JPH0826454A - Board conveying wheel - Google Patents
Board conveying wheelInfo
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- JPH0826454A JPH0826454A JP18625294A JP18625294A JPH0826454A JP H0826454 A JPH0826454 A JP H0826454A JP 18625294 A JP18625294 A JP 18625294A JP 18625294 A JP18625294 A JP 18625294A JP H0826454 A JPH0826454 A JP H0826454A
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、リジッドまたはフレキ
シブルなプリント配線基板に代表される基板を、各種処
理のために水平方向に搬送するコンベア装置に用いるた
めのホイールに関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a wheel for use in a conveyor device for horizontally transporting a substrate typified by a rigid or flexible printed wiring board for various treatments.
【0002】[0002]
【従来の技術】プリント配線基板の製造工程において
は、基板に対するドライフィルム(レジスト)のラミネ
ートを行った後、基板を水平方向に搬送しながら、露光
処理、現像処理、エッチング処理、レジスト剥離処理な
どの処理を行う。ドライフィルムに代えて、基板に直接
レジストを塗布形成する方法もある。2. Description of the Related Art In the process of manufacturing a printed wiring board, after a dry film (resist) is laminated on the substrate, the substrate is conveyed in the horizontal direction while being exposed, developed, etched, resist stripped, etc. Process. There is also a method in which a resist is directly coated and formed on the substrate instead of the dry film.
【0003】上記の各工程における基板の搬送は、典型
的には、所定の間隔でホイールを取り付けたシャフトを
その軸が搬送方向とは直角方向になるように一定間隔で
平行に配置し(上下2段に平行配置することが多い)、
シャフトを駆動回転させることによりホイールを回転さ
せて、ホイール上または上下2段のホイール間に位置す
る基板を走行させることにより行われる。ホイールの配
置は、基板がリジッドであるかあるいはフレキシブルで
あるかも加味して、平面視で縦横方向の整列状態とした
り、平面視で千鳥状の整列状態としたりする。In the transfer of substrates in each of the above steps, typically, shafts having wheels mounted at predetermined intervals are arranged in parallel at regular intervals such that their axes are perpendicular to the transfer direction (up and down). Often arranged in parallel in two stages),
This is carried out by rotating the wheel by drivingly rotating the shaft and running the substrate located on the wheel or between the two upper and lower wheels. The wheels are arranged in a longitudinally and laterally aligned state in a plan view or in a zigzag aligned state in a plan view, depending on whether the substrate is rigid or flexible.
【0004】特開昭62−79146号公報には、第1
ホイールを取り付けた第1シャフトを一定の間隔で平行
に配置したコンベア装置において、隣接する第1シャフ
ト間に、小径の第2ホイールを取り付けた第2シャフト
を設置することにつき開示があり、図面には、隣接する
第1シャフト間において第1ホイールが平面視で千鳥状
に配設された態様が示されている。ただし同公報には、
ホイールの構造については特に説明はない。Japanese Unexamined Patent Publication No. 62-79146 discloses a first method.
In a conveyor device in which first shafts to which wheels are attached are arranged in parallel at regular intervals, it is disclosed that a second shaft to which a second wheel having a small diameter is attached is installed between adjacent first shafts. Shows a mode in which the first wheels are arranged in a zigzag manner in a plan view between the adjacent first shafts. However, in this publication,
There is no particular description of the wheel structure.
【0005】特開平4−280748号公報の図2に
も、ホイールを取り付けたシャフトを、隣接するシャフ
ト間においてホイールが平面視で千鳥状となるように配
設した搬送装置が示されている。ただし同公報には、ホ
イールの構造については特に説明はない。FIG. 2 of Japanese Patent Laid-Open No. 4-280748 also shows a conveying device in which shafts to which wheels are attached are arranged so that the wheels are staggered in plan view between adjacent shafts. However, the publication does not specifically describe the structure of the wheel.
【0006】実公平2−41633号公報(実開昭61
−41257号公報)にも、ホイールを取り付けたシャ
フトを、隣接するシャフト間において搬送用ホイールが
平面視で千鳥状となるように配設した基板搬送装置が示
されている。この公報には、搬送用ホイールとして、等
径薄肉のホイール本体の周面にOリングを嵌設したもの
を用いた例が示されている。Japanese Utility Model Publication No. 2-41633 (Japanese Utility Model Publication No. 61)
(JP-A-41257) also discloses a substrate transfer device in which shafts to which wheels are attached are arranged so that the transfer wheels have a zigzag shape in plan view between adjacent shafts. This publication discloses an example in which an O-ring is fitted on the peripheral surface of a wheel body having a uniform diameter and a thin wall as a transport wheel.
【0007】実公平5−30045号公報(実開昭63
−76756号公報)には、長尺帯状薄板の搬送用駆動
ローラにおいて、ホイール本体の外周面にウレタンゴム
被覆膜を形成したホイールを用いる態様が示されてい
る。Japanese Utility Model Publication No. 5-30045 (Japanese Utility Model Publication Sho 63)
-76756) discloses a mode of using a wheel in which a urethane rubber coating film is formed on the outer peripheral surface of a wheel body in a drive roller for conveying a long strip-shaped thin plate.
