JPH08267578A - Laminator - Google Patents
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- JPH08267578A JPH08267578A JP7072022A JP7202295A JPH08267578A JP H08267578 A JPH08267578 A JP H08267578A JP 7072022 A JP7072022 A JP 7072022A JP 7202295 A JP7202295 A JP 7202295A JP H08267578 A JPH08267578 A JP H08267578A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、基板の表層部にフィル
ム状部材を熱圧着するためラミネータに関するものであ
る。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a laminator for thermocompressing a film-like member on the surface layer of a substrate.
【０００２】[0002]
【従来の技術】プリント配線板の製造プロセスにおける
画像形成の初期段階では、銅張積層板にドライフィルム
レジストを貼着するラミネート工程の後、その銅張積層
板に対する露光・現像が行われる。そして、前記ラミネ
ート工程では、一般的にラミネータという装置が使用さ
れている。2. Description of the Related Art In the initial stage of image formation in a printed wiring board manufacturing process, a copper film-clad laminate is exposed and developed after a laminating step of applying a dry film resist to the copper-clad laminate. A device called a laminator is generally used in the laminating step.
【０００３】図８，図９に従来におけるラミネータ４０
の要部を示す。図８（ａ）〜図８（ｃ）に示されるよう
に、このラミネータ４０は、熱圧着部４１と入口側基板
搬送部４２と図示しない出口側基板搬送部とに大別され
る。前記熱圧着部４１は、一対の圧着ローラ４４、仮付
けプレート４５、カッターユニット４６等を備えてい
る。ドライフィルムレジスト４７は、一対の圧着ローラ
４４間を通過する際に銅張積層板４８の表層部に熱圧着
される。入口側基板搬送部４２は、主として上下に配置
された複数の櫛歯状ローラ４９からなる。図９（ａ），
図９（ｂ）に示されるように、個々の櫛歯状ローラ４９
は、いずれも１本の回転軸４９ａに肉薄の円板４９ｂを
複数個固定することによって形成されている。肉薄の円
板４９ｂを使用したのは、銅張積層板４８と接触する部
分の面積を最小限にしたいという要請があるからであ
る。そして、ラミネート前の銅張積層板４８は、上下の
櫛歯状ローラ４９間に挟持された状態で熱圧着部４１へ
搬送されるようになっている。8 and 9 show a conventional laminator 40.
The main part of is shown. As shown in FIGS. 8A to 8C, the laminator 40 is roughly divided into a thermocompression bonding section 41, an inlet side substrate transfer section 42, and an outlet side substrate transfer section (not shown). The thermocompression bonding portion 41 includes a pair of pressure bonding rollers 44, a temporary mounting plate 45, a cutter unit 46, and the like. The dry film resist 47 is thermocompression bonded to the surface layer portion of the copper clad laminate 48 when passing through the pair of pressure bonding rollers 44. The entrance-side substrate transport unit 42 is mainly composed of a plurality of comb-teeth rollers 49 arranged vertically. FIG. 9 (a),
As shown in FIG. 9 (b), each individual comb-shaped roller 49
Are formed by fixing a plurality of thin disks 49b to one rotating shaft 49a. The reason why the thin disk 49b is used is that there is a demand to minimize the area of the portion that comes into contact with the copper clad laminate 48. Then, the copper-clad laminate 48 before lamination is conveyed to the thermocompression bonding portion 41 while being sandwiched between the upper and lower comb-tooth rollers 49.
【０００４】このラミネータ４０は次のような動作を行
う。図８（ａ）に示されるように、銅張積層板４８は、
入口側基板搬送部４２によって熱圧着部４１へと搬送さ
れる。そして、搬送されてきた銅張積層板４８は、いっ
たん仮付け位置で停止する。次に、一対の仮付けプレー
ト４５が銅張積層板４８の先端部を挟持することによっ
て、図８（ｂ）に示されるように、銅張積層板４８の先
端部にドライフィルムレジスト４７を仮付けする。仮付
け終了後、各櫛歯状ローラ４９が全体として後方に移動
することによって、銅張積層板４８の先端部を一対の圧
着ローラ４４間に挟み込む。この後、図８（ｃ）に示さ
れるように、両圧着ローラ４４の回転によってドライフ
ィルムレジスト４７が熱圧着される。The laminator 40 operates as follows. As shown in FIG. 8A, the copper clad laminate 48 is
The substrate is transferred to the thermocompression bonding unit 41 by the entrance-side substrate transfer unit 42. Then, the copper clad laminate 48 that has been conveyed once stops at the temporary attachment position. Next, the pair of temporary mounting plates 45 sandwich the tip portion of the copper-clad laminate 48, so that the dry film resist 47 is temporarily attached to the tip portion of the copper-clad laminate plate 48 as shown in FIG. 8B. Attach. After the temporary attachment is completed, each comb-tooth roller 49 moves rearward as a whole, so that the tip end portion of the copper-clad laminate 48 is sandwiched between the pair of pressure-bonding rollers 44. After that, as shown in FIG. 8C, the dry film resist 47 is thermocompression bonded by the rotation of the both pressure bonding rollers 44.
【０００５】[0005]
【発明が解決しようとする課題】ところが、銅張積層板
４８が肉薄でフレキシブルなものであると、図９（ｂ）
に示されるように、銅張積層板４８の外縁部４８ａが円
板４９ｂ間の溝部に垂れ下がることがある。この場合、
熱圧着直前の銅張積層板４８に変形が生じることによっ
て、界面への気泡の混入や位置精度の悪化などの各種の
ラミネートミスが発生しやすくなる。However, if the copper-clad laminate 48 is thin and flexible, then the copper-clad laminate 48 shown in FIG.
