JPH08233846A - 加速度検出方法及び装置 - Google Patents

加速度検出方法及び装置

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JPH08233846A
JPH08233846A JP7035788A JP3578895A JPH08233846A JP H08233846 A JPH08233846 A JP H08233846A JP 7035788 A JP7035788 A JP 7035788A JP 3578895 A JP3578895 A JP 3578895A JP H08233846 A JPH08233846 A JP H08233846A
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JP
Japan
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acceleration
sensitivity
sensors
arithmetic circuit
circuit
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JP7035788A
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English (en)
Inventor
Takahiro Imamura
孝浩 今村
Hiroshi Muto
弘 武藤
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Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 本発明は、複数の加速度センサーの出力から
横感度による誤差を演算により補正することで、加速度
の検出精度を高めることを目的とする。 【構成】 主感度k1方向が互いに交差するように配置
した複数の加速度センサー1、2と、前記各加速度セン
サー1、2の横感度k2による誤差を、前記各加速度セ
ンサー1、2の出力V1、V2から演算により補正する
演算回路3を設ける。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、交差して配置された複
数の加速度センサーの出力から各成分の加速度を検出す
る、加速度検出方法及び装置に関する。
【0002】例えば磁気ディスク装置等において、正確
なヘッドの位置決めを行うため筐体のゆれやヘッドアー
ムの運動を加速度により検出したり、外乱振動を受けた
際に、書き込みを停止させるために筐体の加速度を検出
したりしており、誤差の少ない加速度の検出が望まれて
いる。
【0003】
【従来の技術】従来の加速度検出は、複数の加速度セン
サーを直交して配置し、それぞれの加速度センサーから
の出力により、各軸方向の加速度を検出していた。しか
し、一般に加速度センサーは主感度方向に直交する方向
の加速度に対してもわずかながら感度を持ち、これは、
横感度と呼ばれている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】前記のような従来のも
のにおいては、本来は出力がない主感度方向に直交する
方向の加速度である横感度が、わずかながらあり、測定
誤差の一因となっていた。このため、加速度センサー自
身の横感度を極限まで下げることが必要であった。
【0005】本発明は、このような従来の課題を解決
し、複数の加速度センサーの出力から横感度による誤差
を演算により補正することで、加速度の検出精度を高め
ることを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】図1は本発明の原理説明
図であり、図1中、1は加速度センサー、2は加速度セ
ンサー、3は演算回路、k1は主感度、k2は横感度、
V1は加速度センサー1の出力、V2は加速度センサー
2の出力、αxは加速度のx軸成分、αyは加速度のy
軸成分を示す。
【0007】本発明は上記の課題を解決するため、次の
ように構成した。主感度方向が互いに交差するように配
置した複数の加速度センサー1、2と、前記各加速度セ
ンサー1、2の横感度による誤差を、前記各加速度セン
サーの出力V1、V2から演算により補正する。
【0008】また、主感度方向が互いに交差するように
配置した複数の加速度センサー1、2と、前記各加速度
センサー1、2の出力V1、V2を演算する演算回路3
とを設け、前記演算回路3で、前記各加速度センサーの
出力V1、V2から横感度による誤差を演算により補正
