JPH08234153A - Method for reproducing glass for color filter - Google Patents

Method for reproducing glass for color filter

Info

Publication number
JPH08234153A
JPH08234153A JP6489195A JP6489195A JPH08234153A JP H08234153 A JPH08234153 A JP H08234153A JP 6489195 A JP6489195 A JP 6489195A JP 6489195 A JP6489195 A JP 6489195A JP H08234153 A JPH08234153 A JP H08234153A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
colored coating
glass substrate
coating film
surfactants
color filter
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP6489195A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Toshiaki Ota
敏秋 太田
Takashi Chinuki
高志 千貫
Kazuhiko Kishida
和比古 岸田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shinto Paint Co Ltd
Original Assignee
Shinto Paint Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shinto Paint Co Ltd filed Critical Shinto Paint Co Ltd
Priority to JP6489195A priority Critical patent/JPH08234153A/en
Publication of JPH08234153A publication Critical patent/JPH08234153A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Abstract

PURPOSE: To industrially advantageously peel colored coating films and to enable the reproduction of glass substrates having colored coating films by treating these glass substrates with an aq. compsn. contg. surfactants, chelate agents and alkalis. CONSTITUTION: The aq. compsn. is prepd. by mixing at least one kind of the surfactants selected from a group of nonionic surfactants and anionic surfactants, the chelate agents and the alkalis with water. Polyoxyethylene alkyl ethers, etc., are exemplified as the nonionic surfactants. The carboxylates expressed by formulas RCOOM, RCONHC2 H4 OCH2 COOM, ROOCNHCH2 COOM (where, R denotes 8 to 22 alkyl group, M denotes alkaline metals, such as sodium and potassiun), etc., are exemplified as the anionic surfactants. Ethylene diamines, etc., are exemplified as the chelate agents.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明はカラーフィルター用ガラ
ス基板の再生方法に関する。更に詳しくは、本発明は、
基板上に形成された着色塗膜に欠陥があるとき形成され
た着色塗膜の全部を剥離してカラーフィルター用ガラス
基板を再生する方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for recycling a glass substrate for a color filter. More specifically, the present invention provides
The present invention relates to a method of reclaiming a glass substrate for a color filter by peeling off the entire colored coating film formed when the colored coating film formed on the substrate has a defect.

【0002】[0002]

【従来の技術および発明が解決しようとする課題】カラ
ーLCDは、いわゆるポケットテレビ等に使用されてき
たが、近年、大型化、大画面化が急速に進められてい
る。画質もTN液晶からSTN液晶やTFTに代表され
るアクティブ駆動素子の開発でCRTに迫るものが開発
されている。
2. Description of the Related Art Color LCDs have been used for so-called pocket TVs and the like, but in recent years, their size and screen have been rapidly increased. In terms of image quality, the development of active driving elements represented by STN liquid crystal and TFT from TN liquid crystal has been developed to approach CRT.

【0003】このようなカラーLCDに使用されるカラ
ーフィルターは、現在、染色法、顔料分散法、電着法、
印刷法などの方法によって製造されているが、いずれの
方法においても、画質の向上と生産性の改善について様
々な検討が行われている。とりわけ、近年は、ますます
高い信頼性が要求され、さらに高精度のカラーフィルタ
ーが要求されてきているために、製品の検査も一層厳格
になり製品の不良率が高くなって、カラーフィルター製
造の歩留りが低下しているのが現状である。
Color filters used in such color LCDs are currently used in dyeing methods, pigment dispersion methods, electrodeposition methods,
Although it is manufactured by a method such as a printing method, various studies have been conducted on improvement in image quality and productivity in any method. In particular, in recent years, the demand for higher reliability and the demand for higher-precision color filters have led to stricter product inspections, leading to higher product failure rates, which has led to the production of color filters. The current situation is that the yield is decreasing.

