JPH08252497A - ２相流体ノズル - Google Patents
２相流体ノズルInfo
- Publication number
- JPH08252497A JPH08252497A JP8349095A JP8349095A JPH08252497A JP H08252497 A JPH08252497 A JP H08252497A JP 8349095 A JP8349095 A JP 8349095A JP 8349095 A JP8349095 A JP 8349095A JP H08252497 A JPH08252497 A JP H08252497A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- liquid
- nozzle
- gas
- gas pipe
- atomized
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- Pending
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05B—SPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
- B05B17/00—Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups
- B05B17/04—Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups operating with special methods
- B05B17/06—Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups operating with special methods using ultrasonic or other kinds of vibrations
- B05B17/0607—Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups operating with special methods using ultrasonic or other kinds of vibrations generated by electrical means, e.g. piezoelectric transducers
- B05B17/0623—Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups operating with special methods using ultrasonic or other kinds of vibrations generated by electrical means, e.g. piezoelectric transducers coupled with a vibrating horn
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 液体を霧化させてガスと混合させる。
【構成】 ガスを流すガス用配管に一本又は複数本の液
体用ノズルを連通させ、各液体用ノズルに超音波振動子
を配置して超音波振動により液体を霧化してガスととも
に噴射させる２相流体ノズル。
体用ノズルを連通させ、各液体用ノズルに超音波振動子
を配置して超音波振動により液体を霧化してガスととも
に噴射させる２相流体ノズル。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、空気と水等、２種類の
流体を混合して用いる２相流体ノズルに関するものであ
る。
流体を混合して用いる２相流体ノズルに関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】従来の此種装置は、図１２に示すよう
に、ガス用配管１内にＬ字形をした液体用ノズル２の先
端をガス用配管１と平行するように挿入し、ガス用配管
１内を流れるガス３に液体用ノズル２から流入した流体
４を混合し、ウエハ５上に噴霧して洗浄を行っていた。
に、ガス用配管１内にＬ字形をした液体用ノズル２の先
端をガス用配管１と平行するように挿入し、ガス用配管
１内を流れるガス３に液体用ノズル２から流入した流体
４を混合し、ウエハ５上に噴霧して洗浄を行っていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、粒径の大きさ
が揃わず、衝突力に大小の違いが生じ、洗浄効果にばら
つきが発生するといった欠点があった。
が揃わず、衝突力に大小の違いが生じ、洗浄効果にばら
つきが発生するといった欠点があった。
【０００４】そこで、本発明においては、前記の欠点を
除去するために、ガスに液体を霧化したものを混合する
ことによって、粒径の大小をなくし、洗浄効果を向上さ
せようとするものである。
除去するために、ガスに液体を霧化したものを混合する
ことによって、粒径の大小をなくし、洗浄効果を向上さ
せようとするものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は前記課題を解決
するために、ガスを流すガス用配管に一本又は複数本の
