JPH08254530A - セラミックス部材の非破壊による寿命推定法及び寿命推定システム - Google Patents
セラミックス部材の非破壊による寿命推定法及び寿命推定システムInfo
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- JPH08254530A JPH08254530A JP7330669A JP33066995A JPH08254530A JP H08254530 A JPH08254530 A JP H08254530A JP 7330669 A JP7330669 A JP 7330669A JP 33066995 A JP33066995 A JP 33066995A JP H08254530 A JPH08254530 A JP H08254530A
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Classifications
-
- G—PHYSICS
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-
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Abstract
(57)【要約】
【課題】少なくとも表面層がセラミックスからなるセラ
ミックス部材の簡単な非破壊検査により、寿命を短時間
で予測できる方法の提供。 【解決手段】セラミックス部材の物理量を測定したり、
色を観察することにより、該セラミックス部材の寿命を
予測することを特徴とするセラミックス部材の寿命推定
法。 【効果】被検査物を破壊せずに物理量を測定、または色
を観察することによる検査のため、短時間で容易に被検
査物の寿命を推定できる。
ミックス部材の簡単な非破壊検査により、寿命を短時間
で予測できる方法の提供。 【解決手段】セラミックス部材の物理量を測定したり、
色を観察することにより、該セラミックス部材の寿命を
予測することを特徴とするセラミックス部材の寿命推定
法。 【効果】被検査物を破壊せずに物理量を測定、または色
を観察することによる検査のため、短時間で容易に被検
査物の寿命を推定できる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ガスタービンの
静，動翼，燃焼器の部材，核融合炉壁材の耐熱コーティ
ング層として溶射されたセラミックスや、宇宙往還機の
タイル材を非破壊的に検査し、該セラミックス部材の寿
命予測をすることに関するものである。
静，動翼，燃焼器の部材，核融合炉壁材の耐熱コーティ
ング層として溶射されたセラミックスや、宇宙往還機の
タイル材を非破壊的に検査し、該セラミックス部材の寿
命予測をすることに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】発電効率を向上するために、ガスタービ
ンの使用温度の高温化が検討されている。高温化に伴い
ガスタービン部材の高耐熱性が要求されており、セラミ
ックス溶射膜がガスタービン部材の断熱層として利用さ
れている。
ンの使用温度の高温化が検討されている。高温化に伴い
ガスタービン部材の高耐熱性が要求されており、セラミ
ックス溶射膜がガスタービン部材の断熱層として利用さ
れている。
【０００３】例えばガスタービン翼の余寿命を検査する
際、コストダウンはもちろんのこと、ガスタービンの運
転を中断する時間をできるだけ短縮することが望まれ
る。金属材料の耐酸化コーティングの劣化に関しては、
超音波を用いた手法などが提案されている。しかしなが
らセラミックス等のコーティング材料に関しては満足な
劣化推定法がなく、従来ではガスタービン翼の余寿命を
検査するために翼の一部を検査用のサンプルとして破壊
し、セラミックスを溶射している基板材である耐熱金属
の破断面の粒成長を直接観察することによりタービン翼
の余寿命を予測していた。タービン翼全体の寿命を数枚
の試験片から推測するため、特定短命の翼を検知するこ
とはできない。また試験片を取り出すためには一旦ター
ビンを分解しなければならず、検査のコストが高くな
り、その頻度を下げる原因となっていた。
際、コストダウンはもちろんのこと、ガスタービンの運
転を中断する時間をできるだけ短縮することが望まれ
る。金属材料の耐酸化コーティングの劣化に関しては、
超音波を用いた手法などが提案されている。しかしなが
らセラミックス等のコーティング材料に関しては満足な
劣化推定法がなく、従来ではガスタービン翼の余寿命を
検査するために翼の一部を検査用のサンプルとして破壊
し、セラミックスを溶射している基板材である耐熱金属
の破断面の粒成長を直接観察することによりタービン翼
の余寿命を予測していた。タービン翼全体の寿命を数枚
の試験片から推測するため、特定短命の翼を検知するこ
とはできない。また試験片を取り出すためには一旦ター
ビンを分解しなければならず、検査のコストが高くな
り、その頻度を下げる原因となっていた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記の方法において
は、例えばタービン翼をはじめとするセラミックス製部
品を定期的に検査する際、その都度部品の一部を破壊し
なければならず、また検査終了までの時間、手間ともに
かかっていた。他方タービン翼にコーティングしたセラ
ミックスの剥離に関する問題も深刻でありながら、剥離
に至る余寿命の予測の手段は確立されていなかった。更
