JPH08261840A - 放射温度計の校正方法 - Google Patents
放射温度計の校正方法Info
- Publication number
- JPH08261840A JPH08261840A JP7091833A JP9183395A JPH08261840A JP H08261840 A JPH08261840 A JP H08261840A JP 7091833 A JP7091833 A JP 7091833A JP 9183395 A JP9183395 A JP 9183395A JP H08261840 A JPH08261840 A JP H08261840A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- calibration
- temperature
- radiation thermometer
- data
- host computer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Radiation Pyrometers (AREA)
Abstract
正することができる放射温度計の校正方法を提供するこ
と。 【構成】 校正対象である放射温度計1とデータの授受
を行うことができるホストコンピュータ14と、このホ
ストコンピュータ14とデータの授受を行うことができ
る標準の放熱体17,18を設け、前記放熱体17,1
8が熱を放射したときの温度を前記放射温度計側におい
てサンプリングして測定データを求め、この測定データ
に基づいて前記ホストコンピュータ14が校正に必要な
校正データを求め、この校正データを前記放射温度計1
のメモリ部10に与えるようにしている。
Description
る赤外光に基づいて対象物体の温度を測定するところの
放射温度計を校正する方法に関する。
−341903号公報に開示されるものがあるが、この
ような放射温度計を校正するのに、従来は、校正対象で
ある放射温度計が温度管理された黒体など標準の放熱体
の温度を測定し、そのときの測定値と前記放熱体の温度
との差が誤差許容範囲内に入るまでボリウムなどの調整
機構で調整するようにしていた。
は、マニュアル操作であり、その操作が煩わしく、人為
的なミスがなくならず、正確さに欠けるととともに、自
動化が困難であるため、同時に多くの放射温度計を校正
できないといった不都合がある。
たもので、同時に多くの放射温度計を簡単かつ正確に校
正することができる放射温度計の校正方法を提供するこ
とを目的としている。
め、この発明では、赤外センサに入力する赤外光に基づ
いて対象物体の温度を測定するところの放射温度計を校
正する方法において、前記放射温度計とデータの授受を
行うことができるホストコンピュータと、このホストコ
ンピュータとデータの授受を行うことができる標準の放
熱体を設け、前記放熱体が熱を放射したときの温度を前
記放射温度計側においてサンプリングして測定データを
求め、この測定データに基づいて前記ホストコンピュー
タが校正に必要な校正データを求め、この校正データを
前記放射温度計のメモリ部に与えるようにしている。
時閉じた状態で設け、このシャッタを開いたときに赤外
センサに入力する赤外光に基づいて対象物体の温度を測
定するところの放射温度計を校正する方法は、前記放射
温度計とデータの授受を行うことができるホストコンピ
ュータと、このホストコンピュータとデータの授受を行
うことができる標準の放熱体を設け、前記シャッタの温
度検出を行うシャッタ温度センサの校正を行った後、前
記放熱体が熱を放射したときの温度を前記放射温度計側
においてサンプリングして測定データを求め、この測定
データに基づいて前記ホストコンピュータが校正に必要
な校正データを求め、この校正データを前記放射温度計
メモリ部に与えるようにしている。
も、従来のボリウムなどを用いた機械的手法と異なり、
校正対象である放射温度計はホストコンピュータからの
校正データを内部にストックし、これに基づいて校正が
行われるので、同時に多くの放射温度計を簡単かつ正確
に校正することができ、自動化も可能となる。
説明する。図1は、この発明の放射温度計の校正方法を
説明するための図で、この図1において、1は校正対象
である放射温度計(以下、被校正温度計という)であ
る。この被校正温度計1は、機構的構成としては例えば
前記公報に開示されたものと同様であるが、その構成を
図2および図3に基づいて簡単に説明する。
本体ケースで、その内部には例えばデュアルタイプの焦
電素子3a,3bよりなる赤外センサ3が設けられてい
る。4は本体ケース2に連設されるレンズホルダで、そ
の先端側には集光用レンズ5が着脱自在に設けられてい
る。6はレンズ5と赤外センサ3との間に設けられるシ
ャッタ、7はシャッタ6の近傍に設けられ、シャッタ6
の温度を検出するためのシャッタ温度センサで、例えば
サーミスタからなる。8はシャッタ温度校正用センサ1
9(後述する)を挿入するための挿入孔である。
り、起動信号が入力されたとき、その可動部が直線的に
往復動作するものが好ましく、そのようなシャッタとし
て、本願出願人が平成4年6月25日付けにて特許出願
