JPH0829291A - キンク検出装置 - Google Patents
キンク検出装置Info
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- JPH0829291A JPH0829291A JP18188094A JP18188094A JPH0829291A JP H0829291 A JPH0829291 A JP H0829291A JP 18188094 A JP18188094 A JP 18188094A JP 18188094 A JP18188094 A JP 18188094A JP H0829291 A JPH0829291 A JP H0829291A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明は、複数の区間に分割して、各々の区
間で近似二次曲線30を計算し、これからキンク点を求
める手段により、より的確なキンク点位置と誤差を低減
した偏差値データを得ることを目的とする。 【構成】 微分プロット波形を複数区間に分割して、各
々の区間について最小二乗法の計算手段により近似二次
曲線20nを求める曲線演算部12nを設け、求めた近
似二次曲線20nと微分プロット波形との偏差を求め
て、偏差のピープ点を求めるキンク点抽出部80を設け
る構成手段。
間で近似二次曲線30を計算し、これからキンク点を求
める手段により、より的確なキンク点位置と誤差を低減
した偏差値データを得ることを目的とする。 【構成】 微分プロット波形を複数区間に分割して、各
々の区間について最小二乗法の計算手段により近似二次
曲線20nを求める曲線演算部12nを設け、求めた近
似二次曲線20nと微分プロット波形との偏差を求め
て、偏差のピープ点を求めるキンク点抽出部80を設け
る構成手段。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、レーザーダイオード
の光出力特性の検査において、入力電流に対して光出力
の特性曲線データから、非単調特性な欠陥起伏曲線であ
るキンク(kink)の位置とその偏差値を求めるキンク検
出装置に関する。
の光出力特性の検査において、入力電流に対して光出力
の特性曲線データから、非単調特性な欠陥起伏曲線であ
るキンク(kink)の位置とその偏差値を求めるキンク検
出装置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来例としては、光出力特性データを微
分した微分効率波形200から、指定区間を近似させた
1本の二次曲線を求め、両者との偏差値がピークの位置
を示すキンク点と見なし、この点の偏差値を表示する例
がある。これについて、図3と図4を参照して説明す
る。本装置の構成は、図3に示すように、電流源40
と、被試験デバイス50と、光検出器60と、AD変換
器62と、データメモリ64と、微分演算部66と、二
次曲線演算部70と、キンク点抽出部80と、表示部9
0と、制御部95とで構成している。
分した微分効率波形200から、指定区間を近似させた
1本の二次曲線を求め、両者との偏差値がピークの位置
を示すキンク点と見なし、この点の偏差値を表示する例
がある。これについて、図3と図4を参照して説明す
る。本装置の構成は、図3に示すように、電流源40
と、被試験デバイス50と、光検出器60と、AD変換
器62と、データメモリ64と、微分演算部66と、二
次曲線演算部70と、キンク点抽出部80と、表示部9
0と、制御部95とで構成している。
【0003】電流源40は、DUT50に所望の印加電
流を供給する電流源であり、制御部95から任意のステ
ップ単位の電流設定パラメータを受けてDUTに供給す
る。DUT50は、被検査用のレーザーダイオードであ
り、所望により、加熱/冷却手段により一定の温度にさ
れた状態で試験される。光検出器60は、光電変換器で
あり、DUT50から出射光線の全部あるいは一部を光
検出センサで受けて電気信号に変換し、この光検出セン
サの電流信号を電圧信号に変換し、必要により増幅器を
設けて増幅した後AD変換器62に供給する。
流を供給する電流源であり、制御部95から任意のステ
ップ単位の電流設定パラメータを受けてDUTに供給す
る。DUT50は、被検査用のレーザーダイオードであ
り、所望により、加熱/冷却手段により一定の温度にさ
れた状態で試験される。光検出器60は、光電変換器で
あり、DUT50から出射光線の全部あるいは一部を光
検出センサで受けて電気信号に変換し、この光検出セン
サの電流信号を電圧信号に変換し、必要により増幅器を
設けて増幅した後AD変換器62に供給する。
【0004】AD変換器62は、光検出器60からのア
ナログ電圧信号を受けて、量子化してデジタル信号に変
換した後、これをデータメモリ64に保存する。データ