には、将来セラミックス製タービン翼が実用化された場
合に、上記の検査方法は適用できない。
は、例えばタービン翼をはじめとするセラミックス製部
品を定期的に検査する際、その都度部品の一部を破壊し
なければならず、また検査終了までの時間、手間ともに
かかっていた。他方タービン翼にコーティングしたセラ
ミックスの剥離に関する問題も深刻でありながら、剥離
に至る余寿命の予測の手段は確立されていなかった。更
には、将来セラミックス製タービン翼が実用化された場
合に、上記の検査方法は適用できない。
【０００５】本発明の目的は、上記のようなセラミック
ス部材の寿命予測に関する問題点を解決するもので、セ
ラミックス部材の簡単な比破壊検査により、セラミック
ス部材の寿命を短時間で予測できる方法、及び大型プラ
ント等に使用されているセラミックス部材の寿命を簡単
に検査するシステムの提供を目的とする。
ス部材の寿命予測に関する問題点を解決するもので、セ
ラミックス部材の簡単な比破壊検査により、セラミック
ス部材の寿命を短時間で予測できる方法、及び大型プラ
ント等に使用されているセラミックス部材の寿命を簡単
に検査するシステムの提供を目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、セラミックス
部材のセラミックス粒子の成長、または外部元素の該セ
ラミックスへの拡散により変化する該部材の物理量を測
定することにより寿命を推定する。
部材のセラミックス粒子の成長、または外部元素の該セ
ラミックスへの拡散により変化する該部材の物理量を測
定することにより寿命を推定する。
【０００７】ＡｌＮ，Ａｌ2Ｏ3，Ａｌ6Ｓｉ2Ｏ13，Ｂ4
Ｃ，Ｂｉ2Ｏ3，ＢＮ，ＢａＴｉＯ3，ＣｒＣ，Ｃｒ
3Ｃ2，Ｃｒ2Ｏ3，ＣｒＯ2，ＣｏＯ，Ｆｅ3Ｏ4，Ｍｎ
Ｏ，ＭｇＯ，ＮｉＯ，Ｓｉ3Ｎ4，ＳｉＣ，ＳｉＡｌＯ
Ｎ，ＳｎＯ2，ＴｉＢ2，ＴｉＮ，ＴｉＣ，ＴｉＯ2 ，Ｔ
ｉ2Ｏ5，Ｔｉ2Ｏ3，ＺｒＢ2，ＺｒＯ2，ＺｒＳｉＯ4 の
少なくとも１つからなるセラミックス部材は熱的履歴に
応じて劣化し、亀裂などが生じる。基板材に被覆されて
いるようなセラミックス被覆層の場合、該被覆層は熱的
履歴に応じて剥離に至る。他方、該セラミックスの粒成
長、または該セラミックスへの外部元素の拡散に伴い変
化する物理量もまた熱的履歴に対応している。熱的履歴
に対応した物理量と該セラミックス部材の寿命の関係を
あらかじめ求めておくことによって、該セラミックス部
材の物理量の測定により寿命が予測できる。セラミック
ス部材を発色させておけば、粒成長により色が変化する
ため、寿命を予測できる。該セラミックス部材がＺｒＯ
2 の場合にはＶ，Ｉｎ，Ｙ＋Ｖのいずれかの添加により
セラミックス粒子を黄色に発色することができ、ＺｒＳ
iＯ4の場合にはＣｏ＋Ｎｉにより灰色、ＣｄＳまたはＰ
ｒにより黄色，Ｆｅによりピンク，Ｖにより青にでき、
ＳｎＯ2 の場合にはＶまたはＴｉにより黄色に、Ｓｂに
より灰色に、Ｃｒによりピンクにでき、ＴｉＯ2 の場合
にはＣｒ＋ＳｂまたはＷ＋Ｓｂにより黄色に、α−Ａｌ
2Ｏ3の場合にはＭｎまたはＰによりピンクに、Ｃｒによ
り緑に、高純度ＳｉＣの場合はＮ＋Ｐにより緑に、Ｂ＋
Ａｌにより青にできる。発色させた該セラミックス部材
の色は、発色セラミックス粒子の粒径によって変化する
ため、該セラミックス部材の粒成長に応じて色が変化
し、寿命がおおまかに予測できる。ここで上記色名をＪ
ＩＳ Ｚ ８７２１に基づき定義すると、黄色はＨ＝１
０ＹＲ，２.５Ｙ，５Ｙ，７.５Ｙ，１０Ｙ，Ｖ＝３から
８，Ｃ＝１から１６のいずれかのＨ，Ｖ，Ｃの組合せで
表される色を、青色はＨ＝１０ＢＧ，２.５Ｂ，５Ｂ，
７.５Ｂ，１０Ｂ，Ｖ＝３から８，Ｃ＝１から１６のい
ずれかのＨ，Ｖ，Ｃの組合せで表される色を、緑色はＨ
＝１０ＧＹ，２.５Ｇ,５Ｇ，７.５Ｇ ，１０Ｇ，Ｖ＝３
から８，Ｃ＝１から１６のいずれかのＨ，Ｖ，Ｃの組合
せで表される色を、ピンクはＨ＝５Ｒ，２.５Ｒ，１０
ＲＰ，７.５ＲＰ，５ＲＰ，Ｖ＝３から８，Ｃ＝１から
１６のいずれかのＨ，Ｖ，Ｃの組合せで表される色を、
灰色はＮ３，Ｎ５，Ｎ７のいずれかで表される色を示
す。
Ｃ，Ｂｉ2Ｏ3，ＢＮ，ＢａＴｉＯ3，ＣｒＣ，Ｃｒ
3Ｃ2，Ｃｒ2Ｏ3，ＣｒＯ2，ＣｏＯ，Ｆｅ3Ｏ4，Ｍｎ
Ｏ，ＭｇＯ，ＮｉＯ，Ｓｉ3Ｎ4，ＳｉＣ，ＳｉＡｌＯ
Ｎ，ＳｎＯ2，ＴｉＢ2，ＴｉＮ，ＴｉＣ，ＴｉＯ2 ，Ｔ
ｉ2Ｏ5，Ｔｉ2Ｏ3，ＺｒＢ2，ＺｒＯ2，ＺｒＳｉＯ4 の
少なくとも１つからなるセラミックス部材は熱的履歴に
応じて劣化し、亀裂などが生じる。基板材に被覆されて
いるようなセラミックス被覆層の場合、該被覆層は熱的
履歴に応じて剥離に至る。他方、該セラミックスの粒成
長、または該セラミックスへの外部元素の拡散に伴い変
化する物理量もまた熱的履歴に対応している。熱的履歴
に対応した物理量と該セラミックス部材の寿命の関係を
あらかじめ求めておくことによって、該セラミックス部
材の物理量の測定により寿命が予測できる。セラミック
ス部材を発色させておけば、粒成長により色が変化する
ため、寿命を予測できる。該セラミックス部材がＺｒＯ
2 の場合にはＶ，Ｉｎ，Ｙ＋Ｖのいずれかの添加により
セラミックス粒子を黄色に発色することができ、ＺｒＳ
iＯ4の場合にはＣｏ＋Ｎｉにより灰色、ＣｄＳまたはＰ
ｒにより黄色，Ｆｅによりピンク，Ｖにより青にでき、
ＳｎＯ2 の場合にはＶまたはＴｉにより黄色に、Ｓｂに
より灰色に、Ｃｒによりピンクにでき、ＴｉＯ2 の場合