液体用ノズルを連通させ、各液体用ノズルに超音波振動
子を配置して超音波振動により液体を霧化してガスとと
もに噴射させる２相流体ノズルを構成する。
するために、ガスを流すガス用配管に一本又は複数本の
液体用ノズルを連通させ、各液体用ノズルに超音波振動
子を配置して超音波振動により液体を霧化してガスとと
もに噴射させる２相流体ノズルを構成する。
【０００６】又、液体用ノズルの先端に多孔板を施した
２相流体ノズルを構成する。
２相流体ノズルを構成する。
【０００７】又、ガスを流すガス用配管内にＬ字形の液
体用ノズルを挿入し、液体用ノズルの先端に超音波笛を
取付けた２相流体ノズルを構成する。
体用ノズルを挿入し、液体用ノズルの先端に超音波笛を
取付けた２相流体ノズルを構成する。
【０００８】又、ガスを流すガス用配管内にＬ字形の液
体用ノズルを挿入し、液体用ノズルの先端部に凹凸部を
設け、凸部に垂直方向著しくは水平方向に振動する超音
波振動子を固定して液体を霧化する２相流体ノズルを構
成する。
体用ノズルを挿入し、液体用ノズルの先端部に凹凸部を
設け、凸部に垂直方向著しくは水平方向に振動する超音
波振動子を固定して液体を霧化する２相流体ノズルを構
成する。
【０００９】
【作用】本発明は前記のように構成したもので、液体用
ノズルから流出する液体を超音波振動子の振動により霧
化し、ガス用配管を流れるガスと共にウエハに噴射す
る。又、多孔板の細孔を通過する液体に超音波振動を与
えて霧化する。
ノズルから流出する液体を超音波振動子の振動により霧
化し、ガス用配管を流れるガスと共にウエハに噴射す
る。又、多孔板の細孔を通過する液体に超音波振動を与
えて霧化する。
【００１０】又、液体用ノズルに設けた超音波笛による
超音波振動より液体を霧化し、ガスと共にウエハに噴射
する。又、液体用ノズルに凹凸部を設け、凸部に超音波
振動子を固定して超音波振動により液体を霧化する。
超音波振動より液体を霧化し、ガスと共にウエハに噴射
する。又、液体用ノズルに凹凸部を設け、凸部に超音波
振動子を固定して超音波振動により液体を霧化する。
【００１１】
【実施例】本発明の第１実施例を図１，２に基いて詳細
に説明すると、外径６．４ｍｍのガス用配管１に従来と
同様に外径３．２ｍｍ、内径１．８ｍｍのＬ字型をした
液体用ノズル２を挿入し、液体用ノズル２の先端をガス
用配管１の開口から約１０ｍｍの個所に位置させ、その
外周にＵＳ振動子６（メガソニック・スクラバ：１．６
ＭＨｚ、ＷＥＴメガソ８００ＫＨｚ）を取り付け、液体
４を超音波振動により霧化する。
に説明すると、外径６．４ｍｍのガス用配管１に従来と
同様に外径３．２ｍｍ、内径１．８ｍｍのＬ字型をした
液体用ノズル２を挿入し、液体用ノズル２の先端をガス
用配管１の開口から約１０ｍｍの個所に位置させ、その
外周にＵＳ振動子６（メガソニック・スクラバ：１．６
ＭＨｚ、ＷＥＴメガソ８００ＫＨｚ）を取り付け、液体
４を超音波振動により霧化する。
【００１２】液体用ノズル２に取付けたＵＳ振動子６で
液体を霧化し、その液滴（粒径；メガソニック・スクラ
バで０．０００２〜４０μｍ，ＷＥＴメガソで０．００
０７〜８０μｍ）を１００〜３３０ｍ／ｓｅｃの速度の
ガス３によってガス用配管１から同時に噴射する。
液体を霧化し、その液滴（粒径；メガソニック・スクラ
バで０．０００２〜４０μｍ，ＷＥＴメガソで０．００
０７〜８０μｍ）を１００〜３３０ｍ／ｓｅｃの速度の
ガス３によってガス用配管１から同時に噴射する。
【００１３】したがって、この作用によりガスと液滴は
混合されてウエハ５に衝突され、ウエハ５上のパーティ
クルの除去を行う。
混合されてウエハ５に衝突され、ウエハ５上のパーティ
クルの除去を行う。
【００１４】次に第２実施例を図３，４に基いて説明す
ると、本実施例はガス用配管１に複数本（実施例では４
本）の液体用ノズル２，２，…を挿入し、各液体用ノズ
ル２，２，…の先端にそれぞれＵＳ振動子６，６…を取
付け、各液体用ノズル２，２，…から噴射する各液体４
を霧化してガスと同時にウエハ５を噴射する。
ると、本実施例はガス用配管１に複数本（実施例では４
本）の液体用ノズル２，２，…を挿入し、各液体用ノズ
ル２，２，…の先端にそれぞれＵＳ振動子６，６…を取
付け、各液体用ノズル２，２，…から噴射する各液体４
を霧化してガスと同時にウエハ５を噴射する。
【００１５】次に、第３実施例図５に基いて説明する
と、本実施例は、ガス用配管１の途中に開口部７を設
け、この開口部７にガス用配管１と直角に液体用ノズル
２´を取付け、液体用ノズル２´のガス用配管１の近傍
にＵＳ振動子６を固定し、液体４に超音波振動を与えて
霧化し、ガス用配管１中を流れるガス３と共にウエハ５
上に噴射して洗浄を行う。
と、本実施例は、ガス用配管１の途中に開口部７を設
け、この開口部７にガス用配管１と直角に液体用ノズル
２´を取付け、液体用ノズル２´のガス用配管１の近傍
にＵＳ振動子６を固定し、液体４に超音波振動を与えて
霧化し、ガス用配管１中を流れるガス３と共にウエハ５
上に噴射して洗浄を行う。
【００１６】次に、第４実施例と図６，７に基いて説明
すると、第１実施例と同様にガス用配管１にＬ字型の液
体用ノズル２取付け、液体用ノズル２の先端に平均噴射
粒径８０μｍの多孔板８を取付け、この多孔板８に振動
を伝達できるように液体用ノズル２にＵＳ振動子６を取
付け、多孔板８から噴射する平均粒径８０μｍの液体を
