JPH03194269A - 全金属ダイヤフラムバルブ - Google Patents
全金属ダイヤフラムバルブInfo
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- JPH03194269A JPH03194269A JP33182689A JP33182689A JPH03194269A JP H03194269 A JPH03194269 A JP H03194269A JP 33182689 A JP33182689 A JP 33182689A JP 33182689 A JP33182689 A JP 33182689A JP H03194269 A JPH03194269 A JP H03194269A
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Landscapes
- Lift Valve (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、半導体ガスプロセスなどに用いられる高性能
のダイヤフラムバルブに関するもので、詳しくは、全金
属化してその性能の向上を提供するものである。
のダイヤフラムバルブに関するもので、詳しくは、全金
属化してその性能の向上を提供するものである。
本発明は、ダイヤプラムバルブに於て、ダイヤフラムと
接触する弁座シートを金属材でブロック化し、その素材
として超硬又は、ステンレスに表面硬化処理を施し、そ
のシール部分を凸断面形状にすることにより、リングを
弁座シートにしたものを用いる当接部から発生する塵、
つまりパーティクルの発生が少く、150℃以上の高温
でのベーキングが可能で、かつ腐蝕性ガスも使用できる
高性能ダイヤフラムバルブを得ることを目的としたもの
である。
接触する弁座シートを金属材でブロック化し、その素材
として超硬又は、ステンレスに表面硬化処理を施し、そ
のシール部分を凸断面形状にすることにより、リングを
弁座シートにしたものを用いる当接部から発生する塵、
つまりパーティクルの発生が少く、150℃以上の高温
でのベーキングが可能で、かつ腐蝕性ガスも使用できる
高性能ダイヤフラムバルブを得ることを目的としたもの
である。
従来、半導体プロセスのガスなどに用いられるダイヤフ
ラムバルブは第2図の断面図に示されるように、ダイヤ
フラム3と弁座シート1′の材質がポリイミドなどの高
分子材料か、又は、第3図の断面図に示されるようにバ
ルブケース2と一体構造の5US316Lなどのステン
レス材が用いられていた。
ラムバルブは第2図の断面図に示されるように、ダイヤ
フラム3と弁座シート1′の材質がポリイミドなどの高
分子材料か、又は、第3図の断面図に示されるようにバ
ルブケース2と一体構造の5US316Lなどのステン
レス材が用いられていた。
しかし、ポリイミドなどの高分子弁座では、耐熱強度が
低い為に、150℃以上の高温ベーキングができず、又
、塩酸、フッ酸などの腐蝕性ガスを用いることもできな
かった。
低い為に、150℃以上の高温ベーキングができず、又
、塩酸、フッ酸などの腐蝕性ガスを用いることもできな
かった。
一方、ステンレス弁座シートは、表面硬度が低い為、ダ
イヤフラムとの接触により、摩耗が生じ、パーティクル
が発生してしまい、ガスの純度が低下してしまうという
欠点があった。
イヤフラムとの接触により、摩耗が生じ、パーティクル
が発生してしまい、ガスの純度が低下してしまうという
欠点があった。
そこで本発明は、従来のこのような両者の欠点を解決し
、150℃以上の高温ベーキングも可能で、パーティク
ル発生が少なく、かつ、腐蝕性ガスも使用できる高性能
オールメタルダイヤフラムバルブを得ることを目的とし
ている。
、150℃以上の高温ベーキングも可能で、パーティク
ル発生が少なく、かつ、腐蝕性ガスも使用できる高性能
オールメタルダイヤフラムバルブを得ることを目的とし
ている。
上記問題点を解決する為に、本発明は、弁座シートをブ
ロック化して1部材とし、その部材は超硬又は、ステン
レス表面にTiC−TiNなどの硬化処理を施したもの
であり、その上、下のシール部分に凸部をもうける構造
にしたものである。
ロック化して1部材とし、その部材は超硬又は、ステン
レス表面にTiC−TiNなどの硬化処理を施したもの
