JPH08309300A - Ultrasonic washer - Google Patents

Ultrasonic washer

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Publication number
JPH08309300A
JPH08309300A JP13868095A JP13868095A JPH08309300A JP H08309300 A JPH08309300 A JP H08309300A JP 13868095 A JP13868095 A JP 13868095A JP 13868095 A JP13868095 A JP 13868095A JP H08309300 A JPH08309300 A JP H08309300A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
tank
cleaning
cleaning tank
cleaning liquid
rinse water
Prior art date
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Withdrawn
Application number
JP13868095A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Masahiko Yano
正彦 矢野
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Suzuki Motor Corp
Original Assignee
Suzuki Motor Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Suzuki Motor Corp filed Critical Suzuki Motor Corp
Priority to JP13868095A priority Critical patent/JPH08309300A/en
Publication of JPH08309300A publication Critical patent/JPH08309300A/en
Withdrawn legal-status Critical Current

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  • Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)

Abstract

PURPOSE: To miniaturize equipment and also to perform thermal drying well by providing a washing liquid circulating system, a rinsing water circulating system and a thermal drying means and providing the thermal drying means with a heat source for heating fresh air flowing through a conducting pipe equipped with an intake for fresh air and a diffuser into a washing tank. CONSTITUTION: An ultrasonic vibrator transducer 25 is abutted from below on the bottom surface part of a washing tank 10 housing a material to be washed and equipped with a rotary barrel mechanism, and also a washing liquid circulating system 30 is provided, and a washing liquid is circulated between the washing tank 10 and a washing liquid tank 31 in which the washing liquid is stored by a prescribed quantity in advance. A rinsing water circulating system 40 for circulating a rinsing water between a rinsing water tank 41 for storing the rinsing water and the washing tank 10 is provided. Besides, a thermal drying means 50 for drying the material to be washed by hot air and a vacuum drying mechanism 70 for evacuating the washing tank 10 to perform drying are provided. The washing liquid and the rinsing water fed into the washing tank 10 are returned to the tanks 31, 41 by a returning system 60.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、超音波洗浄装置に係
り、特に熱乾燥手段を備える超音波洗浄装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an ultrasonic cleaning device, and more particularly to an ultrasonic cleaning device having a heat drying means.

【0002】[0002]

【従来の技術】図5(A)に従来の構成を示す。この従
来の超音波洗浄装置100は、上方が開口した洗浄槽1
10と、この洗浄槽110の底部に下方から当接し超音
波振動を発生する複数の超音波振動子120と、予め洗
浄液を所定量貯留する洗浄液タンク131と、この洗浄
液タンク131と洗浄槽110との間で洗浄液を循環す
る洗浄液循環系130と、予めすすぎ水を所定量貯留す
るすすぎ水タンク141と、このすすぎ水タンク141
と洗浄槽110との間ですすぎ水を循環するすすぎ水循
環系140と、すすぎの後に、被洗浄物を加熱空気によ
り乾燥させる熱乾燥手段150を有している。
2. Description of the Related Art FIG. 5A shows a conventional structure. This conventional ultrasonic cleaning device 100 is provided with a cleaning tank 1 having an upper opening.
10, a plurality of ultrasonic vibrators 120 that come into contact with the bottom of the cleaning tank 110 from below to generate ultrasonic vibrations, a cleaning liquid tank 131 that stores a predetermined amount of cleaning liquid in advance, the cleaning liquid tank 131, and the cleaning tank 110. A cleaning liquid circulation system 130 for circulating a cleaning liquid between them, a rinse water tank 141 for storing a predetermined amount of rinse water in advance, and this rinse water tank 141
It has a rinse water circulation system 140 for circulating rinse water between the cleaning tank 110 and the cleaning tank 110, and a heat drying means 150 for drying the article to be cleaned with heated air after the rinse.

【0003】これらを詳述すると、まず洗浄槽110
は、その内部に洗浄液またはすすぎ水を満たすことが可
能な容器となっており、その形状は有底の筒状となって
いる。この洗浄槽110の内側底面である内底面110
Aは、平滑であり、この内底面110Aが水平方向とな
るように洗浄槽110この超音波洗浄装置100に組み
込まれている。また、この洗浄槽110には、蓋部11
0Bが設けられており、この蓋部110Bは、開閉自在
となっている。
To explain these in detail, first, the cleaning tank 110.
Is a container that can be filled with cleaning liquid or rinsing water, and has a bottomed tubular shape. The inner bottom surface 110 which is the inner bottom surface of the cleaning tank 110
A is smooth, and the cleaning tank 110 is incorporated in the ultrasonic cleaning device 100 so that the inner bottom surface 110A is horizontal. In addition, the cleaning tank 110 has a lid 11
0B is provided, and the lid 110B is openable and closable.

【0004】洗浄槽110の外部下方には、前述の内底
面110Aに対応する位置に当接して複数の超音波振動
子120が配設されている。洗浄を行う際には、これら
複数の超音波振動子120が超音波振動を発生し、これ
が洗浄槽110の内底面110Aに伝達され、さらにこ
の内底面110Aを介して洗浄槽内部の洗浄液に超音波
振動が伝達されて、洗浄が行われる。
A plurality of ultrasonic transducers 120 are arranged below the outside of the cleaning tank 110 in contact with the positions corresponding to the inner bottom surface 110A. At the time of cleaning, the plurality of ultrasonic vibrators 120 generate ultrasonic vibrations, which are transmitted to the inner bottom surface 110A of the cleaning tank 110, and are further transmitted to the cleaning liquid inside the cleaning tank through the inner bottom surface 110A. The sonic vibration is transmitted and the cleaning is performed.

【0005】洗浄液循環系130は、洗浄液連絡用配管
132と,この洗浄液連絡用配管132に沿った洗浄液
の流動を付勢する洗浄液流動付勢手段とからなり、この
洗浄液連絡用配管132は、洗浄液を貯留している洗浄
液タンク131と洗浄槽110との間に配設された洗浄
液給水用配管133および洗浄液排水用配管134から
構成されている。
The cleaning liquid circulation system 130 comprises a cleaning liquid communication pipe 132 and a cleaning liquid flow urging means for urging the flow of the cleaning liquid along the cleaning liquid communication pipe 132. The cleaning liquid communication pipe 132 is composed of the cleaning liquid communication pipe 132. It is composed of a cleaning liquid water supply pipe 133 and a cleaning liquid drainage pipe 134 which are arranged between the cleaning liquid tank 131 storing the cleaning liquid and the cleaning tank 110.

【0006】洗浄液給水用配管133には、洗浄液流動
付勢手段として給水ポンプ137がこの配管の途中に設
けられている。また、洗浄液排水用配管134は、洗浄
液タンク131が洗浄槽110の下方に配置されてい
る。これにより、重力に従って洗浄槽110内部の洗浄
液は洗浄液タンク131へ帰還するため、洗浄液排水用
配管134の洗浄液流動付勢手段は不要となっている。
The cleaning liquid water supply pipe 133 is provided with a water supply pump 137 as a cleaning liquid flow urging means in the middle of this pipe. Further, in the cleaning liquid drain pipe 134, the cleaning liquid tank 131 is arranged below the cleaning tank 110. As a result, the cleaning liquid inside the cleaning tank 110 returns to the cleaning liquid tank 131 according to gravity, so that the cleaning liquid flow urging means of the cleaning liquid drainage pipe 134 is unnecessary.

【0007】すすぎ水循環系140は、すすぎ水連絡用
配管142と,このすすぎ水連絡用配管142に沿った
すすぎ水の流動を付勢するすすぎ水流動付勢手段とから
なり、このすすぎ水連絡用配管142は、すすぎ水を貯
留しているすすぎ水タンク141と洗浄槽110との間
に配設されたすすぎ水給水用配管143およびすすぎ水
排水用配管144から構成されている。
The rinse water circulation system 140 comprises a rinse water communication pipe 142 and a rinse water flow energizing means for energizing the flow of rinse water along the rinse water communication pipe 142. The pipe 142 is composed of a rinse water supply pipe 143 and a rinse water drainage pipe 144 which are arranged between the rinse water tank 141 storing the rinse water and the cleaning tank 110.

【0008】すすぎ水給水用配管143には、すすぎ水
流動付勢手段として給水ポンプ147がこの配管の途中
に設けられている。また、すすぎ水排水用配管144
は、すすぎ水タンク141が洗浄槽110の下方に配置
されている。これにより、重力に従って洗浄槽110内
部のすすぎ水はすすぎ水タンク141へ帰還するため、
すすぎ水排水用配管144のすすぎ水流動付勢手段は不
要となっている。
The rinse water supply pipe 143 is provided with a water supply pump 147 as a rinse water flow energizing means in the middle of this pipe. Also, the rinse water drainage pipe 144
The rinse water tank 141 is arranged below the cleaning tank 110. As a result, the rinse water inside the cleaning tank 110 returns to the rinse water tank 141 according to gravity,
The rinse water flow urging means of the rinse water drainage pipe 144 is unnecessary.

【0009】図5(B)は、図5(A)に示した熱乾燥
手段の拡大図である。熱乾燥手段150は、一端部が洗
浄槽110の内部に導通すると共に、他端部に外気の取
り入れ口154を有する熱供給管151と、この熱供給
管151の内部の途中箇所に設けられた熱源とから構成
されている。
FIG. 5 (B) is an enlarged view of the heat drying means shown in FIG. 5 (A). The heat-drying means 150 is provided at one end of the heat-supply pipe 151 having the inside of the cleaning tank 110 and the other end thereof having an outside air intake port 154, and at an intermediate position inside the heat-supply pipe 151. It is composed of a heat source.

【0010】即ち、熱供給管151は、その全体が、洗
浄槽110の側壁の外部から内部に導通する配管で構成
されている。そして、洗浄槽110内においてその一端
部は、クランク状に先端がより高い位置に来るように形
成され、さらにその先端には、吹き出し口153が設け
られている。この吹き出し口153は、洗浄槽110内
部に収納された被洗浄物側に向けられており、より効率
良く被洗浄物の乾燥が行われる。
That is, the heat supply pipe 151 is entirely constructed of a pipe that conducts from the outside to the inside of the side wall of the cleaning tank 110. Further, in the cleaning tank 110, one end thereof is formed in a crank shape so that the tip is located at a higher position, and a blowout port 153 is further provided at the tip. The blowout port 153 is directed to the side of the cleaning target housed inside the cleaning tank 110, and the cleaning target is more efficiently dried.

【0011】熱供給管151の他端部には、熱源として
のヒータ152を収納する領域が形成されると共に、ヒ
ータ152に近接して外気の取り入れ口154が設けら
れている。この外気の取り入れ口154には電磁弁15
5が付設され、開閉自在となっている。
At the other end of the heat supply pipe 151, a region for accommodating the heater 152 as a heat source is formed, and an intake port 154 for the outside air is provided in the vicinity of the heater 152. The intake valve 154 for the outside air has a solenoid valve 15
5 is attached and can be opened and closed freely.

【0012】熱源としてのヒータ152は、図示しない
熱供給管151の外部に設けられた電源から電力を供給
されて熱を発生するものであり、このヒータ152の電
源と接続される接続部は熱供給管151の密閉状態を維
持した状態で外部に露出されている。またこのヒータ1
52の周囲には、熱供給管151を構成する管壁の内側
部分とヒータ152との間に間隙が形成されており、外
気の取り入れ口154から取り込まれた外気が、この間
隙を通過する際に、ヒータ152により加熱される構造
となっている。
The heater 152 as a heat source is supplied with electric power from a power source provided outside the heat supply pipe 151 (not shown) to generate heat, and a connecting portion connected to the power source of the heater 152 is a heat source. The supply pipe 151 is exposed to the outside while maintaining the sealed state. Also this heater 1
A gap is formed around 52 between the heater 152 and the inner portion of the wall of the heat supply pipe 151. When the outside air taken in from the outside air intake port 154 passes through this gap. In addition, the structure is such that it is heated by the heater 152.