【0004】カラーフィルターの製造において、ガラス
基板上に形成した着色塗膜に種々の原因で欠陥が生じ
る。例えば、ゴミなどの異物の混入による欠陥、ピンホ
ールや欠けなどによる欠陥、凹凸(平坦性不良)の欠
陥、更には所定の色以外の着色による欠陥など種々の原
因で欠陥が生じ、これらが製品の不良率を高めている一
つの原因になっている。製造の工程管理を徹底してあら
ゆる欠陥の原因を排除することは可能かもしれないが必
ずしも工業的に有利とは言えないことから、生じた着色
塗膜の欠陥を修正する方法が種々提案されている。
In the production of color filters, defects occur in the colored coating film formed on the glass substrate due to various causes. For example, defects due to mixing of foreign substances such as dust, defects due to pinholes or chips, defects of unevenness (flatness failure), defects due to coloring other than a predetermined color, and the like are caused by various causes. This is one of the reasons for increasing the defect rate. Although it may be possible to eliminate all causes of defects by thoroughly controlling the manufacturing process, it is not always industrially advantageous, so various methods for correcting defects in the colored coating film that have arisen have been proposed. There is.

【0005】例えば、特開平3−296701号公報に
は、ピンホールや欠けなどによって生じた欠陥部分に、
着色塗膜と同色の、または欠陥塗膜が複数色に亘る場合
は、灰色の顔料を含有するネガ型感光性樹脂を塗布し、
塗布した面の背面から露光、現像することによって修正
する方法が提案されている。また、同公報によれば、特
開昭63−128302号公報には、欠陥部分にブラッ
クマトリックス形成用の黒色ネガ型感光性樹脂を塗布し
同様の方法で修正する方法が提案されているが、この方
法は、ピンホール部分が特に静止画表示したときに黒欠
陥として認識されてしまうという問題があると記載され
ている。
For example, in Japanese Patent Laid-Open No. 3-296701, a defective portion caused by a pinhole or a chip is
If the coating film is the same color as the colored coating film or has multiple defective coating films, apply a negative photosensitive resin containing a gray pigment,
A method of correcting by exposing and developing from the back of the coated surface has been proposed. Further, according to the same publication, JP-A-63-128302 proposes a method of applying a black negative photosensitive resin for forming a black matrix to a defective portion and correcting it by the same method. It is described that this method has a problem that a pinhole portion is recognized as a black defect particularly when a still image is displayed.

【0006】また、特開平4−369604号公報に
は、ゴミなどの異物の混入によって生じた欠陥の修正方
法が開示されている。すなわち、そのような欠陥部分を
含めて塗膜上に剥離性および可とう性の良い材料からな
る保護膜を形成し、欠陥部分にレーザービームを照射し
てその部分を除去し、除去した部分に着色塗膜と同色の
熱または光硬化性の遮光性材料を塗布し、欠陥部分の周
辺の保護膜を機械的に剥離したあと、熱または紫外線に
よって遮光性材料を硬化させて修正しようとするもので
ある。
Further, Japanese Patent Application Laid-Open No. 4-369604 discloses a method of correcting a defect caused by mixing foreign matter such as dust. That is, a protective film made of a material with good peelability and flexibility is formed on the coating film including such a defective portion, the defective portion is irradiated with a laser beam to remove the portion, and the removed portion is removed. A heat- or photo-curable light-shielding material of the same color as the colored coating film is applied, the protective film around the defective part is mechanically peeled off, and then the light-shielding material is cured by heat or ultraviolet rays to try to correct it. Is.