メモリ64への保存は、DUT50に印加するステップ
電流毎に行い印加電流に対する光出力レベルの測定デー
タを保存する。この測定データの例を図4の特性データ
100に示す。微分演算部66は、データメモリ64か
らのデータを読み出し、図4に示すように、特性データ
100を微分したデータ、即ち微分効率波形200を二
次曲線演算部70に供給する。
ナログ電圧信号を受けて、量子化してデジタル信号に変
換した後、これをデータメモリ64に保存する。データ
メモリ64への保存は、DUT50に印加するステップ
電流毎に行い印加電流に対する光出力レベルの測定デー
タを保存する。この測定データの例を図4の特性データ
100に示す。微分演算部66は、データメモリ64か
らのデータを読み出し、図4に示すように、特性データ
100を微分したデータ、即ち微分効率波形200を二
次曲線演算部70に供給する。
【0005】二次曲線演算部70は、微分効率波形20
0との偏差が最小となる近似二次曲線30を求める。即
ち、一般的な最小二乗法の計算手段により、使用者が指
定した区間である始点30aから終点30bまでの偏差
が最小となる係数a、b、cを計算して求めた後、この
曲線データをキンク点抽出部80に供給する。 Y= aX2+bX+c ....(1) Err= Σ{Y−(aX2+bX+c)}2 ....(2) この最小二乗法の二次曲線の計算式において、XはDU
T50への印加電流値であり、Yはこのときの微分効率
波形200であり、Errは微分効率波形200との偏
差の総和である。この式から、係数a、b、cは、Er
r値が最小となる値を求める。
0との偏差が最小となる近似二次曲線30を求める。即
ち、一般的な最小二乗法の計算手段により、使用者が指
定した区間である始点30aから終点30bまでの偏差
が最小となる係数a、b、cを計算して求めた後、この
曲線データをキンク点抽出部80に供給する。 Y= aX2+bX+c ....(1) Err= Σ{Y−(aX2+bX+c)}2 ....(2) この最小二乗法の二次曲線の計算式において、XはDU
T50への印加電流値であり、Yはこのときの微分効率
波形200であり、Errは微分効率波形200との偏
差の総和である。この式から、係数a、b、cは、Er
r値が最小となる値を求める。
【0006】キンク点抽出部80は、前記で求めた近似
二次曲線30と、微分効率波形200との偏差を個々の
電流値毎に求める。即ち、各電流値(i)毎の近似二次
曲線30の値Yiに対する、微分効率波形200の値Di
の偏差ΔYiを求める。この偏差値がしきい値82の値
Drefより大きい領域を検出対象とし、この領域で最大
ピークを示す偏差位置をキンク点202kと見なして表
示部90に供給している。ここで、キンクとは、レーザ
ーダイオードにおいて、印加電流に対する光出力特性の
曲線が単調曲線から外れた状態にある場所のことを意味
していて、起伏のある曲線部分をいう。例えば、図4に
示す微分効率波形200では、キンク位置206に相当
する。このキンクが大きなキンクであれば微分効率波形
200の観測から容易に読み取れるが、小さいキンクの
場合では、判断できない場合が多く、この為、このキン
ク位置を明瞭にする為の検出手段が必要とされている。
二次曲線30と、微分効率波形200との偏差を個々の
電流値毎に求める。即ち、各電流値(i)毎の近似二次
曲線30の値Yiに対する、微分効率波形200の値Di
の偏差ΔYiを求める。この偏差値がしきい値82の値
Drefより大きい領域を検出対象とし、この領域で最大
ピークを示す偏差位置をキンク点202kと見なして表
示部90に供給している。ここで、キンクとは、レーザ
ーダイオードにおいて、印加電流に対する光出力特性の
曲線が単調曲線から外れた状態にある場所のことを意味
していて、起伏のある曲線部分をいう。例えば、図4に
示す微分効率波形200では、キンク位置206に相当
する。このキンクが大きなキンクであれば微分効率波形
200の観測から容易に読み取れるが、小さいキンクの
場合では、判断できない場合が多く、この為、このキン
ク位置を明瞭にする為の検出手段が必要とされている。
【0007】表示部90は、近似二次曲線30と、微分
効率波形200と、キンク点偏差値202cを表示出力
する。使用者は、この表示データから、DUT50の特
性評価や、良否判定検査を行う。制御部95は、上記一
連の測定シーケンスの制御をしている。
効率波形200と、キンク点偏差値202cを表示出力
する。使用者は、この表示データから、DUT50の特
性評価や、良否判定検査を行う。制御部95は、上記一
連の測定シーケンスの制御をしている。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】上記説明のように、近
似二次曲線30は、測定データである微分効率波形20
0と懸け離れた曲線を描く場合がある。このような場合