As shown in, the outer edge portion 48a of the copper clad laminate 48 may hang down in the groove portion between the discs 49b. in this case,
Due to the deformation of the copper-clad laminate 48 immediately before thermocompression bonding, various kinds of laminating mistakes such as inclusion of bubbles in the interface and deterioration of positional accuracy are likely to occur.
【０００６】また、動作中に銅張積層板４８に加わるテ
ンションの変化に起因して、図９（ｃ）に示されるよう
に、隣接する櫛歯状ローラ４９間に相当する部分がひだ
状に変形することがある。そして、このような変形もラ
ミネートミスの発生を招く原因となる。Further, due to the change in tension applied to the copper clad laminate 48 during operation, as shown in FIG. 9 (c), the portions corresponding to the adjacent comb-teeth rollers 49 are pleated. It may be deformed. Then, such deformation also causes the occurrence of lamination mistake.
【０００７】本発明は上記の課題を解消するためになさ
れたものであり、その目的は、熱圧着直前における基板
の変形を防止し、ラミネートミスの発生を確実に低減す
ることができるラミネータを提供することにある。The present invention has been made to solve the above problems, and an object thereof is to provide a laminator capable of preventing the deformation of a substrate immediately before thermocompression bonding and reliably reducing the occurrence of laminating mistakes. To do.
【０００８】[0008]
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めに、請求項１に記載の発明は、基板の表層部にフィル
ム状部材を熱圧着するための熱圧着部と、上下に配置さ
れた複数のローラからなり、それらのローラ間に挟持さ
れた前記基板を前記熱圧着部へ搬送する基板搬送部とを
備えるラミネータにおいて、前記基板搬送部を構成する
ローラは櫛歯状ローラであり、それらの櫛歯状ローラの
うち前記基板の下面側かつ前記基板搬送部の最後部に配
置される櫛歯状ローラの少なくとも両端部後側に、前記
基板とほぼ同じ高さの位置に接触面を有するサポータを
配置したラミネータをその要旨としている。請求項２に
記載の発明は、請求項１において、前記サポータは、前
記基板の下面側かつ前記基板搬送部の最後部に配置され
る櫛歯状ローラの後側に近接して配置されたストレート
ローラであるとしている。In order to solve the above-mentioned problems, the invention according to claim 1 has a thermocompression bonding portion for thermocompression bonding a film-like member to the surface layer of a substrate, which is arranged vertically. In a laminator comprising a plurality of rollers, and a substrate transport unit that transports the substrate sandwiched between the rollers to the thermocompression bonding unit, the rollers configuring the substrate transport unit are comb-shaped rollers, Of these comb-tooth rollers, a contact surface is provided at a position approximately at the same height as the substrate, at least at the rear side of both ends of the comb-tooth roller arranged on the lower surface side of the substrate and at the rearmost portion of the substrate transport section. The gist is a laminator in which the supporters that it has are arranged. According to a second aspect of the present invention, in the first aspect, the supporter is a straight member disposed in proximity to a lower surface side of the substrate and a rear side of a comb tooth-shaped roller disposed at a rearmost portion of the substrate transport unit. It is said to be Laura.
【０００９】請求項３に記載の発明は、基板の表層部に
フィルム状部材を熱圧着するための熱圧着部と、上下に
配置された複数のローラからなり、それらのローラ間に
挟持された基板を前記熱圧着部へ搬送する基板搬送部と
を備えるラミネータにおいて、前記基板搬送部を構成す
るローラは櫛歯状ローラであり、それらの櫛歯状ローラ
のうち前記基板の下面側に配置される櫛歯状ローラの円
板と、同櫛歯状ローラの側方に隣接する櫛歯状ローラの
円板とのピッチを２０mm以下に設定したラミネータをそ
の要旨としている。According to a third aspect of the present invention, a thermocompression bonding portion for thermocompression bonding the film-like member to the surface layer of the substrate and a plurality of rollers arranged above and below are sandwiched between the rollers. In a laminator including a substrate transfer unit that transfers the substrate to the thermocompression bonding unit, the rollers that configure the substrate transfer unit are comb-shaped rollers, and the comb-shaped rollers are arranged on the lower surface side of the substrate. The gist is a laminator in which the pitch between the disc of the comb-teeth roller and the disc of the comb-teeth roller adjacent to the side of the comb-teeth roller is set to 20 mm or less.
【００１０】[0010]
【作用】請求項１に記載の発明によると、基板が搬送さ
れる際、サポータによって基板の外縁部が支持されるた
め、外縁部の垂れ下がりが防止される。According to the first aspect of the present invention, when the substrate is transported, the outer edge of the substrate is supported by the supporter, so that the outer edge is prevented from hanging down.
【００１１】請求項２に記載の発明によると、ストレー
トローラ自身が回転しながら基板を支持するため、摺動
抵抗が小さい。請求項３に記載の発明によると、搬送方
向に沿って隣接する櫛歯状ローラの円板間のピッチを小
さくしていることから、テンションの変化に対して比較
的強くなり、ひだ状の変形の発生が防止される。According to the second aspect of the invention, since the straight roller itself supports the substrate while rotating, the sliding resistance is small. According to the third aspect of the invention, the pitch between the discs of the comb-teeth rollers which are adjacent to each other in the conveying direction is made small, so that it becomes relatively strong against a change in tension, and fold-like deformation. Is prevented from occurring.
