JPH08304923A - プロジェクター装置 - Google Patents

プロジェクター装置

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JPH08304923A
JPH08304923A JP7136139A JP13613995A JPH08304923A JP H08304923 A JPH08304923 A JP H08304923A JP 7136139 A JP7136139 A JP 7136139A JP 13613995 A JP13613995 A JP 13613995A JP H08304923 A JPH08304923 A JP H08304923A
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JP
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micromirror
micromirrors
projector device
dmd
pixel
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JP7136139A
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English (en)
Inventor
Yutaka Iwasaki
豊 岩崎
Kazuya Okamoto
和也 岡本
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Nikon Corp
Original Assignee
Nikon Corp
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 アドレスラインの本数を増大させることなく
簡素な構成により、大きな画素値で階調表現を行うこと
のできるプロジェクター装置を提供すること。 【構成】 照明光を供給するための照明光供給手段と、
該照明光供給手段からの照明光を光変調するためのDM
Dと、該DMDからの光をスクリーン上に投影するため
の投射光学系とを備えたプロジェクター装置において、
前記スクリーン上に形成される画像の各画素は、前記D
MD上においてそれぞれ複数のマイクロミラーからなる
各マイクロミラー群に対応し、前記各マイクロミラー群
は、それぞれほぼ同じ大きさを有し且つ反射光量が互い
に異なる複数のマイクロミラーを有する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明はプロジェクター装置に関
し、特に光変調素子にDMDを用いたプロジェクター装
置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来のプロジェクター装置では、液晶素
子により光を位相変調または散乱変調するプロジェクシ
ョン方式が採用されていた。一方、最近では、DMD
(Digital Micromirror Deviceまたは Deformable Micr
omirror Device)を光変調素子として用いる新たなプロ
ジェクション方式が提案されている。
【0003】DMDは、近年新たに提案されているマイ
クロディバイスである。たとえばソリッド ステイト
テクノロジ(Solid State Technology)の1994年7
月号の第63頁乃至第68頁、エス アイ ディー(SI
D)1993年ダイジェスト版の第1012頁乃至第10
15頁、エス ピー アイ イー クリティカル レヴ
ューズ シリーズ(SPIE Critical Reviews Series)第
1150巻の第86頁乃至第102頁等に開示されてい
るように、DMDは碁盤の目状に配列された多数のマイ
クロミラー(反射ミラー)からなる。
【0004】このように、DMDは微小なマイクロミラ
ーを集積化したものであり、各マイクロミラー毎に設け
られた電極とマイクロミラーとの間の静電引力によって
マイクロミラーの角度(すなわち向き)が変化する。す
なわち、各マイクロミラーの向きは、それぞれ個別に駆
動制御されるように構成されている。ちなみに、各マイ
クロミラーはたとえば約25μm×25μmの正方形状
であり、1つのDMDはたとえば数十万乃至数百万個の
マイクロミラーからなっている。
【0005】上述のように、DMDを構成する各マイク
ロミラーはON状態またはOFF状態で使用され、その
間の中間的な状態では使用されない。したがって、DM
Dを用いたプロジェクター装置において中間的な明るさ
を含む画像を表現(階調表現)しようとする場合、何ら
かの工夫が必要となる。
【0006】たとえば、米国特許第4,978,950 号では、
DMDを用いたプロジェクター装置において256(=
8 )画素値の階調表現を行うために、反射率の比率が
2のべきの関係(20 、21 ・・・、27 )になった8
枚のDMDを使用している。そして、各DMDを構成す
る複数のマイクロミラーのうちスクリーン上の各画素に
対応する位置にある8個のマイクロミラー(各DMDに
ついて1個のマイクロミラー)からの光がスクリーン上
で重なるように構成している。この場合、2のべき(こ
の場合28 )に重み付けされた各画素の階調数(画素
値)に応じて、8枚のDMDの対応する8個のマイクロ
ミラーのうち所望のマイクロミラー(すなわち所望のD
MD)だけを選択的にON状態にすることにより、階調
表現を行うことができる。
【0007】また、テキサス インストルメンツ社(TE
XAS INSTRUMENTS )のジェー.ビー.サンプセル(J.B.
