JPH0830536B2 - 平面ダイアフラム - Google Patents
平面ダイアフラムInfo
- Publication number
- JPH0830536B2 JPH0830536B2 JP62311435A JP31143587A JPH0830536B2 JP H0830536 B2 JPH0830536 B2 JP H0830536B2 JP 62311435 A JP62311435 A JP 62311435A JP 31143587 A JP31143587 A JP 31143587A JP H0830536 B2 JPH0830536 B2 JP H0830536B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- diaphragm
- valve
- lip
- flat
- seal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
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- Details Of Valves (AREA)
- Diaphragms And Bellows (AREA)
Description
発明の目的
本発明は、バルブやレギュレーターなどのガスチェン
バーを形成するための平面ダイアフラム、とくに金属製
のそれの改良に関する。
バーを形成するための平面ダイアフラム、とくに金属製
のそれの改良に関する。
【従来の技術】 ガスの流量や圧力を調節するバルブやレギュレーター
などのガスチェンバーに、金属製の平面ダイアフラムが
使用されている。たとえばバルブのガス室は、第４図に
示すように、金属製の平面ダイアフラム１を精密加工し
たリップ２および７でバックアップリング３および８に
押しつけてシールすることによって形成する。リップも
バックアップリングも通常は金属製であって、メタルタ
ッチのシールである。このシールは、多くの場合、ダイ
アフラムの周辺だけでなく中央においても行なわれる。 リップで押しつけられバックアップリングに沈み込ん
だダイアフラムは、シール部分の変形の影響が全体に及
び、リップに当る面を凹側とする方向のコーン状の変形
する傾向がある。この変形は、第４図の場合、弁体４を
上へ移動させ、弁５と弁座６のクリアランスが製品ごと
にばらつく結果を招く。変形したダイアフラムには、応
力が働いているため、バルブのスムーズな作動が妨げら
れ、微妙なバルブ調整が難しくなって、微小な流量や圧
力を調整するという目的を達成できない。 こうした不都合をなくすためには、ダイアフラムを変
形から防ぎ、平面に保つことが重要である。
などのガスチェンバーに、金属製の平面ダイアフラムが
使用されている。たとえばバルブのガス室は、第４図に
示すように、金属製の平面ダイアフラム１を精密加工し
たリップ２および７でバックアップリング３および８に
押しつけてシールすることによって形成する。リップも
バックアップリングも通常は金属製であって、メタルタ
ッチのシールである。このシールは、多くの場合、ダイ
アフラムの周辺だけでなく中央においても行なわれる。 リップで押しつけられバックアップリングに沈み込ん
だダイアフラムは、シール部分の変形の影響が全体に及
び、リップに当る面を凹側とする方向のコーン状の変形
する傾向がある。この変形は、第４図の場合、弁体４を
上へ移動させ、弁５と弁座６のクリアランスが製品ごと
にばらつく結果を招く。変形したダイアフラムには、応
力が働いているため、バルブのスムーズな作動が妨げら
れ、微妙なバルブ調整が難しくなって、微小な流量や圧
力を調整するという目的を達成できない。 こうした不都合をなくすためには、ダイアフラムを変
形から防ぎ、平面に保つことが重要である。
本発明の目的は、微少流量調節バルブのガスチェンバ
ーの形成に使用する平面ダイアフラムであって、ダイア
フラムを組み込んだときに、そのガス圧が働く部分がシ
ールによって歪まず平面に保たれるようなダイアフラム
を提供することがある。 発明の構成
ーの形成に使用する平面ダイアフラムであって、ダイア
フラムを組み込んだときに、そのガス圧が働く部分がシ
ールによって歪まず平面に保たれるようなダイアフラム
を提供することがある。 発明の構成
本発明のダイアフラムは、微少流量調節バルブのガス
チェンバー形成に使用する平面ダイアフラムであって、
第１図および第２図に示したように、円板の中心部およ
び周辺部に、リップとバックアップリングとではさんで
シールするシール部分を設け、中心部のシール部分外側
近傍および周辺部内側近傍にそれぞれ同心円状の段差を
設けて、これら二つの段差の間をガス圧の作用する受圧
部分としたことを特徴とする。 本発明のダイアフラムは、ステンレスやモネルメタル
など、従来の金属製ダイアフラムと同様な材料で製作す
ることができる。
チェンバー形成に使用する平面ダイアフラムであって、
第１図および第２図に示したように、円板の中心部およ
び周辺部に、リップとバックアップリングとではさんで
シールするシール部分を設け、中心部のシール部分外側
近傍および周辺部内側近傍にそれぞれ同心円状の段差を
設けて、これら二つの段差の間をガス圧の作用する受圧
部分としたことを特徴とする。 本発明のダイアフラムは、ステンレスやモネルメタル
など、従来の金属製ダイアフラムと同様な材料で製作す
ることができる。
前記したように、従来の平面ダイアフラムは、バルブ
などに組み込んだときに、リップにおしつけられバック
アップリングに沈み込んだ部分の変形が、そのままダイ
アフラム全体に波及してコーン形に変形することが多
い。コーンはリップの当る凹側とする方向に形成される
傾向にあり、周縁シールと中央シールのリップの方向を
同一に設定することにより、変形量を小さくすることが
できるが、ダイアフラム内部の応力は複雑であって、作
動がスムーズにならない。 これに対して本発明のダイアフラムは、それを使用し
てバルブを組み立てると、第３図に示すように、リップ
２および７でダイアフラム１をバックアップリング３お
よび８におしつけたときシール部分にダイアフラムの変
形は、シール部分だけに局限され、段差13および14をこ
えてガス圧の作用する部分12には及ばない。このように
して、ガス圧の作用する部分を平面に保つことができ、
バルブの弁体４が上下にずれて、弁５と弁座６のクリア
ランスがばらついたり、バルブの動作が固くなったりす
ることがない。
などに組み込んだときに、リップにおしつけられバック
アップリングに沈み込んだ部分の変形が、そのままダイ
アフラム全体に波及してコーン形に変形することが多