更に霧化することによって、ガス用配管１からガスと同
時に噴射する。
すると、第１実施例と同様にガス用配管１にＬ字型の液
体用ノズル２取付け、液体用ノズル２の先端に平均噴射
粒径８０μｍの多孔板８を取付け、この多孔板８に振動
を伝達できるように液体用ノズル２にＵＳ振動子６を取
付け、多孔板８から噴射する平均粒径８０μｍの液体を
更に霧化することによって、ガス用配管１からガスと同
時に噴射する。
【００１７】次に、第５実施例を図８，９に基いて説明
すると、従来と同様にガス用配管１内にＬ字形の液体用
ノズル２を取付け、液体用ノズル２の先端近傍に間隔ａ
を４０ｍｍ凸部巾２０ｍｍの凹凸用共振器９（図９参
照）を固定し、この凹凸用共振器９の凸部分に対して縦
又は横に振動するＵＳ振動子６，６を固定し、このＵＳ
振動子６，６によって液体を霧化し、その液滴をガスに
よってガス用配管１から同時に噴射してウエハ５のパー
ティクルを除去する。
すると、従来と同様にガス用配管１内にＬ字形の液体用
ノズル２を取付け、液体用ノズル２の先端近傍に間隔ａ
を４０ｍｍ凸部巾２０ｍｍの凹凸用共振器９（図９参
照）を固定し、この凹凸用共振器９の凸部分に対して縦
又は横に振動するＵＳ振動子６，６を固定し、このＵＳ
振動子６，６によって液体を霧化し、その液滴をガスに
よってガス用配管１から同時に噴射してウエハ５のパー
ティクルを除去する。
【００１８】次に、第６実施例を図１０，１１に基いて
説明すると、従来と同様にガス用配管１内にＬ字形の液
体用ノズル２を取付け、その先端に超音波笛１０を取付
け、液体を霧化する。この超音波笛１０は図１１に示す
ように公知のものを使用する。即ち、液体用ノズル２の
先端に基台１１を固定し、この基台１１の先端に円弧形
をした反射板１２を取付ける。そして、基台１１の中央
に液体溝１３を設け、この液体溝１３の先端の径を傾斜
状に細めてテーパーノズル１４を形成し、液体溝１３の
中央に笛支持棒１５を位置させ、笛支持棒１５の先端で
反射板１２中内に共鳴部材１６を設け、共鳴部材１６の
上面に共鳴空洞１７を設け液体溝１３を流下する液体の
噴流が共鳴空洞１７に流れ込み、この共鳴空洞１７へ出
入りする液体流れが不安定であることによって空洞近辺
の空気圧に変化が生じて超音波が発生し、液体を霧化す
る。この霧化した液滴をガスと共にウエハ５に噴射して
パーティクルを除去する。
説明すると、従来と同様にガス用配管１内にＬ字形の液
体用ノズル２を取付け、その先端に超音波笛１０を取付
け、液体を霧化する。この超音波笛１０は図１１に示す
ように公知のものを使用する。即ち、液体用ノズル２の
先端に基台１１を固定し、この基台１１の先端に円弧形
をした反射板１２を取付ける。そして、基台１１の中央
に液体溝１３を設け、この液体溝１３の先端の径を傾斜
状に細めてテーパーノズル１４を形成し、液体溝１３の
中央に笛支持棒１５を位置させ、笛支持棒１５の先端で
反射板１２中内に共鳴部材１６を設け、共鳴部材１６の
上面に共鳴空洞１７を設け液体溝１３を流下する液体の
噴流が共鳴空洞１７に流れ込み、この共鳴空洞１７へ出
入りする液体流れが不安定であることによって空洞近辺
の空気圧に変化が生じて超音波が発生し、液体を霧化す
る。この霧化した液滴をガスと共にウエハ５に噴射して
パーティクルを除去する。
【００１９】
【発明の効果】本発明は前記のような構成、作用を有す
るもので、液体の粒径が安定するため、洗浄効果を大巾
に向上させることができる。
るもので、液体の粒径が安定するため、洗浄効果を大巾
に向上させることができる。
【００２０】更に、超音波の周波数と粒径には相関性が
あり、必要とする粒径のものを効率良くつくることが可
能となるため、被洗浄物の大きさに合わせて洗浄効果を
大きくできるという利点がある。
あり、必要とする粒径のものを効率良くつくることが可
能となるため、被洗浄物の大きさに合わせて洗浄効果を
大きくできるという利点がある。
【００２１】
【図１】本発明に係る２相流体ノズルの第１実施例の縦
断面図。
断面図。
【図２】その横断平面図。
【図３】第２実施例の縦断面図。
【図４】その横断平面図。
【図５】第３実施例の縦断面図。
【図６】第４実施例の縦断面図。
【図７】その要部の拡大断面図。
【図８】第５実施例の縦断面図。
【図９】その要部拡大断面図。
【図１０】第６実施例の縦断面図。
【図１１】超音波笛の拡大断面図。
【図１２】従来装置の断面図。
１ ガス用配管 ２ 液体用ノズル ２´ 液体用ノズル ３ ガス ４ 液体 ５ ウエハ ６ ＵＳ振動子 ７ 開口部 ８ 多孔板 ９ 凹凸用共振器 １０ 超音波笛 １１ 基台 １２ 反射板 １３ 流体溝 １４ テーパーノズル １５ 笛支持棒 １６ 共鳴部材 １７ 共鳴空洞
Claims (4)
- 【請求項１】 ガスを流すガス用配管に一本又は複数本
の液体用ノズルを連通させ、各液体用ノズルに超音波振
動子を配置して超音波振動により液体を霧化してガスと
ともに噴射させることを特徴とする２相流体ノズル。 - 【請求項２】 液体用ノズルの先端に多孔板を施したこ
とを特徴とする請求項１記載の２相流体ノズル。 - 【請求項３】 ガスを流すガス用配管内にＬ字形の液体
用ノズルを挿入し、液体用ノズルの先端に超音波笛を取
付けたことを特徴とする２相流体ノズル。 - 【請求項４】 ガスを流すガス用配管内にＬ字形の液体
用ノズルを挿入し、液体用ノズルの先端部に凹凸部を設
