KR100628734B1 - Roller assembly and apparatus for transporting of works using the same - Google Patents

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Abstract

본 발명은 글라스 기판을 이송시키는 데에 이용되며, 제작비용을 줄일 수 있는 롤러 어셈블리 및 그를 이용한 기판이송장치를 개시한다. The present invention discloses a roller assembly and a substrate transfer apparatus using the same, which are used to transfer a glass substrate and can reduce manufacturing costs.

본 발명은 회전축의 외주에 배치되는 이송롤러; 상기 이송롤러의 내경과 상기 회전축의 외주면 사이에 배치되는 제1 부재; 상기 제1부재의 내경과 상기 회전축의 외주면 사이에 끼움 결합되어 상기 이송롤러가 상기 회전축에 고정되도록 하는 제2 부재를 포함하는 롤러 어셈블리 및 이를 이용한 기판이송장치를 제공한다. The present invention is a feed roller disposed on the outer periphery of the rotating shaft; A first member disposed between an inner diameter of the feed roller and an outer circumferential surface of the rotating shaft; It provides a roller assembly and a substrate transfer apparatus using the same, the second member is fitted between the inner diameter of the first member and the outer peripheral surface of the rotating shaft to fix the feed roller to the rotating shaft.

따라서 본 발명은 이송롤러의 내주면을 별도로 가공할 필요가 없으며, 또한 이송롤러의 두께를 줄일 수 있고, 고가의 부품인 다수의 오링(O-ring)이 필요하지 않으면서 용이하게 회전축에 결합이 가능하여 생산비용을 줄일 수 있는 효과가 있다.Therefore, the present invention does not need to separately process the inner circumferential surface of the feed roller, and also can reduce the thickness of the feed roller, and can be easily coupled to the rotating shaft without the need for a large number of O-rings, which are expensive parts. This can reduce the production cost.

이송롤러, 기판, 이송, 회전축, 쐐기Feed roller, board, feed, rotating shaft, wedge

Description

롤러 어셈블리 및 그를 이용한 기판이송장치{Roller assembly and apparatus for transporting of works using the same}Roller assembly and apparatus for transporting of works using the same

도 1은 본 발명에 따른 실시 예가 적용된 예를 설명하기 위한 기판이송장치를 도시한 사시도이다.1 is a perspective view illustrating a substrate transfer apparatus for explaining an example to which an embodiment according to the present invention is applied.

도 2는 본 발명에 따른 주요 부분을 확대하여 도시한 사시도이다.Figure 2 is an enlarged perspective view of the main part according to the present invention.

도 3은 도 2의 분해 사시도이다.3 is an exploded perspective view of FIG. 2.

도 4는 도 3의 주요 부분을 설명하기 위한 도면이다.FIG. 4 is a diagram for describing a main part of FIG. 3.

도 5는 본 발명에 따른 또 다른 실시 예를 설명하기 위하여 롤러 어셈블리를 분해하여 도시한 분해 사시도이다.FIG. 5 is an exploded perspective view illustrating an exploded view of a roller assembly in order to explain another embodiment according to the present disclosure.

도 6은 도 5의 주요 부분을 도시한 사시도이다.FIG. 6 is a perspective view of the main part of FIG. 5; FIG.

도 7은 도 5의 롤러 어셈블리가 결합된 상태를 설명하기 위한 부분 단면도이다.7 is a partial cross-sectional view for explaining a state in which the roller assembly of FIG. 5 is coupled.

도 8은 도 7의 A-A부의 단면도이다.8 is a cross-sectional view of the A-A portion of FIG.

도 9는 종래 기술에 의한 기판이송장치에 적용되는 이송롤러의 구성을 설명하기 위한 도면이다.9 is a view for explaining the configuration of the transfer roller applied to the substrate transfer apparatus according to the prior art.

도 10은 도 9를 회전축의 길이 방향으로 절개하여 도시한 단면도이다.FIG. 10 is a cross-sectional view of FIG. 9 taken in the longitudinal direction of the rotating shaft.

본 발명은 롤러 어셈블리 및 그를 이용한 기판이송장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 글라스 기판을 이송시키는 데에 이용되며, 제작비용을 줄일 수 있는 롤러 어셈블리 및 그를 이용한 기판이송장치에 관한 것이다.The present invention relates to a roller assembly and a substrate transfer apparatus using the same, and more particularly, to a roller assembly and a substrate transfer apparatus using the same, which is used to transfer a glass substrate and can reduce manufacturing costs.