にはＣｒ＋ＳｂまたはＷ＋Ｓｂにより黄色に、α−Ａｌ
2Ｏ3の場合にはＭｎまたはＰによりピンクに、Ｃｒによ
り緑に、高純度ＳｉＣの場合はＮ＋Ｐにより緑に、Ｂ＋
Ａｌにより青にできる。発色させた該セラミックス部材
の色は、発色セラミックス粒子の粒径によって変化する
ため、該セラミックス部材の粒成長に応じて色が変化
し、寿命がおおまかに予測できる。ここで上記色名をＪ
ＩＳ Ｚ ８７２１に基づき定義すると、黄色はＨ＝１
０ＹＲ，２.５Ｙ，５Ｙ，７.５Ｙ，１０Ｙ，Ｖ＝３から
８，Ｃ＝１から１６のいずれかのＨ，Ｖ，Ｃの組合せで
表される色を、青色はＨ＝１０ＢＧ，２.５Ｂ，５Ｂ，
７.５Ｂ，１０Ｂ，Ｖ＝３から８，Ｃ＝１から１６のい
ずれかのＨ，Ｖ，Ｃの組合せで表される色を、緑色はＨ
＝１０ＧＹ，２.５Ｇ,５Ｇ，７.５Ｇ ，１０Ｇ，Ｖ＝３
から８，Ｃ＝１から１６のいずれかのＨ，Ｖ，Ｃの組合
せで表される色を、ピンクはＨ＝５Ｒ，２.５Ｒ，１０
ＲＰ，７.５ＲＰ，５ＲＰ，Ｖ＝３から８，Ｃ＝１から
１６のいずれかのＨ，Ｖ，Ｃの組合せで表される色を、
灰色はＮ３，Ｎ５，Ｎ７のいずれかで表される色を示
す。
【０００８】また上記のセラミックスに対応した発色元
素を含む化合物を該セラミックス部材の少なくとも一部
に添加または塗布しておけば、熱的履歴に応じて該発色
元素がセラミックス中に拡散していき、固溶、または反
応してセラミックスが発色するため、寿命がおおまかに
予測できる。また上記のセラミックスに対応した２種類
以上の発色元素を含む化合物を添加または多重に塗布し
ておけば、熱的履歴に応じて該発色元素がそれぞれの拡
散速度でセラミックス中に固溶または反応することによ
り、セラミックスの色が使用時間に応じて変化するため
寿命がおおまかに予測できる。
素を含む化合物を該セラミックス部材の少なくとも一部
に添加または塗布しておけば、熱的履歴に応じて該発色
元素がセラミックス中に拡散していき、固溶、または反
応してセラミックスが発色するため、寿命がおおまかに
予測できる。また上記のセラミックスに対応した２種類
以上の発色元素を含む化合物を添加または多重に塗布し
ておけば、熱的履歴に応じて該発色元素がそれぞれの拡
散速度でセラミックス中に固溶または反応することによ
り、セラミックスの色が使用時間に応じて変化するため
寿命がおおまかに予測できる。
【０００９】絶縁体でないセラミックス部材は熱的履歴
に応じたセラミックス粒子の成長、外部元素の該部材内
への拡散のため、電気伝導度もまた熱的履歴に応じて変
化する。従ってＮｉＯ，ＣｏＯ，Ｆｅ3Ｏ4，ＭｎＯ，Ｂ
ｉ2Ｏ3，Ｃｒ2Ｏ3，ＣｒＯ2,ＡｌＮ，Ａｌ2Ｏ3，Ｃｒ3
Ｃ2，ＢａＴｉＯ3，Ｔｉ2Ｏ5，Ｔｉ2Ｏ3，ＳｎＯ2，Ｚ
ｒＯ2 の少なくとも１つからなるセラミックス部材の電
気伝導度を測定することにより、寿命の予測ができる。
に応じたセラミックス粒子の成長、外部元素の該部材内
への拡散のため、電気伝導度もまた熱的履歴に応じて変
化する。従ってＮｉＯ，ＣｏＯ，Ｆｅ3Ｏ4，ＭｎＯ，Ｂ
ｉ2Ｏ3，Ｃｒ2Ｏ3，ＣｒＯ2,ＡｌＮ，Ａｌ2Ｏ3，Ｃｒ3
Ｃ2，ＢａＴｉＯ3，Ｔｉ2Ｏ5，Ｔｉ2Ｏ3，ＳｎＯ2，Ｚ
ｒＯ2 の少なくとも１つからなるセラミックス部材の電
気伝導度を測定することにより、寿命の予測ができる。
【００１０】セラミックス部材は熱的履歴に応じたセラ
ミックス粒子の成長、外部元素の該部材内への拡散のた
め、ヤング率もまた熱的履歴に応じて変化する。従って
Ｓｉ3Ｎ4，ＳｉＣ，ＭｇＯ，ＺｒＢ2，ＳｉＡｌＯＮ，
ＴｉＢ2，ＴｉＮ，Ａｌ6Ｓｉ2Ｏ13，ＢＮ，ＡｌＮ，Ｔ
ｉＣ，ＣｒＣ，Ｃｒ3Ｃ2，Ｂ4Ｃ，ＺｒＯ2，Ａｌ2Ｏ3の
少なくとも１つからなるセラミックス部材のヤング率を
測定することにより、寿命の予測ができる。
ミックス粒子の成長、外部元素の該部材内への拡散のた
め、ヤング率もまた熱的履歴に応じて変化する。従って
Ｓｉ3Ｎ4，ＳｉＣ，ＭｇＯ，ＺｒＢ2，ＳｉＡｌＯＮ，
ＴｉＢ2，ＴｉＮ，Ａｌ6Ｓｉ2Ｏ13，ＢＮ，ＡｌＮ，Ｔ
ｉＣ，ＣｒＣ，Ｃｒ3Ｃ2，Ｂ4Ｃ，ＺｒＯ2，Ａｌ2Ｏ3の
少なくとも１つからなるセラミックス部材のヤング率を
測定することにより、寿命の予測ができる。
【００１１】本発明はセラミックス部材の物理量を測定
するか、または色を観察することにより、試料を破壊せ
ず、しかも時間と手間をとらずに部材の寿命を予測でき
る方法及び、大型プラントに用いられているセラミック
ス部材の寿命予測システムを提供するものである。物理
量として適当なものは、粒径，電気伝導度，ヤング率，
気孔率が挙げられる。
するか、または色を観察することにより、試料を破壊せ
ず、しかも時間と手間をとらずに部材の寿命を予測でき
る方法及び、大型プラントに用いられているセラミック
ス部材の寿命予測システムを提供するものである。物理
量として適当なものは、粒径，電気伝導度，ヤング率，
気孔率が挙げられる。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下、本発明のセラミックス部材
の寿命推定法を実施例に基づき説明する。なお、寿命推
測のために測定する物理量により、適用できるセラミッ
クスが限定されるので、それぞれについて説明する。
の寿命推定法を実施例に基づき説明する。なお、寿命推
測のために測定する物理量により、適用できるセラミッ
クスが限定されるので、それぞれについて説明する。
【００１３】〔実施例１〕セラミックスを溶射膜として
使用する場合の基材として、直径５０mm，厚さ１０mmの
Ｎｉ基合金であるハステロイ−Ｘ(２２重量％Ｃｒ−１.