【００１２】[0012]
【実施例】以下、本発明をドライフィルムラミネータに
具体化した一実施例を図１〜図３に基づき詳細に説明す
る。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment in which the present invention is embodied in a dry film laminator will be described in detail below with reference to FIGS.
【００１３】図１には、フォトプロセスを行うための典
型的なシステム１の全体が概略的に示されている。同シ
ステム１は、上流側（図１左側）から順に、ホットロー
ルプレヒータ２、基板洗浄装置３、ドライフィルムラミ
ネータ４、タイミングバッファ５、基板洗浄装置６及び
両面自動露光機７というようにレイアウトされる。な
お、ドライフィルムラミネータ４以外の機器の構成及び
作用については、ここでは詳細な説明を省略する。FIG. 1 schematically shows a typical system 1 for performing a photo process. The system 1 is laid out in order from the upstream side (left side in FIG. 1) of a hot roll preheater 2, a substrate cleaning device 3, a dry film laminator 4, a timing buffer 5, a substrate cleaning device 6 and a double-sided automatic exposure device 7. . It should be noted that detailed description of the configuration and operation of devices other than the dry film laminator 4 will be omitted here.
【００１４】図１に示されるように、ドライフィルムラ
ミネータ４は、入口側基板搬送部１１、熱圧着部１２、
出口側基板搬送部１３及び制御部１４に大別される。入
口側基板搬送部１１は、基板としての銅張積層板１５を
熱圧着部１２へ搬送する。また、出口側基板搬送部１３
は、ドライフィルムレジスト１６が熱圧着された銅張積
層板１５を熱圧着部１２から搬出する。As shown in FIG. 1, the dry film laminator 4 includes an inlet side substrate transfer section 11, a thermocompression bonding section 12,
It is roughly classified into an exit side substrate transfer section 13 and a control section 14. The entrance-side board transfer section 11 transfers the copper clad laminate 15 as a board to the thermocompression bonding section 12. In addition, the exit side substrate transfer unit 13
The copper clad laminate 15 to which the dry film resist 16 is thermocompression bonded is carried out from the thermocompression bonding unit 12.
【００１５】図２（ａ）〜図２（ｃ）に示されるよう
に、前記熱圧着部１２は、圧着ローラ１７、仮付けプレ
ート１８、カッターユニット１９、カッターバックアッ
プ２０、フィルムガイド２１、フィルムテンション機構
２２、フィルムローラ２３等によって構成されている。
なお、これらの部材１７〜２３は、銅張積層板１５の搬
送経路を基準として上下対称に設けられている。As shown in FIGS. 2 (a) to 2 (c), the thermocompression bonding portion 12 includes a pressure bonding roller 17, a temporary mounting plate 18, a cutter unit 19, a cutter backup 20, a film guide 21, and a film tension. The mechanism 22 and the film roller 23 are included.
It should be noted that these members 17 to 23 are vertically symmetrical with respect to the transport path of the copper clad laminate 15.
【００１６】ドライフィルムレジスト１６は、図示しな
いカバーフィルムによって両面が保護された状態でフィ
ルムローラ２３に巻き取られている。ドライフィルムレ
ジスト１６は、片面のカバーフィルムの剥離が行われつ
つ、フィルムローラ２３から繰り出される。繰り出され
たドライフィルムレジスト１６は、フィルムテンション
機構２２によって屈回された後、圧着ローラ１７の前方
上方及び前方下方に配置された仮付けプレート１８に到
っている。フィルムテンション機構２２は、ドライフィ
ルムレジスト１６に適度なテンションを与え、弛みを防
止する。The dry film resist 16 is wound around the film roller 23 with its both surfaces protected by a cover film (not shown). The dry film resist 16 is fed from the film roller 23 while the cover film on one side is being peeled off. The delivered dry film resist 16 is bent around by the film tension mechanism 22, and then reaches the temporary attachment plates 18 arranged above and below the front of the pressure roller 17. The film tension mechanism 22 applies an appropriate tension to the dry film resist 16 to prevent loosening.
【００１７】一対の仮付けプレート１８は、流体圧シリ
ンダ等の駆動手段によって上下に駆動される。両仮付け
プレート１８は、銅張積層板１５の先端部を挟持するこ
とによって、当該部分にドライフィルムレジスト１６を
仮付けする。カッターユニット１９は、各仮付けプレー
ト１８の前方に設けられている。また、カッターバック
アップ２０は、両カッターユニット１９のブレードに相
当する位置の後方に設けられている。フィルムガイド２
１は、各圧着ローラ１７のすぐ前方に配設されている。
ドライフィルムレジスト１６は、フィルムガイド２１の
曲面によって圧着ローラ１７間の隙間へ案内される。The pair of temporary mounting plates 18 are vertically driven by a driving means such as a fluid pressure cylinder. The temporary mounting plates 18 hold the dry film resist 16 temporarily by sandwiching the front end of the copper clad laminate 15. The cutter unit 19 is provided in front of each temporary mounting plate 18. The cutter backup 20 is provided behind the position corresponding to the blades of both cutter units 19. Film guide 2
1 is disposed immediately in front of each pressure roller 17.
The dry film resist 16 is guided by the curved surface of the film guide 21 into the gap between the pressure bonding rollers 17.
【００１８】一対の圧着ローラ１７は、銅張積層板１５
を挟持しうる位置に配設されている。各圧着ローラ１７
は、円筒状をしたプラスティックローラの周面に数mm程
度のゴムライニングを接着することによって形成されて
いる。ドライフィルムレジスト１６は、両圧着ローラ１
７間の隙間を通過する際に、銅張積層板１５の両面表層
部に熱圧着される。The pair of pressure-bonding rollers 17 are the copper-clad laminate 15
Is arranged at a position where it can be clamped. Each pressure roller 17
Is formed by adhering a rubber lining of about several mm on the peripheral surface of a cylindrical plastic roller. The dry film resist 16 is a double pressure roller 1
When passing through the gap between the seven, they are thermocompression bonded to both surface layers of the copper clad laminate 15.