Sampsell)等は、DMDの高速スイッチング性を生かし
て、1フレーム時間内においてDMDの各マイクロミラ
ーのON状態にある時間を適宜変化させることによっ
て、擬似的に階調表現を行う方法を提案している("Ano
verview of Texas Instruments' Digital Micromirror
Device (DMD) and itsApplication to Projection Disp
lays," Society for Information Display Internation
al Symposium Digest of Technical Papers, vol XXIV,
p1012(1993)を参照)。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】上述のように、米国特
許第4,978,950 号に開示の方法では、8枚ものDMDを
使用し、スクリーン上の各画素に対応する位置にある8
個のマイクロミラー(各DMDについて1個のマイクロ
ミラー)からの光をスクリーン上でずれることなく重ね
る必要がある。したがって、このような8枚のDMDの
アライメントのために、大型で複雑なアライメント光学
系が必要となってしまう。また、1フレーム時間内にお
けるON状態の時間を適宜変化させて擬似的に階調表現
を行う方法では、256値に量子化された画像の階調数
を時間に変換するための回路が必要となってしまう。
【0009】なお、2値で階調表現を行おうとする場
合、1画素をそれぞれ大きさの等しい複数の分割画素に
分割し、その複数の分割画素のうちON状態にある分割
画素の数を適宜変化させることによって、人間の目に疑
似的に階調を感じさせることができる。この方法は、1
6画素値程度までの比較的階調数の少ない場合や、また
はプリンタ装置などのように1次元の画素形成装置と1
次元の走査装置との組み合わせによって2次元画像を形
成するような場合には、単純な構成で階調表現を実現す
ることができるので有効である。
【0010】しかしながら、上述の分割画素の方法で
は、DMDを用いたプロジェクター装置で一般に求めら
れるような大きな階調数、たとえば256画素値を表現
するために255の分割画素が必要である。そして、2
55に分割した個々の分割画素をそれぞれアドレス指定
するために、1画素に対して最低32(1画素が15×
17の分割画素で構成されている場合)本のアドレスラ
インが必要となり、回路が複雑になってしまう。
【0011】本発明は、前述の課題に鑑みてなされたも
のであり、アドレスラインの本数を増大させることなく
簡素な構成により、大きな画素値で階調表現を行うこと
のできるプロジェクター装置を提供することを目的とす
る。
【0012】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
に、本発明においては、照明光を供給するための照明光
供給手段と、該照明光供給手段からの照明光を光変調す
るためのDMDと、該DMDからの光をスクリーン上に
投影するための投射光学系とを備えたプロジェクター装
置において、前記スクリーン上に形成される画像の各画
素は、前記DMD上においてそれぞれ複数のマイクロミ
ラーからなる各マイクロミラー群に対応し、前記各マイ
クロミラー群は、それぞれほぼ同じ大きさを有し且つ反
射光量が互いに異なる複数のマイクロミラーを有するこ
とを特徴とするプロジェクター装置を提供する。
【0013】本発明の好ましい態様によれば、前記各マ
イクロミラー群は、それぞれ反射領域がほぼ一定で且つ
反射率が互いに異なる所定数のマイクロミラーを有する
か、あるいはそれぞれ反射率がほぼ一定で且つ反射領域
が互いに異なる所定数のマイクロミラーを有する。
【0014】
【作用】本発明では、スクリーン上に形成される画像の
各画素は、DMD上おいてそれぞれ複数のマイクロミラ
ーからなる各マイクロミラー群に対応している。そし
て、各マイクロミラー群がそれぞれほぼ同じ大きさを有
し且つ反射光量が互いに異なる複数のマイクロミラーを
有するように構成されている。具体的には、各マイクロ
ミラー群は、それぞれ反射領域がほぼ一定で且つ反射率
が互いに異なる所定数のマイクロミラーを有するか、あ
るいはそれぞれ反射率がほぼ一定で且つ反射領域が互い
