JPH08327241A - 熱処理炉 - Google Patents
熱処理炉Info
- Publication number
- JPH08327241A JPH08327241A JP13420495A JP13420495A JPH08327241A JP H08327241 A JPH08327241 A JP H08327241A JP 13420495 A JP13420495 A JP 13420495A JP 13420495 A JP13420495 A JP 13420495A JP H08327241 A JPH08327241 A JP H08327241A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- furnace
- exhaust system
- trap
- box
- advancing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
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- Heat Treatments In General, Especially Conveying And Cooling (AREA)
- Waste-Gas Treatment And Other Accessory Devices For Furnaces (AREA)
- Muffle Furnaces And Rotary Kilns (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】一旦トラップで捕捉した有機物等が再度箱内に
回り込む不具合を適正に防止し得る熱処理炉を提供す
る。 【構成】内排気系３ｂ内に設けた進退部材６により、特
定の作動位置で箱２とトラップ５の間を遮断するので、
箱２からトラップ５への熱の回り込みや、それにトラッ
プ５において再蒸発した有機物等の箱２への回り込みが
防止される。また、内排気系３ｂ内に付着した固形物Ｘ
は、進退部材６の摺動動作時に一掃され、トラップ５の
タンク５ｊに回収される。
回り込む不具合を適正に防止し得る熱処理炉を提供す
る。 【構成】内排気系３ｂ内に設けた進退部材６により、特
定の作動位置で箱２とトラップ５の間を遮断するので、
箱２からトラップ５への熱の回り込みや、それにトラッ
プ５において再蒸発した有機物等の箱２への回り込みが
防止される。また、内排気系３ｂ内に付着した固形物Ｘ
は、進退部材６の摺動動作時に一掃され、トラップ５の
タンク５ｊに回収される。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、脱脂焼結炉、脱タール
焼成炉、粉体の焼成炉、木材の炭化焼結炉などとして好
適に利用可能な熱処理炉に関するものである。
焼成炉、粉体の焼成炉、木材の炭化焼結炉などとして好
適に利用可能な熱処理炉に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】熱処理のうち、脱脂焼結、脱タール焼
成、粉体の焼成、ウッドセラミックスの焼結などの熱処
理では、被処理物（ワーク）に含まれるパラフィン、樹
脂、タールなどの有機物等を中間工程において除去する
必要がある。その際、これらの蒸気等を直接排気する
と、それがポンプに回り込んでポンプを停止や破損に至
らしめる。このため、従来、ヒータ及びこのヒータによ
って加熱される箱を収容した炉に対して、一端が前記箱
内に導通し他端が炉外に延出するように内排気系を設け
るとともに、炉外において前記内排気系にトラップを介
設し、被処理物を前記箱内に配置してヒータにより加熱
して、被処理物から発生する蒸気等を内排気系により炉
外に導出して前記トラップで捕捉し、回収するようにし
ている。
成、粉体の焼成、ウッドセラミックスの焼結などの熱処
理では、被処理物（ワーク）に含まれるパラフィン、樹
脂、タールなどの有機物等を中間工程において除去する
必要がある。その際、これらの蒸気等を直接排気する
と、それがポンプに回り込んでポンプを停止や破損に至
らしめる。このため、従来、ヒータ及びこのヒータによ
って加熱される箱を収容した炉に対して、一端が前記箱
