JPH08220551A - Liquid crystal display panel - Google Patents
Liquid crystal display panelInfo
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- JPH08220551A JPH08220551A JP7026517A JP2651795A JPH08220551A JP H08220551 A JPH08220551 A JP H08220551A JP 7026517 A JP7026517 A JP 7026517A JP 2651795 A JP2651795 A JP 2651795A JP H08220551 A JPH08220551 A JP H08220551A
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、金属−絶縁物−金属構
造のTFD素子を各画素に有する液晶表示パネルの構造
に関し、とくに配線電極とTFD素子部を形成する第1
の電極との構造に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a structure of a liquid crystal display panel having a TFD element having a metal-insulator-metal structure in each pixel, and more particularly, to a wiring electrode and a TFD element portion.
And the structure of the electrodes.
【0002】[0002]
【従来の技術】従来のTFD素子を用いた液晶表示パネ
ルの基板1構造を、図3の平面図と図4の断面図とを用
いて説明する。なお図4の断面図は、図3のB−B線に
おける断面を示す。2. Description of the Related Art A structure of a substrate 1 of a liquid crystal display panel using a conventional TFD element will be described with reference to a plan view of FIG. 3 and a sectional view of FIG. The cross-sectional view of FIG. 4 shows a cross section taken along the line BB of FIG.
【0003】基板1には、透明基板11上に設ける配線
電極12と、この配線電極12の一部からなる第1の電
極13と、表示用電極14と、この表示用電極14の一
部からなる第2の電極15と、第1の電極13と第2の
電極15とのオーバーラップ部に形成する素子部17と
を有する。On the substrate 1, a wiring electrode 12 provided on the transparent substrate 11, a first electrode 13 which is a part of the wiring electrode 12, a display electrode 14, and a portion of the display electrode 14 are provided. The second electrode 15 and the element portion 17 formed at the overlapping portion of the first electrode 13 and the second electrode 15.
【0004】素子部17は、図4の断面図に示すよう
に、タンタル(Ta)膜で構成する配線電極12の一部
である第1の電極13と、酸化タンタル(Ta2 O5 )
膜からなる第1の電極13上の絶縁膜18と、この絶縁
膜18を覆う表示用電極14の一部からなる第2の電極
15とを備える構成としている。As shown in the sectional view of FIG. 4, the element portion 17 includes a first electrode 13 which is a part of the wiring electrode 12 formed of a tantalum (Ta) film, and tantalum oxide (Ta 2 O 5 ).
The insulating film 18 on the first electrode 13 made of a film and the second electrode 15 made of a part of the display electrode 14 covering the insulating film 18 are provided.
【0005】ここで第1の電極13上の絶縁膜18は、
配線電極12を陽極酸化処理して形成するため、配線電
極12上にも酸化タンタルからなる絶縁膜18を有する
ことになる。Here, the insulating film 18 on the first electrode 13 is
Since the wiring electrode 12 is formed by anodizing, the insulating film 18 made of tantalum oxide is also provided on the wiring electrode 12.
【0006】表示用電極14と第2の電極15とは、透
明電極膜である酸化インジウムスズ(ITO)膜で構成
する。The display electrode 14 and the second electrode 15 are formed of an indium tin oxide (ITO) film which is a transparent electrode film.
【0007】さらに基板1上には、液晶を均一に配向さ
せるために、配向膜19を全面に設ける。この配向膜1
9は、ポリイミドなどの耐熱性高分子膜を印刷法で形成
し、ラビング処理によって所定の配向処理を行って構成
する。Further, on the substrate 1, an alignment film 19 is provided on the entire surface in order to uniformly align the liquid crystal. This alignment film 1
9 is formed by forming a heat resistant polymer film such as polyimide by a printing method and performing a predetermined alignment treatment by rubbing treatment.
【0008】ここでこのラビング処理とは、レーヨンや
コットンなどの布をロールに巻き付けて、そのロールを
高速で回転しながら所定の押し込み圧力で配向膜19を
擦り付ける方法である。このため配向膜19は、下地膜
との充分に強い密着性を必要とする。Here, the rubbing treatment is a method in which a cloth such as rayon or cotton is wound around a roll and the alignment film 19 is rubbed with a predetermined pressing pressure while rotating the roll at a high speed. Therefore, the alignment film 19 needs to have sufficiently strong adhesion to the base film.
【0009】[0009]
【発明が解決しようとする課題】従来のTFD素子を用
いた液晶表示パネルの基板1構造は、配線電極12上と
第2の電極15を形成していない非素子部の第1の電極
13上とは、陽極酸化処理により酸化タンタル膜からな
る絶縁膜18を設けている。The structure of the substrate 1 of the liquid crystal display panel using the conventional TFD element is the wiring electrode 12 and the first electrode 13 of the non-element portion where the second electrode 15 is not formed. Is provided with an insulating film 18 made of a tantalum oxide film by anodizing treatment.
【0010】この絶縁膜18の表面形状は、原子間力顕
微鏡(AFM)を用いて微視的に観察すると、平滑な形
状をしている。The surface shape of the insulating film 18 has a smooth shape when microscopically observed using an atomic force microscope (AFM).
【0011】このために、この絶縁膜18上に配向膜1
9を印刷して、ラビング処理を行うと、絶縁膜18と配
向膜19との密着性は著しく悪く、配向膜19は剥がれ
てしまい、液晶を均一に配向させることができないとい
う課題がある。Therefore, the alignment film 1 is formed on the insulating film 18.
When 9 is printed and a rubbing process is performed, the adhesion between the insulating film 18 and the alignment film 19 is extremely poor, and the alignment film 19 is peeled off, so that the liquid crystal cannot be aligned uniformly.
【0012】さらに剥がれて微小な異物となった配向膜
19は、表示用電極14や第2の電極15に付着して、
液晶を汚染する原因となる。このため液晶表示パネルの
表示特性や電気特性を悪くするという課題がある。The alignment film 19 that has been peeled off and has become a minute foreign substance adheres to the display electrode 14 and the second electrode 15,
It causes the liquid crystal to be contaminated. Therefore, there is a problem that display characteristics and electric characteristics of the liquid crystal display panel are deteriorated.
【0013】本発明の目的は、上記課題を解決して、配
線電極上と第2の電極を形成していない非素子部の第1
の電極上とで、配向膜が良好な密着を得ることを可能と
し、高品質なTFD素子を用いた液晶表示パネルの構造
を提供することである。An object of the present invention is to solve the above problems and to provide a first non-element portion on a wiring electrode and on which a second electrode is not formed.
The purpose of the present invention is to provide a structure of a liquid crystal display panel using a high-quality TFD element, which makes it possible to obtain a good adhesion of the alignment film on the electrode.
【0014】[0014]
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の液晶表示パネルの基板は下記記載の構成を
採用する。In order to achieve the above object, the substrate of the liquid crystal display panel of the present invention adopts the following constitution.
【0015】本発明の液晶表示パネルの基板は、配線電
極と接続する第1の電極と、第1の電極上に設ける絶縁
膜と、表示用電極とを有し、表示用電極は絶縁膜上に設
ける第2の電極に接続し、第1の電極と第2の電極との
重なった領域を、第1の電極と絶縁膜と第2の電極とか
らなる素子部とし、配線電極上と第2の電極を形成して
いない非素子部の第1の電極上とに第3の電極を設ける
ことを特徴とする。The substrate of the liquid crystal display panel of the present invention has a first electrode connected to the wiring electrode, an insulating film provided on the first electrode, and a display electrode, and the display electrode is on the insulating film. Connected to a second electrode provided in the first electrode, an overlapping region of the first electrode and the second electrode is used as an element portion including the first electrode, the insulating film, and the second electrode, and is formed on the wiring electrode and the first electrode. The third electrode is provided on the first electrode of the non-element portion where the second electrode is not formed.
【0016】[0016]
【作用】本発明の液晶表示パネルの基板では、配線電極
上と第2の電極を形成していない非素子部の第1の電極
上とに、酸化インジウムスズ膜からなる第3の電極を設
ける構造を採用することとする。In the substrate of the liquid crystal display panel of the present invention, the third electrode made of an indium tin oxide film is provided on the wiring electrode and the first electrode of the non-element portion where the second electrode is not formed. The structure will be adopted.
【0017】この酸化インジウムスズ膜は、原子間力顕
微鏡で表面形状を観察すると、微視的には細かい凹凸の
ある形状をしているため、配向膜との密着性は良好とな
る。When the surface shape of this indium tin oxide film is observed with an atomic force microscope, it has microscopically fine irregularities, so that the adhesion with the alignment film is good.
【0018】この結果、配線電極上と第2の電極を形成
していない非素子部の第1の電極上とに印刷した配向膜
は、その下地層に酸化インジウムスズ膜が存在する。As a result, the alignment film printed on the wiring electrode and the first electrode of the non-element portion where the second electrode is not formed has the indium tin oxide film as the underlying layer.
【0019】したがって、ラビング処理による配向処理
をしても剥がれることがなくなり、液晶が均一に配向
し、さらに配向膜の剥離物が表示用電極や第2の電極を
汚染することがなく、優れた表示特性と優れた電気特性
とを得ることができる。Therefore, even if the alignment treatment by the rubbing treatment is performed, the liquid crystal is not peeled off, the liquid crystal is uniformly aligned, and the peeled product of the alignment film does not contaminate the display electrode or the second electrode, which is excellent. It is possible to obtain display characteristics and excellent electrical characteristics.
【0020】[0020]
【実施例】以下図面を用いて本発明の実施例における、
TFD素子を用いた液晶表示パネルの構造を説明する。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
The structure of the liquid crystal display panel using the TFD element will be described.
【0021】図1は、本発明の実施例における液晶表示
パネルを示す平面図であり、図2は本発明の実施例にお
ける液晶表示パネルのを示す断面図である。なお図2
は、図1のA−A線における断面を示す断面図である。
以下、図1と図2とを交互に用いて説明する。FIG. 1 is a plan view showing a liquid crystal display panel according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a sectional view showing a liquid crystal display panel according to the embodiment of the present invention. Figure 2
FIG. 2 is a cross-sectional view showing a cross section taken along the line AA of FIG. 1.
Hereinafter, description will be made by alternately using FIG. 1 and FIG.
【0022】基板1の透明基板11上に配線電極12
と、この配線電極12の一部からなる第1の電極13と
を設ける。この配線電極12と第1の電極13とはタン
タル膜で構成する。The wiring electrode 12 is formed on the transparent substrate 11 of the substrate 1.
And a first electrode 13 which is a part of the wiring electrode 12. The wiring electrode 12 and the first electrode 13 are made of a tantalum film.
【0023】さらに表示用電極14と、この表示用電極
14の一部からなる第2の電極15とを設ける。この表
示用電極14と第2の電極15とは、酸化インジウムス
ズ膜で構成する。Further, a display electrode 14 and a second electrode 15 which is a part of the display electrode 14 are provided. The display electrode 14 and the second electrode 15 are composed of an indium tin oxide film.
【0024】配線電極12上と第1の電極13上とに
は、絶縁膜18を設ける。この結果、第1の電極13と
第2の電極15との交差した領域には、第1の電極13
と絶縁膜18と第2の電極15とからなるTFD素子か
らなる素子部17を設けることができる。An insulating film 18 is provided on the wiring electrode 12 and the first electrode 13. As a result, the first electrode 13 is formed in the region where the first electrode 13 and the second electrode 15 intersect.
It is possible to provide the element portion 17 including the TFD element including the insulating film 18 and the second electrode 15.
【0025】なおこの絶縁膜18は、配線電極12と第
1の電極13とを陽極酸化処理して形成する酸化タンタ
ル膜で構成する。The insulating film 18 is composed of a tantalum oxide film formed by anodizing the wiring electrode 12 and the first electrode 13.
【0026】さらに配線電極12上と、第2の電極15
を形成していない非素子部の第1の電極13上とには、
表示用電極14と第2の電極15と同じ材料の酸化イン
ジウムスズ膜からなる第3の電極16を設ける。Further, on the wiring electrode 12 and the second electrode 15
On the first electrode 13 in the non-element portion where
A third electrode 16 made of an indium tin oxide film made of the same material as the display electrode 14 and the second electrode 15 is provided.
【0027】さらにこの基板1の上に、液晶を均一に配
向させるための配向膜19を全面に形成する。なおこの
配向膜19は、ラビング処理によって所定の配向処理を
行って形成する。Further, an alignment film 19 for uniformly aligning the liquid crystal is formed on the entire surface of the substrate 1. The alignment film 19 is formed by performing a predetermined alignment process by a rubbing process.
【0028】このとき、配線電極12上と、第2の電極
15を形成していない非素子部の第1の電極13上とに
おける配向膜19は、下地に酸化インジウムスズ膜が存
在する。At this time, the alignment film 19 on the wiring electrode 12 and on the first electrode 13 in the non-element portion where the second electrode 15 is not formed has an indium tin oxide film as a base.
【0029】このため、ラビング処理によって配向処理
をしても配向膜19は剥がれることがなくなり、液晶が
均一に配向する。さらに、配向膜19の剥離物が表示用
電極14や第2の電極15を汚染することがなく、優れ
た表示特性や電気特性を有する液晶表示パネルを得るこ
とができる。Therefore, the alignment film 19 is not peeled off even if the alignment process is performed by the rubbing process, and the liquid crystal is uniformly aligned. Furthermore, a peeled product of the alignment film 19 does not contaminate the display electrode 14 and the second electrode 15, and a liquid crystal display panel having excellent display characteristics and electrical characteristics can be obtained.