に異なる所定数のマイクロミラーを有する。
【0015】図1は、スクリーン上に形成される画像の
各画素にそれぞれ対応する各マイクロミラー群について
本発明の作用を説明する図である。図1に示すように、
スクリーン上に形成される画像の1画素が、たとえばそ
れぞれ同じ大きさを有する8個のマイクロミラーi(i
=0〜7)からなる1つのマイクロミラー群に対応して
いる。なお、各マイクロミラーiの反射率Ri は、次の
式(1)で表される。 Ri =R×2i-7 (i=0〜7) (1) ここで、 R:任意の正の定数
【0016】したがって、式(1)に示すように反射率
が重み付けされた8個のマイクロミラーiのうちON状
態にあるマイクロミラーによってスクリーンに向かって
反射された光量の総和が、8個のマイクロミラーiによ
ってスクリーン上で形成される画素の画素値に対応す
る。すなわち、各マイクロミラーiでの反射光量が2の
べきの関係で重み付けがなされているため、各マイクロ
ミラーiのON/OFF状態を適宜制御することによっ
て、8個のマイクロミラーで2の8乗すなわち256画
素値の階調を表現することができる。
【0017】一方、スクリーン上に形成される画像の各
画素の階調数は、2進数8ビットで量子化されており、
2の8乗すなわち256画素値からなる。この8ビット
2進数の各桁の重みは、2のj乗(j=0〜7)になっ
ている。例えば、画素の階調数が93の場合、階調数9
3は2進表現では01011101と表すことができる。この場
合、2のj乗の桁の値に注目すると、j=0,2,3,
4,6の桁の値が1である。したがって、図2に示すよ
うに、8個のマイクロミラーiのうちi=0,2,3,
4,6の5個のマイクロミラーをON状態(図中黒色部
分で示す)にすることによって階調数93の階調表現を
行うことができる。
【0018】このように、所望の階調数を2進表現で表
し、2のj乗の桁の値に応じて8個のマイクロミラーi
のうち所定のマイクロミラーだけをON状態にすること
によって階調数256のうちすべての階調を連続的に表
現することができる。また、図2を参照すると、1画素
に対して合計6本(図中水平方向に4本、鉛直方向に2
本)のアドレスラインによって個々のマイクロミラーを
制御して、256画素値の階調表現が可能である。この
ように、本発明によれば、アドレスラインの本数を増大
させることなく簡素な構成により、大きな画素値で階調
表現を行うことができる。
【0019】
【実施例】以下、本発明の実施例を、添付図面に基づい
て説明する。図3は、本発明の実施例にかかるプロジェ
クター装置の構成を概略的に示す図である。図3のプロ
ジェクター装置は、光変調素子としてのDMD15と、
DMD15からの光をスクリーン18上に投影するため
の投射光学系とを備えている。投射光学系は、DMD1
5側から順に、第1レンズ群14と、第1レンズ群14
のスクリーン側焦点面に位置決めされた開口絞り16
と、第2レンズ群17とからなる。なお、投射光学系
は、DMD15側にテレセントリックに構成されてい
る。
【0020】図3のプロジェクター装置はまた、照明光
を発する光源11を備えている。なお、光源11は、楕
円鏡12の第1焦点位置に位置決めされている。したが
って、光源11からの光は、楕円鏡12で集光され、さ
らにミラー13で反射された後、楕円鏡12の第2焦点
位置に光源像を形成する。楕円鏡12の第2焦点位置に
は、照明光絞り19が設けられている。なお、照明光絞
り19が設けられている楕円鏡12の第2焦点位置は、
第1レンズ群14のスクリーン側焦点面上にある。換言
すれば、開口絞り16と照明光絞り19とは、光学的に
共役な位置に配置されている。そして、開口絞り16の
開口は、照明光絞り19の開口と同じ大きさかあるいは
わずかに大きく形成されている。
【0021】光源像からの光は、照明光絞り19および
第1レンズ群14を介して、DMD15を照明する。こ
のように、光源11、楕円鏡12、ミラー13および照
明光絞り19は、DMD15に照明光を供給するための
照明光供給手段を構成している。さらに、図3のプロジ
ェクター装置は、画像情報を入力する入力部1と、この
入力部1からの画像情報に基づいてDMD15の各マイ
クロミラーのON/OFF状態を制御する制御部2とを