【0013】上述した超音波洗浄装置100は、洗浄の
際には、洗浄槽110内に被洗浄物が入れられ、給水ポ
ンプ137が作動して洗浄液タンク131内の洗浄液が
洗浄槽に給水される。このとき、各電磁弁は、電磁弁1
35を除き全てが閉鎖されている。
In the above-mentioned ultrasonic cleaning apparatus 100, at the time of cleaning, an object to be cleaned is put in the cleaning tank 110, the water supply pump 137 is operated, and the cleaning liquid in the cleaning liquid tank 131 is supplied to the cleaning tank. . At this time, each solenoid valve is the solenoid valve 1
All but 35 are closed.

【0014】洗浄液が所定量洗浄槽110に給水した
後、給水ポンプ137は停止し、電磁弁は全て閉鎖され
る。そして、超音波振動子120により超音波振動を発
生させ、洗浄槽110の底面部110Aを介して洗浄液
に伝達され、振動状態となった洗浄液の運動により、被
洗浄物の汚れ等の付着物が除去される。
After supplying a predetermined amount of cleaning liquid to the cleaning tank 110, the water supply pump 137 is stopped and all the electromagnetic valves are closed. Then, ultrasonic vibration is generated by the ultrasonic vibrator 120 and transmitted to the cleaning liquid via the bottom surface 110A of the cleaning tank 110, and the movement of the cleaning liquid in the vibrating state causes adhered substances such as dirt on the object to be cleaned. To be removed.

【0015】その後、電磁弁136が開放され、重力に
従い洗浄液は洗浄槽110から洗浄液タンク131に流
動する。
Thereafter, the solenoid valve 136 is opened, and the cleaning liquid flows from the cleaning tank 110 to the cleaning liquid tank 131 according to gravity.

【0016】次に、電磁弁145を開放し、他の全ての
電磁弁を閉鎖状態として、給水ポンプ147が作動して
すすぎ水タンク141内のすすぎ水が洗浄槽110に給
水される。このすすぎ水の給水により、被洗浄物,洗浄
槽110,連絡流路111等の各部に残留した洗浄液が
すすがれ、その後、電磁弁145が閉鎖され、電磁弁1
46が開放される。すすぎ水は、重力に従い洗浄槽11
0からすすぎ水タンク141に流動して帰還する。
Next, the solenoid valve 145 is opened and all the other solenoid valves are closed, and the feed water pump 147 is operated to supply the rinse water in the rinse water tank 141 to the cleaning tank 110. By supplying this rinsing water, the cleaning liquid remaining in each of the parts to be cleaned, the cleaning tank 110, the communication channel 111, and the like is rinsed, and then the solenoid valve 145 is closed and the solenoid valve 1 is closed.
46 is opened. Rinsing water is washed by the washing tank 11 according to gravity.
It flows from 0 to the rinse water tank 141 and returns.

【0017】すすぎ水の排水が終了すると、被洗浄物の
乾燥が行われる。即ち、電磁弁155が開放され、外気
の取り入れ口154から、外部の空気圧縮手段により、
圧縮空気が送り込まれる。圧縮空気は、ヒータ152の
周囲の間隙を通過する際に加熱され、さらに熱供給管1
51に案内されて、吹き出し口153から被洗浄物に吹
き付けられる。この吹き付けが所定時間行われた後、一
連の洗浄動作が終了する。
When the drainage of the rinse water is completed, the object to be cleaned is dried. That is, the solenoid valve 155 is opened, and the external air compressing means is used from the outside air intake port 154.
Compressed air is sent in. The compressed air is heated as it passes through the gap around the heater 152, and is further heated by the heat supply pipe 1.
The object to be cleaned is blown from the blowout port 153 by being guided by 51. After this spraying is performed for a predetermined time, a series of cleaning operations is completed.

【0018】[0018]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来例は、熱乾燥手段150が、直線形状の熱供給管15
1の内部にヒータ152を配置して,この熱供給管15
1とヒータ152との間隙に空気を流通させる構成とな
っており、これらの内、熱供給管151の吹き出し口1
53側の一部を除き、この熱乾燥手段150の主要部が
洗浄槽110の外部に配設されているために、この熱乾
燥手段150が洗浄槽110から大きく突出してしま
い、装置の小型化の大きな障害となっていた。
However, in the above-described conventional example, the heat drying means 150 has the linear heat supply pipe 15.
The heater 152 is arranged inside the heat supply pipe 15
1 and the heater 152, air is circulated in the gap, and among these, the blowout port 1 of the heat supply pipe 151
Since the main part of the heat drying means 150 is disposed outside the cleaning tank 110 except for a part on the 53 side, the heat drying means 150 largely projects from the cleaning tank 110, and the apparatus is downsized. Was a big obstacle for me.

【0019】さらに、ヒータ152が洗浄槽110の外
部にあるために、洗浄槽110の外部への放熱が激し
く、熱効率が悪くなっていた。これに対処する手段とし
て、熱供給管151の周囲に断熱材を配設する方法等が
あるが、この方法では、装置の材料コストが上昇し、ま
た、この熱乾燥手段がさらに大型化するという不都合が
生じていた。
Further, since the heater 152 is located outside the cleaning tank 110, heat is radiated to the outside of the cleaning tank 110, resulting in poor thermal efficiency. As a means for coping with this, there is a method of arranging a heat insulating material around the heat supply pipe 151. However, this method increases the material cost of the apparatus and further increases the size of the heat drying means. There was a problem.

【0020】[0020]

【発明の目的】本発明は、かかる従来例の有する不都合
を改善し、装置を小型化すると共に、熱乾燥を良好に行
い得る超音波洗浄装置を提供することを、その目的とす
る。
SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide an ultrasonic cleaning device which is capable of improving the disadvantages of the conventional example, downsizing the device, and favorably performing thermal drying.

【0021】[0021]

【課題を解決するための手段】本発明では、上方が開口
した有底容器である洗浄槽本体と開閉自在の蓋部とから
なる洗浄槽と、この洗浄槽の底部に下方から当接し超音
波振動を発生する超音波振動子と、予め洗浄液を所定量
貯留する洗浄液タンクと、この洗浄液タンクと洗浄槽と
の間で洗浄液の循環を行う洗浄液循環系と、予めすすぎ
水を所定量貯留するすすぎ水タンクと、このすすぎ水タ
ンクと洗浄槽との間ですすぎ水の循環を行うすすぎ水循
環系と、洗浄槽内部に加熱空気を供給する熱乾燥手段と
を有している。
According to the present invention, a cleaning tank comprising a cleaning tank main body which is a bottomed container having an opening at the top and an openable / closable lid, and an ultrasonic wave which abuts the bottom of the cleaning tank from below. An ultrasonic transducer that generates vibration, a cleaning liquid tank that stores a predetermined amount of cleaning liquid in advance, a cleaning liquid circulation system that circulates the cleaning liquid between the cleaning liquid tank and the cleaning tank, and a rinse that stores a predetermined amount of rinse water in advance. It has a water tank, a rinse water circulation system for circulating rinse water between the rinse water tank and the cleaning tank, and a heat drying means for supplying heated air into the cleaning tank.

【0022】上述の熱乾燥手段は、一端に外気の取り入
れ口を備え,他端に洗浄槽内部への吹き出し口を備える
導通パイプと、この導通パイプ内を流通する外気を加熱
する熱源とを備えている。
The above-mentioned heat drying means is provided with a conduction pipe having an outside air intake port at one end and an outlet port into the cleaning tank at the other end, and a heat source for heating the outside air flowing in the conduction pipe. ing.

【0023】また、蓋部の内側に熱乾燥手段を配置する
領域を備えているという構成を採っている。これによっ
て前述した目的を達成しようとするものである。
Further, a structure in which a region for disposing the heat drying means is provided inside the lid is adopted. This aims to achieve the above-mentioned object.

【0024】[0024]

【作用】上記の構成により洗浄を行う際には、まず、洗
浄槽の蓋部が開けられ、洗浄槽の内部に被洗浄物を収納
する。収納後、蓋部は閉じられる。そして、洗浄液タン
ク内の洗浄液が、洗浄液循環系により洗浄槽に給水され
る。
When the cleaning is performed with the above structure, first, the lid of the cleaning tank is opened, and the object to be cleaned is stored inside the cleaning tank. After storage, the lid is closed. Then, the cleaning liquid in the cleaning liquid tank is supplied to the cleaning tank by the cleaning liquid circulation system.

【0025】洗浄槽内部に、所定量の洗浄液が給水され
ると給水を停止し、洗浄槽の底面部に下方から当接する
超音波振動子により超音波振動を発生させる。この超音
波振動は洗浄槽の底面部を介して洗浄液に伝達され、振
動状態となった洗浄液の運動により、被洗浄物の汚れ等
の付着物が除去される。
When a predetermined amount of cleaning liquid is supplied to the inside of the cleaning tank, the water supply is stopped, and ultrasonic vibration is generated by an ultrasonic vibrator that abuts the bottom of the cleaning tank from below. This ultrasonic vibration is transmitted to the cleaning liquid via the bottom surface of the cleaning tank, and the movement of the cleaning liquid in the vibrating state removes dirt and other deposits on the object to be cleaned.

【0026】被洗浄物の付着物の除去が終了すると、洗
浄液循環系により、洗浄槽内の洗浄液が洗浄液タンク側
に排水される。
When the removal of the deposits on the object to be cleaned is completed, the cleaning liquid circulating system drains the cleaning liquid in the cleaning tank to the cleaning liquid tank side.

【0027】洗浄液の排水が終了すると、すすぎ水循環
系によって、すすぎ水タンクから洗浄槽内へ向かってす
すぎ水の給水が行われる。
When the drainage of the cleaning liquid is completed, the rinse water is supplied from the rinse water tank into the cleaning tank by the rinse water circulation system.

【0028】給水後、このすすぎ水により、洗浄の際に
表面張力等の影響により洗浄槽,被洗浄物等に残留した
洗浄液を洗い流す。そして、すすぎ水循環系により、洗
浄槽内部のすすぎ水をすすぎ水タンクに帰還させる。
After the water is supplied, the rinsing water is used to wash away the cleaning liquid remaining in the cleaning tank, the object to be cleaned and the like due to the influence of the surface tension during cleaning. Then, the rinse water circulating system returns the rinse water inside the cleaning tank to the rinse water tank.

【0029】洗浄槽内部からすすぎ水が排水されると、
熱乾燥が行われる。即ち、熱乾燥手段の外気の取り入れ
口から外気が送り込まれ、この外気が、導通パイプ内を
流通して、このパイプ内で加熱され、加熱空気となって
吹き出し口から洗浄槽内部に吐出される。吐出された加
熱空気は、被洗浄物に付着した残留すすぎ水の乾燥を促
進する。以上により、本発明の各部の動作が終了する。
When the rinse water is drained from the inside of the washing tank,
Heat drying is performed. That is, the outside air is sent from the outside air intake port of the heat drying means, the outside air flows through the inside of the conduction pipe, is heated in the pipe, becomes heated air, and is discharged from the outlet port into the cleaning tank. . The discharged heated air accelerates the drying of the residual rinse water adhering to the object to be cleaned. With the above, the operation of each unit of the present invention is completed.

【0030】[0030]

【実施例】本発明の一実施例を図1乃至図4に基づいて
説明する。図1(A)は、本実施例の全体構成を示す説
明図である。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENT An embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. FIG. 1A is an explanatory diagram showing the overall configuration of this embodiment.

【0031】本実施例は、底面部の内底面が水平な洗浄
槽10と、この洗浄槽10の底面部に下方から当接し超
音波振動を発生する超音波振動子25と、予め洗浄液を
所定量貯留する洗浄液タンク31と、この洗浄液タンク
31と洗浄槽10との間で洗浄液を循環する洗浄液循環
系30と、予めすすぎ水を所定量貯留するすすぎ水タン
ク41と、このすすぎ水タンク41と洗浄槽10との間
ですすぎ水を循環するすすぎ水循環系40とを有し、洗
浄槽10に連絡流路を介して所定の内部空間を有するヘ
ッダ領域17を併設している超音波洗浄装置1である。
In this embodiment, the cleaning tank 10 has a horizontal inner bottom surface, the ultrasonic vibrator 25 that abuts the bottom surface of the cleaning tank 10 from below to generate ultrasonic vibration, and the cleaning liquid is preliminarily provided. A cleaning liquid tank 31 that stores a fixed amount, a cleaning liquid circulation system 30 that circulates the cleaning liquid between the cleaning liquid tank 31 and the cleaning tank 10, a rinse water tank 41 that stores a predetermined amount of rinse water in advance, and this rinse water tank 41. An ultrasonic cleaning apparatus 1 that has a rinse water circulation system 40 that circulates rinse water between the cleaning tank 10 and a header region 17 having a predetermined internal space provided alongside the communication path in the cleaning tank 10. Is.

