の搬送部材12に離接する方向に移動可能とされて
いる。そして、一方の搬送部材11の走行位置の可動範
囲Kは、他方の搬送部材12との離間間隔が、検査対象
とされる被検査回路基板のうち最も小さい幅寸法を有す
る被検査回路基板の当該幅寸法に対応する大きさとなる
最接近位置から、他方の搬送部材12との離間間隔が検
査対象とされる被検査回路基板のうち最も大きい幅寸法
を有する被検査回路基板の当該幅寸法に対応する大きさ
となる最離間位置(破線で示す)までの範囲とされ、こ
れにより、幅寸法の異なる被検査回路基板1に対応する
ことが可能な状態とされている。The position (hereinafter, referred to as "travel position") when traveling for conveying one of the conveying members 11 in the width direction of the circuit board 1 to be inspected is referred to as "travel position" by the other conveying member 12 by an appropriate moving mechanism. With reference to the traveling position of, the movable member can be moved in a direction in which it separates from or comes into contact with the other transport member 12. The movable range K of the traveling position of one of the transport members 11 is the distance between the transport member 12 and the other transport member 12 of the circuit board to be inspected having the smallest width dimension among the circuit boards to be inspected. From the closest position having a size corresponding to the width dimension, the separation distance from the other transport member 12 corresponds to the width dimension of the circuit board to be inspected having the largest width dimension among the circuit boards to be inspected to be inspected. The range is up to the most separated position (shown by the broken line), which is the size of the width of the test circuit board 1. Thus, the circuit board 1 to be inspected having different width dimensions can be accommodated.
【0020】また、一方の搬送部材11および他方の搬
送部材12の各々は、例えば前述の一方の搬送部材11
の走行位置を移動させるための移動機構により、走行位
置を基準として、これより被検査回路基板1の搬送方向
と直角な水平方向に被検査回路基板1の両側縁からそれ
ぞれ外方に外れる位置にまで変位することが可能とされ
ている。Each of the one carrying member 11 and the other carrying member 12 is, for example, the above-mentioned one carrying member 11.
With the moving mechanism for moving the traveling position of the circuit board, the traveling position is used as a reference, and the moving mechanism is moved to a position outside each side edge of the circuit board 1 to be inspected in a horizontal direction perpendicular to the transport direction of the circuit board 1 to be inspected. It is possible to move up to.
【0021】検査区域において、搬送通路の下方には下
部側検査治具20が配置されている。図示の例における
下部側検査治具20は、その一方の外側縁が、搬送機構
10において走行位置が移動されない他方の搬送部材1
2に沿うよう設けられている。この下部側検査治具20
は、被検査回路基板1の幅dと同等の寸法の幅を有する
下部基板側コネクター30と、テスターの検査回路(図
示省略)に接続される下部テスター側コネクター50
と、下部基板側コネクター30および下部テスター側コ
ネクター50の間を仲介して両者の接点を電気的に接続
する仲介ピン装置40とにより構成されており、下部基
板側コネクター30と仲介ピン装置40とは分離可能と
されている。In the inspection area, a lower inspection jig 20 is arranged below the transport passage. In the lower inspection jig 20 in the illustrated example, one outer edge of the lower conveyance jig 1 is the other conveyance member 1 whose traveling position is not moved in the conveyance mechanism 10.
It is provided along the line 2. This lower side inspection jig 20
Is a lower board-side connector 30 having a width equivalent to the width d of the circuit board 1 to be inspected, and a lower tester-side connector 50 connected to a tester inspection circuit (not shown).
And a lower substrate side connector 30 and a lower tester side connector 50, and an intermediate pin device 40 for electrically connecting the contact points of the both, and the lower substrate side connector 30 and the intermediate pin device 40. Are separable.
【0022】下部基板側コネクター30は、図2にも示
すように、被検査回路基板1の下面側に配設される弾性
を有する第1の異方導電性シート35と、ピッチ変換ボ
ード31と、このピッチ変換ボード31の下面側に配設
される弾性を有する第2の異方導電性シート36とがこ
の順に積重されて構成されている。As shown in FIG. 2, the lower board side connector 30 includes a first anisotropic conductive sheet 35 having elasticity and arranged on the lower surface side of the circuit board 1 to be inspected, and a pitch conversion board 31. The second anisotropic conductive sheet 36 having elasticity arranged on the lower surface side of the pitch conversion board 31 is stacked in this order.
【0023】被検査回路基板1と対向するピッチ変換ボ
ード31の上面には、被検査回路基板1の下面における
被検査電極2の配列に対応するパターンに従って上面電
極32が形成されており、ピッチ変換ボード31の反対
の下面には、当該上面電極32とそれぞれ対応関係で電
気的に接続された下面電極33が、規格化された格子点
位置に配列された状態、すなわちいわゆるユニバーサル
配列の状態で形成されている。On the upper surface of the pitch conversion board 31 facing the inspected circuit board 1, the upper surface electrodes 32 are formed according to the pattern corresponding to the arrangement of the inspected electrodes 2 on the lower surface of the inspected circuit board 1, and the pitch conversion is performed. On the lower surface of the opposite side of the board 31, the lower surface electrodes 33 electrically connected to the upper surface electrodes 32 in a corresponding relationship are arranged in a standardized lattice point position, that is, in a so-called universal arrangement state. Has been done.
【0024】第1の異方導電性シート35および第2の
異方導電性シート36は、いずれもその厚み方向にのみ
導電路を形成する導電路形成部が形成されてなるもので
ある。ここに、第1の異方導電性シート35または第2
の異方導電性シート36としては、各導電路形成部が少
なくともその一面において厚み方向に突起状に形成され
ているものが、高い電気的な接触安定性を発揮する点で
好ましい。Each of the first anisotropic conductive sheet 35 and the second anisotropic conductive sheet 36 has a conductive path forming portion for forming a conductive path only in the thickness direction thereof. Here, the first anisotropic conductive sheet 35 or the second anisotropic conductive sheet 35
As the anisotropic conductive sheet 36, it is preferable that each conductive path forming portion is formed in a projection shape in the thickness direction on at least one surface thereof in order to exhibit high electrical contact stability.
【0025】また、下部基板側コネクター30には、第
1の異方導電性シート35、ピッチ変換ボード31およ
び第2の異方導電性シート36のそれぞれを貫通するよ
う、複数の位置決めピン37が摺動可能に設けられてい
る。A plurality of positioning pins 37 are provided on the lower board connector 30 so as to penetrate the first anisotropic conductive sheet 35, the pitch conversion board 31, and the second anisotropic conductive sheet 36, respectively. It is slidable.
【0026】下部テスター側コネクター50は、弾性を
有する第3の異方導電性シート61と、この第3の異方
導電性シート61の下面側に配設される電極分岐分配板
55と、この電極分岐分配板55の下面側に配設される
弾性を有する第4の異方導電性シート62と、この第4
の異方導電性シート62の下面側に配設される検査電極
板装置51とにより構成されている。この例において
は、下部テスター側コネクター50は、図3にも示すよ
うに、走行位置が移動される一方の搬送部材11の可動
範囲Kが拡がる一側方(図1および図3で左方)に被検
査回路基板1の幅dと同等の幅だけ広がった、その全幅
Dが2dの領域をカバーする状態に配置されている。The lower tester-side connector 50 has a third anisotropic conductive sheet 61 having elasticity, and an electrode branching distribution plate 55 arranged on the lower surface side of the third anisotropic conductive sheet 61. A fourth anisotropic conductive sheet 62 having elasticity, which is disposed on the lower surface side of the electrode branch distribution plate 55, and the fourth anisotropic conductive sheet 62.