する。
【0009】さらに、前記演算回路3で、加速度ベクト
ル{α}に対する出力ベクトル{V}を与える感度行列
を〔K〕として、{α}=〔K〕-1{V}の演算をす
る。また、前記複数の加速度センサー1、2の間で主感
度同士および横感度同士がほぼ等しくする。
【0010】さらに、前記演算回路3で、各軸の演算
を、反転増幅器のみで行うようにする。また、前記演算
回路3で、各軸の演算を、一つの加減算増幅器のみで行
うようにする。
【0011】
【作用】前記構成に基づく本発明の作用を、図1に基づ
いて説明する。主感度方向が互いに交差するように配置
した複数の加速度センサー1、2と、前記各加速度セン
サー1、2の横感度による誤差を、前記各加速度センサ
ーの出力V1、V2から演算により補正することで、加
速度の検出精度を高めることができる。
【0012】また、主感度方向が互いに交差するように
配置した複数の加速度センサー1、2と、前記各加速度
センサー1、2の出力V1、V2を演算する演算回路3
とを設け、前記演算回路3で、前記各加速度センサーの
出力V1、V2から横感度による誤差を演算により補正
することで、加速度の検出精度を高めることができる。
【0013】さらに、前記演算回路3で、加速度ベクト
ル{α}に対する出力ベクトル{V}を与える感度行列
を〔K〕として、{α}=〔K〕-1{V}の演算をする
ことで、複数軸方向の加速度を演算することができる。
【0014】また、前記複数の加速度センサー1、2の
間で主感度同士および横感度同士がほぼ等しくすること
で、演算回路の設計を簡単にすることができる。さら
に、前記演算回路3で、各軸の演算を、反転増幅器のみ
で行うようにすることで、回路材料の選択が容易にな
る。
【0015】また、前記演算回路3で、各軸の演算を、
一つの加減算増幅器のみで行うようにすることで、増幅
器が少なくて済み、回路が簡略化される。
【0016】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明
する。図2〜図4は、本発明の実施例を示した図であ
り、図中、図1と同じものは、同じ符号で示してある。
【0017】§1:加速度検出の説明 図2は、加速度検出の説明図であり、図2(A)は、加
速度センサーの説明、図2(B)は、演算式による説明
である。
【0018】1)加速度センサーの説明 図2(A)の(a)は、測定すべきx軸方向の加速度成
分αxとy軸方向の加速度成分αyを示す。
【0019】図2(A)の(b)は、主感度k1の方向
がx軸に沿うように配置された加速度センサー1であ
り、本来x方向の加速度のみを検出すべきものである
が、それと直交する方向の感度(横感度)k2はゼロで
はなく、なにがしの感度を有する。
【0020】図2(A)の(c)は、主感度k1の方向
がy軸に沿うように配置された加速度センサー2であ
り、加速度センサー1と同一特性である。 2)演算式による加速度の説明 本発明は、直交して配置された複数の加速度センサーの
出力から、横感度による誤差を演算により補正して各成
分の加速度を検出するものである。
【0021】図2(B)は、演算式による説明であり、
測定すべき加速度のx成分及びy成分をそれぞれαx、
αy、加速度センサー1及び加速度センサー2からのそ
れぞれの出力をV1、V2、また、各加速度センサー
1、2の主感度をk1、横感度をk2とすると次の様な
関係がある。
【0022】 V1= k1・αx+k2・αy ・・・・・(1) V2=−k2・αx+k1・αy ・・・・・(2) そこで、式(1)式(2)からαx、αyを求めると次
のようになる。
【0023】 αx=K11・V1−K12・V2 ・・・・・(3) αy=K21・V1+K22・V2 ・・・・・(4) 但し、 K11=k1/(k12 +k22 ) K12=k2/(k12 +k22 ) K21=k2/(k12 +k22 ) K22=k1/(k12 +k22 ) 上記の演算をすることにより、αx及びαyを正確に検
出することができる。
【0024】また、x,yと直交するz方向の横感度ま
で考慮する場合も同様で、出力ベクトルを{V}、感度
行列を〔K〕、加速度ベクトルを{α}で表記すると、
{V}=〔K〕{α}の関係があり、{α}=〔K〕-1
{V}の演算をすることにより、加速度のx、y、zの
各成分αx、αy、αzを、正確に検出することができ
る。
【0025】さらに、各センサーの主感度方向が直交し
ない場合も、なす角が既知であれば補正可能である。 §2:演算回路の説明 加速度センサー1及び加速度センサー2を主感度方向が
直交する向きに配置する。そして、加速度センサー1及