【0030】つぎに図1と図2に示す本発明の液晶表示
パネルの構造を得るための製造方法を簡単に説明する。Next, a manufacturing method for obtaining the structure of the liquid crystal display panel of the present invention shown in FIGS. 1 and 2 will be briefly described.
【0031】まずはじめに、基板1上の全面にスパッタ
リング法によってタンタル膜を形成し、その後フォトエ
ッチング技術を用いてタンタル膜のパターニングを行
い、タンタル膜からなる配線電極12と第1の電極13
とを同時に形成する。First, a tantalum film is formed on the entire surface of the substrate 1 by a sputtering method, and then the tantalum film is patterned by using a photoetching technique, and the wiring electrode 12 made of the tantalum film and the first electrode 13 are formed.
And are formed at the same time.
【0032】その後、配線電極12と第1の電極13と
のタンタル膜を陽極酸化処理して、酸化タンタル膜から
なる絶縁膜18を配線電極12と第1の電極13との表
面に形成する。Thereafter, the tantalum film of the wiring electrode 12 and the first electrode 13 is anodized to form an insulating film 18 made of a tantalum oxide film on the surfaces of the wiring electrode 12 and the first electrode 13.
【0033】その後、透明電極膜として酸化インジウム
スズ膜を真空蒸着法により全面に形成する。After that, an indium tin oxide film is formed as a transparent electrode film on the entire surface by a vacuum evaporation method.
【0034】そして、フォトエッチング技術を用いて酸
化インジウムスズ膜のパターニングを行って、表示用電
極14と、絶縁膜18上に設ける第2の電極15とを形
成する。Then, the indium tin oxide film is patterned by using the photoetching technique to form the display electrode 14 and the second electrode 15 provided on the insulating film 18.
【0035】この表示用電極14と第2の電極15の形
成と同時に、配線電極12上と第2の電極15を形成し
ていない非素子部の第1の電極13上とに酸化インジウ
ムスズ膜からなる第3の電極16を形成する。Simultaneously with the formation of the display electrode 14 and the second electrode 15, an indium tin oxide film is formed on the wiring electrode 12 and the first electrode 13 of the non-element portion where the second electrode 15 is not formed. And the third electrode 16 is formed.
【0036】さらに、この基板1上にポリイミド膜をフ
レキソ印刷法により形成し、ラビング処理により配向処
理を行い、液晶を配向させるための配向膜19を形成し
て、液晶表示パネルを得る。Further, a polyimide film is formed on the substrate 1 by a flexographic printing method, an alignment process is performed by a rubbing process, and an alignment film 19 for aligning liquid crystals is formed to obtain a liquid crystal display panel.
【0037】[0037]
【発明の効果】以上の説明で明らかなように、本発明の
液晶表示パネルは、配線電極上と第2の電極を形成して
いない非素子部の第1の電極上とは、酸化インジウムス
ズ膜を設ける。As is clear from the above description, in the liquid crystal display panel of the present invention, indium tin oxide is provided on the wiring electrode and the first electrode of the non-element portion where the second electrode is not formed. Provide a membrane.
【0038】このため、その酸化インジウムスズ膜上に
形成する配向膜は、密着性に優れ、ラビング処理を行っ
ても、配向膜は剥がれることがなくなり、液晶が均一に
配向する。Therefore, the alignment film formed on the indium tin oxide film is excellent in adhesiveness, and the alignment film is not peeled off even if the rubbing treatment is performed, and the liquid crystal is uniformly aligned.
【0039】さらに配向膜の剥離物が表示用電極や第2
の電極を汚染することがなく、優れた表示特性と優れた
電気特性とを備える液晶表示パネルを得ることができ
る。Furthermore, the exfoliated product of the alignment film is a display electrode or a second electrode.
It is possible to obtain a liquid crystal display panel having excellent display characteristics and excellent electric characteristics without contaminating the electrodes of (1).
【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]
【図1】本発明の実施例における液晶表示パネルを示す
平面図である。FIG. 1 is a plan view showing a liquid crystal display panel in an embodiment of the present invention.
【図2】本発明の実施例における液晶表示パネルを示す
断面図である。FIG. 2 is a cross-sectional view showing a liquid crystal display panel in an example of the present invention.