内に導通し他端が炉外に延出するように内排気系を設け
るとともに、炉外において前記内排気系にトラップを介
設し、被処理物を前記箱内に配置してヒータにより加熱
して、被処理物から発生する蒸気等を内排気系により炉
外に導出して前記トラップで捕捉し、回収するようにし
ている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところが、従来の熱処
理炉では、前記内排気系が、炉を出た位置から直接トラ
ップの入口に連通する構造になっている。このため、炉
内の輻射熱がトラップに伝わり易く、一旦トラップに捕
捉された有機物等（パラフィンやタール等）が焼成時に
再蒸発し、その蒸気が再びタイトボックス内に逆流し
て、製品品質に悪影響を及ぼすという不具合を生じる。
理炉では、前記内排気系が、炉を出た位置から直接トラ
ップの入口に連通する構造になっている。このため、炉
内の輻射熱がトラップに伝わり易く、一旦トラップに捕
捉された有機物等（パラフィンやタール等）が焼成時に
再蒸発し、その蒸気が再びタイトボックス内に逆流し
て、製品品質に悪影響を及ぼすという不具合を生じる。
【０００４】また、内排気系の出口に弁を配置し、有機
物等を一旦トラップに捕捉させた後に、弁を閉めて、箱
とトラップの間を遮断しておく構造もあるが、蒸気中に
凝固分や粉塵が含まれる場合、排気管や弁体と弁座の間
にこれらの固形物が堆積して、排気管がつまったり、弁
が作動不良に陥る。
物等を一旦トラップに捕捉させた後に、弁を閉めて、箱
とトラップの間を遮断しておく構造もあるが、蒸気中に
凝固分や粉塵が含まれる場合、排気管や弁体と弁座の間
にこれらの固形物が堆積して、排気管がつまったり、弁
が作動不良に陥る。
【０００５】本発明は、このような課題に着目してなさ
れたものであって、一旦トラップで捕捉した有機物等が
再度箱内に回り込む不具合や固形物による排気系のつま
りを適正に防止し得る熱処理炉を提供することを目的と
している。
れたものであって、一旦トラップで捕捉した有機物等が
再度箱内に回り込む不具合や固形物による排気系のつま
りを適正に防止し得る熱処理炉を提供することを目的と
している。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、かかる目的を
達成するために、次のような構成を採用したものであ
る。
達成するために、次のような構成を採用したものであ
る。
【０００７】すなわち、本発明の熱処理炉は、ヒータを
内設した炉と、この炉内の加熱領域に設けた箱と、一端
が前記箱内に導通し他端が炉外に延出された内排気系
と、炉外において前記内排気系に介設したトラップとか
らなり、被処理物を前記箱内に配置してヒータにより加
熱し、被処理物から発生する蒸気等を内排気系により炉
外に導出して前記トラップで捕捉し、回収するようにし
たものにおいて、前記内排気系に進退部材を設け、この
進退部材に、内排気系の内面に概ね摺接するとともに、
摺動動作中に内排気系を経過的に遮断する仕切部を設け
たことを特徴とする。
内設した炉と、この炉内の加熱領域に設けた箱と、一端
が前記箱内に導通し他端が炉外に延出された内排気系
と、炉外において前記内排気系に介設したトラップとか
らなり、被処理物を前記箱内に配置してヒータにより加
熱し、被処理物から発生する蒸気等を内排気系により炉
外に導出して前記トラップで捕捉し、回収するようにし
たものにおいて、前記内排気系に進退部材を設け、この
進退部材に、内排気系の内面に概ね摺接するとともに、
摺動動作中に内排気系を経過的に遮断する仕切部を設け
たことを特徴とする。
【０００８】
【作用】このような構成のものであれば、進退部材は、
作動始端にあるときは内排気系から退避して内排気系の
排気を妨害することがなく、箱内の適正な排気状態が担
保される。
作動始端にあるときは内排気系から退避して内排気系の
排気を妨害することがなく、箱内の適正な排気状態が担
保される。
【０００９】この位置から、進退部材が作動終端に向か
って移動すると、進退部材は一部を内排気系の内面に摺
接させてあるため、内排気系の内面に付着した固形物等
が進退部材によって一掃され、トラップに集められる。
って移動すると、進退部材は一部を内排気系の内面に摺