び加速度センサー2からの出力電圧をV1、V2とし、
これら二つの加速度センサー間で主感度及び横感度がそ
ろっているものとする。なお、この出力電圧V1、V2
は加速度センサーが圧電素子のような電荷型の場合は、
チャージアンプを通したのちの出力とする。
【0026】1)反転増幅器(アンプ)を用いた演算回
路の説明 図3は、反転アンプを用いた演算回路の説明図であり、
図3において、4個のオペアンプ(演算増幅器)で構成
された反転アンプ4〜7が設けてある。
【0027】反転アンプ4は、マイナス入力端子に出力
電圧V1に接続された抵抗r0と帰還抵抗r0が接続さ
れ、プラス入力端子は抵抗r0/2を介して接地されて
いる。
【0028】反転アンプ5は、マイナス入力端子に反転
アンプ4の出力に接続された抵抗r11と出力電圧V2
に接続された抵抗r12と帰還抵抗r1とが接続され、
プラス入力端子は抵抗rG1を介して接地されている。な
お、抵抗rG1はバイアス補償抵抗であり帰還抵抗r1、
抵抗r11、抵抗r12の並列合成抵抗値を用いる。
【0029】反転アンプ6は、マイナス入力端子に出力
電圧V1に接続された抵抗r21と出力電圧V2に接続
された抵抗r22と帰還抵抗r2とが接続され、プラス
入力端子は抵抗rG2を介して接地されている。なお、抵
抗rG2はバイアス補償抵抗であり帰還抵抗r2、抵抗r
21、抵抗r22の並列合成抵抗値を用いる。
【0030】反転アンプ7は、マイナス入力端子に反転
アンプ4の出力に接続された抵抗r0と帰還抵抗r0が
接続され、プラス入力端子は抵抗r0/2を介して接地
されている。
【0031】次に図3の回路の動作を説明する。上段で
は前段の反転アンプ4で出力電圧V1のみ反転させ、後
段の反転アンプ5で出力電圧V2と重み付き加算を行
う。この場合、r1/r11、r1/r12がそれぞれ
前記式(3)のK11、K12となるような抵抗の組み
合わせとしておくことにより、加速度αx(=(r1/
r11)・V1−(r1/r12)・V2)が得られ
る。
【0032】下段では前段の反転アンプ6で出力電圧V
1と出力電圧V2の重み付き加算を行い、後段の反転ア
ンプ7で出力を反転させる。この場合、r2/r21、
r2/r22がそれぞれ前記式(4)のK21、K22
となるような抵抗の組み合わせとしておくことにより、
加速度αy(=(r2/r21)・V1+(r2/r2
2)・V2)が得られる。
【0033】この実施例では2つの加速度センサーの間
で主感度及び横感度がそろっているのでr1=r2、r
11=r22、r12=r21とすればよいが、これら
は独立して変えることができるので、2つの加速度セン
サーの間で主感度及び横感度が一致していなくても対応
することができる。
【0034】また、下段の回路では前段の反転アンプ6
の演算で−K21・V1−K22・V2(=−αy)が
得られるので、後続の回路で対処できるのであれば後段
の反転アンプ7は省略可能である。
【0035】この実施例では、反転アンプの+入力端子
を接地する両電源アンプの構成としているが、+入力端
子を中間電位として片電源アンプとしても効果にかわり
はない。
【0036】2)加減算増幅器(アンプ)を用いた演算
回路の説明 図4は、加減算アンプを用いた演算回路の説明図であ
り、図4において、2個のオペアンプ(演算増幅器)で
構成された加減算アンプ8、9が設けてある。
【0037】加減算アンプ8は、マイナス入力端子に出
力電圧V2に接続された抵抗r12と帰還抵抗r1が接
続され、プラス入力端子に出力電圧V1に接続された抵
抗r11と接地された抵抗r1が接続されている。
【0038】加減算アンプ9は、プラス入力端子に出力
電圧V1に接続された抵抗r21と出力電圧V2に接続
された抵抗r22と接地された抵抗r2が接続され、マ
イナス入力端子に帰還抵抗r2と接地された抵抗(抵抗
r21、r22の並列合成抵抗)が接続されている。
【0039】次に図4の回路の動作を説明する。上段の
加減算アンプ8で出力電圧V1と出力電圧V2の重み付
き加減算を行う。この場合、r1/r11、r1/r1
2がそれぞれ前記式(3)のK11、K12となるよう
な抵抗の組み合わせとしておくことにより、加速度αx
(=(r1/r11)・V1−(r1/r12)・V
2)が得られる。
【0040】下段の加減算アンプ9で出力電圧V1と出
力電圧V2と重み付き加算を行う。この場合、r2/r
21、r2/r22がそれぞれ前記式(4)のK21、
K22となるような抵抗の組み合わせとしておくことに
より、加速度αy(=(r2/r21)・V1+(r2
/r22)・V2)が得られる。
【0041】このように、この実施例ではオペアンプが