には、誤ったキンク点データを出力表示する結果とな
り、使用者に誤ったキンク検出結果を提供する不具合を
招く難点があり、実用上の不便となっていた。
似二次曲線30は、測定データである微分効率波形20
0と懸け離れた曲線を描く場合がある。このような場合
には、誤ったキンク点データを出力表示する結果とな
り、使用者に誤ったキンク検出結果を提供する不具合を
招く難点があり、実用上の不便となっていた。
【0009】そこで、本発明が解決しようとする課題
は、微分効率波形200を複数の区間に分割して、各々
の区間毎に個々の近似二次曲線を求め、これからキンク
点を求める手段により、より的確で誤りの少ないキンク
点位置検出とキンク点偏差値データの誤差を低減するこ
とを目的とする。
は、微分効率波形200を複数の区間に分割して、各々
の区間毎に個々の近似二次曲線を求め、これからキンク
点を求める手段により、より的確で誤りの少ないキンク
点位置検出とキンク点偏差値データの誤差を低減するこ
とを目的とする。
【0010】
【課題を解決する為の手段】上記課題を解決するため
に、本発明の構成では、微分プロット波形を複数区間に
分割して、各々の区間について最小二乗法の計算手段に
より近似二次曲線20nを求める曲線演算部12nを設
け、求めた近似二次曲線20nと微分プロット波形との
偏差を求めて、偏差のピープ点を求めるキンク点抽出部
80を設ける構成手段にする。これにより、被試験デバ
イス50の特性を測定した測定データを受けて、これを
微分演算部66で微分して微分データに変換し、この微
分データのプロット波形からキンク位置を検出する装置
を実現する。
に、本発明の構成では、微分プロット波形を複数区間に
分割して、各々の区間について最小二乗法の計算手段に
より近似二次曲線20nを求める曲線演算部12nを設
け、求めた近似二次曲線20nと微分プロット波形との
偏差を求めて、偏差のピープ点を求めるキンク点抽出部
80を設ける構成手段にする。これにより、被試験デバ
イス50の特性を測定した測定データを受けて、これを
微分演算部66で微分して微分データに変換し、この微
分データのプロット波形からキンク位置を検出する装置
を実現する。
【0011】上記課題を解決するために、本発明の構成
では、光出力レベルのデータを受けて、微分演算部66
で微分して微分データに変換し、この微分データをプロ
ットした微分効率波形200を複数区間に分割し、各々
の区間について最小二乗法の計算手段により近似二次曲
線を求める二次曲線演算部12nを設ける構成手段にす
る。これにより、光検出器60とAD変換器62と微分
演算部66とキンク点抽出部16とを有して、被試験デ
バイス50に供給する電流変化に対する光出力レベルを
測定し、これからDUT50のキンク位置を検出する装
置を実現する。
では、光出力レベルのデータを受けて、微分演算部66
で微分して微分データに変換し、この微分データをプロ
ットした微分効率波形200を複数区間に分割し、各々
の区間について最小二乗法の計算手段により近似二次曲
線を求める二次曲線演算部12nを設ける構成手段にす
る。これにより、光検出器60とAD変換器62と微分
演算部66とキンク点抽出部16とを有して、被試験デ
バイス50に供給する電流変化に対する光出力レベルを
測定し、これからDUT50のキンク位置を検出する装
置を実現する。
【0012】
【作用】微分効率波形200データを印加電流によって
複数の区間に分割することで、近似二次曲線20、22
は、最小二乗法の計算でErr値を最小にする作用があ
る。このことは、より一層微分効率波形200に添った
二次曲線を描くことができ、キンク点検出位置の特定が
容易となる作用がある。各区間毎の近似二次曲線20、
22に対する微分効率波形200の偏差値は小さくなる
為、より微少なキンク点までも容易に検出可能な作用が
得られる。
複数の区間に分割することで、近似二次曲線20、22
は、最小二乗法の計算でErr値を最小にする作用があ
る。このことは、より一層微分効率波形200に添った
二次曲線を描くことができ、キンク点検出位置の特定が
容易となる作用がある。各区間毎の近似二次曲線20、
22に対する微分効率波形200の偏差値は小さくなる
為、より微少なキンク点までも容易に検出可能な作用が
得られる。
【0013】
【実施例】本発明の実施例は、光出力特性データを微分
した微分効率波形において、DUT50への印加電流を
2つの区間に分割した場合であり、各々の区間で近似二
次曲線30を計算し、これからキンク点を求める例であ
る。これについて、図1と図2を参照して説明する。本
装置の構成は、図1に示すように、電流源40と、DU
T50と、光検出器60と、AD変換器62と、データ
メモリ64と、微分演算部66と、第1曲線演算部12
と、第2曲線演算部14と、キンク点抽出部16と、表
示部90と、制御部95とで構成していて、2つ二次曲