している「電磁波断続装置」(特開平6−11655号
公報参照)があるので、ここでは簡単な説明にとどめて
おく。すなわち、前記シャッタ8は二つの自己保持ソレ
ノイド6A,6Bと、板状部材に複数の開口6cを形成
した可動体6Cとからなり、自己保持ソレノイド6A,
6Bに適宜の制御信号を入力することにより、可動体6
Cを図2において矢印XY方向に移動させるものであ
る。
内蔵されるマイクロコンピュータなどの演算制御部で、
被校正温度計1の各部を制御するとともに、前記赤外セ
ンサ3やシャッタ温度センサ7からの検出出力に基づい
て適宜演算を行う。10は被校正温度計1に設けられる
例えば不揮発性のメモリからなるメモリ部である。ま
た、11,12はアンプである。そして、13は信号入
出力部で、ホストコンピュータ14とデータの授受を行
なえる機能を備えている。
部15および信号入出力部16を備え、前記被校正温度
計1および標準の第1放熱体17、第2放熱体18(い
ずれも後述する)とデータの授受を行うとともに、シャ
ッタ温度校正用センサ19からのデータが入力される。
と光学的に結ばれた位置に設けられている。そして、こ
れらの放熱体17,18は、それぞれ、黒体よりなる放
熱体本体17a,18a、温調器17b,18bを備え
るとともに、信号入出力部17c,18cを有してい
る。
16と17c、16と18c、16とシャッタ温度校正
用センサ19との接続は、例えば、コンタクトピンによ
って行われる。
おいて、被校正温度計1の校正を行う手順について説明
する。この実施例における被校正温度計1の校正は、
(I)シャッタ温度センサ7の校正と(II)赤外センサ
3の校正とからなる。
手順について説明する。
格納されているシャッタ温度校正用データをリセットす
る。
ッタ温度校正用センサ19を挿入する。
ンプリングする。
温度をサンプリングする。
シャッタ温度センサ7の校正に必要な値(校正用デー
タ)を求める。
ータの形で被校正温度計1のメモリ部10に格納する。
度と、シャッタ温度校正用センサ19の温度をサンプリ
ングし、前記校正用データと比較して、校正の結果を確
認する。
校正用センサ19を抜き取る。
いて説明する。
格納されている赤外センサ校正用データをリセットす
る。
所定の温度になるように温度管理された第1放熱体17
の温度を被校正温度計1によって測定する。
て、前記測定時における第1放熱体17の温度と被校正
温度計1による測定結果との差(誤差)を計算し、これ
に基づいて赤外センサ3の校正に必要な値(校正用デー
タ)を求める。
ータの形で被校正温度計1のメモリ部10に格納する。
前記第1放熱体17の温度と異なる温度になるように温
度管理された第2放熱体18の温度を被校正温度計1に
よって測定する。
て、前記測定時における第2放熱体18の温度と被校正
温度計1による測定結果との差(誤差)を計算し、この
誤差が許容範囲内であるか否かを確認する。
7の校正を行った後、(II)赤外センサ3の校正を行う
ことにより、被校正温度計1の校正が完了する。
は、測定結果を被校正温度計1において演算するのでは
なく、ホストコンピュータ14において演算を行い、校
正用データを求め、この校正用データをディジタルデー
タとして被校正温度計1のメモリ部10に格納している
ので、被校正温度計1における負担が軽減される。
ては、 機械的接触を行うものではなく、電気的信号のみで
行うので、経時的な変化を伴うことがない。 振動、温度、湿度など外的ノイズの影響を受けるこ
とがなく、上記とあいまって、精度の高い校正を行う
ことができる。 校正用データの保存や管理が行なえる。 ボリウムを操作するためのメカニカルな部分がない
ので、メンテナンスが容易である。 自動化が容易であるとともに、高速処理を行なえ
る。 といった優れた効果を奏する。
正温度計1側への情報伝達を電気的通信のみで行うよう
にしているので、低コストで通信モジュールを増設する
ことができるとともに、これらを増やすことにより、1
台のホストコンピュータ14によって複数の被校正温度
計1を同時に校正することができ、校正能率が大いに向
上する。
ピュータ14と、被校正温度計1や放熱体17,18な
どとの接続をコンタクトピンで行うようにした場合、そ
の接続・分離の操作性が向上するとともに、被校正温度
計1においては、電源立上がり時にコンタクトピンが接
続されているか否かを判断することができ、接続されて
いる場合には校正モードに自動的に入ることができると
いった利点もある。
1が赤外センサ3の前面にシャッタ6を常時閉じた状態
で設けた放射温度計であったが、この発明はこのような
放射温度計のみに限らず、シャッタ6を備えてない放射
温度計にも適用することができる。すなわち、シャッタ
6を備えてない放射温度計においては、シャッタ温度セ
ンサ7も設けられてないので、その校正を行う必要がな
い。したがって、前記校正手順のうち、(II)赤外セン
サ3の校正のみを、上記(21)〜(26)に示した手
順に従って行えばよい。このような校正方法によって
も、上記実施例と同様の効果が得られることはいうまで
もない。
のではなく、ホストコンピュータ14と被校正温度計1
などとの情報伝達を無線によって行うようにしてもよ
