JPH0827172B2 - 集積光学センサ装置 - Google Patents
集積光学センサ装置Info
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- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/42—Coupling light guides with opto-electronic elements
- G02B6/43—Arrangements comprising a plurality of opto-electronic elements and associated optical interconnections
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
- G01D5/36—Forming the light into pulses
- G01D5/38—Forming the light into pulses by diffraction gratings
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- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
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- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、レーザー光源と集積
光学部品用の基板を有する走査ユニットにより目盛板の
目盛を光ビームの回折を利用して走査し、前記目盛から
出た回折ビーム束を入射部材により光導体に取り込み、
測定値を求める検出器に導入し、その場合前記光学部品
が基板に上に集積されている、特に光電位置測定装置に
適した集積光学センサ装置に関する。
光学部品用の基板を有する走査ユニットにより目盛板の
目盛を光ビームの回折を利用して走査し、前記目盛から
出た回折ビーム束を入射部材により光導体に取り込み、
測定値を求める検出器に導入し、その場合前記光学部品
が基板に上に集積されている、特に光電位置測定装置に
適した集積光学センサ装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】位置測定装置は、特に工作機械の場合、
加工すべき品物に対する工具の相対位置を測定するため
に使用される。
加工すべき品物に対する工具の相対位置を測定するため
に使用される。
【０００３】ドイツ特許第 36 25 327号明細書により、
相対運動する二つの物体の相対位置を測定するための位
置測定装置が知られている。この装置では、一方の物体
に連結している回折格子を備えた目盛板が他の物体に連
結している走査ユニットにより走査される。この走査ユ
ニットは半導体レーザー光源と集積光学装置を有する。
この集積光学装置には、一つの基板上で光導体結合器の
二つの入口光導体の中に二つの入射部材が、またこの光
導体結合器の三つの出口光導体の中に３つの検出器が集
積されている。半導体レーザー光源から出た光ビーム束
は目盛板の回折格子により一次の二つの回折ビーム束に
分割される。これ等のビーム束は二つのホーン状の回折
格子の形状の二つの入射部材により二つの入口光導体に
取り込まれ、光導体結合器の中で互いに干渉し、次いで
三つの出口光導体の三つの検出器に入射する。これ等の
周期走査信号は互いに一定の位相差を有し、これ等の走
査信号から二つの物体の相対位置に対する測定値が得ら
れる。
相対運動する二つの物体の相対位置を測定するための位
置測定装置が知られている。この装置では、一方の物体
に連結している回折格子を備えた目盛板が他の物体に連
結している走査ユニットにより走査される。この走査ユ
ニットは半導体レーザー光源と集積光学装置を有する。
この集積光学装置には、一つの基板上で光導体結合器の