And an inspection electrode plate device 51 disposed on the lower surface side of the anisotropic conductive sheet 62. In this example, as shown in FIG. 3, the lower tester-side connector 50 has one side (the left side in FIGS. 1 and 3) in which the movable range K of the one transport member 11 whose traveling position is moved is expanded. In addition, the circuit board 1 is arranged so as to cover a region having a total width D of 2d, which is widened by a width equivalent to the width d of the circuit board 1 to be inspected.
【0027】図4に示すように、電極分岐分配板55の
上面には、それぞれピッチ変換ボード31の下面電極3
3に対応する格子状配列、すなわち格子点位置のすべて
に配列された状態で上面接続電極56が形成されてお
り、電極分岐分配板55の下面には、上面接続電極56
と同様の状態で下面接続電極57が形成されている。こ
の電極分岐分配板55においては、後述するように、2
つの機能領域における対応する対の各上面接続電極56
を共通化電極とするための配線回路58が多層構成で形
成されており、この配線回路58により、上面接続電極
56と下面接続電極57とが特定の関係で電気的に接続
されている。As shown in FIG. 4, the lower surface electrodes 3 of the pitch conversion board 31 are provided on the upper surfaces of the electrode branching / distributing plates 55, respectively.
3, the upper surface connecting electrodes 56 are formed in a state of being arranged in a grid pattern corresponding to 3, that is, all the grid point positions, and the upper surface connecting electrodes 56 are formed on the lower surface of the electrode branching / distributing plate 55.
The lower surface connection electrode 57 is formed in the same state as. In the electrode branch distribution plate 55, as will be described later, 2
Corresponding pair of upper connection electrodes 56 in one functional area
Is formed in a multi-layered structure for using as a common electrode, the upper surface connection electrode 56 and the lower surface connection electrode 57 are electrically connected in a specific relationship.
【0028】図5は、電極分岐分配板55として用いら
れる接続電極エレメント60を示す説明図である。この
接続電極エレメント60は、矩形の板状絶縁性基体の一
面に、いわゆるユニバーサル配列に従い、縦横に並ぶ標
準格子点位置に接続電極pが形成されて構成されてい
る。この接続電極エレメント60は、その一面における
領域が鎖線で示すように2分割されて各々の幅がdであ
る互いに等しい矩形の2つの機能領域Aおよび機能領域
Bが形成されており、また機能領域Aおよび機能領域B
の各々においては、互いに同一のパターンの配置で縦横
に並ぶ接続電極pを有する。FIG. 5 is an explanatory view showing a connecting electrode element 60 used as the electrode branching / distributing plate 55. The connection electrode element 60 is formed by forming connection electrodes p at standard grid point positions arranged in the vertical and horizontal directions on one surface of a rectangular plate-shaped insulating substrate according to a so-called universal arrangement. The connecting electrode element 60 has two functional areas A and B each having a rectangular shape, the area on one surface of which is divided into two, as shown by the chain line, and each width is d. A and functional area B
In each of the above, the connection electrodes p are arranged vertically and horizontally in the same pattern arrangement.
【0029】今、機能領域AおよびBの各々において、
縦m行、横n列で並ぶ接続電極pの特定の位置にあるも
のを特定するために、第m行第n列の位置にある接続電
極pの番地表示を(m,n)とし、さらに機能領域まで
を特定する場合には、当該番地表示の先頭に機能領域を
示す記号AおよびBを付して表わすこととする。例え
ば、機能領域Aにおける第1行第1列にある接続電極は
A(1,1)で表わされる。Now, in each of the functional areas A and B,
In order to specify the connection electrodes p arranged in m rows in the vertical direction and n columns in the horizontal direction at specific positions, the address display of the connection electrodes p in the position of the m-th row and the n-th column is (m, n), and When the functional area is specified, symbols A and B indicating the functional area are added to the head of the address display. For example, the connection electrode at the first row and first column in the functional area A is represented by A (1,1).
【0030】接続電極エレメント60の機能領域Aおよ
びBの各々における対応位置にある接続電極pは、接続
部材によって互いに電気的に接続されている。すなわ
ち、同一の番地表示(m,n)を有する接続電極pは機
能領域AおよびBの各々に存在するが、これら同一の番
地表示を有する2つの接続電極pを互いに電気的に接続
させるのである。この互いに電気的に接続された接続電
極をこの明細書において「共通化電極」といい、P
(m,n)で表わすこととする。従って、或る共通化電
極P(m,n)は、電気的に接続されている2つの分岐
された端子としての接続電極A(m,n)およびB
(m,n)よりなるものとなる。そして、接続電極エレ
メント60の接続電極pが、この電極分岐分配板55の
上面接続電極56を形成する。また、図示の例において
は、電極分岐分配板55の機能領域Bと対応する位置に
下部基板側コネクター30が配置されている。The connection electrodes p at corresponding positions in each of the functional areas A and B of the connection electrode element 60 are electrically connected to each other by a connection member. That is, although the connection electrode p having the same address display (m, n) exists in each of the functional regions A and B, the two connection electrodes p having the same address display are electrically connected to each other. . This connection electrode electrically connected to each other is referred to as "common electrode" in this specification, and P
It will be represented by (m, n). Therefore, a certain common electrode P (m, n) is connected to the connection electrodes A (m, n) and B as two branched terminals that are electrically connected.
(M, n). The connection electrode p of the connection electrode element 60 forms the upper surface connection electrode 56 of the electrode branching / distributing plate 55. Further, in the illustrated example, the lower substrate side connector 30 is arranged at a position corresponding to the functional region B of the electrode branching / distributing plate 55.
【0031】図6に示すように、検査電極板装置51の
上面には、電極分岐分配板55の下面接続電極57に対
応する格子点位置のすべてに配列された状態で検査電極
52が形成されており、この検査電極52は、配線回路
53により、検査電極板装置51の一端部に形成された
外部引出し端子部54に接続され、この外部引出し端子
部54の各端子は、着脱自在に接続されたコネクター6
5を介してテスターの検査回路(図示省略)に接続され
ている。As shown in FIG. 6, the inspection electrodes 52 are formed on the upper surface of the inspection electrode plate device 51 in a state of being arranged at all the lattice point positions corresponding to the lower surface connection electrodes 57 of the electrode branching distribution plate 55. This inspection electrode 52 is connected to an external lead terminal portion 54 formed at one end of the inspection electrode plate device 51 by a wiring circuit 53, and each terminal of the external lead terminal portion 54 is detachably connected. Connector 6
It is connected via 5 to a tester inspection circuit (not shown).
【0032】第3の異方導電性シート61および第4の
異方導電性シート62は、いずれもその厚み方向にのみ
導電路を形成する導電路形成部が形成されてなるもので
あり、第2の異方導電性シート36と同様に、導電路形
成部が少なくともその一面において厚み方向に突起状に
形成されていることが好ましい。Each of the third anisotropic conductive sheet 61 and the fourth anisotropic conductive sheet 62 has a conductive path forming portion for forming a conductive path only in the thickness direction thereof. Similar to the anisotropic conductive sheet 36 of No. 2, it is preferable that the conductive path forming portion is formed in a projection shape in the thickness direction on at least one surface thereof.