５重量％Ｃｏ−９重量％Ｍｏ−１９重量％Ｆｅ−０.１
重量％Ｃ−残部Ｎｉ)を用い、その表面を脱脂洗浄後、
耐食性に優れた結合層CoNiCrAlY 合金（ＭＣｒＡｌＹ）
をプラズマ溶射により２０μｍ被覆した。プラズマ溶射
は、２００Torrの減圧下，Ａｒ雰囲気中，酸素分圧１０
-3気圧，出力４０ｋＷで行った。次にその表面にＺｒＯ
2(８重量％Ｙ2Ｏ3）の被覆層を５０μｍ形成した。溶射
条件は出力５０ｋＷ、大気中である。その後１０６０
℃，１０時間の真空中加熱処理を行い、結合層と基材と
の拡散処理を行った。試料の模式図を図１に示す。
使用する場合の基材として、直径５０mm，厚さ１０mmの
Ｎｉ基合金であるハステロイ−Ｘ(２２重量％Ｃｒ−１.
５重量％Ｃｏ−９重量％Ｍｏ−１９重量％Ｆｅ−０.１
重量％Ｃ−残部Ｎｉ)を用い、その表面を脱脂洗浄後、
耐食性に優れた結合層CoNiCrAlY 合金（ＭＣｒＡｌＹ）
をプラズマ溶射により２０μｍ被覆した。プラズマ溶射
は、２００Torrの減圧下，Ａｒ雰囲気中，酸素分圧１０
-3気圧，出力４０ｋＷで行った。次にその表面にＺｒＯ
2(８重量％Ｙ2Ｏ3）の被覆層を５０μｍ形成した。溶射
条件は出力５０ｋＷ、大気中である。その後１０６０
℃，１０時間の真空中加熱処理を行い、結合層と基材と
の拡散処理を行った。試料の模式図を図１に示す。
【００１４】本発明の効果を確認するため、上記のよう
に作製した試料を大気中１５００℃で長時間保持し、粒
成長と時間の関係を求めた。ＺｒＯ2 溶射膜の平均粒径
と保持時間の関係は図２に示すようになっている。溶射
直後の試料はセラミックス粒子が細かく気孔も多いが、
保持時間の経過に伴い粒は成長し、気孔が減少してい
く。気孔率の減少は溶射膜の熱応力の緩和能力の減退に
つながるため、10000 時間保持後のＺｒＯ2 溶射膜は、
亀裂が生じて剥離しているものもあれば、少しの衝撃で
容易に剥離するものもあった。このように粒径と保持時
間は対応している。図３及び図４は粒成長前後の該溶射
膜の組織を示す模式図である。
に作製した試料を大気中１５００℃で長時間保持し、粒
成長と時間の関係を求めた。ＺｒＯ2 溶射膜の平均粒径
と保持時間の関係は図２に示すようになっている。溶射
直後の試料はセラミックス粒子が細かく気孔も多いが、
保持時間の経過に伴い粒は成長し、気孔が減少してい
く。気孔率の減少は溶射膜の熱応力の緩和能力の減退に
つながるため、10000 時間保持後のＺｒＯ2 溶射膜は、
亀裂が生じて剥離しているものもあれば、少しの衝撃で
容易に剥離するものもあった。このように粒径と保持時
間は対応している。図３及び図４は粒成長前後の該溶射
膜の組織を示す模式図である。
【００１５】次に上記溶射膜の大気中１５００℃で保持
時間と電気伝導度の関係を求めた。測定は二端子法にて
行った。結果は図５に示すように、保持時間の経過に伴
い電気伝導度は増加している。初期の電気伝導度は０.
００４Ω-1cm-1 であったが、５０００時間保持後では
０.００７Ω-1cm-1 まで増加することが分かった。更に
１００００時間の保持では電気伝導度は０.０１Ω-1cm
-1 にまで上昇した。該溶射膜の電気伝導度は保持時間
に対応しており、従って粒径にも対応しているため、電
気伝導度の測定がセラミックス部材の寿命予測に有効で
あることは明らかである。その他の導電性酸化物材料に
対しても同様の実験を行った結果を表１に示す。セラミ
ックスは粉末成形体の焼結体を用いたが、それぞれのセ
ラミックスの焼結温度で保持した。各セラミックスの電
気伝導度の測定による寿命予測の可能性についてまとめ
ている。測定方法は試料の電気伝導機構及び電気伝導度
の値に応じて二端子法，三端子法，四端子法が使いわけ
られた。
時間と電気伝導度の関係を求めた。測定は二端子法にて
行った。結果は図５に示すように、保持時間の経過に伴
い電気伝導度は増加している。初期の電気伝導度は０.
