JPH0829291A - キンク検出装置 - Google Patents
キンク検出装置Info
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- JPH0829291A JPH0829291A JP18188094A JP18188094A JPH0829291A JP H0829291 A JPH0829291 A JP H0829291A JP 18188094 A JP18188094 A JP 18188094A JP 18188094 A JP18188094 A JP 18188094A JP H0829291 A JPH0829291 A JP H0829291A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明は、複数の区間に分割して、各々の区
間で近似二次曲線３０を計算し、これからキンク点を求
める手段により、より的確なキンク点位置と誤差を低減
した偏差値データを得ることを目的とする。 【構成】 微分プロット波形を複数区間に分割して、各
々の区間について最小二乗法の計算手段により近似二次
曲線２０ｎを求める曲線演算部１２ｎを設け、求めた近
似二次曲線２０ｎと微分プロット波形との偏差を求め
て、偏差のピープ点を求めるキンク点抽出部８０を設け
る構成手段。
間で近似二次曲線３０を計算し、これからキンク点を求
める手段により、より的確なキンク点位置と誤差を低減
した偏差値データを得ることを目的とする。 【構成】 微分プロット波形を複数区間に分割して、各
々の区間について最小二乗法の計算手段により近似二次
曲線２０ｎを求める曲線演算部１２ｎを設け、求めた近
似二次曲線２０ｎと微分プロット波形との偏差を求め
て、偏差のピープ点を求めるキンク点抽出部８０を設け
る構成手段。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、レーザーダイオード
の光出力特性の検査において、入力電流に対して光出力
の特性曲線データから、非単調特性な欠陥起伏曲線であ
るキンク（kink）の位置とその偏差値を求めるキンク検
出装置に関する。
の光出力特性の検査において、入力電流に対して光出力
の特性曲線データから、非単調特性な欠陥起伏曲線であ
るキンク（kink）の位置とその偏差値を求めるキンク検
出装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来例としては、光出力特性データを微
分した微分効率波形２００から、指定区間を近似させた
１本の二次曲線を求め、両者との偏差値がピークの位置
を示すキンク点と見なし、この点の偏差値を表示する例
がある。これについて、図３と図４を参照して説明す
る。本装置の構成は、図３に示すように、電流源４０
と、被試験デバイス５０と、光検出器６０と、ＡＤ変換
器６２と、データメモリ６４と、微分演算部６６と、二
次曲線演算部７０と、キンク点抽出部８０と、表示部９
０と、制御部９５とで構成している。
分した微分効率波形２００から、指定区間を近似させた
１本の二次曲線を求め、両者との偏差値がピークの位置
を示すキンク点と見なし、この点の偏差値を表示する例
がある。これについて、図３と図４を参照して説明す
る。本装置の構成は、図３に示すように、電流源４０
と、被試験デバイス５０と、光検出器６０と、ＡＤ変換
器６２と、データメモリ６４と、微分演算部６６と、二
次曲線演算部７０と、キンク点抽出部８０と、表示部９
０と、制御部９５とで構成している。
【０００３】電流源４０は、ＤＵＴ５０に所望の印加電
流を供給する電流源であり、制御部９５から任意のステ
ップ単位の電流設定パラメータを受けてＤＵＴに供給す
る。ＤＵＴ５０は、被検査用のレーザーダイオードであ
り、所望により、加熱／冷却手段により一定の温度にさ
れた状態で試験される。光検出器６０は、光電変換器で
あり、ＤＵＴ５０から出射光線の全部あるいは一部を光
検出センサで受けて電気信号に変換し、この光検出セン