二つの入口光導体の中に二つの入射部材が、またこの光
導体結合器の三つの出口光導体の中に３つの検出器が集
積されている。半導体レーザー光源から出た光ビーム束
は目盛板の回折格子により一次の二つの回折ビーム束に
分割される。これ等のビーム束は二つのホーン状の回折
格子の形状の二つの入射部材により二つの入口光導体に
取り込まれ、光導体結合器の中で互いに干渉し、次いで
三つの出口光導体の三つの検出器に入射する。これ等の
周期走査信号は互いに一定の位相差を有し、これ等の走
査信号から二つの物体の相対位置に対する測定値が得ら
れる。
【０００４】この種の集積光学装置では、装置の機能に
対して回折光で動作する入射部材と出射部材が必要であ
るが、レーザー光源の放出波長、入射部材の格子パラメ
ータおよび光導体や周囲の媒体の屈折率が互いに調節さ
れている場合にのみ確実に機能する。確実な機能を保証
するには、レーザー光源の放出波長を最適に調節し、10
-3の許容範囲内に安定に維持する必要がある。しか
し、この最適調節は、環境条件に変化があると、特に温
度変化があると、失われるため、測定誤差が生じる。
対して回折光で動作する入射部材と出射部材が必要であ
るが、レーザー光源の放出波長、入射部材の格子パラメ
ータおよび光導体や周囲の媒体の屈折率が互いに調節さ
れている場合にのみ確実に機能する。確実な機能を保証
するには、レーザー光源の放出波長を最適に調節し、10
-3の許容範囲内に安定に維持する必要がある。しか
し、この最適調節は、環境条件に変化があると、特に温
度変化があると、失われるため、測定誤差が生じる。
【０００５】欧州特許第 0 284 908号明細書により、半
導体レーザー光源の放出波長と放出される光出力を制御
ないしは調節し、その場合、この制御ないしは調節が同
時に行われる装置も周知である。レーザー光源から放出
された光出力は一部第一検出装置に、次いで少なくとも
一つのブラッグ格子あるいはフィルター部材としての方
向結合器を介して第二検出装置に導入される。両方の検
出装置は同時にレーザー光源の光出力と放出波長を測定
し、測定値からレーザー光源の投入電流に対する二つの
制御信号を同時に発生する。
導体レーザー光源の放出波長と放出される光出力を制御
ないしは調節し、その場合、この制御ないしは調節が同
時に行われる装置も周知である。レーザー光源から放出
された光出力は一部第一検出装置に、次いで少なくとも
一つのブラッグ格子あるいはフィルター部材としての方
向結合器を介して第二検出装置に導入される。両方の検
出装置は同時にレーザー光源の光出力と放出波長を測定
し、測定値からレーザー光源の投入電流に対する二つの
制御信号を同時に発生する。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】この発明の課題は、避
け難い製造上の許容公差、材料特性の変化あるいは環境
の影響による乱れを大幅に排除できるから、信頼性のあ
る作業が行える、冒頭に述べた種類の、特に光電位置測
定装置に適する集積光学センサ装置を提供することにあ
る。
け難い製造上の許容公差、材料特性の変化あるいは環境
の影響による乱れを大幅に排除できるから、信頼性のあ
る作業が行える、冒頭に述べた種類の、特に光電位置測
定装置に適する集積光学センサ装置を提供することにあ
る。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記の課題は、この発明
により、冒頭に述べた種類の集積光学センサ装置にあっ
て、前記目盛２から出た補助回折ビーム束１２を少なく
とも一つの補助入射部材１３；２３により、少なくとも
一つの補助検出器１５；２５を作動させるため、少なく
とも一つの補助光導体１４；２４に取り込み、前記補助
光学部材１３，２３；１４，２４；１５，２５も基板９
に集積されていて、前記補助検出器１５；２５がレーザ
ー光源３の最適放出波長λe を調節する制御信号Ｒ；Ｓ
を発生することによって解決されている。
により、冒頭に述べた種類の集積光学センサ装置にあっ