００４Ω-1cm-1 であったが、５０００時間保持後では
０.００７Ω-1cm-1 まで増加することが分かった。更に
１００００時間の保持では電気伝導度は０.０１Ω-1cm
-1 にまで上昇した。該溶射膜の電気伝導度は保持時間
に対応しており、従って粒径にも対応しているため、電
気伝導度の測定がセラミックス部材の寿命予測に有効で
あることは明らかである。その他の導電性酸化物材料に
対しても同様の実験を行った結果を表１に示す。セラミ
ックスは粉末成形体の焼結体を用いたが、それぞれのセ
ラミックスの焼結温度で保持した。各セラミックスの電
気伝導度の測定による寿命予測の可能性についてまとめ
ている。測定方法は試料の電気伝導機構及び電気伝導度
の値に応じて二端子法，三端子法，四端子法が使いわけ
られた。
【００１６】
【表１】
【００１７】以上の実験結果を参考に、実際のタービン
翼にＺｒＯ2 をプラズマ溶射によりコーティングし、模
擬プラントにおいて試験運転をし、該溶射膜の電気伝導
度と運転時間の関係を調査した。タービン翼表面の断面
図を図６に、概観図を図７に示す。
翼にＺｒＯ2 をプラズマ溶射によりコーティングし、模
擬プラントにおいて試験運転をし、該溶射膜の電気伝導
度と運転時間の関係を調査した。タービン翼表面の断面
図を図６に、概観図を図７に示す。
【００１８】電気伝導度と時間の関係はおおむね上記試
料片の結果に一致しており、図８に示している。一部異
なった傾向になっているのは、ガスタービン翼は排ガス
を受けるため不純物の浸入や風圧による翼の劣化のため
と思われる。のべ８０００時間経過後の溶射膜は剥離が
認められた。
料片の結果に一致しており、図８に示している。一部異
なった傾向になっているのは、ガスタービン翼は排ガス
を受けるため不純物の浸入や風圧による翼の劣化のため
と思われる。のべ８０００時間経過後の溶射膜は剥離が
認められた。
【００１９】〔実施例２〕実施例１と同じＺｒＯ2 溶射
膜で同様の実験を行い、粒成長，時間とヤング率の関係
を測定した。ヤング率は超音波パルス法により時間の関
数として測定した。図９に示すように、保持前のヤング
率が１６０ＧＰａであったのに対し、5000時間の保持で
１７２ＧＰａ，１００００時間の保持で１９５ＧＰａに
まで上昇した。ＺｒＯ2 膜がが粒成長し、緻密化したた
めヤング率が上昇したものと思われる。
膜で同様の実験を行い、粒成長，時間とヤング率の関係
を測定した。ヤング率は超音波パルス法により時間の関
数として測定した。図９に示すように、保持前のヤング
率が１６０ＧＰａであったのに対し、5000時間の保持で
１７２ＧＰａ，１００００時間の保持で１９５ＧＰａに
まで上昇した。ＺｒＯ2 膜がが粒成長し、緻密化したた
めヤング率が上昇したものと思われる。
【００２０】Ａｌ2Ｏ3の焼結体に対して実施例１と同様
に大気中１５００℃で保持をし、粒成長，ヤング率と時
間との関係を求めた結果、保持前のヤング率が３００Ｇ
Ｐａであったのに対し、５０００時間の保持で３３０Ｇ
Ｐａ、１００００時間の保持で３５０ＧＰａにまで上昇
した。結果は図１０に示すとおりである。
に大気中１５００℃で保持をし、粒成長，ヤング率と時
間との関係を求めた結果、保持前のヤング率が３００Ｇ
Ｐａであったのに対し、５０００時間の保持で３３０Ｇ
Ｐａ、１００００時間の保持で３５０ＧＰａにまで上昇
した。結果は図１０に示すとおりである。
【００２１】その他のセラミックスに対してもそれぞれ
の焼結温度で同様の実験を行った結果を表２に示す。そ
れぞれのセラミックスに対してヤング率の測定による寿
命予測の可能性についてまとめている。
の焼結温度で同様の実験を行った結果を表２に示す。そ
れぞれのセラミックスに対してヤング率の測定による寿
命予測の可能性についてまとめている。
【００２２】
【表２】
【００２３】以上の実験結果を参考に、実際のタービン
翼にＺｒＯ2 をプラズマ溶射によりコーティングし、模
擬プラントにおいて試験運転をし、該溶射膜のヤング率
と運転時間の関係を調査した。ヤング率と時間の関係は
上記結果に一致しており、図１１に示している。また８
０００時間経過後の溶射膜は剥離が認められた。
翼にＺｒＯ2 をプラズマ溶射によりコーティングし、模
擬プラントにおいて試験運転をし、該溶射膜のヤング率
と運転時間の関係を調査した。ヤング率と時間の関係は
上記結果に一致しており、図１１に示している。また８
０００時間経過後の溶射膜は剥離が認められた。
【００２４】〔実施例３〕Ｎｉ基盤上にＦｅ3Ｏ4によ
り、例えば×印のような幾何学的な模様をつけ、その上
からＺｒＯ2 を溶射し、厚さ０.５mmの膜を形成する。
下面にＦｅ3Ｏ4 で×印をつけた部分のＺｒＯ2 膜上に
ＳｉＯ2 を塗布し、空気中１５００℃で５時間保持し、
ＳｉＯ2 の塗布部分をＺｒＳｉＯ4 化させる。この試験
片を１５００℃の空気中で約１００００時間(のべ時間)
保持したところ、ＺｒＯ2 溶射膜下部に塗布していたＦ
ｅ3Ｏ4が表面まで拡散し、ＺｒＳｉＯ4 中に固溶しピン
クに発色したため、×印が表面に現れた。
り、例えば×印のような幾何学的な模様をつけ、その上
からＺｒＯ2 を溶射し、厚さ０.５mmの膜を形成する。
下面にＦｅ3Ｏ4 で×印をつけた部分のＺｒＯ2 膜上に
ＳｉＯ2 を塗布し、空気中１５００℃で５時間保持し、
ＳｉＯ2 の塗布部分をＺｒＳｉＯ4 化させる。この試験
片を１５００℃の空気中で約１００００時間(のべ時間)
保持したところ、ＺｒＯ2 溶射膜下部に塗布していたＦ
ｅ3Ｏ4が表面まで拡散し、ＺｒＳｉＯ4 中に固溶しピン
クに発色したため、×印が表面に現れた。
【００２５】また同上の試験片を１５００℃で１００
０，５０００，１００００時間（のべ時間)の曝露試験
を行った。５０００時間の保持でＺｒＳｉＯ4部分への
Ｆｅ3Ｏ4の拡散によりピンクの×印が観察された。この
時溶射膜には若干の亀裂が生じていた。１００００時間
の保持では溶射膜は激しく損傷していたが、模様は更に
ハッキリと観察された。
０，５０００，１００００時間（のべ時間)の曝露試験
を行った。５０００時間の保持でＺｒＳｉＯ4部分への
Ｆｅ3Ｏ4の拡散によりピンクの×印が観察された。この