サの電流信号を電圧信号に変換し、必要により増幅器を
設けて増幅した後ＡＤ変換器６２に供給する。
流を供給する電流源であり、制御部９５から任意のステ
ップ単位の電流設定パラメータを受けてＤＵＴに供給す
る。ＤＵＴ５０は、被検査用のレーザーダイオードであ
り、所望により、加熱／冷却手段により一定の温度にさ
れた状態で試験される。光検出器６０は、光電変換器で
あり、ＤＵＴ５０から出射光線の全部あるいは一部を光
検出センサで受けて電気信号に変換し、この光検出セン
サの電流信号を電圧信号に変換し、必要により増幅器を
設けて増幅した後ＡＤ変換器６２に供給する。
【０００４】ＡＤ変換器６２は、光検出器６０からのア
ナログ電圧信号を受けて、量子化してデジタル信号に変
換した後、これをデータメモリ６４に保存する。データ
メモリ６４への保存は、ＤＵＴ５０に印加するステップ
電流毎に行い印加電流に対する光出力レベルの測定デー
タを保存する。この測定データの例を図４の特性データ
１００に示す。微分演算部６６は、データメモリ６４か
らのデータを読み出し、図４に示すように、特性データ
１００を微分したデータ、即ち微分効率波形２００を二
次曲線演算部７０に供給する。
ナログ電圧信号を受けて、量子化してデジタル信号に変
換した後、これをデータメモリ６４に保存する。データ
メモリ６４への保存は、ＤＵＴ５０に印加するステップ
電流毎に行い印加電流に対する光出力レベルの測定デー
タを保存する。この測定データの例を図４の特性データ
１００に示す。微分演算部６６は、データメモリ６４か
らのデータを読み出し、図４に示すように、特性データ
１００を微分したデータ、即ち微分効率波形２００を二
次曲線演算部７０に供給する。
【０００５】二次曲線演算部７０は、微分効率波形２０
０との偏差が最小となる近似二次曲線３０を求める。即
ち、一般的な最小二乗法の計算手段により、使用者が指
定した区間である始点３０ａから終点３０ｂまでの偏差
が最小となる係数ａ、ｂ、ｃを計算して求めた後、この
曲線データをキンク点抽出部８０に供給する。 Ｙ＝ ａＸ２＋ｂＸ＋ｃ ....（１） Ｅｒｒ＝ Σ｛Ｙ−（ａＸ２＋ｂＸ＋ｃ）｝２ ....（２） この最小二乗法の二次曲線の計算式において、ＸはＤＵ
Ｔ５０への印加電流値であり、Ｙはこのときの微分効率
波形２００であり、Ｅｒｒは微分効率波形２００との偏
差の総和である。この式から、係数ａ、ｂ、ｃは、Ｅｒ
ｒ値が最小となる値を求める。
０との偏差が最小となる近似二次曲線３０を求める。即
ち、一般的な最小二乗法の計算手段により、使用者が指
定した区間である始点３０ａから終点３０ｂまでの偏差
が最小となる係数ａ、ｂ、ｃを計算して求めた後、この
曲線データをキンク点抽出部８０に供給する。 Ｙ＝ ａＸ２＋ｂＸ＋ｃ ....（１） Ｅｒｒ＝ Σ｛Ｙ−（ａＸ２＋ｂＸ＋ｃ）｝２ ....（２） この最小二乗法の二次曲線の計算式において、ＸはＤＵ
Ｔ５０への印加電流値であり、Ｙはこのときの微分効率
波形２００であり、Ｅｒｒは微分効率波形２００との偏
差の総和である。この式から、係数ａ、ｂ、ｃは、Ｅｒ
ｒ値が最小となる値を求める。
【０００６】キンク点抽出部８０は、前記で求めた近似
二次曲線３０と、微分効率波形２００との偏差を個々の
電流値毎に求める。即ち、各電流値（i）毎の近似二次
曲線３０の値Ｙiに対する、微分効率波形２００の値Ｄi
の偏差ΔＹiを求める。この偏差値がしきい値８２の値
Ｄrefより大きい領域を検出対象とし、この領域で最大
ピークを示す偏差位置をキンク点２０２ｋと見なして表
示部９０に供給している。ここで、キンクとは、レーザ
ーダイオードにおいて、印加電流に対する光出力特性の
曲線が単調曲線から外れた状態にある場所のことを意味
していて、起伏のある曲線部分をいう。例えば、図４に
示す微分効率波形２００では、キンク位置２０６に相当
する。このキンクが大きなキンクであれば微分効率波形
２００の観測から容易に読み取れるが、小さいキンクの
場合では、判断できない場合が多く、この為、このキン
ク位置を明瞭にする為の検出手段が必要とされている。
二次曲線３０と、微分効率波形２００との偏差を個々の