【0007】本発明者らは、カラーフィルター生産の歩
留りの向上について種々検討するなかで、上記の修正方
法によっても尚修正できない欠陥があったり、あるいは
修正できた場合でも必ずしも工業的に効率的であるとは
言えないこともあるために、視点を全く変えて、着色塗
膜に欠陥があるとき、基板上に形成した着色塗膜の全部
を剥離してカラーフィルター用ガラス基板を再生し、改
めて着色塗膜を形成する方法について、特に、工業的に
有利な着色塗膜の剥離方法について鋭意検討した結果、
本発明を完成するに至った。
The inventors of the present invention have made various investigations on the improvement in the yield of color filter production. However, even if there is a defect that cannot be corrected by the above-mentioned correction method, or even if it can be corrected, it is not necessarily industrially efficient. Since there is something that can not be said, when changing the viewpoint completely, when the colored coating film has a defect, peel off the entire colored coating film formed on the substrate and regenerate the color filter glass substrate, For the method of forming a colored coating film, in particular, as a result of earnestly examining the method of peeling a colored coating film industrially advantageous,
The present invention has been completed.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】本発明は、表面に着色塗
膜を有するガラス基板を、非イオン界面活性剤および陰
イオン界面活性剤からなる群から選ばれる少なくとも一
種の界面活性剤、キレート剤およびアルカリを含有して
なる水性組成物を用いて処理することによって該着色塗
膜を剥離することを特徴とするカラーフィルター用ガラ
ス基板の再生方法を提供する。
The present invention provides a glass substrate having a colored coating film on its surface, at least one surfactant and a chelating agent selected from the group consisting of nonionic surfactants and anionic surfactants. Also provided is a method for reclaiming a glass substrate for a color filter, which comprises peeling off the colored coating film by treating with an aqueous composition containing an alkali.

【0009】以下に本発明を詳細に説明する。本発明方
法に用いる水性組成物は、非イオン界面活性剤および陰
イオン界面活性剤からなる群から選ばれる少なくとも一
種の界面活性剤、キレート剤およびアルカリを水と混合
することによって調製することができる。非イオン界面
活性剤としては、ポリオキシエチレンアルキルエーテル
類、ポリオキシエチレンアルキルアリルエーテル類、ポ
リオキシエチレンアルキルチオエーテル類、ポリオキシ
エチレンポリオキシプロピレン縮合物、ソルビタンアル
キルエステル類、脂肪酸エタノールアミド類、高級アル
キルエーテル類などが例示される。これらの中、ポリオ
キシエチレン系のものが好ましく、特に、そのアルキル
アリルエーテル類が好ましい。
The present invention will be described in detail below. The aqueous composition used in the method of the present invention can be prepared by mixing at least one surfactant selected from the group consisting of nonionic surfactants and anionic surfactants, a chelating agent and an alkali with water. . Nonionic surfactants include polyoxyethylene alkyl ethers, polyoxyethylene alkyl allyl ethers, polyoxyethylene alkyl thioethers, polyoxyethylene polyoxypropylene condensates, sorbitan alkyl esters, fatty acid ethanolamides, higher grades. Examples thereof include alkyl ethers. Among these, polyoxyethylene-based ones are preferable, and alkyl allyl ethers thereof are particularly preferable.

【0010】陰イオン界面活性剤としては、式RCOO
M、RCONHC2 4 OCH2 COOM、ROOCN
HCH2 COOM(式中、Rは炭素数8〜22のアルキ
ル基、Mはナトリウム、カリウムなどのアルカリ金属を
表す。)などで表されるカルボン酸塩類、高級アルコー
ル硫酸エステル塩類、アルキルアリルスルホン酸塩類、
ポリオキシエチレンアルキルエーテル硫酸エステル塩
類、ポリオキシエチレンアルキルアリルエーテル硫酸エ
ステル塩類などが例示される。これらの中、アルキルア
リルスルホン酸塩類が最も好ましい。
Anionic surfactants are represented by the formula RCOO
M, RCONHC 2 H 4 OCH 2 COOM, ROOCN
HCH 2 COOM (in the formula, R represents an alkyl group having 8 to 22 carbon atoms, M represents an alkali metal such as sodium or potassium), carboxylic acid salts, higher alcohol sulfuric acid ester salts, alkylallyl sulfonic acid salts,
Examples thereof include polyoxyethylene alkyl ether sulfate ester salts and polyoxyethylene alkyl allyl ether sulfate ester salts. Of these, alkylallyl sulfonates are most preferred.