時溶射膜には若干の亀裂が生じていた。１００００時間
の保持では溶射膜は激しく損傷していたが、模様は更に
ハッキリと観察された。
【００２６】〔実施例４〕ＣＶＤ法により形成されたセ
ラミックス被覆層についても同様に寿命予測の実験を行
った。基材として直径５０mm，厚さ１０mmのＮｉ基合金
であるハステロイ−Ｘ（２２重量％Ｃｒ−１.５重量％
Ｃｏ−９重量％Ｍｏ−１９重量％Ｆｅ−0.1重量％Ｃ−
残部Ｎｉ）を用い、その表面を脱脂洗浄後、結合層CoNi
CrAlY 合金（ＭＣｒＡｌＹ）をＣＶＤで１０μｍ被覆し
た。そしてその表面にＺｒＯ2 （８重量％Ｙ2Ｏ3）の被
覆層をＣＶＤにより３０μｍ形成した。溶射条件は出力
５０ｋＷ、大気中である。ＣＶＤにより成形されたセラ
ミックス被覆層の模式図を図１３に示す。
ラミックス被覆層についても同様に寿命予測の実験を行
った。基材として直径５０mm，厚さ１０mmのＮｉ基合金
であるハステロイ−Ｘ（２２重量％Ｃｒ−１.５重量％
Ｃｏ−９重量％Ｍｏ−１９重量％Ｆｅ−0.1重量％Ｃ−
残部Ｎｉ）を用い、その表面を脱脂洗浄後、結合層CoNi
CrAlY 合金（ＭＣｒＡｌＹ）をＣＶＤで１０μｍ被覆し
た。そしてその表面にＺｒＯ2 （８重量％Ｙ2Ｏ3）の被
覆層をＣＶＤにより３０μｍ形成した。溶射条件は出力
５０ｋＷ、大気中である。ＣＶＤにより成形されたセラ
ミックス被覆層の模式図を図１３に示す。
【００２７】この試料を大気中１５００℃で長時間保持
し、粒成長時間と電気伝導度，熱伝導率の関係を測定し
た。結果は図１４に示すように時間の経過にともない電
気伝導度は増加しており、プラズマ溶射によるセラミッ
クス被覆層の特性に似た傾向を示している。初期の電気
伝導度は０.０１Ω-1cm-1 であったが、５０００時間保
持後では０.０１２Ω-1cm-1 まで増加することが分かっ
た。更に１００００時間の保持では電気伝導度は０.０
１８Ω-1cm-1 にまで上昇した。
し、粒成長時間と電気伝導度，熱伝導率の関係を測定し
た。結果は図１４に示すように時間の経過にともない電
気伝導度は増加しており、プラズマ溶射によるセラミッ
クス被覆層の特性に似た傾向を示している。初期の電気
伝導度は０.０１Ω-1cm-1 であったが、５０００時間保
持後では０.０１２Ω-1cm-1 まで増加することが分かっ
た。更に１００００時間の保持では電気伝導度は０.０
１８Ω-1cm-1 にまで上昇した。
【００２８】〔実施例５〕タービンブレードＮｉ基盤上
にＦｅ3Ｏ4を図１４に示すように部分的に塗布し、その
上からＺｒＯ2を溶射し、厚さ０.５mmの膜を形成する。
図１５に示すように、下面にＦｅ3Ｏ4を塗布している部
分のＺｒＯ2 膜上にＳｉＯ2 を塗布し、空気中１５００
℃で５時間保持し、ＳｉＯ2 の塗布部分をＺｒＳｉＯ4
化させたものを試作タービンブレードとした。
にＦｅ3Ｏ4を図１４に示すように部分的に塗布し、その
上からＺｒＯ2を溶射し、厚さ０.５mmの膜を形成する。
図１５に示すように、下面にＦｅ3Ｏ4を塗布している部
分のＺｒＯ2 膜上にＳｉＯ2 を塗布し、空気中１５００
℃で５時間保持し、ＳｉＯ2 の塗布部分をＺｒＳｉＯ4
化させたものを試作タービンブレードとした。
【００２９】発電用ガスタービン装置にＴＢＣ被膜を有
するタービンブレードを試験的に取付け、従来通りの運
転を行った。定期点検時には、図１６に示すように、燃
焼器ライナ入り口部分からファイバースコープを挿入
し、タービンブレードのＴＢＣ被膜を肉眼により観察し
た。１５００℃での断続的な運転をし、1000，5000，１
００００時間（のべ時間）の時点で、タービンブレード
の点検を行った。点検はファイバースコープによりＴＢ
Ｃ被膜を観察した後、従来の点検法通り翼の一部を検査
用サンプルとして破壊し、耐熱金属の破断面の粒成長を
観察した。
するタービンブレードを試験的に取付け、従来通りの運
転を行った。定期点検時には、図１６に示すように、燃
焼器ライナ入り口部分からファイバースコープを挿入
し、タービンブレードのＴＢＣ被膜を肉眼により観察し
た。１５００℃での断続的な運転をし、1000，5000，１
００００時間（のべ時間）の時点で、タービンブレード
の点検を行った。点検はファイバースコープによりＴＢ
Ｃ被膜を観察した後、従来の点検法通り翼の一部を検査
用サンプルとして破壊し、耐熱金属の破断面の粒成長を
観察した。
【００３０】５０００時間の保持では、ファイバースコ
ープの観察によれば翼のＺｒＳiＯ4部分はＦｅ3Ｏ4の拡
散によりややピンク色に変色しており、溶射膜には若干
の亀裂が生じていた。この時、耐熱金属破断面の観察を
し、Ａパラメータ法により計算した寿命比は０.６５ で
あった。１００００時間の保持では、ファイバースコー
プの観察によれば溶射膜は激しく損傷しており、模様は
明らかにピンク色になっていた。Ａパラメータ法による
寿命比は１.２８ であった。これはタービンブレードの
寿命のおよそ１２８％の時間が経過していることを意味
し、ファイバースコープによる色の観察は耐熱金属破断
面の観察に対応していることがわかる。また肉眼による
観察に代わり、赤，緑，青の３色ＬＥＤを光源に使用し
た高感度カラーセンサを用いて同様にタービンブレード
の点検を行った。肉眼による観察結果の判断に基づき、
カラーセンサからの情報を処理するプログラムを作成
し、ブレードの熱履歴時間を計算した。ブレードの損傷
が激しい部分の色の認知は不正確なものの、肉眼による
観察結果とおおむね同様な結果を得た。
ープの観察によれば翼のＺｒＳiＯ4部分はＦｅ3Ｏ4の拡
散によりややピンク色に変色しており、溶射膜には若干
の亀裂が生じていた。この時、耐熱金属破断面の観察を
し、Ａパラメータ法により計算した寿命比は０.６５ で
あった。１００００時間の保持では、ファイバースコー
プの観察によれば溶射膜は激しく損傷しており、模様は
明らかにピンク色になっていた。Ａパラメータ法による
寿命比は１.２８ であった。これはタービンブレードの
寿命のおよそ１２８％の時間が経過していることを意味
し、ファイバースコープによる色の観察は耐熱金属破断