であり、その上、下のシール部分に凸部をもうける構造
にしたものである。
上記のように措成されたオールメタルダイヤフラムバル
ブを用いると、従来の高分子弁座シート、又はステンレ
ス弁座シートに比べ、150℃以上の高温ベーキングが
可能で、ダイヤフラムとの接触摩耗によるパーティクル
の発生が少く、しかも、腐蝕性ガスも使用できる為、高
純度ガス供給システムに最適な高性能ダイヤフラムバル
ブが得られる。
ブを用いると、従来の高分子弁座シート、又はステンレ
ス弁座シートに比べ、150℃以上の高温ベーキングが
可能で、ダイヤフラムとの接触摩耗によるパーティクル
の発生が少く、しかも、腐蝕性ガスも使用できる為、高
純度ガス供給システムに最適な高性能ダイヤフラムバル
ブが得られる。
以下に本発明の実施例を第1図の断面図により説明する
。
。
同図に於て、円筒状の超硬製の弁座シートブロック1が
ステンレス製バルブケース2に挿入されている。このシ
ートブロックの外周端部1aは、上、下面とも凸断面に
なっており、その部分の上凸部でダイヤフラム3、及び
下凸部でバルブケース2と接触し、圧接ネジ4によって
押圧され、外部とのシーリングが行われている。このシ
ートブロックの内周端部1bも上、下面とも凸断面にな
っており、下凸部はバルブケース2に押圧されて外部と
のシーリングが行われ、上凸部は、ダイヤフラム3と一
体化したステム5の下方向への移動によりダイヤフラム
3に押圧され、このステム5の上下移動により、ガスの
供給、遮断の制御が行われる。
ステンレス製バルブケース2に挿入されている。このシ
ートブロックの外周端部1aは、上、下面とも凸断面に
なっており、その部分の上凸部でダイヤフラム3、及び
下凸部でバルブケース2と接触し、圧接ネジ4によって
押圧され、外部とのシーリングが行われている。このシ
ートブロックの内周端部1bも上、下面とも凸断面にな
っており、下凸部はバルブケース2に押圧されて外部と
のシーリングが行われ、上凸部は、ダイヤフラム3と一
体化したステム5の下方向への移動によりダイヤフラム
3に押圧され、このステム5の上下移動により、ガスの
供給、遮断の制御が行われる。
各シーリング部分は、すべてその表面が平滑で清浄な表
面となっており、気密性が保てるようになっている。こ
のようにシートブロックに超硬を用いることにより、ダ
イヤフラムとの接触摩耗により発生するパーティクルの
発生防止、150℃以上の高温ベーキングの実施ができ
るとともに、腐蝕性ガスの制御も適用が可能となる。
面となっており、気密性が保てるようになっている。こ
のようにシートブロックに超硬を用いることにより、ダ
イヤフラムとの接触摩耗により発生するパーティクルの
発生防止、150℃以上の高温ベーキングの実施ができ
るとともに、腐蝕性ガスの制御も適用が可能となる。
又、シートブロックとして、ステンレスの表面又は、ダ
イヤプラムとの接触面に、TiC又は、TiNなどの表
面硬化処理を施すことにより、同様の効果を得ることが
できる。
イヤプラムとの接触面に、TiC又は、TiNなどの表
面硬化処理を施すことにより、同様の効果を得ることが
できる。
上記した本発明による全金属ダイヤプラムバルブと従来
からのものとの性能比較を行った。その結果、第7図に
示すように、パーティクル数が大幅に減少し、同時に第
4図に示す従来の放出ガスに比べ第5図に示すように減
少している。又、第6図のリーク量、及び第7図のパー
ティクル数に対するくり返し試験による対摩耗性におい
て、本発明による全金属ブロックは極めて早期に安定し
た気密性を発揮するものであり、その特性は、150℃
以上の高温でのベーキングも可能で、かつ、塩酸、フッ
酸などの腐蝕性ガスに対しても適用できるものである。
からのものとの性能比較を行った。その結果、第7図に
示すように、パーティクル数が大幅に減少し、同時に第
4図に示す従来の放出ガスに比べ第5図に示すように減
少している。又、第6図のリーク量、及び第7図のパー
ティクル数に対するくり返し試験による対摩耗性におい
て、本発明による全金属ブロックは極めて早期に安定し
た気密性を発揮するものであり、その特性は、150℃
以上の高温でのベーキングも可能で、かつ、塩酸、フッ
酸などの腐蝕性ガスに対しても適用できるものである。
本発明は、以上説明したように、ダイヤフラムバルブの
