JPH08264597A - ワイヤボンディング装置及びその制御方法 - Google Patents

ワイヤボンディング装置及びその制御方法

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JPH08264597A
JPH08264597A JP6122195A JP6122195A JPH08264597A JP H08264597 A JPH08264597 A JP H08264597A JP 6122195 A JP6122195 A JP 6122195A JP 6122195 A JP6122195 A JP 6122195A JP H08264597 A JPH08264597 A JP H08264597A
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bonding
vibration
wire
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Hideki Ando
秀喜 安藤
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Toyota Motor Corp
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 ボンディングツール先端部の振動状態をワイ
ヤボンディング装置の特徴を損なうことなくコンパクト
な構成で、正確に検出して、その検出結果に基づいて超
音波振動の出力制御を行うことのできるワイヤボンディ
ング装置及びその制御法方を提供することを目的とす
る。 【構成】 超音波振動素子16からの振動が伝達される
ボンディングツール12に設けられた磁歪膜28がボン
ディングツール12の振動によって歪み、その結果、磁
化され該磁歪膜周辺の磁場が変化する。そして、変化し
た磁場を磁場検出コイル30で検出し、制御部18が検
出された磁場に基づいてボンディングツール12の先端
部の振動量を認識し前記超音波振動素子16の出力を制
御する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、超音波振動を用いたワ
イヤボンディング装置及びワイヤボンディング装置の制
御方法、特にボンディングツール先端部の振動量を検出
し、ボンディング制御を行うワイヤボンディング装置及
びワイヤボンディング装置の制御方法の改良に関する。
【0002】
【従来の技術】従来から超音波振動を用いて、電子チッ
プ部品の電極と、それを実装する基板とを直径25μm
ないし500μm程度の金またはアルミニウム等の金属
細線で接続するワイヤボンディング装置が知られてい
る。
【0003】ワイヤボンディング装置におけるボンディ
ング品質は超音波振動を接合部に伝達するボンディング
ツールの超音波出力と、接合部に対するボンディングツ
ールの荷圧力、及びボンディング時間の3項目について
管理することによって維持することができる。このう
ち、接続部に対するボンディングツールの荷圧力はボン
ディングツールを支持する支持アームに荷重センサを設
けることによって直接測定することができる。また、ボ
ンディング時間は制御部から超音波振動素子に対する駆
動信号の供給時間によって直接知ることができる。それ
に対して、ボンディングツール先端部における超音波出
力は、容易に知ることができない。つまり、超音波振動
素子からの振動エネルギーは支持アーム等を介してボン
ディングツールに伝達されるため、エネルギーの伝達ロ
スが大きく、超音波振動素子における超音波出力とボン
ディングツール先端、つまり接合動作部の超音波出力と
は等しくならない。超音波の伝達効率は予め演算するこ
とが可能であるが、ボンディングツールは、先端部にお
いてワイヤかすの付着等があるため定期的に洗浄する必
要があるため、着脱自在な構造にする必要がある。この
着脱構造として、例えばネジ構造等が考えられるがネジ
部は摩耗する性格が強く、僅かな形状変化でも影響を受
けるので、超音波の伝達効率を一定に保つことは困難で
あった。
【0004】そこで、例えば、特開昭61−22641
号公報には、超音波で振動しワイヤボンディングを行う
ボンディングツールの振幅、周波数を光ファイバーやレ
ーザ等による光の反射を利用して検出し、その検出結果
に基づいてボンディングツールの振幅や周波数をフィー
ドバック制御するワイヤボンディング装置(超音波加工
装置)が開示されている。
【0005】このワイヤボンディング装置によれば、ボ
ンディングツールの振幅、周波数をリアルタイムで測定
することができるので、ボンディング品質の管理を良好
に行うことができる。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】しかし、従来のワイヤ
ボンディング装置は光の反射を利用してボンディングツ
ール先端部の振動状態の検出を行っているため、直径が
30μmないし1000μmのボンディングツール先端
付近に、前記直径より遥かに大きな送受光部を配置する
必要があり、ボンディングツール部分が大きくなってし
まうという問題があった。また、光ファイバー等を用い
て光の送受を行う場合にも、光ファイバーの固定に広い
スペースを必要とする。つまり光ファイバーは湾曲させ
ることによって所望の位置に送受光部を導くことが可能
であるが、良好な光の伝達を行うには曲率を一定値以上
にする必要があり、光ファイバー等の占有スペースが大
きくなり、微細部に対するボンディングを高速動作で高
精度に行うというワイヤボンディング装置の特徴を阻害
するという問題がある。
【0007】この発明は係る課題を解決するためになさ
れたもので、ボンディングツール先端部の振動状態をワ
イヤボンディング装置の特徴を損なうことなくコンパク
トな構成で、正確に検出して、その検出結果に基づいて
超音波振動の出力制御を行うことのできるワイヤボンデ
ィング装置及びその制御法方を提供することを目的とす
る。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
するために、第1として、電子チップ部品の電極に金属
細線を重ね該金属細線上から超音波振動素子からの振動
を与えて、前記電極を基板に接合するワイヤボンディン
グ装置において、前記金属細線に当接し超音波振動素子
の振動を伝達するボンディングツールであって、少なく