電流値毎に求める。即ち、各電流値（i）毎の近似二次
曲線３０の値Ｙiに対する、微分効率波形２００の値Ｄi
の偏差ΔＹiを求める。この偏差値がしきい値８２の値
Ｄrefより大きい領域を検出対象とし、この領域で最大
ピークを示す偏差位置をキンク点２０２ｋと見なして表
示部９０に供給している。ここで、キンクとは、レーザ
ーダイオードにおいて、印加電流に対する光出力特性の
曲線が単調曲線から外れた状態にある場所のことを意味
していて、起伏のある曲線部分をいう。例えば、図４に
示す微分効率波形２００では、キンク位置２０６に相当
する。このキンクが大きなキンクであれば微分効率波形
２００の観測から容易に読み取れるが、小さいキンクの
場合では、判断できない場合が多く、この為、このキン
ク位置を明瞭にする為の検出手段が必要とされている。
【０００７】表示部９０は、近似二次曲線３０と、微分
効率波形２００と、キンク点偏差値２０２ｃを表示出力
する。使用者は、この表示データから、ＤＵＴ５０の特
性評価や、良否判定検査を行う。制御部９５は、上記一
連の測定シーケンスの制御をしている。
効率波形２００と、キンク点偏差値２０２ｃを表示出力
する。使用者は、この表示データから、ＤＵＴ５０の特
性評価や、良否判定検査を行う。制御部９５は、上記一
連の測定シーケンスの制御をしている。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】上記説明のように、近
似二次曲線３０は、測定データである微分効率波形２０
０と懸け離れた曲線を描く場合がある。このような場合
には、誤ったキンク点データを出力表示する結果とな
り、使用者に誤ったキンク検出結果を提供する不具合を
招く難点があり、実用上の不便となっていた。
似二次曲線３０は、測定データである微分効率波形２０
０と懸け離れた曲線を描く場合がある。このような場合
には、誤ったキンク点データを出力表示する結果とな
り、使用者に誤ったキンク検出結果を提供する不具合を
招く難点があり、実用上の不便となっていた。
【０００９】そこで、本発明が解決しようとする課題
は、微分効率波形２００を複数の区間に分割して、各々
の区間毎に個々の近似二次曲線を求め、これからキンク
点を求める手段により、より的確で誤りの少ないキンク
点位置検出とキンク点偏差値データの誤差を低減するこ
とを目的とする。
は、微分効率波形２００を複数の区間に分割して、各々
の区間毎に個々の近似二次曲線を求め、これからキンク
点を求める手段により、より的確で誤りの少ないキンク
点位置検出とキンク点偏差値データの誤差を低減するこ
とを目的とする。
【００１０】
【課題を解決する為の手段】上記課題を解決するため
に、本発明の構成では、微分プロット波形を複数区間に
分割して、各々の区間について最小二乗法の計算手段に
より近似二次曲線２０ｎを求める曲線演算部１２ｎを設
け、求めた近似二次曲線２０ｎと微分プロット波形との
偏差を求めて、偏差のピープ点を求めるキンク点抽出部
８０を設ける構成手段にする。これにより、被試験デバ
イス５０の特性を測定した測定データを受けて、これを
微分演算部６６で微分して微分データに変換し、この微
分データのプロット波形からキンク位置を検出する装置
を実現する。
に、本発明の構成では、微分プロット波形を複数区間に
分割して、各々の区間について最小二乗法の計算手段に
より近似二次曲線２０ｎを求める曲線演算部１２ｎを設
け、求めた近似二次曲線２０ｎと微分プロット波形との
偏差を求めて、偏差のピープ点を求めるキンク点抽出部
８０を設ける構成手段にする。これにより、被試験デバ
イス５０の特性を測定した測定データを受けて、これを
微分演算部６６で微分して微分データに変換し、この微
分データのプロット波形からキンク位置を検出する装置
を実現する。
【００１１】上記課題を解決するために、本発明の構成
では、光出力レベルのデータを受けて、微分演算部６６
で微分して微分データに変換し、この微分データをプロ
ットした微分効率波形２００を複数区間に分割し、各々