【図3】従来例における液晶表示パネルを示す平面図で
ある。FIG. 3 is a plan view showing a liquid crystal display panel in a conventional example.
【図4】従来例における液晶表示パネルを示す断面図で
ある。FIG. 4 is a cross-sectional view showing a liquid crystal display panel in a conventional example.
【符号の説明】 11 透明基板 12 配線電極 13 第1の電極 14 表示用電極 15 第2の電極 16 第3の電極 18 絶縁膜 19 配向膜[Explanation of reference numerals] 11 transparent substrate 12 wiring electrode 13 first electrode 14 display electrode 15 second electrode 16 third electrode 18 insulating film 19 alignment film
Claims (3)
の電極上に設ける絶縁膜と、表示用電極とを有し、表示
用電極は絶縁膜上に設ける第2の電極に接続し、第1の
電極と第2の電極との重なった領域を、第1の電極と絶
縁膜と第2の電極とからなる素子部とし、配線電極上と
第2の電極を形成していない非素子部の第1の電極上と
に第3の電極を設けることを特徴とする液晶表示パネ
ル。1. A first electrode connected to the wiring electrode, and a first electrode.
Has an insulating film provided on the electrode and a display electrode, the display electrode is connected to a second electrode provided on the insulating film, and an overlapping region of the first electrode and the second electrode is An element portion including a first electrode, an insulating film, and a second electrode is provided, and a third electrode is provided over the wiring electrode and the first electrode of the non-element portion where the second electrode is not formed. Liquid crystal display panel characterized by.
タンタル膜からなる第1の電極と、第1の電極上に設け
る酸化タンタル膜からなる絶縁膜と、酸化インジウムス
ズ膜からなる表示用電極とを有し、表示用電極は絶縁膜
上に設ける酸化インジウムスズ膜からなる第2の電極に
接続し、第1の電極と第2の電極との重なった領域を、
第1の電極と絶縁膜と第2の電極とからなる素子部と
し、配線電極上と第2の電極を形成していない非素子部
の第1の電極上とに酸化インジウムスズ膜からなる第3
の電極を設けることを特徴とする液晶表示パネル。2. A first electrode made of a tantalum film connected to a wiring electrode made of a tantalum film, an insulating film made of a tantalum oxide film provided on the first electrode, and a display electrode made of an indium tin oxide film. And the display electrode is connected to the second electrode made of an indium tin oxide film provided on the insulating film, and the overlapping region of the first electrode and the second electrode is
An element portion including a first electrode, an insulating film, and a second electrode is formed, and an indium tin oxide film is formed on the wiring electrode and the first electrode of the non-element portion where the second electrode is not formed. Three
A liquid crystal display panel, which is provided with the electrodes of.
の電極上に設ける絶縁膜と、表示用電極とを有し、表示
用電極は絶縁膜上に設ける第2の電極に接続し、第1の
電極と第2の電極との重なった領域を、第1の電極と絶
縁膜と第2の電極とからなる素子部とし、配線電極上と
第2の電極を形成していない非素子部の配線電極側に位
置する第1の電極上とに第3の電極を設けることを特徴
とする液晶表示パネル。3. A first electrode connected to the wiring electrode, and a first electrode.
Has an insulating film provided on the electrode and a display electrode, the display electrode is connected to a second electrode provided on the insulating film, and an overlapping region of the first electrode and the second electrode is An element portion composed of a first electrode, an insulating film, and a second electrode is formed, and a wiring electrode and a first electrode located on the wiring electrode side of a non-element portion where the second electrode is not formed are provided. A liquid crystal display panel, which is provided with three electrodes.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7026517A JPH08220551A (en) | 1995-02-15 | 1995-02-15 | Liquid crystal display panel |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7026517A JPH08220551A (en) | 1995-02-15 | 1995-02-15 | Liquid crystal display panel |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH08220551A true JPH08220551A (en) | 1996-08-30 |
Family
ID=12195678
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP7026517A Pending JPH08220551A (en) | 1995-02-15 | 1995-02-15 | Liquid crystal display panel |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH08220551A (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007017981A (en) * | 2005-07-08 | 2007-01-25 | Samsung Electronics Co Ltd | Array substrate, method of manufacturing same and liquid crystal display panel having same |
-
1995
- 1995-02-15 JP JP7026517A patent/JPH08220551A/en active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007017981A (en) * | 2005-07-08 | 2007-01-25 | Samsung Electronics Co Ltd | Array substrate, method of manufacturing same and liquid crystal display panel having same |
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