일반적으로 글라스 기판 등을 이송시키는 장치는, 통상의 베이스에 복수의 회전축이 일정한 간격으로 설치되고, 상기 회전축들에 다수의 이송롤러가 배치되어 기판을 이송시키는 것이다. 이러한 기판이송장치에서 종래의 이송롤러가 설치되는 구조는, 도 9 및 도 10에 도시되어 있는 바와 같이, 이송롤러(100)의 내주면을 따라 두개의 홈(102, 104)이 형성되고, 상기 홈(102, 104)들에 오링(106, 108, O-ring)이 끼움 결합되어 회전축(110)에 고정된다. 이와 같이 이루어지는 기판이송장치는 별도의 구동원에 의하여 동력을 전달받는 회전축(110)의 회전에 따라 이송롤러(100)의 상측에 올려진 기판을 이송시킬 수 있다. In general, a device for transferring a glass substrate or the like is provided with a plurality of rotating shafts at regular intervals on a common base, and a plurality of feeding rollers are disposed on the rotating shafts to transfer the substrate. In the substrate transfer apparatus, a structure in which a conventional feed roller is installed, as shown in FIGS. 9 and 10, two grooves 102 and 104 are formed along the inner circumferential surface of the feed roller 100, and the groove is provided. O-rings (106, 108, O-ring) is fitted to the (102, 104) is fixed to the rotating shaft (110). The substrate transfer apparatus made as described above may transfer the substrate mounted on the upper side of the transfer roller 100 according to the rotation of the rotary shaft 110 that receives power by a separate driving source.

그러나 종래의 기판이송장치는 이송롤러의 내주면에 오링이 삽입될 수 있는 홈을 가공해야 하므로 가공비가 상승될 뿐만 아니라 많은 수로 이루어지는 고가의 오링(O-ring)이 필수적으로 삽입되어야 하므로 제작비용이 상승되는 문제점이 있다.However, the conventional substrate transfer device has to process grooves into which the O-ring can be inserted into the inner circumferential surface of the feed roller, so that not only the processing cost is increased but also a large number of expensive O-rings must be inserted, thereby increasing the manufacturing cost. There is a problem.

또한, 종래의 기판송장치는 이송롤러의 내주면에 오링(O-ring)이 삽입될 수 있는 홈을 가공하기 위하여 이송롤러가 일정한 크기 이상의 두께를 가져야 하므로 이송롤러를 이루는 재료가 과다하게 사용되어 역시 제작비용이 증대되는 문제점이 있다.In addition, in the conventional substrate transfer apparatus, since the feed roller must have a thickness of a certain size or more in order to process a groove into which an O-ring can be inserted into the inner circumferential surface of the feed roller, the material forming the feed roller is excessively used. There is a problem that the cost is increased.

따라서 본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위하여 제안된 것으로서, 본 발명의 목적은 비교적 이송롤러를 간단한 구조로 제작하여 기존과 동일한 기판의 이송 기능을 가지면서도 제작비용을 현저하게 줄일 수 있는 롤러 어셈블리 및 그를 이용한 기판이송장치를 제공하는데 있다.Therefore, the present invention has been proposed to solve the above problems, the object of the present invention is to produce a roller roller with a relatively simple structure of the roller assembly that can significantly reduce the manufacturing cost while having the same transfer function of the substrate and It is to provide a substrate transfer device using the same.

상기의 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 회전축의 외주에 배치되는 이송롤러; 상기 이송롤러의 내경과 상기 회전축의 외주면 사이에 배치되는 제1 부재; 상기 제1부재의 내경과 상기 회전축의 외주면 사이에 끼움 결합되어 상기 이송롤러가 상기 회전축에 고정되도록 하는 제2 부재를 포함하는 롤러 어셈블리를 제공한다.The present invention in order to achieve the above object, the feed roller is disposed on the outer periphery of the rotating shaft; A first member disposed between an inner diameter of the feed roller and an outer circumferential surface of the rotating shaft; It is provided between the inner diameter of the first member and the outer circumferential surface of the rotating shaft provides a roller assembly including a second member for fixing the feed roller to the rotating shaft.

또한, 본 발명은 기판 처리를 위한 작업공간을 제공하는 베스; 상기 베스에 설치되어 회전동력을 발생하는 구동원; 상기 작업공간에 위치되어 기판을 이송 및 지지하는 기판 이송을 위한 다수의 회전축; 상기 회전축들의 외주에 배치되는 다수의 이송롤러를 포함하며,The present invention also provides a bath that provides a workspace for substrate processing; A drive source installed in the bath to generate rotational power; A plurality of rotation shafts for transporting the substrate, the substrate being positioned in the workspace for transporting and supporting the substrate; It includes a plurality of feed rollers disposed on the outer periphery of the rotation shaft,

상기 이송롤러들의 내경과 상기 회전축의 외주면 사이에 배치되는 제1 부재, 상기 제1 부재의 내경과 상기 회전축의 외주면 사이에 끼움 결합되어 상기 이송롤러가 상기 회전축에 고정되도록 하는 제2 부재를 구비한 롤러 어셈블리를 포함하는 기판이송장치를 제공한다. And a first member disposed between the inner diameter of the feed rollers and an outer circumferential surface of the rotating shaft, and a second member fitted between the inner diameter of the first member and the outer circumferential surface of the rotating shaft to fix the feed roller to the rotating shaft. Provided is a substrate transfer apparatus including a roller assembly.