部品すべてをメタル化することによりパーティクルの発
生が少なく、150℃以上での高温ベーキングも可能で
、腐蝕性ガスも使用できる高性能バルブであり、このバ
ルブの完成により半導体プロセスなどに用いられる超高
純度ガス供給システムの性能向上に極めて大きな効果を
与えるものである。
部品すべてをメタル化することによりパーティクルの発
生が少なく、150℃以上での高温ベーキングも可能で
、腐蝕性ガスも使用できる高性能バルブであり、このバ
ルブの完成により半導体プロセスなどに用いられる超高
純度ガス供給システムの性能向上に極めて大きな効果を
与えるものである。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明による全金属ダイヤプラムバルブの断面
図、第2図、第3図は、従来の高分子シートブロック型
、及び一体型の全金属によるダイヤフラムバルブの断面
図である。 第4図は、従来の高分子弁座シート型のダイヤフラムバ
ルブの放出ガスを示す特性図。第5図は本発明のオール
メタルダイヤフラムバルブの放出ガスを示す特性図。第
6図は各バルブのリーク量の比較をした特性図、第7図
は耐久性に対する金属パブのパーティクル発生数を比較
する特性図である。 1 今 − 1a ・ 1 b ・ 1 3 ・ ・ 4 瞭 ・ 5 ・ ・ シートブロック 外周端部 内周端部 バルブケース ダイヤフラム 圧接ネジ ステム 以 上 不発明の全金jj、井度シートの肘面図躬 1 図
図、第2図、第3図は、従来の高分子シートブロック型
、及び一体型の全金属によるダイヤフラムバルブの断面
図である。 第4図は、従来の高分子弁座シート型のダイヤフラムバ
ルブの放出ガスを示す特性図。第5図は本発明のオール
メタルダイヤフラムバルブの放出ガスを示す特性図。第
6図は各バルブのリーク量の比較をした特性図、第7図
は耐久性に対する金属パブのパーティクル発生数を比較
する特性図である。 1 今 − 1a ・ 1 b ・ 1 3 ・ ・ 4 瞭 ・ 5 ・ ・ シートブロック 外周端部 内周端部 バルブケース ダイヤフラム 圧接ネジ ステム 以 上 不発明の全金jj、井度シートの肘面図躬 1 図
Claims (1)
- ダイヤフラムバルブに於て、ダイヤフラムが接触する弁
座シートを超硬又は、ステンレスに表面硬化処理を施し
たメタルでブロック化し、そのシール部分の表面を鏡面
仕上げを施した凸状の断面形状にしたことを特徴とする
全金属ダイヤフラムバルブ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP33182689A JPH03194269A (ja) | 1989-12-20 | 1989-12-20 | 全金属ダイヤフラムバルブ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP33182689A JPH03194269A (ja) | 1989-12-20 | 1989-12-20 | 全金属ダイヤフラムバルブ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH03194269A true JPH03194269A (ja) | 1991-08-23 |
Family
ID=18248077
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP33182689A Pending JPH03194269A (ja) | 1989-12-20 | 1989-12-20 | 全金属ダイヤフラムバルブ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH03194269A (ja) |
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---|---|---|---|---|
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- 1989-12-20 JP JP33182689A patent/JPH03194269A/ja active Pending
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