とも一部に軟磁性部材を有するボンディングツールと、
前記軟磁性部材と相対する位置に近接配置され、振動に
より発生する軟磁性部材周辺の磁場を検出する磁場検出
コイルと、前記磁場検出コイルによって検出された磁場
に基づいてボンディングツールの先端部の振動量を認識
し前記超音波振動素子の出力を制御する制御部と、を有
することを特徴とする。
【0009】また、第2として、第1のワイヤボンディ
ング装置において、前記磁場検出コイルはボンディング
ツールの軸方向に所定距離離れた2か所で磁場の検出を
行う第1磁場検出コイルと第2磁場検出コイルと、を含
み、さらに、前記第1磁場検出コイルと第2磁場検出コ
イルとの検出結果に基づいて、前記所定距離間の磁場変
化率を演算し、ボンディングツール先端部の磁場を推測
する磁場推測部と、を有し、推測結果に基づいて前記制
御部が前記超音波振動素子の出力を制御することを特徴
とする。
【0010】また、第3として、電子チップ部品の電極
に金属細線を重ねて、該金属細線上から超音波振動素子
からの振動をボンディングツールを介して伝達し、前記
電極を基板に接合するワイヤボンディング装置の制御方
法であって、少なくとも一部に軟磁性部材を有する前記
ボンディングツールを超音波振動させるボンディングツ
ール駆動ステップと、振動によって発生する前記軟磁性
部材周辺の磁場を検出する磁場検出ステップと、磁場検
出ステップで検出された検出磁場信号と、予め設定され
た基準磁場信号とを比較する比較ステップと、比較結果
に基づいて、出力停止または検出磁場信号と基準磁場信
号とが一致するように超音波振動素子の出力制御をする
出力制御ステップと、を有することを特徴とする。
【0011】また、第4として、電子チップ部品の電極
に金属細線を重ね該金属細線上から超音波振動素子から
の振動を与えて、前記電極を基板に接合するワイヤボン
ディング装置において、前記金属細線に当接し超音波振
動素子の振動を伝達するボンディングツールであって、
少なくとも一部に軟磁性部材を有するボンディングツー
ルと、前記ボンディングツールの軟磁性部材を挟んで一
方側に近接配置された励磁コイルと、前記ボンディング
ツールの軟磁性部材を挟んで他方側に近接配置された誘
起コイルと、前記励磁コイルによって誘起されると共
に、振動により変化する軟磁性部の透磁率に対応して変
化する前記誘起コイルに誘起する誘起電圧に基づいてボ
ンディングツールの先端部の振動量を認識し前記超音波
振動素子の出力を制御する制御部と、を有することを特
徴とする。
【0012】また、第5として、第4のワイヤボンディ
ング装置において、前記誘起コイルはボンディングツー
ルの軸方向に所定距離離れた2か所で誘起電圧を誘起す
る第1誘起コイルと第2誘起コイルと、を含み、さら
に、前記第1誘起コイルと第2誘起コイルとに誘起する
誘起電圧に基づいて、所定距離間の誘起電圧変化率を演
算し、ボンディングツール先端部における誘起電圧を推
測する誘起電圧推測部と、を有し、推測結果に基づいて
前記制御部が前記超音波振動素子の出力を制御すること
を特徴とする。
【0013】さらに、第6として、電子チップ部品の電
極に金属細線を重ねて、該金属細線上から超音波振動素
子からの振動をボンディングツールを介して伝達し、前
記電極を基板に接合するワイヤボンディング装置の制御
方法であって、少なくとも一部に軟磁性部材を有する前
記ボンディングツールを超音波振動させるボンディング
ツール駆動ステップと、前記軟磁性部材を挟んで一方側
に設けられた励磁コイルを駆動する励磁コイル駆動ステ
ップと、前記軟磁性部材を挟んで他方側に設けられた誘
起コイルに、励磁コイルの駆動によって誘起されると共
に、振動により変化する軟磁性部材の透磁率に応じて変
化する誘起電圧を検出する誘起電圧検出ステップと、検
出された検出誘起電圧と予め設定された基準誘起電圧と
の比較を行う比較ステップと、比較結果に基づいて、出
力停止または検出誘起電圧と基準誘起電圧とが一致する
ように超音波振動素子の出力制御をする出力制御ステッ
プと、を有することを特徴とする。
【0014】
【作用】上記第1の構成によれば、超音波振動素子から
の振動が伝達されるボンディングツールの少なくとも一
部に設けられた軟磁性部材がボンディングツールの振動
によって歪み、その結果、磁化され該軟磁性部材周辺の
磁場が変化する。そして、変化した磁場を磁場検出コイ
ルで検出し、制御部が検出された磁場に基づいてボンデ
ィングツールの先端部の振動量を認識し前記超音波振動
素子の出力を制御する。したがって、小型化の容易な磁
性部材と磁場検出コイルの設置のみでボンディングツー
ル先端部の振動状態の検出を容易に行い超音波振動素子
のフィードバック制御を行うことができる。
【0015】また、第2の構成によれば、前記磁場検出
コイルは第1磁場検出コイルと第2磁場検出コイルとを
有し、ボンディングツールの軸方向に所定距離離れた2
か所で磁場の検出を行い、磁場推測部が前記第1磁場検
出コイルと第2磁場検出コイルとの検出結果に基づい
て、所定距離間の磁場変化率を演算し、ボンディングツ
ール先端部の磁場を推測する。そして、推測結果に基づ
いて前記制御部が前記超音波振動素子の出力を制御す
る。したがって、ボンディングツールの先端部に磁歪膜
や磁場検出コイルを設置することなく先端部のシンプル
化をさらに行うと共に、先端部の振動状態を認識し、超
音波振動素子のフィードバック制御を行うことができ
る。
【0016】また、第3の構成によれば、ボンディング
ツールの振動によって発生する軟磁性部材周辺の磁場を
検出し、この検出された検出磁場信号と、予め設定され
た基準磁場信号とを比較し、その比較結果に基づいて、
出力停止または検出磁場信号と基準磁場信号とが一致す
るように超音波振動素子の出力制御をする。したがっ
て、小型化の容易な磁性部材と磁場検出コイルの設置の
みでボンディングツール先端部の振動状態検出し、超音
波振動素子のフィードバック制御を行うことができる。
【0017】また、第4の構成によれば、超音波振動素
子からの振動が伝達されるボンディングツールの少なく
とも一部に設けられた軟磁性部材がボンディングツール
の振動によって歪み、その結果、該軟磁性部材の透磁率
が変化する。この軟磁性部材を挟んで一方側に励磁コイ
ルが近接配置され、他方側に誘起コイルが配置されてい
る。前記誘起コイルに誘起される誘起電圧は、前記励磁
コイルの駆動によって誘起されると共に、振動により変
化する軟磁性部の透磁率に対応して変化するので、制御
