JPH08327578A - 湿度センサ - Google Patents
湿度センサInfo
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- JPH08327578A JPH08327578A JP15849795A JP15849795A JPH08327578A JP H08327578 A JPH08327578 A JP H08327578A JP 15849795 A JP15849795 A JP 15849795A JP 15849795 A JP15849795 A JP 15849795A JP H08327578 A JPH08327578 A JP H08327578A
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- Japan
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- humidity sensor
- melamine
- moisture
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Abstract
(57)【要約】
【目的】広範囲の湿度領域で長期間にわたり安定した感
湿特性を得られる湿度センサを提供する。 【構成】メラミンもしくはその誘導体、下記一般式
［１］で示される化合物及び下記一般式［２］で示され
る化合物を共重合して得られるポリマーを感湿材料とす
ることを特徴とする湿度センサ。 一般式［１］Ｒ1Ｒ2Ｎ−Ａ−ＮＲ3Ｒ4 （式中Ｒ1、Ｒ2、Ｒ3、Ｒ4、Ａは直鎖または分枝の炭化
水素基を表し、Ｒ1、Ｒ2、Ｒ3、Ｒ4、Ａのいずれか２つ
以上がそれぞれ結合して環状構造を形成してもよい。） 一般式［２］Ｘ1−Ｂ−Ｘ2 （式中Ｘ1及びＸ2はハロゲン元素、Ｂは直鎖または分枝
の炭化水素基を表す。）
湿特性を得られる湿度センサを提供する。 【構成】メラミンもしくはその誘導体、下記一般式
［１］で示される化合物及び下記一般式［２］で示され
る化合物を共重合して得られるポリマーを感湿材料とす
ることを特徴とする湿度センサ。 一般式［１］Ｒ1Ｒ2Ｎ−Ａ−ＮＲ3Ｒ4 （式中Ｒ1、Ｒ2、Ｒ3、Ｒ4、Ａは直鎖または分枝の炭化
水素基を表し、Ｒ1、Ｒ2、Ｒ3、Ｒ4、Ａのいずれか２つ
以上がそれぞれ結合して環状構造を形成してもよい。） 一般式［２］Ｘ1−Ｂ−Ｘ2 （式中Ｘ1及びＸ2はハロゲン元素、Ｂは直鎖または分枝
の炭化水素基を表す。）
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、有機高分子電解質を
感湿材料とする湿度センサに関する。この湿度センサ
は、電気抵抗値の変化に基づいて湿度を検出する場合に
好適に利用されうる。
感湿材料とする湿度センサに関する。この湿度センサ
は、電気抵抗値の変化に基づいて湿度を検出する場合に
好適に利用されうる。
【０００２】
【従来の技術】湿度センサの感湿材料としては、Ａｌ2
Ｏ3，ＭｇＣｒ2Ｏ4−ＴｉＯ2，ＴｉＯ2−Ｖ2Ｏ5，Ｚｎ
Ｃｒ2Ｏ4−ＬｉＺｎＶＯ4等の酸化物セラミックス又は
後述の有機高分子が知られている。セラミックスからな
る感湿材料は、数百度で加熱クリーニングを行うことが
できるので、耐汚染性に優れるが、加熱クリーニング中
は連続測定ができないなどの欠点を有する。従って、連
続測定を必要とする環境では、有機高分子を感湿材料と
する湿度センサが使用されることが多い。
Ｏ3，ＭｇＣｒ2Ｏ4−ＴｉＯ2，ＴｉＯ2−Ｖ2Ｏ5，Ｚｎ