【0033】65は下部側検査治具20の検査電極板装
置51を上方に押圧して上昇させるための押圧板であ
り、図示しない押圧機構に着脱自在に設けられている。
また、この押圧板65は、その押圧方向における基準レ
ベル、すなわち押圧操作が開始されていない基準のレベ
ルが調整可能に設けられていることが好ましい。Reference numeral 65 is a pressing plate for pressing the inspection electrode plate device 51 of the lower inspection jig 20 upward to raise it, which is detachably provided in a pressing mechanism (not shown).
Further, it is preferable that the pressing plate 65 is provided so that the reference level in the pressing direction, that is, the reference level at which the pressing operation is not started, can be adjusted.
【0034】仲介ピン装置40は、図7にも示すよう
に、多数の導電ピン41と、これら多数の導電ピン41
の各々を、ピッチ変換ボード31の下面電極33に対応
する格子点位置に配列された状態で上下方向に伸びるよ
う支持するための導電ピン支持機構43とにより構成さ
れている。この例における仲介ピン装置40は、被検査
回路基板1の幅dの2倍の2dの領域をカバーする状態
に配置されている。As shown in FIG. 7, the intermediate pin device 40 includes a large number of conductive pins 41 and a large number of these conductive pins 41.
Each of the above is constituted by a conductive pin support mechanism 43 for supporting each of them so as to extend in the vertical direction in a state of being arranged at the lattice point position corresponding to the lower surface electrode 33 of the pitch conversion board 31. The intermediary pin device 40 in this example is arranged so as to cover an area of 2d which is twice the width d of the circuit board 1 to be inspected.
【0035】導電ピン支持機構43においては、各導電
ピン41をその下側の基端部分において挿通支持する水
平な基端側支持板44が設けられ、この基端側支持板4
4の上方には、各導電ピン41をその中央部分において
挿通支持する水平な中央支持板43が設けられている。The conductive pin support mechanism 43 is provided with a horizontal base end side support plate 44 through which each of the conductive pins 41 is inserted and supported at a base end portion below the base end side support plate 4.
A horizontal central support plate 43 is provided above each of the pins 4 to support each conductive pin 41 at its central portion.
【0036】そして、すべての導電ピン41のうち少な
くとも一方の搬送部材11の可動範囲Kの直下領域にお
ける導電ピン41は、基端側支持板44および中央支持
板45の貫通孔に上方から挿入することにより装着さ
れ、貫通孔から上方に抜き出すことにより取り外すこと
ができるよう着脱自在に設けられている。その他の導電
ピン41は導電ピン支持機構43に固定されていてもよ
く、また着脱自在とされていてもよい。Then, at least one of all the conductive pins 41 in the region directly below the movable range K of the transport member 11 is inserted into the through holes of the base end side support plate 44 and the center support plate 45 from above. It is mounted so that it can be removed by pulling it up from the through hole. The other conductive pins 41 may be fixed to the conductive pin support mechanism 43 or may be detachable.
【0037】また、中央支持板45は、適宜の圧縮され
るばね機構46により基端側支持板44に連結されてお
り、例えば導電ピン41の中央付近に位置される上昇位
置から基端側支持板44に接近した下降位置に、ばね力
に抗して押下できるよう設けられている。The center support plate 45 is connected to the base end side support plate 44 by an appropriate compressed spring mechanism 46. For example, the center support plate 45 is supported from the raised position near the center of the conductive pin 41 to the base end side support. It is provided in a lowered position close to the plate 44 so that it can be pressed against the spring force.
【0038】仲介ピン装置40は、下部テスター側コネ
クター50に対して分離させて交換可能に設けられてい
る。具体的には、導電ピン支持機構43の基端側支持板
44の下面に、下方に突出する円柱上の複数の位置決め
用突起47が形成され、一方、下部テスター側コネクタ
ー50には、基端側支持板44の位置決め用突起47に
適合する複数の位置決め用孔64が各位置決め用突起4
7に対応して形成されている。そして、仲介ピン装置4
0は、基端側支持板44の各位置決め用突起47が下部
テスター側コネクター50における対応する位置決め用
孔64に嵌合された状態で、下部テスター側コネクター
50上に配置されることにより、下部テスター側コネク
ター50に対して所定の位置関係、具体的には、仲介ピ
ン装置40における導電ピン41の各々の下側の基端
が、下部テスター側コネクター50における電極分岐分
配板55の上面接続電極56の各々の上方に位置される
関係で装着されている。The intermediary pin device 40 is provided so as to be separated from the lower tester-side connector 50 and replaceable. Specifically, a plurality of cylindrical positioning protrusions 47 protruding downward are formed on the lower surface of the base end side support plate 44 of the conductive pin support mechanism 43, while the lower tester side connector 50 has a base end side. Each of the positioning protrusions 4 has a plurality of positioning holes 64 that match the positioning protrusions 47 of the side support plate 44.
It is formed corresponding to 7. And the intermediary pin device 4
0 is arranged on the lower tester side connector 50 in a state where each positioning protrusion 47 of the base end side support plate 44 is fitted into the corresponding positioning hole 64 of the lower tester side connector 50, A predetermined positional relationship with respect to the tester-side connector 50, specifically, the lower base end of each conductive pin 41 in the intermediary pin device 40 is the upper connection electrode of the electrode branching distribution plate 55 in the lower tester-side connector 50. Mounted in a relationship positioned above each of the 56.
【0039】また、図示の例における導電ピン41の各
々には、中央支持板45を挿通する部分の上部に中央支
持板45の貫通孔より大きい径の球状の係止部42が形
成されており、導電ピン支持機構43を持ち上げて下部
テスター側コネクター50から取り外したときに、導電
ピン41が下方に脱落しないよう中央支持板45に保持
されている。In each of the conductive pins 41 in the illustrated example, a spherical locking portion 42 having a diameter larger than the through hole of the central support plate 45 is formed above the portion through which the central support plate 45 is inserted. The conductive pin 41 is held by the central support plate 45 so that the conductive pin 41 does not drop downward when the conductive pin support mechanism 43 is lifted and removed from the lower tester-side connector 50.
【0040】そして、仲介ピン装置40の多数の導電ピ
ン41の各々は、その下側の基端が下部テスター側コネ
クター50における第3の異方導電シート61の上面に
当接され、これら多数の導電ピン41のうち、下部基板
側コネクター30に対向する領域(以下、「検査実行領
域」という。)における各導電ピン41については、そ
の上側の先端が下部基板側コネクター30における異方
導電性シート36の下面に当接される。Each of the conductive pins 41 of the intermediary pin device 40 has its lower base end abutted on the upper surface of the third anisotropic conductive sheet 61 in the lower tester-side connector 50, and these multiple conductive pins 41 are connected to each other. Regarding the conductive pins 41 in the region of the conductive pins 41 facing the lower board-side connector 30 (hereinafter, referred to as “inspection execution region”), the tip of the upper side is an anisotropic conductive sheet in the lower board-side connector 30. The lower surface of 36 is abutted.