【0011】キレート剤としては、エチレンジアミン、
ジエチレントリアミン、ペンタエチレンヘキサミンなど
のアミン系化合物、イミノジ酢酸、N−ヒドロキシエチ
ルイミノジ酢酸、エチレンジアミンテトラ酢酸、トリメ
チレンジアミンテトラ酢酸、エチレンジアミンテトラプ
ロピオン酸、エチレンジアミンジプロピオンジ酢酸など
のカルボン酸系化合物またはそれらの塩、ピリジン、タ
ーピリジン、8−ヒドロキシキノリンなどのヘテロ系化
合物などが例示される。これらの中、エチレンジアミン
テトラ酢酸、トリメチレンジアミンテトラ酢酸、エチレ
ンジアミンテトラプロピオン酸などのカルボン酸系化合
物またはその塩などが特に好適である。アルカリは特に
制限されないが、水酸化ナトリウム、水酸化カリウムな
どのアルカリ金属水酸化物などが好適に用いられる。
As the chelating agent, ethylenediamine,
Amine compounds such as diethylenetriamine and pentaethylenehexamine, carboxylic acid compounds such as iminodiacetic acid, N-hydroxyethyliminodiacetic acid, ethylenediaminetetraacetic acid, trimethylenediaminetetraacetic acid, ethylenediaminetetrapropionic acid and ethylenediaminedipropiondiacetic acid, or those And a hetero compound such as pyridine, terpyridine, and 8-hydroxyquinoline. Among these, carboxylic acid compounds such as ethylenediaminetetraacetic acid, trimethylenediaminetetraacetic acid and ethylenediaminetetrapropionic acid or salts thereof are particularly suitable. The alkali is not particularly limited, but alkali metal hydroxides such as sodium hydroxide and potassium hydroxide are preferably used.

【0012】本発明で用いる水性組成物を製造する方法
は特に制限されないが、例えば、上記の非イオン界面活
性剤の少なくとも一種、陰イオン界面活性剤の少なくと
も一種、またはそれらの混合物とキレート剤を全固形分
濃度が10〜40重量%となるように水と混合し、次い
で、上記のアルカリを用いてpHを約9〜11に調整し
て製造することができる。ここで、界面活性剤とキレー
ト剤との混合割合は、処理を施すガラス基板上の着色塗
膜の種類や状況によって適宜決定することができ、特に
制限されるものではないが通常は、界面活性剤100重
量部に対して、キレート剤は1〜100重量部の範囲か
ら適宜選ぶことができる。また、ガラス基板上の着色塗
膜の種類や状況によって非イオン界面活性剤と陰イオン
界面活性剤との混合物を用いることが望ましいが、この
場合の混合割合は着色塗膜の種類や状況によって適宜決
定することができる。
The method for producing the aqueous composition used in the present invention is not particularly limited. For example, at least one of the above-mentioned nonionic surfactants, at least one of anionic surfactants, or a mixture thereof and a chelating agent are used. It can be produced by mixing with water so that the total solid content concentration becomes 10 to 40% by weight, and then adjusting the pH to about 9 to 11 using the above alkali. Here, the mixing ratio of the surfactant and the chelating agent can be appropriately determined depending on the type and situation of the colored coating film on the glass substrate to be treated, and is not particularly limited, but usually the surfactant The chelating agent can be appropriately selected from the range of 1 to 100 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the agent. Further, it is desirable to use a mixture of a nonionic surfactant and an anionic surfactant depending on the type and situation of the colored coating film on the glass substrate, but the mixing ratio in this case is appropriately determined depending on the type and situation of the colored coating film. You can decide.

【0013】本発明においては、このようにして準備し
た水性組成物を用い、ガラス基板上に形成された着色塗
膜の剥離処理を行う。処理の方法は特に制限されるもの
ではないが、工業的有利、且つ、効率的には以下の方法
によって行うことができる。
In the present invention, the aqueous composition thus prepared is used to remove the colored coating film formed on the glass substrate. The treatment method is not particularly limited, but it is industrially advantageous and can be efficiently performed by the following method.

【0014】上記の水性組成物を、全固形分濃度が1〜
5重量%になるように水に溶解して処理液とする。一
方、着色塗膜を有するガラス基板を、例えば、所定のカ
セットにセットして準備し、これを前記の処理液に浸漬
する。処理温度は、好ましくは20〜60℃、より好ま
しくは30〜50℃であり、処理時間は1〜60分で、
通常は、数分〜30分程度で十分である。処理後は、ガ
ラス基板を処理液から引き上げ、十分に流水洗浄し、次
いで、エアーナイフなどを通してガラス基板上の水切り
を行う。
The above aqueous composition has a total solid content of 1 to
It is dissolved in water to obtain a treatment liquid so as to be 5% by weight. On the other hand, for example, a glass substrate having a colored coating film is set in a predetermined cassette to be prepared, and the glass substrate is immersed in the treatment liquid. The treatment temperature is preferably 20 to 60 ° C., more preferably 30 to 50 ° C., the treatment time is 1 to 60 minutes,
Usually, several minutes to 30 minutes is sufficient. After the treatment, the glass substrate is pulled out from the treatment liquid, sufficiently washed with running water, and then the glass substrate is drained through an air knife or the like.

【0015】このようにしてガラス基板上に形成された
着色塗膜を剥離することができるが、上記のとおり処理
したガラス基板を、流水洗浄後、再度、上記の処理液に
浸漬し室温で数時間〜10数時間、例えば、カラーフィ
ルターの生産タイムサイクルに合わせて、夜間静置して
おき、翌日、処理液から引き上げ、上記の後処理を施し
て水切りを行った後、所定の着色塗膜の形成工程に供す
るなどの方法によって、着色塗膜の剥離をより完全にす
ることもできる。
Although the colored coating film formed on the glass substrate can be peeled off in this manner, the glass substrate treated as described above is washed with running water and then immersed again in the above treatment liquid at room temperature for several hours. Time to 10 hours, for example, according to the production time cycle of the color filter, it is left to stand at night, and the next day, it is pulled out of the treatment liquid, subjected to the above-mentioned post-treatment and drained, and then given a predetermined colored coating film. The colored coating film can be more completely peeled off by a method such as being used in the step of forming.

【0016】本発明の方法によって剥離処理が施された
ガラス基板は、その表面が剥離処理による損傷もなく着
色塗膜が剥離され、且つ、本発明の処理液にはガラスの
洗浄効果もあるためにガラス基板上に存在することもあ
るゴミや汚れ、更にはシミやムラも除去されて清浄であ
り、カラーフィルターの製造に使用されるに十分であ
り、それを用いて従来知られているいずれの方法によっ
ても所望のカラーフィルターを製造することができる。
本発明の方法は、ITOなどの透明導電性材料に対して
も何らの悪影響も与えないので、ガラス基板上に形成さ
れた透明導電層上に電着法によって形成された着色塗膜
の剥離に特に有用である。
On the glass substrate which has been subjected to the peeling treatment by the method of the present invention, the colored coating film is peeled off without damage to the surface by the peeling treatment, and the treatment liquid of the present invention also has a glass cleaning effect. Dust and dirt that may be present on the glass substrate, as well as stains and unevenness are removed and cleaned, which is sufficient for use in the production of color filters, and any of those conventionally known using it. A desired color filter can also be manufactured by the method of.
Since the method of the present invention does not have any adverse effect on the transparent conductive material such as ITO, it is possible to remove the colored coating film formed by the electrodeposition method on the transparent conductive layer formed on the glass substrate. Especially useful.