備えている。
【0022】入力部1として、たとえば磁気記憶媒体
(FDやビデオテープ等)、光学的記憶媒体(フォトC
D、MO(光磁気記憶媒体)等)、電気的記憶媒体(I
Cカード等)が有する画像情報を読み出す手段を適用す
ることができる。また、入力部1をプロジェクター装置
本体とは別体に構成し、たとえば端子を介してプロジェ
クター装置本体に接続されるように構成することもでき
る。
【0023】制御部2からの指令に基づいてDMD15
においてOFF状態に角度制御されたマイクロミラーで
反射された不要光は、第1レンズ群14を介して照明光
絞り19に戻る。こうして、照明光絞り19の等倍像が
照明光絞り19自体の上に形成される。そして、照明光
絞り19を効率良く通過した不要光は、さらにミラー1
3および楕円鏡12を介して光源11に戻っていくこと
になる。
【0024】一方、制御部2からの指令に基づいてDM
D15においてON状態に角度制御されたマイクロミラ
ーで反射された光は、第1レンズ群14を介して開口絞
り16に達する。こうして、照明光絞り19の等倍像
が、開口絞り16上に形成されることになる。上述した
ように、開口絞り16の開口は照明光絞り19の開口と
同じ大きさかあるいはわずかに大きく形成されているの
で、DMD15からの光は効率良く開口絞り16を通過
する。開口絞り16を通過した光は、第2レンズ群17
を介してスクリーン18上に投射される。こうして、D
MD15の個々のマイクロミラーの向きに応じた明暗の
パターンがスクリーン上に画像として形成される。
【0025】図4は、図3におけるDMD15のうち4
つの画素にそれぞれ対応する4つのマイクロミラー群を
示す図である。図4に示すように、DMDにおいて縦横
に配列された8個のマイクロミラーからなる各マイクロ
ミラー群が各画素に対応している。図4では、紙面の限
定上4つの画素に対応する4つのマイクロミラー群すな
わち合計32個のマイクロミラーだけを示したが、DM
D全体ではこのような1画素に対応するマイクロミラー
群がたとえば縦横に128群並んで1フレームを構成し
ている。
【0026】図4では、4つの画素にそれぞれ対応する
4つのマイクロミラー群のうち、図中左上のマイクロミ
ラー群をG1、図中右上のマイクロミラー群をG2、図
中左下のマイクロミラー群をG3、図中右下のマイクロ
ミラー群をG4としている。そして、各マイクロミラー
群Giにおいて、図中左上から右方向に並んだ4つのマ
イクロミラーをそれぞれei0〜ei3とし、図中左下から
右方向に並んだ4つのマイクロミラーをそれぞれei4〜
ei7としている。
【0027】図示のように、各マイクロミラーはそれぞ
れ同じ大きさであり、各マイクロミラー群は全体として
ほぼ正方形をなしている。さらに、各マイクロミラー群
G1〜G4において、対応する位置にあるマイクロミラ
ー、たとえばe10、e20、e30、e40はそれぞれ同じ反
射率R0 を有する。また、対応する位置にある別のマイ
クロミラー、たとえばe1i、e2i、e3i、e4iはそれぞ
れ同じ反射率Ri を有する。ここで、反射率Ri (i=
0〜7)は前述の式(1)に示す関係を満たしている。
【0028】これらのマイクロミラーの反射率分布は、
通常のDMDプロセスの終了後に、所定位置に開口を有
するマスクを用いて所定のマイクロミラー上に顔料を所
定量だけ蒸着するプロセスを7回繰り返すことによって
得られる。具体的には、まずei0以外のマイクロミラー
に対して開口を有するマスクを用いてei1〜ei7のマイ
クロミラー上に一定量の顔料を蒸着する。次いで、ei0
およびei1以外のマイクロミラーに対して開口を有する
マスクを用いてei2〜ei7のマイクロミラー上に一定量
の顔料を蒸着する。そして、ei0〜ei6以外のマイクロ
ミラーに対して開口を有するマスクを用いてei7のマイ
クロミラー上に一定量の顔料を蒸着するまで、このプロ
セスを合計7回繰り返す。こうして、各マイクロミラー
について、所望の反射率分布を得ることができる。
【0029】1画素に対応する各マイクロミラー群は、
図4に示すように配列された8個のマイクロミラーで構
成されている。このため、図2に示すように、各マイク
ロミラー群に対して、水平方向に4本のアドレスライン
が、鉛直方向に2本のアドレスラインがあることにな