【0032】さらに、この超音波洗浄装置1は、加熱空
気により被洗浄物を乾燥させる熱乾燥手段50と,洗浄
槽10内部を真空にして乾燥を図る真空乾燥機構70
と,洗浄槽10内部において一定の高さ以上給水された
洗浄液またはすすぎ水をそれぞれのタンクに返還する返
還系60とを洗浄槽10に併設すると共に、被洗浄物を
収納し回転させるバレル機構を洗浄槽10の内部に備え
ている。
Further, the ultrasonic cleaning apparatus 1 includes a heat drying means 50 for drying an object to be cleaned with heated air and a vacuum drying mechanism 70 for vacuuming the inside of the cleaning tank 10 for drying.
And a return system 60 for returning the cleaning liquid or rinsing water, which has been supplied at a certain height or more inside the cleaning tank 10, to the cleaning tank 10, and a barrel mechanism for storing and rotating the object to be cleaned. It is provided inside the cleaning tank 10.

【0033】上述した各部を詳述する。Each of the above-mentioned parts will be described in detail.

【0034】本実施例の洗浄槽10は、後述する真空乾
燥機構70により内部を真空にする場合に備えて、その
構造は強固であり,また密閉可能となっている。即ち、
円筒状に形成された洗浄槽本体11と、洗浄槽本体11
の下方開口端を塞ぐように固定装備された底面部と、洗
浄槽本体11の上方開口端で開閉自在に設けられた蓋部
13とから構成される。
The cleaning tank 10 of the present embodiment has a strong structure and can be hermetically sealed in preparation for the case where the inside is evacuated by a vacuum drying mechanism 70 which will be described later. That is,
Cleaning tank main body 11 formed in a cylindrical shape, and cleaning tank main body 11
Of the cleaning tank body 11 and a lid portion 13 which is openably and closably provided at the upper opening end of the cleaning tank body 11.

【0035】洗浄槽本体11は鋼材からなる円筒形状部
材であり、軸方向の断面が円形であることから、内部真
空時の外部圧力に対する耐久力に優れた構造となってい
る。また、この洗浄槽本体11の上方開口部に沿ってフ
ランジ11Aが装備されており、後述する蓋部13に装
備されたフランジ13Aとこのフランジ11Aは、ほぼ
同じ大きさで、蓋部13の閉鎖時に互いに対応するよう
に配置されている。
The cleaning tank main body 11 is a cylindrical member made of steel and has a circular cross section in the axial direction, so that it has a structure excellent in durability against external pressure during internal vacuum. Further, a flange 11A is provided along the upper opening of the cleaning tank body 11, and the flange 13A provided on the lid 13 described later and the flange 11A have substantially the same size, and the lid 13 is closed. Sometimes they are arranged to correspond to each other.

【0036】蓋部13は、上述の洗浄槽本体11の外径
より大きい径の球面の一部を平面で切りとった形状から
なり、球面側を上方に向け、切り口に相当する側を洗浄
槽本体11側に向けて配設されている。この球面形状に
より、外圧に対して耐久力に優れた構造となっている。
また、球面状であるために、蓋部13の内側には空間部
が形成され、この空間部を配置領域として、熱乾燥手段
50が配設されている。
The lid 13 has a shape in which a part of a spherical surface having a diameter larger than the outer diameter of the cleaning tank body 11 is cut off by a flat surface, the spherical surface side faces upward, and the side corresponding to the cut end is the cleaning tank body. It is arranged toward the 11 side. Due to this spherical shape, the structure has excellent durability against external pressure.
Further, because of the spherical shape, a space portion is formed inside the lid portion 13, and the heat drying means 50 is arranged with the space portion as an arrangement area.

【0037】蓋部13の洗浄槽本体11側には、前述し
たようにフランジ13Aが設けられており、蓋部13の
閉鎖時には、このフランジ13Aが、洗浄槽本体11の
フランジ11Aと、パッキング11aを介挿して対向す
る。このパッキング11aは、前述した洗浄槽本体11
のフランジ11Aに予め設けられた溝11bに担持され
ており、このパッキング11aにより、洗浄槽本体11
と蓋部13との間の密閉性が保持されている。
As described above, the flange 13A is provided on the cleaning tank body 11 side of the lid portion 13, and when the lid portion 13 is closed, this flange 13A is the flange 11A of the cleaning tank body 11 and the packing 11a. To face each other. The packing 11a is the cleaning tank body 11 described above.
It is carried in a groove 11b provided in advance on the flange 11A of the cleaning tank main body 11 by this packing 11a.
The airtightness between the lid 13 and the lid 13 is maintained.

【0038】また、この蓋部13は、図1(A)におけ
る右端部に回動支点16および回動アーム14,15を
介して、洗浄槽本体11と連結されており、一方の回動
アーム14の回動端は洗浄槽本体11に固定され、他方
の回動アーム15の回動端はこの蓋部13と連結されて
いる。これにより、蓋部13は、洗浄槽本体11に対し
て回動自在となっている。
The lid 13 is connected to the cleaning tank main body 11 at the right end in FIG. 1 (A) via a pivot fulcrum 16 and pivot arms 14 and 15, and one pivot arm is provided. The rotating end of 14 is fixed to the cleaning tank main body 11, and the rotating end of the other rotating arm 15 is connected to the lid 13. As a result, the lid 13 is rotatable with respect to the cleaning tank body 11.

【0039】蓋部13の上部中心には、洗浄槽10内部
から外部に導通する通気口13aが設けられており、こ
の通気口13aの外側には、当該通気口13aよりも大
きい開閉蓋13bが設けられている。この開閉蓋13b
は、洗浄槽10の外側方向に回動自在であり、また通気
口13aの縁の部分と当接する箇所に図示しないシール
部材が配設され、さらに、常時この開閉蓋13bが閉鎖
される方向に一定の力で付勢する重り13cが設けられ
ている。
A vent 13a is provided at the center of the upper part of the lid 13 so as to communicate from the inside of the cleaning tank 10 to the outside, and an opening / closing lid 13b larger than the vent 13a is provided outside the vent 13a. It is provided. This open / close lid 13b
Is rotatable in the outer direction of the cleaning tank 10, and a seal member (not shown) is disposed at a position where it abuts on the edge portion of the ventilation port 13a. Further, the opening / closing lid 13b is always closed. A weight 13c that biases with a constant force is provided.

【0040】これにより、洗浄槽10の内部圧力が上昇
した場合には、この開閉蓋13bは内部圧力に押されて
開放状態(図中の二点鎖線状態)となり、また後述する
真空乾燥を行う際には、閉鎖状態となり、シール部材に
より洗浄槽内部への外気の進入を防止する。また、この
開閉蓋13bが90度以上開くことがないように、開閉
蓋13bの回動を制限する部材を設けても良い。
As a result, when the internal pressure of the cleaning tank 10 rises, the opening / closing lid 13b is pushed by the internal pressure to be in the open state (the state of two-dot chain line in the figure), and vacuum drying described later is performed. At this time, it is closed, and the sealing member prevents outside air from entering the inside of the cleaning tank. Further, a member for restricting the rotation of the opening / closing lid 13b may be provided so that the opening / closing lid 13b does not open more than 90 degrees.

【0041】洗浄槽本体11の下方は、底面板12が付
設され、この底面板12は、溶接,溶着,接着等の手段
により洗浄槽本体11に固定されており、これにより洗
浄槽本体11と底面板12との間の密閉性が保持されて
いる。この底面板12を洗浄槽本体11と固着すること
により、有底の容器が形成される。この容器の内側の底
面である内底面10Aは、平滑に形成され、且つこの内
底面10Aが水平状態となるように洗浄槽10は、超音
波洗浄装置1に付設されている。
A bottom plate 12 is attached below the cleaning tank main body 11, and the bottom plate 12 is fixed to the cleaning tank main body 11 by means such as welding, welding, and adhesion. The hermeticity with the bottom plate 12 is maintained. By fixing the bottom plate 12 to the cleaning tank body 11, a bottomed container is formed. The inner bottom surface 10A, which is the inner bottom surface of the container, is formed to be smooth, and the cleaning tank 10 is attached to the ultrasonic cleaning device 1 so that the inner bottom surface 10A is in a horizontal state.

【0042】上述の構成からなる洗浄槽10の外部下方
には、底面板12に当接して複数の超音波振動子25が
配設されている。本実施例では、四つの超音波振動子2
5が配設されているが、この個数に限定されず、より多
く付設しても良い。この超音波振動子25は、ボルト締
め振動子であり、発振回路26により発振周波数の電圧
の印可を受けると超音波振動を発生する。
A plurality of ultrasonic transducers 25 are disposed in contact with the bottom plate 12 below the outside of the cleaning tank 10 having the above-mentioned structure. In this embodiment, four ultrasonic transducers 2
Although 5 is provided, it is not limited to this number and more may be provided. The ultrasonic oscillator 25 is a bolt-tightened oscillator, and generates ultrasonic vibration when it is applied with a voltage having an oscillation frequency by the oscillation circuit 26.

【0043】洗浄槽10内部には、バレル機構20が配
設されている。このバレル機構20は、バレル本体21
と,支えアーム22と,図示しない回転駆動手段等を有
している。バレル本体21は、この内部に、被洗浄物を
収納可能とする正六角形の収納容器となっている。
A barrel mechanism 20 is disposed inside the cleaning tank 10. The barrel mechanism 20 includes a barrel body 21.
It has a support arm 22, and a rotation driving means (not shown). The barrel main body 21 is a regular hexagonal storage container capable of storing an object to be cleaned therein.

【0044】このバレル本体21は、パッチングメタル
で構成されており、このパッチングメタルの表面上に形
成された直径6[mm]程の無数の穴は、後述する本実
施例の各動作を妨げない。すなわち、洗浄の際には、洗
浄液を介する超音波振動の伝達を妨げること無く、ま
た、すすぎ水の流通も容易になされ、さらに、熱乾燥の
際にも、熱風を容易に内部まで流通させる。
The barrel main body 21 is made of patching metal, and the innumerable holes having a diameter of 6 [mm] formed on the surface of the patching metal do not interfere with each operation of this embodiment described later. . That is, during cleaning, the transmission of ultrasonic vibrations through the cleaning liquid is not hindered, and rinse water is easily distributed. Further, hot air is easily distributed to the inside during thermal drying.

【0045】また、このバレル本体21の六角形形状の
中心位置には、回動支点23が設けられており(図1
(A)中に図示される面の反対側にもこの回動支点が設
けられているがここでは図示略)、この回動支点23に
は、図示しない回転駆動手段が伝達機構を介して係合し
ている。
A rotation fulcrum 23 is provided at the center of the hexagonal shape of the barrel body 21 (see FIG. 1).
This rotation fulcrum is also provided on the side opposite to the surface shown in (A), but is not shown here.) At this rotation fulcrum 23, a rotation driving means (not shown) is engaged via a transmission mechanism. I am fit.

【0046】支えアーム22は、洗浄槽10内部におい
て洗浄槽本体11の内壁に図示のように架設されている
(バレル本体21の回動支点と同様にしてバレル本体2
1の反対側にもう一つの支えアームが設けられている
が、図示は省略する)。この支えアーム22は、その中
心部分がU字状に曲折されており、このU字状の曲折部
分で上述のバレル本体21の回動支点を回動自在且つ着
脱自在に担持する。
The support arm 22 is installed inside the cleaning tank 10 on the inner wall of the cleaning tank main body 11 as shown in the drawing (in the same manner as the rotation fulcrum of the barrel main body 21, the barrel main body 2).
Another supporting arm is provided on the opposite side of 1, but not shown). The support arm 22 is bent in a U-shape at its central portion, and the U-shaped bent portion rotatably and detachably carries the rotation fulcrum of the barrel main body 21.