【0017】[0017]

【実施例】以下、本発明を実施例によって更に詳細に説
明する。この実施例は本発明方法の一例を示すもので本
発明を限定するものではない。
EXAMPLES The present invention will be described in more detail below with reference to examples. This example illustrates one example of the method of the present invention and does not limit the present invention.

【0018】実施例 表面にITO回路が所定のピッチで形成されている、縦
350cm、横300cm、厚さ1.1mmのガラス基
板を用い、公知の電着法によってR(赤)、G(緑)お
よびB(青)着色塗膜を該回路上に形成した後、100
℃で15分間焼成処理を施した。一方、エマルゲン91
0(ポリオキシエチレンアルキルフェニルエーテル系非
イオン界面活性剤、花王社製)100重量部およびキレ
スト4K(エチレンジアミンテトラ酢酸塩系キレート
剤、キレスト社製)5重量部を固形分濃度が30重量%
となるように純水と混合し、苛性カリを用いてpH10
として水性組成物を調製した。
EXAMPLE A glass substrate having a length of 350 cm, a width of 300 cm, and a thickness of 1.1 mm on which an ITO circuit is formed at a predetermined pitch on the surface is used, and R (red) and G (green) are formed by a known electrodeposition method. ) And B (blue) colored coatings on the circuit and then 100
Baking treatment was performed at 15 ° C. for 15 minutes. On the other hand, Emulgen 91
0 (polyoxyethylene alkylphenyl ether-based nonionic surfactant, manufactured by Kao) 100 parts by weight and CHIREST 4K (ethylenediaminetetraacetate-based chelating agent, manufactured by CREST) 5 parts by weight have a solid content of 30% by weight.
Mixed with pure water so that the pH becomes 10 with caustic potash.
Was prepared as an aqueous composition.

【0019】この水性組成物を純水で10重量倍に希釈
して処理液とし、この処理液中に上記のR、G、B着色
塗膜を有するガラス基板を浸漬し、45℃で30分間静
置した。その後、ガラス基板を引き上げ流水で十分に洗
浄し、引き続きガラス基板を上記の処理液中に浸漬し室
温で一夜放置した。翌朝、ガラス基板を引き上げ、流水
で十分に洗浄しエアーナイフを通して基板上の水切りを
行った。このようにして処理したガラス基板は、R、
G、Bいずれの着色塗膜も完全に剥離され、表面が清浄
であり、ガラス面もITO回路表面も全く損傷していな
かった。
This aqueous composition was diluted 10 times by weight with pure water to prepare a treatment liquid, and the glass substrate having the above R, G, B colored coating films was immersed in this treatment liquid, and the treatment was carried out at 45 ° C. for 30 minutes. I let it stand. Then, the glass substrate was pulled up and thoroughly washed with running water, and then the glass substrate was immersed in the above treatment liquid and left at room temperature overnight. The next morning, the glass substrate was pulled up, thoroughly washed with running water, and the substrate was drained through an air knife. The glass substrate treated in this manner has R,
The colored coating films of both G and B were completely peeled off, the surface was clean, and neither the glass surface nor the ITO circuit surface was damaged at all.

【0020】[0020]

【発明の効果】本発明の方法によって、ガラス基板等を
損傷することなく、その上に形成された着色塗膜を工業
的有利に剥離してカラーフィルター用ガラス基板を再生
することができ、且つ、存在することがあるゴミや汚
れ、更にはシミやムラなどを工業的有利に洗浄、除去し
てその表面を清浄にすることができ、カラーフィルター
製造の歩留りを向上することができる。
Industrial Applicability According to the method of the present invention, the glass substrate for color filters can be regenerated by industrially advantageously peeling off the colored coating film formed thereon without damaging the glass substrate or the like, and It is possible to industrially advantageously clean and remove dust and dirt that may be present, as well as stains and unevenness, to clean the surface, and improve the yield of color filter production.