面の観察に対応していることがわかる。また肉眼による
観察に代わり、赤，緑，青の３色ＬＥＤを光源に使用し
た高感度カラーセンサを用いて同様にタービンブレード
の点検を行った。肉眼による観察結果の判断に基づき、
カラーセンサからの情報を処理するプログラムを作成
し、ブレードの熱履歴時間を計算した。ブレードの損傷
が激しい部分の色の認知は不正確なものの、肉眼による
観察結果とおおむね同様な結果を得た。
【００３１】
【発明の効果】以上詳述したように、本発明のセラミッ
クス溶射膜寿命推定法は、被検査物を破壊せずに測定で
きる物理量または色による検査のため、短時間で容易に
被検査物の寿命を推定できる。
クス溶射膜寿命推定法は、被検査物を破壊せずに測定で
きる物理量または色による検査のため、短時間で容易に
被検査物の寿命を推定できる。
【図１】ＭＣｒＡｌＹ基盤に溶射視たＺｒＯ2 セラミッ
クスの構造の模式図。
クスの構造の模式図。
【図２】ＺｒＯ2 溶射膜の平均粒径と保持時間の関係を
示すグラフ。
示すグラフ。
【図３】ＺｒＯ2溶射膜の粒成長前の構造を示す模式
図。
図。
【図４】ＺｒＯ2溶射膜の粒成長後の構造を示す模式
図。
図。
【図５】ＺｒＯ2溶射膜の電気伝導度と保持時間の関係
を示すグラフ。
を示すグラフ。
【図６】タービン翼表面の断面図。
【図７】タービン翼の概観図。
【図８】タービン翼表面の溶射セラミックスの電気伝導
度と保持時間の関係を示すグラフ。
度と保持時間の関係を示すグラフ。
【図９】ＺｒＯ2溶射膜のヤング率と保持時間の関係を
示すグラフ。
示すグラフ。
【図１０】Ａｌ2Ｏ3溶射膜のヤング率と保持時間の関係
を示すグラフ。
を示すグラフ。
【図１１】タービン翼表面の溶射セラミックスのヤング
率と保持時間の関係を示すグラフ。
率と保持時間の関係を示すグラフ。
【図１２】ＣＶＤにより成形されたセラミックス被覆層
の模式図。
の模式図。
【図１３】ＣＶＤにより成形されたセラミックス被覆層
の電気伝導度と保持時間の関係を示すグラフ。
の電気伝導度と保持時間の関係を示すグラフ。
【図１４】タービンブレードにＦｅ2Ｏ3，ＺｒＯ2，Ｓ
ｉＯ2を塗布または溶射する部分の模式図。
ｉＯ2を塗布または溶射する部分の模式図。
【図１５】タービンブレード発色部分の断面模式図。
【図１６】発電用ガスタービン装置にファイバースコー
プを挿入し、タービンブレードを観察する模式図。
プを挿入し、タービンブレードを観察する模式図。
１…セラミックス粒子、２…気孔、３…ＭＣｒＡｌＹ、
４…Ｎｉ基合金、５…触媒、６…遮熱被覆層、７…基
体、８…結合層、９…翼部、１０…プラットフォーム
部、１１…発色元素塗布部、１２…ＺｒＯ2溶射部、１
３…ＺｒＳｉＯ4、１４…発色元素、１５…ファイバー
スコープ。
４…Ｎｉ基合金、５…触媒、６…遮熱被覆層、７…基
体、８…結合層、９…翼部、１０…プラットフォーム
部、１１…発色元素塗布部、１２…ＺｒＯ2溶射部、１
３…ＺｒＳｉＯ4、１４…発色元素、１５…ファイバー
スコープ。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｇ０１Ｎ 21/77 Ｇ０１Ｎ 21/77 Ｃ 27/04 27/04 Ｚ 31/00 31/00 Ｓ Ｇ０１Ｒ 27/02 Ｇ０１Ｒ 27/02 Ｒ Ｇ２１Ｂ 1/00 Ｇ２１Ｂ 1/00 Ｒ (72)発明者 玉置 英樹 茨城県日立市大みか町七丁目１番１号 株 式会社日立製作所日立研究所内 (72)発明者 和田 克夫 茨城県日立市幸町三丁目１番１号 株式会 社日立製作所日立工場内
Claims (17)
- 【請求項１】少なくとも表面層がセラミックスからなる
セラミックス部材の物理量を測定し、その寿命を推定す
ることを特徴とするセラミックス部材の非破壊による寿
命推定法。 - 【請求項２】少なくとも表面層がセラミックスからなる
セラミックス部材の、表面層のセラミックスの粒成長を
粒径変化を測定することにより、その寿命を推定するこ
とを特徴とするセラミックス部材の非破壊による寿命推
定法。 - 【請求項３】少なくとも表面層がセラミックスからなる
セラミックス部材の、表面層のセラミックスの粒径の変
化に対応して変化する物理量を測定し、予め別に求めて
おいた前記セラミックス部材の粒径と物理量との関係に
基づきその寿命を推定することを特徴とするセラミック
ス部材の非破壊による寿命推定法。 - 【請求項４】前記セラミックスがＡｌＮ，Ａｌ2Ｏ3，Ａ
ｌ6Ｓｉ2Ｏ13，Ｂ4Ｃ，Ｂｉ2Ｏ3，ＢＮ，ＢａＴｉＯ3，
ＣｒＣ，Ｃｒ3Ｃ2，Ｃｒ2Ｏ3，ＣｒＯ2，ＣｏＯ，Ｆｅ3
Ｏ4,ＭｎＯ，ＭｇＯ，ＮｉＯ，Ｓｉ3Ｎ4，ＳｉＣ，Ｓｉ
ＡｌＯＮ，ＳｎＯ2,ＴｉＢ2,ＴｉＮ，ＴｉＣ，Ｔｉ
Ｏ2，Ｔｉ2Ｏ5，Ｔｉ2Ｏ3,ＺｒＢ2,ＺｒＯ2,ＺｒＳｉＯ
4の少なくとも１つであり、請求項１から３のいずれか
に記載のセラミックス部材の非破壊による寿命推定法。 - 【請求項５】少なくとも表面層がセラミックスからなる
セラミックス部材の電気伝導度の変化を測定し、請求項
１から３のいずれかに記載の方法で寿命を推測すること
を特徴とするセラミックス部材の非破壊による寿命推定
法。 - 【請求項６】請求項５のセラミックス部材がＮｉＯ，Ｃ
ｏＯ，Ｆｅ3Ｏ4，ＭｎＯ，Ｂｉ2Ｏ3，Ｃｒ2Ｏ3，ＣｒＯ
2，ＡｌＮ，Ａｌ2Ｏ3，Ｃｒ3Ｃ2，ＢａＴｉＯ3，Ｔｉ2
Ｏ5，Ｔｉ2Ｏ3，ＳｎＯ2，ＺｒＯ2の少なくとも１つで
あり、該セラミックス粒子の成長、または外部元素の該
セラミックス内への拡散に起因する電気伝導度の変化を
測定し、請求項１から３のいずれかに記載の方法で寿命
を推測することを特徴とするセラミックス部材の非破壊
による寿命推定法。 - 【請求項７】少なくとも表面層がセラミックスからなる
セラミックス部材のヤング率の変化を測定し、請求項１
から３のいずれかに記載の方法で寿命を推測することを
特徴とするセラミックス部材の非破壊による寿命推定
法。 - 【請求項８】請求項７のセラミックス部材がＳｉ3Ｎ4，
ＳｉＣ，ＭｇＯ，ＺｒＢ2，SiAlON,ＴｉＢ2，ＴｉＮ，
Ａｌ6Ｓｉ2Ｏ13，ＢＮ，ＡｌＮ，ＴｉＣ，Ｃｒ3Ｃ2，Ｃ
ｒＣ，Ｂ4Ｃ，ＺｒＯ2，Ａｌ2Ｏ3の少なくとも１つであ