【0008】現在実際に用いられている基板搬送用ホイ
ールとしては、上述の実公平2−41633号公報に開
示のような「本体の周面にOリングを嵌め込んだホイー
ル」、実公平5−30045号公報に開示のような「本
体の外周面にゴム膜を外嵌したホイール」のほか、「全
体をゴム成形体で構成した車輪状のゴム製ホイール」、
「全体をポリプロピレン等のプラスチックスで構成した
車輪状のプラスチックス製ホイール」などがある。As a substrate transporting wheel which is actually used at present, "a wheel in which an O-ring is fitted on the peripheral surface of the main body" as disclosed in the above-mentioned Japanese Utility Model Publication No. 2-41633 is used. In addition to the "wheel in which a rubber film is externally fitted on the outer peripheral surface of the main body" as disclosed in Japanese Patent No. 30045, "a wheel-shaped rubber wheel entirely made of a rubber molded body",
"Wheel-shaped plastic wheels made entirely of plastics such as polypropylene" are examples.
【0009】[0009]
【発明が解決しようとする課題】先にも述べたように、
プリント配線基板の製造工程においては、ホイール上ま
たは上下2段のホイール間に位置する基板を走行させる
間に、現像処理、エッチング処理、レジスト剥離処理な
どの各処理を行う。ここで現像液としてはアルカリ水、
エッチング液としては塩化第二銅や塩化第二鉄の水溶
液、剥離処理液としてはアルカリ水などが用いられ、各
薬液は基板に向けてシャワリングされる。[Problems to be Solved by the Invention] As described above,
In the manufacturing process of a printed wiring board, each processing such as a development processing, an etching processing, a resist stripping processing is performed while a board positioned on a wheel or between two upper and lower wheels is run. Here, the developer is alkaline water,
An aqueous solution of cupric chloride or ferric chloride is used as the etching liquid, and alkaline water or the like is used as the stripping treatment liquid, and each chemical liquid is showered toward the substrate.
【0010】本来薬液はゴムを冒しやすく、しかも各工
程において薬液は、たとえば40〜45℃(現像工
程)、40℃前後(エッチング工程)、50〜55℃
(レジスト剥離工程)というように加温されているの
で、ホイールのうちゴムの部分は薬液との接触により膨
潤や劣化を受けやすい。特にゴムの部分に応力がかかっ
ているときには、ゴムの劣化速度が速くなる。Originally, the chemical solution is likely to damage rubber, and the chemical solution in each step is, for example, 40 to 45 ° C. (developing step), around 40 ° C. (etching step), 50 to 55 ° C.
Since it is heated as in the (resist stripping step), the rubber portion of the wheel is susceptible to swelling and deterioration due to contact with the chemical liquid. In particular, when stress is applied to the rubber portion, the deterioration rate of the rubber becomes faster.
【0011】従来の基板搬送用ホイールのうち本体周面
にOリングを嵌め込んだホイールは、引張力が加わった
状態でOリングがホイール本体に嵌設されているため
(さもないとOリングが空回りする)、薬液との接触に
より短期間でクラックを生じ、さらには切断を起こしや
すい。またホイール本体の周面にOリングを嵌め込む作
業も容易ではない。Among the conventional substrate transfer wheels, the wheel in which the O-ring is fitted to the peripheral surface of the main body has the O-ring fitted to the wheel body in a state in which tensile force is applied (otherwise, the O-ring is It spins idle, and cracks occur in a short period of time due to contact with a chemical solution, and further, cutting is likely to occur. Further, it is not easy to fit the O-ring on the peripheral surface of the wheel body.
【0012】本体の外周面にゴム膜を外嵌したホイール
も、引張力が加わった状態でゴム膜がホイール本体の周
面に設置されているため(さもないとゴム膜が空回りす
る)、薬液との接触により短期間でクラックを生じ、さ
らには切断を起こしやすい。またホイール本体の周面に
ゴム膜を嵌め込む作業も容易ではない。A wheel having a rubber film fitted on the outer peripheral surface of the main body also has a rubber film installed on the peripheral surface of the wheel main body under tension (otherwise, the rubber film will spin idle). When contacted with, cracks are generated in a short period of time, and further cutting is likely to occur. Further, the work of fitting the rubber film on the peripheral surface of the wheel body is not easy.
【0013】全体をゴム成形体で構成した車輪状のゴム
製ホイールは、空回りを防ぐためにホイールの軸受け部
の径をシャフトの外径よりも小にするが(たとえば軸受
け部の内径が6mmのホイールを外径が8mmのシャフトに
挿通する)、シャフトに対するホイールの挿通操作がは
なはだ煩雑であるという問題点がある。またゴムとして
たとえ耐薬品性のあるフッ素系ゴムを用いても、全体が
薬液と接触するので膨潤が著しく、そのためホイールの
直径が大きく変化して、整列したホイールのうちかなり
の個数のホイールが基板を支承せずに空回りすることが
あり、その結果基板が蛇行することがある。In the case of a wheel-shaped rubber wheel made entirely of a rubber molding, the diameter of the bearing portion of the wheel is made smaller than the outer diameter of the shaft in order to prevent idling (for example, a wheel having an inner diameter of the bearing portion of 6 mm). The outer diameter is inserted into a shaft having an outer diameter of 8 mm), and the operation of inserting the wheel into the shaft is very complicated. Even if a fluorine-based rubber with chemical resistance is used as the rubber, the whole is in contact with the chemical solution, so that the swelling is remarkable, so the diameter of the wheels changes greatly, and a considerable number of the aligned wheels are the substrate. It may spin around without supporting it, and as a result, the substrate may meander.