接させてあるため、内排気系の内面に付着した固形物等
が進退部材によって一掃され、トラップに集められる。
【００１０】また、進退部材は、摺動動作中に特定の位
置において仕切として機能し、この仕切によって箱とト
ラップの間が経過的に遮断される。このため、進退部材
は通常は内排気系内を閉塞することがないが、熱処理時
には、箱からトラップに輻射熱が伝わって一旦捕捉した
有機物等が再蒸発する不具合や、その蒸気が箱内に逆流
して被処理物に含浸し品質低下を惹起する不具合などを
確実に防止することができる。
置において仕切として機能し、この仕切によって箱とト
ラップの間が経過的に遮断される。このため、進退部材
は通常は内排気系内を閉塞することがないが、熱処理時
には、箱からトラップに輻射熱が伝わって一旦捕捉した
有機物等が再蒸発する不具合や、その蒸気が箱内に逆流
して被処理物に含浸し品質低下を惹起する不具合などを
確実に防止することができる。
【００１１】
【実施例】以下、本発明の一実施例を、図面を参照して
説明する。
説明する。
【００１２】この実施例の熱処理炉は、図１に示すよう
に、炉１と、箱２と、排気系３と、ガス供給系４と、ト
ラップ５とから構成される。
に、炉１と、箱２と、排気系３と、ガス供給系４と、ト
ラップ５とから構成される。
【００１３】炉１は、内部を気密に閉止し得る構造を備
えており、少なくとも一端側に設けた扉１ｂが本体１ａ
に対して開閉可能とされてる。この炉１内には被処理物
Ｗを焼成できる温度、例えば１５００℃程度の加熱能力
を備えたヒータ１ｃが配設してあり、箱２はそのヒータ
１ｃによる加熱領域内に配置されている。
えており、少なくとも一端側に設けた扉１ｂが本体１ａ
に対して開閉可能とされてる。この炉１内には被処理物
Ｗを焼成できる温度、例えば１５００℃程度の加熱能力
を備えたヒータ１ｃが配設してあり、箱２はそのヒータ
１ｃによる加熱領域内に配置されている。
【００１４】箱２はグラファイト製のもので、本体２ａ
と蓋２ｂとから構成され、その蓋２ｂが前記炉１の扉１
ｂに取付けたシリンダ１ｄにより本体２ａに対して開閉
されるようになっている。
と蓋２ｂとから構成され、その蓋２ｂが前記炉１の扉１
ｂに取付けたシリンダ１ｄにより本体２ａに対して開閉
されるようになっている。
【００１５】排気系３は、炉内空間Ｓ1 に導通する主排
気系３ａと、箱内空間Ｓ2 に導通する内排気径３ｂとか
らなる。主排気系３ａは、炉内空間Ｓ1 をバルブ３ｃを
介してメカニカルブースタポンプ３ｄおよび油回転真空
ポンプ３ｅに直列に接続した構成からなる。内排気系３
ｂは、前記箱内空間Ｓ2 をトラップ５およびバルブ３ｆ
を介して前記油回転真空ポンプ３ｅの流入口に並列に接
続した構成からなる。
気系３ａと、箱内空間Ｓ2 に導通する内排気径３ｂとか
らなる。主排気系３ａは、炉内空間Ｓ1 をバルブ３ｃを
介してメカニカルブースタポンプ３ｄおよび油回転真空
ポンプ３ｅに直列に接続した構成からなる。内排気系３
ｂは、前記箱内空間Ｓ2 をトラップ５およびバルブ３ｆ
を介して前記油回転真空ポンプ３ｅの流入口に並列に接
続した構成からなる。
【００１６】ガス供給系４は、ガスとしてＮ2 を充填し
たガス供給源４ａとバルブ４ｂを備え、このガス供給源
４ａからのＮ2 ガスを前記炉１を貫通して炉内空間Ｓ1
に導入するようにしている。
たガス供給源４ａとバルブ４ｂを備え、このガス供給源
４ａからのＮ2 ガスを前記炉１を貫通して炉内空間Ｓ1
に導入するようにしている。
【００１７】液化トラップ５の構造は、軸方向に延び一
端に流入口５ａを有し他端に流出口５ｂを有した筐体５
ｃと、この筐体５ｃ内に軸端部から挿入され軸方向間欠
位置に円盤状のフィン５ｄを取着した冷却パイプ５ｅ
と、筐体５ｃの外周に巻回されたシーズヒータ５ｇと、
筐体５の下方に設けられたタンク５ｊとからなる。ヒー
タ５ｇは有機物等を溶融させるために例えば１００℃程
度の発熱能力を付与されている。冷却パイプ５ｅは、二
重構造のもので、内側流路から筐体５ｃの先端近傍にま
で移送した冷水を外側空間から戻して回収する構造にな
っている。また、各フィン５ｄの外周は筐体５ｃに対し
隙間を介して対峙する位置に配設してあり、この部位の
絞り効果によって通過する蒸気に減圧下で断熱膨脹効果
を惹起するようになっている。具体的な構造を例示すれ