2つで済み、前記反転アンプを使用する回路に比べて回
路が簡略化される。なお、前述の演算を図3、図4に示
したアナログ回路によらず、A/D変換を使ってディジ
タル演算回路によるディジタル系で処理しても同様の効
果を得ることができる。
【0042】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば次
のような効果がある。 :複数の加速度センサーの横感度による誤差を、前記
各加速度センサーの出力から演算により補正すること
で、加速度の検出精度を高めることができる。
【0043】:複数の加速度センサーの出力を演算す
る演算回路を設け、前記演算回路で、前記各加速度セン
サーの出力から横感度による誤差を演算により補正する
ことで、加速度の検出精度を高めることができる。
【0044】:演算回路で、加速度ベクトル{α}に
対する出力ベクトル{V}を与える感度行列を〔K〕と
して、{α}=〔K〕-1{V}の演算をすることで、複
数軸方向の加速度を演算することができる。
【0045】:複数の加速度センサーの間で主感度同
士および横感度同士がほぼ等しくすることで、演算回路
の設計を簡単にすることができる。 :演算回路で、各軸の演算を、反転増幅器のみで行う
ようにすることで、回路材料の選択が容易になる。
【0046】:演算回路で、各軸の演算を、一つの加
減算増幅器のみで行うようにすることで、増幅器が少な
くて済み、回路が簡略化される。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の原理説明図である。
【図2】実施例における加速度検出の説明図である。
【図3】実施例における反転アンプを用いた演算回路の
説明図である。
【図4】実施例における加減算アンプを用いた演算回路
の説明図である。
【符号の説明】
1 加速度センサー 2 加速度センサー 3 演算回路 k1 主感度 k2 横感度 V1 加速度センサー1の出力 V2 加速度センサー2の出力 αx 加速度のx成分 αy 加速度のy成分

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 主感度方向が互いに交差するように配置
    した複数の加速度センサーと、 前記各加速度センサーの横感度による誤差を、前記各加
    速度センサーの出力から演算により補正することを特徴
    とした加速度検出方法。
  2. 【請求項2】 前記複数の加速度センサーを主感度方向
    が互いに直交するように配置することを特徴とした請求
    項1記載の加速度検出方法。
  3. 【請求項3】 主感度方向が互いに交差するように配置
    した複数の加速度センサーと、 前記各加速度センサーの出力を演算する演算回路とを設
    け、 前記演算回路で、前記各加速度センサーの出力から横感
    度による誤差を演算により補正することを特徴とした加
    速度検出装置。
  4. 【請求項4】 前記演算回路で、加速度ベクトル{α}
    に対する出力ベクトル{V}を与える感度行列を〔K〕
    として、{α}=〔K〕-1{V}の演算をすることを特
    徴とした請求項2記載の加速度検出装置。
  5. 【請求項5】 前記複数の加速度センサーの間で主感度
    同士および横感度同士がほぼ等しいことを特徴とした請
    求項2又は3記載の加速度検出装置。
  6. 【請求項6】 前記演算回路で、各軸の演算を、反転増
    幅器のみで行うことを特徴とした請求項2乃至4のいず
    れかに記載の加速度検出装置。
  7. 【請求項7】 前記演算回路で、各軸の演算を、一つの
    加減算増幅器のみで行うことを特徴とした請求項2乃至
    4のいずれかに記載の加速度検出装置。
  8. 【請求項8】 前記複数の加速度センサーを主感度方向
    が互いに直交するように配置することを特徴とした請求
    項3乃至5のいずれかに記載の加速度検出装置。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08304448A (ja) * 1995-05-11 1996-11-22 Nikon Corp 力学量検出器および力学量検出方法
WO2004097433A1 (ja) * 2003-04-28 2004-11-11 National Institute Of Advanced Industrial Science And Technology 慣性センサの動的マトリックス感度計測装置およびその計測方法

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