【0014】このようにゴムを用いた従来のホイールは
劣化や寸法変化が著しく、寿命が短いが、数千個、数万
個という数のホイールを配置した搬送ラインにおいて、
不良となったホイールを新しいホイールと交換する作業
はラインを止めて行わなければならないため、その不利
は耐えがたいものとなっている。As described above, the conventional wheel using rubber has a remarkable deterioration and a dimensional change and has a short life, but in a conveying line in which several thousand and tens of thousands of wheels are arranged,
The disadvantage is unbearable because the line must be stopped to replace a defective wheel with a new one.
【0015】全体をポリプロピレン等のプラスチックス
で構成した車輪状のプラスチックス製ホイールは、本来
摩擦力が乏しいので基板のスリップを生じやすく、また
弾力性を有しないので基板表面を傷つけるおそれがあ
る。Since a wheel made of plastics, which is entirely made of plastics such as polypropylene, originally has a low frictional force, the substrate easily slips, and since it does not have elasticity, the surface of the substrate may be damaged.
【0016】本発明は、このような背景下において、ゴ
ム部分で基板を支承する方式にかかるものであるにもか
かわらず、シャフトへの挿通作業が極めて簡単で、劣化
や寸法変化が小さく、長寿命で、基板の搬送を円滑に行
うことができ、しかも低コストで製造することができる
基板搬送用ホイールを提供することを目的とするもので
ある。Under such a background, the present invention relates to the method of supporting the substrate with the rubber portion, but the work of inserting the shaft is extremely simple, deterioration and dimensional change are small, and the length is long. It is an object of the present invention to provide a substrate carrying wheel that can carry a substrate smoothly over its life and can be manufactured at low cost.
【0017】[0017]
【課題を解決するための手段】本発明の基板搬送用ホイ
ールは、円板部(11)の中央から直角方向背面側に円筒状
の軸受け部(12)が張り出し、かつ円板部(11)の正面側の
面の周縁近くに複数個の突条(13)が所定の間隔で立設さ
れた構造を有する樹脂製の左右のブロック片(1), (1)
と、前記円板部(11)の径よりも大径で、シャフトが挿通
する中央孔(21)と前記突条(13)が挿通する突条挿通孔(2
2)とを有するリング状ゴム体(2) とからなるものであ
る。In the wheel for transferring substrates of the present invention, a cylindrical bearing portion (12) projects from the center of the disc portion (11) to the rear side in the direction perpendicular to the disc portion (11). Left and right resin block pieces (1), (1) having a structure in which a plurality of ridges (13) are erected at a predetermined interval near the periphery of the front surface of the
And a ridge insertion hole (2) having a diameter larger than that of the disc portion (11) and having a central hole (21) through which the shaft is inserted and the ridge (13).
2) and a ring-shaped rubber body (2).
【0018】このような左右のブロック片(1), (1)を、
それぞれの円板部(11), (11)同士を対向させかつそれら
の円板部(11), (11)間にリング状ゴム体(2) をサンドイ
ッチ状に介在させた状態で一体化する。Such left and right block pieces (1), (1) are
The disc parts (11), (11) are made to face each other and the ring-shaped rubber body (2) is sandwiched between the disc parts (11), (11) to be integrated. .
【0019】以下本発明を詳細に説明する。The present invention will be described in detail below.
【0020】本発明の基板搬送用ホイールは、左右のブ
ロック片(1), (1)とリング状ゴム体(2) とからなる。The substrate transfer wheel of the present invention comprises left and right block pieces (1), (1) and a ring-shaped rubber body (2).
【0021】ブロック片(1), (1)は、ポリプロピレンや
ポリエチレンなどの耐薬品性のある樹脂を射出成形する
ことにより成形される。The block pieces (1), (1) are molded by injection-molding a chemically resistant resin such as polypropylene or polyethylene.
【0022】それぞれのブロック片(1), (1)は、円板部
(11)の中央から直角方向背面側に円筒状の軸受け部(12)
が張り出し、かつ円板部(11)の正面側の面の周縁近くに
複数個の突条(13)が所定の間隔で立設された構造を有す
る。Each block piece (1), (1) is a disk part
Cylindrical bearing part (12) from the center of (11) to the rear side at right angles
Has a structure in which a plurality of ridges (13) are erected at a predetermined interval near the periphery of the front surface of the disc portion (11).
【0023】軸受け部(12)の遊端側は段違い構造や切り
欠き構造に形成し、シャフトに挿通した状態において隣
り合うホイールの軸受け部(12), (12)同士が係合できる
ような係合部(16)に形成する。The free end side of the bearing portion (12) is formed in a stepped structure or a notched structure so that the bearing portions (12), (12) of adjacent wheels can be engaged with each other when inserted into the shaft. It is formed at the junction (16).
【0024】軸受け部(12)の基端側は、円板部(11)の正
面側の面からわずかに張り出すフランジ(15)の形状に形
成することが望ましい。The base end side of the bearing portion (12) is preferably formed in the shape of a flange (15) slightly protruding from the front surface of the disc portion (11).