또한, 본 발명은 회전축의 외주에 배치되며 축 방향으로 걸림홈이 형성된 이송롤러; 상기 이송롤러의 걸림홈에 삽입될 수 있는 걸림돌기가 외주면에 제공되고, 상기 이송롤러의 내경과 상기 회전축의 외주면 사이에 배치되는 제1 부재; 상기 제1부재의 내경과 상기 회전축의 외주면 사이에 끼움 결합되어 상기 이송롤러가 상기 회전축에 고정되도록 하는 제2 부재를 포함하는 롤러 어셈블리를 제공한다.In addition, the present invention is disposed on the outer periphery of the rotating shaft and the feed roller formed with a locking groove in the axial direction; A first member provided on an outer circumferential surface thereof, the first protrusion being disposed on an outer circumferential surface of the feed roller and disposed between an inner diameter of the feed roller and an outer circumferential surface of the rotating shaft; It is provided between the inner diameter of the first member and the outer circumferential surface of the rotating shaft provides a roller assembly including a second member for fixing the feed roller to the rotating shaft.

이하, 첨부 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 상세하게 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명에 따른 실시 예를 설명하기 위하여 기판이송장치의 일부를 도시한 사시도로, 베스(1), 상기 베스(1) 내에 설치될 수 있으며 세정액 등을 분사하기 위한 유체분사장치(3), 그리고 기판(G)을 이송하기 위한 이송 수단(5)을 도시하고 있다. 그리고 상기 베스(1) 내에는 상기 기판이송수단(5)을 설치하기 위한 베이스(13)가 마련될 수 있다. 본 발명에서 상기 유체분사장치(3)가 적용된 예를 설명하고 있으나, 본 발명은 이에 한정되는 것이 아니며, 단지 기판(G)을 이송시키는 기판이송장치에 적용이 가능하다.1 is a perspective view showing a part of a substrate transfer apparatus for explaining an embodiment according to the present invention, which may be installed in the bath (1), the bath (1) and the fluid injection device (3) for injecting a cleaning solution, etc. ) And a conveying means 5 for conveying the substrate G. In the bath 1, a base 13 for installing the substrate transfer means 5 may be provided. In the present invention has been described an example in which the fluid injection device 3 is applied, the present invention is not limited to this, it is possible to apply only to the substrate transfer device for transferring the substrate (G).

또한, 상기 유체분사장치(3)는 세정액 등을 기판(G)에 분사시키기 위한 것으로 통상의 것이 사용될 수 있다.In addition, the fluid spraying device 3 is for spraying a cleaning liquid or the like onto the substrate G, and a conventional one may be used.

상기 기판이송수단(5)은 모터(M) 등의 구동원에 의하여 회전하는 기판이송을 위한 회전축(7), 상기 회전축(7)을 지지하는 서포터(9)들, 그리고 상기 기판(G)에 밀착되어 상기 기판(G)을 이송하는 다수의 이송롤러 어셈블리(11)를 포함한다.The substrate transfer means 5 is in close contact with the rotary shaft 7 for substrate transfer rotated by a driving source such as a motor M, the supporters 9 supporting the rotary shaft 7, and the substrate G. And a plurality of transfer roller assemblies 11 for transporting the substrate G.

상기 서포터(9)들은 회전축(9)에 접촉하는 부분에 구름부재인 베어링(롤러 베어링 또는 구름 베어링 등) 또는 부시(bush) 등이 결합될 수 있고, 상기 베어링 또는 부시들은 별도의 지지대에 의하여 결합된다. 상기 서포터(9)들은 경우에 따라서 생략될 수 있다.The supporters 9 may be combined with bearings (roller bearings or rolling bearings) or bushes, etc., which are rolling members, in contact with the rotating shaft 9, and the bearings or bushes may be coupled by separate supports. do. The supporters 9 may be omitted in some cases.

상기 다수의 이송롤러 어셈블리(11)는 도 2 및 도 3에 도시하고 있는 도면을 참고하여 일부분만을 확대 도시하여 설명한다. The plurality of feed roller assembly 11 will be described in an enlarged manner only a part with reference to the drawings shown in FIGS. 2 and 3.

상기 이송롤러 어셈블리(11)는 상기 회전축(7)의 외주에 배치되는 도넛형의 이송롤러(21), 상기 이송롤러(21)의 내주면과 상기 회전축(7) 사이에 배치되는 제1 부재(41), 상기 제1 부재(41)의 내주면과 상기 회전축(7) 사이에 배치되어 쐐기 역할을 하면서 상기 제1 부재(41) 및 상기 이송롤러(21)를 회전축(7)에 고정하는 제2 부재(61)를 포함한다.The feed roller assembly 11 is a donut-shaped feed roller 21 disposed on the outer circumference of the rotating shaft 7, a first member 41 disposed between the inner circumferential surface of the feed roller 21 and the rotating shaft 7. ), A second member disposed between the inner circumferential surface of the first member 41 and the rotation shaft 7 to serve as a wedge, and to fix the first member 41 and the feed roller 21 to the rotation shaft 7. And (61).