ば、フィン５ｄの外径が筐体５ｃの内径に略一致させて
あり、その周辺数箇所を折り曲げて筐体５ｃの内壁から
退避させてある。
端に流入口５ａを有し他端に流出口５ｂを有した筐体５
ｃと、この筐体５ｃ内に軸端部から挿入され軸方向間欠
位置に円盤状のフィン５ｄを取着した冷却パイプ５ｅ
と、筐体５ｃの外周に巻回されたシーズヒータ５ｇと、
筐体５の下方に設けられたタンク５ｊとからなる。ヒー
タ５ｇは有機物等を溶融させるために例えば１００℃程
度の発熱能力を付与されている。冷却パイプ５ｅは、二
重構造のもので、内側流路から筐体５ｃの先端近傍にま
で移送した冷水を外側空間から戻して回収する構造にな
っている。また、各フィン５ｄの外周は筐体５ｃに対し
隙間を介して対峙する位置に配設してあり、この部位の
絞り効果によって通過する蒸気に減圧下で断熱膨脹効果
を惹起するようになっている。具体的な構造を例示すれ
ば、フィン５ｄの外径が筐体５ｃの内径に略一致させて
あり、その周辺数箇所を折り曲げて筐体５ｃの内壁から
退避させてある。
【００１８】このような構成において、本実施例は、前
記内排気系３ｂ上、炉１の出口からトラップ５の入口ま
での間に、シリンダ７によって駆動される進退部材６を
設けている。詳述すると、前記内排気系３ｂは、図２に
示すように、箱２から垂直に垂下する直管３１と、この
直管３１の下端とトラップ５の入口との間に介在される
斜管３２とから構成されるものであり、本実施例では、
前記斜管３２を、直管３２との突き合わせ部分を通過し
て更に延出した形状のものとし、その斜管延長部３３
に、前記進退部材６を収容している。進退部材６は、斜
管３２及び斜管延長部３３の軸心に略直交する仕切板６
１と、直管３１の軸心に略直交する仕切板６２とから構
成され、基端を前記斜管延長部３３の延長端に装着した
シリンダ７の出力軸に連結され、前記仕切板６１の周囲
を斜管３２及び斜管延長部３３の内周に密接に配置して
いる。特に、この仕切板６１の下端は斜管３２の下面や
その近傍に対して常に摺動しているように設定される。
また、前記シリンダによってこの進退部材６が進退駆動
される場合に、そのストロークは、図２に示す縮退位置
Ａで前記両仕切板６１、６２が斜管延長部３３内に収容
された状態になり、図３に示す伸長位置Ｂで仕切板６１
がトラップ５の入口付近に達した状態になり、図４に示
す中間位置Ｃで仕切板６１が斜管３２の開口を、また仕
切板６２が直管３１の開口をそれぞれ閉鎖した状態にな
るように設定されている。
記内排気系３ｂ上、炉１の出口からトラップ５の入口ま
での間に、シリンダ７によって駆動される進退部材６を
設けている。詳述すると、前記内排気系３ｂは、図２に
示すように、箱２から垂直に垂下する直管３１と、この
直管３１の下端とトラップ５の入口との間に介在される
斜管３２とから構成されるものであり、本実施例では、
前記斜管３２を、直管３２との突き合わせ部分を通過し
て更に延出した形状のものとし、その斜管延長部３３
に、前記進退部材６を収容している。進退部材６は、斜
管３２及び斜管延長部３３の軸心に略直交する仕切板６
１と、直管３１の軸心に略直交する仕切板６２とから構
成され、基端を前記斜管延長部３３の延長端に装着した
シリンダ７の出力軸に連結され、前記仕切板６１の周囲
を斜管３２及び斜管延長部３３の内周に密接に配置して
いる。特に、この仕切板６１の下端は斜管３２の下面や
その近傍に対して常に摺動しているように設定される。
また、前記シリンダによってこの進退部材６が進退駆動
される場合に、そのストロークは、図２に示す縮退位置
Ａで前記両仕切板６１、６２が斜管延長部３３内に収容
された状態になり、図３に示す伸長位置Ｂで仕切板６１
がトラップ５の入口付近に達した状態になり、図４に示
す中間位置Ｃで仕切板６１が斜管３２の開口を、また仕
切板６２が直管３１の開口をそれぞれ閉鎖した状態にな
るように設定されている。
【００１９】このような構成において、例えば脱脂工程
時に進退部材６を図２に示す作動始端Ａに保持すると、
この位置は進退部材６が内排気系３ｂから退避する位置
であるため、内排気系３ｂの排気を妨げることがない。
このため、脱脂工程において被処理物Ｗから発生した蒸
気等は、内排気系３ｂを構成する直管３１及び斜管３２