【００１９】図２（ａ）〜図２（ｃ）に示されるよう
に、入口側基板搬送部１１は、上下に配置された複数の
櫛歯状ローラ２４、位置センサ２５、ミラー２６、サポ
ータとしてのストレートローラ２７等によって構成され
ている。入口側基板搬送部１１を構成する櫛歯状ローラ
２４は、銅張積層板１５の上側において４本、下側にお
いて３本設置されている。なお、前記各櫛歯状ローラ２
４のうち、最前列の上下にあるものは、他のものよりも
いくぶん大きくなっている。As shown in FIGS. 2 (a) to 2 (c), the entrance-side substrate transfer section 11 serves as a plurality of comb-teeth rollers 24, a position sensor 25, a mirror 26, and a supporter arranged vertically. The straight rollers 27 and the like are used. Four comb-teeth rollers 24, which form the entrance-side substrate transport unit 11, are installed on the upper side of the copper-clad laminate 15 and three on the lower side. In addition, each of the comb-shaped rollers 2
Of the four, the ones above and below the front row are somewhat larger than the others.
【００２０】図３に示されるように、個々の櫛歯状ロー
ラ２４は、いずれも１本の回転軸２４ａに肉薄の円板２
４ｂを複数個固定することによって形成されている。本
実施例では、円板２４ａの幅及び直径は５mm，３０mmで
ある。また、同一の回転軸２４ａ内において、搬送方向
と直交する方向に沿って隣接する円板２４ａ間の距離は
約４０mmである。さらに、特定の櫛歯状ローラ２４の円
板２４ｂと、同櫛歯状ローラ２４の側方に（詳細には搬
送方向に）隣接する別の櫛歯状ローラ２４の円板２４ｂ
との間のピッチＷ1 は、１０mm以下に設定されている。
本実施例では、このピッチＷ1 が従来の値の約１／２程
度の値（具体的には５mm）に設定されている。As shown in FIG. 3, each of the individual comb-tooth rollers 24 has a thin disc 2 on one rotary shaft 24a.
It is formed by fixing a plurality of 4b. In this embodiment, the width and diameter of the disc 24a are 5 mm and 30 mm. Further, within the same rotary shaft 24a, the distance between the discs 24a adjacent to each other along the direction orthogonal to the transport direction is about 40 mm. Further, the disc 24b of a specific comb-tooth roller 24 and the disc 24b of another comb-tooth roller 24 adjacent to the side of the comb-tooth roller 24 (specifically, in the transport direction).
The pitch W1 between and is set to 10 mm or less.
In the present embodiment, this pitch W1 is set to a value (specifically 5 mm) which is about 1/2 of the conventional value.
【００２１】サポータとしてのストレートローラ２７
は、銅張積層板１５の下面側かつ入口側基板搬送部１１
の最後部に配置された櫛歯状ローラ２４の後側に設置さ
れている。同ストレートローラ２７の周面２７ａは、搬
送経路上における銅張積層板１５の高さとほぼ等しくな
っている。従って、前記周面２７ａは、銅張積層板１５
が搬送されるときの接触面となる。なお、本実施例で
は、すぐ前方にある櫛歯状ローラ２４の円板２４ｂとス
トレートローラ２７との間隔も１０mm以下に、具体的に
はＷ1 と同じく５mmに設定されている。Straight roller 27 as a supporter
Is the lower surface side of the copper clad laminate 15 and the inlet side substrate transfer section 11
Is installed on the rear side of the comb-tooth roller 24 arranged at the rearmost part of the. The peripheral surface 27a of the straight roller 27 is substantially equal to the height of the copper clad laminate 15 on the transport path. Therefore, the peripheral surface 27a is formed by the copper clad laminate 15
Is the contact surface when the paper is transported. In this embodiment, the distance between the disc 24b of the comb-toothed roller 24 and the straight roller 27 located immediately in front is also set to 10 mm or less, specifically 5 mm like W1.
【００２２】位置センサ２５は、銅張積層板１５の搬送
経路の上方に設けられている。この位置センサ２５は、
例えば光電スイッチ等のように光を利用したセンサであ
る。位置センサ２５が照射した光は、搬送経路の下方に
設置されたミラー２６によって反射される。その結果、
銅張積層板１５の先端部が所定位置に到達しているか否
かが検出される。The position sensor 25 is provided above the transport path of the copper clad laminate 15. This position sensor 25
For example, it is a sensor that uses light, such as a photoelectric switch. The light emitted by the position sensor 25 is reflected by the mirror 26 installed below the transport path. as a result,
It is detected whether the tip of the copper clad laminate 15 has reached a predetermined position.