상기 이송롤러(21)는 내주면의 직경이 회전축(7)의 외경에 비하여 조금 큰 정도로 이루어지는 것이 바람직하며, 통상의 합성수지재 또는 화학물질에 잘 견딜 수 있는 재질로 이루어지는 것이 바람직하다. The feed roller 21 is preferably made of a diameter of the inner circumferential surface a little larger than the outer diameter of the rotary shaft 7, and preferably made of a material that can withstand ordinary synthetic resin materials or chemicals well.

상기 제1 부재(41)는 상기 회전축(7)의 외주에 삽입될 수 있으며, 대략 원판형으로 이루어져 상기 이송롤러(21)의 일측면에 밀착되는 걸림부(43)를 구비하고, 상기 걸림부(43)의 내경 측이 축 방향으로 연장되어 상기 이송롤러(21)의 내경에 밀착되어 고정될 수 있는 원통형의 밀착부(45)를 구비한다.The first member 41 may be inserted into an outer circumference of the rotating shaft 7 and has a locking portion 43 formed in a substantially disk shape to be in close contact with one side of the transfer roller 21. The inner diameter side of the 43 is extended in the axial direction and provided with a cylindrical contact portion 45 that can be fixed in close contact with the inner diameter of the feed roller 21.

상기 밀착부(45)는 내측에 축의 중심 방향으로 돌출되는 회전방지 돌출부(47)를 적어도 하나 이상 구비한다. 그리고 상기 회전 방지 돌출부(47)가 축 방향으로 연장되는 상기 밀착부(45)의 선단에 표시부(49)가 제공된다. The close contact portion 45 has at least one anti-rotation protrusion 47 protruding in the center direction of the shaft. In addition, a display portion 49 is provided at the tip of the contact portion 45 in which the anti-rotation protrusion 47 extends in the axial direction.

상기 표시부(49)는 홈 또는 위치를 표시하기 위한 점 형태로 이루어질 수 있으며, 상기 제2 부재(61)가 정확한 위치에 끼워지도록 표시하는 것이다.The display unit 49 may be formed in the form of a dot for displaying a groove or a position, and the second member 61 is displayed so as to be fitted at the correct position.

상기 제2 부재(61)는 일종 쐐기 역할을 하여 상기 제1 부재(41)의 밀착부(45) 내면과 상기 회전축(7)의 외주면 사이에 배치되어 상기 이송롤러(21)를 회전축(7)에 고정하기 위한 것이다.The second member 61 serves as a wedge and is disposed between the inner surface of the contact portion 45 of the first member 41 and the outer circumferential surface of the rotation shaft 7 to rotate the feed roller 21 to the rotation shaft 7. It is to fix on.

이러한 제2 부재(61)는 상기 제1 부재(41)의 걸림부(43)와 같은 형상으로 상기 이송롤러(21)의 다른 면에 밀착되는 원판형태의 또 다른 걸림부(63)가 제공된다. 그리고 상기 제2 부재(41)는 상기 걸림부(63)의 내주면이 축 방향으로 연장되어 테이퍼진 형태로 이루어지는 쇄기부(65)를 구비한다. 상기 쇄기부(65)는 도 4에 도시하고 있는 바와 같이, 자유단의 직경(D1)이 그 반대측의 직경(D2)에 비하여 작아지는 형태인 테이퍼 형상으로 이루어지는 것이 바람직하다. This second member 61 is provided with another locking portion 63 in the form of a disc that is in close contact with the other surface of the feed roller 21 in the same shape as the locking portion 43 of the first member 41. . In addition, the second member 41 includes a wedge portion 65 having an inner circumferential surface of the locking portion 63 extending in the axial direction and having a tapered shape. As shown in Fig. 4, the wedge portion 65 preferably has a tapered shape in which the diameter D1 of the free end is smaller than the diameter D2 on the opposite side.

그리고 상기 쐐기부(65)는 어느 정도의 탄성력을 가지는 부재로 이루어져 상기 제1 부재(41)의 밀착부(45) 내부로 삽입될 때 유연성으로 인하여 파손이 방지될 수 있도록 이루어지는 것이 바람직하다. 또한, 상기 쐐기부(65)는 축과 나란한 방향으로 다수의 절개부(67)가 마련된다. In addition, the wedge 65 is preferably made of a member having a certain elastic force so that the breakage can be prevented due to flexibility when inserted into the close contact portion 45 of the first member (41). In addition, the wedge 65 is provided with a plurality of cutouts 67 in the direction parallel to the axis.