を介してトラップ５へ流れ込む。この時、蒸気中の凝縮
分は主にトラップ５内で液相になり、タンク５ｊに集め
られるが、蒸気中の凝固分や粉塵は比較的温度の低い斜
管３２の内面、特に下面若しくはその近傍に固形物Ｘと
して付着していく。
時に進退部材６を図２に示す作動始端Ａに保持すると、
この位置は進退部材６が内排気系３ｂから退避する位置
であるため、内排気系３ｂの排気を妨げることがない。
このため、脱脂工程において被処理物Ｗから発生した蒸
気等は、内排気系３ｂを構成する直管３１及び斜管３２
を介してトラップ５へ流れ込む。この時、蒸気中の凝縮
分は主にトラップ５内で液相になり、タンク５ｊに集め
られるが、蒸気中の凝固分や粉塵は比較的温度の低い斜
管３２の内面、特に下面若しくはその近傍に固形物Ｘと
して付着していく。
【００２０】そこで、脱脂完了後、シリンダ７を作動さ
せ、進退部材６を図３に示す作動終端Ｂに向かって移動
させる。すると、進退部材６の仕切板６１の下端が斜管
３２の下面に摺接しているため、内面に付着した固形物
Ｘを一掃し、トラップ５のタンク５ｊに送り込む。
せ、進退部材６を図３に示す作動終端Ｂに向かって移動
させる。すると、進退部材６の仕切板６１の下端が斜管
３２の下面に摺接しているため、内面に付着した固形物
Ｘを一掃し、トラップ５のタンク５ｊに送り込む。
【００２１】焼結工程に移行する前後においては、進退
部材６を図４に示す中間位置Ｃに保持する。これによ
り、直管３１の開口が仕切板６２に、斜管３２の開口部
が仕切板６１に、それぞれ閉塞されて、箱２とトラップ
５の間が遮断される。このため、箱２からトラップ５に
直接輻射熱が伝わってタンク５ｊに一旦捕捉した有機物
等が再蒸発する不具合や、その蒸気が箱２内に逆流して
被処理物Ｗに含浸し品質低下を惹起する不具合などが確
実に防止される。
部材６を図４に示す中間位置Ｃに保持する。これによ
り、直管３１の開口が仕切板６２に、斜管３２の開口部
が仕切板６１に、それぞれ閉塞されて、箱２とトラップ
５の間が遮断される。このため、箱２からトラップ５に
直接輻射熱が伝わってタンク５ｊに一旦捕捉した有機物
等が再蒸発する不具合や、その蒸気が箱２内に逆流して
被処理物Ｗに含浸し品質低下を惹起する不具合などが確
実に防止される。
【００２２】このようにして、本実施例の熱処理炉によ
れば、被処理物Ｗから出るパラフィンやタール等の有機
物等を確実に炉外に除去すると共に、凝固分や粉塵によ
る内排気系３ｂのつまりやポンプの停止、さらには被処
理物Ｗの品質低下等を無くして、稼働効率や熱処理の品
質を有効に向上させることが可能になる。
れば、被処理物Ｗから出るパラフィンやタール等の有機
物等を確実に炉外に除去すると共に、凝固分や粉塵によ
る内排気系３ｂのつまりやポンプの停止、さらには被処
理物Ｗの品質低下等を無くして、稼働効率や熱処理の品
質を有効に向上させることが可能になる。
【００２３】なお、各部の具体的な構成は、上述した実
施例のみに限定されるものではない。例えば、図５のよ
うに、斜管３２をトラップ５のタンク５ｊに接続するよ
うにしてもよい。また、直管３１の内面を保護するため
に、ブッシングを設けてもよい。さらに、進退部材に回
転運動を付加して、固形物の除去や、仕切の効果を高め
てもよい。その他、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種
々変形が可能である。
施例のみに限定されるものではない。例えば、図５のよ
うに、斜管３２をトラップ５のタンク５ｊに接続するよ
うにしてもよい。また、直管３１の内面を保護するため
に、ブッシングを設けてもよい。さらに、進退部材に回
転運動を付加して、固形物の除去や、仕切の効果を高め
てもよい。その他、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種
々変形が可能である。
【００２４】
【発明の効果】本発明の熱処理炉は、以上説明した構成
であるから、炉の内排気系を通じて蒸気等を排出する際
に、内排気系に付着する固形物等を進退部材によって確
実に除去してトラップのタンクに回収することができ、
熱処理時には仕切板によって箱とトラップの間を遮断し
て箱からトラップへの熱の回り込み、それによる有機物
等の再蒸発、その蒸気の箱への回り込み等を確実に防止