Ｃｒ2Ｏ4−ＬｉＺｎＶＯ4等の酸化物セラミックス又は
後述の有機高分子が知られている。セラミックスからな
る感湿材料は、数百度で加熱クリーニングを行うことが
できるので、耐汚染性に優れるが、加熱クリーニング中
は連続測定ができないなどの欠点を有する。従って、連
続測定を必要とする環境では、有機高分子を感湿材料と
する湿度センサが使用されることが多い。
【０００３】感湿材料に適用される有機高分子として
は、炭素Ｃ等の導電性粉末を分散させたＰＭＭＡ等の吸
湿性高分子、テトラメチルジアミノヘキサンのような親
水性高分子、Ｎ，Ｎ，Ｎ’，Ｎ’−テトラメチル−１，
６−ジアミノヘキサンと１，６−ジブロモヘキサンとを
重合して得られるような高分子電解質（特公平２−２４
４６５号公報）、親水性高分子と疎水性高分子との重合
体などが知られている。いずれも吸着水分量に応じて変
化する電気抵抗値又は容量値に基づいて湿度を検出する
ものである。
は、炭素Ｃ等の導電性粉末を分散させたＰＭＭＡ等の吸
湿性高分子、テトラメチルジアミノヘキサンのような親
水性高分子、Ｎ，Ｎ，Ｎ’，Ｎ’−テトラメチル−１，
６−ジアミノヘキサンと１，６−ジブロモヘキサンとを
重合して得られるような高分子電解質（特公平２−２４
４６５号公報）、親水性高分子と疎水性高分子との重合
体などが知られている。いずれも吸着水分量に応じて変
化する電気抵抗値又は容量値に基づいて湿度を検出する
ものである。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし、導電性粉末を
分散させた吸湿性高分子は、電極間の短絡を避けるため
に導電性粉末の含有量を少なめにすると、３０％ＲＨ以
下の低湿度側領域で感湿特性を示さなくなる。親水性高
分子は、高湿度雰囲気で一旦吸着した水分子が低湿度雰
囲気でも離脱しないので、また高分子電解質の場合、高
湿度領域で電解質が溶出するので、感湿特性が経時的に
変化する。また、親水性高分子と疎水性高分子との重合
体は、親水性高分子の割合があまり多くなると親水性高
分子単独のときと同様の問題が生じるし、逆に疎水性高
分子の割合があまり多くなると、低湿度側領域で感湿特
性を示さなくなり、重合比率の制御が困難である。それ
故、この発明の目的は、広範囲の湿度領域で長期間にわ
たり安定した感湿特性を得られる湿度センサを提供する
ことである。
分散させた吸湿性高分子は、電極間の短絡を避けるため
に導電性粉末の含有量を少なめにすると、３０％ＲＨ以
下の低湿度側領域で感湿特性を示さなくなる。親水性高
分子は、高湿度雰囲気で一旦吸着した水分子が低湿度雰
囲気でも離脱しないので、また高分子電解質の場合、高
湿度領域で電解質が溶出するので、感湿特性が経時的に
変化する。また、親水性高分子と疎水性高分子との重合
体は、親水性高分子の割合があまり多くなると親水性高
分子単独のときと同様の問題が生じるし、逆に疎水性高
分子の割合があまり多くなると、低湿度側領域で感湿特
性を示さなくなり、重合比率の制御が困難である。それ
故、この発明の目的は、広範囲の湿度領域で長期間にわ
たり安定した感湿特性を得られる湿度センサを提供する
ことである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】その目的を達成するため
に、この発明の湿度センサは、メラミンもしくはその誘
導体、下記一般式［１］で示される化合物及び下記一般
式［２］で示される化合物を共重合して得られるポリマ
ーを感湿材料とすることを特徴とする。
に、この発明の湿度センサは、メラミンもしくはその誘