の区間について最小二乗法の計算手段により近似二次曲
線を求める二次曲線演算部１２ｎを設ける構成手段にす
る。これにより、光検出器６０とＡＤ変換器６２と微分
演算部６６とキンク点抽出部１６とを有して、被試験デ
バイス５０に供給する電流変化に対する光出力レベルを
測定し、これからＤＵＴ５０のキンク位置を検出する装
置を実現する。
では、光出力レベルのデータを受けて、微分演算部６６
で微分して微分データに変換し、この微分データをプロ
ットした微分効率波形２００を複数区間に分割し、各々
の区間について最小二乗法の計算手段により近似二次曲
線を求める二次曲線演算部１２ｎを設ける構成手段にす
る。これにより、光検出器６０とＡＤ変換器６２と微分
演算部６６とキンク点抽出部１６とを有して、被試験デ
バイス５０に供給する電流変化に対する光出力レベルを
測定し、これからＤＵＴ５０のキンク位置を検出する装
置を実現する。
【００１２】
【作用】微分効率波形２００データを印加電流によって
複数の区間に分割することで、近似二次曲線２０、２２
は、最小二乗法の計算でＥｒｒ値を最小にする作用があ
る。このことは、より一層微分効率波形２００に添った
二次曲線を描くことができ、キンク点検出位置の特定が
容易となる作用がある。各区間毎の近似二次曲線２０、
２２に対する微分効率波形２００の偏差値は小さくなる
為、より微少なキンク点までも容易に検出可能な作用が
得られる。
複数の区間に分割することで、近似二次曲線２０、２２
は、最小二乗法の計算でＥｒｒ値を最小にする作用があ
る。このことは、より一層微分効率波形２００に添った
二次曲線を描くことができ、キンク点検出位置の特定が
容易となる作用がある。各区間毎の近似二次曲線２０、
２２に対する微分効率波形２００の偏差値は小さくなる
為、より微少なキンク点までも容易に検出可能な作用が
得られる。
【００１３】
【実施例】本発明の実施例は、光出力特性データを微分
した微分効率波形において、ＤＵＴ５０への印加電流を
２つの区間に分割した場合であり、各々の区間で近似二
次曲線３０を計算し、これからキンク点を求める例であ
る。これについて、図１と図２を参照して説明する。本
装置の構成は、図１に示すように、電流源４０と、ＤＵ
Ｔ５０と、光検出器６０と、ＡＤ変換器６２と、データ
メモリ６４と、微分演算部６６と、第１曲線演算部１２
と、第２曲線演算部１４と、キンク点抽出部１６と、表
示部９０と、制御部９５とで構成していて、２つ二次曲
線演算部を設けた構成である。この構成で、電流源４０
と、ＤＵＴ５０と、光検出器６０と、ＡＤ変換器６２
と、データメモリ６４と、微分演算部６６と、キンク点
抽出部１６と、表示部９０と、制御部９５は、従来と同
様である。
した微分効率波形において、ＤＵＴ５０への印加電流を
２つの区間に分割した場合であり、各々の区間で近似二
次曲線３０を計算し、これからキンク点を求める例であ
る。これについて、図１と図２を参照して説明する。本
装置の構成は、図１に示すように、電流源４０と、ＤＵ
Ｔ５０と、光検出器６０と、ＡＤ変換器６２と、データ
メモリ６４と、微分演算部６６と、第１曲線演算部１２
と、第２曲線演算部１４と、キンク点抽出部１６と、表
示部９０と、制御部９５とで構成していて、２つ二次曲
線演算部を設けた構成である。この構成で、電流源４０
と、ＤＵＴ５０と、光検出器６０と、ＡＤ変換器６２
と、データメモリ６４と、微分演算部６６と、キンク点
抽出部１６と、表示部９０と、制御部９５は、従来と同
様である。
【００１４】第１曲線演算部１２は、例えば図２に示す
始点２０ａから終点２０ｂ迄の第１の領域についての二
次曲線を従来と同様に最小二乗法の計算手段により近似
二次曲線２０を求めキンク点抽出部１６に供給する。第
２曲線演算部１４についても、図２に示す始点２２ａか
ら終点２２ｂ迄の第２の領域についての二次曲線を従来
と同様に最小二乗法の計算手段により近似二次曲線２２
を求めキンク点抽出部１６に供給する。前記において、
第１曲線演算部１２の始点２０ａ位置と、２分割点であ
る第１曲線演算部１２の終点２０ｂ位置と、第２曲線演