【0025】ブロック片(1) の円板部(11)の正面側の面
の周縁近くに所定の間隔で立設された複数個の突条(13)
の中間位置には、相手方のブロック片(1) の突条(13)の
先端側を受けとめる凹状または貫通孔状の受け部(14)を
形成することが特に望ましい。A plurality of ridges (13) provided upright at a predetermined interval near the peripheral edge of the front surface of the disc portion (11) of the block piece (1).
It is particularly desirable to form a concave or through hole-shaped receiving portion (14) for receiving the tip end side of the protrusion (13) of the opponent block piece (1) at the intermediate position.
【0026】リング状ゴム体(2) の材質としては、フッ
素系ゴムやエチレン−プロピレン系ゴムをはじめとする
ゴムないしエラストマーがあげられる。Examples of the material of the ring-shaped rubber body (2) include rubbers and elastomers such as fluorine rubber and ethylene-propylene rubber.
【0027】リング状ゴム体(2) は、上記円板部(11)の
径よりも大径とする。円板部(11)よりはみ出した部分が
基板を支承することになる。The ring-shaped rubber body (2) has a diameter larger than that of the disc portion (11). The portion protruding from the disc portion (11) supports the substrate.
【0028】リング状ゴム体(2) は、シャフト(および
上記のフランジ(15))が挿通する中央孔(21)と、上記突
条(13)が挿通する突条挿通孔(22)とを有する。The ring-shaped rubber body (2) has a central hole (21) through which the shaft (and the above-mentioned flange (15)) is inserted and a ridge insertion hole (22) through which the ridge (13) is inserted. Have.
【0029】このリング状ゴム体(2) はゴム質材料を圧
縮成形することにより得られるが、その場合には外周部
の両側の肉厚をそれぞれ上記のブロック片(1) の円板部
(11)の厚み程度に肉厚に形成することが望ましい。圧縮
成形法によりリング状ゴム体(2) を成形する方法のほ
か、ゴムシートを打ち抜くことによりリング状ゴム体
(2) を作製する方法を採用することもできる。This ring-shaped rubber body (2) can be obtained by compression molding a rubber material. In that case, the wall thicknesses on both sides of the outer peripheral portion are the disk portions of the block piece (1).
It is desirable to form it as thick as the thickness of (11). In addition to the method of molding the ring-shaped rubber body (2) by the compression molding method, the ring-shaped rubber body is punched out from the rubber sheet.
The method of producing (2) can also be adopted.
【0030】基板搬送用ホイールを組み立てるときは、
左右のブロック片(1), (1)を、それぞれの円板部(11),
(11)同士を対向させかつそれらの円板部(11), (11)間に
リング状ゴム体(2) をサンドイッチ状に介在させた状態
で一体化すればよい。左右のブロック片(1), (1)の一体
化は、融着または嵌合によりなされる。When assembling the substrate transfer wheel,
Replace the left and right block pieces (1), (1) with the respective disc parts (11),
The ring-shaped rubber bodies (2) may be integrated in such a manner that the ring-shaped rubber bodies (2) are sandwiched between the disk portions (11) and (11) so that they are opposed to each other. The left and right block pieces (1), (1) are integrated by fusion or fitting.
【0031】融着法を採用するときは、左右のブロック
片(1), (1)間にリング状ゴム体(2)をサンドイッチ状に
介在させた状態で、それぞれのブロック片(1), (1)の突
条(13)先端を相手方のブロック片(1), (1)の円板部(11)
の正面側の面の周縁近くに融着すればよい。ブロック片
(1) の円板部(11)の正面側の面に凹状または貫通孔状の
受け部(14)を設けたときは、左右のうち一方のブロック
片(1) の突条(13)の先端は、他方のブロック片(1) の受
け部(14)に嵌合した状態で融着がなされることになる。
上記個所の融着に加え、それぞれのブロック片(1), (1)
のフランジ(15), (15)同士も融着させる。なお受け部(1
4)の設置は、融着の確実化およびセンター合わせの点で
有利である。When the fusion bonding method is adopted, the ring-shaped rubber body (2) is sandwiched between the left and right block pieces (1), (1), and each block piece (1), The tip of the ridge (13) of (1) is the opposite block piece (1), the disk part (11) of (1)
It may be fused near the peripheral edge of the surface on the front side. Block piece
When a concave or through hole-shaped receiving part (14) is provided on the front surface of the disc part (11) of (1), one of the left and right ridges (13) of the block piece (1) is The tip of the block piece (1) is fused with the receiving portion (14) of the other block piece (1).
In addition to the fusion of the above points, each block piece (1), (1)
The flanges (15) and (15) of the above are also fused together. The receiving part (1
The installation of 4) is advantageous in terms of ensuring fusion and center alignment.
【0032】融着法に限定はないものの、その融着は超
音波融着法により行うことが特に好ましい。超音波融着
法による融着は自動化することができ、しかも確実な融
着一体化なされるからである。Although the fusion method is not limited, the fusion is preferably performed by an ultrasonic fusion method. This is because the fusion by the ultrasonic fusion method can be automated and the fusion can be surely integrated.