線演算部を設けた構成である。この構成で、電流源40
と、DUT50と、光検出器60と、AD変換器62
と、データメモリ64と、微分演算部66と、キンク点
抽出部16と、表示部90と、制御部95は、従来と同
様である。
した微分効率波形において、DUT50への印加電流を
2つの区間に分割した場合であり、各々の区間で近似二
次曲線30を計算し、これからキンク点を求める例であ
る。これについて、図1と図2を参照して説明する。本
装置の構成は、図1に示すように、電流源40と、DU
T50と、光検出器60と、AD変換器62と、データ
メモリ64と、微分演算部66と、第1曲線演算部12
と、第2曲線演算部14と、キンク点抽出部16と、表
示部90と、制御部95とで構成していて、2つ二次曲
線演算部を設けた構成である。この構成で、電流源40
と、DUT50と、光検出器60と、AD変換器62
と、データメモリ64と、微分演算部66と、キンク点
抽出部16と、表示部90と、制御部95は、従来と同
様である。
【0014】第1曲線演算部12は、例えば図2に示す
始点20aから終点20b迄の第1の領域についての二
次曲線を従来と同様に最小二乗法の計算手段により近似
二次曲線20を求めキンク点抽出部16に供給する。第
2曲線演算部14についても、図2に示す始点22aか
ら終点22b迄の第2の領域についての二次曲線を従来
と同様に最小二乗法の計算手段により近似二次曲線22
を求めキンク点抽出部16に供給する。前記において、
第1曲線演算部12の始点20a位置と、2分割点であ
る第1曲線演算部12の終点20b位置と、第2曲線演
算部14の終点22bの位置は、使用者が任意の範囲を
設定する。
始点20aから終点20b迄の第1の領域についての二
次曲線を従来と同様に最小二乗法の計算手段により近似
二次曲線20を求めキンク点抽出部16に供給する。第
2曲線演算部14についても、図2に示す始点22aか
ら終点22b迄の第2の領域についての二次曲線を従来
と同様に最小二乗法の計算手段により近似二次曲線22
を求めキンク点抽出部16に供給する。前記において、
第1曲線演算部12の始点20a位置と、2分割点であ
る第1曲線演算部12の終点20b位置と、第2曲線演
算部14の終点22bの位置は、使用者が任意の範囲を
設定する。
【0015】キンク点抽出部16では、前記第1曲線演
算部12と第2曲線演算部14からのデータを受けて、
従来と同様に、偏差ΔYiを求める。この偏差値がしき
い値82の値Drefより大きい領域を検出対象とし、こ
の領域で最大ピークを示す偏差位置をキンク点20k、
22kと見なしてそれぞれの極大ピークの内大きい方の
キンク点22kを表示部90に供給している。この場合
のキンク点22kは、真のキンク位置206とほぼ符合
した位置となり、本来のキンク点を的確に検出すること
が可能となる。
算部12と第2曲線演算部14からのデータを受けて、
従来と同様に、偏差ΔYiを求める。この偏差値がしき
い値82の値Drefより大きい領域を検出対象とし、こ
の領域で最大ピークを示す偏差位置をキンク点20k、
22kと見なしてそれぞれの極大ピークの内大きい方の
キンク点22kを表示部90に供給している。この場合
のキンク点22kは、真のキンク位置206とほぼ符合
した位置となり、本来のキンク点を的確に検出すること
が可能となる。
【0016】上記実施例の説明では、2つの区間に分割
した場合で説明したが、n区間に分割した場合でも良
く、同様にして実施できる。
した場合で説明したが、n区間に分割した場合でも良
く、同様にして実施できる。
【0017】
【発明の効果】本発明は、以上説明したように構成され
ているので、下記に記載されるような効果を奏する。D
UT50への印加電流を複数区間に分割し、各々の区間
について最小二乗法の計算手段により近似二次曲線2
0、22を求めることで、測定データである微分効率波
形200と複数の近似二次曲線とは、最も一致し易い曲
線を描く利点が得られる。また、この結果、真のキンク
位置206とほぼ符合した位置をキンク点として検出で
きることとなり、より的確に本来のキンク位置206を
検出でき、また、キンク点の偏差値データの誤差の発生
も一層低減でき、検査評価の品質を向上する効果が得ら
れる。
ているので、下記に記載されるような効果を奏する。D
UT50への印加電流を複数区間に分割し、各々の区間
について最小二乗法の計算手段により近似二次曲線2
0、22を求めることで、測定データである微分効率波
形200と複数の近似二次曲線とは、最も一致し易い曲
線を描く利点が得られる。また、この結果、真のキンク
位置206とほぼ符合した位置をキンク点として検出で
きることとなり、より的確に本来のキンク位置206を
検出でき、また、キンク点の偏差値データの誤差の発生
も一層低減でき、検査評価の品質を向上する効果が得ら
れる。
【0018】