い。
ば、放射温度計を簡単かつ正確に校正することができる
とともに、同時に多くの放射温度計の校正を行うことが
できる。そして、この発明によれば、放射温度計の校正
の自動化および高速化が大いに促進される。
す図である。
示す斜視図である。
シャッタ温度センサ、10…メモリ部、14…ホストコ
ンピュータ、17,18…放熱体。
Claims (2)
- 【請求項1】 赤外センサに入力する赤外光に基づいて
対象物体の温度を測定するところの放射温度計を校正す
る方法において、前記放射温度計とデータの授受を行う
ことができるホストコンピュータと、このホストコンピ
ュータとデータの授受を行うことができる標準の放熱体
を設け、前記放熱体が熱を放射したときの温度を前記放
射温度計側においてサンプリングして測定データを求
め、この測定データに基づいて前記ホストコンピュータ
が校正に必要な校正データを求め、この校正データを前
記放射温度計のメモリ部に与えるようにしたことを特徴
とする放射温度計の校正方法。 - 【請求項2】 赤外センサの前面にシャッタを常時閉じ
た状態で設け、このシャッタを開いたときに赤外センサ
に入力する赤外光に基づいて対象物体の温度を測定する
ところの放射温度計を校正する方法において、前記放射
温度計とデータの授受を行うことができるホストコンピ
ュータと、このホストコンピュータとデータの授受を行
うことができる標準の放熱体を設け、前記シャッタの温
度検出を行うシャッタ温度センサの校正を行った後、前
記放熱体が熱を放射したときの温度を前記放射温度計側
においてサンプリングして測定データを求め、この測定
データに基づいて前記ホストコンピュータが校正に必要
な校正データを求め、この校正データを前記放射温度計
メモリ部に与えるようにしたことを特徴とする放射温度
計の校正方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP09183395A JP3507578B2 (ja) | 1995-03-25 | 1995-03-25 | 放射温度計の校正方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP09183395A JP3507578B2 (ja) | 1995-03-25 | 1995-03-25 | 放射温度計の校正方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH08261840A true JPH08261840A (ja) | 1996-10-11 |
JP3507578B2 JP3507578B2 (ja) | 2004-03-15 |
Family
ID=14037606
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP09183395A Expired - Fee Related JP3507578B2 (ja) | 1995-03-25 | 1995-03-25 | 放射温度計の校正方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3507578B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1999015866A1 (fr) * | 1997-09-22 | 1999-04-01 | Citizen Watch Co., Ltd. | Thermometre de mesure du rayonnement et procede de reglage |
KR101389004B1 (ko) * | 2013-03-19 | 2014-04-24 | 에이피시스템 주식회사 | 온도 검출 장치 및 온도 검출 방법 및 기판 처리 장치 |
-
1995
- 1995-03-25 JP JP09183395A patent/JP3507578B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1999015866A1 (fr) * | 1997-09-22 | 1999-04-01 | Citizen Watch Co., Ltd. | Thermometre de mesure du rayonnement et procede de reglage |
US6203193B1 (en) * | 1997-09-22 | 2001-03-20 | Citizen Watch Co. Ltd. | Radiation thermometer and method for adjusting the same |
KR101389004B1 (ko) * | 2013-03-19 | 2014-04-24 | 에이피시스템 주식회사 | 온도 검출 장치 및 온도 검출 방법 및 기판 처리 장치 |
US20140284316A1 (en) * | 2013-03-19 | 2014-09-25 | Ap Systems Inc. | Apparatus and method of detecting temperature and apparatus for processing substrate |