部は誘起された誘起電圧に基づいてボンディングツール
の先端部の振動量を認識し前記超音波振動素子の出力を
制御する。励磁コイルと誘起コイルとの位置は固定され
ているので、着脱や摩耗によってボンディングツールの
装着位置がずれた場合でも、ボンディングツール先端部
の振動状態の検出を容易に行い超音波振動素子のフィー
ドバック制御を行うことができる。
【0018】また、第5の構成によれば、前記誘起コイ
ルは第1誘起コイルと第2誘起コイルとを有し、ボンデ
ィングツールの軸方向に所定距離離れた2か所で誘起電
圧の検出を行い、誘起電圧推測部が誘起コイルは第1誘
起コイルと第2誘起コイルの検出結果に基づいて、所定
距離間の誘起電圧変化率を演算し、ボンディングツール
先端部における誘起電圧を推測する。そして、推測結果
に基づいて前記制御部が前記超音波振動素子の出力を制
御する。したがって、ボンディングツールの先端部に励
磁コイルや誘起コイル及び磁歪膜を設置することなく先
端部のシンプル化をさらに行うと共に、先端部の振動状
態検出し、超音波振動素子のフィードバック制御を行う
ことができる。
【0019】さらに、第6の構成によれば、誘起コイル
には、励磁コイルの駆動によって誘起電圧が誘起され
る。この誘起電圧は振動により変化する軟磁性部材の透
磁率に応じて変化する。この透磁率の変化の伴って変化
する誘起電圧を検出し、予め設定された基準誘起電圧と
の比較を行い、この比較結果に基づいて、検出誘起電圧
と基準誘起電圧とが一致するように超音波振動素子の出
力制御をする。励磁コイルと誘起コイルとの位置は固定
されいるので、着脱や摩耗によってボンディングツール
の装着位置がずれた場合でも、ボンディングツール先端
部の振動状態検出し、超音波振動素子のフィードバック
制御を行うことができる。
【0020】
【実施例】以下、本発明の好適な実施例を図面に基づき
説明する。
【0021】実施例1.図1には超音波振動を利用した
ワイヤボンディング装置10の概略構成が示されてい
る。ワイヤボンディング装置10は従来の装置と同様に
非磁性材からなるボンディングツール12を支持する支
持アーム14の後端に超音波振動素子16が配置されて
いる。この超音波振動素子16は制御部18の制御にし
たがって、所定のタイミングで所定の時間だけ駆動す
る。超音波振動素子16は制御部18から供給される電
気エネルギーを振動エネルギーに変換して図中矢印A方
向に粗密波を発生して振動する。この振動は支持アーム
14を介して、ボンディングツール12に伝達される。
ボンディングツール12の先端には線材供給装置20か
ら所定量の金属細線22が供給される。この金属細線2
2は、例えば直径25μm程度の金またはアルミニウム
等であって、ワイヤガイド23によって、ボンディング
ツール12の先端までガイドされ、実装基板24上に実
装載置された電子チップ部品26から引出されている電
極リード26aの上に供給される。したがって、実装基
板24上の図示しないランド上に電極リード26a、金
属細線22の順に重ね合わされ、ボンディングツール1
2が金属細線22の上から接触し、超音波振動を与え、
実装基板24のランドと電極リード26aとの接合を行
うことになる。
【0022】本実施例の特徴的事項は、ボンディングツ
ールの先端部に軟磁性部材を設け、ボンディングツール
の振動によって発生する前記軟磁性部材周辺の磁場の変
化を前記軟磁性部材と相対する位置に近接配置された磁
場検出コイルによって検出し、その検出結果に基づいて
ボンディングツールに供給する超音波振動をフィードバ
ック制御するところである。
【0023】ボンディングツール12の先端部には軟磁
性部材からなる磁歪膜28が貼り付けられている。いか
なる物質も磁場が存在すると歪みを生じる。逆に歪みが
発生すると歪み方向に磁化される性質を持つ。ここで、
磁歪膜28とは磁場に対して歪み量の大きな特性を持つ
物質である。
【0024】一般に、磁性材は硬磁性材と軟磁性材とに
分けられ、硬磁性材は磁気ヒステリシスが大きく、保磁
力が大きいため、一度磁化されると消磁しにくい性質が
あり、例えば永久磁石の材料に使用される。一方、軟磁
性材は磁気ヒステリシスが小さく、保磁力が小さいた
め、磁化率は軟磁性材の歪み量に応じて決定される。こ
のような軟磁性材を磁歪膜として用いることによって、
ボンディングツールが超音波振動によって高周波数で振
動する場合でも、該磁歪膜は振動の度に磁化と消磁を素
早く繰り返し、歪みの大きさや方向に敏感に反応するこ
とができる。なお、軟磁性材の代表的なものは、Ni、
Co等である。
【0025】一方、ボンディングツール12に貼り付け
られた前記磁歪膜28に相対する位置に磁場検出コイル
30が近接配置されている。この磁場検出コイル30は
ボンディングツール12の振動方向と直交する方向に巻
回された微小のピックアップコイルであって、支持部材
30aによって装置本体の図示しない固定壁等に固定さ
れている。
【0026】次に、磁歪膜28と磁場検出コイル30と
による磁場変化の検出について説明する。
【0027】図2(a)に示すように、図中A方向の超
音波振動がボンディングツール12の上部から先端に向
かって伝播している時、ある時刻において、振動波32
が磁歪膜28を通過したとすると、磁歪膜28は図中B
1 方向に歪みを生じるため、該磁歪膜28はB1 方向に
磁化され、B1 方向に磁束を生じる。この磁束の水平成
分b1 によって磁場検出コイル30に水平成分b1 に対
応する誘起電圧が誘起される。同様に、図2(b)に示
すように、ある時刻において、振動波34が磁歪膜28
を通過したとすると、磁歪膜28は図中B2 方向に歪み
を生じるため、該磁歪膜28はB2 方向に磁化され、B
2 方向に磁束を生じる。この磁束の水平成分b2 によっ
て磁場検出コイル30に水平成分b2 に対応する誘起電
圧が誘起される。また、何らかの外的原因で振動の減衰
が生じた場合(例えばボンディングが進行し接合部分が
増加して、摩擦抵抗が大きくなり振動の振幅が小さくな
る場合と、ボンディングツール12やその固定ネジの摩
耗によって、超音波振動素子16からの振動の伝達が良
好に行われなかった場合)は、図2(b)に示すように
ボンディングツール12を振動波34より減衰した振動
波35が伝播し、それによって生じる磁束の向きはB3
方向に向き、それに対応した磁束の水平成分が磁場検出
コイル30に誘起電圧を発生させる。したがって、ボン
ディングツール12を伝播する振動波の振幅によって磁