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の、第1曲線演算部12と第2曲線演算
部14の2つの二次曲線演算部を設けたキンク検出装置
構成図である。
部14の2つの二次曲線演算部を設けたキンク検出装置
構成図である。
【図2】本発明の、2つの二次曲線の場合によるキンク
位置検出を説明する図である。
位置検出を説明する図である。
【図3】従来の、二次曲線演算部70によるキンク検出
装置構成図である。
装置構成図である。
【図4】従来の、1つの二次曲線によるキンク位置検出
を説明する図である。
を説明する図である。
12 曲線演算部 14 第2曲線演算部 16、80 キンク点抽出部 20、30、22 近似二次曲線 20a、22a、30a 始点 20b、30b、22b 終点 20k、22k、202k キンク点(演算により求め
たキンク点) 40 電流源 50 被試験デバイス(DUT) 60 光検出器 62 AD変換器 64 データメモリ 66 微分演算部 70 二次曲線演算部 82 しきい値 90 表示部 95 制御部 100 特性データ 200 微分効率波形 202c キンク点偏差値 206 キンク位置
たキンク点) 40 電流源 50 被試験デバイス(DUT) 60 光検出器 62 AD変換器 64 データメモリ 66 微分演算部 70 二次曲線演算部 82 しきい値 90 表示部 95 制御部 100 特性データ 200 微分効率波形 202c キンク点偏差値 206 キンク位置
Claims (2)
- 【請求項1】 被試験デバイス(50)(DUT)の特
性を測定した測定データを受けて、これを微分演算部
(66)で微分して微分データに変換し、この微分デー
タのプロット波形からキンク位置を検出する装置におい
て、 微分プロット波形を複数区間に分割して、各々の区間に
ついて最小二乗法の計算手段により近似二次曲線(20
n)を求める曲線演算部(12n)を設け、 求めた近似二次曲線(20n)と微分プロット波形との
偏差を求めて、偏差のピープ点を求めるキンク点抽出部
(80)を設け、 以上を具備していることを特徴としたキンク検出装置。 - 【請求項2】 光検出器(60)とAD変換器(62)
と微分演算部(66)とキンク点抽出部(16)とを有
して、被試験デバイス(50)に供給する電流変化に対
する光出力レベルを測定し、これからDUT(50)の
キンク位置を検出する装置において、 当該光出力レベルのデータを受けて、微分演算部(6
6)で微分して微分データに変換し、この微分データを
プロットした微分効率波形(200)を複数区間に分割
し、各々の区間について最小二乗法の計算手段により近
似二次曲線を求める二次曲線演算部(12n)を設け、 以上を具備していることを特徴としたキンク検出装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18188094A JPH0829291A (ja) | 1994-07-11 | 1994-07-11 | キンク検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18188094A JPH0829291A (ja) | 1994-07-11 | 1994-07-11 | キンク検出装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0829291A true JPH0829291A (ja) | 1996-02-02 |
Family
ID=16108489
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP18188094A Pending JPH0829291A (ja) | 1994-07-11 | 1994-07-11 | キンク検出装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0829291A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105891692A (zh) * | 2016-02-23 | 2016-08-24 | 青岛海信宽带多媒体技术有限公司 | 一种激光芯片p-i曲线扭折测试方法及装置 |
JP2020126929A (ja) * | 2019-02-05 | 2020-08-20 | 三菱電機株式会社 | 半導体レーザ検査装置、および半導体レーザ検査方法 |
-
1994
- 1994-07-11 JP JP18188094A patent/JPH0829291A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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