導体、下記一般式［１］で示される化合物及び下記一般
式［２］で示される化合物を共重合して得られるポリマ
ーを感湿材料とすることを特徴とする。
【０００６】一般式［１］ （式中Ｒ1、Ｒ2、Ｒ3、Ｒ4、Ａは直鎖または分枝の炭化
水素基を表し、Ｒ1、Ｒ2、Ｒ3、Ｒ4、Ａのいずれか２つ
以上がそれぞれ結合して環状構造を形成してもよい。） 一般式［２］ Ｘ1−Ｂ−Ｘ2 （式中Ｘ1及びＸ2はハロゲン元素、Ｂは直鎖または分枝
の炭化水素基を表す。）一般式［１］および一般式
［２］におけるＡ，Ｂとしてはメチレン、エチレン、プ
ロピレン、ブチレン、イソブチレン、ペンチレン、へキ
シレン等のアルキレン基、（置換）シクロヘキシレン
基、（置換）フェニレン基等が挙げられるが、ペンチレ
ン基及びへキシレン基が好ましい。
水素基を表し、Ｒ1、Ｒ2、Ｒ3、Ｒ4、Ａのいずれか２つ
以上がそれぞれ結合して環状構造を形成してもよい。） 一般式［２］ Ｘ1−Ｂ−Ｘ2 （式中Ｘ1及びＸ2はハロゲン元素、Ｂは直鎖または分枝
の炭化水素基を表す。）一般式［１］および一般式
［２］におけるＡ，Ｂとしてはメチレン、エチレン、プ
ロピレン、ブチレン、イソブチレン、ペンチレン、へキ
シレン等のアルキレン基、（置換）シクロヘキシレン
基、（置換）フェニレン基等が挙げられるが、ペンチレ
ン基及びへキシレン基が好ましい。
【０００７】メラミン誘導体としては、Ｎ（２），Ｎ
（２）−ジアリルメラミンのようにアリル基を２つ以上
有するものが好ましい。
（２）−ジアリルメラミンのようにアリル基を２つ以上
有するものが好ましい。
【作用】この発明において、前記３成分を共重合させて
得られるポリマーの具体的作用については定かでない。
しかし、メラミンもしくはその誘導体を除く２成分を重
合して得られるポリマーの場合、大きく経時変化するの
に対して、メラミンもしくはその誘導体を含む３成分を
共重合させて得られるポリマーの場合、経時変化が非常
に小さいことから、メラミンもしくはその誘導体が前記
２成分と架橋しているものと考えられる。
得られるポリマーの具体的作用については定かでない。
しかし、メラミンもしくはその誘導体を除く２成分を重
合して得られるポリマーの場合、大きく経時変化するの
に対して、メラミンもしくはその誘導体を含む３成分を
共重合させて得られるポリマーの場合、経時変化が非常
に小さいことから、メラミンもしくはその誘導体が前記
２成分と架橋しているものと考えられる。
【０００８】一般式［１］および一般式［２］における
Ａ，Ｂとして、ペンチレン又はヘキシレンよりもメチレ
ン基が多いと耐水性は向上するが、抵抗値が高くなりす
ぎる。他方、ペンチレン又はヘキシレンよりもメチレン
基が少ないと、抵抗値は小さくなるが、耐水性が劣化す
る。
Ａ，Ｂとして、ペンチレン又はヘキシレンよりもメチレ
ン基が多いと耐水性は向上するが、抵抗値が高くなりす
ぎる。他方、ペンチレン又はヘキシレンよりもメチレン
基が少ないと、抵抗値は小さくなるが、耐水性が劣化す
る。
【０００９】メラミン誘導体としては、Ｎ（２），Ｎ
（２）−ジアリルメラミンのようにアリル基を２つ以上
有すると、１つのメラミン誘導体に対して複数のアリル
基が重合に寄与するので、メラミン誘導体が重合体の主
鎖中に入ることができ、メラミンの特性を生かすことが
できる。
（２）−ジアリルメラミンのようにアリル基を２つ以上
有すると、１つのメラミン誘導体に対して複数のアリル
基が重合に寄与するので、メラミン誘導体が重合体の主
鎖中に入ることができ、メラミンの特性を生かすことが
できる。
【００１０】