て、前記目盛２から出た補助回折ビーム束１２を少なく
とも一つの補助入射部材１３；２３により、少なくとも
一つの補助検出器１５；２５を作動させるため、少なく
とも一つの補助光導体１４；２４に取り込み、前記補助
光学部材１３，２３；１４，２４；１５，２５も基板９
に集積されていて、前記補助検出器１５；２５がレーザ
ー光源３の最適放出波長λe を調節する制御信号Ｒ；Ｓ
を発生することによって解決されている。
【０００８】この発明による他の有利な構成は、特許請
求の範囲の従属請求項に記載されている。
求の範囲の従属請求項に記載されている。
【０００９】
【実施例】この発明の実施例を図面に基づきより詳しく
説明する。図１は、相対運動する物体（図示せず），例
えば工作機械の二つの機械部品の相対位置を測定する光
電測長装置の形状の第一集積光学センサ装置を示す。一
方の物体に連結する目盛板１には回折格子の形状の増分
目盛２がある。この増分目盛２は他方の物体に連結する
走査ユニットにより透過光で走査される。前記走査ユニ
ットには半導体レーザー光源の形状の光源３がある。光
導体結合器６の二つの入口光導体５a,５ｂの中の二つの
回折格子の形状の二つの入射部材４a,４b が、また前記
光導体結合器６の三つの出口光導体８，８a,８b 中の三
つの光検出器７，７a,７b が一枚の基板９の中に集積さ
れている。
説明する。図１は、相対運動する物体（図示せず），例
えば工作機械の二つの機械部品の相対位置を測定する光
電測長装置の形状の第一集積光学センサ装置を示す。一
方の物体に連結する目盛板１には回折格子の形状の増分
目盛２がある。この増分目盛２は他方の物体に連結する
走査ユニットにより透過光で走査される。前記走査ユニ
ットには半導体レーザー光源の形状の光源３がある。光
導体結合器６の二つの入口光導体５a,５ｂの中の二つの
回折格子の形状の二つの入射部材４a,４b が、また前記
光導体結合器６の三つの出口光導体８，８a,８b 中の三
つの光検出器７，７a,７b が一枚の基板９の中に集積さ
れている。
【００１０】半導体レーザー光源３から出た光ビーム束
１０は目盛板１の上に垂直に入射し、目盛２の回折格子
により一次の正の回折ビーム束１１a と一次の負の回折
ビーム束１１b に分離される。二つの回折ビーム束１１
a,１１b はそれぞれ入射部材４a,４b により二つの入口
光導体５a,５b に取り込まれ、光導体結合器６の中で干
渉する。三つの出口光導体８，８a,８b 中の光信号は付
属する光検出器７，７a,７b にそれぞれ導入される。二
つの物体が相対運動し、目盛板１と走査ユニットが測定
方向Ｘに相対運動すると、三つの光検出器７，７a,７b
は三つの走査信号（例えば、互いに位相が 120°ずれた
信号) を発生する。これ等の走査信号から周知の方法で
二つの物体の相対位置に対する測定値が得られる。この
種の位置測定装置は、例えば冒頭に述べたドイツ特許第
36 25 327号明細書に開示されている。
１０は目盛板１の上に垂直に入射し、目盛２の回折格子
により一次の正の回折ビーム束１１a と一次の負の回折
ビーム束１１b に分離される。二つの回折ビーム束１１
a,１１b はそれぞれ入射部材４a,４b により二つの入口
光導体５a,５b に取り込まれ、光導体結合器６の中で干
渉する。三つの出口光導体８，８a,８b 中の光信号は付
属する光検出器７，７a,７b にそれぞれ導入される。二
つの物体が相対運動し、目盛板１と走査ユニットが測定
方向Ｘに相対運動すると、三つの光検出器７，７a,７b
は三つの走査信号（例えば、互いに位相が 120°ずれた
信号) を発生する。これ等の走査信号から周知の方法で
二つの物体の相対位置に対する測定値が得られる。この
種の位置測定装置は、例えば冒頭に述べたドイツ特許第
36 25 327号明細書に開示されている。
【００１１】更に、図１によれば、回折格子の形状の補
助入射部材１３，補助光導体１４および補助光検出器１
５が基板９の上に配設されている。半導体レーザー光源
