JPH08316328A - 半導体装置の設計方法及び設計装置 - Google Patents

半導体装置の設計方法及び設計装置

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JPH08316328A
JPH08316328A JP7121758A JP12175895A JPH08316328A JP H08316328 A JPH08316328 A JP H08316328A JP 7121758 A JP7121758 A JP 7121758A JP 12175895 A JP12175895 A JP 12175895A JP H08316328 A JPH08316328 A JP H08316328A
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哲生 ▲高▼嶌
Tetsuo Takashima
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Fujitsu VLSI Ltd
Fujitsu Ltd
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Fujitsu VLSI Ltd
Fujitsu Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【目的】配線長の短縮化及び最適化を図るとともに、未
結線を防止して集積回路の性能を向上できる半導体装置
の設計方法及び設計装置を提供する。 【構成】設計装置は、配置処理部1と、マスター作成部
2とを備える。配置処理部1は、種々のセル、特定セ
ル、セル及び特定セルを接続するネットのデータを含む
論理回路データと、半導体チップの形状データとに基づ
いて、半導体チップにおける種々のセル及び特定セルの
配置位置を決定する。マスター作成部2は、配置処理部
1によって決定された種々のセルの配置位置のデータ及
び特定セルの配置位置のデータに、セル用バルクのデー
タ及び特定セル用バルクのデータをそれぞれ付加するこ
とによって、半導体装置を製造するために使用されるチ
ップマスターデータを作成する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は半導体装置の設計方法及
び設計装置に係り、詳しくは所定の機能、例えばRAM
(ランダムアクセスメモリ)セル、ROM(リードオン
リメモリ)セル等のマクロセル(特定セル)を搭載した
エンベデッドアレイの設計に関する。
【0002】近年、半導体集積回路の大規模化、高集積
化が進められている。これに伴い、配置配線処理の性能
向上が強く求められている。このため、配線処理におい
て大きな障害となるRAMセル、ROMセル等のマクロ
セルを備えたエンベデッドアレイに関しても、セル及び
マクロセルを効率よく配置して配線率を向上させる必要
がある。
【0003】
【従来の技術】エンベデッドアレイはスタンダードセル
とゲートアレイとの中間に位置する特定用途向けの半導
体装置である。エンベデッドアレイはユーザーが所望す
る機能のマクロセルを構成するためのマクロセル用バル
ク(特定セル用バルク)と、通常のセルを構成するため
のベーシックセル(セル用バルク)とを備える。
【0004】従来、図7に示すエンベデッドアレイ60
を製造するには、集積回路の設計が不完全である早い時
期に、エンベデッドアレイ60に搭載すべきRAMセ
ル、ROMセル等のマクロセルの情報がユーザーから知
らされる。その情報に基づいて、CAD装置等の設計装
置を用いて、半導体チップ61にRAMセルを構成する
ためのマクロセル用バルク62及びROMセルを構成す
るためのマクロセル用バルク63の配置が行われるとと
もに、通常のセルを構成するための多数のベーシックセ
ル64の配置が行われる。なお、入出力セルを構成する
ための多数のセル用バルク65は同一形状・同一構成で
あり、これらのセル用バルクの配置位置は半導体チップ
61の周縁寄りに決められている。半導体チップ61に
は各セル用バルク65に対応してパッド66が形成され
ている。
【0005】そして、半導体チップ61へのマクロセル
用バルク62,63及びベーシックセル64の配置結果
に基づいてチップマスターデータが作成される。チップ
マスターデータに基づいてウェハプロセスが行われ、エ
ンベデッドアレイ60が製造される。
【0006】また、チップマスターデータを使用して半
導体チップ61へのセルの配置処理が行われ、半導体チ
ップ61におけるマクロセル及びセルの配置位置が決定
される。この後に、マクロセル及びセルを接続する配線