る。このような構成では、各マイクロミラーを疑似的に
単一の画素とみなすこともできる。したがって、XYア
ドレス方式により各マイクロミラーのアドレス回路へ書
き込みを行うことによって、各マイクロミラーを独立に
ON/OFF制御することができる。
【0030】例えば、あるフレームでの画像の画素値
が、画素1、2、3、4でそれぞれ57、124、2、
78であるとする。この場合、これらの画素値57、1
24、2、78の2進表現は、それぞれ次の表(1)に
示すようになる。
【表1】
【0031】したがって、本発明の作用で説明したよう
に、画素1に対応するマイクロミラー群G1では、2進
表現において1の値を有する桁に応じてi=0、3、
4、5のマイクロミラー、すなわちe10、e13、e14、
e15がON状態(図中黒色で示す)になる。また、画素
2に対応するマイクロミラー群G2では、2進表現にお
いて1の値を有する桁に応じてi=2、3、4、5、6
のマイクロミラー、すなわちe22、e23、e24、e25、
e26がON状態(図中黒色で示す)になる。
【0032】また、画素3に対応するマイクロミラー群
G3では、2進表現において1の値を有する桁に応じて
i=1のマイクロミラー、すなわちe31がON状態(図
中黒色で示す)になる。さらに、画素4に対応するマイ
クロミラー群G4では、2進表現において1の値を有す
る桁に応じてi=1、2、3、6のマイクロミラー、す
なわちe41、e42、e43、e46がON状態(図中黒色で
示す)になる。
【0033】このように、本実施例では、1つの画素に
対応するマイクロミラー群において8個のマイクロミラ
ーのON/OFF状態を適宜制御することによって、少
ないアドレスラインの本数で2の8乗すなわち256画
素値の階調を表現することができる。
【0034】図5は、本発明におけるDMDの変形例を
示す図である。なお、図5には、1つの画素に対応する
マイクロミラー群として8個のマイクロミラーからなる
マイクロミラー群G1だけを示している。また、上述の
実施例と同様に、マイクロミラー群G1において、図中
左上から右方向に並んだ4つのマイクロミラーをそれぞ
れe10〜e13とし、図中左下から右方向に並んだ4つの
マイクロミラーをそれぞれe14〜e17としている。
【0035】図示のように、各マイクロミラーはそれぞ
れ同じ大きさであり、マイクロミラー群G1は全体とし
てほぼ正方形をなしている。なお、上述の実施例では各
マイクロミラーに蒸着する顔料の量を変化させることに
より所望の反射率分布すなわち所望の反射光量分布を得
ている。しかしながら、この変形例では、各マイクロミ
ラーe10〜e17に対して開口面積の異なるマスクを用い
て顔料を所定量だけ蒸着することにより、所望の反射領
域分布すなわち所望の反射光量分布を得ている。
【0036】図5を参照すると、斜線部は顔料が蒸着さ
れた領域、すなわち光の反射が無視できる程度に小さい
領域を示している。換言すれば、図5において、斜線が
施されていない白い部分が各マイクロミラーの反射領域
である。なお、各反射領域における反射率は一定であ
る。そして、各マイクロミラーe10〜e17の反射領域の
面積Ai は、前述の式(1)と類似の式(2)に示す関
係を満たすように構成されている。 Ai =A×2i-7 (i=0〜7) (2) ここで、 A:任意の正の定数
【0037】このように、変形例においても、各マイク
ロミラーe10〜e17からの反射光量比率を、上述の実施
例と同じように2のべきの関係に基づいて変化させてい
る。したがって、本変形例においても、各マイクロミラ
ーe10〜e17のON/OFF状態を適宜制御することに
よって、8個のマイクロミラーで2の8乗すなわち25
6画素値の階調を表現することができる。
【0038】なお、上述の実施例および変形例では、8
個のマイクロミラーが1つの画素に対応する例を示した
が、所望の階調数(画素値)に応じて1つの画素に対応
するマイクロミラーの数を変化させることができること
は明らかである。また、上述の実施例および変形例で
は、1つの画素に対応するマイクロミラー群において各
マイクロミラーの反射光量が2のべきの関係に基づいて
変化する例を示したが、各マイクロミラーの反射光量が
互いに異なることが重要であり、各マイクロミラーの反