【0041】また、図示の例においては、検査実行領域
における導電ピン41の上側の先端より僅かに下方のレ
ベルに、被検査回路基板1の幅dと同等の寸法の幅を有
する水平な先端側支持板48が当該導電ピン41を挿通
支持するよう設けられており、この先端側支持板48
は、仲介ピン装置40における他の部材から分離可能に
設けられると共に、例えば位置決めピン37により、下
部基板側コネクター30と結合されている。Further, in the illustrated example, a horizontal tip side having a width equivalent to the width d of the circuit board 1 to be inspected is provided at a level slightly lower than the upper tip of the conductive pin 41 in the inspection execution area. A support plate 48 is provided so as to support the conductive pin 41 through the support plate 48.
Is provided so as to be separable from other members in the intermediary pin device 40, and is coupled to the lower board side connector 30 by, for example, a positioning pin 37.
【0042】検査区域において、搬送通路の上方には上
部側検査治具70が配置されている。この上部側検査治
具70は、下部側検査治具20とほぼ対応する構造を有
し、被検査回路基板1の幅dと同等の寸法の幅を有する
上部基板側コネクター71と、テスターの検査回路に接
続される上部テスター側コネクター75と、上部基板側
コネクター71および上部テスター側コネクター75を
仲介して両者の接点を電気的に接続する仲介ピン装置8
0とにより構成されている。In the inspection area, an upper inspection jig 70 is arranged above the transport passage. This upper side inspection jig 70 has a structure substantially corresponding to the lower side inspection jig 20, and has an upper board side connector 71 having a width similar to the width d of the circuit board 1 to be inspected and a tester inspection. An intermediary pin device 8 for electrically connecting the contacts of the upper tester side connector 75 connected to the circuit, the upper board side connector 71 and the upper tester side connector 75 to each other.
It is composed of 0 and.
【0043】上部基板側コネクター71は、被検査回路
基板1の上面側に配設される弾性を有する第1の異方導
電性シート72と、ピッチ変換ボード74と、このピッ
チ変換ボード74の上面側に配設される第2の異方導電
性シート73とが下からこの順に積重されて構成されて
いる。これらは、それぞれ下部基板側コネクター30に
おける第1の異方導電性シート35、ピッチ変換ボード
31および第2の異方導電性シート36に対応するもの
である。The upper board side connector 71 is provided with an elastic first anisotropic conductive sheet 72 disposed on the upper surface side of the circuit board 1 to be inspected, a pitch conversion board 74, and an upper surface of the pitch conversion board 74. The second anisotropic conductive sheet 73 disposed on the side is stacked in this order from the bottom. These correspond to the first anisotropic conductive sheet 35, the pitch conversion board 31, and the second anisotropic conductive sheet 36 in the lower board side connector 30, respectively.
【0044】仲介ピン装置80は、多数の導電ピン81
と、これら多数の導電ピン81を上下方向に伸びるよう
支持する導電ピン支持機構82と、各導電ピン81の下
側の先端部分に設けられた、各導電ピン81を挿通支持
する水平な先端側支持板84とにより構成され、導電ピ
ン支持機構82は、各導電ピン81をその上側の基端部
分において挿通支持する水平な基端側支持板82と、各
導電ピン81をその中央部分において挿通支持する水平
な中央支持板83とにより構成されている。これらは、
それぞれ下部側検査治具20の仲介ピン装置40におけ
る導電ピン41、導電ピン支持機構43および先端側支
持板48に対応するものである。The intermediary pin device 80 includes a large number of conductive pins 81.
And a conductive pin support mechanism 82 for supporting the large number of conductive pins 81 so as to extend in the vertical direction, and a horizontal tip side for inserting and supporting each conductive pin 81, which is provided at a tip end portion below each conductive pin 81. The conductive pin support mechanism 82 is composed of a support plate 84, and the conductive pin support mechanism 82 has a horizontal base end side support plate 82 that inserts and supports each conductive pin 81 at its upper base end portion and each conductive pin 81 at its central portion. It is composed of a horizontal central support plate 83 that supports the central support plate 83. They are,
These correspond to the conductive pin 41, the conductive pin support mechanism 43, and the tip side support plate 48 in the intermediary pin device 40 of the lower inspection jig 20, respectively.
【0045】この仲介ピン装置80の各導電ピン81に
は、図8に示すように、中央支持板84を挿通する部分
の上部に中央支持板84の貫通孔86より大きい径の球
状の係止部87が形成され、これにより、導電ピン81
が下方に脱落しないよう中央支持板84に保持されてい
る。また、先端側支持板85は、すべての導電ピン81
を挿通支持するよう設けられている。As shown in FIG. 8, each conductive pin 81 of the intermediary pin device 80 has a spherical engagement with a diameter larger than the through hole 86 of the central support plate 84 at the upper part of the portion through which the central support plate 84 is inserted. The portion 87 is formed, so that the conductive pin 81 is formed.
Are held by the central support plate 84 so as not to drop downward. Further, the tip side support plate 85 is provided with all the conductive pins 81.
Is provided so as to be inserted and supported.
【0046】上部テスター側コネクター75は、仲介ピ
ン装置80における導電ピン81の基端に配設される弾
性を有する第3の異方導電性シート76と、この第3の
異方導電性シート76の上面に配設される電極分岐分配
板77と、この電極分岐分配板77の上面に配設される
弾性を有する第4の異方導電性シート78と、この第4
の異方導電性シート78の上面に配設される検査電極板
装置79と、この検査電極板装置79の一端部に設けら
れたコネクター88とにより構成されている。これら
は、それぞれ下部テスター側コネクター50における第
3の異方導電性シート、電極分岐分配板55、第4の異
方導電性シート62および検査電極板装置51に対応す
るものである。The upper tester-side connector 75 is provided with a third anisotropic conductive sheet 76 having elasticity and arranged at the base end of the conductive pin 81 in the intermediary pin device 80, and the third anisotropic conductive sheet 76. The electrode branching / distributing plate 77 disposed on the upper surface of the electrode, the fourth anisotropic conductive sheet 78 having elasticity disposed on the upper surface of the electrode branching / distributing plate 77, and the fourth anisotropic conductive sheet 78.
The inspection electrode plate device 79 is provided on the upper surface of the anisotropic conductive sheet 78, and the connector 88 is provided at one end of the inspection electrode plate device 79. These correspond to the third anisotropic conductive sheet, the electrode branch distribution plate 55, the fourth anisotropic conductive sheet 62 and the inspection electrode plate device 51 in the lower tester side connector 50, respectively.
【0047】以上の上部側検査治具70は、固定された
ベースに固定された状態とされていてもよく、下部側検
査治具20の場合と同様に、上部側検査治具70の検査
電極板装置79を下方に押圧して下降させるための押圧
板に設けられることにより、下降可能な状態とされてい
てもよい。The above-mentioned upper inspection jig 70 may be fixed to a fixed base, and like the lower inspection jig 20, the inspection electrodes of the upper inspection jig 70 may be fixed. The plate device 79 may be provided with a pressing plate for pressing the plate device 79 downward to lower the plate device 79 so that the plate device 79 can be lowered.