【0033】嵌合法を採用するときは、左右のブロック
片(1), (1)間にリング状ゴム体(2)をサンドイッチ状に
介在させた状態で、それぞれのブロック片(1), (1)の突
条(13)の先端側を、相手方のブロック片(1), (1)の円板
部(11)の正面側の面の凹状または貫通孔状の受け部(14)
にきっちりと嵌合させればよい。When the fitting method is adopted, the ring-shaped rubber bodies (2) are sandwiched between the left and right block pieces (1), (1), and the block pieces (1), ( The tip side of the ridge (13) of (1), the concave or through hole-shaped receiving portion (14) of the front surface of the disk portion (11) of the other block piece (1), (1)
It should be fitted tightly.
【0034】[0034]
【作用】上記構造を有する本発明の基板搬送用ホイール
は、シャフトへの挿通作業が極めて簡単である。隣り合
うホイールの軸受け部(12), (12)の遊端側の係合部(16)
同士が係合するようにしながらホイールを次々にシャフ
トに挿通し、シャフト両端側に設けた回り止めでホイー
ルを固定すれば、シャフトの駆動回転によりそのシャフ
トに挿通された全ホイールを回転させることができる。The substrate transfer wheel of the present invention having the above structure is extremely easy to insert into the shaft. Engagement part (16) on the free end side of bearing parts (12), (12) of adjacent wheels
Inserting the wheels into the shaft one after another while making them engage with each other, and fixing the wheels with the detents provided at both ends of the shaft, all the wheels inserted into the shaft can be rotated by the drive rotation of the shaft. it can.
【0035】このようなホイール挿通シャフトをその軸
が搬送方向とは直角方向になるように一定間隔で平行に
配置し(上下2段に平行配置することが多い)、ホイー
ルの位置を平面視で縦横方向または千鳥状の整列状態と
なせば、シャフトの駆動回転によるホイールの回転によ
り基板は円滑に水平方向に搬送されるので、露光処理、
現像処理、エッチング処理、レジスト剥離処理などの各
処理を円滑に行うことができる。なお搬送に供する基板
としては、プリント配線基板、液晶表示用基板、カラー
フィルター基板をはじめ、リジッドまたはフレキシブル
な種々の基板があげられる。Such wheel insertion shafts are arranged in parallel at regular intervals so that their axes are at right angles to the conveying direction (often arranged in parallel in two steps), and the position of the wheels in plan view. In the vertical and horizontal directions or in the staggered arrangement, the substrate is smoothly transported in the horizontal direction by the rotation of the wheel driven by the rotation of the shaft.
Each processing such as development processing, etching processing, and resist stripping processing can be smoothly performed. Examples of the substrate to be transported include a printed wiring board, a liquid crystal display substrate, a color filter substrate, and various rigid or flexible substrates.
【0036】そして本発明の基板搬送用ホイールにあっ
ては、左右のブロック片(1), (1)の円板部(11), (11)間
にリング状ゴム体(2) がサンドイッチ状に介在している
ので、リング状ゴム体(2) には引張方向の応力がかかっ
ておらず、またリング状ゴム体(2) の円板部(11), (11)
で挟まれている部分には薬液が浸透しがたいので、リン
グ状ゴム体(2) が薬液と接触する部分は最小限に抑えら
れている。従って、リング状ゴム体(2) の円板部(11),
(11)からはみ出している部分に薬液が接触しても、劣化
の進行は小さく、膨潤による寸法変化も小さく、その結
果ホイールの寿命がゴムを用いた従来のホイールに比し
大幅に長くなる。ホイールの寿命が長くなることは、ホ
イール交換のための搬送ライン停止の頻度が小さくなる
ことを意味し、大きな利点となる。In the substrate transfer wheel of the present invention, the ring-shaped rubber body (2) is sandwiched between the disk parts (11) and (11) of the left and right block pieces (1) and (1). Since no stress is applied in the tensile direction to the ring-shaped rubber body (2), the disk-shaped parts (11), (11) of the ring-shaped rubber body (2) are
Since the chemical solution does not easily penetrate into the area sandwiched by the, the area where the ring-shaped rubber body (2) comes into contact with the chemical solution is minimized. Therefore, the disc part (11) of the ring-shaped rubber body (2),
Even if the chemical solution comes into contact with the part protruding from (11), the progress of deterioration is small and the dimensional change due to swelling is small, and as a result, the life of the wheel becomes significantly longer than that of the conventional wheel using rubber. The long life of the wheels means that the frequency of stopping the transfer line for wheel replacement is reduced, which is a great advantage.
【0037】[0037]
【実施例】次に実施例をあげて本発明をさらに説明す
る。EXAMPLES The present invention will be further described with reference to examples.
【0038】実施例1 図1は本発明の基板搬送用ホイールの一例を示した側面
図である。図2は図1のホイールを構成するブロック片
(1) の正面図、図3は図2のブロック片(1) の背面図、
図4は図2のブロック片(1) の側面図、図5は図2のブ
ロック片(1) の断面図である。図6は図1のホイールを
構成するリング状ゴム体(2) の正面図、図7は図6のリ
ング状ゴム体(2) の断面図である。Example 1 FIG. 1 is a side view showing an example of a substrate carrying wheel of the present invention. FIG. 2 is a block piece constituting the wheel of FIG.