のレイアウトが行われる。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】ところが、従来のチッ
プマスターデータを作成するには、エンベデッドアレイ
60に搭載されるRAMセル、ROMセル及びセルの配
置が行われる以前に、マクロセル用バルク62,63及
びベーシックセル64の配置が行われる。エンベデッド
アレイ60には多数のベーシックセル64が配置されて
いるので、種々のセルの配置の自由度は高い。ところ
が、マクロセル用バルクの数は少ないため、マクロセル
の配置の自由度は非常に低い。従って、従来のエンベデ
ッドアレイはマクロセル用バルクを最適な位置に配置す
ることはむずかしい。特に、図7に示すようにエンベデ
ッドアレイ60にRAMセル及びROMセルが1つずつ
搭載されるとすると、RAMセル及びROMセルにそれ
ぞれ対応したマクロセル用バルク62,63が1つずつ
配置される。従って、RAMセル及びROMセルは対応
するマクロセル用バルク62,63にのみ配置でき、配
置の自由度はない。仮に、エンベデッドアレイに同一容
量の複数のRAMセルが搭載されるとすると、半導体チ
ップには同一構成の複数のマクロセル用バルクが配置さ
れる。そのため、各RAMセルの配置の自由度はある
が、その自由度は低い。従って、マクロセルを配置した
後の配線処理において、配線長が長くなったり、未結線
が生じたりして集積回路の性能が大きく左右されてしま
うという問題がある。
【0008】また、従来のエンベデッドアレイ60では
入出力セルを構成するためのセル用バルク64は同一形
状・同一構成であるので、1つのセル用バルク64を使
用して構成される入出力セルの標準の能力(入出力電
流)を越える大きな能力の入出力セルは、隣接する2つ
のセル用バルク64を使用して構成される。この場合、
2つのセル用バルク64に対応する2つのパッド66の
うち1つのみ使用でき、使用できるパッド数が減少す
る。従って、必要な数のパッドを確保するためには、半
導体チップ61のサイズを大きくしてパッド数を増加さ
せるか、大きな能力の入出力セルを標準能力の入出力セ
ルに変更しなければならなかった。
【0009】本発明は上記問題点を解決するためになさ
れたものであって、その目的は、配線長の短縮化及び最
適化を図るとともに、未結線を防止して集積回路の性能
を向上できる半導体装置の設計方法及び設計装置を提供
することにある。
【0010】
【課題を解決するための手段】図1は本発明の原理説明
図である。半導体装置の設計装置は、配置処理部1と、
マスター作成部2とを備える。配置処理部1は、種々の
セル、特定セル、セル及び特定セルを接続するネットの
データを含む論理回路データと、半導体チップの形状デ
ータとに基づいて、半導体チップにおける種々のセル及
び特定セルの配置位置を決定する。
【0011】マスター作成部2は、配置処理部1によっ
て決定された種々のセルの配置位置のデータ及び特定セ
ルの配置位置のデータに、セル用バルクのデータ及び特
定セル用バルクのデータをそれぞれ付加することによっ
て、半導体装置を製造するために使用されるチップマス
ターデータを作成する。
【0012】
【作用】本発明では、半導体チップにおける種々のセル
及び特定セルの配置位置が、バルクの確定していない半
導体チップの形状データに基づいて行われるため、セル
及び特定セルは半導体チップにおける最適な位置に配置
される。そして、セルの配置位置のデータ及び特定セル
の配置位置のデータにセル用バルクのデータ及び特定セ
ル用バルクのデータをそれぞれ付加することによって、
最適なセル用バルク及び特定セル用バルクの配置が得ら
れる。
【0013】
【実施例】以下、本発明を具体化した一実施例を図2〜
6に従って説明する。図2は本実施例における半導体装
置の設計装置10を示す。この設計装置10は、半導体
装置としてのエンベデッドアレイを製造するために使用
されるチップマスターデータの作成を行うとともに、エ
ンベデッドアレイを使用して構成される集積回路の設計
を行う。
【0014】設計装置10はCAD装置からなり、プロ
セッシングユニットとしての中央処理装置(以下、CP
Uという)11、主記憶としての半導体メモリ12、磁
気ディスク装置13、マウス15を接続したキーボード
14、及びディスプレイ16を備える。CPU11、半
導体メモリ12、磁気ディスク装置13、キーボード1
4、ディスプレイ16はシステムバス17によって互い
に接続されている。
【0015】半導体メモリ12にはCPU11が実行す
るプログラムとその実行に必要な各種データが予め記憶
されるとともに、当該プログラムデータに基づくCPU
11の処理結果等が一時記憶される。キーボード14及
びマウス15は、半導体メモリ12に記憶されているプ
ログラムの実行時に必要なデータを入力したり、磁気デ
ィスク装置13やディスプレイ16に処理結果等の出力
命令を入力するために用いられる。
【0016】磁気ディスク装置13は、図3に示すよう
に、論理データファイル27、回路データファイル2
8、ライブラリファイル29、マスターデータファイル
30及び製造データファイル31を備える。論理データ
ファイル27には製造すべき集積回路の完全な論理デー
タがテキスト形式で記憶されている。この論理データ
は、エンベデッドアレイに搭載する特定セルとしてのマ
クロセル、特定セルとしての特定入出力セル(後述)、
種々のセル、及びセル及び特定セルを接続するネットの
データを含む。
【0017】ライブラリファイル29には、製造すべき
エンベデッドアレイのモデルとしてのゲートアレイ40
(図4参照)に対応する仮マスターデータが記憶されて
いる。また、ライブラリファイル29には、エンベデッ
ドアレイに搭載する種々のマクロセルを構成するための
特定セル用バルクとしてのマクロセル用バルクのデータ
が記憶されている。
【0018】図4に示すように、半導体チップ41の中
央部には、NAND回路、NOR回路、フリップフロッ
プ等の種々のセルを構成するためのセル用バルクとして
の多数のベーシックセル42が配置されている。半導体
チップ41の周縁寄りには入出力セルを構成するための
多数の入出力セル用バルク43が配置されている。すべ
ての入出力セル用バルク43は、図6(a)に示す形状
をなし、入出力セル用バルク43内には、ほぼ同一の形
状をなすPMOSトランジスタ45及びNMOSトラン
ジスタ46と、入出力信号のレベルをLに固定するため
のプルダウン用のNMOSトランジスタ47と、入出力
信号のレベルをHに固定するためのプルアップ用のPM
OSトランジスタ48とが設けられている。PMOSト
ランジスタ45及びNMOSトランジスタ46を使用し
て標準の能力(入出力電流)を持つ入出力セルを構成で
きる。半導体チップ41には各入出力セル用バルク43
に対応してパッド44が配置されている。
【0019】従って、ライブラリファイル29の仮マス
ターデータは、半導体チップ41の形状データ及び寸法
データと、ベーシックセル42のレイアウトデータを含
む。また、仮マスターデータは、入出力セル用バルク4
3のレイアウトデータと、パッド44のレイアウトデー
タとを含む。
【0020】ライブラリファイル29のマクロセル用バ
ルクのデータは、図5に示すRAMセル及びROMセル
をそれぞれ構成するためのマクロセル用バルク51,5
2のレイアウトデータを含む。また、マクロセル用バル
クのデータは、図5に示す特定セル用バルクとしての特
定入出力セル用バルク53のレイアウトデータを含む。
図6(b)に示すように、特定入出力セル用バルク53
は前記入出力セル用バルク43(図6(a)参照)と同
一形状・同一寸法に形成されている。バルク53内に
は、ほぼ同一の形状をなすPMOSトランジスタ54及
びNMOSトランジスタ55のみが設けられている。そ
のため、PMOSトランジスタ54のサイズは前記PM
OSトランジスタ45のサイズよりも大きく、NMOS
トランジスタ55のサイズは前記NMOSトランジスタ
46のサイズよりも大きい。従って、PMOSトランジ
スタ54及びNMOSトランジスタ55を使用して特定
セルとしての特定入出力セルを構成でき、この特定入出
力セルの能力は、前記PMOSトランジスタ45及びN
MOSトランジスタ46を使用して構成できる入出力セ
ルの標準能力より大きくなる。
【0021】CPU11は半導体メモリ12に記憶され
た所定のプログラムデータに基づいて動作し、図3に示
すように、論理入力部21、配置処理部22、マスター
作成部23、配線処理部24、配置配線チェック部25
及び製造データ作成部26として動作する。
【0022】論理入力部21は、論理データファイル2
7からテキスト形式の集積回路の情報を取り込む。論理
入力部21はその取り込んだ情報を設計装置10の扱い
易い形式のデータに変換し、変換後のデータを回路デー
タファイル28に格納する。
【0023】配置処理部22は、回路データファイル2
8から種々のセル、RAMセル、ROMセル、特定入出
力セル、ネットのデータを含む論理回路データを取り込
むとともに、ライブラリファイル29から半導体チップ
41の形状データを取り込む。配置処理部22は配線経
路を考慮しながら種々のセル、マクロセル、入出力セル
及び特定入出力セルの自動配置を行って半導体チップ4
1における種々のセル、RAMセル、ROMセル、入出
力セル及び特定入出力セルの配置位置を決定し、それら
の配置位置のデータを対応するセルのデータに付加する