【0048】以上のような構成の回路基板の検査装置に
おいては、予め、下部側検査治具20における仲介ピン
装置40の多数の導電ピン41のうち、検査実行領域に
隣接する一部の領域であって一方の搬送部材11の幅よ
り大きい領域における導電ピン41が取り外されること
により、一方の搬送機構11を収容するための収容用空
間Sが形成される。この作業は、仲介ピン装置40を下
部テスター側コネクター50から取り外して適宜の場所
で行うことができるので、容易である。そして、収容用
空間Sが形成された仲介ピン装置40は下部テスター側
コネクター50に装着され、これによって検査を行うた
めの準備作業が完了し、次のようにして、被検査回路基
板1の検査が行われる。In the circuit board inspecting apparatus having the above-mentioned structure, the part of the conductive pins 41 of the intermediary pin device 40 in the lower inspection jig 20 is preliminarily set in a part of the area adjacent to the inspection execution area. By removing the conductive pin 41 in a region larger than the width of the one transport member 11, the accommodation space S for accommodating the one transport mechanism 11 is formed. This work is easy because the intermediary pin device 40 can be removed from the lower tester-side connector 50 and performed at an appropriate place. Then, the intermediary pin device 40 in which the accommodation space S is formed is attached to the lower tester-side connector 50, thereby completing the preparatory work for the inspection, and inspecting the circuit board 1 to be inspected as follows. Is done.
【0049】検査すべき被検査回路基板1が搬送機構1
0により検査区域にまで搬送されると、仲介ピン装置4
0における中央支持板45が下降位置にある状態で、押
圧板65により下部テスター側コネクター50の検査電
極板装置が上方に押圧されて下部側検査治具20が上昇
され、これにより、被検査回路基板1が位置決めピン3
7により下部基板側コネクター30に対して位置決めさ
れた状態で上方に押し上げられ、これに同期して、搬送
機構10における一方の搬送部材11および他方の搬送
部材12が両方ともその走行位置から両側に変位し、一
方の搬送部材11および他方の搬送部材12が被検査回
路基板1から外方に外れた位置とされる。これにより、
被検査回路基板1は搬送機構10から離脱して下部側検
査治具20と上部側検査治具70とにより挟圧される得
るフリーの状態となる。そして、下部側検査治具20が
更に上昇することにより、被検査回路基板1が下部側検
査治具20と上部側検査治具70との間に挟圧される。
このとき、搬送機構10における一方の搬送部材11
が、上昇する仲介ピン装置40における収容用空間Sに
相対的に収容される。The inspected circuit board 1 to be inspected is the transport mechanism 1.
When transferred to the inspection area by 0, the intermediary pin device 4
When the central support plate 45 at 0 is in the lowered position, the inspection plate plate device of the lower tester side connector 50 is pressed upward by the pressing plate 65 and the lower side inspection jig 20 is raised, whereby the circuit under test is inspected. Board 1 is positioning pin 3
7 is pushed upward in a state of being positioned with respect to the lower board side connector 30, and in synchronization with this, both the one transport member 11 and the other transport member 12 of the transport mechanism 10 are moved from their running positions to both sides. It is displaced so that one of the transport members 11 and the other of the transport members 12 are located outside the circuit board 1 to be inspected. This allows
The circuit board 1 to be inspected is separated from the transport mechanism 10 and is in a free state in which it can be pinched by the lower side inspection jig 20 and the upper side inspection jig 70. Then, the circuit board 1 to be inspected is pinched between the lower side inspection jig 20 and the upper side inspection jig 70 by further raising the lower side inspection jig 20.
At this time, one transport member 11 in the transport mechanism 10
Are relatively accommodated in the accommodating space S of the ascending intermediary pin device 40.
【0050】このようにして、被検査回路基板1の下面
および上面の両方の被検査電極の各々が、下部テスター
側コネクター50における検査電極板装置51の検査電
極52および検査電極板装置78の検査電極と電気的に
接続されることにより、テスターの検査回路に電気的に
接続された状態が達成され、この状態で所期の検査が行
われる。In this way, each of the electrodes to be inspected on both the lower surface and the upper surface of the circuit board 1 to be inspected is inspected by the inspection electrode 52 of the inspection electrode plate device 51 and the inspection electrode plate device 78 in the lower tester side connector 50. By being electrically connected to the electrodes, a state of being electrically connected to the test circuit of the tester is achieved, and a desired test is performed in this state.
【0051】上記の実施例の回路基板の検査装置によれ
ば、下部側検査治具20の仲介ピン装置40において、
検査対象である被検査回路基板1の幅寸法によって定め
られた検査実行領域に隣接する領域に搬送機構10の一
方の搬送部材11の収容用空間Sを形成することがで
き、しかも、一方の搬送部材11の可動範囲Kの直下領
域内においては、収容用空間Sの位置を任意に選定する
ことができる。従って、種々の大きさの幅寸法を有する
被検査回路基板1のいずれにも常に好適に対応すること
ができると共に、幅寸法の異なる被検査回路基板1を検
査対象とするために一方の搬送部材11の走行位置が変
更されたときにも、当該一方の搬送部材11を被検査回
路基板1から離脱させるために必要な変位距離を常に十
分に小さくすることができる。According to the circuit board inspection apparatus of the above-described embodiment, in the intermediate pin device 40 of the lower inspection jig 20,
The accommodating space S for one of the transport members 11 of the transport mechanism 10 can be formed in a region adjacent to the inspection execution region defined by the width dimension of the circuit board 1 to be inspected, and one transport Within the region immediately below the movable range K of the member 11, the position of the accommodation space S can be arbitrarily selected. Therefore, it is possible to always favorably cope with any of the circuit boards 1 to be inspected having various width dimensions, and one conveyance member for inspecting the circuit boards 1 to be inspected having different width dimensions. Even when the traveling position of 11 is changed, the displacement distance required to separate the one transport member 11 from the circuit board 1 to be inspected can be always sufficiently small.
【0052】また、下部基板側コネクター30は、仲介
ピン装置40と分離可能に設けられているため、下部側
検査治具20においては、配線パターンの異なる被検査
回路基板を検査する場合には、下部基板側コネクター3
0のみを被検査回路基板の配線パターンに対応するもの
に交換すればよいので、下部側検査治具20の主要部で
ある仲介ピン装置40および下部テスター側コネクター
50を共通に使用することができる。Further, since the lower board side connector 30 is provided so as to be separable from the intermediary pin device 40, in the lower side inspection jig 20, when inspecting a circuit board to be inspected having a different wiring pattern, Lower board side connector 3
Since only 0 should be replaced with one corresponding to the wiring pattern of the circuit board to be inspected, the intermediate pin device 40 and the lower tester side connector 50, which are the main parts of the lower inspection jig 20, can be used in common. .
【0053】また、仲介ピン装置40は、下部テスター
側コネクター50に対して交換可能に設けられているた
め、これと同様の基本的構成を有する他の仲介ピン装置
を用意することにより、仲介ピン装置40のみを他の仲
介ピン装置に容易に交換することができる。従って、次
に検査すべき被検査回路基板が幅寸法の異なるものであ
る場合には、予め、別途用意された他の仲介ピン装置に
おいて、次の被検査回路基板の幅寸法に応じて着脱自在
の導電ピンを取り外して一方の搬送部材11の収容用空
間を形成しておけば、次の被検査回路基板の検査のため
に必要な準備作業を短時間で行うことができる。Since the intermediary pin device 40 is provided so as to be replaceable with respect to the lower tester-side connector 50, the intermediary pin device 40 can be prepared by preparing another intermediary pin device having the same basic structure. Only device 40 can be easily replaced with another intermediary pin device. Therefore, when the circuit board to be inspected to be inspected next has a different width dimension, it can be freely attached and detached according to the width dimension of the next circuit board to be inspected in another intermediary pin device prepared separately in advance. If the conductive pin is removed to form the accommodation space for the one transport member 11, the preparation work required for the next inspection of the circuit board to be inspected can be performed in a short time.