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 表面に着色塗膜を有するガラス基板を、
非イオン界面活性剤および陰イオン界面活性剤からなる
群から選ばれる少なくとも一種の界面活性剤、キレート
剤およびアルカリを含有してなる水性組成物を用いて処
理することによって該着色塗膜を剥離することを特徴と
するカラーフィルター用ガラス基板の再生方法。
1. A glass substrate having a colored coating film on its surface,
The colored coating film is peeled off by treatment with an aqueous composition containing at least one surfactant selected from the group consisting of nonionic surfactants and anionic surfactants, a chelating agent and an alkali. A method for recycling a glass substrate for a color filter, which is characterized in that
【請求項2】 表面に着色塗膜を有するガラス基板を、
20〜60℃に維持した該水性組成物中に浸漬して処理
を行う請求項1に記載の方法。
2. A glass substrate having a colored coating film on its surface,
The method according to claim 1, wherein the treatment is carried out by immersing in the aqueous composition maintained at 20 to 60 ° C.
【請求項3】 着色塗膜が、ガラス基板上に形成された
透明導電層上に電着法によって形成されてなる請求項1
または2に記載の方法。
3. The colored coating film is formed on a transparent conductive layer formed on a glass substrate by an electrodeposition method.
Or the method described in 2.
JP6489195A 1995-02-27 1995-02-27 Method for reproducing glass for color filter Pending JPH08234153A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP6489195A JPH08234153A (en) 1995-02-27 1995-02-27 Method for reproducing glass for color filter

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP6489195A JPH08234153A (en) 1995-02-27 1995-02-27 Method for reproducing glass for color filter

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH08234153A true JPH08234153A (en) 1996-09-13

Family

ID=13271168

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP6489195A Pending JPH08234153A (en) 1995-02-27 1995-02-27 Method for reproducing glass for color filter

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH08234153A (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7008282B2 (en) 2002-03-08 2006-03-07 Seiko Epson Corporation Method for eliminating materials, method for reclaiming base, method for manufacturing display, and electronic appliances comprising display manufactured by the manufacturing method

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7008282B2 (en) 2002-03-08 2006-03-07 Seiko Epson Corporation Method for eliminating materials, method for reclaiming base, method for manufacturing display, and electronic appliances comprising display manufactured by the manufacturing method

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6071376A (en) Method and apparatus for cleaning photomask
TW296536B (en)
JP2021532406A (en) Organic / Inorganic Hybrid photoresist Process Liquid Composition
JPH08234153A (en) Method for reproducing glass for color filter
WO2007108186A1 (en) Cleaning treatment liquid
WO2021051639A1 (en) Lcd substrate cleaning agent and use method therefor
JPH06202111A (en) Method for removing liquid crystal oriented film
JP4283516B2 (en) Regeneration method of glass substrate for color filter
JP2008095148A (en) Etching solution and method for producing black matrix
JP4342655B2 (en) Alkali developer for photosensitive resin composition
JP2001124916A (en) Method of regenerating glass substrate for color filter
KR20120021787A (en) Developer for negative colored photosensitive resin composition
KR100708635B1 (en) Cleaning composition for removing residue on substrate of display device
JP3254798B2 (en) Reproduction method of color filter light shielding film
KR101016724B1 (en) Thinner composition for removing photosensitive resin
JP5104605B2 (en) Regeneration method of glass substrate for color filter
JP2001091731A (en) Method for regenerating color filter glass substrate having resin shading layer
JPS63298242A (en) Formation of photosensitive resin layer
JP2005189679A (en) Method for regenerating glass substrate for color filter
JPH09268032A (en) Cleansing of glass substrate for color filter
CN113832471B (en) Cleaning agent for rapidly stripping polyimide film and application thereof
JP3879828B2 (en) Photomask blank manufacturing method
JP2005010816A (en) Method for reproducing glass substrate
JP2001312073A (en) Developing solution for negative photoresist
JPH09274104A (en) Production of color filters