束の向きが変わり、誘起される誘起電圧が振動波の振幅
に対応して変化する。
【0028】図2(a),図2(b)に示すように磁束
は振動波の接線方向に発生するため、図3(a)に示す
ような振動波が磁歪膜28を通過すると、磁場検出コイ
ル30に誘起される誘起電圧は図3(b)に示すように
90°位相が進んだ形で発生する。したがって、振幅0
のα点では、誘起電圧が最大になり、振幅が最大のβ
点、γ点では誘起電圧は0となる。また、伝播する振動
波が減衰すると、それに伴って、誘起される誘起電圧も
減衰する。
【0029】このように、磁歪膜28を振動波が継続的
に通過することによって、図2(a),図2(b)に示
すように発生する磁束の方向はB1 方向からB2 方向の
間を連続的に変化する。また、磁場検出コイル30は固
定壁に固定されているので、振動の伝播に伴って連続的
に変化する磁場検出コイル30を横切る磁束密度に基づ
いてリアルタイムで対応する誘起電圧を誘起する。な
お、振動波の周波数は10〜300kHz程度であるた
め、図4に示すように、磁場検出コイル30はコンデン
サー36と共に、LC共振回路を構成することが望まし
い。また、この時、磁歪膜28の歪みによって生じる磁
場は微弱であり、誘起される誘起電圧も微弱であるた
め、LC共振回路により検出された誘起電圧はアンプ3
8によって増幅することが望ましい。さらに、ピークホ
ールド回路40によって誘起電圧のピーク電圧をサンプ
ルホールドすることによって、後述する基準磁場信号と
の比較に必要な情報を得ることができる。なお、前記ア
ンプ38やピークホールド回路40等は処理回路42と
して、ボンディングツール12から離れた位置に設けて
もよい。また、前記コンデンサー36は磁場検出コイル
30と同じ位置に配置することが望ましいが、検出する
振動周波数がLC共振回路内のインピーダンスの影響を
大きく受ける程高周波数でないため、コンデンサー36
の配置位置は適宜選択して、ボンディングツール12の
先端部分は磁場検出コイル30のみとしてシンプル化し
ても検出精度に影響はない。
【0030】ボンディングツール12の先端部分は以上
のように構成され、ボンディングツール12の振動、す
なわち磁歪膜28の歪みは、ボンディング開始直後(振
動開始直後)にピーク値に達し、時間と共に減衰してい
く。これはボンディング開始直後は金属細線22と被接
合部材(実装基板24のランドと電極リード26a)と
が接合状態にないため両者の摩擦力が小さいためであ
る。そして、超音波振動の供給が続き、接合が進行し接
合部分が徐々に広がっていくことにより、両者の摩擦力
(金属細線22または電極リード26aの歪み弾性力)
が増加し、金属細線22の拘束力が増加される。これに
伴い、金属細線22を振動させていたボンディングツー
ル12の振動も拘束されるようになり、接合が進むに連
れて振動振幅は、図3(a)に示すように減少する。
【0031】一方、図1に示す制御部18には、図5
(a)に示すように、良好にボンディングが実行された
場合の誘起電圧のピーク値をサンプルした基準磁場信号
が予め設定されている。基準磁場信号は前述したように
ボンディング開始時に急激に上昇し、ボンディングが進
むに連れて徐々に減少し、ボンディング終了と共に、0
になる。
【0032】制御部18は処理回路42から供給される
誘起電圧のピーク値の信号(検出磁場信号)を図5
(a)に示す基準磁場信号と比較し、その比較結果に応
じて、ボンディングOK表示や警報装置44によって警
告灯を点灯させたり、警告音を発してボンディングの状
態を作業者に通知する。また、ボンディングツール12
の振動特性のバラツキや消耗品の消耗状態によるバラツ
キによって超音波振動がロスし振動出力が不足し、ボン
ディングが不十分な場合は基準磁場信号と検出磁場信号
とが一致するように超音波振動素子16に対する出力を
フィードバック制御する。
【0033】今、処理回路42から供給される誘起電圧
のピーク値の信号(検出磁場信号)が図5(b)のよう
に、高いピーク値のまま持続されたとする。これは被接
合部材(図1における実装基板24のランドや電極リー
ド26a)の固定が十分でなく振動エネルギーがボンデ
ィングに有効に使用されず、未接合の状態が続いている
ことを示している。また、検出磁場信号が図5(c)の
ように、ピーク値が一度は減少するがまた上昇し始める
場合は、超音波振動素子の発振時間が長すぎる等の原因
により、一度ボンディングが完了した後に、金属細線や
被接合部材の軟化が進み振動を吸収し始めた結果、ボン
ディングツール12の振動を拘束しなくなった状態を示
している。上述の図5(b)、図5(c)の場合は、ボ
ンディングミスとして、警報装置44より警報を発す
る。また、図5(d)のように、全体として誘起電圧の
ピーク値が図5(a)に比べて低い場合は、ボンディン
グツール12や消耗部品の摩耗等によって、超音波の振
動エネルギーがロスしている場合である。このような場
合、制御部18は、検出磁場信号と基準磁場信号とが一
致するように超音波振動素子のフィードバック制御をす
る。
【0034】なお、制御部18には、ボンディングツー
ルの荷圧力やボンディング時間(超音波振動し駆動時
間)等のデータも入力されており、最適なボンディング
条件が設定されている。
【0035】以上のように構成されるワイヤボンディン
グ装置10の動作について図1を含めて説明する。ワイ
ヤボンディング装置10の図示しないスタートスイッチ
が押下されると、ボンディングツール12を指示する支
持アーム14は、図示しない駆動機構、例えば、XYロ
ボットによって実装基板24上の所定のボンディング位
置に前記ボンディングツール12の先端部を移動する。
この時、適量の金属細線22がボンディングツール12
の先端部に供給される。実装基板24上の所定のランド
上には、すでに部品実装装置等で実装された電子チップ
部品26の電極リード26aが位置決めされているた
め、前記ランド上には電極リード26a、金属細線22
の順で部品の重ね合わせが行われる。制御部18は前記
ボンディングツール12を所定の荷重で前記金属細線2
2を押圧するために下降させると共に、超音波振動素子
16に対して、所定の駆動信号を供給し、ボンディング
ツール12を超音波振動させて、ボンディングを開始す
る(ボンディングツール駆動ステップ)。ボンディング
ツール12の振動が開始されると、磁歪膜28は振動に
応じて歪み、磁化され、磁歪膜28周辺の磁場が変化す