け、凸部に垂直方向若しくは水平方向に振動する超音波
振動子を固定して液体を霧化することを特徴とする２相
流体ノズル。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8349095A JPH08252497A (ja) | 1995-03-16 | 1995-03-16 | ２相流体ノズル |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8349095A JPH08252497A (ja) | 1995-03-16 | 1995-03-16 | ２相流体ノズル |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08252497A true JPH08252497A (ja) | 1996-10-01 |
Family
ID=13803928
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8349095A Pending JPH08252497A (ja) | 1995-03-16 | 1995-03-16 | ２相流体ノズル |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08252497A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007063319A (ja) * | 2005-08-29 | 2007-03-15 | Hitachi Ltd | 重質油改質システム及び重質油利用ガスタービン発電システム |
| WO2010024062A1 (ja) * | 2008-08-29 | 2010-03-04 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 基板洗浄方法および基板洗浄装置 |
| JP2015535700A (ja) * | 2012-09-25 | 2015-12-17 | ジーイーエイ・フード・ソリューションズ・バーケル・ベスローテン・フェンノートシャップ | 蒸煮と燻製との組合せ |
| CN105414084A (zh) * | 2015-12-10 | 2016-03-23 | 北京七星华创电子股份有限公司 | 具有超声或兆声振荡的二相流雾化清洗装置及清洗方法 |
| CN112844197A (zh) * | 2021-02-25 | 2021-05-28 | 董洪旭 | 一种建筑涂料乳化机及其乳化方法 |
-
1995
- 1995-03-16 JP JP8349095A patent/JPH08252497A/ja active Pending
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007063319A (ja) * | 2005-08-29 | 2007-03-15 | Hitachi Ltd | 重質油改質システム及び重質油利用ガスタービン発電システム |
| WO2010024062A1 (ja) * | 2008-08-29 | 2010-03-04 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 基板洗浄方法および基板洗浄装置 |
| JP2010056376A (ja) * | 2008-08-29 | 2010-03-11 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板洗浄方法および基板洗浄装置 |
| US10699894B2 (en) | 2008-08-29 | 2020-06-30 | SCREEN Holdings Co., Ltd. | Substrate cleaning method and substrate cleaning apparatus |
| US10854443B2 (en) | 2008-08-29 | 2020-12-01 | SCREEN Holdings Co., Ltd. | Substrate cleaning method and substrate cleaning apparatus |
| US11610772B2 (en) | 2008-08-29 | 2023-03-21 | SCREEN Holdings Co., Ltd. | Substrate cleaning method and substrate cleaning apparatus |
| JP2015535700A (ja) * | 2012-09-25 | 2015-12-17 | ジーイーエイ・フード・ソリューションズ・バーケル・ベスローテン・フェンノートシャップ | 蒸煮と燻製との組合せ |
| CN105414084A (zh) * | 2015-12-10 | 2016-03-23 | 北京七星华创电子股份有限公司 | 具有超声或兆声振荡的二相流雾化清洗装置及清洗方法 |
| CN112844197A (zh) * | 2021-02-25 | 2021-05-28 | 董洪旭 | 一种建筑涂料乳化机及其乳化方法 |
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