【実施例】この発明の実施例の湿度センサを図面ととも
に説明する。図１は、実施例の湿度センサを示し、
（ａ）はセンサ本体とリードとを分解したところの平面
図、（ｂ）は（ａ）のＸＹ断面図である。
に説明する。図１は、実施例の湿度センサを示し、
（ａ）はセンサ本体とリードとを分解したところの平面
図、（ｂ）は（ａ）のＸＹ断面図である。
【００１１】湿度センサは、大きさ５×１５×０．６ｍ
ｍの電気絶縁性のアルミナ基板１と、アルミナ基板１の
主面上に櫛形に対向して形成された１対の電極２，３
と、電極２，３の一端に連ねて形成されたパッド４，５
と、アルミナ基板１の主面上に電極２，３を覆うように
形成された感湿膜６と、パッド４，５に導電性樹脂（図
示省略）にて接続されるリード７，８とを備える。この
実施例の湿度センサは、以下の手順で製造される。
ｍの電気絶縁性のアルミナ基板１と、アルミナ基板１の
主面上に櫛形に対向して形成された１対の電極２，３
と、電極２，３の一端に連ねて形成されたパッド４，５
と、アルミナ基板１の主面上に電極２，３を覆うように
形成された感湿膜６と、パッド４，５に導電性樹脂（図
示省略）にて接続されるリード７，８とを備える。この
実施例の湿度センサは、以下の手順で製造される。
【００１２】アルミナ基板１の主面上にＡｕをスパッタ
リングして電極２，３及びパッド４，５を設ける。感湿
材料を含む溶液を電極２，３上に厚さ約１μｍ以下に塗
布し、１５０℃に加熱して溶剤を除去する。このときの
塗布は、感湿材料を含む溶液にアルミナ基板１を浸漬す
ることによっても良いし、そのような溶液をアルミナ基
板１の主面上でスピンコートさせることによっても良
い。導電性の樹脂をパッド４，５に塗布し、そこにリー
ド７，８の一端を載せて、放置する。しばらくすると導
電性樹脂が硬化して湿度センサとして完成する。
リングして電極２，３及びパッド４，５を設ける。感湿
材料を含む溶液を電極２，３上に厚さ約１μｍ以下に塗
布し、１５０℃に加熱して溶剤を除去する。このときの
塗布は、感湿材料を含む溶液にアルミナ基板１を浸漬す
ることによっても良いし、そのような溶液をアルミナ基
板１の主面上でスピンコートさせることによっても良
い。導電性の樹脂をパッド４，５に塗布し、そこにリー
ド７，８の一端を載せて、放置する。しばらくすると導
電性樹脂が硬化して湿度センサとして完成する。
【００１３】感湿材料を含む溶液は、メラミンもしくは
その誘導体、前記一般式［１］で示される化合物及び前
記一般式［２］で示される化合物を溶剤中、常温以上溶
剤の沸点以下の温度で攪拌混合させて得られる。各単量
体が重合していることは、ＦＴ−ＩＲ（フーリエ変換赤
外分光光度計）にて確認できる。
その誘導体、前記一般式［１］で示される化合物及び前
記一般式［２］で示される化合物を溶剤中、常温以上溶
剤の沸点以下の温度で攪拌混合させて得られる。各単量
体が重合していることは、ＦＴ−ＩＲ（フーリエ変換赤
外分光光度計）にて確認できる。
【００１４】実施例の効果を確認するために、重量基準
でＮ（２），Ｎ（２）−ジアリルメラミン１部、Ｎ，
Ｎ，Ｎ’，Ｎ’−テトラメチル−１，６−ジアミノヘキ
サン１部、１，５−ジブロモペンタン１部、メタノール
１０部及びアセトニトリル１０部を６０〜６５℃で攪拌
混合して、試料Ｎｏ．１の感湿材料を含む溶液を調製し
た。また、１，５−ジブロモペンタンに代えて１，６−
ジブロモヘキサンを用いた以外は、試料Ｎｏ．１と同一
条件で試料Ｎｏ．２の感湿材料を含む溶液を調製した。
でＮ（２），Ｎ（２）−ジアリルメラミン１部、Ｎ，
Ｎ，Ｎ’，Ｎ’−テトラメチル−１，６−ジアミノヘキ