る。つまり、図2(a)、図2(b)に示すような磁束
が発生する。磁場検出コイル30はこの磁束に反応し
て、誘起電圧を誘起する(磁場検出ステップ)。処理回
路42ではこの誘起電圧に基づいてピーク値のデータ、
つまり検出磁場信号を生成し、制御部18に供給する。
制御部18では、予め設定された基準磁場信号と処理回
路42から供給される検出磁場信号との比較を行う(比
較ステップ)。そして、比較結果に基づいて、前述した
ような異常が発生した場合は、不良警報を発し、超音波
振動素子16への出力を停止する。また、検出磁場信号
が基準磁場信号に比べて低い場合は検出磁場信号と基準
磁場信号とが一致するように超音波振動素子の出力をフ
ィードバック制御する(出力制御ステップ)。
【0036】このように、ボンディングツール12の先
端付近に微小な磁歪膜と微細な磁場検出コイルを配置す
るのみで、ボンディングツール12の振動状態によって
発生する磁場の変化を検出し、その検出結果に基づいて
ボンディングツール12を振動させる超音波振動素子を
フィードバック制御するので、コンパクトな検出構造に
よって、消耗品の経時変化による振動周波数のバラツキ
を制御部18によって完全にコントロールすることがで
きる。したがって、ボンディングツール先端部の振動状
態を微細部に対するボンディングを高速動作で高精度に
行うというワイヤボンディング装置の特徴を損なうこと
なくコンパクトな構成で、正確に検出して、その検出結
果に基づいて超音波振動の出力制御を行い、ワイヤボン
ディング装置品質の安定したワイヤボンディングを行う
ことができる。
【0037】なお、本実施例では非磁性材のボンディン
グツール12に軟磁性材の磁歪膜28を貼り付けた例を
説明したが、ボンディングツール自体を軟磁性材で形成
することによって、磁歪膜28を省略しても同様の効果
を得ることができる。
【0038】第2実施例.前述した第1実施例では、磁
歪膜の歪量に応じて発生する磁束の変化を磁場検出コイ
ルによって誘起電圧の変化として検出した。この場合、
僅かな磁束の変化を磁場検出コイルによって検出するた
め、磁歪膜と磁場検出コイルとの相対的な位置が変化す
ると磁場検出コイルに誘起される誘起電圧が変化してし
まう。このため、磁歪膜と磁場検出コイルとのクリアラ
ンス管理が必要であった。つまり、ボンディングツール
を交換し、改めてセッティングする時には正確な位置決
めが要求された。本第2実施例ではこのような正確な位
置決めを必要としない振動検出構造を説明する。
【0039】物質が磁化されるということは、その物質
の持つ透磁率が変化することに等しい。本第2実施例で
は、この透磁率の変化を検出することによってボンディ
ングツールの振動状態を検出する。
【0040】図6に示すように、ボンディングツール1
2の先端には第1実施例と同様に、磁歪膜28が貼り付
けられている。また、ボンディングツール12を挟んで
一方側には励磁コイル46が近接配置されている。この
励磁コイル46は並列に接続されたコンデンサー48と
共に、LC共振回路49を構成し、ジェネレータ50に
より該LC共振回路49は駆動する。一方、ボンディン
グツール12を挟んで他方側には誘起コイル52が近接
配置されている。この誘起コイル52にもコンデンサー
54が並列に接続され、LC共振回路55を構成してい
る。このLC共振回路55には検出回路56が接続さ
れ、励磁コイル46の動作によって、誘起コイル52に
誘起される誘起電圧を検出すると共に、前記ジェネレー
タ50の出力ピーク値と誘起電圧のピーク値との比較を
行い、ピーク値の差分を検出する。励磁コイル46と誘
起コイル52との間には歪に応じて透磁率が変化する磁
歪膜28が存在するため、磁歪膜28の歪状態に応じ
て、誘起コイル52に誘起される誘起電圧は変化する。
したがって、ボンディングツール12の振動状態を誘起
電圧の変化として検出することができる。
【0041】この場合、励磁コイル46と誘起コイル5
2との間のクリアランスは常に固定されており、両者の
間に任意の透磁率を有する物質が介在した場合、その物
質がどの位置にあるかに関係なく、その物質の透磁率に
よってのみ励磁コイル46と誘起コイル52との間の結
合定数が決定される。つまり、ボンディングツール12
が励磁コイル46と誘起コイル52との間のどの位置に
あるかに関係なくボンディングツール12に貼り付けら
れた磁歪膜28の透磁率の変化を検出できることにな
り、ボンディングツール12の交換等の際にボンディン
グツール12とコイルとのクリアランス調整に配慮を配
る必要がなくなり、作業効率を向上することができる。
【0042】以上のように構成されるワイヤボンディン
グ装置の動作を図6を用いて説明する。なお、基本構成
は図1に示すワイヤボンディング装置10と同様なので
図1を参照しながら説明する。ワイヤボンディング装置
のスタートスイッチが押下されると、第1実施例と同様
にボンディングツール12の先端部を所定のボンディン
グ位置に移動し、ボンディングツール12を所定の荷重
で金属細線22を押圧するために下降させると共に、超
音波振動子16に対して、所定の駆動信号を供給し、ボ
ンディングツール12を超音波振動させて、ボンディン
グを開始する(ボンディングツール駆動ステップ)。ボ
ンディングツール12の振動が開始されると、磁歪膜2
8は振動に応じて歪み、磁化され、透磁率が変化する。
一方、ボンディング開始と同時に、ジェネレータ50を
駆動して、励磁コイル46を励磁する(励磁コイル駆動
ステップ)。検出回路56は磁歪膜28を挟んで他方側
に設けられた誘起コイル52に、励磁コイル46の駆動
によって誘起されると共に、振動により変化している磁
歪膜28の透磁率に応じて変化する誘起電圧を検出する
(誘起電圧検出ステップ)。さらに、検出回路56は前
記ジェネレータ50の出力ピーク値と誘起電圧のピーク
値との差分を検出し、検出誘起電圧として制御部18に
供給する。制御部18では、制御部18には最適なボン
ディングが行われた場合に発生する誘起電圧の変化を示
す基準誘起電圧が設定されており、検出回路56で検出
された検出誘起電圧と比較を行う(比較ステップ)。そ
して、比較結果に基づいて、第1実施例と同様に異常が
発生した場合は、不良警報を発し、超音波振動素子16
に対する駆動電圧の出力を停止する。また、検出誘起電
圧が基準誘起電圧に比べて低い場合は検出誘起電圧と基
準誘起電圧とが一致するように超音波振動素子の出力を
フィードバック制御する(出力制御ステップ)。