【0054】また、上記の実施例の電極分岐分配板55
においては、その2つの機能領域において同一の配置状
態で上面接続電極56が形成されていると共に、各機能
領域における対応する位置にある上面接続電極56が配
線回路53によって互いに電気的に接続されて共通化電
極とされた状態で下面接続電極57に接続されているた
め、或る仲介ピン装置40における導電ピン41と導通
する上面接続電極56が各機能領域のいずれにも存在
し、従って当該導電ピン41と検査電極板装置51の検
査電極52との電気的な接続を大きな自由度で行うこと
ができる。その結果、被検査回路基板1上の被検査電極
2が特定の個所に非常に高密度化された状態に形成され
たものであっても、当該個所とは離隔した機能領域の共
通化電極を利用して、すなわち、いわば当該共通化電極
によって分散された位置の接続電極を利用することによ
り、所要の電気的な接続を容易に達成することができる
と共に、高い信頼性の検査を実行することができる。Also, the electrode branching / distributing plate 55 of the above-mentioned embodiment.
In the above, the upper surface connecting electrodes 56 are formed in the same arrangement state in the two functional regions, and the upper surface connecting electrodes 56 at corresponding positions in each functional region are electrically connected to each other by the wiring circuit 53. Since it is connected to the lower surface connection electrode 57 in the state of being used as a common electrode, the upper surface connection electrode 56 that is electrically connected to the conductive pin 41 in a certain intermediary pin device 40 exists in each of the functional regions, and accordingly the conductive area Electrical connection between the pin 41 and the inspection electrode 52 of the inspection electrode plate device 51 can be performed with a large degree of freedom. As a result, even if the electrode 2 to be inspected on the circuit board 1 to be inspected is formed in a very high-density state at a specific location, a common electrode of a functional region separated from the location is provided. By utilizing, that is, by using, so to speak, the connection electrodes at positions dispersed by the common electrode, it is possible to easily achieve the required electrical connection and perform a highly reliable test. You can
【0055】また、図示の例においては、それ自体が剛
性を有するピッチ変換ボード31,74および電極分岐
分配装置55,77の両面に弾性を有する異方導電性シ
ートを具えているため、これらにより、反り、変形によ
る歪が吸収され、その結果、押圧板66により下部側検
査治具20および上部側検査治具70に作用される押圧
力を緩和することができる。Further, in the illustrated example, since the pitch conversion boards 31 and 74, which are themselves rigid, and the electrode branching / distributing devices 55 and 77 are provided with elastic anisotropically conductive sheets on both sides, these are used. As a result, the warp and the distortion caused by the deformation are absorbed, and as a result, the pressing force applied to the lower inspection jig 20 and the upper inspection jig 70 by the pressing plate 66 can be relaxed.
【0056】上記の検査装置を使用して回路基板を検査
するにあたっては、仲介ピン装置40において、例えば
搬送機構10における一方の搬送部材11それ自体の幅
寸法に対応する大きさの領域の導電ピン41を取り外し
て収容用空間Sを形成するが、この領域の外側の領域に
おける導電ピン41は残留されたままの状態とし、この
残留されたままの導電ピン41の先端部上には、挟圧さ
れた状態における下部基板側コネクター30の厚みおよ
び上部基板側コネクター71の厚みの和と同等の厚みを
有するスペーサー38を配置して検査することが好まし
い。When inspecting a circuit board using the above-mentioned inspection device, in the intermediary pin device 40, for example, the conductive pin in a region having a size corresponding to the width dimension of the one transport member 11 itself in the transport mechanism 10. 41 is removed to form the accommodating space S, but the conductive pin 41 in the region outside this region is left as it is, and a pinching force is applied to the tip of the remaining conductive pin 41. It is preferable to arrange and inspect the spacer 38 having a thickness equivalent to the sum of the thickness of the lower board side connector 30 and the thickness of the upper board side connector 71 in this state.
【0057】このような構成によれば、当該回路基板の
検査装置の使用に際して、仲介ピン装置40における収
容用空間S以外の領域におけるすべての導電ピン41が
均等に対接することとなるため、下部側検査治具20と
上部側検査治具70とにより被検査回路基板1に作用さ
れる挟圧力を、導電ピン41が存在する領域において全
体に平均化された圧力分布のものとすることができるの
で、被検査回路基板1は、その全体に平均化された圧力
分布で挟圧されることとなり、その結果、当該被検査回
路基板1について高い信頼性で検査を行うことができ
る。According to this structure, when the inspection device for the circuit board is used, all the conductive pins 41 in the area other than the accommodating space S in the intermediary pin device 40 are evenly contacted with each other. The clamping force applied to the inspected circuit board 1 by the side inspection jig 20 and the upper inspection jig 70 can be a pressure distribution averaged over the entire area in which the conductive pins 41 are present. Therefore, the circuit board 1 to be inspected is pinched by the pressure distribution averaged over the whole, and as a result, the circuit board 1 to be inspected can be inspected with high reliability.
【0058】以上の実施例おいては、搬送機構10の他
方の搬送部材12の走行位置を基準位置とし、一方の搬
送部材11がその可動範囲Kにおいて移動可能とされ、
下部側検査治具20および上部側検査治具70の各々の
一方の外側縁が前記基準位置に従って配置されている
が、本発明においては、図9に示すように、例えば搬送
通路の幅方向の中央位置すなわち搬送機構10における
一方の搬送部材11と他方の搬送部材12との間の中央
位置を基準位置とし、一方の搬送部材11および他方の
搬送部材12の両方がそれぞれ可動範囲K1,K2にお
いて基準位置と離接する方向に移動可能とされ、下部側
検査治具20および上部側検査治具70の各々の中央が
基準位置に従って配置されていてもよい。In the above embodiment, the traveling position of the other conveying member 12 of the conveying mechanism 10 is set as the reference position, and one conveying member 11 is movable within its movable range K.
One outer edge of each of the lower side inspection jig 20 and the upper side inspection jig 70 is arranged according to the reference position, but in the present invention, as shown in FIG. The center position, that is, the center position between the one transport member 11 and the other transport member 12 in the transport mechanism 10 is set as a reference position, and both the one transport member 11 and the other transport member 12 are in movable ranges K1 and K2, respectively. It may be movable in the direction away from and in contact with the reference position, and the centers of the lower inspection jig 20 and the upper inspection jig 70 may be arranged in accordance with the reference position.
【0059】このような場合には、下部側検査治具20
の仲介ピン装置40における収容用空間については、一
方の搬送部材11の収容用空間S1に加えて、他方の搬
送部材12を収容する収容用空間S2を形成することに
より、下部側検査治具20が上昇されたときに一方の搬
送部材11および他方の搬送部材12がそれぞれ収容さ
れ、従って、一方の搬送部材11および他方の搬送部材
12のそれぞれの変位距離を短いものとすることができ
る。In such a case, the lower inspection jig 20
Regarding the accommodation space in the intermediary pin device 40, the lower inspection jig 20 is formed by forming the accommodation space S2 for accommodating the other transport member 12 in addition to the accommodation space S1 for the one transport member 11. When one is raised, the one conveying member 11 and the other conveying member 12 are accommodated, respectively, so that the displacement distances of the one conveying member 11 and the other conveying member 12 can be made short.