サン１部、１，５−ジブロモペンタン１部、メタノール
１０部及びアセトニトリル１０部を６０〜６５℃で攪拌
混合して、試料Ｎｏ．１の感湿材料を含む溶液を調製し
た。また、１，５−ジブロモペンタンに代えて１，６−
ジブロモヘキサンを用いた以外は、試料Ｎｏ．１と同一
条件で試料Ｎｏ．２の感湿材料を含む溶液を調製した。
【００１５】試料Ｎｏ．１及び試料Ｎｏ．２の感湿材料
を含む溶液をＦＴ−ＩＲで分析したところ、３２００ｃ
ｍ-1（１／λ）及び３０１０ｃｍ-1（１／λ）付近の２
箇所でピークが認められた。攪拌混合する前の各原料単
体では、これらのピークは認められなかった。また、Ｎ
（２），Ｎ（２）−ジアリルメラミン、Ｎ，Ｎ，Ｎ’，
Ｎ’−テトラメチル−１，６−ジアミノヘキサン及び
１，５−ジブロモペンタンもしくは１，６−ジブロモヘ
キサンのうち、いずれか１種を除いて攪拌混合して得ら
れた溶液でも、上記のピークは認められなかった。従っ
て、試料Ｎｏ．１，２の感湿材料は、上記３成分の重合
体であるものと認められる。
を含む溶液をＦＴ−ＩＲで分析したところ、３２００ｃ
ｍ-1（１／λ）及び３０１０ｃｍ-1（１／λ）付近の２
箇所でピークが認められた。攪拌混合する前の各原料単
体では、これらのピークは認められなかった。また、Ｎ
（２），Ｎ（２）−ジアリルメラミン、Ｎ，Ｎ，Ｎ’，
Ｎ’−テトラメチル−１，６−ジアミノヘキサン及び
１，５−ジブロモペンタンもしくは１，６−ジブロモヘ
キサンのうち、いずれか１種を除いて攪拌混合して得ら
れた溶液でも、上記のピークは認められなかった。従っ
て、試料Ｎｏ．１，２の感湿材料は、上記３成分の重合
体であるものと認められる。
【００１６】試料Ｎｏ．１及び試料Ｎｏ．２の感湿材料
を含む溶液を用いて、湿度センサを製造し、得られた湿
度センサを分流式湿度発生槽に設置した。分流式湿度発
生槽は、水蒸気と乾燥空気とを所定流量比で混合して所
望の湿度を発生するもので、流量比と湿度との関係を予
め露点計にて検量済みのものである。槽内の雰囲気を２
０℃一定で２０％ＲＨ→９０％ＲＨ→２０％ＲＨの方向
に湿度を変化させ、１０％ＲＨ変化する毎に１０分間ガ
ス流量を固定して定常状態とし、その湿度における湿度
センサの電極間抵抗を測定した。試料Ｎｏ．１の測定結
果を図２に、試料Ｎｏ．２の測定結果を図３に示す。
を含む溶液を用いて、湿度センサを製造し、得られた湿
度センサを分流式湿度発生槽に設置した。分流式湿度発
生槽は、水蒸気と乾燥空気とを所定流量比で混合して所
望の湿度を発生するもので、流量比と湿度との関係を予
め露点計にて検量済みのものである。槽内の雰囲気を２
０℃一定で２０％ＲＨ→９０％ＲＨ→２０％ＲＨの方向
に湿度を変化させ、１０％ＲＨ変化する毎に１０分間ガ
ス流量を固定して定常状態とし、その湿度における湿度
センサの電極間抵抗を測定した。試料Ｎｏ．１の測定結
果を図２に、試料Ｎｏ．２の測定結果を図３に示す。
【００１７】図２及び図３から明らかなように、試料Ｎ
ｏ．１及び試料Ｎｏ．２ともにヒステリシスが約１％Ｒ
Ｈ以下であり、しかも２０％ＲＨでの抵抗値も約４０Ｍ
Ωであり、実用上問題のない感湿特性を示した。
ｏ．１及び試料Ｎｏ．２ともにヒステリシスが約１％Ｒ
Ｈ以下であり、しかも２０％ＲＨでの抵抗値も約４０Ｍ
Ωであり、実用上問題のない感湿特性を示した。
【００１８】次にこれらの湿度センサを、室内で稼働さ
せ、所定時間（50,250,500,750,1000hr）毎に２０％Ｒ
Ｈ、５０％ＲＨ又は９０％ＲＨの所定湿度雰囲気に設置
した時の出力誤差を測定した。試料Ｎｏ．１の測定結果