【0043】このように、ボンディングツール12の先
端付近に微小な磁歪膜と微細な励磁コイル、誘起コイル
を配置するのみで、ボンディングツール12の振動状態
による磁歪膜の透磁率の変化を検出し、その検出結果に
基づいてボンディングツール12を振動させる超音波振
動子をフィードバック制御するので、コンパクトな検出
構造によって、消耗品の経時変化による振動周波数のバ
ラツキを制御部18によって完全にコントロールするこ
とができると共に、ボンディングツール交換時のセッテ
ィングによる検出のバラツキも排除することができる。
したがって、ボンディングツール先端部の振動状態を微
細部に対するボンディングを高速動作で高精度に行うと
いうワイヤボンディング装置の特徴を損なうことなくコ
ンパクトな構成で、正確に検出して、その検出結果に基
づいて超音波振動の出力制御を行い、ワイヤボンディン
グ装置品質の安定したワイヤボンディングを行うことが
できる。
【0044】なお、本第2実施例における励磁コイルに
よる励磁周波数帯は、ボンディングツール12の振動周
波数が10〜300kHz程度であることを考慮する
と、100kHz〜10MHz程度の励磁周波数が必要
になる。一般的に1MHz以上の周波数帯になると、L
C共振回路等におけるインピーダンスを無視できなくな
るため、コンデンサー48,54は励磁コイル46、誘
起コイル52の周辺に配置することが望ましい。しか
し、高周波数になればコンデンサー容量も小さくなるの
で、広い配置スペースを必要せず、ボンディングツール
の先端部のシンプル化に影響はない。また、言うまでも
なく、ジェネレータ50や検出回路56は他の位置に配
置することが可能である。
【0045】なお、本実施例では非磁性材のボンディン
グツール12に軟磁性材の磁歪膜28を貼り付けた例を
説明したが、ボンディングツール自体を軟磁性材で形成
することによって、磁歪膜28を省略しても同様の効果
を得ることができる。
【0046】第3実施例.前述した第1実施例の振動検
出の他の実施例を説明する。本第3実施例では、ボンデ
ィングツールの先端部をさらにシンプル化する構成を説
明する。
【0047】図7に示すように、ボンディングツール1
2の軸線方向の任意の位置、例えば、ボンディングツー
ル12の上部に第1磁歪膜28−1を貼り付ける。さら
に、該磁歪膜28−1から所定距離、例えば距離L1 だ
け離れたボンディングツール12上に第2磁歪膜28−
2を貼り付ける。そして、第1実施例と同様に第1磁歪
膜28−1に対して、第1磁場検出コイル30−1を近
接配置し、第2磁歪膜28−2に対して、第2磁場検出
コイル30−2を近接配置する。
【0048】そして、第1磁場検出コイル30−1によ
って第1磁歪膜28−1に周囲の磁場の変化に基づく誘
起電圧E1 を検出し、第2磁場検出コイル30−2によ
って第2磁歪膜28−2に周囲の磁場の変化ん基づく誘
起電圧E2 を検出する。
【0049】この場合、ボンディングツール12の距離
L1 におけるエネルギー損失ΔE(磁場変化率)は、Δ
E=E1 −E2 で表すことができる。今、第1磁場検出
コイル30−1からボンディングツール12の先端まで
の距離を距離L2 とすると、ボンディングツール12の
先端部12aで誘起される誘起電圧E3 は、E3 =E1
−(L2 /L1 )×ΔEで表すことができる。なお、誘
起電圧E3 を推測する磁場推測部は図1に示す処理回路
42等に含まれている。
【0050】このように、ボンディングツール12の先
端部12aに磁歪膜や磁場検出コイルを配置することな
く、ボンディングツール12の先端部12aで誘起され
る誘起電圧を推測し、その推測結果を第1実施例と同様
に制御部18に供給し、図5(a)に示す基準磁場信号
と比較し、その比較結果に応じて、超音波振動素子16
に対する出力停止を行い、警報装置44によって異常警
告を行ったり、基準磁場信号と検出磁場信号とが一致す
るように超音波振動素子16に対する出力をフィードバ
ック制御する。
【0051】本第3実施例によれば、ボンディングツー
ルの先端部に磁歪膜や磁場検出コイルを設置することな
く先端部の振動状態を認識し、超音波振動素子のフィー
ドバック制御を行うことができると共に、ボンディング
ツール先端部をシンプル化することができる。
【0052】なお、一般に、ボンディングツール12の
形状は先端がテーパ形状を呈する等、上部と下部とでは
一様な形状をしていないので、誘起電圧E3 を推測する
場合、補正定数kを考慮して、E3 =E1 −(L2 /L
1 )×ΔE×kとすることが望ましい。この補正定数k
は予め測定により決定されている定数である。
【0053】第4実施例.前述した第2実施例の振動検
出の他の実施例を説明する。本第4実施例でもボンディ
ングツールの先端部をさらにシンプル化する構成を説明
する。
【0054】図8に示すように、本第4実施例も前述し
た第3実施例と同様に、ボンディングツール12の上部
に磁歪膜28を貼り付ける。また、第2実施例と同様
に、ボンディングツール12を挟んで一方側に励磁コイ
ル46、コンデンサー48とから成るLC共振回路49
とジェネレータ50が磁歪膜28に近接配置されてい
る。さらに、ボンディングツール12を挟んで他方側に
は2セットの誘起コイルと検出回路が励磁コイル46か
ら等距離離れ、かつ、第1誘起コイル52−1と第2誘
起コイル52−2とがボンディングツール12の軸線方
向に所定距離、例えば距離L3 離れて配置されている。
すなわち、第1誘起コイル52−1、コンデンサー54
−1から成るLC共振回路55−1が配置され、このL
C共振回路55−1には検出回路56−1が接続されて
いる。また、第2誘起コイル52−2、コンデンサー5
4−2から成るLC共振回路55−2が配置され、この
LC共振回路55−2には検出回路56−2が接続され
ている。そして、検出回路56−1,56−2は励磁コ
イル46の動作によって、第1,第2誘起コイル52−
1,52−2に誘起される誘起電圧をそれぞれ検出する
と共に、前記ジェネレータ50の出力ピーク値と誘起電
圧のピーク値との比較を行い、ピーク値の差分E4 ,E
5 をそれぞれ検出する。
【0055】そして、第3実施例と同様にボンディング
ツール12の距離L3 におけるエネルギー損失(誘起電
圧変化率)ΔE=E3 −E4 を求める。この時、励磁コ
イル52−1からボンディングツール12の先端までの
距離を距離L4 とした場合、ボンディングツール12の