상기 절개부(67)는 상기 쐐기부(65)가 회전축(7)에 삽입되면서 회전축(7)의 외측 방향으로 용이하게 벌어져 쐐기 역할을 할 수 있도록 하는 것이다. 또한, 상기 쐐기부(65)는 자유단의 두께(T1)가 타단(걸림부 63 측 부분)의 두께(T2) 보다 조금 얇게 이루어지는 것이 바람직하다. 이러한 구조는 상기 쐐기부(65)가 상기 회전축(7)의 외주면에 밀착되는 상태에서 상기 제1 부재(41)의 밀착부(45) 내주면 사 이에 끼워질 때 용이하게 삽입될 수 있도록 하는 것이다.The cut portion 67 is to be easily opened in the outward direction of the rotary shaft 7 while the wedge 65 is inserted into the rotary shaft 7 to serve as a wedge. In addition, it is preferable that the thickness of the wedge 65 is made a little thinner than the thickness T2 of the other end (the catching part 63 side portion). This structure allows the wedge 65 to be easily inserted between the inner circumferential surface of the contact part 45 of the first member 41 while being in close contact with the outer circumferential surface of the rotation shaft 7.

한편, 상기 제2 부재(61)의 쐐기부(65)에는 상기 제1 부재(41)의 밀착부(45)에 제공된 회전 방지 돌출부(47)에 끼움 결합될 수 있는 회전 방지 홈(69)이 제공된다. 상기 회전 방지 홈(69)은 상기 회전 방지 돌출부(47)에 끼워져 축 방향으로 이탈되지 않도록 상기 회전 방지 돌출부(47)의 형상과 동일한 형상으로 이루어지며, 상기 회전 방지 돌출부(47)가 상기 회전 방지 홈(69)에 삽입된 후 축 방향으로 이탈되지 않도록 그 입구부가 탄성력에 의하여 복원되는 구조로 이루어지는 것이 바람직하다.On the other hand, the wedge portion 65 of the second member 61 is a rotation preventing groove 69 that can be fitted to the anti-rotation protrusion 47 provided on the contact portion 45 of the first member 41. Is provided. The anti-rotation groove 69 is formed in the same shape as the anti-rotation protrusion 47 so that the anti-rotation groove 69 is not deviated in the axial direction by being inserted into the anti-rotation protrusion 47, and the anti-rotation protrusion 47 prevents the rotation. After the insertion into the groove 69, it is preferable that the inlet portion is configured to be restored by the elastic force so as not to be separated in the axial direction.

또 한편으로, 본 발명에서는 상기 회전 방지 돌출부(47)가 상기 제1 부재(41)에 제공되고 상기 회전 방지 홈(69)이 상기 제2 부재(61)에 제공되는 예를 설명하였으나, 이에 한정되는 것은 아니며, 그 반대로 위치하여도 본 발명의 작용 및 효과는 동일하다. In addition, in the present invention, an example in which the anti-rotation protrusion 47 is provided to the first member 41 and the anti-rotation groove 69 is provided to the second member 61 has been described. The action and effect of the present invention are the same even if the position is reversed.

이와 같이 이루어지는 본 발명에서 상기 제1, 2 부재(41, 61)를 이용하여 이송롤러(21)를 회전축(7)에 고정하는 과정을 설명하면 다음과 같다.Referring to the process of fixing the feed roller 21 to the rotary shaft 7 by using the first and second members 41 and 61 in the present invention as described above are as follows.

우선, 회전축(7)의 외주에 상기 이송롤러(21)를 삽입한다. 그리고, 상기 제1 부재(41)를 상기 회전축(7)의 외주면 및 상기 이송롤러(21)의 내주면 사이에 삽입한다. 그러면 상기 제1 부재(41)는 상기 이송롤러(21)에 내주면에 억지 끼움 결합되어 고정된다. 이때 상기 제1 부재(41)는 걸림부(43)가 상기 이송롤러(21)의 일면에 밀착되는 위치까지 삽입한다.First, the feed roller 21 is inserted into the outer circumference of the rotation shaft 7. Then, the first member 41 is inserted between the outer circumferential surface of the rotary shaft 7 and the inner circumferential surface of the feed roller 21. Then, the first member 41 is fixedly coupled to the inner peripheral surface by the feed roller 21 is fixed. In this case, the first member 41 is inserted to a position where the engaging portion 43 is in close contact with one surface of the feed roller 21.