り、該セラミックス粒子の成長、または外部元素の該セ
ラミックス内への拡散に起因するヤング率の変化を測定
し、請求項１から３のいずれかに記載の方法で寿命を推
測することを特徴とするセラミックス部材の非破壊によ
る寿命推定法。 - 【請求項９】少なくとも表面層がセラミックスからなる
セラミックス部材の色の変化を観察することにより、寿
命を推測することを特徴とするセラミックス部材の非破
壊による寿命推定法。 - 【請求項１０】少なくとも表面層がセラミックスからな
るセラミックス部材の少なくとも一部に発色元素を添加
または塗布しておき、該セラミックス粒子の成長、また
は発色元素の該セラミックスへの拡散に起因する色の変
化を観察することにより、請求項９に記載の方法で寿命
を推測することを特徴とするセラミックス部材の非破壊
による寿命推定法。 - 【請求項１１】請求項９または１０のいずれかにおい
て、前記発色元素はＶ，Ｉｎ，Ｙ，Ｆｅ，Ｐｒ，Ｃｏ，
Ｎｉ，Ｃｒ，Ｓｂ，Ｍｎ，ＣｄＳ，Ｗ，Ｐの少なくとも
１つの元素を含む化合物であり、請求項９または１０に
記載の方法で寿命を推測することを特徴とするセラミッ
クス部材の非破壊による寿命推定法。 - 【請求項１２】請求項１１のセラミックス部材が、Ｚｒ
Ｏ2 の場合にはＶ，Ｉｎ，Ｙ＋Ｖ，ＺｒＳｉＯ4 の場合
にはＣｏ＋Ｎｉ，ＣｄＳ，Ｆｅ，Ｐｒ，Ｖ，ＳｎＯ2 の
場合にはＶ，Ｓｂ，Ｃｒ，Ｔｉ，ＴｉＯ2 の場合にはＣ
ｒ＋Ｓｂ，Ｃｒ＋Ｗ，α−Ａｌ2Ｏ3の場合にはＭｎ，
Ｐ，Ｃｒ，高純度ＳｉＣの場合にはＮ＋Ｐ，Ｂ＋Ａｌの
少なくとも１つを含む化合物を発色剤として添加または
塗布して、請求項９または１０に記載の方法で寿命を推
測することを特徴とするセラミックス部材の非破壊によ
る寿命推定法。 - 【請求項１３】ガスタービンのノズル，ブレード及び燃
焼器を備え、前記ノズル，ブレード及び燃焼器の少なく
とも１つにＴＢＣ(Thermal Barrier Coating）被膜を有
するガスタービンの寿命推定法において、被膜の物理量
変化に基づいてＴＢＣ被膜の寿命を予測することを特徴
とするガスタービンの非破壊による寿命推定法。 - 【請求項１４】ＴＢＣ被膜を有するタービン翼の定期点
検において、タービン停止時にケーシングやタービン翼
を取り外すことなく、燃焼器ライナ入り口などタービン
翼に通じる部分から、ファイバースコープなどの視覚伝
達装置を用いて被膜の色の変化を観察することを特徴と
するガスタービンの非破壊による定期点検システム。 - 【請求項１５】ＴＢＣ被膜を有するタービン翼の定期点
検において、タービン停止時にケーシングやタービン翼
を取り外すことなく、燃焼器ライナ入り口などタービン
翼に通じる部分から、テスターなどの電気伝導度測定装
置を用いて被膜の電気伝導度の変化を測定することを特
徴とするガスタービンの非破壊による定期点検システ
ム。 - 【請求項１６】核融合炉壁セラミックスの寿命推定法に
おいて、該セラミックスの物理量変化に基づいて寿命を
予測することを特徴とする核融合炉壁の非破壊による寿
命推定法。 - 【請求項１７】核融合炉壁セラミックスの寿命推定法に
おいて、該セラミックスの色の変化に基づいて寿命を予
測することを特徴とする核融合炉壁の非破壊による寿命
推定法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7330669A JPH08254530A (ja) | 1994-12-19 | 1995-12-19 | セラミックス部材の非破壊による寿命推定法及び寿命推定システム |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6-314873 | 1994-12-19 | ||
| JP31487394 | 1994-12-19 | ||
| JP7330669A JPH08254530A (ja) | 1994-12-19 | 1995-12-19 | セラミックス部材の非破壊による寿命推定法及び寿命推定システム |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08254530A true JPH08254530A (ja) | 1996-10-01 |
Family
ID=26568100
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7330669A Pending JPH08254530A (ja) | 1994-12-19 | 1995-12-19 | セラミックス部材の非破壊による寿命推定法及び寿命推定システム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08254530A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| JP2007514094A (ja) * | 2003-12-11 | 2007-05-31 | シーメンス アクチエンゲゼルシヤフト | 蒸気タービンのケーシングに使用する断熱層及び蒸気タービン |
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| WO2015057370A1 (en) | 2013-10-14 | 2015-04-23 | United Technologies Corporation | Method of detecting conversion quality of green matrix composite material and system for same |
| CN115627451A (zh) * | 2022-11-07 | 2023-01-20 | 浙江合特光电有限公司 | 一种气相输运沉积设备的清理装置 |
-
1995
- 1995-12-19 JP JP7330669A patent/JPH08254530A/ja active Pending
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