先端部12aで誘起される誘起電圧E6 は、E6 =E4
−(L4 /L3 )×ΔEで表すことができる。
【0056】このように、磁歪膜の歪みによる透磁率の
変化を励磁コイルと誘起コイルとを用いて検出する検出
方法においても、ボンディングツールの先端部に磁歪膜
や励磁コイル、誘起コイルを設置することなく先端部の
シンプル化を行い、先端部の振動状態を認識し、超音波
振動素子のフィードバック制御を行うことができる。な
お、本第4実施例においてもボンディングツールの形状
に関する補正定数kを考慮して、E6 =E4 −(L4 /
L3 )×ΔE×kとすることが望ましい。
【0057】また、コンデンサー48,54−1,54
−2は励磁コイル46、第1,第2誘起コイル52−
1,52−2の近傍に配置することが望ましいが、ジェ
ネレータ50や検出回路56−1,56−2は他の位置
に配置してもよい。
【0058】また、本第4実施例では、部品点数を削減
するため、1つの励磁コイルと縦長の磁歪膜を第1,第
2誘起コイル52−1,52−2に対して共用した例を
示したが、図6に示す構成をそのまま2セット用いるこ
とによっても同様の効果を得ることができる。
【0059】
【発明の効果】本発明のワイヤボンディング装置及びそ
の制御方法によれば、超音波振動素子からの振動が伝達
されるボンディングツールの少なくとも一部に設けられ
た軟磁性部材がボンディングツールの振動によって歪
み、その結果、磁化され該軟磁性部材周辺の磁場が変化
する。そして、変化した磁場を磁場検出コイルで検出
し、制御部が検出された磁場に基づいてボンディングツ
ールの先端部の振動量を認識し前記超音波振動素子の出
力を制御する。したがって、小型化の容易な磁性部材と
磁場検出コイルの設置のみでボンディングツール先端部
の振動状態の検出を容易に行い超音波振動素子のフィー
ドバック制御を行うことができるので、微細部に対する
ボンディングを高速動作で高精度に行うというワイヤボ
ンディング装置の特徴を損なうことなくボンディングツ
ール先端部の振動状態をコンパクトな構成で、正確に検
出して、その検出結果に基づいて超音波振動の出力制御
を行うことができる。
【0060】また、本発明によれば、前記磁場検出コイ
ルは第1磁場検出コイルと第2磁場検出コイルとを有
し、ボンディングツールの軸方向に所定距離離れた2か
所で磁場の検出を行い、磁場推測部が前記第1磁場検出
コイルと第2磁場検出コイルとの検出結果に基づいて、
所定距離間の磁場変化率を演算し、ボンディングツール
先端部の磁場を推測する。そして、推測結果に基づいて
前記制御部が前記超音波振動素子の出力を制御する。し
たがって、ボンディングツールの先端部に磁歪膜や磁場
検出コイルを設置することなく先端部の振動状態を認識
し、超音波振動素子のフィードバック制御を行うことが
できると共に、ボンディングツール先端部をシンプル化
することが可能になり、微細部に対するボンディングを
高速動作で高精度に行うというワイヤボンディング装置
の特徴を損なうことなく良好なボンディングを行うこと
ができる。
【0061】また、本発明のワイヤボンディング装置及
びその制御方法によれば、超音波振動素子からの振動が
伝達されるボンディングツールの少なくとも一部に設け
られた軟磁性部材がボンディングツールの振動によって
歪み、その結果、該軟磁性部材の透磁率が変化する。こ
の軟磁性部材を挟んで一方側に励磁コイルが近接配置さ
れ、他方側に誘起コイルが配置されている。前記誘起コ
イルに誘起される誘起電圧は、前記励磁コイルの駆動に
よって誘起されると共に、振動により変化する軟磁性部
の透磁率に対応して変化するので、制御部は誘起された
誘起電圧に基づいてボンディングツールの先端部の振動
量を認識し前記超音波振動素子の出力を制御する。した
がって、励磁コイルと誘起コイルとの位置は固定されて
いるので、着脱や摩耗によってボンディングツールの装
着位置がずれた場合でも、ボンディングツール先端部の
振動状態の検出を容易に行い超音波振動素子のフィード
バック制御を行うことが可能になり、微細部に対するボ
ンディングを高速動作で高精度に行うというワイヤボン
ディング装置の特徴を損なうことなく良好なボンディン
グを行うことができる。
【0062】さらに、本発明によれば、誘起コイルは第
1誘起コイルと第2誘起コイルとを有し、ボンディング
ツールの軸方向に所定距離離れた2か所で誘起電圧の検
出を行い、誘起電圧推測部が誘起コイルは第1誘起コイ
ルと第2誘起コイルの検出結果に基づいて、所定距離間
の誘起電圧変化率を演算し、ボンディングツール先端部
における誘起電圧を推測する。そして、推測結果に基づ
いて前記制御部が前記超音波振動素子の出力を制御す
る。したがって、ボンディングツールの先端部に励磁コ
イルや誘起コイル及び磁歪膜を設置することなく先端部
のシンプル化をさらに行うと共に、先端部の振動状態検
出し、超音波振動素子のフィードバック制御を行うこと
が可能になり、ワイヤボンディング装置の微細部に対す
るボンディングを高速動作で高精度に行うという特徴を
損なうことなく良好なボンディングを行うことができ
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明に係るワイヤボンディング装置の第1
実施例の概略構成図である。
【図2】 本発明に係るワイヤボンディング装置の第1
実施例のボンディングツール先端部を説明する説明図で
ある。
【図3】 本発明に係るワイヤボンディング装置の第1
実施例の磁歪膜の振動状態と磁場検出コイルに誘起され
る誘起電圧を示す説明図である。
【図4】 本発明に係るワイヤボンディング装置の第1
実施例の磁場検出コイルで検出された誘起電圧を信号処
理を行う回路例である。
【図5】 本発明に係るワイヤボンディング装置の基準
磁場信号と検出磁場信号(誘起電圧)のパターンを説明
する説明図である。
【図6】 本発明に係るワイヤボンディング装置の第2
実施例のボンディングツール先端部を説明する説明図で
ある。
【図7】 本発明に係るワイヤボンディング装置の第3
実施例のボンディングツール先端部を説明する説明図で
ある。
【図8】 本発明に係るワイヤボンディング装置の第4
実施例のボンディングツール先端部を説明する説明図で
ある。
【符号の説明】
10 ワイヤボンディング装置、12 ボンディングツ
ール、16 超音波振動素子、18 制御部、22 金
属細線、24 実装基板、26 電子チップ部品、28