【0047】上述のように、バレル機構20は構成され
るが、バレル本体21の形状については、正六角形では
なく円形,または他の正多角形でも良い。
Although the barrel mechanism 20 is constructed as described above, the shape of the barrel body 21 may be circular instead of regular hexagon or other regular polygon.

【0048】洗浄槽10は、前述したように、その内部
において、被洗浄物の洗浄,すすぎ,乾燥等の各動作が
行われる。これらの各動作の内、洗浄とすすぎについて
は、この洗浄槽10内部に、それぞれ洗浄液とすすぎ水
が給水されて行われる。従って、この超音波洗浄装置1
には、洗浄液およびすすぎ水の給・排水を行うための洗
浄液循環系30およびすすぎ水循環系40と、洗浄液お
よびすすぎ水の供給源となる洗浄液タンク31およびす
すぎ水タンク41とが設けられている。
As described above, the cleaning tank 10 performs various operations such as cleaning, rinsing, and drying of the object to be cleaned. Of these operations, cleaning and rinsing are performed by supplying cleaning liquid and rinsing water to the inside of the cleaning tank 10. Therefore, this ultrasonic cleaning device 1
The cleaning liquid circulation system 30 and the rinse water circulation system 40 for supplying and draining the cleaning liquid and the rinse water, and the cleaning liquid tank 31 and the rinse water tank 41 which are the supply sources of the cleaning liquid and the rinse water are provided in the.

【0049】この内、洗浄液循環系30は、洗浄液連絡
用配管32と,この洗浄液連絡用配管32に沿った洗浄
液の流動を付勢する洗浄液流動付勢手段とからなり、こ
の洗浄液連絡用配管32は、洗浄液を貯留している洗浄
液タンク31と洗浄槽10との間に配設された洗浄液給
水用配管33および洗浄液排水用配管34から構成され
ている。
Of these, the cleaning liquid circulation system 30 comprises a cleaning liquid communication pipe 32 and a cleaning liquid flow urging means for urging the flow of the cleaning liquid along the cleaning liquid communication pipe 32. Is composed of a cleaning liquid water supply pipe 33 and a cleaning liquid drain pipe 34 arranged between the cleaning liquid tank 31 storing the cleaning liquid and the cleaning tank 10.

【0050】洗浄液給水用配管33には、洗浄液流動付
勢手段として給水ポンプ37がこの配管の途中に設けら
れている。一方、洗浄液排水用配管34には、液体が高
所から低所へ流れ落ちる性質を利用して、洗浄液タンク
31を洗浄槽10の下方に配置することにより(図3参
照)、洗浄液流動付勢手段を不要としている。また、こ
の場合、洗浄液排水用配管34は、洗浄液が滞りなく洗
浄液タンク31に導かれるように、洗浄液排水用配管3
4の全領域において、水平方向,または洗浄槽10から
洗浄液タンク31へ向かう方向に対して傾斜,下降方向
に配設されている。
In the cleaning liquid water supply pipe 33, a water supply pump 37 as a cleaning liquid flow urging means is provided in the middle of this pipe. On the other hand, in the cleaning liquid drainage pipe 34, the cleaning liquid tank 31 is arranged below the cleaning tank 10 by utilizing the property that the liquid flows down from a high place to a low place (see FIG. 3), so that the cleaning liquid flow urging means is provided. Is unnecessary. Further, in this case, the cleaning liquid drainage pipe 34 is arranged so that the cleaning liquid is guided to the cleaning liquid tank 31 without delay.
In all regions of 4, the nozzles are arranged in the horizontal direction, or in the inclined and descending direction with respect to the direction from the cleaning tank 10 to the cleaning liquid tank 31.

【0051】また、この洗浄液給水用配管33は,給水
ポンプ37と洗浄槽10の間で、二股に分離して、再び
その下流側で合流する形状となっている。この分離箇所
の一方には、フィルター39およびこのフィルター39
に前後して二つの手動弁39A,39Bが設けられ、他
方には、手動弁39Cのみが設けられている。
Further, the cleaning liquid water supply pipe 33 is bifurcated between the water supply pump 37 and the cleaning tank 10 and joins again on the downstream side thereof. The filter 39 and the filter 39 are provided on one of the separation points.
Two manual valves 39A and 39B are provided in front of and behind, and only the manual valve 39C is provided on the other side.

【0052】通常は手動弁39Cを閉鎖し、手動弁39
A,39Bを開放して、フィルター39側に洗浄液を流
すことにより、洗浄液中の不純物が取り除かれて、常に
清浄な状態で洗浄槽10に供給される。一方、フィルタ
ー39の洗浄能力が低下した場合には、手動弁39A,
39Bを閉鎖し、手動弁39Cを開放することにより、
洗浄液の流動時においてもフィルター39の交換可能な
構造となっている。
Normally, the manual valve 39C is closed and the manual valve 39C is closed.
By opening A and 39B and flowing the cleaning liquid to the filter 39 side, impurities in the cleaning liquid are removed and the cleaning liquid is always supplied to the cleaning tank 10 in a clean state. On the other hand, when the cleaning ability of the filter 39 is lowered, the manual valve 39A,
By closing 39B and opening the manual valve 39C,
The structure is such that the filter 39 can be replaced even when the cleaning liquid flows.

【0053】上述の洗浄液タンク31は、洗浄槽10に
洗浄液を充分に供給するだけの容積を有している。この
洗浄液タンク31には外部と導通する空気の流通が可能
な弁を設けても良い。これにより、洗浄液タンク31の
内部圧力の変化により、洗浄液の流動の妨げとなる状態
を回避することが可能である。
The above-mentioned cleaning liquid tank 31 has a capacity sufficient to supply the cleaning liquid to the cleaning tank 10. The cleaning liquid tank 31 may be provided with a valve that allows air to flow therethrough to communicate with the outside. As a result, it is possible to avoid a state in which the flow of the cleaning liquid is hindered due to a change in the internal pressure of the cleaning liquid tank 31.

【0054】すすぎ水循環系40は、すすぎ水連絡用配
管42と,このすすぎ水連絡用配管42に沿ったすすぎ
水の流動を付勢するすすぎ水流動付勢手段とからなり、
このすすぎ水連絡用配管42は、すすぎ水を貯留してい
るすすぎ水タンク41と洗浄槽10との間に配設された
すすぎ水給水用配管43およびすすぎ水排水用配管44
から構成されている。
The rinse water circulation system 40 comprises a rinse water communication pipe 42 and a rinse water flow energizing means for energizing the flow of rinse water along the rinse water communication pipe 42.
The rinse water communication pipe 42 is provided between the rinse water tank 41 storing the rinse water and the cleaning tank 10, and the rinse water supply pipe 43 and the rinse water drainage pipe 44.
It consists of

【0055】すすぎ水給水用配管43には、すすぎ水流
動付勢手段として給水ポンプ47がこの配管の途中に設
けられている。一方、すすぎ水排水用配管44には、液
体が高所から低所へ流れ落ちる性質を利用して、すすぎ
水タンク41を洗浄槽10の下方に配置することにより
(図3参照)、すすぎ水流動付勢手段を不要としてい
る。また、この場合、すすぎ水排水用配管44は、すす
ぎ水が滞りなくすすぎ水タンク41に導かれるように、
すすぎ水排水用配管44の全領域において、水平方向,
または洗浄槽10からすすぎ水タンク41へ向かう方向
に下降,傾斜して配設されている。
In the rinse water supply pipe 43, a water supply pump 47 is provided in the middle of this pipe as a rinse water flow urging means. On the other hand, in the rinsing water drainage pipe 44, by arranging the rinsing water tank 41 below the cleaning tank 10 by utilizing the property that the liquid flows down from a high place to a low place (see FIG. 3), the rinsing water flow can be reduced. No biasing means is required. Further, in this case, the rinsing water drainage pipe 44 allows the rinsing water to be guided to the rinsing water tank 41 without any lag.
In the entire region of the rinse water drainage pipe 44, in the horizontal direction,
Alternatively, it is arranged so as to descend and incline in the direction from the cleaning tank 10 to the rinse water tank 41.

【0056】また、このすすぎ水給水用配管43は,給
水ポンプ47と洗浄槽10の間で、二股に分離して、再
びその下流側で合流する形状となっている。この分離箇
所の一方には、フィルター49およびこのフィルター4
9に前後して二つの手動弁49A,49Bが設けられ、
他方には、手動弁49Cのみが設けられている。
The rinsing water supply pipe 43 is bifurcated between the water supply pump 47 and the cleaning tank 10 and joins again on the downstream side. The filter 49 and the filter 4 are provided on one of the separation points.
Two manual valves 49A and 49B are provided in front of and behind 9,
On the other hand, only the manual valve 49C is provided.

【0057】通常は手動弁49Cを閉鎖し、手動弁49
A,49Bを開放して、フィルター49側にすすぎ水を
流すことにより、すすぎ水中の不純物が取り除かれて、
常に清浄な状態で洗浄槽10に供給される。一方、フィ
ルター49の洗浄能力が低下した場合には、手動弁49
A,49Bを閉鎖し、手動弁49Cを開放することによ
り、すすぎ水の流動時においてもフィルター49の交換
が行える構造となっている。
Normally, the manual valve 49C is closed and the manual valve 49C is closed.
By opening A and 49B and flowing rinse water to the filter 49 side, impurities in the rinse water are removed,
The cleaning tank 10 is always supplied in a clean state. On the other hand, when the cleaning ability of the filter 49 is reduced, the manual valve 49
By closing A and 49B and opening the manual valve 49C, the filter 49 can be replaced even when the rinse water is flowing.

【0058】上述のすすぎ水タンク41は、洗浄槽10
にすすぎ水を充分に供給するだけの容積を有している。
このすすぎ水タンク41には外部と導通する空気の流通
が可能な弁を設けても良い。これにより、すすぎ水タン
ク41の内部圧力の変化により、すすぎ水の流動の妨げ
となる状態を回避することが可能である。
The rinse water tank 41 is the cleaning tank 10
It has a volume enough to supply sufficient rinsing water.
The rinse water tank 41 may be provided with a valve that allows air to flow therethrough to communicate with the outside. As a result, it is possible to avoid a state in which the flow of the rinse water is hindered due to a change in the internal pressure of the rinse water tank 41.

【0059】上述した洗浄液給水用配管33,洗浄液排
水用配管34,すすぎ水給水用配管43,およびすすぎ
水排水用配管44の各配管は皆、洗浄槽10に直接連結
されているのではなく、洗浄槽10に併設されたヘッダ
領域17を介して連結されている。このヘッダ領域17
は、洗浄槽10から水平方向に延びる連絡流路18を介
して洗浄槽10と連結されている。図1(B)は、ヘッ
ダ領域17を図1(A)の矢印A方向からみた部分側面
図である。
The above-mentioned cleaning liquid water supply pipe 33, cleaning liquid drainage pipe 34, rinse water supply pipe 43, and rinse water drainage pipe 44 are not all directly connected to the cleaning tank 10. The cleaning tank 10 is connected to the cleaning tank 10 via a header area 17. This header area 17
Are connected to the cleaning tank 10 via a connecting flow path 18 extending horizontally from the cleaning tank 10. FIG. 1B is a partial side view of the header area 17 seen from the direction of arrow A in FIG.

【0060】このヘッダ領域17は、直方体形状の内部
空間を有する容器であり、この内部空間には内底面17
Aが形成されている。また、このヘッダ領域17と洗浄
槽10との連絡流路18にも内底面18Aが形成されて
おり、これらの内底面17A,18Aと洗浄槽10の内
底面10Aとは、一様に同じ高さで且つ水平に設定され
ている。
The header area 17 is a container having an inner space of a rectangular parallelepiped shape, and the inner bottom surface 17 is provided in this inner space.
A is formed. In addition, an inner bottom surface 18A is also formed in the communication flow path 18 between the header region 17 and the cleaning tank 10, and the inner bottom surfaces 17A, 18A and the inner bottom surface 10A of the cleaning tank 10 have the same height. It is set horizontally.