계속해서 상기 제2 부재(61)를 상기 제1 부재(41)의 밀착부(45)의 내주면과 상기 회전축(7) 사이로 삽입한다. 이때 상기 제2 부재(61)는 쐐기부(65)가 외측으로 벌어지면서 삽입되는 것이다. 상기 제2 부재(61)를 상기 제1 부재(41)의 밀착부(45) 내측으로 삽입할 때 상기 제2 부재(61)의 쐐기부(65)에 제공된 회전 방지 홈(69)이 상기 제1 부재(41)의 밀착부(45)에 제공된 표시부(49)에 일치하도록 위치를 맞추어서 삽입한다. 계속해서 상기 제2 부재(61)의 걸림부(63)가 상기 이송롤러(21)의 또 다른 면에 밀착될 때까지 삽입한다. 그러면 상기 제2 부재(61)의 회전 방지 홈(69)이 상기 제1 부재(41)의 걸림부(43)에 삽입되면서 상기 이송롤러(21)가 회전축(7)에 고정된다.  Subsequently, the second member 61 is inserted between the inner circumferential surface of the contact portion 45 of the first member 41 and the rotation shaft 7. In this case, the second member 61 is inserted while the wedge portion 65 opens outward. The anti-rotation groove 69 provided in the wedge portion 65 of the second member 61 when the second member 61 is inserted into the tight part 45 of the first member 41 is formed in the first member 41. 1 It inserts in alignment so that it may correspond with the display part 49 provided in the contact part 45 of the member 41. FIG. Subsequently, the engaging portion 63 of the second member 61 is inserted until it is in close contact with another surface of the feed roller 21. Then, the rotation preventing groove 69 of the second member 61 is inserted into the locking portion 43 of the first member 41 and the feed roller 21 is fixed to the rotation shaft 7.

그러면 상기 회전 방지 돌출부(47) 및 상기 회전 방지 홈(69)은 회전축이 회전하여도 상기 제1, 2 부재(41, 61)가 회전축(7)에 결합된 상태에서 축 방향으로 이탈되는 것을 방지할 수 있다.Then, the anti-rotation protrusion 47 and the anti-rotation groove 69 prevent the first and second members 41 and 61 from being separated in the axial direction even when the rotating shaft is rotated. can do.

따라서 본 발명은 간단한 구조를 통하여 이송롤러(21)를 회전축(7)에 용이하게 고정하는 구조를 제공함은 물론 오링(O-ring)이 삽입될 수 있는 공간을 제거하여 이송롤러의 두께를 줄일 수 있어 제작비용을 낮출 수 있음은 물론 조립 작업이 간단하여 작업 공수를 절감할 수 있는 이점이 있다.Therefore, the present invention provides a structure for easily fixing the feed roller 21 to the rotary shaft 7 through a simple structure, as well as eliminating a space into which an O-ring can be inserted, thereby reducing the thickness of the feed roller. As a result, the manufacturing cost can be lowered, and the assembly work is simpler, thereby reducing the labor cost.

도 5는 본 발명에 따른 또 다른 실시 예를 설명하기 위한 이송롤러 어셈블리의 분해 사시도로, 내주면에 걸림홈(22)이 축방향으로 형성된 이송롤러(21), 상기 이송롤러(21)에 끼움 결합되는 제1 부재(41), 그리고 상기 제1 부재에 끼움 결합되는 제2 부재(61)를 도시하고 있다.Figure 5 is an exploded perspective view of the transfer roller assembly for explaining another embodiment according to the present invention, the feed roller 21, the engaging groove 22 is formed in the axial direction on the inner circumferential surface, the fitting coupled to the feed roller 21 The first member 41 is shown, and the second member 61 is fitted to the first member.

본 발명의 또 다른 실시 예에서는 상술한 실시 예와 비교하여 다른 구성 및 작용만을 설명하고, 동일한 부분의 설명은 상술한 실시 예의 설명으로 대치한다.In another embodiment of the present invention, only different configurations and actions are described in comparison with the above-described embodiment, and description of the same parts is replaced with the description of the above-described embodiment.

상기 이송롤러(21)는 내주면에 회전축과 동일한 방향으로 하나 이상의 걸림홈(22)이 제공된다. The feed roller 21 is provided with one or more engaging grooves 22 in the same direction as the rotation axis on the inner peripheral surface.

그리고 상기 제1 부재(41)는 밀착부(45)의 외주면에 상기 걸림홈(22)에 끼워지는 걸림돌기(46)가 회전축(7) 방향으로 제공된다. 또한, 상기 제1 부재(41)는, 도 6 및 7에 도시하고 있는 바와 같이, 내주면에 원주 방향으로 걸림턱(48)이 제공된다. The first member 41 is provided with a locking projection 46 fitted in the locking groove 22 on the outer circumferential surface of the close contact portion 45 in the direction of the rotation shaft 7. 6 and 7, the locking jaw 48 is provided on the inner circumferential surface in the circumferential direction.

상기 제2 부재(61)는 쐐기부(65)에 상기 걸림턱(48)에 끼워져 회전축(7) 방향으로 분리되지 않고 결합 상태를 유지할 수 있는 걸림 돌출부(66)가 하나 이상 제공될 수 있다. 상기 걸림 돌출부(66)는 안정적인 결합을 위하여 2개 이상으로 이루어지는 것이 더욱 바람직하다. The second member 61 may be provided with one or more locking protrusions 66 which are fitted to the locking jaw 48 to the wedge portion 65 and are not separated in the direction of the rotational shaft 7 to maintain the engaged state. The locking protrusion 66 is more preferably made of two or more for stable coupling.