【００２３】次に、このラミネータ４の動作を順を追っ
て説明する。プレヒート及び洗浄工程を経た銅張積層板
１５は、図２（ａ）に示されるように、入口側基板搬送
部１１の上下の櫛歯状ローラ２４間に挟持された状態
で、熱圧着部１２の方向へ搬送される。このとき、位置
センサ２５は、銅張積層板１５の先端部が通過したこと
を検知し、その検知信号を図示しない制御コンピュータ
に出力する。そして、制御コンピュータは、この通過時
から所定時間経過した後に櫛歯状ローラ２４の駆動をい
ったん止め、銅張積層板１５を仮止め位置に停止させ
る。Next, the operation of the laminator 4 will be described step by step. As shown in FIG. 2A, the copper clad laminate 15 that has undergone the preheating and cleaning steps is sandwiched between the upper and lower comb tooth-shaped rollers 24 of the inlet-side substrate transfer section 11, and the thermocompression-bonding section 12 is provided. Is conveyed in the direction of. At this time, the position sensor 25 detects that the tip of the copper clad laminate 15 has passed and outputs the detection signal to a control computer (not shown). Then, the control computer temporarily stops the driving of the comb-shaped roller 24 after a predetermined time has passed from this passage, and stops the copper clad laminate 15 at the temporary fixing position.
【００２４】次に、一対の仮付けプレート１８によって
銅張積層板１５の先端部が挟持される。すると、図２
（ｂ）に示されるように、当該部分にドライフィルムレ
ジスト１６が仮付けされる。その後、前記仮付けプレー
ト１８は元の位置に復帰する。仮付け終了後、各櫛歯状
ローラ２４とストレートローラ２７とが全体として後方
に移動する。その結果、銅張積層板１５の先端部が一対
の圧着ローラ１７間に挟み込まれる。この後、両圧着ロ
ーラ１７が回転することによって、銅張積層板１５及び
２枚のドライフィルムレジスト１６が後方へ送り出され
る。すると、両圧着ローラ１７間の間隙を通過する際に
受ける圧力と熱とによって、図２（ｃ）に示されるよう
に、ドライフィルムレジスト１６が銅張積層板１５の両
面に熱圧着される。この後、位置センサ２５は、銅張積
層板１５の後端部が通過したことを検知する。すると、
制御コンピュータは、この時点から所定時間経過した後
にカッターユニット１９を駆動させる。その結果、ドラ
イフィルムレジスト１６がカットされる。そして、新た
な銅張積層板１５が搬送されてくるたびに、以上の動作
が繰り返し行われる。Next, the tip of the copper clad laminate 15 is clamped by the pair of temporary plates 18. Then, Figure 2
As shown in (b), the dry film resist 16 is temporarily attached to the portion. After that, the temporary mounting plate 18 returns to the original position. After the temporary attachment is completed, the comb-shaped rollers 24 and the straight rollers 27 are moved backward as a whole. As a result, the tip of the copper-clad laminate 15 is sandwiched between the pair of pressure-bonding rollers 17. Thereafter, the pressure bonding rollers 17 are rotated to send the copper clad laminate 15 and the two dry film resists 16 rearward. Then, the dry film resist 16 is thermocompression-bonded to both surfaces of the copper-clad laminate 15 by the pressure and heat received when passing through the gap between the both pressure-bonding rollers 17, as shown in FIG. 2C. After that, the position sensor 25 detects that the rear end of the copper-clad laminate 15 has passed. Then
The control computer drives the cutter unit 19 after a predetermined time has elapsed from this point. As a result, the dry film resist 16 is cut. Then, each time a new copper clad laminate 15 is conveyed, the above operation is repeated.
【００２５】さて、本実施例のラミネータ４の構成によ
ると、銅張積層板１５が搬送される際、ストレートロー
ラ２７によって銅張積層板１５が下面側から全体的に支
持される。このため、銅張積層板１５が例えば０．４mm
厚以下で極めて肉薄であったとしても、外縁部１５ａの
垂れ下がりを確実に防止することができる。よって、熱
圧着直前における銅張積層板１５の変形が防止され、ド
ライフィルムレジスト１６のラミネートミス（例えば界
面への気泡の混入や位置精度の悪化など）の発生が確実
に低減される。また、この構成であると、サポータであ
るストレートローラ２７自身が回転しながら銅張積層板
１５を支持することから、銅張積層板１５と周面２７ａ
との摺動抵抗も比較的小さい。従って、銅張積層板１５
の下面に傷が付きにくい。With the structure of the laminator 4 of this embodiment, when the copper-clad laminate 15 is conveyed, the straight rollers 27 support the copper-clad laminate 15 entirely from the lower surface side. For this reason, the copper clad laminate 15 is, for example, 0.4 mm
Even if the thickness is less than or equal to the thickness and extremely thin, it is possible to reliably prevent the outer edge portion 15a from hanging down. Therefore, the deformation of the copper clad laminate 15 immediately before thermocompression bonding is prevented, and the occurrence of a lamination error of the dry film resist 16 (for example, inclusion of bubbles in the interface or deterioration of positional accuracy) is reliably reduced. Further, with this configuration, since the straight roller 27 itself, which is a supporter, supports the copper-clad laminate 15 while rotating, the copper-clad laminate 15 and the peripheral surface 27a.
The sliding resistance with and is relatively small. Therefore, the copper clad laminate 15
The bottom surface of the is not easily scratched.
【００２６】さらに、本実施例のラミネータ４では、搬
送方向に沿って隣接する円板２４ｂ間のピッチＷ1 が小
さく設定されているため、限られたスペース内に従来よ
りも多くの櫛歯状ローラ２４を設置することができる。
このような構成にすると、動作中におけるテンションの
変化に対して比較的強くなるため、銅張積層板１５にひ
だ状の変形が生じにくくなる。Further, in the laminator 4 of this embodiment, since the pitch W1 between the discs 24b adjacent to each other in the conveying direction is set to be small, a larger number of comb-teeth rollers than the conventional one can be set in the limited space. 24 can be installed.
With such a configuration, the copper-clad laminate 15 is less likely to be deformed in a fold shape because it is relatively strong against a change in tension during operation.