US9470581B2 (en) | 2013-03-19 | 2016-10-18 | Ap Systems Inc. | Apparatus and method of detecting temperature and apparatus for processing substrate |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP3507578B2 (ja) | 2004-03-15 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
RU2118116C1 (ru) | Термометр для измерения температуры тела и способ измерения температуры тела пациента (варианты) | |
JPH0741026B2 (ja) | 体温計 | |
US8366315B2 (en) | Open-loop vertical drywell gradient correction system and method | |
US7036978B2 (en) | Pyrometer | |
US6751497B2 (en) | Infrared thermometer | |
EP1857797B1 (en) | Radiation thermometer calibration | |
US6155712A (en) | Radiation clinical thermometer | |
US10816404B2 (en) | Method for determining a temperature without contact, and infrared measuring system | |
KR100539205B1 (ko) | 방사 체온계용의 탐침 팁 | |
TW440686B (en) | Method for determining a temperature and radiation thermometer with multiple infrared sensor elements | |
JP2603004B2 (ja) | 温度測定装置及び温度信号の提供方法 | |
US20030169802A1 (en) | Method of stabilizing an infrared clinical thermometer and the apparatus thereof | |
US20040057494A1 (en) | Ear thermometer with improved temperature coefficient and method of calibration thereof | |
JP3507578B2 (ja) | 放射温度計の校正方法 | |
JP2001004451A (ja) | 放射温度計 | |
US20190154510A1 (en) | Method for Determining a Temperature without Contact and Infrared Measuring System | |
US10605677B2 (en) | Method for calibrating a temperature control in thermal analyses of samples | |
JPH0235322A (ja) | 放射体温計 | |
CN210487079U (zh) | 红外温度传感器及包括其的探头、红外体温计 | |
KR100500632B1 (ko) | 인서키트테스트시스템의 적외선카메라 데이터보정방법 | |
JPS633231A (ja) | 放射温度計 | |
JPH03251729A (ja) | 検温装置 | |
CN112113664A (zh) | 红外温度传感器及包括其的探头、红外体温计 | |
JP3619356B2 (ja) | データ書き込みシステム | |
CN115574980B (zh) | 温度校准方法及电子设备 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20031216 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20031219 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091226 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121226 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121226 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121226 Year of fee payment: 9 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |