JPH08246845A - 内燃機関用フィルタ再生装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 本発明は、フィルタの排気ガス流入側端面に
堆積したパティキュレートの加熱燃焼除去を図るととも
にフィルタの機械的破損を防止する改良したマイクロ波
方式の内燃機関用フィルタ再生装置を提供することを目
的とする。 【構成】 パティキュレートを捕集するフィルタ１４を
収納したフィルタ収納部１５と、マイクロ波発生手段１
７と、導波手段１８と、導波手段１８の壁面に設けたマ
イクロ波発熱手段２１と、気体流入部２２とを備えた構
成とした。この構成により気体流入部から導波手段内に
流入した気体をマイクロ波発熱手段２１で高温化しフィ
ルタ１４に送風することで、マイクロ波加熱との相乗的
なパティキュレート加熱昇温を図り、フィルタ端面堆積
のパティキュレート燃焼除去およびフィルタ全体昇温に
よる熱応力抑制でのフィルタ破損の解消を図り、フィル
タの耐久性能を向上することができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明はディーゼルエンジン（内
燃機関）が排出する排気ガス中に含まれるパティキュレ
ート（粒子状物質）を捕集するフィルタの捕集性能を永
続するためにフィルタに捕集されたパティキュレートを
加熱燃焼させて除去しフィルタの捕集性能を再生する内
燃機関用フィルタ再生装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】パティキュレートは、主にＳＯＦ(Solub
le Organic Fraction)、すす、硫黄化合物の３種類から
なり、このパティキュレートを排気系で処理する方法と
して、ＳＯＦを減少させる酸化触媒方式やフィルタを用
いてパティキュレートを捕集する方式が進められてい
る。酸化触媒方式は、すすの低減ができないためフィル
タ方式が好ましい。

【０００３】ところが、フィルタ方式は、パティキュレ
ートを捕集し続けるとフィルタは目詰まりを生じて排気
ガスの流れが悪くなってエンジン出力の低下あるいはエ
ンジンの停止に至る。このため適当な時期にフィルタの
捕集能力を再生させる必要がある。フィルタの捕集性能
を再生処理する方法としては、フィルタ内でパティキュ
レートを燃焼除去する方式やフィルタに高圧空気を供給
しフィルタ外にパティキュレートを吹き飛ばしてフィル
タ外部でパティキュレートを燃焼除去する方式が提案さ
れ開発が進められている。フィルタ内で処理する方式
は、高温燃焼によるフィルタの機械的破壊の回避が主課
題であり、フィルタ外部で処理する方式は、パティキュ
レートの除去不良の解消が課題である。これら課題の解
決がフィルタの捕集性能の耐久性の確保が実用上の大き
な課題である。本発明は、フィルタ内でパティキュレー
トを燃焼除去する方式に関するものである。

【０００４】パティキュレートは６００℃程度から燃焼
することが知られている。パティキュレートをこの高温
度域に昇温するためのエネルギを発生する手段として、
バーナ方式、電気ヒーター方式あるいはマイクロ波方式
などが考えられている。

【０００５】マイクロ波加熱方式によるフィルタ再生装
置としては、たとえば特開昭６１−１１４１６号公報が
ある。同公報に開示されている装置を図に示す。同図に
おいて、１はエンジン、２は排気管、３はフィルタ、４
はマイクロ波加熱空間、５は加熱手段であるマイクロ波
発生手段（マグネトロン）、６はマイクロ波加熱空間４
を限定させるマイクロ波漏洩防止手段、７はマグネトロ
ンが発生するマイクロ波をマイクロ波加熱空間に伝送す
るマイクロ波供給路、８、９はマイクロ波供給路に設け
られマイクロ波の加熱空間への入射波および加熱空間か
らの反射波を検出する検出手段、１０は制御装置であり
マイクロ波の入射波、反射波およびエンジン運転時間の
信号に基づいてマグネトロン５の動作を制御する装置で
ある。１１はマグネトロン５の駆動電源、１２はマフラ
ーである。

【０００６】上記した構成において、エンジンの排気ガ
ス中に含まれるパティキュレートはフィルタ３を通流す
る時にフィルタ３に捕集される。フィルタ３に捕集され
たパティキュレート量は時間経過とともに増大するがこ
の過程で制御装置１０の出力信号によりマグネトロン５
を一定の周期で動作させる。マグネトロンが発生するマ
イクロ波は加熱空間４に入射されフィルタ３の排気ガス
流入側からフィルタ３内部を伝送して下流側の加熱空間
壁まで達し、そこで反射して再びフィルタ３を経てマグ
ネトロンに戻ってくる。このマイクロ波伝送において加
熱空間４への入射波と加熱空間からの反射波との信号を
検出しこれら信号に基づいて加熱空間４全体のマイクロ
波特性の変化を電圧定在波比として測定する。

【０００７】フィルタ３に捕集されたパティキュレート
を除去する適当な時期すなわち適当なパティキュレート
量の捕集時に相当する電圧定在波比の下限値を制御装置
１０に記憶させている。検出した信号から得られる電圧
定在波比が記憶させた電圧定在波比の下限値以下になる
とマグネトロンの出力を増大させる。このマイクロ波は
フィルタ３の排気ガス流入側より供給されるのでフィル
タに捕集されたパティキュレートのフィルタの排気ガス
流入側に堆積しているパティキュレートが強く誘電加熱
される。適当な加熱時間を経て加熱されたパティキュレ
ートは燃焼可能温度帯に昇温する。この温度帯に達する
と排気ガス中に含まれる酸素でもってパティキュレート
は燃焼状態に移行する。この燃焼領域はフィルタの排気
ガス通流方向に移動し最終的にはフィルタに堆積したパ
ティキュレートが燃焼除去させるというものである。

【０００８】燃焼除去完了の判定はパティキュレート燃
焼期間中の電圧定在波比が所定の上限値以上になったこ
とに基づいて判定しマグネトロンの動作を停止させてい
る。なお、電圧定在波比はフィルタ温度によって補正す
ることが開示されている。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記従来
の装置は、パティキュレートを誘電加熱し燃焼させる時
に次のような課題を有している。

【００１０】パティキュレートが強く誘電加熱される領
域は、フィルタの排気ガス流入側であるが、排気ガス流
入側のフィルタ端面およびその近傍に堆積したパティキ
ュレートは燃焼状態に移行可能な温度帯まで昇温するこ
とが困難である。この理由は、フィルタ端面近傍の空気
は加熱されにくいのでその空気温度はフィルタ内部の温
度に対して非常に低いことに起因し、フィルタ端面近傍
に堆積したパティキュレートは燃焼状態に移行可能な温
度帯まで昇温しないためである。

【００１１】この課題は、フィルタの排気ガス流入側に
堆積したパティキュレートの燃焼除去が困難であること
を示唆し、これによりフィルタの排気ガス上流側にはパ
ティキュレートの堆積が積算されるので目詰まりを生じ
ることになり排気ガスの通流が阻害されてエンジン動作
異常を来たす恐れがある。

【００１２】また、フィルタの排気ガス流入側と流出側
との誘電加熱に伴う温度差によりフィルタに熱応力が生
じてフィルタの機械的破損を生じる可能性が高い。

【００１３】本発明は上記課題を解決するもので、フィ
ルタの排気ガス流入側端面に堆積したパティキュレート
の加熱燃焼除去を図るとともにフィルタの機械的破損を
防止する改良したマイクロ波方式の内燃機関用フィルタ
再生装置を提供することを目的とする。

【００１４】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の本発明の手段は、パティキュレートを捕集するフィル
タを収納するフィルタ収納部と、マイクロ波を発生する
マイクロ波発生手段と、マイクロ波をフィルタ収納部に
伝送する導波手段と、導波手段内に配設したマイクロ波
発熱手段と、導波手段の壁面に設けた気体流入部とを備
えた構成としている。

【００１５】上記マイクロ波発熱手段は、マイクロ波吸
収材料を導波手段の壁面に配設した構成としている。

【００１６】また、パティキュレートを捕集するフィル
タを収納するフィルタ収納部と、マイクロ波を発生する
マイクロ波発生手段と、フィルタの端面に対向配設した
マイクロ波発熱手段と、マイクロ波をマイクロ波発熱手
段に伝送する導波手段と、導波手段の壁面に設けた気体
流入部とを備えた構成としている。

【００１７】マイクロ波発熱手段は、マイクロ波吸収材
料からなる通気構造体で構成している。

【００１８】また、マイクロ波発熱手段は、低誘電損失
材料からなる通気構造の担体にマイクロ波吸収材料を担
持した構成としている。

【００１９】気体流入部は、導波手段の一端側に設けた
マイクロ波発生手段とマイクロ波発熱手段との間の導波
手段の壁面に配設している。

【００２０】また、気体流入部は、導波手段の一端側の
マイクロ波発生手段の風上側に設けた構成としている。

【００２１】また、導波手段のフィルタ収納部への開口
は、対向する導波孔を備えた構成としている。

【００２２】

【作用】上記構成において、導波手段内に配設したマイ
クロ波発熱手段はマイクロ波発生手段の動作に連動して
マイクロ波加熱により昇温する。気体流入部からは適当
な流量の空気あるいは排気ガスを流入させる。この気体
の温度はマイクロ波発熱手段を通過する際に昇温され、
適当な高温気体となってフィルタに配流される。また、
マイクロ波発熱手段は、導波手段の壁面に配設した構成
あるいは通気構造体を導波手段内に配設した構成として
いる。この構成により、マイクロ波発熱手段の近傍ある
いは発熱手段内部を通過する気体を加熱する。

【００２３】さらに、マイクロ波発生手段が発生するマ
イクロ波はマイクロ波発熱手段に一部が消費され、残り
はフィルタに伝送される。

【００２４】上記の諸作用によりフィルタで捕集したパ
ティキュレートは、マイクロ波による誘電加熱と上記高
温気体による加熱とによる相乗により昇温する。このと
きのフィルタ内部での加熱に伴うパティキュレートの温
度分布は、高温気体の通流によるフィルタの一端から他
端に亘ってのほぼ均一な温度昇温とマイクロ波によるフ
ィルタの一端側に傾斜した温度昇温との相乗による分布
となる。

【００２５】この温度分布により、フィルタの気体通流
方向の温度勾配は緩和されフィルタの機械的破損を抑制
する効果がある。また、フィルタの排気ガス流入側端面
に対しては、高温気体の通流によりフィルタ端面近傍の
雰囲気温度を高めたことにより、フィルタ内部でのパテ
ィキュレート燃焼に伴う熱輻射を含めてフィルタ端面の
温度をパティキュレート燃焼可能温度に昇温させてい
る。これにより、フィルタ端面に堆積したパティキュレ
ートを燃焼除去することができる。

【００２６】また、フィルタ端面に対向してマイクロ波
発熱手段を配設する構成は、フィルタ内部でのパティキ
ュレート燃焼に伴う熱輻射の放熱防止体として作用し、
フィルタ端面側に堆積したパティキュレートの燃焼除去
をより効果的に実行できる。マイクロ波発熱手段は、マ
イクロ波発生手段から見ての負荷インピーダンスの一部
を形成させている。これにより、フィルタに堆積するパ
ティキュレートの量に伴うインピーダンスの変化だけに
伴う負荷インピーダンスの変化に対して変化領域を小さ
くできる。これにより、マイクロ波発生手段が発生する
マイクロ波電力量のパティキュレート捕集量に対する変
化量を小さくできるので、捕集量にほぼ独立に安定的に
マイクロ波を発生させることができる。これにより、マ
イクロ波発熱手段の発熱性能を安定的に維持させること
ができ、再生時の制御性を高めることができる。

【００２７】導波手段の一端側に気体流入部を設けた構
成により、マイクロ波発生手段の出力部を気体通流させ
ている。これにより、出力部の冷却と気体の昇温を兼用
させている。

【００２８】また、導波手段のフィルタ収納部に対する
開口は対向した導波孔構成により、導波手段を通流した
気体はフィルタの気体通流方向に対して垂直方向に通流
しフィルタの端面全体にほぼ均一に流入することを可能
にしている。これにより、フィルタ全体の均一昇温を促
進している。

【００２９】

【実施例】以下本発明の一実施例を図面を参照して説明
する。

【００３０】図１および図２は、本発明一実施例を示す
内燃機関用フィルタ再生装置の構成図であり、図２は図
１のＡ方向から見た一部切り欠き構成図を示す。

【００３１】図１、図２において、１３は内燃機関（デ
ィーゼルエンジン）から排出された排気ガス、１４は排
気ガス中に含まれるパティキュレートを捕集するハニカ
ム構造からなるフィルタ、１５はフィルタ１４を断熱保
持材１６を介して収納保持するフィルタ収納部、１７は
マイクロ波を発生するマイクロ波発生手段、１８、１９
はそれぞれマイクロ波発生手段１７の発生するマイクロ
波をフィルタ収納部１５に伝送する直線状および環状の
矩形導波手段、２０ａ、２０ｂは環状の矩形導波手段１
９の終端に設けたマイクロ波を給電する導波孔であり対
向配設している。２１は導波手段１８内に配設したマイ
クロ波発熱手段、２２は導波手段１８の壁面に設けた気
体流入部であり、導波手段１８の一端側に設けたマイク
ロ波発生手段１７とマイクロ波発熱手段２１との間の導
波手段１８の壁面に設けている。２３はポンプ、コンプ
レッサあるいは送風ファンから構成された気体発生手段
であり、送風出力部２４と気体流入部２２とは送風管２
５で連結している。

【００３２】２６はフィルタ収納部１５の管壁の所定位
置に設けたマイクロ波センサであり、配設部近傍のフィ
ルタ収納部内に生じたマイクロ波電界量を検出する。こ
の検出信号は、検波して直流化し制御部２７に入力され
ている。２８は、マイクロ波発生手段１７を駆動する電
源部である。制御部２７は、マイクロ波センサ２６の検
出信号を受けて、制御部内で所定の演算処理をし、その
演算処理結果に基づいてフィルタ１４の再生処理実行有
無を決定する。再生処理を実行する場合には、電源部２
８および気体発生手段２３の動作を制御して、フィルタ
１４に捕集されたパティキュレートを加熱燃焼除去す
る。

【００３３】マイクロ波発熱手段２１は、炭化珪素、ぺ
ロブスカイト型金属酸化物などのマイクロ波吸収材料を
基にハニカム構造あるいは発泡構造の通気構造体から構
成している。あるいはマイクロ波発熱手段２１は、ムラ
イト、コージライトなどのマイクロ波に対して低誘電損
失材料からなるセラミック材料を基にしたハニカム構造
あるいは発泡構造の通気構造体を担体としてこの担体に
ペロブスカイト型金属酸化物を担持させた構成としてい
る。

【００３４】上記した構成において、制御部２７は予め
決めた適当な周期でマイクロ波発生手段の駆動電源２８
を所定時間の間動作させ、フィルタ１４を収納した空間
にマイクロ波を伝送する。このときにマイクロ波センサ
２６が検出したマイクロ波電界量の信号に基づいてフィ
ルタ１４に捕集されているパティキュレート量を制御部
２７は判定処理する。この判定において、フィルタを再
生する時期かどうかの判定が決定される。

【００３５】フィルタ再生時期でない場合、制御部２７
は次回の駆動電源２８を動作させる時期まで時間カウン
トする。

【００３６】フィルタ再生時期と判定した場合、制御部
２７は駆動電源２８および気体発生手段２３の動作を制
御してフィルタ１４に捕集されたパティキュレートを加
熱燃焼除去する。この過程において、マイクロ波発生手
段１７が発生したマイクロ波は導波手段１８、１９を伝
送し導波孔２０ａ、２０ｂよりフィルタ収納部１５の空
間に給電される。このマイクロ波給電によりフィルタ１
４に堆積したパティキュレートが誘電加熱によって昇温
する。一方、導波手段１８内に配設したマイクロ波発熱
手段２１は、マイクロ波発生手段１７の動作時に発生す
るマイクロ波によってマイクロ波加熱され昇温する。気
体発生手段２３の動作により生じた気体は気体流入部２
２より導波手段１８内に送風されマイクロ波発熱手段２
１を通過するときに高温化して導波孔２０ａ、２０ｂよ
りフィルタ１４に通流される。この高温気体流は、対向
配設した導波孔２０ａ、２０ｂからの気体排出により攪
乱されフィルタ端面の全域にほぼ均一に分布してフィル
タ１４内部を通流する。この高温気体流によるフィルタ
１４内部はほぼ全体が均一に昇温する。

【００３７】上記のマイクロ波による昇温と高温気体流
による昇温とにより、フィルタ１４は全体の昇温とマイ
クロ波加熱による昇温との加算された状態での昇温特性
を呈する。フィルタのマイクロ波給電側端面近傍の昇温
温度がパティキュレート燃焼可能温度に達した時に、給
電側と反対側の端面近傍もパティキュレート燃焼可能温
度近くの温度になり、フィルタ内の温度勾配が緩和され
パティキュレー燃焼開始時の熱応力によるフィルタの機
械的破損を解消している。