【００２７】なお、本発明は例えば次のように変更する
ことが可能である。 （１）実施例のストレートローラ２７に代えて、図４に
示される別例１のように、搬送経路の下面側かつ最後部
の櫛歯状ローラ２４の両端部後側に、一対の短いストレ
ートローラ３０を設置してもよい。この構成であると、
銅張積層板１５の外縁部１５ａのみが両ストレートロー
ラ３０によって下面側から支持される。また、銅張積層
板１５の外縁部１５ａが両ストレートローラ３０の周面
３０ａに対して摺動する反面、その中央部はどの箇所に
対しても摺動することがない。従って、中央部に傷が全
く付かないという利点がある。The present invention can be modified as follows, for example. (1) Instead of the straight roller 27 of the embodiment, as in another example 1 shown in FIG. 4, a pair of short straights are provided on the lower surface side of the conveyance path and on the rear side of both ends of the comb-shaped roller 24 at the rearmost portion. The roller 30 may be installed. With this configuration,
Only the outer edge portion 15a of the copper-clad laminate 15 is supported by the both straight rollers 30 from the lower surface side. Further, while the outer edge portion 15a of the copper clad laminate 15 slides on the peripheral surfaces 30a of both straight rollers 30, the central portion thereof does not slide on any part. Therefore, there is an advantage that the central portion is not scratched at all.
【００２８】（２）実施例のストレートローラ２７に代
えて、図５に示される別例２のように、搬送経路の下面
側かつ最後部の櫛歯状ローラ２４の両端部後側に、一対
の金属製のプレート３１を設置してもよい。この構成で
あると、別例１と同じく銅張積層板１５の外縁部１５ａ
のみが両プレート３１によって下面側から支持される。
また、銅張積層板１５の外縁部１５ａが両プレート３１
の上面３１ａに対して摺動する反面、その中央部はどの
箇所に対しても摺動することがない。従って、中央部に
傷が全く付かないという利点がある。さらに、このよう
な構造であると、ローラを使用したときよりも構成を簡
略化することができる。(2) Instead of the straight roller 27 of the embodiment, as in another example 2 shown in FIG. 5, a pair of rollers is provided on the lower surface side of the conveyance path and on the rear side of both ends of the comb-tooth roller 24 at the rearmost part. The metal plate 31 may be installed. With this configuration, the outer edge portion 15a of the copper clad laminate 15 is the same as in the first example.
Only the plates 31 are supported from the lower surface side.
Further, the outer edge portion 15a of the copper-clad laminate 15 is fixed to both plates 31
Although it slides on the upper surface 31a, its central portion does not slide on any part. Therefore, there is an advantage that the central portion is not scratched at all. Further, with such a structure, the structure can be simplified as compared with the case where the roller is used.
【００２９】（３）図６に示される別例３のように、搬
送経路の下側の櫛歯状ローラ２４を千鳥状に配置しても
よい。この構成であると、同一回転軸２４ａ内の円板２
４ｂ間の間隔が見かけの上で狭くなった状態となる。こ
のため、銅張積層板１５の外縁部１５ａの垂れ下がり等
が起こりにくくなる。(3) Like the third example shown in FIG. 6, the comb-teeth rollers 24 on the lower side of the conveying path may be arranged in a staggered manner. With this configuration, the disc 2 within the same rotary shaft 24a
The space between 4b is apparently narrowed. Therefore, the outer edge portion 15a of the copper clad laminate 15 is unlikely to hang down.
【００３０】（４）サポータの接触面に例えばフッ素系
樹脂の皮膜等を形成することにより、銅張積層板１５と
サポータとの間の摺動抵抗の低減を図ってもよい。 （５）側方に隣接する櫛歯状ローラ２４の円板２４ｂ間
に、例えばベルトを巻回した構成としてもよい。(4) The sliding resistance between the copper clad laminate 15 and the supporter may be reduced by forming a film of fluorine resin, for example, on the contact surface of the supporter. (5) For example, a belt may be wound between the discs 24b of the comb-tooth-shaped rollers 24 that are laterally adjacent to each other.
【００３１】（６）入口側基板搬送部１１のみならず、
出口側基板搬送部１３にも本発明の構成を採用すること
が可能である。 （７）なお、本発明とは直接関連する事項ではないが、
フレキシブルな銅張積層板１５を扱う場合の好適な構成
として、例えば次のようなものがある。図７（ａ）に示
されるように、銅張積層板１５が熱圧着部１２に搬送さ
れる際、その銅張積層板１５は、入口側基板搬送部１１
に設置されたアライメント機構によってあらかじめセン
タリングされる必要がある。そして、一般的なアライメ
ント機構としては、同図のように搬送経路の両側に一対
の押圧板３５を配置し、両押圧板３５を所定の速度（通
常は１０mm／秒程度）で近づけるという方法が知られて
いる。また、各押圧板３５の内側面には、押圧板３５の
停止タイミングを決定するための圧力センサ３６が設け
られている。しかし、この機構の場合、図７（ｂ）に示
されるように、フレキシブルな銅張積層板１５に撓みが
生じ、正確なセンタリングを実現しにくいという欠点が
あった。このため、図７（ｃ）の改良例では押圧板３５
の間に長さ変更可能な可変ストッパ３７を設けることに
より、押圧板３５の行き過ぎを防止し、銅張積層板１５
の撓みを解消している。この他、押圧板３５の移動速度
を５mm／秒程度まで遅くするという方法も有効である。(6) Not only the substrate transfer section 11 on the inlet side,
The configuration of the present invention can also be applied to the exit side substrate transport unit 13. (7) Although not directly related to the present invention,
The following is an example of a suitable configuration for handling the flexible copper-clad laminate 15. As shown in FIG. 7A, when the copper-clad laminate 15 is transported to the thermocompression bonding part 12, the copper-clad laminate 15 is transferred to the inlet side substrate transporting part 11.