【0061】さらに、洗浄液給水用配管33,洗浄液排
水用配管34,すすぎ水給水用配管43,およびすすぎ
水排水用配管44の各々には、ヘッダ領域17との連結
部に近接して、電気信号により開閉が行われる開閉弁で
ある電磁弁35,36,45,46が設けられている。
これらの連結状態を図1(B)に基づいて説明すると、
上述の各配管の中で、洗浄液給水用配管33と洗浄液排
水用配管34とは、両方とも水平方向からヘッダ領域1
7の左側に連結されており、特に、洗浄液排水用配管3
4は、その内部に形成される内底面34Aがヘッダ領域
17の内底面17Aと高さが一様となるように連結され
ている。
Further, each of the cleaning liquid water supply pipe 33, the cleaning liquid drainage pipe 34, the rinse water water supply pipe 43, and the rinse water drainage pipe 44 is close to the connection portion with the header region 17, and an electric signal is provided. Solenoid valves 35, 36, 45, and 46, which are opening / closing valves that are opened and closed by, are provided.
When these connection states are explained based on FIG. 1 (B),
In each of the above-mentioned pipes, the cleaning liquid water supply pipe 33 and the cleaning liquid drainage pipe 34 are both in the header region 1 from the horizontal direction.
7 is connected to the left side, especially the cleaning liquid drainage pipe 3
4 has an inner bottom surface 34A formed therein and is connected to the inner bottom surface 17A of the header region 17 so as to have a uniform height.

【0062】また、すすぎ水給水用配管43とすすぎ水
排水用配管44とは、両方とも水平方向からヘッダ領域
17の右側に連結されており、特に、すすぎ水排水用配
管44は、その内部に形成される内底面44Aがヘッダ
領域17の内底面17Aと高さが一様となるように連結
されている。ここで、洗浄液またはすすぎ水の流動の際
にそれぞれ干渉することがないように、このヘッダ領域
17の図1(B)における横方向の幅をある一定の間隔
に設定している。
The rinsing water supply pipe 43 and the rinsing water drainage pipe 44 are both connected to the right side of the header region 17 from the horizontal direction, and in particular, the rinsing water drainage pipe 44 is provided inside thereof. The formed inner bottom surface 44A is connected to the inner bottom surface 17A of the header region 17 so as to have a uniform height. Here, the width of the header region 17 in the horizontal direction in FIG. 1B is set to a certain interval so as not to interfere with each other when the cleaning liquid or the rinse water flows.

【0063】ヘッダ領域17と各配管33,34,4
3,44とが上記のように連結されることにより、洗浄
槽10から洗浄液またはすすぎ水が、各排水用配管3
4,44を通り排水される際に、これらの洗浄液または
すすぎ水が洗浄槽10の内底面10A,連絡流路18の
内底面18A,ヘッダ領域17の内底面17A、および
各排水用配管34,44の連結部一帯の水平部分の内底
面34A,44Aに残留しない構造となっている。
The header area 17 and the pipes 33, 34, 4
By connecting 3 and 44 as described above, the cleaning liquid or rinsing water from the cleaning tank 10 can be used for each drainage pipe 3
When being drained through 4, 44, these cleaning liquids or rinsing water are the inner bottom surface 10A of the cleaning tank 10, the inner bottom surface 18A of the communication channel 18, the inner bottom surface 17A of the header region 17, and the drainage pipes 34, The structure is such that it does not remain on the inner bottom surfaces 34A, 44A of the horizontal portion of the connecting portion 44 of 44.

【0064】次に、返還系60を説明する。本実施例で
は、洗浄または、すすぎを行う際に、これらの動作が終
了するまで、洗浄槽10への洗浄液またはすすぎ水の給
水は継続される。返還系60は、この給水の持続によ
り、洗浄槽10内部の一定の高さを越える洗浄液または
すすぎ水を、洗浄液タンク31またはすすぎ水タンク4
1に返還する各配管等により主に構成される。
Next, the return system 60 will be described. In the present embodiment, when cleaning or rinsing is performed, the supply of cleaning liquid or rinsing water to the cleaning tank 10 is continued until these operations are completed. Due to the continuation of the water supply, the return system 60 causes the cleaning liquid tank 31 or the rinsing water tank 4 to transfer the cleaning liquid or rinsing water that exceeds a certain height inside the cleaning tank 10.
Mainly composed of each pipe returned to 1.

【0065】即ち、図1(A)に示されるように、洗浄
槽10内に配設され,上端部が所定の高さに設定されて
いる堰部61と、この堰部61を越えた洗浄液またはす
すぎ水を洗浄槽10外部に導く導通配管62と、この導
通配管62に連結され,下流端で二股に分かれているT
字状の配管63と、このT字状の配管63の一方の下流
端から洗浄液タンク31へと導通している洗浄液返還用
配管64と、T字状の配管63の他方の下流端からすす
ぎ水タンク41へと導通しているすすぎ水返還用配管6
5とから、返還系60は構成されている。
That is, as shown in FIG. 1 (A), a weir portion 61 disposed in the washing tank 10 and having an upper end portion set to a predetermined height, and a cleaning liquid that exceeds the weir portion 61. Alternatively, a conductive pipe 62 for guiding the rinse water to the outside of the cleaning tank 10 and a T connected to the conductive pipe 62 and bifurcated at the downstream end.
The T-shaped pipe 63, the cleaning liquid return pipe 64 that is connected to the cleaning liquid tank 31 from one downstream end of the T-shaped pipe 63, and the rinse water from the other downstream end of the T-shaped pipe 63. Rinse water return pipe 6 connected to the tank 41
The return system 60 is composed of 5 and 5.

【0066】さらに詳述すると、堰部61は、洗浄槽本
体11の内部壁に洗浄槽本体11の中心方向に迫り出す
ように付設されている。この堰部61の上端部の高さ設
定により、洗浄工程またはすすぎ工程の際に、洗浄槽1
0内部に確保される洗浄液またはすすぎ水の量が決定さ
れる。
More specifically, the dam portion 61 is attached to the inner wall of the cleaning tank body 11 so as to project toward the center of the cleaning tank body 11. By setting the height of the upper end of the weir portion 61, the cleaning tank 1 can be used during the cleaning process or the rinsing process.
The amount of cleaning liquid or rinsing water to be secured inside is determined.

【0067】そして、導通配管62は、堰部61を越え
た洗浄液またはすすぎ水を洗浄槽10の外部へ案内する
ように水平,或いは外部へ向かって下降する方向に傾斜
して設けられている。この導通配管62の下流端には、
前述したT字状の配管63の上流端と連結されると共
に、後述する真空乾燥機構70にも連結されている。つ
まり、本実施例では、真空乾燥を行う際に,洗浄槽10
内部の空気等を外部へ導く案内用の配管として、この導
通配管62を共用している。
The conducting pipe 62 is provided horizontally so as to guide the cleaning liquid or rinsing water that has passed over the dam portion 61 to the outside of the cleaning tank 10 or is inclined so as to descend toward the outside. At the downstream end of this conduction pipe 62,
In addition to being connected to the upstream end of the T-shaped pipe 63 described above, it is also connected to a vacuum drying mechanism 70 described later. That is, in this embodiment, the cleaning tank 10 is used when performing vacuum drying.
This conducting pipe 62 is shared as a pipe for guiding the inside air and the like to the outside.

【0068】T字状の配管63は、いわゆるアルファベ
ットのTの文字の形状であり、これを逆さまにした状態
で超音波洗浄装置1に配設されている。そして、その状
態で上端部となる上流端が導通配管62と連結されてい
る。さらに、このT字状の配管63は、二股に分かれる
下流端部が、それぞれ電磁弁66,67を介して洗浄液
返還用配管64およびすすぎ水返還用配管65と連結さ
れている。
The T-shaped pipe 63 has a so-called letter T shape in the alphabet, and is arranged in the ultrasonic cleaning apparatus 1 in an inverted state. The upstream end, which is the upper end in this state, is connected to the conduction pipe 62. Further, the T-shaped pipe 63 has a bifurcated downstream end connected to a cleaning liquid return pipe 64 and a rinse water return pipe 65 via electromagnetic valves 66 and 67, respectively.

【0069】洗浄液返還用配管64およびすすぎ水返還
用配管65は、共に、洗浄液およびすすぎ水が重力に従
って、洗浄液タンク31およびすすぎ水タンク41に返
還されるように、洗浄液返還用配管64およびすすぎ水
返還用配管65の全領域において、水平方向,または洗
浄槽10から洗浄液タンク31およびすすぎ水タンク4
1へ向かう方向に下降,傾斜して配設されている。
Both the cleaning liquid return pipe 64 and the rinse water return pipe 65 are provided so that the cleaning liquid and the rinse water are returned to the cleaning liquid tank 31 and the rinse water tank 41 according to gravity, respectively. In the entire area of the return pipe 65, in the horizontal direction, or from the cleaning tank 10 to the cleaning liquid tank 31 and the rinse water tank 4
It is arranged so as to descend and tilt in the direction toward 1.

【0070】上述した返還系60により、給水および返
還を持続して行うことが可能となり、洗浄の工程におい
ては、洗浄液が洗浄液タンク31と洗浄槽10との間を
往復し、洗浄液給水用配管33の途中に設けられたフィ
ルター39により、洗浄液内の汚れ等が濾されるため
に、洗浄効率が向上する。また、すすぎの工程において
は、洗浄槽10内部のすすぎ水の流動が活発化し、すす
ぎ効率が向上する。
The above-described return system 60 makes it possible to continuously supply and return water, and in the cleaning process, the cleaning liquid reciprocates between the cleaning liquid tank 31 and the cleaning tank 10 to supply the cleaning liquid water supply pipe 33. Since the filter 39 provided in the middle of the process removes dirt and the like in the cleaning liquid, the cleaning efficiency is improved. Further, in the rinsing step, the flow of rinsing water inside the cleaning tank 10 is activated, and the rinsing efficiency is improved.

【0071】次に、熱乾燥手段50について図1(A)
および図2に基づいて、説明する。図2は、図1(A)
の矢印B方向からみた熱乾燥手段50を示している。こ
の熱乾燥手段50は、前述したように蓋部13の内側に
配設された導通パイプ51と、この導通パイプ51内を
流通する外気を加熱する熱源52とを備えている。
Next, the heat drying means 50 is shown in FIG.
And it demonstrates based on FIG. 2 is shown in FIG.
The heat drying means 50 as seen from the arrow B direction is shown. The heat drying means 50 includes the conduction pipe 51 arranged inside the lid 13 as described above, and the heat source 52 for heating the outside air flowing in the conduction pipe 51.

【0072】導通パイプ51は環状で内部が中空の管と
なっていおり、蓋部13の内部に設けられた挟持片5
6,56により挟持されている。この環状の導通パイプ
51の直径方向の両端部にはそれぞれ、外気の取り入れ
口54と吹き出し口53とが設けられている。この外気
の取り入れ口54は、蓋部13の内側から外側に導通し
た状態で設けられており、その先端部には開閉自在の電
磁弁55が付設されている。また、吹き出し口53は、
洗浄槽10内部において、バレル本体21側に向けて付
設されている。そして、これらは、外気の取り入れ口5
4から導通パイプ51の中空内部を介して吹き出し口5
3までが連通しており、外気はこれらの経路を流通して
洗浄槽10内部に送られる。
The conducting pipe 51 is an annular pipe having a hollow inside, and the holding piece 5 provided inside the lid portion 13
It is sandwiched by 6,56. An outside air intake port 54 and an outside air outlet port 53 are provided at both ends of the annular conduction pipe 51 in the diametrical direction. The outside air intake port 54 is provided so as to be electrically connected from the inside to the outside of the lid portion 13, and an openable and closable electromagnetic valve 55 is attached to the tip end portion thereof. The outlet 53 is
Inside the cleaning tank 10, it is attached toward the barrel body 21 side. And these are the outside air intakes 5
4 through the hollow inside of the conduction pipe 51
3 communicate with each other, and the outside air flows through these paths and is sent into the cleaning tank 10.