(1) is a front view, FIG. 3 is a rear view of the block piece (1) of FIG. 2,
4 is a side view of the block piece (1) of FIG. 2, and FIG. 5 is a sectional view of the block piece (1) of FIG. FIG. 6 is a front view of the ring-shaped rubber body (2) constituting the wheel of FIG. 1, and FIG. 7 is a sectional view of the ring-shaped rubber body (2) of FIG.
【0039】ポリプロピレンを射出成形することによ
り、図2〜5に示したブロック片(1)を成形した。この
ブロック片(1) は、直径40mmの円板部(11)の中央か
ら、直角方向背面側に外径10.5mm、内径 8.5mm、長さ2
0mmの円筒状の軸受け部(12)が張り出した基本構造を有
している。The block piece (1) shown in FIGS. 2 to 5 was molded by injection molding polypropylene. This block piece (1) has an outer diameter of 10.5 mm, an inner diameter of 8.5 mm, and a length of 2 from the center of the disc part (11) with a diameter of 40 mm to the rear side in the perpendicular direction.
It has a basic structure in which a 0 mm cylindrical bearing portion (12) overhangs.
【0040】ブロック片(1) の円板部(11)の正面側の面
の周縁近くには、直径2mm、高さ3mmの4個の円柱状の
突条(13)が等間隔で立設されている。また内径がほぼ2
mmの4個の凹状の受け部(14)が、上記の突条(13)と交互
の位置関係となるように、等間隔で設置されている。Near the periphery of the front surface of the disk portion (11) of the block piece (1), four column-shaped protrusions (13) having a diameter of 2 mm and a height of 3 mm are erected at equal intervals. Has been done. Also, the inner diameter is about 2
Four concave receiving parts (14) of mm are installed at equal intervals so as to have an alternate positional relationship with the above-mentioned ridges (13).
【0041】軸受け部(12)の基端側は、円板部(11)の正
面側の面からわずかに張り出す直径20mmのフランジ(1
5)の形状に形成されている。なおこのフランジ(15)の内
周の縁は、融着時に軸受け部(12)の中空部の側に膨らみ
を生じてシャフトの挿通を妨げないように、テーパー状
に形成してある。The base end side of the bearing portion (12) is a flange (1 mm with a diameter of 20 mm slightly protruding from the front surface of the disc portion (11).
It is formed in the shape of 5). The inner peripheral edge of the flange (15) is formed in a taper shape so as not to bulge on the hollow portion side of the bearing portion (12) at the time of fusion bonding so as to prevent insertion of the shaft.
【0042】軸受け部(12)の遊端側は、ホイールをシャ
フトに挿通した状態において隣り合うホイールの軸受け
部(12)の遊端側と係合可能なように、切り欠き形状の係
合部(16)に形成されている。The free end side of the bearing portion (12) is a notch-shaped engaging portion so that the free end side of the bearing portion (12) of an adjacent wheel can be engaged with the free end side of the wheel when the wheel is inserted through the shaft. It is formed in (16).
【0043】フッ素系ゴムおよびエチレン−プロピレン
系ゴムを用いて圧縮成形することにより、図6〜7に示
した形状の直径50mmの2種類のリング状ゴム体(2) を
成形した。このリング状ゴム体(2) の中央には、シャフ
トおよびフランジ(15)が挿通する直径21mmの中央孔(2
1)が形成され、また上記の4個の突条(13)が挿通する直
径約2mmの突条挿通孔(22)が8個形成されている。リン
グ状ゴム体(2) の外周部の肉厚は5mmに、それ以外の部
分の肉厚は 2.3mmとしてある。Two types of ring-shaped rubber bodies (2) having a diameter of 50 mm and having the shapes shown in FIGS. 6 to 7 were molded by compression molding using a fluorine rubber and an ethylene-propylene rubber. At the center of the ring-shaped rubber body (2), a central hole (2
1) is formed, and eight ridge insertion holes (22) with a diameter of about 2 mm through which the above-mentioned four ridges (13) are inserted are formed. The outer peripheral portion of the ring-shaped rubber body (2) has a thickness of 5 mm, and the other portions have a thickness of 2.3 mm.
【0044】左右のブロック片(1), (1)の円板部(11),
(11)間にリング状ゴム体(2) をサンドイッチ状に介在さ
せた状態で、それぞれのブロック片(1), (1)の突条(13)
の先端側を、相手方のブロック片(1), (1)の凹状の受け
部(14)に嵌合した状態で超音波融着法により融着させ
た。これにより、左右のうち一方のブロック片(1) の突
条(13)の先端側は、他方のブロック片(1) の凹状の受け
部(14)に嵌合した状態で融着されると共に、それぞれの
ブロック片(1), (1)のフランジ(15), (15)同士も融着一
体化した。Left and right block pieces (1), disk portions (11) of (1),
With the ring-shaped rubber body (2) interposed between (11), the ridges (13) of each block piece (1), (1)
The tip end side of the was fitted to the concave receiving parts (14) of the opposing block pieces (1) and (1) and was fused by ultrasonic welding. As a result, the tip end side of the ridge (13) of one of the left and right block pieces (1) is fused and fitted in the concave receiving portion (14) of the other block piece (1). The flanges (15) and (15) of the block pieces (1) and (1) were also fused and integrated.