３の光ビーム束１０から目盛２の回折格子により生じた
補助回折ビーム束１２（例えば０次のビーム束）は、補
助入射部材１３により、波長に応じて多かれ少なかれ補
助光導体１４に取り込まれ、補助光検出器１５を作動さ
せる。
助入射部材１３，補助光導体１４および補助光検出器１
５が基板９の上に配設されている。半導体レーザー光源
３の光ビーム束１０から目盛２の回折格子により生じた
補助回折ビーム束１２（例えば０次のビーム束）は、補
助入射部材１３により、波長に応じて多かれ少なかれ補
助光導体１４に取り込まれ、補助光検出器１５を作動さ
せる。
【００１２】図２の第一制御回路によれば、補助光検出
器１５は後続する増幅器１６と共に半導体レーザー光源
３の放出波長λを調節する制御信号Ｒを出力する。そし
て、確実な機能を保証するため、正規条件の時に調節さ
れた半導体レーザー光源３の最適放出波長λe を、環境
の影響（特に温度）が変化した時、再調節する。
器１５は後続する増幅器１６と共に半導体レーザー光源
３の放出波長λを調節する制御信号Ｒを出力する。そし
て、確実な機能を保証するため、正規条件の時に調節さ
れた半導体レーザー光源３の最適放出波長λe を、環境
の影響（特に温度）が変化した時、再調節する。
【００１３】図３には、制御信号Ｒが半導体レーザー光
源３の放出波長λに対して第一信号波形図の中に記入さ
れている。制御信号Ｒの最大値は半導体レーザー光源３
の最適放出波長λe のところにある。
源３の放出波長λに対して第一信号波形図の中に記入さ
れている。制御信号Ｒの最大値は半導体レーザー光源３
の最適放出波長λe のところにある。
【００１４】図４には、光電測長装置の形状の第二集積
光学センサ装置が示してある。この装置は図１の第一集
積光学センサ装置とほぼ一致している。それ故、一致し
ている部材には同じ参照符号を付ける。
光学センサ装置が示してある。この装置は図１の第一集
積光学センサ装置とほぼ一致している。それ故、一致し
ている部材には同じ参照符号を付ける。
【００１５】図１とは異なり、回折格子の形状の二つの
補助入射部材２３a,２３b ，面状の二つの補助光導体２
４a,２４b および二つの補助光検出器２５a,２５b が基
板９の上に配設されている。半導体レーザー光源３の光
ビーム束１０から目盛２の回折格子により生じる回折ビ
ーム束１２（例えば０次のビーム束）は二つの補助入射
部材２３a,２３b により波長に応じて多かれ少なかれ補
助光導体２４a,２４bに取り込まれ、二つの補助光検出
器２５a,２５b を作動させる。
補助入射部材２３a,２３b ，面状の二つの補助光導体２
４a,２４b および二つの補助光検出器２５a,２５b が基
板９の上に配設されている。半導体レーザー光源３の光
ビーム束１０から目盛２の回折格子により生じる回折ビ
ーム束１２（例えば０次のビーム束）は二つの補助入射
部材２３a,２３b により波長に応じて多かれ少なかれ補
助光導体２４a,２４bに取り込まれ、二つの補助光検出
器２５a,２５b を作動させる。
【００１６】上記の代わりに、図５は図４の第二集積光
学センサ装置の線分Ａ−Ａに沿った一部の断面を有利な
実施態様にして示す。このセンサ装置の基板９の上に
は、一つの補助回折格子２７とこの格子に対称に回折格
子の形状の二つの補助入射部材２３a,２３b,二つの補助
光導体２４a,２４b および二つの補助光検出器２５a,２
５b がある。
学センサ装置の線分Ａ−Ａに沿った一部の断面を有利な
実施態様にして示す。このセンサ装置の基板９の上に
は、一つの補助回折格子２７とこの格子に対称に回折格
子の形状の二つの補助入射部材２３a,２３b,二つの補助
光導体２４a,２４b および二つの補助光検出器２５a,２
５b がある。
【００１７】半導体レーザー光源３の光ビーム束１０か
ら目盛２の回折格子により生じた０次の補助回折ビーム
束１２は、補助回折格子２７により回折され、同じ強度
の二つの部分ビーム束２８a,２８b になる。これ等の二
つの部分ビーム束２８a,２８b は基板９の裏側にある二