することができる。このため、固形分や粉塵が回り込む
ことによる内排気系のつまりやポンプの停止、さらには
被処理物Ｗの品質低下を無くして、稼働効率や熱処理の
品質を有効に向上させることができるという優れた効果
が奏される。
であるから、炉の内排気系を通じて蒸気等を排出する際
に、内排気系に付着する固形物等を進退部材によって確
実に除去してトラップのタンクに回収することができ、
熱処理時には仕切板によって箱とトラップの間を遮断し
て箱からトラップへの熱の回り込み、それによる有機物
等の再蒸発、その蒸気の箱への回り込み等を確実に防止
することができる。このため、固形分や粉塵が回り込む
ことによる内排気系のつまりやポンプの停止、さらには
被処理物Ｗの品質低下を無くして、稼働効率や熱処理の
品質を有効に向上させることができるという優れた効果
が奏される。
【図１】本発明の一実施例を示す模式的な全体図。
【図２】同実施例の要部断面図。
【図３】図２に対応した作用説明図。
【図４】図２に対応した作用説明図。
【図５】本発明の他の実施例を示す要部断面図。
【符号の説明】 １…炉 １ｃ…ヒータ ２…箱 ３ｂ…内排気系 ５…トラップ ６…進退部材 ６１、６２…仕切板 Ａ…作動始端 Ｂ…作動終端 Ｃ…中間位置 Ｗ…被処理物
Claims (1)
- 【請求項１】ヒータを内設した炉と、この炉内の加熱領
域に設けた箱と、一端が前記箱内に導通し他端が炉外に
延出された内排気系と、炉外において前記内排気系に介
設したトラップとからなり、被処理物を前記箱内に配置
してヒータにより加熱し、被処理物から発生する蒸気等
を内排気系により炉外に導出して前記トラップで捕捉
し、回収するようにしたものにおいて、 前記内排気系に進退部材を設け、この進退部材に、内排
気系の内面に概ね摺接するとともに、摺動動作中に内排
気系を経過的に遮断する仕切部を設けたことを特徴とす
る熱処理炉。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13420495A JPH08327241A (ja) | 1995-05-31 | 1995-05-31 | 熱処理炉 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13420495A JPH08327241A (ja) | 1995-05-31 | 1995-05-31 | 熱処理炉 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08327241A true JPH08327241A (ja) | 1996-12-13 |
Family
ID=15122865
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13420495A Withdrawn JPH08327241A (ja) | 1995-05-31 | 1995-05-31 | 熱処理炉 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08327241A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2020198439A (ja) * | 2018-01-29 | 2020-12-10 | 株式会社タムラ製作所 | 気体浄化装置及び搬送加熱装置 |
-
1995
- 1995-05-31 JP JP13420495A patent/JPH08327241A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2020198439A (ja) * | 2018-01-29 | 2020-12-10 | 株式会社タムラ製作所 | 気体浄化装置及び搬送加熱装置 |
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Legal Events
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| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20020806 |