ことによって回路データファイル28に格納する。
【0024】マスター作成部23は、回路データファイ
ル28から種々のセル、RAMセル、ROMセル、入出
力セル及び特定入出力セルの配置位置のデータをそれぞ
れ取り込むとともに、ライブラリファイル29からセル
用バルク42、マクロセル用バルク51,52、入出力
セル用バルク43及び特定入出力セル用バルク53のレ
イアウトデータをそれぞれ取り込む。マスター作成部2
3は、種々のセル、RAMセル、ROMセル、入出力セ
ル及び特定入出力セルの配置位置のデータに、セル用バ
ルク42、マクロセル用バルク51,52、入出力セル
用バルク43及び特定入出力セル用バルク53のレイア
ウトデータをそれぞれ付加することによって、図5に示
すエンベデッドアレイ50を製造するために使用される
チップマスターデータを作成し、作成したチップマスタ
ーデータをマスターデータファイル30に格納する。
【0025】配線処理部24は、回路データファイル2
8から論理回路データと、種々のセル、RAMセル、R
OMセル、入出力セル及び特定入出力セルの配置位置の
データとを取り込むとともに、マスターデータファイル
30から図5に示すエンベデッドアレイ50のチップマ
スターデータを取り込む。配線処理部24は、取り込ん
だ各データに基づいてセル、RAMセル、ROMセル、
入出力セル及び特定入出力セルを接続する配線の経路を
決定し、配線経路のデータを回路データファイル28に
格納する。
【0026】配置配線チェック部25は、回路データフ
ァイル28のデータと、マスターデータファイル30の
データとに基づいて、種々のセル、RAMセル、ROM
セル、入出力セル及び特定入出力セルの配置及び配線経
路が正しいかどうかをチェックする。
【0027】製造データ作成部26は、マスターデータ
ファイル30からチップマスターデータを取り込んで、
ウェハプロセスに使用するための製造データ(露光デー
タ)を作成し、作成した製造データを製造データファイ
ル31に格納する。このデータに基づいて図5に示すエ
ンベデッドアレイ50が製造される。また、製造データ
作成部26は、配置配線チェック部25によって配置及
び配線経路が正しいと判定されると、回路データファイ
ル28のデータを取り込んでウェハプロセスに使用する
ための製造データを作成し、作成した製造データを製造
データファイル31に格納する。この製造データに基づ
いてエンベデッドアレイ50を用いた集積回路が製造さ
れる。
【0028】このように、本実施例では、配線経路を考
慮しながら、集積回路を構成する種々のセル、RAMセ
ル、ROMセル、入出力セル及び特定入出力セルが半導
体チップ41に配置される。この後、これらの配置位置
にセルを構成するためのベーシックセル42、RAMセ
ルを構成するためのマクロセル用バルク51、ROMセ
ルを構成するためのマクロセル用バルク52、入出力セ
ルを構成するための入出力セル用バルク43及び特定入
出力セルを構成するための特定入出力セル用バルク53
が配置されることにより、エンベデッドアレイ50が設
計される。そのため、配線処理において、配線長の短縮
化及び最適化を図ることができるとともに、未結線の発
生を防止でき、集積回路の性能を向上することができ
る。
【0029】また、本実施例では、エンベデッドアレイ
50を製造するためのチップマスターデータの作成時
に、入出力セル用バルク43と同一形状・同一寸法であ
り、かつ、入出力セル用バルク43にて構成できる入出
力セルの標準能力よりも大きい能力の特定入出力セルを
構成できる特定入出力セル用バルク53を配置するよう
にした。そのため、エンベデッドアレイ50は使用でき
なくなるパッドをなくして必要な数のパッドを確保で
き、半導体チップ41のサイズの大型化を防止すること
ができる。
【0030】また、本実施例においては、エンベデッド
アレイ50用のチップマスタデータの作成後の軽微な論
理変更であれば、チップマスタデータを使用して論理変
更を行うことができる。
【0031】なお、本発明は次のように任意に変更して
具体化することも可能である。 (1)前記実施例における特定入出力セル用バルク53
内には、入出力セル用バルク43のトランジスタのサイ
ズよりもサイズの小さいトランジスタを複数形成し、こ
れらのトランジスタを用いて論理回路を構成するように
してもよい。この場合にも、使用できなくなるパッドを
なくして必要な数のパッドを確保でき、半導体チップの
サイズの大型化を防止できる。
【0032】(2)種々のセルのうち、フリップフロッ
プを構成するには複数のベーシックセルが必要となる。
そのため、ベーシックセルのトランジスタのサイズ(ゲ
ートアレイのルール)よりもサイズの小さいトランジス