磁歪膜(軟磁性材)、30,30−1 磁場検出コイ
ル、46 励磁コイル、52,52−1,52−2 誘
起コイル。

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 電子チップ部品の電極に金属細線を重ね
    該金属細線上から超音波振動素子からの振動を与えて、
    前記電極を基板に接合するワイヤボンディング装置にお
    いて、 前記金属細線に当接し超音波振動素子の振動を伝達する
    ボンディングツールであって、少なくとも一部に軟磁性
    部材を有するボンディングツールと、 前記軟磁性部材と相対する位置に近接配置され、振動に
    より発生する軟磁性部材周辺の磁場を検出する磁場検出
    コイルと、 前記磁場検出コイルによって検出された磁場に基づいて
    ボンディングツールの先端部の振動量を認識し前記超音
    波振動素子の出力を制御する制御部と、 を有することを特徴とするワイヤボンディング装置。
  2. 【請求項2】 請求項1記載のワイヤボンディング装置
    において、 前記磁場検出コイルはボンディングツールの軸方向に所
    定距離離れた2か所で磁場の検出を行う第1磁場検出コ
    イルと第2磁場検出コイルと、を含み、 さらに、前記第1磁場検出コイルと第2磁場検出コイル
    との検出結果に基づいて、前記所定距離間の磁場変化率
    を演算し、ボンディングツール先端部の磁場を推測する
    磁場推測部と、 を有し、推測結果に基づいて前記制御部が前記超音波振
    動素子の出力を制御することを特徴とするワイヤボンデ
    ィング装置。
  3. 【請求項3】 電子チップ部品の電極に金属細線を重ね
    て、該金属細線上から超音波振動素子からの振動をボン
    ディングツールを介して伝達し、前記電極を基板に接合
    するワイヤボンディング装置の制御方法であって、 少なくとも一部に軟磁性部材を有する前記ボンディング
    ツールを超音波振動させるボンディングツール駆動ステ
    ップと、 振動によって発生する前記軟磁性部材周辺の磁場を検出
    する磁場検出ステップと、 磁場検出ステップで検出された検出磁場信号と、予め設
    定された基準磁場信号とを比較する比較ステップと、 比較結果に基づいて、出力停止または検出磁場信号と基
    準磁場信号とが一致するように超音波振動素子の出力制
    御をする出力制御ステップと、 を有することを特徴とするワイヤボンディング装置の制
    御方法。
  4. 【請求項4】 電子チップ部品の電極に金属細線を重ね
    該金属細線上から超音波振動素子からの振動を与えて、
    前記電極を基板に接合するワイヤボンディング装置にお
    いて、 前記金属細線に当接し超音波振動素子の振動を伝達する
    ボンディングツールであって、少なくとも一部に軟磁性
    部材を有するボンディングツールと、 前記ボンディングツールの軟磁性部材を挟んで一方側に
    近接配置された励磁コイルと、 前記ボンディングツールの軟磁性部材を挟んで他方側に
    近接配置された誘起コイルと、 前記励磁コイルによって誘起されると共に、振動により
    変化する軟磁性部の透磁率に対応して変化する前記誘起
    コイルに誘起する誘起電圧に基づいてボンディングツー
    ルの先端部の振動量を認識し前記超音波振動素子の出力
    を制御する制御部と、 を有することを特徴とするワイヤボンディング装置。
  5. 【請求項5】 請求項4記載のワイヤボンディング装置
    において、 前記誘起コイルはボンディングツールの軸方向に所定距
    離離れた2か所で誘起電圧を誘起する第1誘起コイルと
    第2誘起コイルと、を含み、 さらに、前記第1誘起コイルと第2誘起コイルとに誘起
    する誘起電圧に基づいて、所定距離間の誘起電圧変化率
    を演算し、ボンディングツール先端部における誘起電圧
    を推測する誘起電圧推測部と、 を有し、推測結果に基づいて前記制御部が前記超音波振
    動素子の出力を制御することを特徴とするワイヤボンデ
    ィング装置。
  6. 【請求項6】 電子チップ部品の電極に金属細線を重ね
    て、該金属細線上から超音波振動素子からの振動をボン
    ディングツールを介して伝達し、前記電極を基板に接合
    するワイヤボンディング装置の制御方法であって、 少なくとも一部に軟磁性部材を有する前記ボンディング
    ツールを超音波振動させるボンディングツール駆動ステ
    ップと、 前記軟磁性部材を挟んで一方側に設けられた励磁コイル
    を駆動する励磁コイル駆動ステップと、 前記軟磁性部材を挟んで他方側に設けられた誘起コイル
    に、励磁コイルの駆動によって誘起されると共に、振動
    により変化する軟磁性部材の透磁率に応じて変化する誘
    起電圧を検出する誘起電圧検出ステップと、 検出された検出誘起電圧と予め設定された基準誘起電圧
    との比較を行う比較ステップと、 比較結果に基づいて、出力停止または検出誘起電圧と基
    準誘起電圧とが一致するように超音波振動素子の出力制
    御をする出力制御ステップと、 を有することを特徴とするワイヤボンディング装置の制
    御方法。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009500615A (ja) * 2005-07-07 2009-01-08 ツェットエフ フリードリヒスハーフェン アクチエンゲゼルシャフト 自動車用の継手
JP2017064779A (ja) * 2015-09-28 2017-04-06 辻野 次郎丸 超音波複合振動加工装置
JP2018149598A (ja) * 2018-03-27 2018-09-27 辻野 次郎丸 超音波複合振動加工装置

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2009500615A (ja) * 2005-07-07 2009-01-08 ツェットエフ フリードリヒスハーフェン アクチエンゲゼルシャフト 自動車用の継手
JP2017064779A (ja) * 2015-09-28 2017-04-06 辻野 次郎丸 超音波複合振動加工装置
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