い。コーンはリップの当る凹側とする方向に形成される
傾向にあり、周縁シールと中央シールのリップの方向を
同一に設定することにより、変形量を小さくすることが
できるが、ダイアフラム内部の応力は複雑であって、作
動がスムーズにならない。 これに対して本発明のダイアフラムは、それを使用し
てバルブを組み立てると、第３図に示すように、リップ
２および７でダイアフラム１をバックアップリング３お
よび８におしつけたときシール部分にダイアフラムの変
形は、シール部分だけに局限され、段差13および14をこ
えてガス圧の作用する部分12には及ばない。このように
して、ガス圧の作用する部分を平面に保つことができ、
バルブの弁体４が上下にずれて、弁５と弁座６のクリア
ランスがばらついたり、バルブの動作が固くなったりす
ることがない。
超高真空ダイナミック微小流量調整バルブ（日本ファ
インセラミックス（株）製）を、第１図および第２図に
示す形状の本発明のダイアフラムを使用して組み立て
た。ダイアフラムは厚さ0.1mmのモネルメタル製で、外
径30mm、段差高さ0.2mmである。 バルブの弁と弁座のクリアランスのばらつきは、従来
のダイアフラムを用いた場合には±0.2mmであったが、
本発明のダイアフラムを用いたものでは±0.1mmの範囲
内に入っていた。 バルブの動作を調べたところ、本発明のダイアフラム
を使用したものはすべてスムーズに作動した。 発明の効果 本発明のダイアフラムは、微小流量調節バルブに組み
込んだとき、ガス圧の作用する部分を平面に保つことが
できるため、製品のばらつきが小さく、動作のスムーズ
な製品が得られ、良品の歩留りを高めることができる。
インセラミックス（株）製）を、第１図および第２図に
示す形状の本発明のダイアフラムを使用して組み立て
た。ダイアフラムは厚さ0.1mmのモネルメタル製で、外
径30mm、段差高さ0.2mmである。 バルブの弁と弁座のクリアランスのばらつきは、従来
のダイアフラムを用いた場合には±0.2mmであったが、
本発明のダイアフラムを用いたものでは±0.1mmの範囲
内に入っていた。 バルブの動作を調べたところ、本発明のダイアフラム
を使用したものはすべてスムーズに作動した。 発明の効果 本発明のダイアフラムは、微小流量調節バルブに組み
込んだとき、ガス圧の作用する部分を平面に保つことが
できるため、製品のばらつきが小さく、動作のスムーズ
な製品が得られ、良品の歩留りを高めることができる。
第１図および第２図は、本発明のダイアフラムの一例を
示すものであって、第１図は平面図、第２図は中心を通
る断面図である。 第３図は、本発明のダイアフラムを使用した微少流量調
節バルブの縦断面図である。 第４図は、従来のダイアフラムを使用した場合に起りが
ちなダイアフラムの変形を概念的に示す、バルブのガス
室の縦断面図である。 １……ダイアフラム 11A,11B……シール部分 12……ガズ圧の作用する部分 13……段差 ２……リップ、３……バックアップリング ４……弁体、５……弁 ６……弁座
示すものであって、第１図は平面図、第２図は中心を通
る断面図である。 第３図は、本発明のダイアフラムを使用した微少流量調
節バルブの縦断面図である。 第４図は、従来のダイアフラムを使用した場合に起りが
ちなダイアフラムの変形を概念的に示す、バルブのガス
室の縦断面図である。 １……ダイアフラム 11A,11B……シール部分 12……ガズ圧の作用する部分 13……段差 ２……リップ、３……バックアップリング ４……弁体、５……弁 ６……弁座
Claims (1)
- 【請求項１】微少流量調節バルブのガスチェンバーの形
成に使用する平面ダイアフラムであって、円板の中心部
および周辺部に、リップとバックアップリンクとではさ
んでシールするシール部分を設け、中心部のシール部分
外側近傍および周辺部内側近傍にそれぞれ同心円状の段
差を設けて、これら二つの段差の間をガス圧の作用する
受圧部分としたことを特徴とする平面ダイアフラム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62311435A JPH0830536B2 (ja) | 1987-12-09 | 1987-12-09 | 平面ダイアフラム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62311435A JPH0830536B2 (ja) | 1987-12-09 | 1987-12-09 | 平面ダイアフラム |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01153869A JPH01153869A (ja) | 1989-06-16 |
| JPH0830536B2 true JPH0830536B2 (ja) | 1996-03-27 |
Family
ID=18017178
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62311435A Expired - Fee Related JPH0830536B2 (ja) | 1987-12-09 | 1987-12-09 | 平面ダイアフラム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0830536B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6292553B2 (ja) * | 2014-04-16 | 2018-03-14 | 株式会社 幸田 | ダイヤフラム式バルブ |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE2703283C2 (de) * | 1976-02-03 | 1984-09-06 | Smiths Industries Public Ltd. Co., London | Druckempfindliches Diaphragma |
| JPH0515696Y2 (ja) * | 1986-12-23 | 1993-04-26 |
-
1987
- 1987-12-09 JP JP62311435A patent/JPH0830536B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01153869A (ja) | 1989-06-16 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
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