タ(マクロのルール)でフリップフロップ用のマクロセ
ルを作成し、このフリップフロップセルを用いてチップ
マスターデータの作成を行うようにする。この場合に
は、半導体チップにおけるフリップフロップの占有面積
を縮小できる。この面積縮小によって空いた領域は、新
たなベーシックセルに使用して集積度を上げたり、配線
領域として使用することによって配線効率を上げたりす
ることができる。
【0033】
【発明の効果】以上詳述したように、請求項1及び3の
発明によれば、配線長の短縮化及び最適化を図るととも
に、未結線を防止して集積回路の性能を向上できる。
【0034】請求項2の発明によれば、使用できなくな
るパッドがなくなり、半導体チップのサイズの大型化を
防止できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の原理説明図
【図2】一実施例の半導体装置の設計装置を示すブロッ
ク図
【図3】図2のCPUを種々の動作に基づいて示す概念
【図4】ゲートアレイを示すレイアウト図
【図5】エンベデッドアレイを示すレイアウト図
【図6】(a)入出力セル用バルクを示すレイアウト
図、(b)特定入出力セル用バルクを示すレイアウト図
【図7】従来の方法で作成されたエンベデッドアレイを
示すレイアウト図
【符号の説明】
1 配置処理部 2 マスター作成部 43 セル用バルクとしてのベーシックセル 41 半導体チップ 44 セル用バルクとしての入出力セル用バルク 51,52 特定セル用バルクとしてのマクロセル用バ
ルク 53 特定セル用バルクとしての特定入出力セル用バル

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 種々のセルを構成するためのセル用バル
    クと、所定の機能が定義された特定セルを構成するため
    の特定セル用バルクとを半導体チップ内に備える半導体
    装置を製造するために使用されるチップマスターデータ
    を作成する半導体装置の設計方法であって、 前記半導体チップにおける種々のセル及び特定セルの配
    置位置を決定した後、前記種々のセルの配置位置のデー
    タ及び特定セルの配置位置のデータに、前記セル用バル
    クのデータ及び特定セル用バルクのデータをそれぞれ付
    加することによって前記チップマスターデータを作成す
    る半導体装置の設計方法。
  2. 【請求項2】 前記種々のセルは通常の入出力セルを含
    み、前記特定セルは前記通常の入出力セルとは異なる特
    定の入出力セルを含み、 前記セル用バルクは前記通常入出力セルを構成するため
    の入出力セル用バルクを含み、前記特定セル用バルクは
    前記特定入出力セルを構成するための特定入出力セル用
    バルクを含む請求項1に記載の半導体装置の設計方法。
  3. 【請求項3】 種々のセルを構成するためのセル用バル
    クと、所定の機能で定義された特定セルを構成するため
    の特定セル用バルクとを半導体チップ内に備える半導体
    装置を製造するために使用されるチップマスターデータ
    を作成するようにした半導体装置の設計装置であって、 種々のセル、特定セル、セル及び特定セルを接続するネ
    ットのデータを含む論理回路データと、半導体チップの
    形状データとに基づいて、前記半導体チップにおける種
    々のセル及び特定セルの配置位置を決定する配置処理部
    と、 前記配置処理部によって決定された種々のセルの配置位
    置のデータ及び特定セルの配置位置のデータに、前記セ
    ル用バルクのデータ及び特定セル用バルクのデータをそ
    れぞれ付加することによって前記チップマスターデータ
    を作成するマスター作成部とを備える半導体装置の設計
    装置。
JP7121758A 1995-05-19 1995-05-19 半導体装置の設計方法及び設計装置 Withdrawn JPH08316328A (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11250108A (ja) * 1998-02-26 1999-09-17 Mitsubishi Electric Corp 配置設計支援装置及び配置設計支援方法

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11250108A (ja) * 1998-02-26 1999-09-17 Mitsubishi Electric Corp 配置設計支援装置及び配置設計支援方法

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