【0073】また、導通パイプ51に沿って、熱源とし
てのフレキシブルシーズヒータ52が巻回されている。
このフレキシブルシーズヒータ52は、石灰,アルミ
ナ,マグネシア等の粉末で内部を絶縁した金属管に電熱
線を納めた絶縁の発熱管の中で、特に可撓性を備えたも
のである。これにより、図2に示すように、導通パイプ
51の円周に渡って等間隔に巻回することが可能となっ
ている。このフレキシブルシーズヒータ52について
は、図2に示すより、より密に配設しても良い。これに
より、より高い発熱量を供給することができる。
A flexible sheathed heater 52 as a heat source is wound around the conduction pipe 51.
The flexible sheathed heater 52 is particularly flexible among insulated heat generating tubes in which a heating wire is housed in a metal tube whose inside is insulated with powder of lime, alumina, magnesia or the like. As a result, as shown in FIG. 2, it is possible to wind the conducting pipe 51 at equal intervals over the circumference thereof. The flexible sheathed heaters 52 may be arranged more densely than shown in FIG. Thereby, a higher heat generation amount can be supplied.

【0074】また、フレキシブルシーズヒータ52の両
端部は、外部の図示しない電力供給源と連結されたケー
ブルが設けられており、このケーブルは、蓋部13に設
けられた絶縁スリーブ57を介して外部と連通してい
る。この絶縁スリーブ57は、絶縁性の材質で形成され
ていると共に、シール性を有しているために、漏電を防
ぎ、洗浄槽10の密閉性を保持している。
A cable connected to an external power supply source (not shown) is provided at both ends of the flexible sheathed heater 52, and the cable is connected to the outside via an insulating sleeve 57 provided on the lid 13. Is in communication with. Since the insulating sleeve 57 is made of an insulating material and has a sealing property, it prevents electric leakage and keeps the cleaning tank 10 airtight.

【0075】本実施例では、外気の取り入れるために、
外部の空気圧縮手段等により射出される圧縮空気をこの
外気の取り入れ口54から導通パイプ51の内部に送り
込んでいるが、外気の取り入れ口54に、外気取り入れ
手段として必要な性能を満たすファン等を装備しても良
い。
In this embodiment, in order to take in outside air,
Compressed air injected by an external air compression means or the like is sent from the outside air intake port 54 into the inside of the conduction pipe 51. A fan or the like that satisfies the performance required as the outside air intake means is introduced into the outside air intake port 54. You can equip it.

【0076】また、本実施例では、吹き出し口53を外
気の取り入れ口54から最もはなれた一箇所ににのみ配
置して、導通パイプ51の内部を流通する際に最も温度
が高められる構造としているが、導通パイプ51の円周
に沿って、複数の吹き出し口53を設けても良い。これ
により、被洗浄物は、導通パイプ51上の各方向から、
均一に加熱空気を吹き付けられるために、均一に熱乾燥
が行われる。
Further, in the present embodiment, the blow-out port 53 is arranged only at one place farthest from the outside air intake port 54 so that the temperature can be raised most when flowing through the inside of the conduction pipe 51. However, a plurality of outlets 53 may be provided along the circumference of the conduction pipe 51. As a result, the object to be cleaned is
Since the heated air can be blown uniformly, the heat drying is uniformly performed.

【0077】次に、真空乾燥機構70を説明する。この
真空乾燥機構70は、洗浄槽10内部に導通する導通配
管62と、排気管72と、真空ポンプ71と、排気口7
3とから構成される。導通配管62は、前述の返還系6
0では,洗浄槽10から溢れた洗浄液またはすすぎ水を
洗浄槽10外部へ案内する配管として機能したが、この
真空乾燥機構70では、洗浄槽10内部の空気および水
蒸気等を洗浄槽10外部へ案内する配管として機能す
る。この導通配管62の下流端は、図1(A)の上下方
向に分かれており、下方が循環系のT字状の配管63に
連結され、上方はこの真空乾燥機構70の排気管72と
連結されている。さらにこの排気管72は上部で真空ポ
ンプ71と連結され、真空ポンプ71には、この真空ポ
ンプ71により付勢された洗浄槽10内の空気および水
蒸気等を排出する排気口73が設けられている。
Next, the vacuum drying mechanism 70 will be described. The vacuum drying mechanism 70 includes a conduction pipe 62 that conducts inside the cleaning tank 10, an exhaust pipe 72, a vacuum pump 71, and an exhaust port 7.
And 3. The conduction pipe 62 is the return system 6 described above.
In 0, it functions as a pipe for guiding the cleaning liquid or rinse water overflowing from the cleaning tank 10 to the outside of the cleaning tank 10. However, in the vacuum drying mechanism 70, the air and water vapor inside the cleaning tank 10 are guided to the outside of the cleaning tank 10. It functions as a pipe. The downstream end of the conduction pipe 62 is divided in the vertical direction of FIG. 1A, the lower part is connected to the T-shaped pipe 63 of the circulation system, and the upper part is connected to the exhaust pipe 72 of the vacuum drying mechanism 70. Has been done. Further, the exhaust pipe 72 is connected to the vacuum pump 71 at an upper portion thereof, and the vacuum pump 71 is provided with an exhaust port 73 for exhausting air, water vapor and the like in the cleaning tank 10 urged by the vacuum pump 71. .

【0078】次に、超音波洗浄装置1の制御系80につ
いて説明する。この制御系80は、図3に示すコントロ
ールボックス内に収納されている。図4は、この制御系
80の構成図である。これによると、この制御系80で
は、前述した本実施例の各構成の中で、各電磁弁35,
36,45,46,55,66,67,給水ポンプ3
7,47,真空ポンプ71,超音波振動子25の発振回
路26,ヒータ52,バレル機構20の回転駆動手段等
の作動の順序,タイミング,条件等を全て記憶すると共
に,これらの条件に従って動作指令を出力するシーケン
サ部81と、この動作指令を受けてリレー部83に動作
信号を送信すると共に,超音波洗浄装置1の各部に設け
られた各種センサの信号を受け付けてシーケンサ部81
に伝達するI/O部82と、動作信号を受けて上述の各
作動手段の始動電源等のスイッチのオンオフを行うリレ
ー部83とから構成される。
Next, the control system 80 of the ultrasonic cleaning device 1 will be described. The control system 80 is housed in the control box shown in FIG. FIG. 4 is a configuration diagram of the control system 80. According to this, in this control system 80, in each configuration of the above-described present embodiment, each solenoid valve 35,
36, 45, 46, 55, 66, 67, water supply pump 3
7, 47, the vacuum pump 71, the oscillation circuit 26 of the ultrasonic transducer 25, the heater 52, the rotation drive means of the barrel mechanism 20, the operation sequence, timing, conditions, etc. are all stored, and the operation command is issued in accordance with these conditions. And a sequencer unit 81 that receives the operation command, transmits an operation signal to the relay unit 83, and receives signals from various sensors provided in each unit of the ultrasonic cleaning device 1
And a relay unit 83 that receives an operation signal to turn on / off a switch such as a starting power source for each of the above-mentioned operating means.

【0079】後述する超音波洗浄装置1の各部の動作
は、シーケンサ部81によって予め設定されている動作
の順序,動作の継続時間等に従って行われるものであ
る。また、洗浄槽10内部に設けられ温度センサによ
り,洗浄槽10内部の温度が感知され,洗浄,すすぎが
目的合った温度で行われるように図示しない熱源により
洗浄槽10内部の温度が調節される制御や、洗浄槽10
内部に付設されたレベルセンサにより,液面高さが検知
されると,バレル機構20が作動する,給水ポンプ3
7,47が緊急停止する等の外部の状況変化に対応する
制御もこのシーケンサ部81で行われる。
The operation of each part of the ultrasonic cleaning apparatus 1 described later is performed according to the order of the operation, the duration of the operation, etc. which are preset by the sequencer section 81. Further, the temperature inside the cleaning tank 10 is sensed by a temperature sensor provided inside the cleaning tank 10, and the temperature inside the cleaning tank 10 is adjusted by a heat source (not shown) so that cleaning and rinsing can be performed at a desired temperature. Control and cleaning tank 10
When the liquid level is detected by the level sensor attached inside, the barrel mechanism 20 operates, and the water supply pump 3
The sequencer unit 81 also performs control corresponding to changes in external conditions such as an emergency stop of 7, 47.

【0080】本実施例の動作を説明する。本実施例の動
作は、大別して洗浄,すすぎ,熱乾燥,真空乾燥の四つ
の工程で行われる。
The operation of this embodiment will be described. The operation of this embodiment is roughly divided into four steps of cleaning, rinsing, heat drying and vacuum drying.

【0081】まず、動作前の準備として、被洗浄物を収
納したバレル本体21を洗浄槽10内部に装着し、洗浄
槽10の蓋部13を閉じる。この時点では、全ての電磁
弁35,36,45,46,55,66,67は閉鎖さ
れている。
First, as a preparation before the operation, the barrel body 21 accommodating the object to be cleaned is mounted inside the cleaning tank 10, and the lid 13 of the cleaning tank 10 is closed. At this point, all solenoid valves 35, 36, 45, 46, 55, 66, 67 are closed.

【0082】次に、洗浄動作が行われる。電磁弁35,
66が開放されると共に、給水ポンプ37が作動し、洗
浄液タンク31から洗浄液が洗浄槽10内へ洗浄液給水
用配管33を介して給水される。洗浄槽10内部で洗浄
液がある高さまで給水されると、バレル機構20の回転
駆動手段によりバレル本体21の回転が開始され、さら
に、発振回路26から発振周波数の電圧が複数の超音波
振動子25に印可されて、洗浄槽10内の洗浄液に底面
板12を介して超音波振動が伝達される。この時、被洗
浄物は、バレル本体21内で回転することにより、超音
波が洗浄液を介して一様に伝達され、その表面上の汚れ
等が除去される。
Next, the cleaning operation is performed. Solenoid valve 35,
66 is opened, the water supply pump 37 is operated, and the cleaning liquid is supplied from the cleaning liquid tank 31 into the cleaning tank 10 through the cleaning liquid water supply pipe 33. When the cleaning liquid is supplied to a certain height inside the cleaning tank 10, the rotation driving means of the barrel mechanism 20 starts the rotation of the barrel main body 21. Further, the oscillation circuit 26 causes the ultrasonic transducers 25 having a plurality of oscillation frequency voltages to be transmitted. The ultrasonic vibration is transmitted to the cleaning liquid in the cleaning tank 10 through the bottom plate 12. At this time, the object to be cleaned is rotated in the barrel main body 21 so that ultrasonic waves are uniformly transmitted through the cleaning liquid and the dirt and the like on the surface thereof are removed.

【0083】この後、洗浄液の給水は、所定時間継続さ
れ、洗浄槽10内部で、堰部61を越えた洗浄液は、電
磁弁66を介して、洗浄液返還用配管64に沿って重力
に従って洗浄液タンク31内部に返還される。この時、
被洗浄物から除去された汚れ等も、この洗浄液と共に洗
浄液タンク31に返還される。そして、再び、給水ポン
プ37により洗浄液タンク31から洗浄槽10へ向う流
動が付勢され、この途中に設けられたフィルター39に
より汚れが濾し取られて、洗浄液は清浄化されて洗浄槽
10に到達する。
After that, the supply of the cleaning liquid is continued for a predetermined time, and the cleaning liquid that has passed over the weir portion 61 inside the cleaning tank 10 flows along the cleaning liquid return pipe 64 via the electromagnetic valve 66 according to the gravity and the cleaning liquid tank. 31 Returned to the inside. This time,
Dirt and the like removed from the object to be cleaned are also returned to the cleaning liquid tank 31 together with this cleaning liquid. Then, the flow of water from the cleaning liquid tank 31 toward the cleaning tank 10 is again urged by the water supply pump 37, the dirt is filtered off by the filter 39 provided on the way, and the cleaning liquid is cleaned and reaches the cleaning tank 10. To do.