射光量の比率が必ずしも2のべきの関係を満たしている
必要はない。
【0039】
【効果】以上説明したように、本発明によれば、アドレ
スラインの本数を増大させることなく簡素な構成によ
り、大きな画素値で階調表現を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】スクリーン上に形成される画像の各画素にそれ
ぞれ対応する各マイクロミラー群について本発明の作用
を説明する図である。
【図2】1つの画素に対応する各マイクロミラーのON
/OFF状態を示す図である。
【図3】本発明の実施例にかかるプロジェクター装置の
構成を概略的に示す図である。
【図4】図3におけるDMD15のうち4つの画素にそ
れぞれ対応する4つのマイクロミラー群を示す図であ
る。
【図5】本発明におけるDMDの変形例を示す図であ
る。
【符号の説明】
1 入力部 2 制御部 11 光源 12 楕円鏡 13 ミラー 14 第1レンズ群 15 DMD 16 開口絞り 17 第2レンズ群 18 スクリーン 19 照明光絞り Gi マイクロミラー群 eij 各マイクロミラー

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 照明光を供給するための照明光供給手段
    と、該照明光供給手段からの照明光を光変調するための
    DMDと、該DMDからの光をスクリーン上に投影する
    ための投射光学系とを備えたプロジェクター装置におい
    て、 前記スクリーン上に形成される画像の各画素は、前記D
    MD上においてそれぞれ複数のマイクロミラーからなる
    各マイクロミラー群に対応し、 前記各マイクロミラー群は、それぞれほぼ同じ大きさを
    有し且つ反射光量が互いに異なる複数のマイクロミラー
    を有することを特徴とするプロジェクター装置。
  2. 【請求項2】 前記各マイクロミラー群は、それぞれ反
    射領域がほぼ一定で且つ反射率が互いに異なる所定数の
    マイクロミラーを有することを特徴とする請求項1に記
    載のプロジェクター装置。
  3. 【請求項3】 前記各マイクロミラー群はn個のマイク
    ロミラーを有し、各マイクロミラーの反射率はそれぞれ
    0 R、21 R、・・・、2n-1 R(ただし、Rは任意
    の正の定数)であることを特徴とする請求項2に記載の
    プロジェクター装置。
  4. 【請求項4】 前記各マイクロミラー群は、それぞれ反
    射率がほぼ一定で且つ反射領域が互いに異なる所定数の
    マイクロミラーを有することを特徴とする請求項1に記
    載のプロジェクター装置。
  5. 【請求項5】 前記各マイクロミラー群はn個のマイク
    ロミラーを有し、各マイクロミラーの反射領域はそれぞ
    れ20 A、21 A、・・・、2n-1 A(ただし、Aは任
    意の正の定数)であることを特徴とする請求項4に記載
    のプロジェクター装置。
  6. 【請求項6】 前記スクリーン上に形成される画像の各
    画素に2n の画素値を付与するように、前記各マイクロ
    ミラー群においてn個のマイクロミラーの各々の向きを
    それぞれ制御するための制御手段をさらに備えているこ
    とを特徴とする請求項3または5に記載のプロジェクタ
    ー装置。
JP7136139A 1995-05-10 1995-05-10 プロジェクター装置 Pending JPH08304923A (ja)

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10209019A (ja) * 1997-01-27 1998-08-07 Sony Corp 露光パターン投影デバイス及び露光装置
JP2002287250A (ja) * 2001-03-28 2002-10-03 Mitsubishi Electric Corp 光源装置およびプロジェクションテレビジョン
JP2013101308A (ja) * 2011-10-17 2013-05-23 Panasonic Corp 表示装置及びその制御方法

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