It is necessary to be centered in advance by the alignment mechanism installed at. Then, as a general alignment mechanism, a method of arranging a pair of pressing plates 35 on both sides of the conveyance path as shown in the figure and bringing both pressing plates 35 closer at a predetermined speed (usually about 10 mm / sec) is available. Are known. Further, a pressure sensor 36 for determining the stop timing of the pressing plate 35 is provided on the inner surface of each pressing plate 35. However, in the case of this mechanism, as shown in FIG. 7B, the flexible copper clad laminate 15 is bent, and it is difficult to achieve accurate centering. Therefore, in the modified example of FIG.
By providing a variable stopper 37 of which the length can be changed between the two, it is possible to prevent the pressing plate 35 from overshooting, and to prevent the copper-clad laminate 15
The flexure of is eliminated. In addition, it is effective to reduce the moving speed of the pressing plate 35 to about 5 mm / sec.
【００３２】ここで、特許請求の範囲に記載された技術
的思想のほかに、前述した実施例及び別例によって把握
される技術的思想をその効果とともに以下に列挙する。 （１）基板の表層部にフィルム状部材を熱圧着するため
の熱圧着部と、上下に配置された複数のローラからな
り、それらのローラ間に挿入された基板を前記熱圧着部
へ搬送する基板搬送部とを備えるラミネータにおいて、
前記基板搬送部を構成するローラは櫛歯状ローラであ
り、同櫛歯状ローラのうち、少なくとも前記基板の下面
側のものを千鳥状に配置したラミネータ。この構成であ
ると、ラミネートミスの発生を確実に低減できる。Here, in addition to the technical ideas described in the claims, the technical ideas grasped by the above-described embodiments and other examples will be listed below together with their effects. (1) A thermocompression bonding part for thermocompressing a film-like member on the surface layer of the substrate, and a plurality of rollers arranged above and below, and the substrate inserted between the rollers is conveyed to the thermocompression bonding part. In a laminator including a board transfer section,
A roller forming the substrate transport unit is a comb-shaped roller, and at least one of the comb-shaped rollers on the lower surface side of the substrate is arranged in a zigzag pattern. With this configuration, it is possible to reliably reduce the occurrence of lamination mistakes.
【００３３】（２）請求項１において、サポータは、前
記基板の下面側かつ前記基板搬送部の最後部に配置され
る櫛歯状ローラの少なくとも両端部後側に設けられた一
対の金属板であること。この構成であると、構成簡略化
を達成できる。(2) In claim 1, the supporter is a pair of metal plates provided on the lower surface side of the substrate and on the rear side of at least both ends of the comb-toothed roller arranged at the rearmost portion of the substrate transport section. To be. With this configuration, simplification of the configuration can be achieved.
【００３４】なお、本明細書中において使用した技術用
語を次のように定義する。 「ドライフィルムレジスト： プリント配線板の製造プ
ロセスにおいて基板上への画像形成のために使用される
フィルム状部材をいう。」The technical terms used in this specification are defined as follows. "Dry film resist: A film-like member used for forming an image on a substrate in a printed wiring board manufacturing process."
【００３５】[0035]
【発明の効果】以上詳述したように、請求項１〜３に記
載の発明によれば、熱圧着直前における基板の変形が防
止されるため、ラミネートミスの発生を確実に低減する
ことができるラミネータを提供することができる。特に
請求項２に記載の発明によれば、サポータであるストレ
ートローラと基板との摺動抵抗が小さくなるため、基板
の傷付きを防止することができる。As described in detail above, according to the inventions described in claims 1 to 3, the deformation of the substrate is prevented immediately before thermocompression bonding, so that the occurrence of lamination error can be surely reduced. A laminator can be provided. Particularly, according to the invention described in claim 2, since the sliding resistance between the straight roller which is the supporter and the substrate becomes small, it is possible to prevent the substrate from being scratched.
【図１】フォトプロセスを行うシステムを示す全体図。FIG. 1 is an overall view showing a system for performing a photo process.
【図２】（ａ）〜（ｃ）は実施例のラミネータの要部を
示す部分概略断面図。2A to 2C are partial schematic cross-sectional views showing the main part of the laminator of the embodiment.
【図３】（ａ）は前記ラミネータの入口側基板搬送部を
示す概略側面図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ線における概
略図。3A is a schematic side view showing an inlet-side substrate transfer section of the laminator, and FIG. 3B is a schematic view taken along line AA of FIG. 3A.
【図４】（ａ）は別例１のラミネータの入口側基板搬送
部を示す概略側面図、（ｂ）は（ａ）のＢ−Ｂ線におけ
る概略図。FIG. 4A is a schematic side view showing an inlet side substrate transfer section of a laminator of another example 1, and FIG. 4B is a schematic view taken along line BB of FIG. 4A.
【図５】（ａ）は別例２のラミネータの入口側基板搬送
部を示す概略側面図、（ｂ）は（ａ）のＣ−Ｃ線におけ
る概略図。5A is a schematic side view showing an inlet-side substrate transfer section of a laminator of another example 2, and FIG. 5B is a schematic view taken along line CC of FIG.
【図６】別例３のラミネータの入口側基板搬送部を示す
概略平面図。FIG. 6 is a schematic plan view showing an inlet-side substrate transfer section of a laminator of another example 3.