つの鏡２９a,２９b でそれぞれ反射された後、二つの補
助入射部材２３a,２３b により波長に応じて多かれ少な
かれ二つの補助光導体２４a,２４b に取り込まれ、二つ
の補助光検出器２５a,２５b を作動させる。
ら目盛２の回折格子により生じた０次の補助回折ビーム
束１２は、補助回折格子２７により回折され、同じ強度
の二つの部分ビーム束２８a,２８b になる。これ等の二
つの部分ビーム束２８a,２８b は基板９の裏側にある二
つの鏡２９a,２９b でそれぞれ反射された後、二つの補
助入射部材２３a,２３b により波長に応じて多かれ少な
かれ二つの補助光導体２４a,２４b に取り込まれ、二つ
の補助光検出器２５a,２５b を作動させる。
【００１８】正規条件での半導体レーザー光源３の最適
放出波長λe に関して、二つの補助入射部材２３a,２３
b の格子定数を幾分大きく、あるいは幾分小さく選ぶ。
その結果、二つの補助入射部材２３a,２３b は最適放出
波長λe に比べて幾分長い、または幾分短い波長に対し
て有効に光を取り込む。二つの補助入射部材２３a,２３
b により取り込まれた出力の差は、環境条件が変化した
時、半導体レーザー光源３の放出波長λの最適放出波長
λe からの偏差に対する目安となる。
放出波長λe に関して、二つの補助入射部材２３a,２３
b の格子定数を幾分大きく、あるいは幾分小さく選ぶ。
その結果、二つの補助入射部材２３a,２３b は最適放出
波長λe に比べて幾分長い、または幾分短い波長に対し
て有効に光を取り込む。二つの補助入射部材２３a,２３
b により取り込まれた出力の差は、環境条件が変化した
時、半導体レーザー光源３の放出波長λの最適放出波長
λe からの偏差に対する目安となる。
【００１９】図６の第二制御回路によれば、二つの補助
光検出器２５a,２５b の出力信号が半導体レーザー光源
３の最適放出波長λe を制御するため、符号に応じた制
御信号Ｓを発生する差増幅器３０に導入される。
光検出器２５a,２５b の出力信号が半導体レーザー光源
３の最適放出波長λe を制御するため、符号に応じた制
御信号Ｓを発生する差増幅器３０に導入される。
【００２０】図７の第二信号波形図には制御信号Ｓが半
導体レーザー光源３の放出波長λに対して記入されてい
る。最適放出波長λe は制御信号Ｓの零点のところにあ
る。二つの補助入射部材２３a,２３b は、補助回折ビー
ム束１２が垂直に入射しないのであれば、同じ格子定数
であってもよい。
導体レーザー光源３の放出波長λに対して記入されてい
る。最適放出波長λe は制御信号Ｓの零点のところにあ
る。二つの補助入射部材２３a,２３b は、補助回折ビー
ム束１２が垂直に入射しないのであれば、同じ格子定数
であってもよい。
【００２１】この発明は光電測角装置の形状の集積光学
センサ装置でも有効に使用できる。
センサ装置でも有効に使用できる。
【００２２】
【発明の効果】この発明で得られる利点は、付属する光
導体および検出器と共に少なくとも一つの補助入射部材
を設けて、簡単に半導体レーザー光源の最適放出波長を
再調節できるので、この集積光学センサ装置により、不
利な影響を気にしなくとも、高い測定精度で確実な作業
が行える点にある。特に有利な点は、ドイツ特許第 362
5 327号明細書の入射・出射部材と同じ方法で設計さ
れ、同じ基板上に装着され、同じ方式の仕上げ工程で作
製される結合部材を有し、それ等の結合部材が環境条件
（例えば、温度と湿度）の変化で、同じように影響を受
ける、集積光学センサ装置を提供していることにある。
導体および検出器と共に少なくとも一つの補助入射部材
を設けて、簡単に半導体レーザー光源の最適放出波長を
再調節できるので、この集積光学センサ装置により、不
利な影響を気にしなくとも、高い測定精度で確実な作業
が行える点にある。特に有利な点は、ドイツ特許第 362
5 327号明細書の入射・出射部材と同じ方法で設計さ
れ、同じ基板上に装着され、同じ方式の仕上げ工程で作