【0060】また、収容用空間S1および収容用空間S
2のそれぞれの外側の領域における導電ピン41が残留
されたままの状態とすることにより、下部側検査治具2
0と上部側検査治具70とにより被検査回路基板1に作
用される挟圧力を導電ピン41が存在する領域において
全体に平均化された圧力分布のものとすることができ、
その結果、回路基板の検査において高い信頼性を得るこ
とができる。Further, the accommodation space S1 and the accommodation space S
By leaving the conductive pins 41 in the regions on the outer side of each of the two, the lower side inspection jig 2
0 and the clamping force applied to the circuit board 1 to be inspected by the upper side inspection jig 70 can be a pressure distribution averaged over the entire area where the conductive pin 41 exists.
As a result, high reliability can be obtained in the inspection of the circuit board.
【0061】本発明の回路基板の検査装置においては、
搬送機構として、上記の実施例に示した搬送機構に限ら
れず、種々のものを利用することができる。例えば、被
検査回路基板1をその両側縁において保持した状態で一
方のガイドレール上および他方のガイドレール上を移動
するキャリアによる搬送機構であってもよく、また、そ
の他の構成であってもよい。また、仲介ピン装置40を
下部テスター側コネクター50に対して所定の位置に装
着するためには、仲介ピン装置40が下部テスター側コ
ネクター50に直接固定される必要はなく、例えば押圧
板65に固定されていてもよい。In the circuit board inspection apparatus of the present invention,
The transport mechanism is not limited to the transport mechanism shown in the above embodiment, and various types can be used. For example, the carrier mechanism may be a carrier that moves on one of the guide rails and on the other of the guide rails while holding the circuit board 1 to be inspected at both side edges, or may have another configuration. . Further, in order to mount the intermediary pin device 40 at a predetermined position with respect to the lower tester side connector 50, the intermediary pin device 40 does not have to be directly fixed to the lower tester side connector 50, but is fixed to the pressing plate 65, for example. It may have been done.
【0062】[0062]
【発明の効果】本発明の回路基板の検査装置によれば、
仲介ピン装置における着脱自在の導電ピンを取り外すこ
とにより、仲介ピン装置において搬送機構の収容用空間
を形成することができ、しかも、搬送機構の搬送機構可
動範囲の直下領域におけるすべての導電ピンが着脱自在
に設けられているので、当該搬送機構可動範囲の直下領
域内においては、収容用空間の位置を任意に選定するこ
とができる。従って、種々の大きさの幅寸法を有する回
路基板に好適に対応することができると共に、幅寸法の
異なる回路基板を検査対象とするために当該幅寸法の大
きさに応じて搬送機構の幅方向位置が変更されたときに
も、収容用空間を形成する位置を検査が実行される領域
に隣接する位置に選定することにより、当該搬送機構を
回路基板から離脱させるために必要な変位距離を常に小
さくすることができる。そして、その結果、回路基板が
検査区域に到着した後のきわめて短時間のうちに、回路
基板が上部側検査治具および下部側検査治具に挟圧され
た検査準備完了状態を達成することができるので、回路
基板の検査において高い時間的効率が得られる。According to the circuit board inspection apparatus of the present invention,
By removing the detachable conductive pin of the transfer pin device, a space for accommodating the transfer mechanism can be formed in the transfer pin device, and moreover, all the conductive pins in the region immediately below the transfer mechanism movable range of the transfer mechanism can be attached and detached. Since it is provided freely, the position of the accommodating space can be arbitrarily selected within the region directly below the movable range of the transport mechanism. Therefore, it is possible to favorably cope with circuit boards having various width dimensions, and in order to inspect circuit boards having different width dimensions, the width direction of the transport mechanism can be adjusted according to the width dimensions. Even when the position is changed, by selecting the position forming the accommodation space as the position adjacent to the region where the inspection is performed, the displacement distance required to detach the transfer mechanism from the circuit board is always maintained. Can be made smaller. As a result, in a very short time after the circuit board arrives at the inspection area, the circuit board can reach an inspection ready state in which the circuit board is pinched by the upper inspection jig and the lower inspection jig. Therefore, high time efficiency can be obtained in the inspection of the circuit board.
【0063】また、下部基板側コネクターは、仲介ピン
装置と分離可能に設けられているため、下部側検査治具
においては、配線パターンの異なる回路基板を検査する
場合には、下部基板側コネクターのみを回路基板の配線
パターンに対応するものに交換すればよいので、下部側
検査治具の主要部である仲介ピン装置および下部テスタ
ー側コネクターを共通に使用することができる。Further, since the lower board side connector is provided so as to be separable from the intermediate pin device, in the lower side inspection jig, when inspecting a circuit board having a different wiring pattern, only the lower board side connector is used. Can be replaced with one corresponding to the wiring pattern of the circuit board, so that the intermediate pin device and the lower tester-side connector, which are the main parts of the lower inspection jig, can be used in common.
【0064】また、仲介ピン装置は、テスター側コネク
ターに対して交換可能に設けられているため、当該仲介
ピン装置のみを、別途用意された、同様の基本的構成を
有する仲介ピン装置に容易に交換することができる。従
って、次に検査すべき回路基板が幅寸法の異なるもので
ある場合であっても、予め、当該次の回路基板の幅寸法
に応じて着脱自在の導電ピンを取り外して搬送機構の収
容用空間が形成されたされた交換用の仲介ピン装置を用
意しておくことにより、当該回路基板の検査のために必
要な準備作業を短時間で行うことができる。Further, since the intermediary pin device is provided so as to be replaceable with respect to the connector on the tester side, only the intermediary pin device can be easily prepared as an intermediary pin device having a similar basic structure. Can be exchanged. Therefore, even if the circuit board to be inspected next has a different width dimension, the detachable conductive pin is removed in advance according to the width dimension of the next circuit board to accommodate the space for accommodating the transfer mechanism. By preparing the intermediary pin device for exchange in which the parts are formed, the preparation work necessary for the inspection of the circuit board can be performed in a short time.
【図1】本発明の回路基板の検査装置の一例における要
部の構成を示す説明用断面図である。FIG. 1 is an explanatory sectional view showing a configuration of a main part in an example of a circuit board inspection apparatus of the present invention.
【図2】下部基板側コネクターの一例の構成を示す説明
用断面図である。FIG. 2 is an explanatory cross-sectional view showing the configuration of an example of a lower board side connector.
【図3】被検査回路基板、下部基板側コネクターおよび
下部テスター側コネクターの各々の位置関係を示す説明
図である。FIG. 3 is an explanatory diagram showing a positional relationship among a circuit board to be inspected, a lower board side connector, and a lower tester side connector.
【図4】電極分岐分配板の一例の構成を示す説明用断面
図である。FIG. 4 is an explanatory cross-sectional view showing the configuration of an example of an electrode branch distribution plate.
【図5】電極分岐分配板として用いられる検査電極エレ
メントの説明図である。FIG. 5 is an explanatory diagram of an inspection electrode element used as an electrode branch distribution plate.
【図6】検査電極板装置の一例の構成を示す説明用断面
図である。FIG. 6 is an explanatory cross-sectional view showing the configuration of an example of an inspection electrode plate device.