算部１４の終点２２ｂの位置は、使用者が任意の範囲を
設定する。
始点２０ａから終点２０ｂ迄の第１の領域についての二
次曲線を従来と同様に最小二乗法の計算手段により近似
二次曲線２０を求めキンク点抽出部１６に供給する。第
２曲線演算部１４についても、図２に示す始点２２ａか
ら終点２２ｂ迄の第２の領域についての二次曲線を従来
と同様に最小二乗法の計算手段により近似二次曲線２２
を求めキンク点抽出部１６に供給する。前記において、
第１曲線演算部１２の始点２０ａ位置と、２分割点であ
る第１曲線演算部１２の終点２０ｂ位置と、第２曲線演
算部１４の終点２２ｂの位置は、使用者が任意の範囲を
設定する。
【００１５】キンク点抽出部１６では、前記第１曲線演
算部１２と第２曲線演算部１４からのデータを受けて、
従来と同様に、偏差ΔＹiを求める。この偏差値がしき
い値８２の値Ｄrefより大きい領域を検出対象とし、こ
の領域で最大ピークを示す偏差位置をキンク点２０ｋ、
２２ｋと見なしてそれぞれの極大ピークの内大きい方の
キンク点２２ｋを表示部９０に供給している。この場合
のキンク点２２ｋは、真のキンク位置２０６とほぼ符合
した位置となり、本来のキンク点を的確に検出すること
が可能となる。
算部１２と第２曲線演算部１４からのデータを受けて、
従来と同様に、偏差ΔＹiを求める。この偏差値がしき
い値８２の値Ｄrefより大きい領域を検出対象とし、こ
の領域で最大ピークを示す偏差位置をキンク点２０ｋ、
２２ｋと見なしてそれぞれの極大ピークの内大きい方の
キンク点２２ｋを表示部９０に供給している。この場合
のキンク点２２ｋは、真のキンク位置２０６とほぼ符合
した位置となり、本来のキンク点を的確に検出すること
が可能となる。
【００１６】上記実施例の説明では、２つの区間に分割
した場合で説明したが、ｎ区間に分割した場合でも良
く、同様にして実施できる。
した場合で説明したが、ｎ区間に分割した場合でも良
く、同様にして実施できる。
【００１７】
【発明の効果】本発明は、以上説明したように構成され
ているので、下記に記載されるような効果を奏する。Ｄ
ＵＴ５０への印加電流を複数区間に分割し、各々の区間
について最小二乗法の計算手段により近似二次曲線２
０、２２を求めることで、測定データである微分効率波
形２００と複数の近似二次曲線とは、最も一致し易い曲
線を描く利点が得られる。また、この結果、真のキンク
位置２０６とほぼ符合した位置をキンク点として検出で
きることとなり、より的確に本来のキンク位置２０６を
検出でき、また、キンク点の偏差値データの誤差の発生
も一層低減でき、検査評価の品質を向上する効果が得ら
れる。
ているので、下記に記載されるような効果を奏する。Ｄ
ＵＴ５０への印加電流を複数区間に分割し、各々の区間
について最小二乗法の計算手段により近似二次曲線２
０、２２を求めることで、測定データである微分効率波
形２００と複数の近似二次曲線とは、最も一致し易い曲
線を描く利点が得られる。また、この結果、真のキンク
位置２０６とほぼ符合した位置をキンク点として検出で
きることとなり、より的確に本来のキンク位置２０６を
検出でき、また、キンク点の偏差値データの誤差の発生
も一層低減でき、検査評価の品質を向上する効果が得ら
れる。
【００１８】
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の、第１曲線演算部１２と第２曲線演算
部１４の２つの二次曲線演算部を設けたキンク検出装置
構成図である。
部１４の２つの二次曲線演算部を設けたキンク検出装置
構成図である。
【図２】本発明の、２つの二次曲線の場合によるキンク
位置検出を説明する図である。
位置検出を説明する図である。
【図３】従来の、二次曲線演算部７０によるキンク検出
装置構成図である。
装置構成図である。
【図４】従来の、１つの二次曲線によるキンク位置検出
を説明する図である。
を説明する図である。
１２ 曲線演算部 １４ 第２曲線演算部 １６、８０ キンク点抽出部 ２０、３０、２２ 近似二次曲線 ２０ａ、２２ａ、３０ａ 始点 ２０ｂ、３０ｂ、２２ｂ 終点 ２０ｋ、２２ｋ、２０２ｋ キンク点（演算により求め