製される結合部材を有し、それ等の結合部材が環境条件
（例えば、温度と湿度）の変化で、同じように影響を受
ける、集積光学センサ装置を提供していることにある。
【図１】 第一集積光学センサ装置の模式斜視図であ
る。
る。
【図２】 第一制御回路の回路図である。
【図３】 第一信号波形図である。
【図４】 第二集積光学センサ装置の模式斜視図であ
る。
る。
【図５】 第二集積光学センサ装置の線分Ａに沿った断
面図である。
面図である。
【図６】 第二制御回路の回路図である。
【図７】 第二信号波形図である。
１ 目盛板 ２ 目盛 ３ レーザー光源 ４a,４b 入射部材 ５a,５b 入口光導体 ６ 光導体結合器 ７，７a,７b 光検出器 ８，８a,８b 出口光導体 ９ 基板 １０ 光ビーム束 １１a,１１b 回折ビーム束 １２ 補助回折ビーム束 １３，２３a,２３b 補助入射部材 １４，２４a,２４b 補助光導体 １５，２５a,２５b 補助光検出器 １６ 増幅器 ２７ 補助回折格子 ２９a,２９b 鏡 ３０ 差増幅器 λ 放出波長 λe 最適放出波長 Ｒ，Ｓ 制御信号 Ｘ 測定方向
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 アンドレアス・フランツ ドイツ連邦共和国、キーンベルク、ゾンネ ンライテ21 (56)参考文献 特開 昭63−37203（ＪＰ，Ａ)
Claims (6)
- 【請求項１】 レーザー光源（３）と集積光学部品用の
基板（９）を有する走査ユニットにより目盛板（１）の
目盛（２）を光ビームの回折を利用して走査し、前記目
盛（２）から出た少なくとも一つの回折ビーム束（１１
ａ，１１ｂ）を少なくとも一つの入射部材（４ａ，４
ｂ）により少なくとも一つの光導体（５ａ，５ｂ）に取
り込み、測定値を求める少なくとも一つの検出器（７，
７ａ，７ｂ）に導入し、その場合前記光学部品が基板に
上に集積されている光電位置測定装置に適した集積光学
センサ装置において、前記目盛（２）から出た補助回折
ビーム束（１２）を少なくとも一つの補助入射部材（１
３；２３）により、少なくとも一つの補助検出器（１
５；２５）を作動させるため、少なくとも一つの補助光
導体（１４；２４）に取り込み、前記補助光学部材（１
３，２３；１４，２４；１５，２５）も基板（９）に集
積されていて、前記補助検出器（１５；２５）がレーザ
ー光源（３）の最適放出波長（λｅ）を調節する制御信
号（Ｒ；Ｓ）を発生することを特徴とするセンサ装置。 - 【請求項２】 目盛（２）から出た回折ビーム束（１１
a,１１b ）は入射部材（４a,４b ）により光導体結合器
（６）の入口光導体（５a,５b ）に導入され、光導体結
合器（６）の中で干渉し、出口光導体（８，８a,８b ）
を経由して測定信号を与える検出器（７，７a,７b ）に
導入されることを特徴とする請求項１に記載のセンサ装
置。 - 【請求項３】 補助入射部材（２３a,２３b ）は幾分異
なって格子定数を有し、一方の格子定数が最適放出波長
λe に関して最適な格子定数よりも大きく、他方の格子
定数が最適放出波長λe に付属する前記格子定数よりも
小さいことを特徴とする請求項１に記載のセンサ装置。 - 【請求項４】 補助回折ビーム束（１２）は補助回折格
子（２７）で回折されて部分ビーム束（２８a,２８b ）
となり、これ等の部分ビーム束は反射した後、補助入射
部材（２３a,２３b ）から補助光導体（２４a,２４b ）
に取り込まれて補助検出器（２５a,２５b ）を作動させ
ることを特徴とする請求項１に記載のセンサ装置。 - 【請求項５】 補助検出器（２５a,２５b ）の出力信号
は制御信号（Ｓ）を発生させる差増幅器（３０）に導入
されることを特徴とする請求項１または４に記載のセン
サ装置。 - 【請求項６】 部分ビーム束（２８a,２８b ）は同じ強
度を有することを特徴とする請求項４に記載のセンサ装
置。
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