【0045】このようにして作製したホイールを、隣り
合うホイールの軸受け部(12), (12)の遊端側の係合部(1
6)同士が係合するように次々にシャフトに挿通すると共
に、両端側のホイールはシャフトに取り付けた回り止め
に係合して固定した。ついでこのホイール挿通シャフト
をその軸が搬送方向とは直角方向になるように一定間隔
で上下2段に平行配置し、基板搬送用の水平コンベアと
なした。ホイールの位置関係は、平面視で千鳥状の整列
状態となるようにした。The thus manufactured wheel is provided with the engaging portion (1) on the free end side of the bearing portions (12), (12) of the adjacent wheels.
6) The shafts were inserted one after another so that they would engage each other, and the wheels on both ends were fixed by engaging the detents attached to the shafts. Then, the wheel insertion shafts were arranged in parallel in the upper and lower two stages at regular intervals so that the axis of the wheel insertion shaft was at right angles to the conveying direction to form a horizontal conveyer for substrate conveyance. The positional relationship of the wheels was arranged in a staggered arrangement in plan view.
【0046】このコンベアを用いて、フレキシブルな基
板に対するドライフィルムのラミネート、露光処理、現
像処理、エッチング処理、レジスト剥離処理などの一連
の処理を行った。なお、なお現像処理工程およびレジス
ト剥離処理工程においてはフッ素系ゴム製のリング状ゴ
ム体(2) を用いたホイール、エッチング処理工程におい
てはエチレン−プロピレン系ゴム製のリング状ゴム体
(2) を用いたホイールを使用した。Using this conveyor, a series of treatments such as lamination of a dry film on a flexible substrate, exposure treatment, development treatment, etching treatment and resist stripping treatment were performed. In the development process and the resist stripping process, a wheel made of fluororubber ring rubber (2) is used. In the etching process, a ring rubber body made of ethylene-propylene rubber is used.
The wheel using (2) was used.
【0047】このホイールは、薬液と接触しても膨潤が
小さい上にクラックを生じがたく、長期にわたり円滑に
基板搬送を行うことができた。このホイールの寿命は、
ゴムを用いた従来のホイールを使用した場合に比し格段
に長いものであった。This wheel was small in swelling even when it came into contact with a chemical solution and did not crack, so that the substrate could be smoothly transported for a long period of time. The life of this wheel is
It was much longer than when using a conventional wheel made of rubber.
【0048】実施例2 図8は本発明の基板搬送用ホイールを構成するブロック
片(1) の他の一例を示した断面図である。Embodiment 2 FIG. 8 is a sectional view showing another example of the block piece (1) constituting the substrate carrying wheel of the present invention.
【0049】この実施例においては、ブロック片(1) の
円板部(11)の正面側の面の周縁近くに設ける突条(13)の
遊端側が膨頭状になっており、またその突条(13)と交互
の位置関係となるように貫通孔状の受け部(14)を設置し
てある。In this embodiment, the free end side of the ridge (13) provided near the peripheral edge of the front surface of the disk portion (11) of the block piece (1) is bulged, and Through-hole-shaped receiving portions (14) are installed so as to have an alternate positional relationship with the ridges (13).
【0050】リング状ゴム体(2) をサンドイッチ状に介
在させた状態での左右のブロック片(1), (1)の一体化
は、ブロック片(1), (1)の突条(13)の先端側を、相手方
のブロック片(1), (1)の受け部(14)に押し込むことによ
りなされる。The integration of the left and right block pieces (1), (1) in a state where the ring-shaped rubber body (2) is interposed in a sandwich shape is performed by the protrusions (13) of the block pieces (1), (1). ) Is pushed into the receiving portions (14) of the opposing block pieces (1), (1).
【0051】[0051]
【発明の効果】本発明の基板搬送用ホイールは、シャフ
トへの挿通作業が極めて簡単であること、ゴムを用いる
方式であるにかかわらず劣化や寸法変化が小さいこと、
長寿命であるため交換頻度が少なくてすむこと、基板の
搬送を円滑に行うことができること、低コストで製造で
きることなどのすぐれた効果を奏する。The substrate transfer wheel of the present invention is extremely easy to insert into the shaft, and has little deterioration or dimensional change regardless of the method using rubber.
Since it has a long service life, it has excellent effects such as that the frequency of replacement is low, that the substrate can be transported smoothly, and that it can be manufactured at low cost.
【図1】本発明の基板搬送用ホイールの一例を示した側
面図である。FIG. 1 is a side view showing an example of a substrate carrying wheel of the present invention.
【図2】図1のホイールを構成するブロック片(1) の正
面図である。2 is a front view of a block piece (1) constituting the wheel of FIG. 1. FIG.
【図3】図2のブロック片(1) の背面図である。FIG. 3 is a rear view of the block piece (1) of FIG.
【図4】図2のブロック片(1) の側面図である。FIG. 4 is a side view of the block piece (1) of FIG.
【図5】図2のブロック片(1) の断面図である。5 is a cross-sectional view of the block piece (1) of FIG.
【図6】図1のホイールを構成するリング状ゴム体(2)
の正面図である。FIG. 6 is a ring-shaped rubber body (2) forming the wheel of FIG.
FIG.
【図7】図6のリング状ゴム体(2) の断面図である。7 is a cross-sectional view of the ring-shaped rubber body (2) of FIG.