を図４に、試料Ｎｏ．２の測定結果を図６に示す。
せ、所定時間（50,250,500,750,1000hr）毎に２０％Ｒ
Ｈ、５０％ＲＨ又は９０％ＲＨの所定湿度雰囲気に設置
した時の出力誤差を測定した。試料Ｎｏ．１の測定結果
を図４に、試料Ｎｏ．２の測定結果を図６に示す。
【００１９】図４及び図６にみられるように、この実施
例の湿度センサは、２０％ＲＨ、５０％ＲＨ、９０％Ｒ
Ｈの測定において出力誤差が±３％ＲＨ以内と小さく、
非常に安定したものであった。
例の湿度センサは、２０％ＲＨ、５０％ＲＨ、９０％Ｒ
Ｈの測定において出力誤差が±３％ＲＨ以内と小さく、
非常に安定したものであった。
【００２０】さらに、試料Ｎｏ．１及び試料Ｎｏ．２の
湿度センサを４０℃，９５％ＲＨという高温高湿雰囲気
で稼働させ、所定時間（50,100,250,500,750,1000hr）
毎に２０％ＲＨ、５０％ＲＨ又は９０％ＲＨの所定湿度
雰囲気に設置した時の出力誤差を測定した。測定結果を
それぞれ図５及び図７に示す。図５及び図７にみられる
ように、この厳しい条件にもかかわらず、２０％ＲＨ、
５０％ＲＨ、９０％ＲＨの測定において出力誤差は±３
％ＲＨ以内であった。
湿度センサを４０℃，９５％ＲＨという高温高湿雰囲気
で稼働させ、所定時間（50,100,250,500,750,1000hr）
毎に２０％ＲＨ、５０％ＲＨ又は９０％ＲＨの所定湿度
雰囲気に設置した時の出力誤差を測定した。測定結果を
それぞれ図５及び図７に示す。図５及び図７にみられる
ように、この厳しい条件にもかかわらず、２０％ＲＨ、
５０％ＲＨ、９０％ＲＨの測定において出力誤差は±３
％ＲＨ以内であった。
【００２１】
【発明の効果】以上のように、この発明の湿度センサに
よれば、２０％ＲＨ〜９０％ＲＨという広範囲の湿度領
域で長期安定的に正確に湿度を測定することができる。
よれば、２０％ＲＨ〜９０％ＲＨという広範囲の湿度領
域で長期安定的に正確に湿度を測定することができる。
【図１】実施例の湿度センサを示し、（ａ）はセンサ本
体とリードとを分解したところの平面図、（ｂ）は
（ａ）のＸＹ断面図である。
体とリードとを分解したところの平面図、（ｂ）は
（ａ）のＸＹ断面図である。
【図２】試料Ｎｏ．１の感湿材料を用いた湿度センサの
相対湿度に対する抵抗値変化を示すグラフである。
相対湿度に対する抵抗値変化を示すグラフである。
【図３】試料Ｎｏ．２の感湿材料を用いた湿度センサの
相対湿度に対する抵抗値変化を示すグラフである。
相対湿度に対する抵抗値変化を示すグラフである。
【図４】試料Ｎｏ．１の感湿材料を用いた湿度センサ
を、室内で稼働させ、所定時間毎に２０％ＲＨ、５０％
ＲＨ又は９０％ＲＨの所定湿度雰囲気に設置した時の出
力誤差を示すグラフである。
を、室内で稼働させ、所定時間毎に２０％ＲＨ、５０％
ＲＨ又は９０％ＲＨの所定湿度雰囲気に設置した時の出
力誤差を示すグラフである。
【図５】試料Ｎｏ．１の感湿材料を用いた湿度センサを
４０℃，９５％ＲＨという高温高湿雰囲気で稼働させ、
所定時間毎に２０％ＲＨ、５０％ＲＨ又は９０％ＲＨの
所定湿度雰囲気に設置した時の出力誤差を示すグラフで
ある。
４０℃，９５％ＲＨという高温高湿雰囲気で稼働させ、
所定時間毎に２０％ＲＨ、５０％ＲＨ又は９０％ＲＨの
所定湿度雰囲気に設置した時の出力誤差を示すグラフで
ある。
【図６】試料Ｎｏ．２の感湿材料を用いた湿度センサ
を、室内で稼働させ、所定時間毎に２０％ＲＨ、５０％
ＲＨ又は９０％ＲＨの所定湿度雰囲気に設置した時の出
力誤差を示すグラフである。
を、室内で稼働させ、所定時間毎に２０％ＲＨ、５０％