【0084】上記の給水と返還を繰り返した後、給水ポ
ンプ37を停止し、また超音波振動子25に対する発振
回路26の電圧の印可も停止する。そして、電磁弁35
が閉鎖され、電磁弁36が開放される。これにより洗浄
液は、連絡流路18,ヘッダ領域17,電磁弁36,洗
浄液排水用配管34を通り、洗浄槽10内から洗浄液が
排水される。このとき、洗浄槽10の内底面10A,連
絡流路18の内底面18A,ヘッダ領域17の内底面1
7A,洗浄液排水用配管34の内底面34Aが一様に同
じ高さで,且つ水平に設定されているために、表面張力
等の原因により各所に付着する僅かな量を除いて、残留
することなく、洗浄液は洗浄液タンク31まで帰還す
る。
After repeating the above-mentioned water supply and return, the water supply pump 37 is stopped, and the application of the voltage of the oscillation circuit 26 to the ultrasonic vibrator 25 is also stopped. Then, the solenoid valve 35
Is closed and the solenoid valve 36 is opened. As a result, the cleaning liquid is drained from the cleaning tank 10 through the communication flow path 18, the header region 17, the electromagnetic valve 36, and the cleaning liquid drainage pipe 34. At this time, the inner bottom surface 10A of the cleaning tank 10, the inner bottom surface 18A of the communication channel 18, the inner bottom surface 1 of the header region 17
7A, since the inner bottom surface 34A of the cleaning liquid drainage pipe 34 is uniformly set at the same height and horizontally, it should remain except for a small amount attached to various places due to surface tension or the like. Instead, the cleaning liquid returns to the cleaning liquid tank 31.

【0085】洗浄液の排水終了後も、バレル機構20は
回転を行い、これにより、被洗浄物に残留した洗浄液が
振り落とされる。さらに、電磁弁55を開放し、熱乾燥
手段50の外気取り入れ口54から、外部の空気圧縮手
段により圧縮空気が送り込まれ、この圧縮空気が、吹き
出し口53から射出して、バレル本体21内の被洗浄物
に付着した洗浄液の除去を促進する。また、圧縮空気が
送り込まれることにより、洗浄槽10内部で、電磁弁3
6,66に向かう空気の流動が付勢され、各部に付着し
た洗浄液が、これらの電磁弁36,66の方向に移動を
付勢される。
Even after the drainage of the cleaning liquid is completed, the barrel mechanism 20 continues to rotate, whereby the cleaning liquid remaining on the object to be cleaned is shaken off. Further, the electromagnetic valve 55 is opened, compressed air is sent from the outside air intake port 54 of the heat drying means 50 by the external air compression means, the compressed air is ejected from the blowout port 53, and the inside of the barrel main body 21 is discharged. It promotes the removal of the cleaning liquid adhering to the object to be cleaned. Further, the compressed air is sent to the inside of the cleaning tank 10 so that the solenoid valve 3
The flow of air toward 6, 6 is urged, and the cleaning liquid attached to each part is urged to move toward these electromagnetic valves 36, 66.

【0086】上記の洗浄液の水切り作業が数秒間から1
0秒間ほど行われると、電磁弁35,55,66が閉鎖
され、すすぎ工程に移行する。
The above-mentioned cleaning liquid draining operation is performed for several seconds to 1
After about 0 seconds, the solenoid valves 35, 55, 66 are closed and the rinsing process is started.

【0087】まず、電磁弁45,67が開放され、給水
ポンプ47が作動する。これにより、すすぎ水がすすぎ
水タンク41から洗浄槽10に流動を付勢されて、給水
が行われる。この給水は、洗浄槽10内部の堰部61位
置まで到達した後、さらに所定時間継続される。洗浄槽
10内部で、堰部61を越えた洗浄液は、電磁弁67を
介して、すすぎ水返還用配管65に沿って重力に従って
すすぎ水タンク41内部に返還される。この給水,返還
が繰り返されることにより、洗浄槽10内部ですすぎ水
は一定の流動状態となり、洗浄槽10の各所に付着残留
していた洗浄液は、有効に洗い流される。
First, the solenoid valves 45 and 67 are opened and the water supply pump 47 is operated. As a result, the rinse water is urged to flow from the rinse water tank 41 to the cleaning tank 10 to supply water. This water supply is continued for a predetermined time after reaching the position of the weir portion 61 inside the cleaning tank 10. Inside the cleaning tank 10, the cleaning liquid that has passed over the weir 61 is returned to the inside of the rinse water tank 41 via the solenoid valve 67 along the rinse water return pipe 65 according to gravity. By repeating this water supply and return, the rinsing water is in a constant flow state inside the cleaning tank 10, and the cleaning liquid attached and remaining in various places of the cleaning tank 10 is effectively washed away.

【0088】この給水の継続時に、バレル機構20では
回転動作を継続しているために、バレル本体21内部の
すすぎ水は、この回転による流動状態となり、被洗浄物
に付着していた洗浄液は、すすぎ水に洗い流される。ま
たこの給水時に、発振回路26により超音波振動子25
から超音波振動を発生させても良い。伝達される超音波
振動により、洗浄槽10内部に残留付着していた洗浄液
は、より有効にすすぎ落とされる。
Since the barrel mechanism 20 continues to rotate while the water is being supplied, the rinse water inside the barrel body 21 is in a fluidized state due to this rotation, and the cleaning liquid adhering to the object to be cleaned is Rinse with rinse water. Further, at the time of this water supply, the ultrasonic oscillator 25
May generate ultrasonic vibrations. Due to the transmitted ultrasonic vibration, the cleaning liquid remaining attached inside the cleaning tank 10 is rinsed off more effectively.

【0089】すすぎ水タンク41に返還されたすすぎ水
は、再び、給水ポンプ47によりすすぎ水タンク41か
ら洗浄槽10へ向う流動が付勢され、この途中に設けら
れたフィルター49によりすすぎ水中の不純物が濾し取
られて、洗浄液は清浄化されて洗浄槽10に到達する。
The rinse water returned to the rinse water tank 41 is again urged by the water supply pump 47 to flow from the rinse water tank 41 to the cleaning tank 10, and a filter 49 provided in the middle of the rinse water causes impurities in the rinse water to flow. Are filtered out, the cleaning liquid is cleaned and reaches the cleaning tank 10.

【0090】上記の給水と返還が繰り返された後、給水
ポンプ47を停止する。そして、電磁弁45が閉鎖さ
れ、電磁弁46が開放される。これにより、すすぎ水
は、連絡流路18,ヘッダ領域17,電磁弁46,すす
ぎ水排水用配管44を通り、洗浄槽10内からすすぎ水
が排水される。このとき、洗浄槽10の内底面10A,
連絡流路18の内底面18A,ヘッダ領域17の内底面
17A,すすぎ水排水用配管44の内底面44Aが一様
に同じ高さで,且つ水平に設定されているために、表面
張力等の原因により各所に付着する僅かのすすぎ水を除
いて、残留すること無く、洗浄液は洗浄液タンク31ま
で帰還する。また、すすぎ水の排水中にも、バレル機構
20は回転を行い、これにより、被洗浄物に付着したす
すぎ水が振り落とされる。
After the above water supply and return are repeated, the water supply pump 47 is stopped. Then, the solenoid valve 45 is closed and the solenoid valve 46 is opened. As a result, the rinse water passes through the communication flow path 18, the header region 17, the electromagnetic valve 46, and the rinse water drainage pipe 44, and the rinse water is drained from the cleaning tank 10. At this time, the inner bottom surface 10A of the cleaning tank 10,
Since the inner bottom surface 18A of the communication flow path 18, the inner bottom surface 17A of the header region 17, and the inner bottom surface 44A of the rinse water drainage pipe 44 are uniformly set at the same height and horizontally, the surface tension, etc. The cleaning liquid returns to the cleaning liquid tank 31 without remaining, except for a small amount of rinse water adhering to various places due to the cause. The barrel mechanism 20 also rotates during drainage of the rinse water, whereby the rinse water adhering to the object to be cleaned is shaken off.

【0091】排水終了後は、熱乾燥工程に移行する。ま
ず、電磁弁55を開放し、ヒータ52に電力を供給して
加熱させ、外気取り入れ口54から、外部の空気圧縮手
段により圧縮空気を送り込む。送り込まれた圧縮空気
は、導通パイプ51に沿って流動する際に、導通パイプ
51の外側に巻回したフレキシブルシーズヒータ52に
より加熱され、加熱空気となって、吹き出し口53から
バレル本体21に吹き付けられ、バレル本体21内の被
洗浄物に付着したすすぎ水の除去を促進する。
After the drainage is completed, the process proceeds to the heat drying process. First, the electromagnetic valve 55 is opened, electric power is supplied to the heater 52 to heat it, and compressed air is sent from the outside air intake port 54 by an external air compression means. The compressed air sent in is heated by the flexible sheathed heater 52 wound on the outside of the conduction pipe 51 when flowing along the conduction pipe 51, becomes heated air, and is blown onto the barrel main body 21 from the blowout port 53. Therefore, the removal of the rinse water adhering to the object to be cleaned in the barrel body 21 is promoted.

【0092】この時、熱乾燥手段50は、蓋部13の内
側に装備されているために、フレキシブルシーズヒータ
52から発生する熱量の多くは、洗浄槽10の内部に伝
達されるため、高い熱効率を実現することができる。ま
た、環状の導通パイプ51に沿ってフレキシブルシーズ
ヒータ52が配設されているために、フレキシブルシー
ズヒータ52からの発生熱が円周方向から被洗浄物に一
様に伝達される。
At this time, since the heat drying means 50 is installed inside the lid portion 13, most of the heat generated from the flexible sheathed heater 52 is transferred to the inside of the cleaning tank 10, so that high thermal efficiency is achieved. Can be realized. Further, since the flexible sheathed heater 52 is arranged along the annular conduction pipe 51, the heat generated from the flexible sheathed heater 52 is uniformly transferred from the circumferential direction to the object to be cleaned.

【0093】また、圧縮空気が送り込まれることにより
洗浄槽10内部がある一定の圧力まで上昇すると、蓋部
13の上部に設けられた開閉蓋13bが、重り13cに
働く重力に抗して上方に押し上げられ開放される。これ
により、洗浄槽10内部の過大な圧力上昇を防止して、
外気の供給を円滑にしている。
When the pressure inside the cleaning tank 10 rises to a certain level due to the compressed air being sent in, the opening / closing lid 13b provided on the upper portion of the lid 13 moves upward against the gravity acting on the weight 13c. It is pushed up and released. This prevents excessive pressure rise inside the cleaning tank 10,
The supply of outside air is smooth.

【0094】上述の熱乾燥手段50は、外部の空気圧縮
手段に代わり真空ポンプ71を使用しても良い。即ち、
電磁弁55を除く他の全ての電磁弁を閉鎖し、ヒータ5
2に電力を供給し真空ポンプ71を作動させる。これに
より、洗浄槽10の内部圧力の低下と共に外気の取り入
れ口54から外気が吸入され、洗浄槽10内部に、吹き
出し口53から加熱された外気が供給され、洗浄槽10
内部の乾燥が促進される。
The heat drying means 50 may use a vacuum pump 71 instead of the external air compressing means. That is,
Close all the solenoid valves except the solenoid valve 55, and set the heater 5
2 is supplied with electric power to operate the vacuum pump 71. As a result, as the internal pressure of the cleaning tank 10 decreases, the outside air is sucked in through the outside air intake port 54, and the heated outside air is supplied to the inside of the cleaning tank 10 through the blowout port 53.
Internal drying is promoted.