【図7】下部側検査治具における仲介ピン装置の一例の
構成を示す説明用断面図である。FIG. 7 is an explanatory cross-sectional view showing the configuration of an example of a transfer pin device in the lower inspection jig.
【図8】上部側検査治具における仲介ピン装置の導電ピ
ンの一例を示す説明用断面図である。FIG. 8 is an explanatory cross-sectional view showing an example of a conductive pin of the intermediary pin device in the upper inspection jig.
【図9】本発明の回路基板の検査装置の他の例における
要部の構成を示す説明用断面図である。FIG. 9 is an explanatory sectional view showing a configuration of a main part in another example of the circuit board inspection apparatus of the present invention.
【図10】従来の回路基板の検査装置の一例の基本的な
構成を示す説明図である。FIG. 10 is an explanatory diagram showing a basic configuration of an example of a conventional circuit board inspection device.
1 被検査回路基板 2 被検査電極 10 搬送機構 11 一方の搬送部材 12 他方の搬送部材 13 一方のガイドレール 14 一方の搬送ベルト 15 他方のガイドレール 16 他方の搬送ベルト 20 下部側検査治具 30 下部基板側コネクター 31 ピッチ変換ボード 32 上面電極 33 下面電極 35 第1の異方導電性シート 36 第2の異方導電性シート 37 位置決めピン 38 スペーサー 40 仲介ピン装置 41 導電ピン 42 係止部 43 導電ピン支持機構 44 基端側支持板 45 中央支持板 46 ばね機構 47 位置決め用突起 48 先端側支持板 50 下部テスター側コネクター 51 検査電極板装置 52 検査電極 53 配線回路 54 外部引出し端部 55 電極分岐分配板 56 上面接続電極 57 下面接続電極 58 配線回路 60 接続電極エレメント 61 第3の異方導電性シート 62 第4の異方導電性シート 63 コネクター 64 位置決め用孔 65 押圧板 70 上部側検査治具 71 上部基板側コネクター 72 第1の異方導電性シート 73 第2の異方導電性シート 74 ピッチ変換ボード 75 上部テスター側コネクター 76 第3の異方導電性シート 77 電極分岐分配板 78 第4の異方導電性シート 79 検査電極板装置 80 仲介ピン装置 81 導電ピン 82 導電ピン支持機構 83 基端側支持板 84 中央支持板 85 先端側支持板 86 貫通孔 87 係止部 88 コネクター K,K1,K3 可動範囲 S,S1,S2 収容用空間 p 接続電極 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Inspected circuit board 2 Inspected electrode 10 Transport mechanism 11 One transport member 12 The other transport member 13 One guide rail 14 One transport belt 15 The other guide rail 16 The other transport belt 20 Lower side inspection jig 30 Lower part Board side connector 31 Pitch conversion board 32 Upper surface electrode 33 Lower surface electrode 35 First anisotropic conductive sheet 36 Second anisotropic conductive sheet 37 Positioning pin 38 Spacer 40 Mediation pin device 41 Conductive pin 42 Locking part 43 Conductive pin Support mechanism 44 Base end side support plate 45 Central support plate 46 Spring mechanism 47 Positioning protrusion 48 Tip side support plate 50 Lower tester side connector 51 Inspection electrode plate device 52 Inspection electrode 53 Wiring circuit 54 External extraction end 55 Electrode branching distribution plate 56 upper surface connecting electrode 57 lower surface connecting electrode 58 wiring circuit 60 contact Continued electrode element 61 Third anisotropic conductive sheet 62 Fourth anisotropic conductive sheet 63 Connector 64 Positioning hole 65 Pressing plate 70 Upper inspection jig 71 Upper board side connector 72 First anisotropic conductive sheet 73 Second anisotropic conductive sheet 74 Pitch conversion board 75 Upper tester side connector 76 Third anisotropic conductive sheet 77 Electrode branching / distributing plate 78 Fourth anisotropic conductive sheet 79 Inspection electrode plate device 80 Mediation pin device 81 conductive pin 82 conductive pin support mechanism 83 base end side support plate 84 center support plate 85 front end side support plate 86 through hole 87 locking portion 88 connector K, K1, K3 movable range S, S1, S2 accommodation space p connection electrode
Claims (1)
る搬送機構を有し、当該検査区域において上部側検査治
具と下部側検査治具とにより回路基板の両面を挟圧して
検査する回路基板の検査装置であって、 前記搬送機構は、搬送機構可動範囲において回路基板の
搬送方向とは垂直な水平方向に移動可能に設けられてお
り、 前記下部側検査治具は、回路基板の下面に対接される下
部基板側コネクターと、この下部基板側コネクターの下
方に設けられた、テスターに電気的に接続されるテスタ
ー側コネクターと、前記下部基板側コネクターおよび前
記テスター側コネクターの間を仲介してそれぞれを電気
的に接続するための仲介ピン装置とを有してなり、 前記下部基板側コネクターは、仲介ピン装置と分離可能
に設けられており、 仲介ピン装置は、多数の導電ピンと、これらの導電ピン
を上下方向に伸びるよう支持する導電ピン支持機構とを
有してなり、 前記多数の導電ピンのうち、少なくとも前記搬送機構可
動範囲の直下領域におけるすべての導電ピンの各々は、
前記導電ピン支持機構に着脱自在に支持されており、 仲介ピン装置は、前記テスター側コネクターに対して交
換可能に設けられており、予め着脱自在の導電ピンのう
ち選択された領域における導電ピンが取り外されること
により搬送機構の収容用空間が形成された状態で、前記
テスター側コネクターに装着されることを特徴とする回
路基板の検査装置。1. A circuit having a transfer mechanism for transferring a circuit board to be inspected to an inspection area, in which both sides of the circuit board are pressed by an upper inspection jig and a lower inspection jig in the inspection area. A board inspection apparatus, wherein the transfer mechanism is provided so as to be movable in a horizontal direction perpendicular to a transfer direction of the circuit board in a transfer mechanism movable range, and the lower side inspection jig is a lower surface of the circuit board. Between the lower board-side connector that is electrically connected to the tester, the tester-side connector that is provided below the lower board-side connector and that is electrically connected to the tester, and the lower board-side connector and the tester-side connector. And an intermediary pin device for electrically connecting the intermediary pin device to each other. The lower board-side connector is provided so as to be separable from the intermediary pin device. Includes a large number of conductive pins and a conductive pin support mechanism that supports the conductive pins so as to extend in the vertical direction. Of the plurality of conductive pins, at least all of the conductive pins in a region immediately below the transport mechanism movable range. Each of the conductive pins
The conductive pin support mechanism is detachably supported, and the intermediary pin device is provided so as to be replaceable with respect to the tester-side connector. An inspection device for a circuit board, wherein the inspection device is attached to the tester-side connector in a state where a space for accommodating a transfer mechanism is formed by being removed.
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007178150A (en) * | 2005-12-27 | 2007-07-12 | Hioki Ee Corp | Circuit board holder |
US7489147B2 (en) | 2004-07-15 | 2009-02-10 | Jsr Corporation | Inspection equipment of circuit board and inspection method of circuit board |
JP2012018158A (en) * | 2010-07-06 | 2012-01-26 | Samsung Electro-Mechanics Co Ltd | Substrate inspection device and substrate inspection method therefor |
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1995
- 1995-06-13 JP JP14609495A patent/JP3307166B2/en not_active Expired - Fee Related
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