ＲＨ又は９０％ＲＨの所定湿度雰囲気に設置した時の出
力誤差を示すグラフである。
【図７】試料Ｎｏ．２の感湿材料を用いた湿度センサを
４０℃，９５％ＲＨという高温高湿雰囲気で稼働させ、
所定時間毎に２０％ＲＨ、５０％ＲＨ又は９０％ＲＨの
所定湿度雰囲気に設置した時の出力誤差を示すグラフで
ある。
４０℃，９５％ＲＨという高温高湿雰囲気で稼働させ、
所定時間毎に２０％ＲＨ、５０％ＲＨ又は９０％ＲＨの
所定湿度雰囲気に設置した時の出力誤差を示すグラフで
ある。
１ アルミナ基板 ２，３ 電極 ４，５ パッド ６ 感湿膜 ７，８ リード
Claims (4)
- 【請求項１】 メラミンもしくはその誘導体、下記一般
式［１］で示される化合物及び下記一般式［２］で示さ
れる化合物を共重合して得られるポリマーを感湿材料と
することを特徴とする湿度センサ。 一般式［１］ （式中Ｒ1、Ｒ2、Ｒ3、Ｒ4、Ａは直鎖または分枝の炭化
水素基を表し、Ｒ1、Ｒ2、Ｒ3、Ｒ4、Ａのいずれか２つ
以上がそれぞれ結合して環状構造を形成してもよい。） 一般式［２］ Ｘ1−Ｂ−Ｘ2 （式中Ｘ1及びＸ2はハロゲン元素、Ｂは直鎖または分枝
の炭化水素基を表す。） - 【請求項２】 メラミン誘導体が、アリル基を２つ以上
有する請求項１に記載の湿度センサ。 - 【請求項３】 Ａが、へキシレン基である請求項１又は
２に記載の湿度センサ。 - 【請求項４】 Ｂが、ペンチレン基もしくはへキシレン
基である請求項１〜３に記載の湿度センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15849795A JPH08327578A (ja) | 1995-05-31 | 1995-05-31 | 湿度センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15849795A JPH08327578A (ja) | 1995-05-31 | 1995-05-31 | 湿度センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08327578A true JPH08327578A (ja) | 1996-12-13 |
Family
ID=15673036
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15849795A Pending JPH08327578A (ja) | 1995-05-31 | 1995-05-31 | 湿度センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08327578A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101670181B1 (ko) * | 2015-08-03 | 2016-10-27 | 인천대학교 산학협력단 | 수분센서용 도파민―멜라닌 필름의 제조방법 |
-
1995
- 1995-05-31 JP JP15849795A patent/JPH08327578A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101670181B1 (ko) * | 2015-08-03 | 2016-10-27 | 인천대학교 산학협력단 | 수분센서용 도파민―멜라닌 필름의 제조방법 |
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