이와 같이 구성되는 실시 예는 회전축(7)에 상기 이송롤러(21)를 삽입하고, 제1 부재(41)가 상기 이송롤러(21)의 내주면에 끼워지도록 배치한다. 이때 상기 이송롤러(21)에 제공된 걸림홈(22)에 제1 부재(41)의 걸림돌기(46)가 끼워져 회전방향으로 서로 미끄럼이 발생되지 않도록 결합되는 것이다. In the embodiment configured as described above, the feed roller 21 is inserted into the rotation shaft 7, and the first member 41 is disposed to be fitted to the inner circumferential surface of the feed roller 21. At this time, the locking projections 46 of the first member 41 are fitted into the locking grooves 22 provided in the feed rollers 21 so as to be coupled to each other so as not to slip in the rotation direction.

계속해서 상기 제1 부재(41)의 내주면측으로 제2 부재(61)를 밀어 넣는다. 이때 상기 제2 부재(61)에 제공된 걸림 돌출부(66)가 상기 제1 부재(41)의 내주면에 제공된 걸림턱(48)에 끼워지면서 축방향으로 이탈이 방지되는 것이다(도 8의 조립 상태).Subsequently, the second member 61 is pushed toward the inner circumferential surface side of the first member 41. At this time, the locking projection 66 provided on the second member 61 is fitted to the locking jaw 48 provided on the inner circumferential surface of the first member 41, thereby preventing the separation in the axial direction (assembly state of FIG. 8). .

이러한 본 발명의 실시 예는 이송롤러(21)와 상기 제1 부재(41)가 회전 방향 으로 슬립이 발생하는 것을 방지하고, 제2 부재(61)가 제1 부재(41)에 삽입될 때 방향성을 갖지 않아도 되므로 상술한 실시 예에 비하여 조립이 더욱 편리한 이점이 있다. 따라서 본 발명의 또 다른 실시 예는 상술한 실시 예에 비하여 조립 작업이 편리하므로 작업 공수를 절감하여 생산성을 향상시킬 수 있는 또 다른 효과를 가질 수 있다.Such an embodiment of the present invention prevents slip from occurring in the rotational direction of the feed roller 21 and the first member 41, and when the second member 61 is inserted into the first member 41, the directionality is achieved. Since it does not have to have the advantage that the assembly is more convenient than the above-described embodiment. Therefore, another embodiment of the present invention may have another effect of improving the productivity by reducing the number of work because the assembly work is more convenient than the above-described embodiment.

이와 같이 본 발명은 이송롤러의 내주면을 별도로 가공할 필요가 없으며, 또한 이송롤러의 두께를 줄일 수 있고, 고가의 부품인 다수의 오링이 필요하지 않으면서 용이하게 회전축에 결합이 가능하여 생산비용을 줄일 수 있는 효과가 있다.Thus, the present invention does not need to separately process the inner circumferential surface of the feed roller, and also can reduce the thickness of the feed roller, and can be easily coupled to the rotating shaft without the need for a large number of O-rings, which are expensive components. There is an effect that can be reduced.

Claims (14)