たキンク点） ４０ 電流源 ５０ 被試験デバイス（ＤＵＴ） ６０ 光検出器 ６２ ＡＤ変換器 ６４ データメモリ ６６ 微分演算部 ７０ 二次曲線演算部 ８２ しきい値 ９０ 表示部 ９５ 制御部 １００ 特性データ ２００ 微分効率波形 ２０２ｃ キンク点偏差値 ２０６ キンク位置
たキンク点） ４０ 電流源 ５０ 被試験デバイス（ＤＵＴ） ６０ 光検出器 ６２ ＡＤ変換器 ６４ データメモリ ６６ 微分演算部 ７０ 二次曲線演算部 ８２ しきい値 ９０ 表示部 ９５ 制御部 １００ 特性データ ２００ 微分効率波形 ２０２ｃ キンク点偏差値 ２０６ キンク位置
Claims (2)
- 【請求項１】 被試験デバイス（５０）（ＤＵＴ）の特
性を測定した測定データを受けて、これを微分演算部
（６６）で微分して微分データに変換し、この微分デー
タのプロット波形からキンク位置を検出する装置におい
て、 微分プロット波形を複数区間に分割して、各々の区間に
ついて最小二乗法の計算手段により近似二次曲線（２０
ｎ）を求める曲線演算部（１２ｎ）を設け、 求めた近似二次曲線（２０ｎ）と微分プロット波形との
偏差を求めて、偏差のピープ点を求めるキンク点抽出部
（８０）を設け、 以上を具備していることを特徴としたキンク検出装置。 - 【請求項２】 光検出器（６０）とＡＤ変換器（６２）
と微分演算部（６６）とキンク点抽出部（１６）とを有
して、被試験デバイス（５０）に供給する電流変化に対
する光出力レベルを測定し、これからＤＵＴ（５０）の
キンク位置を検出する装置において、 当該光出力レベルのデータを受けて、微分演算部（６
６）で微分して微分データに変換し、この微分データを
プロットした微分効率波形（２００）を複数区間に分割
し、各々の区間について最小二乗法の計算手段により近
似二次曲線を求める二次曲線演算部（１２ｎ）を設け、 以上を具備していることを特徴としたキンク検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18188094A JPH0829291A (ja) | 1994-07-11 | 1994-07-11 | キンク検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18188094A JPH0829291A (ja) | 1994-07-11 | 1994-07-11 | キンク検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0829291A true JPH0829291A (ja) | 1996-02-02 |
Family
ID=16108489
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18188094A Pending JPH0829291A (ja) | 1994-07-11 | 1994-07-11 | キンク検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0829291A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105891692A (zh) * | 2016-02-23 | 2016-08-24 | 青岛海信宽带多媒体技术有限公司 | 一种激光芯片p-i曲线扭折测试方法及装置 |
| JP2020126929A (ja) * | 2019-02-05 | 2020-08-20 | 三菱電機株式会社 | 半導体レーザ検査装置、および半導体レーザ検査方法 |
-
1994
- 1994-07-11 JP JP18188094A patent/JPH0829291A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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