【図７】（ａ）〜（ｃ）は入口側基板搬送部におけるア
ライメント機構を示す概略平面図。7A to 7C are schematic plan views showing an alignment mechanism in an entrance-side substrate transfer section.
【図８】（ａ）〜（ｃ）は従来のラミネータの要部を示
す部分概略断面図。FIG. 8A to FIG. 8C are partial schematic sectional views showing a main part of a conventional laminator.
【図９】（ａ）は前記ラミネータの入口側基板搬送部を
示す概略側面図、（ｂ）は（ａ）のＤ−Ｄ線における概
略図、（ｃ）は部分概略正面図。9A is a schematic side view showing an inlet-side substrate transfer section of the laminator, FIG. 9B is a schematic view taken along the line D-D of FIG. 9A, and FIG. 9C is a partial schematic front view.
４…ラミネータ、１１…（入口側）基板搬送部、１２…
熱圧着部、１５…基板としての銅張積層板、１６…フィ
ルム状部材としてのドライフィルムレジスト、２４…ロ
ーラとしての櫛歯状ローラ、２４ｂ…円板、２７，３０
…サポータとしてのストレートローラ、３１…サポータ
としてのプレート、Ｗ1 …ピッチ。4 ... Laminator, 11 ... (Inlet side) substrate transfer section, 12 ...
Thermocompression bonding portion, 15 ... Copper clad laminate as substrate, 16 ... Dry film resist as film member, 24 ... Comb-shaped roller as roller, 24b ... Disc, 27, 30
... Straight rollers as supporters, 31 ... Plates as supporters, W1 ... Pitch.
Claims (3)
るための熱圧着部と、 上下に配置された複数のローラからなり、それらのロー
ラ間に挟持された前記基板を前記熱圧着部へ搬送する基
板搬送部とを備えるラミネータにおいて、 前記基板搬送部を構成するローラは櫛歯状ローラであ
り、それらの櫛歯状ローラのうち前記基板の下面側かつ
前記基板搬送部の最後部に配置される櫛歯状ローラの少
なくとも両端部後側に、前記基板とほぼ同じ高さの位置
に接触面を有するサポータを配置したラミネータ。1. A thermocompression bonding part for thermocompression bonding a film-like member to a surface layer of a substrate, and a plurality of rollers arranged above and below, wherein the substrate sandwiched between the rollers is the thermocompression bonding part. In the laminator provided with a substrate transport unit for transporting to the substrate transport roller, the rollers constituting the substrate transport unit are comb-teeth rollers, and among these comb-teeth rollers, the lower surface side of the substrate and the rearmost portion of the substrate transport unit. A laminator in which a supporter having a contact surface is disposed at a position substantially at the same height as the substrate, at least on the rear side of both ends of the comb-shaped roller.
記基板搬送部の最後部に配置される櫛歯状ローラの後側
に近接して配置されたストレートローラである請求項１
に記載のラミネータ。2. The support roller is a straight roller arranged in proximity to a lower surface side of the substrate and a rear side of a comb tooth-shaped roller arranged at the rearmost portion of the substrate carrying section.
Laminator described in.
るための熱圧着部と、 上下に配置された複数のローラからなり、それらのロー
ラ間に挟持された基板を前記熱圧着部へ搬送する基板搬
送部とを備えるラミネータにおいて、 前記基板搬送部を構成するローラは櫛歯状ローラであ
り、それらの櫛歯状ローラのうち前記基板の下面側に配
置される櫛歯状ローラの円板と、同櫛歯状ローラの側方
に隣接する櫛歯状ローラの円板とのピッチを２０mm以下
に設定したラミネータ。3. A thermocompression bonding part for thermocompressing a film-like member on the surface layer of the substrate, and a plurality of rollers arranged above and below, and the substrate sandwiched between the rollers is attached to the thermocompression bonding part. In the laminator including a substrate transport unit for transporting, the rollers forming the substrate transport unit are comb-teeth rollers, and among the comb-teeth rollers, a circle of comb-teeth rollers arranged on the lower surface side of the substrate. A laminator in which the pitch between the plate and the disk of the comb-shaped roller adjacent to the side of the comb-shaped roller is set to 20 mm or less.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP07202295A JP3737538B2 (en) | 1995-03-29 | 1995-03-29 | Laminator |
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Publications (2)
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Family
ID=13477376
Family Applications (1)
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| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3737538B2 (en) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008155526A (en) * | 2006-12-25 | 2008-07-10 | Lami Corporation Co Ltd | Laminating apparatus |
| CN106510362A (en) * | 2016-10-23 | 2017-03-22 | 浙江哈尔斯真空器皿股份有限公司 | Metal film cladding device for liner of vacuum cup |
| CN113021867A (en) * | 2021-03-24 | 2021-06-25 | 许昌学院 | Copper-clad plate pastes environmental protection membrane equipment |
-
1995
- 1995-03-29 JP JP07202295A patent/JP3737538B2/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008155526A (en) * | 2006-12-25 | 2008-07-10 | Lami Corporation Co Ltd | Laminating apparatus |
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| CN106510362B (en) * | 2016-10-23 | 2018-01-05 | 浙江哈尔斯真空器皿股份有限公司 | The metal film cladding equipment of vacuum cup inner bag |
| CN113021867A (en) * | 2021-03-24 | 2021-06-25 | 许昌学院 | Copper-clad plate pastes environmental protection membrane equipment |
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| Publication number | Publication date |
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| JP3737538B2 (en) | 2006-01-18 |
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