【図8】本発明の基板搬送用ホイールを構成するブロッ
ク片(1) の他の一例を示した断面図である。FIG. 8 is a cross-sectional view showing another example of the block piece (1) which constitutes the substrate carrying wheel of the present invention.
(1) …ブロック片、(11)…円板部、(12)…軸受け部、(1
3)…突条、(14)…受け部、(15)…フランジ、(16)…係合
部、(2) …リング状ゴム体、(21)…中央孔、(22)…突条
挿通孔(1) ... Block piece, (11) ... Disc part, (12) ... Bearing part, (1
3) ... ridge, (14) ... receiving part, (15) ... flange, (16) ... engaging part, (2) ... ring-shaped rubber body, (21) ... central hole, (22) ... ridge insertion Hole
Claims (6)
筒状の軸受け部(12)が張り出し、かつ円板部(11)の正面
側の面の周縁近くに複数個の突条(13)が所定の間隔で立
設された構造を有する樹脂製の左右のブロック片(1),
(1)と、前記円板部(11)の径よりも大径で、シャフトが
挿通する中央孔(21)と前記突条(13)が挿通する突条挿通
孔(22)とを有するリング状ゴム体(2) とからなる基板搬
送用ホイール。1. A cylindrical bearing portion (12) projects from the center of the disc portion (11) to the rear side in the direction perpendicular to the disc portion (11), and a plurality of protrusions are provided near the periphery of the front side surface of the disc portion (11). Left and right resin block pieces (1) having a structure in which the strips (13) are erected at predetermined intervals,
(1) and a ring having a diameter larger than that of the disc portion (11) and having a central hole (21) through which the shaft is inserted and a ridge insertion hole (22) through which the ridge (13) is inserted. A substrate transfer wheel consisting of a rubber body (2).
の周縁近くに所定の間隔で立設された複数個の突条(13)
の中間位置に、相手方のブロック片(1) の突条(13)の先
端側を受けとめる凹状または貫通孔状の受け部(14)が形
成されている請求項1記載の基板搬送用ホイール。2. A plurality of ridges (13) which are erected at predetermined intervals near the peripheral edge of the front surface of the disk portion (11) of the block piece (1).
The substrate transfer wheel according to claim 1, wherein a concave or through hole-shaped receiving portion (14) for receiving the tip end side of the protrusion (13) of the opponent block piece (1) is formed at the intermediate position of the above.
面側の面からわずかに張り出すフランジ(15)の形状に形
成されている請求項1記載の基板搬送用ホイール。3. The substrate transfer apparatus according to claim 1, wherein the base end side of the bearing portion (12) is formed in the shape of a flange (15) slightly protruding from the front surface of the disc portion (11). wheel.
フトに挿通した状態において隣り合うホイールの軸受け
部(12)の遊端側と係合可能な係合部(16)に形成されてい
る請求項1記載の基板搬送用ホイール。4. The free end side of the bearing portion (12) is formed as an engaging portion (16) engageable with the free end side of the bearing portions (12) of adjacent wheels when the wheel is inserted through the shaft. The substrate transfer wheel according to claim 1.
円板部(11), (11)同士を対向させかつそれらの円板部(1
1), (11)間にリング状ゴム体(2) をサンドイッチ状に介
在させた状態で一体化してなる請求項1記載の基板搬送
用ホイール。5. The left and right block pieces (1), (1) are made to face each other with their disc parts (11), (11) facing each other, and the disc parts (1
The substrate transfer wheel according to claim 1, wherein the ring-shaped rubber body (2) is integrated between 1) and (11) in a sandwiched state.
着または嵌合によりなされている請求項5記載の基板搬
送用ホイール。6. The substrate transfer wheel according to claim 5, wherein the left and right block pieces (1), (1) are integrated by fusion or fitting.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18625294A JPH0826454A (en) | 1994-07-15 | 1994-07-15 | Board conveying wheel |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18625294A JPH0826454A (en) | 1994-07-15 | 1994-07-15 | Board conveying wheel |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0826454A true JPH0826454A (en) | 1996-01-30 |
Family
ID=16185022
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP18625294A Withdrawn JPH0826454A (en) | 1994-07-15 | 1994-07-15 | Board conveying wheel |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0826454A (en) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005206372A (en) * | 2003-12-26 | 2005-08-04 | Shinmei Ind Co Ltd | Conveyor system |
CN103466281A (en) * | 2013-09-06 | 2013-12-25 | 中国建材国际工程集团有限公司 | Rubber wheel structure for conveying glass |
KR101948929B1 (en) * | 2018-08-24 | 2019-05-08 | 주식회사 왕성 | Roller unit and method of manufacturing the same |
-
1994
- 1994-07-15 JP JP18625294A patent/JPH0826454A/en not_active Withdrawn
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005206372A (en) * | 2003-12-26 | 2005-08-04 | Shinmei Ind Co Ltd | Conveyor system |
CN103466281A (en) * | 2013-09-06 | 2013-12-25 | 中国建材国际工程集团有限公司 | Rubber wheel structure for conveying glass |
KR101948929B1 (en) * | 2018-08-24 | 2019-05-08 | 주식회사 왕성 | Roller unit and method of manufacturing the same |
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