회전축의 외주에 배치되는 이송롤러;A feed roller disposed on an outer circumference of the rotating shaft; 상기 이송롤러의 내경과 상기 회전축의 외주면 사이에 배치되는 제1 부재;A first member disposed between an inner diameter of the feed roller and an outer circumferential surface of the rotating shaft; 상기 제1부재의 내경과 상기 회전축의 외주면 사이에 끼움 결합되어 상기 이송롤러가 상기 회전축에 고정되도록 하는 제2 부재를 포함하며,And a second member fitted between the inner diameter of the first member and the outer circumferential surface of the rotating shaft to fix the feed roller to the rotating shaft. 상기 제1부재는 내주면에 하나 이상의 회전 방지 돌출부 또는 회전 방지홈이 제공되며, 상기 제2부재는 상기 회전 방지 돌출부 또는 상기 회전 방지홈에 대응되어 끼움 결합되는 회전 방지홈 또는 회전 방지 돌출부를 구비한 롤러 어셈블리.The first member is provided with one or more anti-rotation protrusions or anti-rotation grooves on the inner circumferential surface, and the second member has anti-rotation grooves or anti-rotation protrusions fitted to correspond to the anti-rotation protrusions or the anti-rotation grooves. Roller assembly. 제1항에 있어서, The method of claim 1, 상기 제2 부재는 상기 제1 부재와 상기 회전축 사이에 억지 끼움 결합되도록 테이퍼진 것을 특징으로 하는 롤러 어셈블리.And the second member is tapered to force-fit between the first member and the rotating shaft. 제2항에 있어서, The method of claim 2, 상기 제2 부재의 테이퍼 부분은 축 방향으로 다수의 절개부가 제공되는 롤러 어셈블리.The tapered portion of the second member is provided with a plurality of cutouts in the axial direction. 삭제delete 삭제delete 제1항에 있어서, The method of claim 1, 상기 제1 부재 또는 제2 부재에는 끼움 방지 돌출부와 끼움 방지 홈이 서로 끼움 결합되는 위치를 안내하는 표시부가 제공되는 롤러 어셈블리.The first member or the second member is provided with a display unit for guiding the position where the fitting preventing projection and the fitting preventing groove are fitted to each other. 기판 처리를 위한 작업공간을 제공하는 베스, 상기 베스에 설치되어 회전동력을 발생하는 구동원, 상기 작업공간에 위치되어 기판을 이송 및 지지하는 기판 이송을 위한 다수의 회전축, 상기 회전축들의 외주에 배치되는 다수의 이송롤러, 상기 이송롤러들의 내경과 상기 회전축의 외주면 사이에 배치되는 제1부재, 상기 제1 부재의 내경과 상기 회전축의 외주면 사이에 끼움 결합되어 상기 이송롤러가 상기 회전축에 고정되도록 하는 제2 부재를 포함하며,A vessel providing a work space for substrate processing, a drive source installed in the bath to generate a rotational power, a plurality of rotary shafts for transporting a substrate located in the workspace for transporting and supporting the substrate, disposed on the outer periphery of the rotating shafts A plurality of feed rollers, a first member disposed between the inner diameter of the feed rollers and the outer circumferential surface of the rotating shaft, and a combination between the inner diameter of the first member and the outer circumferential surface of the rotating shaft to fix the feed roller to the rotating shaft. 2 members, 상기 제1 부재는 내주면에 하나 이상의 회전 방지 돌출부 또는 회전 방지홈이 제공되며, 상기 제2 부재는 상기 회전 방지 돌출부 또는 상기 회전 방지홈에 대응되어 끼움 결합되는 회전 방지홈 또는 회전 방지 돌출부를 구비한 기판이송장치.The first member is provided with one or more anti-rotation protrusions or anti-rotation grooves on the inner circumferential surface, and the second member has anti-rotation grooves or anti-rotation protrusions fitted to correspond to the anti-rotation protrusions or the anti-rotation grooves. Substrate transfer device. 제7항에 있어서, 상기 제2 부재는 상기 제1 부재와 상기 회전축 사이에 억지 끼움 결합되도록 테이퍼진 것을 특징으로 하는 기판이송장치.8. The substrate transfer apparatus of claim 7, wherein the second member is tapered so as to be tightly coupled between the first member and the rotating shaft. 제8항에 있어서, 상기 제2 부재의 테이퍼 부분은 축 방향으로 다수의 절개부가 제공되는 기판이송장치.The substrate transfer apparatus of claim 8, wherein the tapered portion of the second member is provided with a plurality of cutouts in an axial direction. 삭제delete 삭제delete 제7항에 있어서, 상기 제1 부재 또는 제2 부재에는 끼움 방지 돌출부와 끼움 방지 홈이 서로 끼움 결합되는 위치를 안내하는 표시부가 제공되는 기판이송장치.The substrate transfer apparatus of claim 7, wherein the first member or the second member is provided with a display unit for guiding a position where the fitting preventing protrusion and the fitting preventing groove are fitted to each other. 회전축의 외주에 배치되며 축 방향으로 걸림홈이 형성된 이송롤러;A feed roller disposed on an outer circumference of the rotating shaft and having a locking groove formed in the axial direction; 상기 이송롤러의 걸림홈에 삽입될 수 있는 걸림돌기가 외주면에 제공되고, 상기 이송롤러의 내경과 상기 회전축의 외주면 사이에 배치되는 제1 부재;A first member provided on an outer circumferential surface thereof, the first protrusion being disposed on an outer circumferential surface of the feed roller and disposed between an inner diameter of the feed roller and an outer circumferential surface of the rotating shaft; 상기 제1부재의 내경과 상기 회전축의 외주면 사이에 끼움 결합되어 상기 이송롤러가 상기 회전축에 고정되도록 하는 제2 부재;A second member fitted between the inner diameter of the first member and the outer circumferential surface of the rotating shaft to fix the feed roller to the rotating shaft; 를 포함하는 롤러 어셈블리.Roller assembly comprising a. 제13항에 있어서, 상기 제1 부재는 내주면에 원주 방향으로 걸림턱이 형성되고, 상기 제2 부재는 상기 제1 부재의 걸림턱에 결합될 수 있도록 외주면에 걸림 돌출부가 제공되는 롤러 어셈블리.The roller assembly of claim 13, wherein the first member has a locking jaw formed in an circumferential direction on an inner circumferential surface thereof, and the second member is provided with a locking protrusion on an outer circumferential surface thereof so as to be coupled to the locking jaw of the first member.
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