【0095】上述の熱乾燥が数秒から20秒ほど行われ
た後に、真空乾燥工程に移行する。この時、全ての電磁
弁を閉鎖して真空ポンプ71を作動させる。これによ
り、洗浄槽10内部の圧力は低下し、これに伴い、洗浄
槽10内部のすすぎ水は沸騰,気化蒸発し、この気化し
たすすぎ水は、洗浄槽10内部空気と共に、真空ポンプ
71により排気口73から外部に排出される。
After the above-mentioned thermal drying is performed for several seconds to 20 seconds, a vacuum drying process is performed. At this time, all the electromagnetic valves are closed to operate the vacuum pump 71. As a result, the pressure inside the cleaning tank 10 is reduced, and along with this, the rinse water inside the cleaning tank 10 is boiled and vaporized and evaporated, and this vaporized rinse water is exhausted by the vacuum pump 71 together with the air inside the cleaning tank 10. It is discharged from the mouth 73 to the outside.

【0096】この時、真空乾燥と同時に、フレキシブル
シーズヒータ52による洗浄槽内部の加熱を行っても良
い。フレキシブルシーズヒータ52から発生する赤外線
により、洗浄槽10の内部と被洗浄物とが加熱されて、
乾燥が促進する。
At this time, the inside of the cleaning tank may be heated by the flexible sheathed heater 52 at the same time as the vacuum drying. The infrared rays generated from the flexible sheathed heater 52 heat the inside of the cleaning tank 10 and the object to be cleaned,
Drying is accelerated.

【0097】上記のように、洗浄,すすぎ,熱乾燥,真
空乾燥の四つの工程が行われ、電磁弁55を開放して洗
浄槽10内部を大気圧に戻し、蓋部13を開けて洗浄槽
10内部からバレル本体21を取り出し、さらにこのバ
レル本体21内から被洗浄物を取り出して、本実施例の
動作は終了する。
As described above, four steps of cleaning, rinsing, heat drying and vacuum drying are performed, the electromagnetic valve 55 is opened to return the inside of the cleaning tank 10 to atmospheric pressure, and the lid 13 is opened to open the cleaning tank. The barrel main body 21 is taken out from the inside of the 10, and the object to be cleaned is taken out from the inside of the barrel main body 21, and the operation of the present embodiment is completed.

【0098】[0098]

【発明の効果】請求項1記載の本発明は、蓋部の内側に
熱乾燥手段を配置する構成としたために、従来のように
洗浄槽の外部に熱乾燥手段が突出することがなくなり、
これにより、超音波洗浄装置の小型化が可能となった。
According to the present invention as set forth in claim 1, since the heat drying means is arranged inside the lid portion, the heat drying means does not project to the outside of the cleaning tank unlike the conventional case.
As a result, the ultrasonic cleaning device can be downsized.

【0099】また、蓋部の内側に熱源が配設されている
ために、熱源からの発生熱が洗浄槽の内部に畜熱され、
これにより、熱乾燥を効率よく行うことが可能となっ
た。さらに、熱源から発生する熱が、直接洗浄槽内部の
被洗浄物に到達するために、熱乾燥をより促進すること
が可能となった。
Further, since the heat source is disposed inside the lid, the heat generated from the heat source is stored in the cleaning tank,
As a result, it became possible to perform heat drying efficiently. Furthermore, since the heat generated from the heat source directly reaches the object to be cleaned inside the cleaning tank, it becomes possible to further accelerate the thermal drying.

【0100】請求項2記載の本発明は、請求項1記載の
本発明の効果に加えて、熱源としてフレキシブルシーズ
ヒータを使用しているために、その可撓性により、導通
パイプに沿って当該導通パイプに一様に巻回することが
可能となった。これにより、導通パイプの内部を流通す
る外気を均等に加熱するため、効率良く外気を加熱する
ことができ、これにともない熱乾燥を促進することが可
能となった。
In addition to the effect of the present invention as set forth in claim 1, the present invention as set forth in claim 2 uses a flexible sheathed heater as a heat source. It has become possible to wind it uniformly around the conduction pipe. As a result, the outside air flowing through the inside of the conduction pipe is uniformly heated, so that the outside air can be efficiently heated, and along with this, the thermal drying can be promoted.

【0101】請求項3記載の本発明は、請求項2記載の
本発明の効果に加えて、導通パイプを環状として、この
導通パイプの直径方向の両端部に外気の取り入れ口と吹
き出し口とを設ける構成としたために、導通パイプ内を
最も長い経路で外気が流通し、これにより、外気を最も
加熱することができるために、熱乾燥をより有効に行う
ことが可能となった。
In addition to the effects of the present invention as set forth in claim 2, the present invention as set forth in claim 3 has a ring-shaped conducting pipe, and an intake port and an outlet port for outside air are provided at both ends in the diameter direction of the conducting pipe. Since the structure is provided, the outside air circulates through the longest path in the conduction pipe, and thus the outside air can be heated most, so that the thermal drying can be performed more effectively.

【0102】また、この導通パイプに沿ってフレキシブ
ルシーズヒータを巻回しているために、このフレキシブ
ルシーズヒータからの発熱が、円周方向から均等に被洗
浄物を加熱して、熱乾燥を促進することが可能となっ
た。
Further, since the flexible sheathed heater is wound along the conducting pipe, the heat generated by the flexible sheathed heater uniformly heats the object to be cleaned in the circumferential direction, thereby promoting thermal drying. It has become possible.

【0103】請求項4記載の本発明は、上述した各効果
に加えて、蓋部の上部に開閉蓋を設ける構成としたため
に、常に、洗浄槽内部が上昇するとこの開閉蓋が開放さ
れて洗浄槽内部圧力の減圧をすることができ、加熱外気
の供給に伴う洗浄槽内部圧力の過剰な上昇により,さら
なる外気の供給を妨げる事態を有効に排除し、これによ
り、連続的に外気を供給することが可能となり、一定の
加熱外気を被洗浄物に吹き付けることが可能となった。
According to the present invention of claim 4, in addition to the above-mentioned effects, since the opening / closing lid is provided on the upper portion of the lid, the opening / closing lid is always opened when the inside of the washing tank is raised to perform washing. The internal pressure of the tank can be reduced, and the excessive increase in internal pressure of the cleaning tank associated with the supply of heated external air effectively eliminates the situation of interrupting the supply of further external air, thereby continuously supplying the external air. This makes it possible to blow a constant amount of heated outside air onto the object to be cleaned.

【0104】そして、以上のように構成され機能するの
で、常に熱乾燥を有効に行うことができる従来にない優
れた超音波洗浄装置を提供することができる。
Further, since it is constructed and functions as described above, it is possible to provide an excellent ultrasonic cleaning device which has never been used and which can always perform thermal drying effectively.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の一実施例を示す図であり、図1(A)
は概略的に全体を示す構成図であり、図1(B)は一実
施例のヘッダ領域を図1(A)の矢印A方向からみた一
部を切り欠いた図である。
FIG. 1 is a diagram showing an embodiment of the present invention, and FIG.
FIG. 1 is a schematic diagram showing the entire structure, and FIG. 1B is a partially cutaway view of the header area of one embodiment seen from the direction of arrow A in FIG. 1A.

【図2】図1に開示した超音波洗浄装置の熱乾燥手段を
矢印B方向からみた底面図である。
FIG. 2 is a bottom view of the heat drying means of the ultrasonic cleaning device disclosed in FIG. 1, viewed from the direction of arrow B.

【図3】図1に開示した超音波洗浄装置の各部の概略的
な配置を示す説明図である。
FIG. 3 is an explanatory diagram showing a schematic arrangement of each part of the ultrasonic cleaning device disclosed in FIG.

【図4】図1に開示した超音波洗浄装置の制御系を示す
ブロック図である。
FIG. 4 is a block diagram showing a control system of the ultrasonic cleaning device disclosed in FIG.

【図5】従来の超音波洗浄装置を示す図であり、図5
(A)は一部省略した説明図であり、図5(B)は図5
(A)の連絡流路部分を拡大した断面図である。
FIG. 5 is a diagram showing a conventional ultrasonic cleaning apparatus, and FIG.
5A is an explanatory view with a part omitted, and FIG.
It is sectional drawing which expanded the connection flow path part of (A).

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 超音波洗浄装置 10 洗浄槽 11 洗浄槽本体 13 蓋部 13a 通気口 13b 開閉蓋 25 超音波洗浄装置 30 洗浄液循環系 31 洗浄液タンク 40 すすぎ水循環系 41 すすぎ水タンク 50 熱乾燥手段 51 導通パイプ 52 フレキシブルシーズヒータ(熱源) 53 吹き出し口 54 外気の取り入れ口 1 Ultrasonic Cleaning Device 10 Cleaning Tank 11 Cleaning Tank Main Body 13 Lid 13a Vent 13b Opening / Covering 25 Ultrasonic Cleaning Device 30 Cleaning Liquid Circulation System 31 Cleaning Liquid Tank 40 Rinsing Water Circulation System 41 Rinsing Water Tank 50 Thermal Drying Means 51 Conductive Pipe 52 Flexible Sheath heater (heat source) 53 Air outlet 54 Intake of outside air

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 上方が開口した有底容器である洗浄槽本
体と開閉自在の蓋部とからなる洗浄槽と、この洗浄槽の
底部に下方から当接し超音波振動を発生する超音波振動
子と、予め洗浄液を所定量貯留する洗浄液タンクと、こ
の洗浄液タンクと前記洗浄槽との間で前記洗浄液の循環
を行う洗浄液循環系と、予めすすぎ水を所定量貯留する
すすぎ水タンクと、このすすぎ水タンクと前記洗浄槽と
の間で前記すすぎ水の循環を行うすすぎ水循環系と、前
記洗浄槽内部に加熱空気を供給する熱乾燥手段とを有
し、 前記熱乾燥手段が、一端に外気の取り入れ口を備え,他
端に洗浄槽内部への吹き出し口を備える導通パイプと、
この導通パイプ内を流通する外気を加熱する熱源とを備
え、 前記蓋部の内側に熱乾燥手段を配置する領域を備えてい
ることを特徴とする超音波洗浄装置。
1. A cleaning tank comprising a cleaning tank main body, which is a bottomed container having an upper opening, and an openable / closable lid, and an ultrasonic vibrator for abutting the bottom of the cleaning tank from below to generate ultrasonic vibrations. A cleaning liquid tank that stores a predetermined amount of cleaning liquid in advance; a cleaning liquid circulation system that circulates the cleaning liquid between the cleaning liquid tank and the cleaning tank; a rinse water tank that stores a predetermined amount of rinse water in advance; and this rinse. It has a rinse water circulation system that circulates the rinse water between the water tank and the cleaning tank, and heat drying means for supplying heated air to the inside of the cleaning tank, and the heat drying means has one end of the outside air. A conduction pipe having an intake port and a blowing port into the cleaning tank at the other end,
An ultrasonic cleaning device comprising: a heat source for heating the outside air flowing through the conduction pipe; and a region for disposing a heat drying unit inside the lid portion.
【請求項2】 前記熱乾燥手段の熱源がフレキシブルシ
ーズヒータからなり、このフレキシブルシーズヒータを
前記導通パイプに沿って巻回したことを特徴とする請求
項1記載の超音波洗浄装置。
2. The ultrasonic cleaning device according to claim 1, wherein the heat source of the heat drying means is a flexible sheathed heater, and the flexible sheathed heater is wound along the conducting pipe.
【請求項3】 前記導通パイプは、中空の環状に形成さ
れ、この導通パイプの直径方向の両端に前記外気の取り
入れ口と前記吹き出し口とをそれぞれ配置したことを特
徴とする請求項2記載の超音波洗浄装置。
3. The conductive pipe is formed in a hollow ring shape, and the intake port for the outside air and the blow-out port are arranged at both ends of the conductive pipe in the diametrical direction. Ultrasonic cleaning device.
【請求項4】 前記蓋部の外面に、前記洗浄槽内部に導
通する通気口を設け、この通気口に,常時閉鎖する方向
に付勢され,洗浄槽内部の圧力の上昇に伴い開放される
開閉蓋を設けたことを特徴とする請求項1,2または3
記載の超音波洗浄装置。
4. An outer surface of the lid portion is provided with a ventilation port that communicates with the inside of the cleaning tank, and the ventilation port is constantly urged in a direction to be closed and is opened as the pressure inside the cleaning tank rises. An opening / closing lid is provided.
The ultrasonic cleaning device described.
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