【００３８】また、マイクロ波給電側のフィルタ端面に
堆積したパティキュレートに対し、フィルタ端面近傍の
雰囲気温度を高温気体流の存在によって高めたことによ
り、端面に堆積のパティキュレートをフィルタ内部に生
じるパティキュレート燃焼に伴う輻射熱によって燃焼除
去させている。

【００３９】図３は、本発明の他の実施例を示す内燃機
関用フィルタ再生装置の主要部構成である。図１および
図２との相違点は、マイクロ波発熱手段２９を導波手段
１８を構成する壁面３０やこの壁面３０に平行に配設し
た薄板３１の板面に厚膜処理、塗布にて配設した構成と
したことである。

【００４０】また、導波手段１８の一端面３２はパンチ
ング孔加工による通気構造とし、導波手段の外部に導波
手段１８の一端面３２を取り囲んだ空間３３を形成し、
その空間３３の形成壁に気体流入部３４を配設した構成
としたことである。

【００４１】３５はマイクロ波に対して低誘電損失特性
のセラミック材料からなるハニカム構造のフィルタ、３
６はマイクロ波発生手段１７の出力アンテナ部である。

【００４２】上記の構成において、マイクロ波発熱手段
２９を壁面配設することにより、導波手段１８の内部を
通流する気体との接触時間を長くできるので流速の速い
気体流を高温化させることができる。これにより、パテ
ィキュレートの燃焼移動速度を早めることができフィル
タ内部からのパティキュレート燃焼除去時間をより短時
間に実行できる。また、実施例に示すような薄板３１を
導波手段１８内に配設することにより、マイクロ波発熱
手段２９と通流気体との接触面を大きくすることができ
る。

【００４３】また、気体流入部３４からの気体通流によ
り高温になる出力アンテナ部３６からの発熱も取りこむ
ことを可能にしている。フィルタ３５は、排気ガスに含
まれる汚染物の出力アンテナ部３６側への流入を防止し
マイクロ波の安定発生を保証している。

【００４４】なお、フィルタ３５は、マイクロ波吸収材
料を担持しても構わない。マイクロ波発熱手段２９は、
導波手段１８内にできるだけ広範囲に配設させればよい
が、出力アンテナ部３６の近傍、具体的には導波手段１
８内管内伝送波長の１／４以下の領域への配設は電波の
乱れを防ぐため避けることが望ましい。

【００４５】図４は、本発明の他の実施例を示す内燃機
関用フィルタ再生装置の構成を示す。同図において、図
１と同一または同一機能の部材については同一符号で示
す。同図の図１乃至図３との相違点は、マイクロ波発熱
手段３７をフィルタ１４の端面に対向して配設したこと
である。また、マイクロ波発生手段１７の配設位置と気
体流入部３８の配設位置との間の導波手段１８内に、排
気ガスのマイクロ波発生手段側への通流を遮断する低誘
電損失材料からなる遮断板３９を配設したことである。

【００４６】上記した構成により、マイクロ波発熱手段
３７はフィルタ内部で生じたパティキュレートの燃焼に
伴う輻射熱の放熱を防止する部材として作用し、フィル
タ１４の端面に堆積したパティキュレートの燃焼除去を
より効率的に実施できる。

【００４７】また、遮断板３９により、排気ガスのマイ
クロ波発生手段１７側への通流を完全遮断している。こ
れにより、マイクロ波発生手段１７の排気ガス汚染を解
消ししている。また、遮断板３９のマイクロ発生手段１
７配設位置と反対側の板面が万が一排気ガスによって汚
染された場合でも、その汚染物は伝送したマイクロ波に
より加熱除去されるが、この場合この遮断板３９の近傍
に気体流入部３８を配設することにより送風された気体
によって遮断板３９が冷却されるので遮断板３９の高温
化を防止でき、遮断板の熱疲労による強度劣化を防止で
きる。

【００４８】以上、様々な実施形態を説明したが、各実
施形態は図示した組み合わせに特定化されたものではな
く、本発明の目的を逸脱することなしに様々な組み合わ
せで実施することができる。たとえば、図４に示す遮断
板３９は図１に示した実施例に配設できるし、図３に示
したマイクロ波発熱手段２９あるいはフィルタ３５は、
図１、図２および図４に示した実施例に配設することが
できる。

【００４９】なお、環状の矩形導波手段１９の対向した
導波孔２０ａ、２０ｂはマイクロ波を１８０°の位相差
をもって放射している。このため、温度分布を小さくす
ることができる。

【００５０】

【発明の効果】以上説明したように本発明の内燃機関用
フィルタ再生装置によれば、以下の効果が得られる。

【００５１】（１）導波手段内に設けたマイクロ波発熱
手段を介して気体を送風することにより、フィルタに高
温の気体流を供給することができ、フィルタ全体の温度
勾配を抑制したマイクロ波加熱分布を図れる。これによ
り、フィルタの熱応力による機械的破損を解消できる。
また、マイクロ波給電側のフィルタ端面近傍の雰囲気を
高温にできフィルタ端面に堆積したパティキュレートを
燃焼除去できる。

【００５２】（２）導波手段の壁面にマイクロ波発熱手
段を配設することにより、通流する気体との接触時間を
長くできるので、通流気体の流速を高めることができ
る。これにより、パティキュレート燃焼移動速度を速く
できるのでより短時間にフィルタ内部のパティキュレー
トを燃焼除去できる。

【００５３】（３）フィルタ端面に対向したマイクロ波
発熱手段を配設した構成により、発熱手段が放熱防止の
作用をし、フィルタ端面に堆積したパティキュレートを
より効率的に燃焼除去させることができる。

【００５４】（４）気体流入部を導波手段の一端面に設
けた構成により、マイクロ波発生手段の出力アンテナ部
に生じる熱を吸熱できる。

【００５５】（５）導波手段の他端に対向した導波孔を
備えた構成により、この導波孔から排出される気体の流
れを攪拌してフィルタの端面全域にほぼ均一に流入させ
ることができる。これにより、フィルタ全体に均一に高
温気体を通流させることができフィルタ全体を均一に昇
温させることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例の内燃機関用フィルタ再生装
置を示す構成図

【図２】図１のＡ方向からみた一部切り欠き断面構成図

【図３】本発明の他の実施例の内燃機関用フィルタ再生
装置の主要部構成図

【図４】本発明の他の実施例を示す内燃機関用フィルタ
再生装置の構成図

【図５】従来の内燃機関用フィルタ再生装置の構成図

【符号の説明】

１４フィルタ １５フィルタ収容部 １７マイクロ波発生手段 １８、１９導波手段 ２０ａ、２０ｂ導波孔 ２１、２９、３７マイクロ波発熱手段 ２２、３４、３８気体流入部

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 藤原 宣彦 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 松本 孝広 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】パティキュレートを捕集するフィルタを収
   納するフィルタ収納部と、マイクロ波を発生するマイク
   ロ波発生手段と、前記マイクロ波を前記フィルタ収納部
   に伝送する導波手段と、前記導波手段内に配設したマイ
   クロ波発熱手段と、前記導波手段の壁面に設けた気体流
   入部とを備えた内燃機関用フィルタ再生装置。
2. 【請求項２】マイクロ波発熱手段は、マイクロ波吸収材
   料を導波手段の壁面に配設した請求項１記載の内燃機関
   用フィルタ再生装置。
3. 【請求項３】パティキュレートを捕集するフィルタを収
   納するフィルタ収納部と、マイクロ波を発生するマイク
   ロ波発生手段と、前記フィルタの端面に対向配設したマ
   イクロ波発熱手段と、前記マイクロ波を前記マイクロ波
   発熱手段に伝送する導波手段と、前記導波手段の壁面に
   設けた気体流入部とを備えた内燃機関用フィルタ再生装
   置。
4. 【請求項４】マイクロ波発熱手段は、マイクロ波吸収材
   料からなる通気構造体とした請求項１または３記載の内
   燃機関用フィルタ再生装置。
5. 【請求項５】マイクロ波発熱手段は、低誘電損失材料か
   らなる通気構造の担体にマイクロ波吸収材料を担持した
   請求項１または３記載の内燃機関用フィルタ再生装置。
6. 【請求項６】気体流入部は、導波手段の一端側に設けた
   マイクロ波発生手段とマイクロ波発熱手段との間の導波
   手段の壁面に配設した請求項１または３記載の内燃機関
   用フィルタ再生装置。
7. 【請求項７】気体流入部は、導波手段の一端側のマイク
   ロ波発生手段の風上側に設けた請求項１ないし請求項５
   のいづれか１項に記載の内燃機関用フィルタ再生装置。
8. 【請求項８】導波手段のフィルタ収納部への開口は、対
   向する導波孔を備えた請求項６または７記載の内燃機関
   用フィルタ再生装置。